DE60220952T2 - Mikrowellenplasmaquelle - Google Patents

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DE60220952T2
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Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Mittel für die Erzeugung eines Plasmas durch Mikrowellenenergie zum Erwärmen einer Probe für die spektrochemische Analyse, beispielsweise durch optische Emissionsspektrometrie oder Massenspektrometrie.
  • Hintergrund
  • Die frühere Internationale Patentanmeldung Nr. PCT/AU01/00805 ( WO 02/04930 A1 ) der Anmelderin offenbart zur Anregung eines Plasmas ein axiales Ausrichten eines Plasmabrenners auf das Magnetfeldmaximum eines angelegten, elektromagnetischen Mikrowellenfeldes. Dies erzeugt ein hohles, im Allgemeinen ringförmiges, zylinderförmiges Plasma aufgrund des wohlbekannten "Skineffekts". Ein Plasma dieser Form ist wünschenswert, da es einfacher ist, eine Probe zum Erwärmen in dessen kühleren Kern zu injizieren. Die bei steigenden Frequenzen abnehmende Skintiefe dieses Plasmas ist ziemlich dünn (beispielsweise wurde bei 2455 MHz gemessen, dass die Skintiefe eines Argonplasmas ungefähr 1 mm beträgt), und daher ist die Verwendung eines polyatomaren, plasmabildenden Gases (das eine größere Skintiefe ergibt) offenbart, um die Erwärmung im Kernbereich des Plasmas zum Erwärmen der Probe innerhalb dieses Bereiches zu verbessern.
  • Aufmerksamkeit wird auch auf die Offenbarungen der EP-A-1,093,847 , US 5,349,154 , US 5,453,125 und der US 4,933,650 gelenkt.
  • Eine weitere Recherche durch die Anmelderin hat gezeigt, dass, im Vergleich zur Erfindung der PCT/AU01/00805 , verbesserte Ergebnisse erzielt werden, indem das Plasma durch gleichzeitige Anwendung eines bei Mikrowellenfrequenz oszillierenden, elektrischen und magnetischen Feldes erregt wird. Die verbesserten Ergebnisse gehen aus besserer Erwärmung in den Kernbereich des Plasmas und damit besserer thermischer Kopplung zwischen der Probe und dem Plasma hervor, was zu einem verbesserten Analyseergebnis (Empfindlichkeit) führt.
  • Die Erörterung des Hintergrunds der Erfindung ist hier eingefügt, um den Zusammenhang der Erfindung zu erklären. Dies soll nicht als Zugeständnis gelten, dass jedes Material, auf das Bezug genommen wird, veröffentlicht, bekannt oder Teil des allgemein bekannten Fachwissens am durch die vorliegende Erfindung festgelegten Prioritätsdatum in Australien war.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Plasmaquelle für ein Spektrometer vorgesehen, die aufweist
    einen Plasmabrenner mit zumindest einem Durchlass für die Zufuhr von plasmabildendem Gas,
    Mittel zum Anlegen eines elektromagnetischen Mikrowellenfeldes an den Plasmabrenner,
    wobei das Mittel dem Plasmabrenner sowohl für die elektrische als auch die magnetische Feldkomponente des angelegten, elektromagnetischen Mikrowellenfeldes zugeordnet ist, um ein Plasma des plasmabildenden Gases anzuregen,
    dadurch gekennzeichnet, dass der Plasmabrenner relativ zu dem Mittel zum Anlegen eines elektromagnetischen Mikrowellenfeldes so angeordnet ist, dass er von einem Maximum der magnetischen Feldkomponente beabstandet ist.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt, sieht die Erfindung ebenso ein Verfahren zum Erzeugen eines Plasmas für die spektrochemische Analyse einer Probe vor, umfassend das relative Anordnen eines Plasmabrenners innerhalb eines elektromagnetischen Mikrowellenfeldes sowohl für die elektrische als auch für die magnetische Feldkomponente des elektromagnetischen Mikrowellenfeldes, das mit beiden Feldkomponenten gleichzeitig an den Plasmabrenner anzulegen ist, um ein Plasma in einem durch den Brenner strömenden, plasmabildenen Gas anzuregen, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetfeldkomponente kein Feldmaximum ist.
  • Bei beiden Aspekten der Erfindung ist der Plasmabrenner in einem Bereich angeordnet, wo elektrische und magnetische Felder vorhanden sind. Dies kann durch Anordnen des Brenners an einer Zwischenposition zwischen dem elektrischen und magnetischen Feldmaximum innerhalb eines Wellenleiters erreicht werden. Sowohl die elektrische als auch die magnetische Feldkomponente der angewandten Mikrowellenleistung tragen zur Aufrechterhaltung des Plasmas bei.
  • Der Effekt der elektrischen Feldkomponenten für das Plasma ist, dass dieses die Form eines zur elektrischen Feldrichtung ausgerichteten Bandes annimmt, und der Effekt der magnetischen Feldkomponente für das Plasma ist, dass dieses eine hohle Zylinderform annimmt. Die Kombination der zwei orthogonalen Feldkomponenten sorgt dafür, dass die hohle Zylinderform (von der magnetischen Feldkomponente) im Querschnitt generell elliptisch wird, und dass sich das Plasma in den Kernbereich ausdehnt, jedoch bei einer geringeren Intensität im Vergleich zu den Außenbereichen. Daher kann ein Plasmabrenner des Vorrichtungs- oder Verfahrensaspekts der Erfindung wahlweise so innerhalb eines elektromagnetischen Mikrowellenfeldes angeordnet werden, dass die relativen Intensitäten der elektrischen und magnetischen Feldkomponenten einen gewünschten, niedrigeren Wert der Plasmaintensität im Kern gegenüber dem Skinbereich des Plasmas ergeben, das heißt, eine reduzierte Kernintensität ergeben, die ausreicht, um eine Injizierung der Probe dorthinein zu ermöglichen, aber die dennoch genügend hoch ist, um eine gute Anregung der Probe für gute Analyseergebnisse zu ergeben.
  • Vorzugsweise ist der Plasmabrenner axial zum Magnetfeld ausgerichtet. Diese bevorzugte Anordnung, bei der der Brenner axial zur Magnetfeldkomponente ausgerichtet ist, bedeutet, dass die Richtung der elektrischen Feldkomponente orthogonal oder quer zur Achse des Brenners ist. Mit dieser Anordnung erzeugt das elektrische Feld ein Plasma in Form eines "Bandes" (das heißt, wie ein sich axial erstreckender Streifen mit geringem Querschnitt). Das Magnetfeld sorgt dafür, dass der Bandquerschnitt sich zweiteilt und bei Betrachtung in Achsenrichtung eine schmale Ellipse ausbildet. Eine Anpassung der relativen Intensitäten der zwei Feldkomponenten (beispielsweise durch Anordnen des Brenners an verschiedenen Stellen innerhalb des elektromagnetischen Mikrowellenfeldes in einem Hohlraum) weitet oder verengt den Zwischenraum zwischen den zwei Seiten des die Ellipse ausbildenden Bandes und ermöglicht daher eine Optimierung des Kompromisses zwischen der Fähigkeit, eine Probe in das Plasma zu injizieren und dabei dennoch eine gute thermische Kopplung zwischen dem Plasma und der Probe zu erreichen.
  • Vorzugsweise umfasst das Mittel zum Anlegen eines elektromagnetischen Mikrowellenfeldes an den Brenner eine Resonanzblende, innerhalb der der Brenner angeordnet ist. Die Wahl der relativen Intensität jeder Feldkomponente kann durch Verändern des relativen Höhe-Breite-Verhältnisses der Blendenöffnung erreicht werden, wobei eine derartige Veränderung dennoch die Gesamtresonanz bei der Frequenz der angelegten Mikrowellenenergie beibehält.
  • Alternativ oder zusätzlich kann das Mittel zum Anlegen des elektromagnetischen Mikrowellenfeldes ein Wellenleiter oder ein Hohlraum sein oder umfassen, innerhalb welchem der Brenner auf einer Teilstrecke zwischen der Position eines elektrischen Feldmaximums und der Position eines magnetischen Feldmaximums innerhalb des Wellenleiters oder des Hohlraums angeordnet ist. Geeignete Hohlräume sind in der oben genannten Anmeldung PCT/AU01/00805 offenbart. Beispielsweise kann der Plasmabrenner innerhalb eines Hohlraumes angeordnet sein, der von einem eine Wellenlänge langen Abschnitt des Wellenleiters auf einer Teilstrecke zwischen der Position der maximalen Magnetfeldstärke und der Position der maximalen elektrischen Feldstärke ausgebildet ist. Ein Verändern der Position des Plasmabrenners zwischen diesen beiden Feldmaxima ermöglicht eine Auswahl der relativen Intensität jeder Feldkomponente und damit der elliptischen Querschnittform des Plasmas und damit der Plasmakernintensität.
  • Wenn das Mittel zum Anlegen des elektromagnetischen Mikrowellenfeldes ein Hohlraum ist, vorzugsweise liefert eine Mikrowellenquelle (beispielsweise ein Magnetron) die Mikrowellenenergie direkt in den Hohlraum, ist der Brenner (das heißt, die Plasmalast) auch innerhalb des Hohlraums angeordnet. Dies vermeidet eine übliche Stand-der-Technik-Anordnung, bei der ein Mikrowellengenerator (typischerweise ein Magnetron) in einem Einführ-Wellenleiter angeordnet ist und bezüglich der Impedanz an einen Einspeis-Wellenleiter oder ein Koaxialkabel angepasst ist, der bzw. das verwendet wird, um die Mikrowellenenergie zur Last zu führen; in diesem Fall dem Plasmabrenner, wobei die Last im Allgemeinen bezüglich der Impedanz an den Einspeis-Wellenleiter oder das Koaxialkabel angepasst ist. Diese Eigenschaft der Erfindung umgeht die Notwendigkeit von einem oder zwei zusätzlichen, Impedanzangepassten Netzwerken, die ansonsten zur Größe und zu den Kosten des gesamten Systems hinzukämen. Es ist eine mögliche Anordnung gemäß der Erfindung, einen Hohlraum aus einer Länge eines an beiden Enden abgeschlossenen Wellenleiters auszubilden und ein Magnetron vorzusehen, das auf dieser Länge des Wellenleiters auf herkömmliche Weise montiert ist. Ein Anpassen des Realteils der Impedanz zwischen dem Magnetron und dem Plasma wird durch das Einstellen des Abstandes zwischen dem Magnetron und dem Plasmabrenner erreicht. Ein Aufheben der Blindwiderstands-Impedanz, einschließlich des Blindwiderstands des Magnetrons, wird durch das Einstellen des Abstandes vom Magnetron zum nahen abgeschlossenen Ende erreicht. Die exakt erforderlichen Abstände können entweder durch Versuch und Irrtum oder durch Verwendung eines Mikrowellennetzwerkanalysators bestimmt werden, wie es einem Fachmann bekannt wäre. In der Praxis hat man herausgefunden, dass die optimale Magnetronposition ziemlich nahe an einem Punkt mit niedriger Impedanz liegt (nahe der Hälfte einer Wellenlänge von der Brennerposition). Damit bestimmen die Anpassungserfordernisse bis zu einem gewissen Grad die Gesamtlänge des Hohlraums. Man hat in der Praxis ebenso herausgefunden, dass Variationen bei der Brennerimpedanz bei verschiedenen Leistungspegeln oder Probenströmungen nicht groß genug sind, um den durch das obige Verfahren erreichten Impedanzabgleich merklich zu beeinflussen, so dass ein dynamisches Anpassen der Impedanzanpassung nicht erforderlich ist.
  • Ein weiterer Aspekt dieser Erfindung bezieht sich auf die thermische Kühlung eines Hohlraums zum Anlegen des elektromagnetischen Mikrowellenfeldes an den Brenner. Eine beträchtliche Leistung wird innerhalb des Plasmabrenners abgeführt und der Brenner und ein Hohlraum, innerhalb dem er angeordnet ist, werden höchstwahrscheinlich gekühlt werden müssen. Gemäß diesem Aspekt der Erfindung kann jeder derartige Hohlraum als Kühlkanal verwendet werden. Damit kann Kühlluft in den Hohlraum eingeführt werden und durch Rohre extrahiert werden, die einen Durchmesser aufweisen, der unterhalb der Absperr-Grenze der verwendeten Mikrowellenfrequenz liegt, und deren Länge ausreichend ist, um die abklingende Welle auf einen akzeptablen Grad zu dämpfen.
  • Zum besseren Verständnis der Erfindung und um zu zeigen, wie dieselbe verwirklicht werden kann, werden nun deren bevorzugte Ausführungsbeispiele lediglich mittels eines nicht-einschränkenden Beispiels mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrieben.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • Die 1a bis 1o stellen schematisch Feldrichtungen und daraus resultierende Plasmaformen für einen Plasmabrenner dar.
  • 2 stellt eine Resonanzblende dar, die nicht Teil der Erfindung ist, aber vorgesehen ist, um zum Verständnis der Erfindung beizutragen.
  • 3 ist eine Querschnittsansicht eines Plasmabrenners, für die Verwendung bei einem Ausführungsbeispiel der Erfindung, innerhalb einer Resonanzblende innerhalb eines Wellenleiters, die vorgesehen ist, um zum Verständnis der Erfindung beizutragen.
  • 4 stellt schematisch einen Hohlraum für einen Plasmabrenner gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung dar und stellt dar, dass der Brenner darin an verschiedenen Positionen angeordnet sein kann.
  • Beschreibung der bevorzugten Ausführungsbeispiele
  • Die 1a, d, g, j und m stellen bezüglich eines Plasmabrenners 10 (schematisch als Zylinder dargestellt) elektrische E und magnetische H Feldrichtungen dar, wobei die Felder derart sind, dass sie ein Plasma in einem durch den Brenner 10 strömenden, plasmabildenden Gas anregen. Der Plasmabrenner 10 ist nur schematisch in den Figuren als ein Zylinder dargestellt, da Plasmabrennerstrukturen für Spektrometer wohlbekannt sind. Üblicherweise werden bei Plasmabrennern zumindest zwei konzentrische Rohre (typischerweise aus Quartz) verwendet. Ein Trägergas mit mitgeführter Probe strömt normalerweise durch das innerste Rohr, und ein separates plasmaerhaltendes und brennerkühlendes Gas strömt im Zwischenraum zwischen den zwei Rohren. Typischerweise wird das plasmabildende und -erhaltende Gas ein Inertgas sein, wie z.B. Argon oder Stickstoff, und Anordnungen sind vorgesehen, um eine Strömung von diesem Gas zu erzeugen, die es unterstützt, ein stabiles Plasma mit einem hohlen Kern auszubilden und um das Plasma ausreichend isoliert von jedem Teil des Brenners zu halten, so dass kein Teil des Brenners überhitzt wird. Beispielsweise kann die Strömung außeraxial injiziert werden, so dass sich die Strömung spiralartig windet. Diese letztere Gasströmung erhält das Plasma und die in der inneren Gasströmung transportierte Probe wird durch Strahlung und Leitung aus dem Plasma erwärmt. Ein Beispiel eines geeigneten Plasmabrenners ist hier nachstehend mit Bezug auf 3 im Detail beschrieben. Die 1b, e, h, k und n stellen Plasmaformen dar, wenn man vom Ende des Brenners 10 her hineinschaut, und die 1c, f, i, l und o sind Seitenansichten der Plasmaform (die die gleiche Ebene wie die 1a, d, g, j und m zeigen, beispielsweise sind beide Figuren vertikale Aufrisse).
  • Die 1a, b und c zeigen, dass für ein elektromagnetisches Mikrowellenfeld, dessen elektrischen Feldkomponente 12 axial zum Brenner 10 ausgerichtet ist, ein stabförmiges Plasma erzeugt wird. Dies ist die anerkannte Vorgehensweise, und das erzeugte Plasma 14 ist sehr heiß, aber leider ist es extrem schwierig, eine Probe in den Plasmakern zu injizieren. Folglich ist es schwierig, eine gute thermische Kopplung zwischen dem Plasma 14 und der Probe zu erhalten, was zu geringer Erwärmung der Probe und damit zu einem schlechten Analyseergebnis führt.
  • Die 1d, e und f und die 1g, h und i zeigen, dass, wenn der Plasmabrenner 10 axial zur magnetischen Feldkomponente 16 beim Magnetfeldmaximum eines elektromagnetischen Feldes ausgerichtet ist (wie bei PCT/AU01/00805 ), die Plasmaform ein hohler, im Allgemeinen richtig ringförmiger Zylinder ist. Bei 1e ist das richtig ringförmige, zylinderförmige Plasma 18 dünnwandig, wie es bei Argon als plasmabildendes Gas auftritt. Das heißt, die Skintiefe ist so gering, dass der zentrale Kern des Plasmas nicht nur bzgl. der Temperatur vermindert ist, sondern in der Tat auch relativ kalt sein kann. Während es einfach ist, Proben in einen derartigen Kernbereich zu injizieren, gibt es kaum Erwärmung und daher eine sehr schlechte Analyseempfindlichkeit. Bei 1h weist das im Allgemeinen ringförmige, zylinderförmige Plasma 20 eine dickere Skintiefe auf, als es mit Stickstoff als plasmabildendes Gas auftritt. Es ergibt sich jedoch immer noch eine unzureichende Erwärmung einer Probe innerhalb des Kernbereichs des Plasmas 20, um zufriedenstellende Analyseergebnisse zu ergeben.
  • 1j stellt dies für ein quer verlaufendes, elektrisches Feld 22 dar, ein bandförmiges Plasma 24 wird erzeugt. Mit Bezug auf 1m: wenn ein elektromagnetisches Mikrowellenfeld so angelegt ist, dass sowohl dessen elektrische 24 als auch dessen magnetische 26 Feldkomponente Energie zum Anregen des Plasmas vorsehen, wobei eine Magnetfeldkomponente 26 axial zum Brenner 10 ausgerichtet ist, wird ein generell im Querschnitt ellipsenförmiges Plasma 28 erzeugt. Es ist Teil der Erfindung, dass, durch selektives Anordnen eines Plasmabrenners 10 innerhalb eines elektromagnetischen Mikrowellenfeldes in der Art, dass die relativen Intensitäten der elektrischen 24 und magnetischen 26 Feldkomponenten bei gewünschten Werten liegen, die Form des elliptischen Querschnitts so ausgewählt werden kann, dass eine gewünschte Balance zwischen dem Grad der Erwärmung der Probe innerhalb des Kerns des Plasmas und der Einfachheit der Injektion der Probe ins Plasma gehalten werden kann.
  • Mit Bezug auf 2 kann eine Resonanzblende 30 zum Aufnehmen eines Plasmabrenners 10 aus einem Metallabschnitt 32 mit einer Öffnung 34 hergestellt sein. Diese Blende kann innerhalb eines Wellenleiters angeordnet sein, wobei die Breite und Höhe des Wellenleiters an der Resonanzblende gleichzeitig reduziert sind. Die reduzierte Höhe repräsentiert einen Kondensator und die reduzierte Breite repräsentiert eine Spule. Die Kombination aus einem Kondensator und einer parallelen Spule bildet einen Schwingkreis aus. Die ungefähren Bedingungen für die Resonanz sind, dass der Umfang der die Blende 30 ausbildenden Öffnung 34 ein ganzzahliges Vielfaches der halben Wellenlänge lang ist. Dies ist nur eine ungefähre Angabe, weil die Resonanzfrequenz auch von der Dicke t des Abschnitts 32 abhängt (das heißt dessen Abmessung in Richtung eines Wellenleiters). In der Praxis ist das vorteilhafteste Verfahren, um die exakt benötigte Größe zu finden, eine Versuchsöffnung mit einem Umfang der Öffnung zu machen, der n-mal Halb-Wellenlängen lang ist, wobei n eine ganze Zahl ist; die exakte Resonanzfrequenz zu messen und dann die Länge L oder die Höhe H der Öffnung 34 zur exakt benötigten Frequenz linear zu skalieren. Idealerweise sollte eine derartige Öffnung keine scharfen Ecken haben, da diese unerwünschte Feld- und Oberflächenströmungskonzentrationen verursachen. Eine Lösung hierfür ist, die Enden 36 der Öffnung 34 entweder abgerundet oder halbrund auszubilden. Ein Verhältnis, das sich bei der Verwendung von Stickstoff als Trägergas als akzeptabel erwiesen hat, ist eine Länge L, die das 2,6-fache der Höhe H beträgt, obwohl klar ist, dass andere Verhältnisse ebenso effektiv sein können, sowohl unter Verwendung von Stickstoff als plasmabildendes Gas, als auch wenn andere plasmabildende Gase verwendet werden.
  • Ein Plasmabrenner 10 für die Verwendung bei der Erfindung kann einem bekannten "Mini-Brenner" ähneln, der für ICP-Anwendungen verwendet wird, mit Ausnahme seines der Länge nach erweitertem Außenrohr. Daher besteht ein Brenner 10 (der in 3 innerhalb eines Abschnitts 32 angeordnet dargestellt ist und der eine Resonanzblende innerhalb des Wellenleiters 40 vorsieht) aus drei konzentrischen Rohren 42, 44 und 46. Das Rohr 42 ist das Außenrohr, Rohr 44 ist das Zwischenrohr und Rohr 46 ist das Innenrohr. Das Rohr 44 umfasst einen Endteil mit größerem Durchmesser, um einen schmalen, ringförmigen Zwischenraum zwischen den Rohren 42 und 44 für den Durchgang des plasmabildenden Gases vorzusehen, das durch den Einlass 48 geleitet wird. Der schmale Zwischenraum verleiht dem plasmabildenen Gas eine erwünscht hohe Geschwindigkeit. Eine zusätzliche Gasströmung wird durch einen Einlass 50 zum Rohr 44 geleitet und dient dazu, ein aus dem plasmabildenen Gas ausgebildetes Plasma 54 einen angemessenen Abstand entfernt von den nahe gelegenen Enden der Rohre 44 und 46 zu halten, so dass diese Enden nicht überhitzen. Ein Trägergas, das darin mitgeführtes Probenaerosol enthält, wird durch einen Einlass 52 zum Innenrohr 46 zugeführt und beim Anregen bildet der Auslass des Rohres 46 einen Kanal 56 durch das Plasma 54 für das Probenaerosol, damit es durch die Wärme des Plasmas 54 verdampft, atomisiert und spektrochemisch angeregt wird. Wie bekannt ist, ist der Durchmesser des Innenrohrs 46 so ausgewählt, dass er der Strömungsrate des Trägergases und dem mitgeführten, durch einen Vernebler (oder andere Probeneinführungsmittel) erzeugten Probenaerosol angepasst ist, die bei dem Brenner 10 verwendet werden. Die Geschwindigkeit des Aerosol-beladenen Trägergases, das aus dem Innenrohr 46 austritt, muss genügend groß sein, um einen Kanal 56 durch das Plasma 54 zu bilden, aber nicht so groß, dass zu wenig Zeit bleibt, damit das Aerosol richtig verdampft, atomisiert und spektrochemisch angeregt wird. Man hat herausgefunden, dass ein Vernebler und eine Sprühkammer eines herkömmlichen, induktiv gekoppelten Argon-Plasmasystems zufriedenstellend mit der vorliegenden Erfindung arbeiten, wenn der Innendurchmesser des Rohrs 44 eines Brenners 10 im Bereich von 1,5 bis 2,5 mm liegt.
  • Der Brenner 10 kann aus Quartzglas ausgebildet sein und einen Außendurchmesser von ungefähr 12,5 mm aufweisen. Sein Außenrohr 42 kann in der Länge verlängert sein, so dass es ein kurzes Stück von einem Wellenleiter hervorragt. 3 zeigt einen Brenner, bei dem die drei Rohre 42, 44 und 46 dauerhaft miteinander verschmolzen sind, jedoch kann eine mechanische Anordnung vorgesehen sein, bei der die drei Rohre in ihren erforderlichen Positionen gehalten werden, wobei ein Rohr oder mehrere der Rohre entfernt und ersetzt werden kann/können, wie bekannt ist. Eine derartige Anordnung nennt man einen zerlegbaren Brenner. Der Brenner 10 kann aus anderen Materialen als Quarz ausgebildet sein, wie z.B. Aluminiumoxid, Bornitrid oder anderen wärmeresistenten Keramiken. Ein Ausführungsbeispiel wie in 3 versorgt ohne weiteres ein analytisch nützliches Plasma in einem plasmabildenen Gas bei Leistungspegeln, die von unter ungefähr 200 Watt bis über 1 kW reichen.
  • 4 zeigt einen Wellenleiter 60, der an beiden Enden 62, 64 abgeschlossen und so bemessen ist, dass ein Resonanzhohlraum vorgesehen ist, innerhalb dem ein Plasmabrenner 10 angeordnet ist (nur schematisch in dieser Figur gezeigt). Ein Magnetron 66 ist angeordnet, um die Mikrowellenenergie bei einer niedrigen Impedanzposition direkt in den Hohlraum 60 einzuführen, das heißt, nahe einer Position der Maximum-Magnetfeldstärke, wobei sich das Ende 64 eine Wellenlänge (λ) von dieser Position befindet und wobei das Ende 62 so angepasst ist, dass es den Blindwiderstand des Magnetrons aufhebt (beispielsweise kann das Ende 62 ungefähr 0,078 λ vom Magnetron 66 sein). Bei dieser Anordnung arbeitet der Wellenleiterhohlraum 60 im TE10n-Modus (wobei n eine ganze Zahl ist, die von der Hohlraumlänge abhängt), wobei der Plasmabrenner 10 axial zur Richtung der Magnetfeldkomponente ausgerichtet ist. Der Plasmabrenner 10 ist so angeordnet, dass ein Plasma sowohl durch die magnetische als auch die elektrische Feldkomponente angeregt wird. Die relativen Intensitäten jeder Komponente kann durch Verändern des Ortes des Plasmabrenners 10 geändert werden, wie durch 10' dargestellt. Wie hier vorstehend erläutert, hat dies eine Veränderung der Form des elliptischen Plasmas, das sowohl durch die elektrischen als auch die magnetischen Feldanregungskomponenten erzeugt wird, zur Folge, was somit eine Optimierung des Kompromisses zwischen der Möglichkeit, eine Probe in ein Plasma zu injizieren, und einer guten thermischen Kopplung zwischen dem Plasma und der Probe ermöglicht.
  • Experimentelle Ergebnisse
  • Das durch Okamoto in Japan entwickelte System ist wahrscheinlich der relevanteste Stand der Technik für die vorliegende Erfindung (und wird im Allgemeinen als das beste herkömmliche Mikrowellenplasmasystem erachtet). (Yukio Okamoto, "Annularshaped microwave induced nitrogen Plasma at atmospheric Pressure for emission spectroscopy of solutions", Analytical Sciences, 7(1991) 283-288; Yukio Okamoto, US-Patent 4,933,650 (12. Juni 1990); Yukio Okamoto, US-Patent 5,063,329 (5. November 1991)). Dies ist ein Mikrowellenplasmasystem auf Stickstoff-Basis, das bei einer Leistung von ungefähr 1 Kilowatt arbeitet. Eine Probeneinführung erfolgt über feuchtes (desolvatisiertes) Aerosol aus einem pneumatischen Vernebler. Das Analyseergebnis eines Okamoto-Systems für die Emissionsspektroskopie ist durch Ohata und Furta dargestellt (Masski Ohata und Naoki Furuta, "Evaluation of the detection capability of a high Power nitrogen microwave-induced Plasma for both atomic emission and mass spectrometry", Journal of Analytical Atomic Spectroscopy, 13 (1998) 447-453). Typische, berichtete Ergebnisse sind nachstehend in Tabelle 1 gezeigt. TABELLE 1
    ELEMENT ERFASSUNGSGRENZE Mikrogramm/Liter
    Aluminium 12
    Arsen 840
    Kadmium 24
    Kupfer 2,3
    Mangan 12
    Molybdän 180
    Blei 80
    Selen 430
    Zink 50
  • Zum Vergleich sind nachstehend in Tabelle 2 experimentell gemessene Erfassungsgrenzen für ein optisches Spektroskopiesystem gezeigt, das die vorliegende Erfindung verwendet. Das verwendete optische Spektrometer war ein Varian Vista MPX Polychromator. Dies ist ein 0,5 Meter Echellepolychromator mit einem 20 Picometer Bandpass. Der vorstehend beschriebene Mikrowellenhohlraum wurde an der Stelle angeordnet, die gewöhnlich durch den herkömmlichen, induktiv gekoppelten Plasmabrenner besetzt ist. Die Mikrowellenleistung betrug 1 Kilowatt. Die äußere Gasströmung betrug 15 l/min, wobei die Zwischen- und Probengasströmungsraten jeweils ungefähr 1 l/min betrugen. TABELLE 2
    ELEMENT ERFASSUNGSGRENZE Mikrogramm/Liter
    Aluminium 0,28
    Arsen 140
    Kadmium 9,6
    Kupfer 1,3
    Mangan 4,2
    Molybdän 2,0
    Blei 5,0
    Selen 67
    Zink 12
  • Wie aus einem Vergleich der Ergebnisse in den Tabellen 1 und 2 ersichtlich, bietet die Verwendung der vorliegenden Erfindung deutlich geringere Erfassungsgrenzen im Vergleich zum herkömmlichen System von Okamoto.
  • Außerdem bietet die vorliegende Erfindung die Möglichkeit an Luft zu arbeiten, wenn auch mit etwas schlechteren (d.h. höheren) Erfassungsgrenzen. Dies bietet den beträchtlichen Vorteil, dass die Notwendigkeit jeglicher Flaschengasversorgung eliminiert ist. Dieser Vorteil ist insbesondere wichtig in Fällen, bei denen das Spektrometerinstrument an entlegenen Orten betrieben wird, wie z.B. Bergbaustätten, oder in Ländern, wo es schwierig sein kann, eine Versorgung mit Flaschengas zu erhalten. Erfassungsgrenzen für einige Elemente wurden für ein derartiges System bestimmt und sind nachstehend in Tabelle 3 gezeigt. TABELLE 3
    Element Emissionslinie, nm Erfassungsgrenze, Mikrogramm/Liter
    Aluminium 396,152 0,54
    Barium 455,783 0,59
    Kadmium 228,803 67
    Kupfer 324,754 2,1
    Nickel 341,482 5,6
    Blei 405,783 21
    Strontium 421,552 2,1
  • Die hier beschriebene Erfindung ist anwendbar auf Variationen, Modifikationen und/oder Zusätze, abgesehen von den speziell beschriebenen, und es ist klar, dass die Erfindung all solche Variationen, Modifikationen und/oder Zusätze umfasst, die in den Schutzbereich der nachfolgenden Ansprüche fallen.

Claims (11)

  1. Plasmaquelle für ein Spektrometer, die aufweist einen Plasmabrenner (10) mit zumindest einem Durchlass (42-44-48) für die Zufuhr von plasmabildendem Gas, Mittel (60) zum Anlegen eines elektromagnetischen Mikrowellenfeldes an den Plasmabrenner, wobei das Mittel sowohl für die elektrische als auch die magnetische Feldkomponente des angelegten, elektromagnetischen Mikrowellenfeldes dem Plasmabrenner zugeordnet ist, um ein Plasma des plasmabildenden Gases anzuregen, dadurch gekennzeichnet, dass der Plasmabrenner relativ zu dem Mittel zum Anlegen eines elektromagnetischen Mikrowellenfeldes so angeordnet ist, dass er von einem Maximum der magnetischen Feldkomponente beabstandet ist.
  2. Plasmaquelle nach Anspruch 1, wobei der Plasmabrenner (10) eine Langsachse aufweist, die axial zur Richtung der Magnetfeldkomponente ausgerichtet ist.
  3. Plasmaquelle nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Mittel (60) zum Anlegen eines elektromagnetischen Mikrowellenfeldes einen Wellenleiter aufweist.
  4. Plasmaquelle nach Anspruch 3, wobei der Wellenleiter (60) ein Resonanzhohlraum ist.
  5. Plasmaquelle nach Anspruch 4, wobei das Mittel (60) zum Anlegen eines elektromagnetischen Mikrowellenfeldes ferner eine Mikrowellenquelle (66) aufweist, die die Mikrowellenenergie direkt in den Resonanzhohlraum zuführt.
  6. Plasmaquelle nach Anspruch 5, wobei die Mikrowellenquelle (66) ein Magnetron ist.
  7. Plasmaquelle nach einem der Ansprüche 3 bis 6, mit Mitteln zum Zuführen und Extrahieren eines gasförmigen Kühlmittels in den und aus dem Wellenleiter (60) oder Resonanzhohlraum, wobei der Wellenleiter oder Resonanzhohlraum einen Kanal für das Kühlmittel vorsieht.
  8. Verfahren zum Erzeugen eines Plasmas für die spektrochemische Analyse einer Probe, umfassend das relative Anordnen eines Plasmabrenners (10) innerhalb eines elektromagnetischen Mikrowellenfeldes sowohl für die elektrische als auch für die magnetische Feldkomponente des elektromagnetischen Mikrowellenfeldes, das mit beiden Feldkomponenten gleichzeitig an den Plasmabrenner anzulegen ist, um ein Plasma in einem durch den Brenner strömenden, plasmabildenden Gas anzuregen, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetfeldkomponente kein Feldmaximum ist.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei der Schritt des relativen Anordnens ein axiales Ausrichten des Brenners (10) zur Richtung der Magnetfeldkomponente umfasst.
  10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der Schritt des relativen Anordnens das Anordnen des Brenners (10) an einer Teilstrecke zwischen der Position eines Magnetfeldmaximums und der Position eines elektrischen Feldmaximums umfasst.
  11. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, wobei der Plasmabrenner (10) so angeordnet ist, dass die elektrischen und magnetischen Feldkomponenten ein Plasma von im Allgemeinen elliptischem Querschnitt ausbilden.
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