DE602004005388D1 - Vorrichtung und Verfahren zum Messen und Analysieren der Form eines Objekts, sowie entsprechendes Programm - Google Patents

Vorrichtung und Verfahren zum Messen und Analysieren der Form eines Objekts, sowie entsprechendes Programm

Info

Publication number
DE602004005388D1
DE602004005388D1 DE602004005388T DE602004005388T DE602004005388D1 DE 602004005388 D1 DE602004005388 D1 DE 602004005388D1 DE 602004005388 T DE602004005388 T DE 602004005388T DE 602004005388 T DE602004005388 T DE 602004005388T DE 602004005388 D1 DE602004005388 D1 DE 602004005388D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
analyzing
measuring
shape
corresponding program
program
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
DE602004005388T
Other languages
English (en)
Other versions
DE602004005388T2 (de
Inventor
Masayuki Nara
Makoto Abbe
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2003316852A external-priority patent/JP4323268B2/ja
Priority claimed from JP2003316829A external-priority patent/JP4323267B2/ja
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Publication of DE602004005388D1 publication Critical patent/DE602004005388D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE602004005388T2 publication Critical patent/DE602004005388T2/de
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/08—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness for measuring thickness
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/50—Depth or shape recovery
    • G06T7/55—Depth or shape recovery from multiple images
    • G06T7/564—Depth or shape recovery from multiple images from contours

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Complex Calculations (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
DE602004005388T 2003-09-09 2004-09-08 Vorrichtung und Verfahren zum Messen und Analysieren der Form eines Objekts, sowie entsprechendes Programm Active DE602004005388T2 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003316852A JP4323268B2 (ja) 2003-09-09 2003-09-09 形状測定装置、形状測定方法、形状解析装置
JP2003316829 2003-09-09
JP2003316852 2003-09-09
JP2003316829A JP4323267B2 (ja) 2003-09-09 2003-09-09 形状測定装置、形状測定方法、形状解析装置、形状解析プログラムおよび記録媒体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE602004005388D1 true DE602004005388D1 (de) 2007-05-03
DE602004005388T2 DE602004005388T2 (de) 2007-07-12

Family

ID=34138013

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE602004017513T Active DE602004017513D1 (de) 2003-09-09 2004-09-08 Vorrichtung und Verfahren zur Formmessung
DE602004005388T Active DE602004005388T2 (de) 2003-09-09 2004-09-08 Vorrichtung und Verfahren zum Messen und Analysieren der Form eines Objekts, sowie entsprechendes Programm

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE602004017513T Active DE602004017513D1 (de) 2003-09-09 2004-09-08 Vorrichtung und Verfahren zur Formmessung

Country Status (4)

Country Link
US (2) US7188046B2 (de)
EP (2) EP1515115B1 (de)
CN (1) CN100375884C (de)
DE (2) DE602004017513D1 (de)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5438988B2 (ja) * 2009-02-17 2014-03-12 株式会社ミツトヨ 測定システムおよび干渉計
GB2474893A (en) * 2009-10-30 2011-05-04 Taylor Hobson Ltd Surface measurement instrument and method
US20120265487A1 (en) * 2011-04-15 2012-10-18 Bruker Nano, Inc. Method and Apparatus of Analyzing Sample Surface Data
CN105320813B (zh) * 2015-11-12 2018-12-04 汪月银 一种实际相贯线截面生成的方法及装置
CN106597854B (zh) * 2016-12-28 2021-08-24 爱德森（厦门）电子有限公司 一种物体姿态自适应调整伺服控制装置及方法
CN108895949B (zh) * 2018-10-10 2024-05-14 河北南玻玻璃有限公司 平板玻璃弯曲度的检测装置及检测方法
CN110285781B (zh) * 2019-07-10 2023-09-29 桂林电子科技大学 一种相对于基准面的平面平行度快速评定方法
CN110274564B (zh) * 2019-07-31 2021-10-26 江苏南方光纤科技有限公司 一种高层设备的同心度校准方法
CN110823050B (zh) * 2019-11-28 2021-07-13 中国铁建重工集团股份有限公司 一种采棉机上凸轮装配检测装置及其使用方法
US11486893B2 (en) * 2020-10-06 2022-11-01 Pixart Imaging Inc. Optical sensing system and optical navigation system

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN86205743U (zh) * 1986-08-11 1987-12-09 辽宁省锦州市交通局公路处 公路路面拱度仪
JPH01220440A (ja) * 1988-02-29 1989-09-04 Sumitomo Heavy Ind Ltd ウエハ平坦度制御方法及びその装置
JPH0660817B2 (ja) * 1989-03-27 1994-08-10 株式会社ミツトヨ 真直度測定方法及び装置
US5502566A (en) * 1993-07-23 1996-03-26 Wyko Corporation Method and apparatus for absolute optical measurement of entire surfaces of flats
JP2591913B2 (ja) 1994-09-20 1997-03-19 株式会社野上技研 直角測定器
JPH09243351A (ja) * 1996-03-06 1997-09-19 Mitsutoyo Corp 直角度測定装置
JP4052489B2 (ja) * 1997-03-28 2008-02-27 フジノン株式会社 平面形状測定解析方法
WO2003016815A1 (en) * 2001-08-20 2003-02-27 Zygo Corporation In-situ mirror characterization
JP3913519B2 (ja) 2001-10-17 2007-05-09 株式会社ミツトヨ 走査型間隙量検出による真直度測定方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE602004017513D1 (de) 2008-12-11
DE602004005388T2 (de) 2007-07-12
EP1515115B1 (de) 2007-03-21
EP1742018A3 (de) 2007-02-21
US20050065751A1 (en) 2005-03-24
US7188046B2 (en) 2007-03-06
EP1742018A2 (de) 2007-01-10
US7483807B2 (en) 2009-01-27
US20070112541A1 (en) 2007-05-17
EP1515115A3 (de) 2005-04-13
CN100375884C (zh) 2008-03-19
EP1742018B1 (de) 2008-10-29
EP1515115A2 (de) 2005-03-16
CN1595047A (zh) 2005-03-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE602005007823D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen der Form eines Objekts
DE602005006860D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen von Teilentladungen
DE602008001397D1 (de) Vorrichtung, Verfahren und Programm zum Messen der Oberflächenbeschaffenheit
DE60320718D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Oberflächenprofilen
DE60327506D1 (de) Verfahren und Vorrichtung für Ultraschallthermographieuntersuchung
DE602005005550D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ermüdungsprüfung
DE10291293T1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen und Schätzen der Wahrscheinlichkeit von Taktschrägen
DE60213339D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Messen der Konzentrationen von Fluid-Komponenten
DE502005002548D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur interferometrischen Radarmessung
DE60212620D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Analysieren eines Probenstoffgemisches
DE602004011785D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur messung der reifengleichförmigkeit
DE60333146D1 (de) Gerät, Programm und Verfahren zur Netzwerkerkennung und Konfiguration eines Gerätes
DE50213197D1 (de) Verfahren und Schaltungsanordnung zum Messen der Entfernung eines Gegenstandes
DE69939436D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur durchführung eines gesichtfeldtestes und computerprogramm zum verarbeiten der resultate davon
DE50305912D1 (de) Verfahren zur zerstörungsfreien prüfung eines bauteils
DE602004011435D1 (de) Vorrichtung und Verfahren für die Bestimmung der Position eines drahtlosen Endgeräts
DE50214912D1 (de) Verfahren zum bestimmen von eigenschaften eines koordinatenmessgeräts sowie testobjekt hierzu
DE602004014684D1 (de) Verfahren und Vorrichtungen zum Messen physikalischer Grössen
DE602005006953D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Schätzung eines Kabelbaums sowie Programm und Aufzeichnungsmedium dafür
DE60304078D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Durchfürung von Interfrequenz-Messungen
DE10239435B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur optischen Distanzmessung
DE50304832D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Positionieren eines optischen Bauteils
DE50312666D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur distanzmessung
DE602005017115D1 (de) Verfahren und Programm zur Schätzung der Unsicherheit von Messmaschinen
DE60234282D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Messen und zum Evaluieren der Materialstärke durch Detektion von geladenen Partikeln

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition