DE60114310T2 - Durch UV-Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung und durch UV-Strahlung aushärtbarer druckempfindlicher Klebefilm - Google Patents

Durch UV-Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung und durch UV-Strahlung aushärtbarer druckempfindlicher Klebefilm Download PDF

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Description

  • Gebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung und eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebefolie, die durch Beschichten eines Trägers mit der Klebstoffzusammensetzung erhalten wurde. Insbesondere betrifft die Erfindung eine druckempfindliche Klebefolie, die zur Verarbeitung von Präzisionsteilen wie beispielsweise Halbleiterwafern verwendet wird.
  • Hintergrund der Erfindung
  • Halbleiterwafer wie beispielsweise Siliciumwafer und Galliumarsenidwafer werden als Wafer mit großen Durchmessern hergestellt und in kleine Chips geschnitten (in Plättchen geschnitten), wobei sich nachfolgend der Montageschritt anschließt. In diesem Fall wird der Halbleiterwafer, der zuvor an eine druckempfindliche Klebefolie (Plättchenfolie) angeklebt wurde, nacheinander einem Zerkleinerungsschritt in Plättchen, einem Waschschritt, einem Trocknungsschritt, einem Quellschritt, einem Aufnahmeschritt und einem Montageschritt unterzogen.
  • Das Zerschneiden in Plättchen wird unter Besprühen des Wafers mit unter hohem Druck stehenden Wasser durchgeführt, um Staub oder Hitze, die vom Zerkleinern in Plättchen herrühren, zu entfernen.
  • Der Plättchenfilm, der für die obigen Zwecke verwendet wird, muß eine solche Klebefestigkeit aufweisen, dass der Wafer (Chip) sich während des Zerkleinerungsvorgangs in kleine Plättchen nicht ablöst und andererseits muss er auch eine solch geringe Klebefestigkeit aufweisen, dass der Chip während des Aufnahmevorgangs einfach abgelöst werden kann. Darüber hinaus wird von dem Plättchenfilm erwartet, dass er keinen klebenden Rückstand auf der Oberfläche des Chips hinterläßt und dass er keine Flecken auf dem Chip erzeugt.
  • Um dem oben ausgeführten Rechnung zu tragen, wird eine Klebefolie mit einer durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebeschicht als Plättchenfolie verwendet, welche in der Lage ist, ihre Klebefestigkeit zu verringern oder zu verlieren. Der durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Kleber enthält als Hauptkomponenten eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffkomponente und einen Photopolymerisationsinitiator.
  • Im Gebiet der Elektrotechnik gibt es einen ständigen Bedarf nach einer Miniaturisierung von Chips. Mit der Miniaturisierung von Chips nimmt die Zeit, welche zum Zerkleinern des Wafers in Plättchen benötigt wird, zu. Das heißt, um eine große Zahl kleiner Chips aus einem Wafer der gleichen Größe herzustellen, sollte der Abstand zwischen den Linien entlang welchen das Zerschneiden in Plättchen erfolgt, verinngert werden, die Zahle der Linien entlang welchen das Zerschneiden in Plättchen erfolgt, sollte erhöht werden und die zum Zerschneiden in Plättchen benötigte Zeit verlängert sich. Als Ergebniss dessen kommt die Plättchenfolie für einen längeren Zeitraum in Kontakt mit Waschwasser.
  • Wenn das Zerschneiden in Plättchen wie oben beschrieben verlängert wird, wird die Klebefestigkeit der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebeschicht auch dann nicht ausreichend verringert, wenn die Plättchenfolie nach dem Zerschneiden in Plättchen im Aufnahmeschritt mit ultravioletten Licht bestrahlt wird und es wird deshalb schwierig die Chips aufzunehmen.
  • Die europäische Patentanmeldung Nr. 01 104 740.4 (Veröffentlichungs nummer EP 1 128 426 ) wird nach Artikel 53 (4) EPÜ im Hinblick auf die Unterzeichnerstaaten Deutschland, Frankreich und Vereinigtes Königreich vom Stand der Technik umfasst.
  • Aufgabe der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung wurde angesichts des wie oben erwähnten Stands der Technik gemacht und es ist eine Aufgabe der Erfindung eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung bereitzustellen, die in der Lage ist die Eigenschaften zur Aushärtung durch ultraviolette Strahlung auch dann beizubehalten, wenn die Plättchenfolie, welche die Klebstoffzusammensetzung verwendet, über einen langen Zeitraum mit Waschwasser in Kontakt gebracht wird und eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebefolie, die durch Beschichten eines Trägers mit der druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung erhalten wird.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die erfindungsgemäße, durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung umfasst eine druckempfindliche Acrylklebstoffkomponente, eine durch ultraviolette Strahlung polymerisierbare Komponente und einen Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp. Im Hinblick auf die Unterzeichnerstaaten Deutschland, Frankreich und Vereinigtes Königreich ist der Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp nicht Bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphinoxid.
  • Der Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp ist in der vorliegenden Erfindung vorzugsweise eine Acylphosphinoxidverbindung, stärker bevorzugt eine Verbindung, die eine CO-PO-Bindung in einem Molekül aufweist, und insbesondere bevorzugt eine Verbindung, die durch die folgende Formel dargestellt wird:
    Figure 00040001
    worin R1 eine gegebenenfalls substituierte aromatische Gruppe ist, und R2 und R3 jeweils unabhängig eine beliebige Gruppe ausgewählt aus einer Phenylgruppe, einer Alkylgruppe, einer Alkoxygruppe und aromatischen Acylgruppe sind, wobei jede dieser Gruppen gegebenenfalls substituiert sein kann.
  • In der erfindungsgemäßen, durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung ist der Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp vorzugsweise in einer Menge von 0,005 bis 20 Gewichtsanteilen in Bezug auf 100 Gewichtsanteile der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffverbindung enthalten.
  • Die erfindungsgemäße, durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebefolie wird durch Beschichten eines Trägers mit der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung erhalten.
  • Ausführliche Beschreibung der Erfindung
  • Im Folgenden wird die vorliegende Erfindung ausführlich beschrieben.
  • Die erfindungsgemäße, durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung umfasst eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffkomponente und einen Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp. Als durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffkomponente kann eine Komponente, welche als Hauptbestandteile einen Acrylklebstoff und eine durch ultraviolette Strahlung polymerisierbare Verbindung enthält, verwendet werden.
  • Als durch ultraviolette Strahlung polymerisierbare Verbindung werden für die durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffkomponente weithin verwendete Verbindungen benutzt, wie beispielsweise eine Verbindung mit geringem Molekulargewicht, die wenigstens zwei photopolymerisierbare Kohlenstoff-Kohlenstoff-Doppelbindungen in einem Molekül aufweist und so in der Lage ist, durch Lichteinstrahlung ein dreidimensionales Netzwerk zu bilden, wie es in den offengelegten japanischen Patenten mit den Veröffentlichungs-Nrn. 196956/1985 und Nr. 223139/1985 beschrieben ist. Beispiele für solche Verbindungen schließen Trimethylolpropantriacrylat, Tetramethylolmethantetraacrylat, Pentaerythritol, Triacrylat, Pentaerythritoltetraacrylat, Dipentaerythritolmonohydroxypentaacrylat, Dipentaerythritolhexaacrylat, 1,4-Butylenglycoldiacrylat, 1,6-Hexandioldiacrylat, Polyethylenglycoldiacrylat und kommerziell erhältliche Oligoesteracrylate ein.
  • Zusätzlich zu den oben erwähnten Acrylatverbindungen kann auch ein Urethanacrylatoligomer als durch ultraviolette Strahlung polymerisierbare Verbindung eingesetzt werden. Das Urethanacrylatoligomer kann durch Umsetzen eines Urethanprepolymers mit Isocyanat-Ende, welches durch die Reaktion einer Polyolverbindung vom Polyester- oder Polyethertyp mit einer Polyisocyanatverbindung (z.B. 2,4-Tolylendiisocyanat, 2,6-Tolylendiisocyanat, 1,3-Xylylendiisocyanat, 1,4-Xylylendiisocyanat, Diphenylmethan-4,4-diisocyanat) erhalten wird, mit einem Acrylat oder einem Methacrylat mit einer Hydroxylgruppe (z.B. 2-Hydroxylethylacrylat, 2-Hydroxyethylmethacrylat, 2-Hydroxypropylacrylat, 2-Hydroxypropylmethacrylat, Polyethylenglycolacrylat, Polyethylenglycolmethacrylat) erhalten werden.
  • Das Mengenverhältnis zwischen dem Acrylklebstoff und der durch ultraviolette Strahlung polymerisierbaren Verbindung in der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffkomponente ist wie folgt. Die durch ultraviolette Strahlung polymerisierbare Verbindung wird wünschenswerterweise in einer Menge von 50 bis 200 Gewichtsanteilen in Bezug auf 100 Gewichtsanteile des druckempfindlichen Acrylklebstoffs verwendet. In diesem Fall hat die sich ergebende druckempfindliche Klebefolie eine hohe anfängliche Klebefestigkeit und nach der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht wird die Klebefestigkeit in großem Maße herabgesetzt. Daher kann die Trennung zwischen dem Anhaftenden und der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Arcylklebeschicht einfach durchgeführt werden und das Anhaftende kann aufgenommen werden.
  • Die durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffkomponente kann ein durch ultraviolette Strahlung aushärtbares Copolymer mit einer durch ultraviolette Strahlung polymerisierbaren Gruppe in seiner Seitenkette umfassen. Ein solches durch ultraviolette Strahlung aushärtbares Copolymer weist sowohl Klebeeigenschaften als auch Eigenschaften zur Aushärtung mit ultravioletter Strahlung auf. Das durch ultraviolette Strahlung aushärtbare Copolymer mit einer durch ultraviolette Strahlung polymerisierbaren Gruppe in seiner Seitenkette ist beispielsweise in den offengelegten japanischen Patenten mit den Veröffentlichungs-Nrn. 32946/1993 und Nr. 27239/1996 ausführlich beschrieben.
  • Der durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Acrylklebstoff weist gegenüber dem Anzuhaftenden vor der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht eine ausreichende Klebefestigkeit auf, aber die Klebefestigkeit ist nach der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht deutlich herabgesetzt. Das bedeutet, dass das Anzuhaftende mit ausreichender Klebefestigkeit vor der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht gehalten werden kann, aber nach der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht kann das Anzuhaftende leicht abgelöst werden.
  • Die erfindungsgemäße durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung umfasst derartige eine wie oben beschriebene durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffkomponente und einen Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp.
  • Der Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp ist eine Verbindung, die Phosphor in ihrem Molekül enthält und, wenn die Verbindung gegenüber ultraviolettem Licht exponiert wird, wird ein Radikal mit der Fähigkeit zur Polymerisationinitiation gebildet. Wenn der Photopolymerisationsinitiator dem Phosphortyp zugehörig ist, ist eine Acylphosphinoxidverbindung bevorzugt, wobei eine Verbindung mit einer CO-PO-Bindung in ihrem Molekül stärker bevorzugt ist. Als Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp wird insbesondere bevorzugt eine Verbindung, die durch die folgende Formel dargestellt ist, eingesetzt.
  • Figure 00070001
  • In der obigen Formel ist R1 eine gegebenenfalls substituierte aromatische Gruppe, vorzugsweise Dimethylphenyl, Trimethylphenyl, Trimethoxyphenyl, Dimethoxyphenyl, Phenyl oder dergleichen.
  • R2 und R3 sind jeweils unabhängig eine beliebige Gruppe aus einer Phenylgruppe, einer Alkylgruppe, einer Alkoxygruppe und einer aromatischen Acylgruppe, wobei jede dieser Gruppen gegebenenfalls substituiert sein kann.
  • Die gegebenenfalls substituierte Phenylgruppe ist vorzugsweise Dimethylphenyl, Trimethylphenyl, Trimethoxyphenyl, Dimethoxyphenyl, Phenyl oder dergleichen, insbesondere bevorzugt Phenyl.
  • Die gegebenenfalls substituierte Alkylgruppe ist vorzugsweise 2-Methylpropyl, 2,4,4-Trimethylpentyl und dergleichen, insbesondere bevorzugt 2,4,4- Trimethylpentyl.
  • Die gegebenenfalls substituierte Alkoxygruppe ist insbesondere bevorzugt Ethoxy.
  • Die gegebenenfalls substituierte aromatische Acylgruppe ist vorzugsweise eine R1-CO-Gruppe (für R1 gilt die gleiche Bedeutung wie oben beschrieben).
  • Entsprechend schließen Beispiele für die erfindungsgemäß besonders bevorzugten Photopolymerisationsinitiatoren vom Phosphortyp die folgenden Verbindungen ein.
  • Bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphinoxid (im Hinblick auf den Unterzeichnerstaat Portugal)
    Figure 00080001
  • 2,4,6-Trimethylbenzoyldiphenylphosphinoxid
    Figure 00080002
  • Bis(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethylpentylphosphinoxid
    Figure 00090001
  • Die oben aufgeführten Photopolymerisationsinitiatoren vom Phosphortyp können einzeln oder in Kombination mit zwei oder mehr Arten verwendet werden und sie können in Kombination mit anderen bekannten Photopolymerisationsinitiatoren verwendet werden.
  • Beispiele für Photopolymerisationsinitiatoren, die in Kombination einsetzbar sind, schließen Photopolymerisationsinitiatoren, wie beispielsweise eine Benzoinverbindung, eine Acetophenonverbindung, eine Titanocenverbindung, eine Thioxanthonverbindung und eine Peroxidverbindung ein; und Fotosensibilisierer, wie beispielsweise Amine und Chinone. Insbesondere können erwähnt werden 1-Hydroxycyclohexylphenylketon, 2-Hydroxy-2-mehtyl-1-phenylpropan-1-on, 2,2-Dimemethoxy-1,2-diphenylethan-1-on, Benzoin, Benzoinmethylether, Benzoinethylether, Benzoinisopropylether, Benzyldiphenylsulfid, Tetramethylthiurammonosulfid, Azobisisobutyronitril, Dibenzyl, Diacetyl, β-Chloranthrachinon und dergleichen.
  • In der erfindungsgemäßen durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung ist der Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp in einer Menge von vorzugsweise 0,005 bis 20 Gewichtsanteilen, stärker bevorzugt von 0,01 bis 10 Gewichtsanteilen, insbesondere bevorzugt von 0,05 bis 1 Gewichtsanteil im Hinblick auf 100 Gewichtsanteile der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffkomponente enthalten.
  • Bei Verwendung anderer Photopolymerisationsinitiatoren in Kombination können die Photopolymerisationsinitiatoren in einer Gesamtmenge von vorzugsweise nicht mehr als 20 Gewichtsanteilen, stärker bevorzugt von nicht mehr als 10 Gewichtsanteilen, insbesondere bevorzugt nicht mehr als 3 Gewichtsanteilen im Hinblick auf 100 Gewichtsanteile der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffkomponente enthalten sein.
  • Der Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp kann die Eigenschaften zur Aushärtung durch ultraviolette Strahlung der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffkomponente beibehalten, auch wenn er über einen langen Zeitraum mit Waschwasser in Kontakt gebracht wird.
  • Eine derartige, wie oben erwähnte, durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung weist vor Bestrahlung mit ultraviolettem Licht eine ausreichende Klebefestigkeit gegenüber dem Anzuhaftenden auf, aber die Klebefestigkeit wird nach der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht deutlich herabgesetzt. Das heißt, vor der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht sind die Klebefolien und das Anzuhaftende mit ausreichender Klebefestigkeit verbunden, so dass das Anzuhaftende auf der Klebefolie gehalten werden kann, aber nach Bestrahlung mit ultraviolettem Licht kann die Klebefolie leicht von dem Anzuhaftenden, welches in Plättchen geschnitten wurde, abgelöst werden.
  • Um das elastische Modul der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung zu verbessern und um der Zusammensetzung eine größer Kohäsionskraft zu verleihen, kann ein Verknüpfungsmittel zugesetzt werden. Das Verknüpfungsmittel trägt zur dreidimensionalen Verknüpfung der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung bei und verleiht der Zusammensetzung ein ausreichend elastisches Modul und eine ausreichend Kohäsionskraft. Als Verknüpfungsmittel kann eine bekannte Verbindung, wie beispielsweise eine Polyisocyanatverbindung, eine Polyepoxyverbindung, eine Polyaziridinverbindung oder eine Chelatverbindung eingesetzt werden. Beispiele für die Polyisocyanatverbindungen schließen Toluylendiisocyanat, Diophenylmethandiisocyanat, Hexamethylendiisocyanat, Isophorondiisocyanat und Additionsprodukte dieser Polyisocyanate und mehrere Hydroxylgruppen enthaltenden Alkoholen ein. Beispiele für die Polyepoxyverbindungen schließen Ethylenglycoldiglycidylehter und Diglycidylterephthalatacrylat ein. Beispiele für die Polyaziridinverbindungen schließen Tris-2,4,6-(1-aziridinyl)-1,3,5-triazin und Tris(1-(2-methyl)aziridinyl)triphosphatriazin ein. Beispiele für die Chelatverbindungen schließen Ethylacetoacetataluminiumdiisopropylat und Aluminiumtris(ethylacetoacetat) ein. Diese Verbindungen können einzeln oder als Gemisch aus diesen verwendet werden.
  • Das Verknüpfungsmittel wird in einer Menge von vorzugsweise 0,005 bis 20 Gewichtsanteilen, stärker bevorzugt von 0,01 bis 10 Gewichtsanteilen im Hinblick auf 100 Gewichtsanteile der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung zugegeben.
  • Die erfindungsgemäße durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung wird durch sachgemäßes Mischen der obigen Komponenten und anderer gegebenenfalls zugegebener Komponenten hergestellt.
  • Die erfindungsgemäße durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebefolie wird durch Beschichten eines Trägers mit der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung erhalten.
  • Es gibt keine spezifische Beschränkung auf einen Träger, verschiedene Folien mit einer dünnen Schicht, wie zum Beispiel Papier, Metallfolien, synthetische Harzfilme, sind anwendbar. Unter den Gesichtspunkten der Wasserwiderstandsfähigkeit und Hitzewiderstandsfähigkeit sind unter diesen synthetische Harzfilme bevorzugt. Beispiele für synthetische Harzfilme schließen Polyolefinfilme, wie zum Beispiel Polyethylenfilm, Polypropylenfilm, Polybutenfilm und Polymethylpentenfilm ein und andere Filme, wie beispielsweise Polyvinylchloridfilm, Polyvenylidenchloridfilm, Polyethylentetraphthalatfilm, Polyethylennaphthalatfilm, Polybutylenterephthalatfilm, Polybutadienfilm, Polyurethanfilm, Ethyl/Vinaylacetatcopolymerfilm, Ethylen/Methacrylsäurecopolymerfilm, Ethylen/Methacrylatcopolymerfilm, Ionomerfilm, Polystyrolfilm und Polyamidfilm.
  • Die Stärke des Trägermaterials liegt üblicherweise in einem Bereich von 5 bis 300 μm, vorzugsweise in einem Bereich von 10 bis 200 μm. Das Trägermaterial kann ein Produkt mit einer einzigen Schicht von einem beliebigen der verschiedenen oben genannten Filme oder ein Laminat der verschiedenen oben genannten Filme sein.
  • Um die Klebefestigkeitseigenschaften zwischen dem Träger und der druckempfindlichen Klebstoffschicht zu steigern, kann die oberseitige Oberfläche des Trägers, nämlich die Oberfläche, die mit der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebeschicht versehen wird, einer Koronabehandlung unterzogen werden oder sie kann mit einer anderen Schicht, wie einer Grundlackierung, versehen werden.
  • Die erfindungsgemäße, durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebefolie kann durch Beschichten des Trägers mit der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung in einer geeigneten Stärke durch allgemein bekannte Mittel beschichtet werden, wie zum Beispiel durch eine Walzenstreichmaschine, eine Rakelstreichmaschine, eine Tiefdruckmaschine, eine Plastschmelze auftragende Beschichtungsmaschine oder eine Umkehrbeschichtungsmaschine, und anschließendes Trocknen der aufgezogenen Schicht. Die Stärke der Klebstoffschicht, die aus der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung gebildet wurde, liegt gewöhnlich in einem Bereich von 1 bis 100 μm, vorzugsweise in einem Bereich von 5 bis 50 μm. Wenn Bedarf besteht kann nach der Herstellung eine Abziehfolie auf der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffschicht angebracht werden, um so die Klebstoffschicht zu schützen.
  • Als nächstes wird die Anwendung der erfindungsgemäßen durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Kiebstofffolie in der Verarbeitung von Halbleiterwafern kurz beschrieben.
  • Wenn ein Abziehfolie auf der oberseitigen Oberfläche der druckempfindlichen Klebefolie bereitgestellt wird, wird die Abziehfolie zuerst entfernt, anschließend wird die druckempfindliche Klebefolie in einer solchen Weise platziert, dass sich die druckempfindliche Klebstoffseite auf der oberen Seite befindet und ein Halbleiterwafer, der in Stücke geschnitten werden soll, wird auf der Oberfläche der druckempfindlichen Klebefolie angeklebt. Anschließend wird der Wafer in diesem Zustand nacheinander dem Zerschneiden in Plättchen, dem Waschen und dem Trocknen unterzogen. Während dieser Schritte sind die Waferchips ausreichend angeklebt und an der druckempfindlichen Klebstofffolie festgehalten, so dass die Waferchips während dieser Schritte nicht von der druckempfindlichen Klebstofffolie abfallen.
  • Nachfolgend wird jeder Waferchip von der druckempfindlichen Klebstofffolie aufgenommen und auf einen gegebenen Träger montiert. Vor oder während des Aufnahmeschritts wird die druckempfindliche Klebstoffschicht der druckempfindlichen Klebstofffolie mit ultraviolettem Licht bestrahlt, um die durch ultraviolette Strahlung polymerisierbare Komponente, die in der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffschicht enthalten ist, zu polymerisieren. Wenn die durch ultraviolette Strahlung polymerisierbare Komponente polymerisiert, wird durch die Bestrahlung der druckempfindlichen Klebstoffschicht mit ultraviolettem Licht die Klebefestigkeit des druckempfindlichen Klebestoffs stark herabgesetzt und nur eine sehr geringe Klebefestigkeit verbleibt.
  • Die Bestrahlung der druckempfindlichen Klebestofffolien mit ultraviolettem Licht wird vorzugsweise von der Oberflächeseite des Trägers ausgeführt, auf welcher die druckempfindliche Klebstoffschicht nicht bereitgestellt ist. In diesem Fall muss der Träger Lichtdurchlässigkeitseigenschaften besitzen.
  • Wenn es nötig ist wird die druckempfindliche Klebstofffolie anschließend expandiert, um den Abstand zwischen den Chips zu vergrößern. Anschließend werden die Chips unter Verwendung einer Aufnahmevorrichtung, wie zum Beispiel einer Saughülse, aufgenommen und dann auf einem gegebenen Träger montiert.
  • Wirkung der Erfindung
  • Erfindungsgemäß werden die Eigenschaften zur ultravioletten Aushärtung der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffkomponente sogar dann beibehalten, wenn die Klebstofffolie während des Zerschneidens in Plättchen über einen langen Zeitraum mit Waschwasser in Kontakt gebracht wird und die Aufnahme der Chips kann problemlos erreicht werden.
  • Beispiel
  • Die vorliegende Erfindung wird ferner unter Bezugnahme auf die folgenden Beispiele beschrieben, aber dies sollte so ausgelegt werden, dass die Erfindung keinesfalls durch diese Beispiele beschränkt wird.
  • In den folgenden Beispielen und Vergleichsbeispielen wurden „Klebefestigkeit vor der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht", „Klebefestigkeit nach der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht (ohne Exposition gegenüber Waschwasser)" und „Klebefestigkeit nach der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht (einschließlich Exposition gegenüber Waschwasser)" in der folgenden Weise evaluiert.
  • Klebefestigkeit vor Bestrahlung mit ultraviolettem Licht
  • Unter Verwendung der sowohl in den Beispielen als auch in den Vergleichsbeispielen erhaltenen druckempfindlichen Klebefolien wurde die 180° Haftfestigkeit (mN/25 mm) unter den folgenden Bedingungen gemessen und die so gemessene Haftfestigkeit wurde als Klebefestigkeit vor der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht herangezogen.
  • Bedingungen zur Messung der 180° Haftfestigkeit
  • Auf der Klebefolie, die auf einer geschliffenen Oberfläche (Ra: 0,16–0,20 μm) eines Siliciumwafers platziert war, wurde eine 2 kg Gummirolle in einer Atmosphäre von 23°C und 65% RH hin und her bewegt, um die Klebefolie auf den Siliciumwafer zu aufzutragen und nachdem man sie für 20 min stehen ließ, wurde die Haftfestigkeit der druckempfindlichen Klebefolie bei einer Schällgeschwindigkeit von 300 mm/min durch die Verwendung eines universellen Zugprüfgeräts (Handelsname: TENSILON/UTM-4-100, hergestellt durch Orientec K. K.) in Übereinstimmung mit JIS-Z0237 gemessen.
  • Klebefestigkeit nach Bestrahlung mit ultraviolettem Licht (ohne Exposition gegenüber Waschwasser)
  • Jede der in den Beispielen und Vergleichsbeispielen erhaltenen druckempfindlichen Klebefolien, deren Klebeschichten nach außen exponiert waren, wurde mit ultraviolettem Licht von der Trägerseite her mittels eines Adwill RAT2000 m/8 bestrahlt (Handelsname, hergestellt durch die Lintec Corporation, Lichtintensität: 220 mW/cm2, Lichtmenge: 160 mJ/cm2, Zuführrate an Stickstoff: 35 l/min).
  • Unter Verwendung der wie oben behandelten druckempfindlichen Klebefolien wurde die 180° Haftstärke (nM/25 mm) unter den gleichen Bedingungen wie oben beschrieben gemessen und die so gemessene Haftstärke wurde als Klebefestigkeit nach der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht (ohne Exposition gegenüber Waschwasser) herangezogen.
  • Klebefestigkeit nach Bestrahlung mit ultraviolettem Licht (einschließlich Exposition gegenüber Waschwasser)
  • Jede der in den Beispielen und Vergleichsbeispielen erhaltenen druckempfindlichen Klebefolien, wurde gegenüber Waschwasser unter den folgenden Bedingungen exponiert und innerhalb von 10 Minuten nach der Exposition gegenüber Waschwasser wurde die Klebefolien mit ultraviolettem Licht von der Trägerseite her mittels eines Adwill RAD2000 m/8 bestrahlt (Handelsname, hergestellt durch die Lintec Corporation, Lichtintensität: 220 mW/cm2, Lichtmenge: 160 mJ/cm2, Zuführrate an Stickstoff: 35 l/min).
  • Unter Verwendung der wie oben behandelten druckempfindlichen Klebefolie wurde die 180° Haftstärke (mN/25 mm) unter den gleichen Bedingungen wie oben gemessen und die so gemessene Haftstärke wurde als Klebefestigkeit nach der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht (einschließlich Exposition gegenüber Waschwasser) herangezogen.
  • Bedingungen zur Exposition gegenüber Waschwasser
  • Die Klebefolie wurde an einem Befestigungsrahmen befestigt und die Oberfläche der druckempfindlichen Folieklebeschicht wurde für 60 Minuten gegenüber Waschwasser bei einer Geschwindigkeit von 3 l/min mittels eines Dicers (A-WD-4000B, hergestellt von Tokyo Seimitsu K. K.) exponiert, gefolgt von Spintrocknung (1500 upm, 180 Sekunden).
  • Die verwendete durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffkomponente, der Photopolymerisationsinitiator und die andere Komponente sind wie folgt.
  • Durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffkomponente A
  • Eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffkomponente wird durch die Reaktion von 100 Gewichtsanteilen eines Copolymers (Durchschnittsgewicht des Molekulargewichts: 650.000), von 85 Gewichtsanteilen n-Butylacrylat und 15 Gewichtsanteilen 2-Hydroxyethylacrylat mit 16 Gewichtsanteilen Methacryloyloxyethyl-isocyanat erhalten.
  • Der Gehalt polymerisierbarer Doppelbindungen bezogen auf 100 g der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffkomponente betrug 0,104 mol.
  • Fotopolymerisationsinitiator B
    • B1:
      Bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphinoxid
      B2:
      2,4,6-Trimethylbenzoyldiphenylphosphinoxid (ein erfindungsgemäßer Initiator im Hinblick auf den Unterzeichnerstaat Portugal)
      B3:
      Bis(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethyl-pentylphosphinoxid
      B4:
      2,2-Dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-on
      B5:
      1-Hydroxycyclohexylphenylketon
  • Quervernetzungsmittel C
  • Additionsprodukt von Toluylendiisocyanat und Trimethylolpropan
  • Beispiel 1 (ein erfindungsgemäßes Beispiel im Hinblick auf den Unterzeichnerstaat Portugal)
  • Die in Tabelle 1 gezeigten Komponenten wurden in den in Tabelle 1 gezeigten Mengen vermischt, um so eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung zu erhalten. Die druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung wurde auf eine Abziehfoliefolie (Polyethylenterephthalatfilm, der einer Abziehhandlung unterzogen wurde, Stärke 38 μm) aufgetragen und dann auf einen Träger (Ethylen/Methacrylsäurecopolymerfilm, Stärke 80 μm) übertragen, um eine druckempfindliche Klebstofffolie zum Anhaften eines Wafers eben daran herzustellen, wobei die druckempfindliche Klebstofffolie eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffschicht mit 10 μm Stärke aufweist.
  • Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 dargelegt.
  • Beispiele 2–3, Vergleichsbeispiele 1–2
  • Die in Tabelle 1 gezeigten Komponenten wurden in den in Tabelle 1 gezeigten Mengen vermischt, um so eine durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebstoffzusammensetzung zu erhalten. Es wurden die gleichen Arbeitsabläufe wie in Beispiel 1 durchgeführt mit Ausnahme der Verwendung dieser druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung.
  • Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 dargelegt.
  • Tabelle 1
    Figure 00180001
  • Figure 00190001
  • Die Klebefestigkeit der in den Vergleichsbeispielen erhaltenen druckempfindlichen Klebefolien wurde nach der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht nicht ausreichend erniedrigt. Andererseits war die Klebefestigkeit der in den Beispielen erhaltenen druckempfindlichen Klebefolien nach der Bestrahlung mit ultraviolettem Licht in ausreichendem Maße erniedrigt, sowohl für den Fall, dass eine Exposition gegenüber Waschwasser ausgeführt wurde als auch für den Fall, dass keine Exposition gegenüber Waschwasser ausgeführt wurde.

Claims (7)

  1. Durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebszoffzusammensetzung umfassend eine druckempfindliche Acrylklebstoffkomponente, eine durch ultraviolette Strahlung polymerisierbare Komponente und einen Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp, worin der Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp nicht Bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphinoxid ist.
  2. Durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebszoffzusammensetzung wie in Anspruch 1 beansprucht, worin die druckempfindliche Acrylklebstoffkomponente und die durch ultraviolette Strahlung polymerisierbare Komponente im selben Copolymer vorliegen, wobei die durch ultraviolette Strahlung polymerisierbare Komponente in einer durch ultraviolette Strahlung polymerisierbaren Gruppe in einer Seitenkette des Copolymers vorliegt.
  3. Durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebszoffzusammensetzung wie in Anspruch 1 oder Anspruch 2 beansprucht, worin der Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp eine Acylphosphinoxid-Verbindung ist.
  4. Durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebszoffzusammensetzung wie in Anspruch 3 beansprucht, worin die Acylphosphinoxid-Verbindung eine Verbindung ist, die in ihrem Molekül eine CO-PO-Bindung aufweist.
  5. Durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebszoffzusammensetzung wie in Anspruch 4 beansprucht, worin die Acylphosphinoxid-Verbindung eine durch die folgende Formel dargestellte Verbindung ist:
    Figure 00210001
    worin R1 eine gegebenenfalls substituierte aromatische Gruppe ist, und R2 und R3 jeweils unabhängig eine beliebige Gruppe ausgewählt aus einer Phenylgruppe, einer Alkylgruppe, einer Alkoxygruppe und aromatischen Acylgruppe sind, wobei jeder dieser Gruppen gegebenenfalls substituiert sein kann.
  6. Durch ultraviolette Strahlung aushärtbare druckempfindliche Klebszoffzusammensetzung wie in einem der Ansprüche 1 bis 5 beansprucht, worin der Photopolymerisationsinitiator vom Phosphortyp in einer Menge von 0,005 bis 20 Gewichtsanteilen in Bezug auf 100 Gewichtsanteile der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffkomponente enthalten ist.
  7. Durch ultraviolette Strahlung aushärtbarer druckempfindlicher Klebefilm, der durch Beschichten eines Trägers mit der durch ultraviolette Strahlung aushärtbaren druckempfindlichen Klebstoffzusammensetzung gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6 erhalten wird.
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