DE60024515T2

DE60024515T2 - Verfahren und Vorrichtung zum Sintern einer porösen Glas-Vorform

Info

Publication number: DE60024515T2
Application number: DE60024515T
Authority: DE
Inventors: Takeshi Kamio; Hiroyuki Koide; Hiroshi Tsumura; Tadakatsu Shimada; Hideo Hirasawa
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 1999-03-10
Filing date: 2000-03-08
Publication date: 2006-08-17
Anticipated expiration: 2020-03-09
Also published as: DE60024515D1; US6442978B1; EP1035082B1; EP1561731A2; KR100587996B1; KR20010006777A; EP1035082A1; EP1561731A3; EP1561731B1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
1. Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Sintervorrichtung, die ein als ein Rohmaterial für eine optische Faser dienendes poröses Glasbasismaterial dehydratisiert und sintert, um ein transparentes Glas zu erzeugen.
2. Beschreibung des Standes der Technik
Eine optische Faser ist aus dem porösen Glasbasismaterial als ein Rohmaterial hergestellt. Die Faser besitzt einen Kern, der aus Siliziumtetrachlorid (SiCl₄) als ein Hauptmaterial und einem Dotierungsmaterial mit zunehmendem Brechungsindex gebildet sind, die verdampft und in einer Knallgasatmosphäre hydrolysiert werden, so dass die so erzeugten Glasteilchen abgeschieden werden, gebildet ist, und der einen ho hen Brechungsindex darstellt; und eine Hülle, in der Glasteilchen abgeschieden sind und deren Brechungsindex niedriger als der des Kerns ist. Das poröse Glasbasismaterial wird gewöhnlich so hergestellt, dass die Glasteilchen durch ein Dampfphasen-Axialabscheidungsverfahren (VAD), Außendampfabscheidungsverfahren (OVD) oder dergleichen abgeschieden werden. In einem Ofenrohr, in das das poröse Glasbasismaterial eingeführt wird, wird das Basismaterial erwärmt und gesintert, um es zu dehydratisieren und den Durchlässigkeitssinterprozess bei dem Basismaterial in dem dehydratisierungsreaktiven Gas und in inerter Gasatmosphäre durchzuführen, während das Basismaterial absinkt, so dass ein optischer Faservorformling, der aus einem Kern und einer Hülle besteht, erhalten werden kann. Nachdem dieser optische Faservorformling auf einen gewünschten Durchmesser verlängert und dann durch eine Ziehvorrichtung gezogen wurde, kann eine optische Faser erhalten werden.
Während des Sinterns dieses porösen Glasbasismaterials werden Bedingungen wie die Strömungsrate des dehydratisierungsreaktiven Gases und des inerten Gases, die Durchgangsgeschwindigkeit (Sinkgeschwindigkeit) des Basismaterials durch einen Heizbereich und die Heiztemperatur in dem Heizbereich konstant gehalten. Wenn jede dieser Bedingungen konstant gehalten wird, wird die thermische Energie, die für die Dehydratisierung und die Durchlässigkeitssinterung erforderlich ist, gleichmäßig zu dem porösen Glasbasismaterial geliefert.
Es wurde gefunden, dass hierdurch das Sintern ungleichmäßig sein kann. Als eine Folge werden der gesinterte Bereich und der ungesinterte Bereich nicht konzentrisch und werden in einer asymmetrischen Weise vermischt. Darüber hinaus wird, wenn der ungesinterte Bereich gesintert wird, das Glas, das bereits gesintert wurde und somit eine geringe Viskosität hatte, auch unerwünschterweise einbezogen, so dass es sich ungleichförmig zusammenzieht. Somit wird der Kern gegenüber der axialen Mitte des Basismaterials versetzt, so dass eine Exzentrizität bewirkt wird. Diese Exzentrizität bewirkt weiterhin, dass die Zuführung der thermischen Energie ungleichmäßig wird, so dass der Umfang des Basismaterials die Tendenz hat, die Form einer Ellipse darzustellen. Diese Tendenz soll als Elliptisierung bezeichnet werden. Wenn die Exzentrizität und die Elliptisierung auftreten, schreitet der Sintervorgang fort, während die ungleichmäßige Zusammenziehung kontinuierlich auftritt. Daher leidet der gesamte optische Faservorformling unter der Exzentrizität und der Elliptisierung.
Folglich stellt die optische Faser, die durch Durchführen des Ziehvorgangs bei diesen optischen Faservorformlingen erhalten wird, die Exzentrizität und Elliptisierung dar. Wenn diese so hergestellten optischen Fasern mittels Kleben oder Schmelzen miteinander verbunden werden, wird ein Kontaktverlust bewirkt aufgrund des Unterschieds der Formen der Kopplungsflächen zwischen dem Kern und der Hülle, der Versetzung der axialen Mitte des Kerns und der unterschiedlichen Kerndurchmesser.
Wenn das poröse Glasbasismaterial hergestellt wird, ist ein Verfahren verfügbar, durch das die Hülle um ihren Umfang herum durch das OVD-Verfahren weiter anwächst, nachdem der Kern und die Hülle durch das VAD-Verfahren gebildet wurden. Nun wird in der herkömmlichen Praxis das Sintern in einer solchen Weise durchgeführt, dass das poröse Glasbasismaterial gesintert wird, während die Strömungsrate des Chlorgases und des inerten Gases, die als das Dehydratisierungsreaktionsgas dienen, konstant gehalten wird sowie die Sinkgeschwindigkeit des Basismaterials konstant gehalten wird und die Bedingung der Heiztemperatur festgehalten wird. Jedoch tritt ein Unterschied zwischen verbleibenden Raten der Dehydratisierungsreaktionsgase in der durch das VAD-Verfahren gebildeten Hülle und der durch das OVD-Verfahren gebildeten Hülle auf. Wenn 1000 ppm Chlorgas in der gesinterten optischen Faser verbleiben, wird der Brechungsindex um angenähert 10^–5 erhöht. Hierdurch bewirkt der Unterschied zwischen den verbleibenden Raten an Chlorgas in der Hülle eine erhebliche Differenz des Brechungsindex in der Hülle. Somit werden die Verteilungseigenschaften des optischen Fasermaterials verschlechtert. Darüber hinaus ändern sich, wenn das poröse Glasbasismaterial in dem Ofenrohr während eines Sintervorgangs absinkt, ein Temperaturgradient in dem Ofenrohr und die Strömungsrate des Gases innerhalb des Ofenrohrs, so dass die verbleibende Rate des Chlorgases in der axialen Richtung des Basismaterials ungleichförmig wird und die Differenz der Brechungsindizes schwankt, wodurch das Problem bewirkt wird, dass die Grenzwellenlänge in der axialen Richtung nicht konstant gehalten werden kann.
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, Band 1996, Nr. 10, 31. Oktober 1996 und JP 08143324 A (FUJIKURA LTD.), 4. Juni 1996, offenbaren eine Vorrichtung zum Erwärmen eines Glasvorformlings, bei der ein Ofenkernrohr durch eine Heizvorrichtung, die an dem Umfang des Rohres angeordnet ist, und ein poröser Glaskörper hängt von einer Fahrbühne herab und ist in das Rohr eingeführt. Die Fahrbühne wird durch eine Steuervorrichtung gesteuert, und wenn der längliche poröse Glaskörper durch die Fahrbühne gehalten wird und sein unteres Ende von Anfang an in der Heizvorrichtung ist, kann der poröse Glaskörper beginnen, sich abwärts zu bewegen, bevor die Heizvorrichtung auf die Sintertemperatur aufgeheizt ist. Folglich wird das untere Ende in derselben Weise wie die anderen Teile angemessen erwärmt und der Außendurchmesser verändert sich nicht.
Weiterhin offenbaren PATENT ABSTRACTS OF JAPAN, Band 17, Nr. 73, 15. Februar 1993 & JP 04275993 A (FUJIKURA LTD.) 1. Oktober 1992, Ein Verfahren zum Herstellen eines optischen Faservorformlings, bei dem die Temperatur eines Heizofens gesteuert wird gemäß dem Außendurchmesser eines aufgebauten Körpers aus Glasteilchen in einer Dehydratisierungs- und Durchlässigkeitssinter-Behandlungsstufe. Vor dieser Behandlung werden Informationen über den Außendurchmesser an jeder Position in der Längsrichtung des aufgebauten Körpers erhalten. Wenn dieser Körper in dem Heizofen bewegt wird, wird dessen Temperatur gemäß dem Außendurchmesser an jeder Position hiervon geregelt. Wenn sich der Außendurchmesser ändert, ändert sich die Strahlungswärme und die Temperaturbedingungen werden unterschiedlich gemacht. Da die Temperatur gemäß dem Außendurchmesser geregelt wird, um ihn zu korrigieren, wird selbst ein aufgebauter Körper, dessen Außendurchmesser schwankt, unter praktisch gleichförmigen Temperaturbedingungen behandelt.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Sintervorrichtung für poröses Glasbasismaterial vorzusehen, die die Exzentrizität des Kerns und die Elliptisierung des Umfangs des Glasmaterials nicht bewirkt, während das poröse Glasbasismaterial gesin tert und dehydratisiert wird und der Durchlässigkeitssinterprozess bei dem porösen Glasbasismaterial durchgeführt. Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß Anspruch 1 gelöst. Die abhängigen Ansprüche definieren vorteilhafte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Vorrichtung zum Sintern eines sich drehenden Glasbasismaterials, das ein Basismaterial für eine optische Faser ist, vorgesehen, welche Sintervorrichtung aufweist: eine Steuereinheit, die eine Bedingung zum Sintern des Glasbasismaterials ändert; und ein Ofen, der das Glasbasismaterial durch Erwärmen des Glasbasismaterials in einer Atmosphäre eines Dehydratisierungsgases und eines inerten Gases sintert. Diese Vorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit eine Antriebseinheit zum Zuführen des Glasbasismaterials zu dem Ofen enthält, welche Steuereinheit so programmiert ist, dass sie als die Bedingung zum Sintern die Geschwindigkeit des Glasbasismaterials, das in dem Ofen absinkt, auf der Grundlage der Position des Glasbasismaterials ändert, wodurch die Geschwindigkeit derart ist, dass das Glasbasismaterial in einer Weise absinkt, dass die Absinkgeschwindigkeit der ersten Hälfte des Glasbasismaterials in einem Bereich entsprechend der Heizquelle langsamer als die der Endhälfte des Glasbasismaterials in diesem Bereich ist, wobei die Absinkgeschwindigkeit des Glasbasismaterials in der ersten Hälfte dieses Bereichs in dem Bereich von 0,8 mm pro Minute bis 2,2 mm pro Minute gegenüber einer Absinkgeschwindigkeit des Glasbasismaterials in der Endhälfte dieses Bereichs von 3,5 mm pro Minute ist.
Vorzugsweise enthält die Steuereinheit einen ersten Sensor für das Glasbasismaterial; und ein Gaseinführungsrohr, das mit dem Ofen verbunden ist und ein Chlorgas, das als das Dehydratisierungsgas dient, sowie ein Heliumgas, das als das inerte Gas dient, in den Ofen einführt.
Darüber hinaus ist eine Markierung in dem Glasbasismaterial vorgesehen, so dass die Position des Glasbasismaterials durch den ersten Sensor erfasst werden kann.
Darüber hinaus kann die Absinkgeschwindigkeit des Basismaterials auf einmal oder in einer allmählichen Weise oder in einer Stufe-für-Stufe-Weise geändert werden.
Gemäß dem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Sintervorrichtung vorgesehen, bei der die Steuereinheit eine Temperatursteuereinheit enthält, die die Temperatur der Heizquelle über einen in dem Ofen vorgesehenen zweiten Sensor steuert.
Die Temperatursteuereinheit kann eine Proportional-, Integral- und Differenzialoperation durchführen.
Darüber hinaus kann das Gaseinführungsrohr zu einem Dehydrierungsreaktionsgas-Durchgang zum Einführen des Chlorgases und einen Inertgasdurchgang zum Einführen des Heliumgases verzweigt sein.
Darüber hinaus kann eine Strömungsraten-Steuereinheit vorgesehen sein, die ein Strömungsratenverhältnis des Dehydratisierungs-Reaktionsgases zu dem des Inertgases verändert.
Darüber hinaus kann der Dehydratisierungsreaktions gas-Durchgang einen ersten Strömungsratenmesser und ein erstes Strömungsraten-Steuerventil enthalten, und der Inertgasdurchgang kann einen zweiten Strömungsratenmesser und ein zweites Strömungsraten-Steuerventil enthalten, und es kann eine Strömungsraten-Steuereinheit vorgesehen sein, die sowohl mit dem ersten als auch mit dem zweiten Strömungsratenmesser verbunden ist, und es kann eine zweite Antriebsquelle vorgesehen sein, die mit der Strömungsrate des ersten und des zweiten Strömungsratenmessers verbunden ist, und es kann eine zweite Antriebsquelle vorgesehen sein, die mit der Strömungsraten-Steuereinheit sowie dem ersten und dem zweiten Strömungsraten-Steuerventil verbunden ist.
Darüber hinaus ist es bevorzugt, dass das Verhältnis des durch den Dehydratisierungsreaktionsgas-Durchgang hindurchgehenden Gases zu dem durch den Inertgasdurchgang hindurchgehenden Gas in dem Bereich von angenähert 10% bis 50% ist.
Die Sintervorrichtung nach der Erfindung kann in einer Vorrichtung zum Herstellen einer optischen Faser verwendet werden, welche Vorrichtung zum Herstellen weiterhin aufweist: eine Glasbasismaterial-Erzeugungsvorrichtung, die als ein Rohmaterial für die optische Faser dienendes Glasbasismaterial erzeugt; eine erste Glasbasismaterial-Verlängerungsvorrichtung, die das Glasbasismaterial verlängert, um einen Glasstab zu erzeugen; eine zweite Glasstab-Verlängerungsvorrichtung, die den Glasstab zum zweiten Mal verlängert, um einen Vorformling zu erzeugen, der das Ausgangsmaterial für die optische Faser ist; und eine Vorformling-Ziehvorrichtung, die den Vorformling zieht, um die optische Faser zu erzeugen.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 zeigt ein System einer optischen Faserherstellvorrichtung.
2 zeigt ein Herstellverfahren für eine optische Faser.
3 zeigt eine Sintervorrichtung für poröses Glasbasismaterial gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel.
4 ist ein Tabelle, die drei experimentelle Beispiele, die das erste Ausführungsbeispiel anwenden, zeigt, wobei jedes Beispiel kategorisiert ist in die Absinkgeschwindigkeit (mm pro Minute) der ersten Hälfte in dem thermischen Bereich 8, die Absinkgeschwindigkeit (mm pro Minute) der Endhälfte in dem thermischen Bereich 8, das Exzentrizitätsverhältnis (%) und die Elliptizität (%).
5 zeigt eine andere Sintervorrichtung für poröses Glasbasismaterial gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel.
6 zeigt die Korrelation zwischen der Position des Glasbasismaterials und den Brechungsindexunterschieden bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel (durch die ausgezogene Linie angezeigt) und dem Vergleichsbeispiel (strichlierte Linie).
EDETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
Die Erfindung wird nun auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Bereich der vorliegenden Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in dem Ausführungsbeispiel beschrieben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
1 zeigt ein System einer Herstellvorrichtung für eine optische Faser. Das System der Herstellvorrichtung für die optische Faser weist auf: eine Glasbasismaterial-Erzeugungsvorrichtung 600, die ein als ein Rohmaterial für die optische Faser dienendes Glasbasismaterial 102 erzeugt; eine Glasbasismaterial-Dehydratisierungs- und Sintervorrichtung 700, die das Glasbasismaterial 102 dehydratisiert und sintert; eine erste Glasbasismaterial-Verlängerungsvorrichtung 900, die das Glasbasismaterial 102 verlängert, um einen Glasstab 106 zu erzeugen; eine Glasstab-Transportvorrichtung 380, die den Glasstab 106 transportiert; eine zweite Glasstab-Verlängerungsvorrichtung 111, die den Glasstab 106 zum zweiten Mal verlängert, um einen Vorformling 107 zu erzeugen; und eine Vorformling-Ziehvorrichtung 500, die den Vorformling 107 zieht, um eine optische Faser zu erzeugen.
2 zeigt ein Herstellverfahren für eine optische Faser. Das Glasbasismaterial 102 wird von der Glasbasismaterial-Erzeugungsvorrichtung erzeugt unter Verwendung des Dampfphasen-Axialniederschlagsverfahrens (VAD) oder dergleichen (S200). Das Glasbasismaterial 102 wird dann durch die Glasmaterial-Dehydratisierungs- und Sintervorrichtung 700 in einer Chlorgasatmosphäre dehydratisiert und in einer Inertgasatmosphäre gesintert (S202).
Der Durchmesser des Glasbasismaterials 102 beträgt normalerweise 110 mm bis 200 mm, verglichen mit einem Durchmesser von 30 mm bis 80 mm, der am praktischsten für das Ziehen der optischen Faser verwendet wird. Daher wird das dehydratisierte und gesinterte Glasbasismaterial 102 zuerst durch die erste Glasbasismaterial-Verlängerungsvorrichtung 900 verlängert, um einen Glasstab 106 zu erzeugen (S204).
Der Glasstab 106 wird von der Glasstab-Transportvorrichtung 280 transportiert (S205). Der Glasstab 106 wird dann durch die zweite Glasstab-Verlängerungsvorrichtung 111 erwärmt und auf einen vorbestimmten Durchmesser verlängert, wodurch ein Vorformling 107 erzeugt wird (S206). Der Vorformling 107 wird von der Vorformling-Ziehvorrichtung 500 erwärmt und in eine fadenartige Form gezogen, um eine optische Faser zu erzeugen (S210).
3 zeigt eine Sintervorrichtung 700 für poröses Glasbasismaterial gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel. Die Sintervorrichtung 700 für poröses Glasbasismaterial weist auf: ein Ofenrohr 12 und eine Heizquelle 9, die am Umfang des Ofenrohrs 12 vorgesehen ist. Die Sintervorrichtung 700 enthält weiterhin eine Antriebsquelle 3, die das poröse Glasbasismaterial in der Form eines Stabkörpers in das Ofenrohr 12 zuführt, und eine Sinkgeschwindigkeits-Steuereinheit 4, die mit der Antriebsquelle 3 verbunden ist und die die Geschwindigkeit steuert, mit der das Basismaterial durch das Ofenrohr 12 absinkt. Die Sintervorrichtung 700 enthält noch weiterhin ein Gaseinführungsrohr 11, das an dem unteren Bereich des Ofenrohrs 12 vorgesehen und mit diesem verbunden ist, das mit einer Zuführungsquelle zum Zuführen eines Dehydratisierungsreaktionsgases wie Chlorgas und mit einer ande ren Zuführungsquelle zum Zuführen eines inerten Gases wie Heliumgas verbunden ist. Die Sintervorrichtung 700 enthält noch weiterhin ein Auslassrohr 7, das in dem oberen Bereich des Ofenrohrs 12 vorgesehen ist.
Der Stabkörper 2 des porösen Glasbasismaterials ist mit einer Markierung 5 versehen. Durch Vorsehen der Markierung 5 an dem Stabkörper 2 kann ein Sensor 6, der mit der Absinkgeschwindigkeits-Steuereinheit 4 verbunden ist, erfassen, dass die Hälfte des Stabkörpers 2 durch einen thermischen Bereich 8, der durch die Heizquelle 9 definiert ist, hindurchgeht.
Als Nächstes wird die Sinterung des porösen Glasbasismaterials in der folgenden Weise durchgeführt.
Das poröse Glasbasismaterial, in welchem die Glasteilchen abgeschieden sind unter Verwendung des Außendampf-Abscheidungsverfahrens (OVD), wird bei diesem ersten Ausführungsbeispiel als der Stabkörper 2 verwendet.
Das Chlorgas und das Heliumgas werden von jeweiligen Zuführungsquellen (nicht gezeigt) zu dem Gaseinführungsrohr 11 geliefert. Das Chlorgas und das Heliumgas werden gemischt und dann in das Ofenrohr 12 eingeführt, um das Ofenrohr 12 zu imprägnieren. Der thermische Bereich 8 wird durch die Heizquelle 9 erwärmt. Der Stabkörper 2 aus dem porösen Glasbasismaterial sinkt langsam herab und geht durch den thermischen Körper 8 hindurch, während der Stabkörper 2 durch die Antriebsquelle 3 um eine Achse gedreht wird, die durch die Absinkgeschwindigkeits-Steuereinheit 4 gesteuert wird. Der Stabkörper 2 aus dem porösen Glasbasismaterial wird durch den thermischen Prozess so gesintert, dass die Dehydratisierung und die Durchlässigkeitssinterung bei dem Stabkörper 2 durchgeführt werden.
Wenn die Hälfte des porösen Glasbasismaterials des Stabkörpers 2 den thermischen Bereich passiert, erfasst der Sensor 6 die Markierung 5 und gibt ein Erfassungssignal zu der Absinkgeschwindigkeits-Steuereinheit 4 aus. Dann wird die Absinkgeschwindigkeits-Steuereinheit 4 durch dieses Erfassungssignal aktiviert, um die Absinkgeschwindigkeit des Stabkörpers 2 so zu erhöhen, dass die Absinkgeschwindigkeit des Stabkörpers 2 des porösen Glasbasismaterials eingestellt werden kann. Dann wird der Sintervorgang fortgesetzt, bis der Sintervorgang für den Stabkörper 2 beendet ist.
Das erste Ausführungsbeispiel ist dadurch gekennzeichnet, dass die Absinkgeschwindigkeit der ersten Hälfte des Stabkörpers 2 in dem thermischen Bereich 8 entsprechend der Heizquelle 9 so gesetzt ist, dass sie geringer als die Absinkgeschwindigkeit der Endhälfte des Stabkörpers 2 in dem thermischen Bereich 8 entsprechend der Heizquelle 9 ist.
Durch Einstellen der Absinkgeschwindigkeit der ersten Hälfte des Stabkörpers 2 auf eine geringere Geschwindigkeit als die der Endhälfte hiervon wird thermische Energie zu der Zeit des Beginns des Sintervorgangs übermäßig von der Heizquelle 9 zu dem Stabkörper 2 geliefert, so dass der Sintervorgang gleichmäßig und gleichförmig an dem Stabkörper 2 durchgeführt werden kann, ohne eine Exzentrizität und Elliptisierung des Umfangs des Stabkörpers 2 zu bewirken. Da der Stabkörper 2 aus dem porösen Glasbasismaterial kontinuierlich und gleichförmig gesintert wird, bewirkt eine Änderung der Absinkgeschwindigkeit des Stabkörpers 2 keine Exzentrizität und Elliptisierung. Es ist darauf hinzuweisen, dass die Tendenz, mit der das Glasbasismaterial wahrscheinlich die Form einer Ellipse darstellt, als Elliptisierung bezeichnet wurde.
Die Absinkgeschwindigkeit des Stabkörpers 2 des porösen Glasbasismaterials in der ersten Hälfte des thermischen Bereichs 8 ist in dem Bereich von angenähert 0,8 mm pro Minute bis 2,2 mm pro Minute gegenüber der Absinkgeschwindigkeit des Stabkörpers 2 aus dem porösen Glasbasismaterial in der Endhälfte des thermischen Bereichs, die auf 3,5 mm pro Minute gesetzt ist. Wenn die Absinkgeschwindigkeit des Stabkörpers 2 in der ersten Hälfte des thermischen Bereichs 8 geringer als die vorgenannte erwünschte Geschwindigkeitseinstellbedingung ist, kann der Stabkörper 2 in unnötiger Weise übermäßig erwärmt werden und der Herstellwirkungsgrad verschlechtert sich daher. Wenn andererseits die Absinkgeschwindigkeit des Stabkörpers 2 in der ersten Hälfte des thermischen Bereichs 8 größer als die vorgenannte erwünschte Geschwindigkeitseinstellbedingung ist, ist die zu der Zeit des Beginns des Sintervorgangs zu dem Basismaterial-Stabkörper 2 gelieferte thermische Energie nicht ausreichend, so dass eine Exzentrizität oder Elliptisierung bewirkt werden kann.
Die Absinkgeschwindigkeit des Basismaterials kann auf einmal geändert oder in allmählicher Weise variiert oder in einer Schritt-für-Schritt-Weise geändert werden.
Demgemäß hat die so gemäß dem ersten Ausführungsbeispiel hergestellte optische Faser eine hohe Qualität, da der Kern keine Exzentrizität und eine Elliptisierung des Umfangs hat.
Auswertung des ersten Ausführungsbeispiels
Gemäß dem vorbeschriebenen ersten Ausführungsbeispiel werden drei poröse Glasbasismaterialien unter den folgenden drei Bedingungen gesintert, die die Sintervorrichtung 700 für das poröse Glasbasismaterial nach dem ersten Ausführungsbeispiel verwenden. Die Temperatur der Heizquelle 9 ist auf 1600°C eingestellt. Die jeweiligen Absinkgeschwindigkeiten des Basismaterial-Stabkörpers 2 in der ersten Hälfte des thermischen Bereichs sind auf 0,8 mm pro Minute, 1,5 mm pro Minute und 2,2 mm pro Minute eingestellt. Dann wird jede der jeweiligen Geschwindigkeiten auf 3,5 mm pro Minute verändert, wenn die erste Hälfte des Stabkörpers 2 aus porösem Glasbasismaterial den thermischen Bereich 8 passiert. Mit anderen Worten, die Absinkgeschwindigkeit der Endhälfte des Stabkörpers 2 aus porösem Glasbasismaterial wird auf die Geschwindigkeit von 3,5 pro Minute umgeschaltet.
Um das erste Ausführungsbeispiel mit der Standardpraxis zu vergleichen, haben wir das Vergleichsbeispiel 2 durchgeführt, bei dem die Absinkgeschwindigkeit über den ganzen Sintervorgang bei 3,5 mm pro Minute bleibt.
4 ist eine Tabelle, die drei experimentelle Beispiele zeigt, die das erste Ausführungsbeispiel anwenden, wobei jedes Beispiel kategorisiert ist in die Absinkgeschwindigkeit (mm pro Minute) der ersten Hälfte in dem thermischen Bereich 8, die Absinkgeschwindigkeit (mm pro Minute) der Endhälfte in dem thermischen Bereich 8, das Exzentrizitätsverhältnis (%) und die Elliptizität (%).
Um die Charakteristik der Exzentrizität des gesinterten optischen Faservorformlings zu zeigen, wird das Exzentrizitätsverhältnis in einer Weise berechnet, dass die Versetzung zwischen der axialen Mitte des Kerns und der Mitte des optischen Faservorformlings durch den Durchmesser des optischen Faservorformlings geteilt wird. Darüber hinaus wird, um die Elliptisierung zu charakterisieren, die Elliptizität in einer Weise berechnet, dass der längere Durchmesser des optischen Faservorformlings durch den kürzeren Durchmesser hiervon geteilt wird. Die Ergebnisse sind in 4 gezeigt.
Wie 4 anzeigt, sind bei den optischen Faservorformlingen, die unter Verwendung der innerhalb des ersten Ausführungsbeispiel gesetzten Werte erhalten wurden, das Exzentrizitätsverhältnis und die Elliptizität jeweils bemerkenswert klein im Vergleich zu dem Vergleichsbeispiel 1, das eine relativ große Exzentrizität und Elliptizität darstellt, wodurch gezeigt wird, dass die gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel erhaltenen optischen Faservorformlinge eine sehr hohe Qualität haben.
Da die optischen Faservorformlinge, die durch die Sintervorrichtung und das Sinterverfahren zum Sintern des porösen Glasbasismaterials gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel erhalten wurden, die Exzentrizität des Kerns und die Elliptisierung des Basismaterials unterdrücken, werden optische Faservorformlinge hoher Qualität erhalten. Somit können die hochqualifizierten optischen Fasern mit geringem Kopplungsverlust hergestellt werden.
5 zeigt eine andere Sintervorrichtung 700 für poröses Glasbasismaterial gemäß dem zweiten Ausfüh rungsbeispiel. Die Sintervorrichtung 700 für poröses Glasbasismaterial weist: einen Deckel 17, durch den ein axialer Körper 18 hindurchgeht; ein Ofenrohr 12, und eine Heizquelle 9, die an dem Umfang des Ofenrohrs 12 vorgesehen ist. Die Sintervorrichtung 700 enthält weiterhin eine Antriebsquelle 3, die mit dem axialen Körper 18 verbunden ist und das poröse Glasbasismaterial in der Form eines Stabkörpers in das Ofenrohr 12 liefert, und eine Absinkgeschwindigkeits-Steuereinheit 4, die mit der Antriebsquelle 3 verbunden ist und die Geschwindigkeit steuert, mit der das Basismaterial durch das Ofenrohr 12 absinkt. Die Sintervorrichtung 700 enthält noch weiterhin: einen Temperaturmesssensor 14 zum Messen der Temperatur des in dem thermischen Bereich 8 vorgesehenen Stabkörpers 2; und eine Temperatursteuerschaltung 15, die eine PID-Steuerung der Heizquelle 14 durchführt und die mit dem Temperaturmesssensor 14 verbunden ist. Hier bedeutet PID eine Proportional-, Integral- und Differenzialoperation. Die Sintervorrichtung 700 enthält noch weiterhin ein Gaseinführungsrohr 11, das an dem unteren Bereich des Ofenrohrs 12 vorgesehen und mit diesem verbunden ist, und das sich in einen Dehydratisierungsreaktionsgas-Durchgang 23 und einen Inertgasdurchgang 28 verzweigt. Der Dehydratisierungsreaktionsgas-Durchgang 23 ist mit einer Gaszuführungsquelle (nicht gezeigt) verbunden für die Zuführung des Dehydratisierungsreaktionsgases über ein Strömungsraten-Einstellventil 24, während der Inertgasdurchgang 28 mit einer Gaszuführungsquelle (nicht gezeigt) verbunden ist für die Zuführung des inerten Gases über ein Strömungsraten-Einstellventil 29. Der in dem Dehydratisierungsreaktionsgas-Durchgang 23 vorgesehene Strömungsratenmesser 25 und der in dem Inertgasdurchgang 28 vorgesehene Strömungsratenmesser 20 sind mit der Strömungsraten-Steuerschaltung 27 verbunden. Eine Antriebsquelle 26, die von der Strömungsraten-Steuerschaltung 27 gesteuert wird, ist sowohl mit dem Strömungsraten-Einstellventil 24 als auch dem Strömungsraten-Einstellventil 29 verbunden. Die Sintervorrichtung 70 enthält noch weiterhin ein Auslassrohr 7, das in dem oberen Bereich des Ofenrohrs 12 vorgesehen ist.
Das vorliegende Ausführungsbeispiel ist wie folgt gekennzeichnet.
In einer Atmosphäre des Dehydratisierungsreaktionsgases und des inerten Gases, die von dem mit den Strömungsraten-Einstellventilen 24, 29 mit der Strömungsraten-Steuereinheit 27 verbundenen Gaseinführungsrohr 11 zugeführt werden und die in das Ofenrohr 12 eingeführt werden, sinkt das poröse Glasbasismaterial 2, das mit dem axialen Körper 18 verbunden und in das Ofenrohr 12 eingeführt ist, sich durch die Antriebsquelle wie einen Motor drehend ab. Während das poröse Glasbasismaterial 2 durch die mit der Temperatursteuerschaltung 15, die am Umfang des Ofenrohrs 12 vorgesehen ist, verbundene Wärmequelle 9 gesintert wird, werden das Verhältnis der von der Strömungsraten-Steuerschaltung 7 gesteuerten Strömungsrate des inerten Gases gegenüber der des Dehydratisierungsreaktionsgases, die von der Absinkgeschwindigkeits-Steuereinheit 4 gesteuerte Absinkgeschwindigkeit und die von der Temperatursteuerschaltung 15 gesteuerte Temperatur der Heizquelle 9 variiert. Darüber hinaus ist das vorliegende Ausführungsbeispiel dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einer der Faktoren aus dem Strömungsratenverhältnis, der Absinkgeschwindigkeit und der Temperatur der Heizquelle 9 variiert wird, um den optimierten Sintervorgang zu erreichen.
Es ist bevorzugt, dass das Verhältnis der Strömungsrate des inerten Gases gegenüber dem Dehydratisierungsreaktionsgas in dem Bereich von angenähert 10 bis 50% liegt. Wenn es weniger als 10% ist, wird ein Dehydratisierungsvorgang nicht beendet. Darüber hinaus wird, da der obere Bereich des porösen Glasbasismaterials 2 eine längere Kontaktzeit mit dem Dehydratisierungsreaktionsgas hat, das Dehydratisierungsreaktionsgas in einer größeren Menge hiervon eingeführt. Wenn es größer als 50% ist, dringt das Dehydratisierungsreaktionsgas übermäßig in das poröse Glasbasismaterial ein, so dass das Dehydratisierungsreaktionsgas nach dem Sintervorgang ungleichmäßig verbleibt. Hierdurch nimmt der Brechungsindexunterschied innerhalb der Hülle zu. Durch Verringern des Verhältnisses der Strömungsrate des Dehydratisierungsgases gegenüber der des inerten Gases nach einer Änderung kann das ungleichförmige Eindringen des Dehydratisierungsreaktionsgases in das poröse Glasbasismaterial unterdrückt werden.
Die Absinkgeschwindigkeit ist vorzugsweise in dem Bereich von angenähert 0,3 mm–5,0 mm pro Minute. Wenn sie langsamer als 0,3 mm pro Minute ist, verschlechtert sich die Sinterwirkung für ein übermäßiges Erwärmungsergebnis. Wenn die größer als 5,0 mm pro Minute ist, wird das Sintern nicht beendet wegen einer ungenügenden Erwärmung. Durch Einstellen der Absinkgeschwindigkeit auf einen höheren Wert nach der Änderung wird die übermäßige Zuführung des Chlorgases zu dem oberen Bereich des porösen Glasbasismaterials unterdrückt, so dass die Schwankung der Brechungsindexdifferenz in der Längsrichtung klein wird, wodurch die Produktivität verbessert wird.
Es ist bevorzugt, dass die Temperaturdifferenz der Wärmequelle vor und nach der Änderung auf innerhalb angenähert 50°C gesetzt wird, Wenn die Temperaturdifferenz 50°C überschreitet, wird das Sintern nicht gleichförmig durchgeführt.
Es ist bevorzugt, dass die Temperatur der Wärmequelle 9 in dem Bereich von angenähert 1300°C–1650°C ist.
Durch Einstellen der Temperatur der Wärmequelle 9 nach der Änderung auf einen höheren Wert kann das Dehydratisierungsreaktionsgas in dem oberen Bereich des porösen Glasbasismaterials 2 ausreichend gestreut werden. Darüber hinaus kann es eine mögliche unzureichende Sinterung aufgrund der Zunahme der Geschwindigkeit kompensieren. Darüber hinaus können die ungleichen Reste des Dehydratisierungsreaktionsgases in der axialen Richtung des Basismaterials nach dem Sintervorgang unterdrückt werden.
Darüber hinaus ist es bevorzugt, dass es mehrere Positionen gibt, an denen zumindest eins/eine aus dem Gasströmungsraten-Verhältnis des Dehydratisierungsreaktionsgases zu dem inerten Gas, Absinkgeschwindigkeit des Basismaterials und Ofenheiztemperatur geändert wird.
Darüber hinaus können das Gasströmungsraten-Verhältnis, die Absinkgeschwindigkeit des Basismaterials und die Temperatur, auf die der Ofen wird, in einer Schritt-für-Schritt-Weise oder in einer allmählichen Weise variiert werden.
Hierdurch können die ungleichförmigen Reste des Dehydratisierungsreaktionsgases in dem Basismaterial unterdrückt werden, so dass die Brechungsindexdifferenz innerhalb der Hülle gleichförmig gemacht werden kann.
Darüber hinaus ist das vorliegende Ausführungsbeispiel dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der drei Bedingungen (1)–(3) wie vorbeschrieben geändert werden:

(1) die Absinkgeschwindigkeit, mit der das Glasbasismaterial in dem Ofenrohr 12 absinkt;
(2) die Temperatur, auf die das Glasbasismaterial von der durch die Temperatursteuerschaltung 15 gesteuerten Heizquelle 9 erwärmt wird; und
(3) das Strömungsratenverhältnis des Dehydratisierungsreaktionsgases zu der des in das Ofenrohr 12 einzuführenden inerten Gases.

In dieser Hinsicht ist jedoch zu berücksichtigen, dass die Absinkgeschwindigkeit der ersten Hälfte des Glasbasismaterials geringer als die der Endhälfte des Glasbasismaterials in dem Bereich entsprechend der Heizquelle 9 ist.
Die Arbeitsweise der Sintervorrichtung 700 gemäß dem zweiten Ausführungsbeispiel wird im Einzelnen beschrieben.
Nachdem der Kern und die Hülle durch das VAD-Verfahren gebildet sind, wird das poröse Glasbasismaterial 2, in dem die Hülle durch das OVD-Verfahren weiter gewachsen ist, in das Ofenrohr 12 eingeführt. Das als das Dehydratisierungsreaktionsgas dienende Chlorgas wird von der Zuführungsquelle (nicht gezeigt) über das Strömungsraten-Einstellventil 24 in das Gaseinführungsrohr 11 geliefert. Gleichzeitig wird das als das inerte Gas dienende Heliumgas von der Zuführungsquelle (nicht gezeigt) über das Strömungsraten-Einstellventil 29 zu dem Gaseinführungsrohr 11 geliefert. Dann werden das Chlorgas und das Heliumgas gemischt, um in das Ofenrohr 12 eingeführt zu werden.
Das poröse Glasbasismaterial 2 sinkt in einer Weise, dass das Basismaterial durch die Antriebsquelle 3 wie einen Motor gedreht wird, deren Absinkgeschwindigkeit durch die Absinkgeschwindigkeits-Steuereinheit 4 gesteuert wird. Die Temperatursteuerschaltung 15 steuert die Wärmequelle 9 durch die Proportional-, Integral- und Differenzialoperation (PID) auf der Grundlage des Temperaturmesssensors 14. Wenn das poröse Glasbasismaterial 2 die Wärmequelle 9 passiert, wird das Basismaterial 2 gesintert und der Dehydratisierungsreaktions- und der Durchlässigkeitssintervorgang werden bei diesem durchgeführt. Wenn das Basismaterial 2 bis zu einer vorbestimmten Position absinkt, wird die Absinkgeschwindigkeit geändert durch Einstellen der Drehgeschwindigkeit des von der Absinkgeschwindigkeits-Steuerschaltung 4 gesteuerten Motors 3. Die Temperatur der Wärmequelle 9 wird so durch die Temperatursteuerschaltung 15 geändert, dass die von dem Temperaturmesssensor 14 erfasste Temperatur auf einen vorbestimmten Wert gesetzt wird. Die Antriebsquelle 3 wird durch die Strömungsraten-Steuereinheit 4 angetrieben, und die Strömungsraten-Einstellventile 24, 29 werden so gesteuert, dass das Verhältnis des Dehydratisierungsreaktionsgases zu der Strömungsrate des inerten Gases variiert wird, und der Sintervorgang wird fortgesetzt.
Am Anfang des Sintervorgangs wird, während das poröse Glasbasismaterial 2 mit 1,2 mm pro Minute absinkt, das als Dehydratisierungsreaktionsgas dienende Chlor gas, dessen Strömungsrate 50% beträgt, gemischt, Danach wird das gemischte Gas mit der Raten von 10 L pro Minute in das Ofenrohr 12 eingeführt und das Sintern wird durchgeführt, wobei die Wärmequelle auf eine Temperatur von 1600°C gesetzt ist. Wenn das Basismaterial 2 den Absenkpegel von 50% eines Hubs erreicht, wird die Absinkgeschwindigkeit auf 2,0 mm pro Minute geändert, indem der Motor durch die Absinkgeschwindigkeits-Steuereinheit 4 gesteuert wird. Wenn das Basismaterial 2 den Pegel von 75% des Hubs erreicht, wird die Absinkgeschwindigkeit auf 3,0 mm pro Minute geändert. Gleichzeitig wird die Antriebsquelle 26 durch die Strömungsraten-Steuerschaltung 7 so angetrieben, dass die vorbestimmte Rate erreicht wird, unter Beobachtung der Strömungsratenmesser 5, 10. Nachdem das Chlorgas, dessen Strömungsrate 30% gegenüber der Strömungsrate des Heliumgases beträgt, gemischt ist, wird das gemischte Gas mit einer Strömungsrate von 10 L pro Minute in das Ofenrohr 12 eingeführt. Darüber hinaus wird die Heizquelle 9 durch die Temperatursteuerschaltung 15 auf 1630°C gesteuert, um den Sintervorgang fortzusetzen.
Um das vorbeschriebene bevorzugte Beispiel mit einem anderen Vergleichsbeispiel zu vergleichen, wird das Vergleichsbeispiel in einer Weise durchgeführt, dass die Absinkgeschwindigkeit des porösen Glasbasismaterial konstant auf 2,3 mm pro. Minute eingestellt ist, und das gemischte Gas mit konstant 40% Chlorgas gegenüber dem Heliumgas wird verwendet und die Heiztemperatur wird konstant auf 1590°C gehalten, um den Sintervorgang unter anderen Bedingungen, die dieselben wie bei dem vorstehenden bevorzugten Ausführungsbeispiel sind, durchzuführen.
6 zeigt die Korrelation zwischen der Position des Glasbasismaterials und den Brechungsindexdifferenzen bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel (durch die ausgezogene Linie angezeigt) und dem Vergleichsbeispiel (strichlierte Linie). Sowohl bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel als auch dem Vergleichsbeispiel werden die Brechungsindizes der Hülle an 12 verschiedenen Positionen von dem unteren Ende zu dem oberen Ende des porösen Glasbasismaterials gemessen. Die horizontale Achse zeigt die Messpositionen des Glasbasismaterials an, während die vertikale Achse die Brechungsindexdifferenz anzeigt, bei der der Brechungsindex, der durch das VAD-Verfahren gebildeten Hülle von dem Brechungsindex der durch das OVD-Verfahren gebildeten Hülle subtrahiert wird.
Gemäß 2 ist der Schwankungsbereich der Brechungsindexdifferenz des Basismaterials nach dem Sintervorgang bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel geringer als 2 × 10^–5, während bei dem Vergleichsbeispiel mehr als das 6fache des Schwankungsbereichs verglichen mit dem vorliegenden Ausführungsbeispiel gefunden wird. Wenn der Schwankungsbereich geringer 5 × 10^–5 ist, ist bekannt, dass die Übertragungscharakteristiken nicht beschädigt sind. Daher zeigt das gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel gesinterte Glasbasismaterial eine hohe Qualität.
Darüber hinaus kann die Sintervorrichtung gemäß dem vorliegenden Ausführungsbeispiel in dem Fall des Sinterns des Kerns oder der Hülle, die durch das VAD- oder das OVD-Verfahren gebildet sind, verwendet werden.
Darüber hinaus kann die Vorrichtung nach dem ersten Ausführungsbeispiel mit der Vorrichtung nach dem zweiten Ausführungsbeispiel so kombiniert werden, dass ein weiterhin effektives Sintern erzielt wird.
Obgleich die vorliegende Erfindung im Wege von Ausführungsbeispielen beschrieben wurde, ist darauf hinzuweisen, dass viele Änderungen und Substitutionen von dem Fachmann durchgeführt werden können, ohne den Bereich der angefügten Ansprüche zu verlassen.

Claims

Vorrichtung (700), die ausgebildet ist zum Sintern eines sich drehenden Glasbasismaterials (2), das ein Basismaterial für eine optische Faser ist, welche Sintervorrichtung aufweist: eine Steuereinheit (4), die ausgebildet ist zum Verändern einer Bedingung zum Sintern des Glasbasismaterials (2); und einen Ofen (12), der ausgebildet ist zum Sintern des Glasbasismaterials (2) durch Erwärmen des Glasbasismaterials (2) in einer Atmosphäre eines Dehydratisierungsgases und eines inerten Gases, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit (4) eine Antriebseinheit (3) enthält, die ausgebildet ist zum Zuführen des Glasbasismaterials (2) zu dem Ofen, welche Steuereinheit so programmiert ist, dass sie als die Bedingung zum Sintern die Geschwindigkeit des Glasbasismaterials (2), das in dem Ofen (12) absinkt, auf der Grundlage der Position des Glasbasismaterials (2) in dem Ofen (12) verändert, wodurch die Geschwindigkeit derart ist, dass das Glasbasismaterial (2) in einer Weise absinkt, dass die Absinkgeschwindigkeit der ersten Hälfte des Glasbasismaterials (2) in einem Bereich (8) entsprechend der Heizquelle (8) langsamer als die der Endhälfte des Glasbasismaterials (2) in diesem Bereich (8) ist, wobei die Absinkgeschwindigkeit des Glasbasismaterials (2) in der ersten Hälfte dieses Bereichs (8) in dem Bereich von 0,8 mm pro Minute bis 2,2 mm pro Minute gegenüber einer Absinkgeschwindigkeit des Glasbasismaterials (2) in der Endhälfte dieses Bereichs (8) von 3,5 mm pro Minute ist.
Sintervorrichtung nach Anspruch 1, bei der die Steuereinheit einen ersten Sensor (6) enthält, der mit der Steuereinheit (3) verbunden ist, welcher ausgebildet ist zum Erfassen der Position des Glasbasismaterials innerhalb des Ofens.
Sintervorrichtung nach Anspruch 1, bei der der Ofen enthält: eine Heizquelle (9), die an der Peripherie des Ofens vorgesehen ist und ausgebildet ist, das Glasbasismaterial zu erwärmen; und ein Gaseinführungsrohr (11), das mit dem Ofen verbunden und ausgebildet ist, ein als das Dehydratisierungsgas dienendes Chlorgas und ein als das inerte Gas dienendes Heliumgas in den Ofen einzuführen.
Sintervorrichtung nach Anspruch 3, bei der die Steuereinheit eine Temperatursteuereinheit (15) enthält, die ausgebildet ist zum Steuern der Temperatur der Heizquelle über einen zweiten, in dem Ofen vorgesehenen Sensor (14).
Sintervorrichtung nach Anspruch 1 oder Anspruch 4, bei der das Gaseinführungsrohr (11) sich in einen Durchgang (23) für Dehydratisierungs-Reaktionsgas zum Einführen des Chlorgases und einen Durchgang (28) für inertes Gas zum Einführen des Heliumgases verzweigt.
Sintervorrichtung nach Anspruch 5, bei der eine Strömungsgeschwindigkeits-Steuereinheit (27) ausgebildet ist zum Verändern eines Strömungsge schwindigkeitsverhältnisses des Dehydratisierungs-Reaktionsgases zu dem des inerten Gases.
Sintervorrichtung nach Anspruch 2, bei der eine Markierung (5) in dem Glasbasismaterial (2) vorgesehen ist für die Erfassung der Position des Glasbasismaterials (2) durch den ersten Sensor (6).
Sintervorrichtung nach Anspruch 2 oder Anspruch 6, die ausgebildet ist zum Ändern der Absinkgeschwindigkeit des Basismaterials (2) auf einmal.
Sintervorrichtung nach Anspruch 2 oder Anspruch 6, die ausgebildet ist zum Verändern der Absinkgeschwindigkeit des Basismaterials (2) in einer allmählichen Weise.
Sintervorrichtung nach Anspruch 2 oder Anspruch 6, welche ausgebildet ist zum Ändern der Absinkgeschwindigkeit des Basismaterials (2) Stufe für Stufe.
Sintervorrichtung nach Anspruch 4, bei der die Temperatursteuereinheit (15) ausgebildet ist zur Durchführung einer Proportional-, Integral- und Differenzialoperation.
Sintervorrichtung nach Anspruch 5, bei der der Durchgang (23) für Dehydratisierungs-Reaktionsgas einen ersten Strömungsgeschwindigkeitsmesser (25) zum Messen der Strömungsgeschwindigkeit des Dehydratisierungs-Reaktionsgases und ein erstes Strömungsgeschwindigkeits-Einstellventil zum Einstellen der Strömungsgeschwindigkeit des Dehydratisierungs-Reaktionsgases (24) enthält, und der Durchgang für inertes Gas (28) einen zweiten Strömungsge schwindigkeitsmesser (20) zum Messen der Strömungsgeschwindigkeit des inerten Gases und ein zweites Strömungsgeschwindigkeits-Einstellventil (29) zum Einstellen der Strömungsgeschwindigkeit des inerten Gases enthält, und eine Strömungsgeschwindigkeits-Steuereinheit (27) vorgesehen ist zum Steuern der Strömungsgeschwindigkeit von in den Ofen (12) eingeführtem Gas, die sowohl mit dem ersten als auch mit dem zweiten Strömungsgeschwindigkeitsmesser (25, 20) verbunden ist, und eine zweite Antriebseinheit (26) vorgesehen ist, die mit der Strömungsgeschwindigkeits-Steuereinheit (27) und dem ersten und dem zweiten Strömungsgeschwindigkeits-Einstellventil (24, 29) verbunden ist.
Sintervorrichtung nach Anspruch 6, die ausgebildet ist zum Ändern von zumindest einem/einer aus einem Gasströmungsgeschwindigkeits-Verhältnis des Dehydratisierungs-Reaktionsgases gegenüber dem inerten Gas, der Absinkgeschwindigkeit des Glasbasismaterials (2) und der Temperatur, auf die das Glasbasismaterial (2) erwärmt wird, an mehreren Positionen.
Sintervorrichtung nach Anspruch 6, die ausgebildet ist zum Setzen des Verhältnisses von durch den Durchgang (23) für Dehydratisierungs-Reaktionsgas hindurchgehendem Gas zu durch den Durchgang (28) für inertes Gas hindurchgehendem Gas in dem Bereich von angenähert 10% bis 50%.
Sintervorrichtung nach Anspruch 4, bei der die Temperatursteuereinheit (15) ausgebildet ist zum Verändern der Temperatur in einer solchen Weise, dass die Temperaturdifferenz der Heizquelle (9) innerhalb angenähert 50°C gesetzt ist, wobei die Temperatur der Heizquelle (9) in dem Bereich von angenähert 1300°C bis 1650°C ist.
Verwendung der Vorrichtung nach Anspruch 1 in einer Vorrichtung zum Herstellen einer optischen Faser, welche Herstellungsvorrichtung weiterhin aufweist: eine Glasbasismaterial-Erzeugungsvorrichtung (600), die Glasbasismaterial (102), das als ein Rohmaterial für die optische Faser dient, erzeugt; eine erste Glasbasismaterial-Verlängerungsvorrichtung (900), die das Glasbasismaterial (102) verlängert, um einen Glasstab (106) zu erzeugen; eine zweite Glasstab-Verlängerungsvorrichtung (111), die den Glasstab (106) zum zweiten Mal verlängert, um einen Vorformling (107) zu erzeugen, der Ausgangsmaterial für die optische Faser ist; und eine Vorformling-Ziehvorrichtung (500), die den Vorformling (107) zieht, um die optische Faser zu erzeugen.