-
HINTERGRUND
DER ERFINDUNG
-
Die vorliegende Erfindung betrifft
einen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, wobei ein Teil einer Druckerzeugungskammer
in Verbindung stehend mit einer Düsenöffnung, die Tintentröpfchen ausstößt, aus
einer Schwingplatte besteht, ein piezoelektrisches Element über diese
Schwingplatte bereit gestellt wird, und Tintentröpfchen durch Verschieben des
piezoelektrischen Elementes ausgestoßen werden. Weiterhin betrifft
die vorliegende Erfindung eine Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung.
-
In Bezug auf den Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf,
bei dem ein Teil einer Druckerzeugungskammer in Verbindung stehend
mit einer Düsenöffnung,
die Tintentröpfchen
ausstößt, aus
einer Schwingplatte besteht, wird diese Schwingplatte durch ein
piezoelektrisches Element deformiert, um Tinte in der Druckerzeugungskammer
mit Druck zu beaufschlagen, wobei Tintentröpfchen aus der Düsenöffnung ausgestoßen werden,
werden zwei Aufzeichnungsköpfe
praktisch verwendet. Einer ist ein Aufzeichnungskopf verwendend
ein piezoelektrisches Stellglied mit Längsschwingbetrieb, der sich
in der Achsrichtung des piezoelektrischen Elementes ausdehnt und
zusammen zieht, und der andere verwendet ein piezoelektrisches Stellglied
mit Biegeschwingungsbetrieb.
-
Ersterer kann das Volumen in der
Druckerzeugungskammer durch Anstoßen der Endfläche des
piezoelektrischen Elementes gegen die Schwingplatte ändern, und
die Herstellung eines Kopfes geeignet für Drucken mit hoher Dichte
wird ermöglicht.
Andererseits ist ein kompliziertes Verfahren notwendig, in dem das
piezoelektrische Element zugeschnitten und in eine Kammzahnform
unterteilt wird, um es mit der Feldteilung der Düsenöffnung in Übereinstimmung zu bringen,
und ein Verfahren, um das zugeschnittene und aufgeteilte piezoelektrische Element
auf die Druckerzeugungskammer auszurichten und an dieser zu befestigen,
und damit besteht das Problem eines komplizierten Herstellungsprozesses.
-
Andererseits kann das piezoelektrische
Element in letztgenanntem in einem relativ einfachen Verfahren auf
einer Schwingplatte hergestellt und installiert werden, wobei eine grüne Tafel,
die piezoelektrisches Material ist, aufgeklebt wird und wobei ihre
Form an die Form der Druckerzeugungskammer angepasst wird und sie
gesintert wird. Jedoch ist eine bestimmte Größe von Schwingplatte aufgrund
der Nutzung von Biegeschwingung erforderlich, so dass das Problem
entsteht, dass ein Feld hoher Dichte des piezoelektrischen Elementes
schwierig ist.
-
Um diesen Nachteil des letztgenannten
Aufzeichnungskopfes zu lösen,
wie in der Japanischen Offenlegungsschrift Nr. 5-286131 gezeigt,
wird ein Aufzeichnungskopf vorgeschlagen, bei dem eine ebene Schicht
aus piezoelektrischem Material auf der gesamten Fläche der
Schwingplatte mittels Abscheidung ausgebildet wird, die Schicht
aus piezoelektrischem Material in einem Lithografieverfahren zugeschnitten
und in eine Form entsprechend der Druckerzeugungskammer gebracht
wird und das piezoelektrische Element so ausgebildet wird, dass
es unabhängig
von einem anderen piezoelektrischen Element für eine jede Druckerzeugungskammer
ist.
-
Entsprechend dem beschriebenen Verfahren ist
ein Verfahren für
das Aufkleben des piezoelektrischen Elementes auf die Schwingplatte
unnötig,
und es besteht ein Vorteil nicht nur dahingehend, dass das piezoelektrische
Element mit genauen und einfachen Mitteln, dem Lithografieverfahren,
hergestellt werden kann, sondern auch dahingehend, dass die Dicke
des piezoelektrischen Elementes dünn sein kann und dass ein schneller
Antrieb ermöglicht
wird.
-
Bei einem solchen Tintenstrahl-Druckkopf, da
eine Druckerzeugungskammer durch Ätzen der Substratfläche gegenüber der,
auf der sich das piezoelektrische Element befindet, oder durch ein
anderes Verfahren so ausgebildet wird, dass sie in die Dickenrichtung
des Kopfes hinein ragt, kann eine Druckerzeugungskammer relativ
einfach in hoher Dichte und mit hoher Maßgenauigkeit angeordnet werden.
-
Bei einem solchen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf,
wenn ein relativ großes
Substrat mit einem Durchmesser von beispielsweise etwa 6 bis 12 Zoll
für Ausbilden
der Druckerzeugungskammer verwendet wird, muss die Dicke des Substrats
jedoch wegen des Handhabungsproblems dick gemacht werden, und die
Tiefe der Druckerzeugungskammer wird mit der Dicke des Substrats
tiefer. Daher kann eine hinreichende Steifigkeit nur erricht werden, wenn
die Dicke der Kammerwände,
die die Druckerzeugungskammer unterteilen, dicker gemacht wird; somit
entsteht ein Problem von Nebensprechen und die gewünschte Ausstoßcharakteristik
kann nicht erzielt werden. Weiterhin, wenn die Kammerwände dicker
gemacht werden, können
die Düsen
nicht in hoher Dichte angeordnet werden, und somit besteht ein Problem
dahingehend, dass keine hochauflösende Druckqualität erzielt
werden kann.
-
ZUSAMMENFASSUNG
DER ERFINDUNG
-
Aufgabe der vorliegenden Erfindung
in Anbetracht der oben genannten Umstände ist die Bereitstellung
eines Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes, der in der Lage ist, die
Steifigkeit der Kammerwände zu
verbessern und die Druckerzeugungskammern in hoher Dichte anzuordnen,
und einer Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung.
-
Ein erster Aspekt der vorliegenden
Erfindung zur Lösung
des oben beschriebenen Problems ist ein Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf,
der ein durchlassbildendes Substrat umfassend mindestens eine Siliziumschicht,
die aus einem Einkristallsilizium besteht, und eine darauf definierte
Druckerzeugungskammer, die mit einer Düsenöffnung in Verbindung steht,
und ein piezoelektrisches Element für Erzeugen, eines Druckunterschiedes
in der Druckerzeugungskammer umfasst, wobei das piezoelektrische Element
in einem Bereich gegenüber
der Druckerzeugungskammer über
eine Schwingplatte bereit gestellt wird, die einen Teil der Druckerzeugungskammer
darstellt. Der Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf
ist dadurch charakterisiert, dass er weiterhin eine Verbindungsplatte,
verbunden mit dem durchlassbildenden Substrat auf der Oberfläche, wo
das piezoelektrische Element ausgebildet wird, umfasst und dass die
Düsenöffnung auf
der Verbindungsplatte bereit gestellt wird.
-
In einem ersten Aspekt kann die Düsenöffnung problemlos
ausgebildet werden, selbst wenn die Druckerzeugungskammern ohne
Durchdringung des durchlassbildenden Substrats ausgebildet werden.
Daher kann die Druckerzeugungskammer relativ flach ausgebildet werden,
und die Steifigkeit der Kammerwände,
die die Druckerzeugungskammern unterteilen, wird verbessert.
-
Ein zweiter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem ersten Aspekt ist dadurch gekennzeichnet,
dass eine integrierte Schaltung auf der Verbindungsplatte ausgebildet
ist.
-
In dem zweiten Aspekt wird die integrierte Schaltung
auf der mit dem durchlassbildenden Substrat verbundenen Verbindungsplatte
ausgebildet, und somit kann der Herstellungsprozess des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
vereinfacht werden und die Anzahl der Teile kann verringert werden,
was zu einer Kostensenkung führt.
-
Ein dritter Aspekt des erfindungsgemäßen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem ersten und dem zweiten Aspekt ist dadurch gekennzeichnet, dass
die Verbindungsplatte eine Dichtungsplatte ist, die einen Halteabschnitt
für das
piezoelektrische Element umfasst, der einen Raum in einem Zustand
abdichten kann, wobei der Raum für
das piezoelektrische Element so gesichert ist, dass dessen Bewegung
nicht gestört
wird, in einem Bereich dem piezoelektrischen Element gegenüber liegend.
-
In einem dritten Aspekt wird ein
Brechen des piezoelektrischen Elementes wegen der äußeren Umgebung
verhindert.
-
Ein vierter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem zweiten und dem dritten Aspekt
ist dadurch gekennzeichnet, dass die integrierte Schaltung eine
Ansteuerschaltung für
Ansteuern des piezoelektrischen Elementes ist.
-
In dem vierten Aspekt kann die Ansteuerschaltung
für Ansteuern
des piezoelektrischen Elementes relativ leicht ausgebildet werden.
-
Ein fünfter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem zweiten oder dem dritten Aspekt
ist dadurch gekennzeichnet, dass die integrierte Schaltung eine
Temperaturerfassungseinrichtung zum Erfassen einer Temperatur eines
Kopfes oder eine Temperatursteuerschaltung zum Steuern der Temperatur
ist.
-
In dem fünften Aspekt kann die Temperaturerfassungseinrichtung
oder die Temperatursteuerschaltung relativ leicht ausgebildet werden.
-
Ein sechster Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem zweiten oder dem dritten Aspekt
ist dadurch gekennzeichnet, dass die integrierte Schaltung eine Ausstoßzahl-Erfassungseinrichtung
zum Erfassen der Ausstoßzahl
von Tintentröpfchen
ist, die aus der Düsenöffnung ausgestoßen werden.
-
In dem sechsten Aspekt kann die Ausstoßzahl-Erfassungseinrichtung
relativ leicht ausgebildet werden.
-
Ein siebenter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem dritten Aspekt ist dadurch gekennzeichnet,
dass die integrierte Schaltung eine Feuchtigkeitssteuerschaltung
zum Ausführen
von Steuerung der Feuchtigkeitsertassungseinrichtung zum Erfassen
von Feuchtigkeit des Halteabschnittes des piezoelektrischen Elementes
ist.
-
In dem siebenten Aspekt kann die
Feuchtigkeitssteuerschaltung relativ leicht ausgebildet werden.
-
Ein achter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach einem des zweiten bis siebenten
Aspekts ist dadurch gekennzeichnet, dass die integrierte Schaltung
auf der gegenüber
liegenden Fläche
der Verbindungsplatte mit dem durchlassbildenden Substrat bereit
gestellt wird.
-
In dem achten Aspekt kann die Verdrahtung der
integrierten Schaltung an der Oberfläche der Verbindungsplatte herausgenommen
werden.
-
Ein neunter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach einem des zweiten bis siebenten
Aspekts ist dadurch gekennzeichnet, dass die integrierte Schaltung
auf der Verbindungsfläche
der Verbindungsplatte mit dem durchlassbildenden Substrat bereitgestellt
wird und das piezoelektrische Element sowie die integrierte Schaltung
durch Flip-Chip-Montage elektrisch verbunden sind.
-
In dem neunten Aspekt können die
integrierte Schaltung und das piezoelektrische Element direkt verbunden
werden, indem das durchlassbildende Substrat und die Verbindungsplatte
verbunden werden.
-
Ein zehnter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem neunten Aspekt ist dadurch gekennzeichnet, dass
Verbindungsverdrahtung ausgebildet wird, um die integrierte Schaltung
und externe Verdrahtung zu verbinden, und die integrierte Schaltung
und die Verbindungsverdrahtung durch Flip-Chip-Montage elektrisch
verbunden sind.
-
In dem zehnten Aspekt können die
integrierte Schaltung und die Verbindungsverdrahtung direkt verbunden
werden, indem das durchlassbildende Substrat und die Verbindungsplatte
verbunden werden.
-
Ein elfter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem neunten oder dem zehnten Aspekt
ist dadurch gekennzeichnet, dass die integrierte Schaltung und das piezoelektrische
Element oder die Verbindungsverdrahtung durch ein anisotropes leitendes
Material (z. B. anisotrope leitende Schicht) verbunden sind.
-
In dem elften Aspekt können die
integrierte Schaltung und das piezoelektrische Element oder die Verbindungsverdrahtung
relativ einfach und genau verbunden werden.
-
Ein zwölfter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach einem des ersten bis elften Aspekts
ist dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindungsplatte aus einem Einkristall-Siliziumsubstrat
besteht.
-
In dem zwölften Aspekt kann die integrierte Schaltung
auf der Verbindungsplatte relativ einfach und mir guter Genauigkeit
ausgebildet werden.
-
Ein dreizehnter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach einem des ersten bis zwölften Aspekts
ist dadurch gekennzeichnet, dass die Druckerzeugungskammer auf einer
Fläche
des durchlassbildenden Substrats ohne Durchdringen des durchlassbildenden
Substrats ausgebildet wird und ein Behälter für Zuführen von Tinte zu der Druckerzeugungskammer
auf der anderen Fläche
des durchlassbildenden Substrats ausgebildet wird.
-
In dem dreizehnten Aspekt kann die
Druckerzeugungskammer relativ flach ausgebildet werden, und die
Steifigkeit der Kammerwände,
die die Druckerzeugungskammern unterteilen, wird verbessert, Darüber hinaus
wird ein Behälter
mit einem ausreichend großen
Volumen in Bezug auf das der Druckerzeugungskammer bereitgestellt,
und Änderungen
des Innendruckes werden von der Tinte selbst in dem Behälter ausgeglichen.
-
Ein vierzehnter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem dreizehnten Aspekt ist dadurch
gekennzeichnet, dass der Behälter
direkt mit der Druckerzeugungskammer in Verbindung steht.
-
In dem vierzehnten Aspekt wird Tinte
direkt aus dem Behälter
zu jeder Druckerzeugungskammer zugeführt.
-
Ein fünfzehnter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem dreizehnten Aspekt ist dadurch
gekennzeichnet, dass ein Tinten-Verbindungsweg,
der mit einem Endabschnitt in der Längsrichtung der Druckerzeugungskammer
in Verbindung steht, auf einer Fläche des durchlassbildenden
Substrats ausgebildet ist, und der Behälter in Verbindung mit dem
Tinten-Verbindungsweg steht.
-
In dem fünfzehnten Aspekt, da Tinte
von dem Behälter
durch den Tinten-Verbindungsweg
zu jeder Druckerzeugungskammer zugeführt wird, kann der Tintenwiderstand
in einem eingeengten Bereich trotz Änderung einer Querschnittsfläche eines
Verbindungsabschnittes zwischen dem Behälter und dem Tinten-Verbindungsweg
kontrolliert werden, und somit kann die Änderung der Tintenausstoßcharakteristik
zwischen den Druckerzeugungskammern reduziert werden.
-
Ein sechzehnter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem fünfzehnten Aspekt ist dadurch
gekennzeichnet, dass ein Tinten-Verbindungsweg
für jede
Druckerzeugungskammer bereitgestellt wird.
-
In dem sechzehnten Aspekt wird Tinte
von dem Behälter
durch den für
jede Druckerzeugungskammer bereitgestellten Tinten-Verbindungsweg
zu jeder Druckerzeugungskammer zugeführt.
-
Ein siebzehnter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem fünfzehnten Aspekt ist dadurch
gekennzeichnet, dass der Tinten-Verbindungsweg
durchgängig
in der Richtung bereitgestellt wird, in der die Druckerzeugungskammern
parallel bereitgestellt sind.
-
In dem siebzehnten Aspekt wird Tinte
von dem Behälter
durch einen gemeinsamen Tinten-Verbindungsweg zu jeder Druckerzeugungskammer
zugeführt.
-
Ein achtzehnter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach einem des dreizehnten bis siebzehnten
Aspekts ist dadurch gekennzeichnet, dass ein Düsen-Verbindungsweg, der die
Druckerzeugungskammer mit der Düsenöffnung verbindet
an dem Endabschnitt gegenüber
dem Behälter
in der Längsrichtung
der Druckerzeugungskammer angeordnet ist.
-
In dem achtzehnten Aspekt wird Tinte
stabil von dem Behälter
zu der Druckerzeugungskammer zugeführt, und Tinte wird hervorragend
aus der Düsenöffnung ausgestoßen.
-
Ein neunzehnter Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem achtzehnten Aspekt ist dadurch
gekennzeichnet, dass der Düsen-Verbindungsweg ausgebildet
wird, indem die Schwingplatte entfernt wird.
-
In dem neunzehnten Aspekt kann der
Düsen-Verbindungsweg
leicht ausgebildet werden.
-
Ein zwanzigster Aspekt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
der vorliegenden Erfindung nach dem achtzehnten oder dem neunzehnten
Aspekt ist dadurch gekennzeichnet, dass die Innenfläche des Düsen-Verbindungsweges
mit Klebstoff überzogen ist.
-
In dem zwanzigsten Aspekt wird Abblättern der
Schwingplatte wegen Tintenströmens
durch den Düsen-Verbindungsweg
verhindert.
-
Ein einundzwanzigster Aspekt des
Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes der vorliegenden Erfindung nach
einem des ersten bis zwanzigsten Aspekts ist dadurch gekennzeichnet,
dass das durchlassbildende Substrat nur aus einer Siliziumschicht besteht.
-
In dem einundzwanzigsten Aspekt wird
die Druckerzeugungskammer nur durch die Siliziumschicht ausgebildet.
-
Ein zweiundzwanzigster Aspekt des
Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes der vorliegenden Erfindung nach
einem des ersten bis zwanzigsten Aspekts ist dadurch gekennzeichnet,
dass das durchlassbildende Substrat aus einem SOI-Substrat besteht,
das Siliziumschichten auf beiden Flächen einer Isolierschicht aufweist.
-
In dem zweiundzwanzigsten Aspekt
kann Strukturierung für
die Druckerzeugungskammer, den Behälter oder ähnliches relativ leicht mit
guter Genauigkeit durchgeführt
werden.
-
Ein dreiundzwanzigster Aspekt des
Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes der vorliegenden Erfindung nach
einem des ersten bis dreiundzwanzigsten Aspekts ist dadurch gekennzeichnet,
dass die Ebenen-Orientierung der Siliziumschicht, die aus dem durchlassbildenden
Substrat besteht, eine (100)-Ebene ist.
-
In dem vierundzwanzigsten Aspekt
kann der Behälter
oder ähnliches
mit hoher Genauigkeit auch durch Nassätzen ausgebildet werden.
-
Ein fünfundzwanzigster Aspekt des
Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes der vorliegenden Erfindung nach
dem vierundzwanzigsten Aspekt ist dadurch gekennzeichnet, dass die
seitliche Querschnittsfläche
der Druckerzeugungskammer eine annähernd dreieckige Form hat.
-
In dem fünfundzwanzigsten Aspekt wird
die Steifigkeit der Kammerwand zwischen den Druckerzeugungskammern
signifikant verbessert; die Druckerzeugungskammern können in
hoher Dichte angeordnet und Nebensprechen kann verhindert werden.
-
Ein sechsundzwanzigster Aspekt des
Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes der vorliegenden Erfindung nach
einem des ersten bis fünfundzwanzigsten Aspekts
ist dadurch charakterisiert, dass die Druckerzeugungskammer durch
anisotropes Ätzen
ausgebildet wird und dass jede Schicht, die die Schwingplatte ausbildet,
und das piezoelektrische Element durch ein Abscheide-und-Lithografie-Verfahren
ausgebildet wird.
-
In dem sechsundzwanzigsten Aspekt
kann der Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf, der die Düsenöffnungen
in hoher Dichte hat, relativ leicht in einer großen Menge hergestellt werden.
-
Ein siebenundzwanzigster Aspekt der
vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung
den Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf
nach einem des ersten bis sechsundzwanzigsten Aspekts umfasst.
-
In dem siebenundzwanzigsten Aspekt
kann die Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung mit einer verbesserten
Tintenausstoßcharakteristik
des Kopfes und einer hohen Dichte derselben ausgeführt werden.
-
KURZE BESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
-
Für
ein besseres Verständnis
der vorliegenden Erfindung und der Vorteile derselben wird nunmehr
auf die folgenden Beschreibungen in Verbindung mit den angehängten Zeichnungen
verwiesen.
-
1 ist
eine perspektivische Ansicht zur Darstellung eines Umrisses des
Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nach dem Ausführungsbeispiel 1 der vorliegenden
Erfindung.
-
2(a) bis 2(c) sind Ansichten zur Veranschaulichung
des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nach
dem Ausführungsbeispiel
1 der vorliegenden Erfindung: 2(a) ist
ein Querschnitt von 1; und 2(b) und 2(c) sind
Draufsichten derselben.
-
3(a) bis 3(d) sind Querschnitte zur Veranschaulichung
des Herstellungsverfahrens des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
1 der vorliegenden Erfindung.
-
4(a) bis 4(d) sind Querschnitte zur Veranschaulichung
des Herstellungsverfahrens des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
1 der vorliegenden Erfindung.
-
5(a) bis 5(c) sind Querschnitte zur Veranschaulichung
des Herstellungsverfahrens des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
1 der vorliegenden Erfindung.
-
6 ist
ein Querschnitt zur Veranschaulichung eines abgeänderten Beispiels des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
zu dem Ausführungsbeispiel
1 der vorliegenden Erfindung.
-
7 ist
ein Querschnitt zur Veranschaulichung eines weiteren abgeänderten
Beispiels des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes zu dem Ausführungsbeispiel
1 der vorliegenden Erfindung.
-
8 ist
ein Querschnitt zur Veranschaulichung des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
2 der vorliegenden Erfindung.
-
9 ist
eine perspektivische Ansicht zur Veranschaulichung eines Umrisses
des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nach dem Ausführungsbeispiel
3 der vorliegenden Erfindung.
-
10(a) und 10(b) sind Querschnitte zur Veranschaulichung
des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nach dem Ausführungsbeispiel
3 der vorliegenden Erfindung.
-
11 ist
ein Querschnitt zur Veranschaulichung eines abgeänderten Beispiels des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
3 der vorliegenden Erfindung.
-
12 ist
eine perspektivische Ansicht zur Veranschaulichung eines Umrisses
des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nach dem Ausführungsbeispiel
4 der vorliegenden Erfindung.
-
13(a) und 13(b) sind Querschnitte zur Veranschaulichung
des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nach dem Ausführungsbeispiel
4 der vorliegenden Erfindung.
-
14(a) bis 14(f) sind Querschnitte zur Veranschaulichung
des Herstellungsverfahrens des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
4 der vorliegenden Erfindung.
-
15(a) bis 15(f) sind Querschnitte zur Veranschaulichung
des Herstellungsverfahrens des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
4 der vorliegenden Erfindung.
-
16 ist
ein Querschnitt zur Veranschaulichung eines abgeänderten Beispiels des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
4 der vorliegenden Erfindung.
-
17 ist
ein Querschnitt zur Veranschaulichung des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
5 der vorliegenden Erfindung.
-
18 ist
eine Draufsicht zur Veranschaulichung eines Umrisses des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
5 der vorliegenden Erfindung.
-
19 ist
eine Draufsicht zur Veranschaulichung eines abgeänderten Beispiels des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
5 der vorliegenden Erfindung.
-
20 ist
ein Querschnitt zur Veranschaulichung des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach einem anderen Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung.
-
21 ist
eine schematische Darstellung der Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung nach einem
Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung.
-
BESCHREIBUNG
DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSBEISPIELE
-
Die vorliegende Erfindung wird anhand
der Ausführungsbeispiele
unten ausführlich
beschrieben.
-
(Ausführungsbeispiel 1)
-
1 ist
eine auseinandergezogene perspektivische Darstellung zur Veranschaulichung
des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nach dem Ausführungsbeispiel
1 der vorliegenden Erfindung. 2(a) bis 2(c) sind Querschnitte und Draufsichten
des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes in der Längsrichtung der Druckerzeugungskammer.
-
Wie in der Zeichnungen dargestellt,
hat ein durchlassbildendes Substrat 10 mit darauf ausgebildeten
Druckerzeugungskammern 12 beispielsweise eine Dicke von
150 μm bis
1 mm und besteht aus Einkristallsiliziumsubstrat mit einer Ebene
(100) der Ebenen-Orientierung.
Auf dem Oberflächenschichtbereich
einer der Flächen
werden Druckerzeugungskammern 12, geteilt durch eine Vielzahl
von Kammerwänden 11,
durch anisotropes Ätzen
ausgebildet.
-
An einem Endbereich der Längsrichtung
jeder Druckerzeugungskammer 12 sind ein tintenverbindender
Bereich 13, der eine Zwischenkammer für Verbinden eines Behälters 15 (der
später
beschrieben wird) und der Druckerzeugungskammer 12 ist, über einen
verengten Bereich 14 mit einer schmaleren Breite als die
der Druckerzeugungskammer 12 verbunden. Der Tinten-Verbindungsbereich 13 und der
eingeengte Bereich 14 werden ebenfalls durch anisotropes Ätzen gemeinsam
mit der Druckerzeugungskammer 12 ausgebildet. Zu beachten
ist, dass der eingeengte Bereich 14 hergestellt wird, um
den ein- und austretenden Tintenstrom zu steuern.
-
Bei der Durchführung anisotropen Ätzens kann
entweder ein Nassätzverfahren
oder ein Trockenätzverfahren
angewandt werden. Bei der Durchführung
von halbem Ätzen
(Halbätzen)
in der Dickenrichtung des Einkristallsiliziumsubstrats wird die
Druckerzeugungskammer 12 flach ausgebildet. Die Tiefe der
Druckerzeugungskammer 12 kann angepasst werden, indem die Ätzzeit des
Halbätzens
gesteuert wird.
-
Es ist darauf zu achten, dass in
dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
der Tinten-Verbindungsbereich 13 für jede Druckerzeugungskammer 12 bereitgestellt
wird. Jedoch hierauf nicht beschränkt, wie beispielsweise in 2(c) gezeigt, kann ein Tinten-Verbindungsbereich 13A so
hergestellt werden, dass er über
die eingeengten Bereiche 14 mit allen Druckerzeugungskammern 12 in
Verbindung steht. In diesem Fall kann der tinten-verbindende Bereich 13A auch
einen Bereich des Behälters 15, der
später
beschrieben wird, darstellen.
-
Auf der anderen Fläche des
durchlassbildenden Substrats 10 wird der Behälter 15,
der mit jedem tinten-verbindenden Bereich 13 in Verbindung
steht und Tinte zu jeder Druckerzeugungskammer 12 zuführt, ausgebildet.
Der Behälter 15 wird
mit einer festgelegten Maske durch anisotropes Ätzen ausgebildet, welches in
dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
Nassätzen
ist. Da der Behälter 15 in
dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
durch Nassätzen
ausgebildet wird, hat der Behälter 15 in
diesem Bereich der Öffnung
eine Form, die näher
an der Oberfläche des
durchlassbildenden Substrats 10 größer wird. Somit ist das Volumen
des Behälters 15 groß genug im
Vergleich zu dem Volumen aller Druckerzeugungskammern 12,
die Tinte zuführen.
-
In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
ist zu beachten, dass da das Einkristallsiliziumsubstrat mit einer
Ebene (100) der Ebenen-Orientierung als das durchlassbildende
Substrat 10 verwendet wird, der Behälter 15 oder ähnliches
ebenfalls durch Nassätzen
mit guter Genauigkeit ausgebildet werden kann.
-
Zusätzlich wird in der Nähe des Endbereiches
des durchlassbildenden Substrats 10 eine besondere integrierte
Schaltung, die die Ansteuerschaltung 16 für Ansteuern
eines piezoelektrischen Elementes 300 in dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel
ist, aus einem Stück
in der Richtung ausgebildet, in der die Druckerzeugungskammern 12 parallel angeordnet
sind.
-
Auf diesem durchlassbildenden Substrat 10 ist
eine elastische Schicht 50 mit einer Dicke von 1 bis 2 μm, die aus
einer Isolierschicht, beispielsweise aus Zirkoniumdioxid (ZrO2), besteht, angeordnet. Eine Fläche dieser
elastischen Schicht 50 stellt eine Wandfläche der
Druckerzeugungskammer 12 dar.
-
In einem Bereich gegenüber jeder
Druckerzeugungskammer 12 auf der elastischen Schicht 50 werden
eine untere Elektrodenschicht 60 mit einer Dicke von beispielsweise
etwa 0,5 μm,
eine piezoelektrische Schicht 70 mit einer Dicke von beispielsweise
etwa 1 μm
und eine obere Elektrodenschicht 80 mit einer Dicke beispielsweise
von etwa 0,1 μm
in einem geschichteten Zustand mit einem Verfahren (das später beschrieben
wird) ausgebildet, was das piezoelektrische Element 300 darstellt.
Hierbei veranschaulicht das piezoelektrische Element 300 einen Bereich,
der die untere Elektrodenschicht 60, die piezoelektrische
Schicht 70 und die obere Elektrodenschicht 80 umfasst.
Normalerweise ist das piezoelektrische Element 300 so beschaffen,
dass eine beliebige Elektrode des piezoelektrischen Elementes 300 zu
einer gemeinsamen Elektrode wird und dass die anderen Elektroden
und die piezoelektrische Schicht 70 einer Strukturierung
für jede
Druckerzeugungskammer 12 unterworfen werden. Und in diesem
Fall wird ein Bereich, der aus einer beliebigen Elektrode und der
piezoelektrischen Schicht 70 besteht, an dem Strukturierung
durchgeführt
wird, und wobei piezoelektrische Verzerrung durch Anlegen einer Spannung
an beide Elektroden erzeugt wird, als der piezoelektrisch aktive
Bereich bezeichnet. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird die untere Elektrodenschicht 60 zu
einer gemeinsamen Elektrode des piezoelektrischen Elementes 300 gemacht, und
die obere Elektrodenschicht 80 soll eine Einzelelektrode
sein. Jedoch tritt auch dann kein Problem auf, wenn dies wegen bequemer
Anordnung der Ansteuerschaltung oder Verdrahtung umgekehrt wird.
In jedem Fall wird der piezoelektrisch aktive Bereich für jede Druckerzeugungskammer
ausgebildet. In diesem Ausführungsbeispiel
werden das piezoelektrische Element 300 und die elastische
Schicht 50, wo Verschiebung durch eine Ansteuerung des
piezoelektrischen Elementes 300 eintritt, in Kombination
als piezoelektrisches Stellglied bezeichnet.
-
Weiterhin werden Bleielektroden 90 so
bereitgestellt, dass sie sich zwischen den aus einem Stück auf dem
durchlassbildenden Substrat 10 angeordneten oberen Elektrodenschichten 80 der
jeweiligen piezoelektrischen Elemente 300 und der Ansteuerschaltung 16 auf
die elastische Schicht 50 erstrecken. Die Bleielektroden 90 und
die Ansteuerschaltung 16 sind durch die in einem Bereich
der elastischen Schicht 50 gegenüber der Ansteuerschaltung 16 angeordneten
Verbindungswege 51 elektrisch verbunden.
-
Weiterhin werden in der Nähe des Endbereiches
gegenüber
dem tinten-verbindenden Bereich 13 in der Längsrichtung
der Druckerzeugungskammer 12 Düsen-Verbindungswege 52, die mit
den Düsenöffnungen 21 (die
später
beschrieben werden) in Verbindung stehen, für jede Druckerzeugungskammer 12 bereitgestellt,
indem die elastische Schicht 50 und die untere Elektrodenschicht 60 entfernt
werden.
-
Auf der elastischen Schicht 50 und
der unteren Elektrodenschicht 60, auf der das piezoelektrische
Element 300 ausgebildet wird, wie in 1 und in 2 gezeigt,
wird eine Düsenplatte 20 bereitgestellt,
wobei die Düsenöffnungen 21 so
gebohrt werden, dass sie mit den jeweiligen Druckerzeugungskammern 12 durch
die Düsen-Verbindungswege 52 in
Verbindung stehen. Die Düsenplatte 20 besteht
beispielsweise aus einem Einkristallsiliziumsubstrat, und ein Haltebereich 22 für das piezoelektrischen
Element, der in der Lage ist, einen Raum in einem Zustand abzudichten,
wobei der Raum für
das piezoelektrische Element 300 so gesichert ist, dass dessen
Bewegung nicht gestört
wird, wird in einem Bereich der Düsenplatte 20 bereitgestellt,
der gegenüber
dem piezoelektrischen Element 300 liegt. Das piezoelektrische
Element 300 wird in dem Haltebereich 22 für das piezoelektrische
Element luftdicht abgedichtet.
-
Dabei werden die Größe der Druckerzeugungskammer 12,
die Tintentröpfchen-Ausstoßdruck auf
die Tinte aufbringt, und die Größe der Düsenöffnung 21,
die Tintentröpfchen
ausstößt, entsprechend der
Menge ausgestoßener
Tintentröpfchen,
der Ausstoßgeschwindigkeit
und der Ausstoßhäufigkeit
optimiert. In einem Fall, in dem beispielsweise 360 Tröpfchen pro
1 Zoll erfasst werden, muss die Düsenöffnung 21 in der Größe mehrerer
Dutzend Mikrometer im Durchmesser mit guter Genauigkeit ausgebildet werden.
-
Eine solche Düsenplatte 20 wird
auf der elastischen Schicht 50 und der unteren Elektrodenschicht 60 mit
Klebstoff oder ähnlichem
befestigt. Nun soll die Innenfläche
der Düsen-Verbindungswege 52,
die auf der elastischen Schicht 50 und der unteren Elektrodenschicht 60 ausgebildet
werden, vorzugsweise mit dem Klebstoff überzogen werden. Damit wird
die Innenfläche
der Tinten-Verbindungswege 52 geschützt, und Abblättern und ähnliches
der elastischen Schicht 50 oder der unteren Elektrodenschicht 60 kann
verhindert werden.
-
Da die Düsenplatte 20, wo die
Düsenöffnungen 21 gebohrt
werden, in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
wie oben beschrieben auf der Fläche des
durchlassbildenden Substrats 10 bereitgestellt werden,
wo die piezoelektrischen Elemente 300 ausgebildet werden,
kann die Druckerzeugungskammer 12 ausgebildet werden, ohne
in das durchlassbildende Substrat 10 einzudringen. Daher
kann die Druckerzeugungskammer 12 relativ dünn ausgebildet werden,
um Steifigkeit der Kammerwand 11 zu verbessern, die die
Druckerzeugungskammern unterteilt, und eine Vielzahl der Druckerzeugungskammern 12 kann
in hoher Dichte gruppiert werden. Darüber hinaus wird die Nachgiebigkeit der Kammerwand 11 gering
und die Tinten-Ausstoßcharakteristik verbessert
sich somit.
-
Da die Dicke des durchlassbildenden
Substrats 10 ebenfalls relativ dick gestaltet werden kann, wird
die Handhabung leicht, selbst wenn es sich um große Halbleiterscheiben
handelt. Daher kann die Anzahl der pro Halbleiterscheibe herausgenommenen
Chips erhöht
werden, und die Herstellungskosten für selbige können gesenkt werden. Darüber hinaus
und weil auch die Chipgröße vergrößert werden kann,
kann ein Kopf großer
Größe hergestellt
werden. Weiterhin wird das Auftreten von Verziehungen des durchlassbildenden
Substrats unterdrückt,
was eine problemlose Positionierung bei dem Verbinden mit anderen
Teilen mit sich bringt. Selbst nach dem Verbinden wird die charakteristische Änderung
des piezoelektrischen Elementes unterdrückt, um die Tinten-Ausstoßeigenschaft
zu stabilisieren.
-
Indem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird
die Druckerzeugungskammer 12 auf dem Oberflächenschichtbereich
einer Fläche
des durchlassbildenden Substrats 10 ausgebildet, und der
Behälter 15,
der mit jeder Druckerzeugungskammer 12 in Verbindung steht,
wird auf der anderen Fläche
ausgebildet. Dementsprechend kann das Volumen des Behälters 15 im
Vergleich zu dem Volumen der Druckerzeugungskammern 12 ausreichend groß ausgebildet werden,
so dass die Tinte selbst in dem Behälter 15 Nachgiebigkeit
hat. Daher besteht keine Notwendigkeit, separat ein Substrat oder ähnliches
für den
Ausgleich von Druckänderungen
in dem Behälter 15 bereitzustellen,
und die Konstruktion des Aufzeichnungskopfes kann entsprechend vereinfacht
werden und die Herstellungskosten können gesenkt werden.
-
Obwohl das Herstellungsverfahren
eines solchen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nicht besonders eingeschränkt ist,
kann es wie beschrieben ausgebildet werden.
-
Erstens, wie in 3(a) gezeigt,
wird das anisotrope Ätzen
auf einer Fläche
des Einkristallsiliziumsubstrats, das das durchlassbildende Substrat 10 wird,
durchgeführt,
indem eine Maske einer spezifischen Form, die beispielsweise aus
Siliziumdioxid besteht, verwendet wird, und so werden die Druckerzeugungskammer 12,
der Tinten-Verbindungsbereich 13 und
der eingeengte Bereich 14 ausgebildet. Es wird darauf verwiesen,
dass die Ansteuerschaltung 16 zum Ansteuern des piezoelektrischen
Elementes bereits in einem Stück
beispielsweise durch ein Halbleiterherstellungsverfahren auf dem
durchlassbildenden Substrat 10 ausgebildet worden ist.
-
Zweitens, wie in 3(b) gezeigt,
wird eine Kristallschicht 100 in die Druckerzeugungskammer 12,
den Tinten-Verbindungsbereich 13 und den eingeengten Bereich 14,
die auf dem durchlassbildenden Substrat 10 ausgebildet
werden, eingefüllt.
In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
beispielsweise wird die Opfermetallschicht 100 auf der
gesamten Fläche
des durchlassbildenden Substrats 10 in einer Dicke annähernd gleich
der Tiefe der Druckerzeugungskammer 12 ausgebildet. Danach
wird die in dem Bereich außer
der Druckerzeugungskammer 12, dem Tinten-Verbindungsbereich 13 und
dem eingeengten Bereich 14 ausgebildete Opfermetallschicht 100 mit
einem chemischmechanischen Poliermittel (CMP) entfernt, wodurch
die Opfermetallschicht 100 ausgebildet wird.
-
Obwohl das Material der Opfermetallschicht 100 nicht
besonders eingeschränkt
ist, können
beispielsweise Polysilizium, Phosphorsilicatglas (PSG) oder ähnliches
verwendet werden. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird PSG mit
einer relativ niedrigen Ätzgeschwindigkeit
verwendet.
-
Es wird darauf verwiesen, dass das
Herstellungsverfahren der Opfermetallschicht 100 nicht
besonders eingeschränkt
ist. Beispielsweise kann ein Gasabscheidung (oder Spritzpressverfahren)
genanntes Verfahren verwendet werden, bei dem höchstfeine Teilchen mit einem
Durchmesser von 1 μm
oder weniger bei Gasdruck, wie zum Beispiel Helium (He), mit hoher
Geschwindigkeit auf ein Substrat auftreffen, um eine Schicht abzuscheiden.
Mit diesem Verfahren kann die Opfermetallschicht 100 teilweise
nur in dem Bereich, der der Druckerzeugungskammer 12, dem
Tinten-Verbindungsbereich 13 und dem
eingeengten Bereich 14 entspricht, ausgebildet werden.
-
Danach, wie in 3(c) gezeigt,
wird die elastische Schicht 50 auf dem durchlassbildenden Substrat 10 und
der Opfermetallschicht 100 ausgebildet. In dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel
wird eine Schutzschicht 55, die eine Maske wird, wenn der Behälter 15 ausgebildet
wird, auf der anderen Fläche des
durchlassbildenden Substrats 10 ausgebildet. In dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel
beispielsweise wird, nachdem Zirkoniumschichten auf beiden Flächen des
durchlassbildenden Substrats 10 ausgebildet worden sind,
Wärmeoxidation
darauf in einem Diffusionsofen bei 500 bis 1200°C durchgeführt, um die elastische Schicht 50 und
die Schutzschicht 55, die aus Zirkoniumdioxid bestehen,
auszubilden.
-
Das Material der elastischen Schicht 50 und der
Schutzschicht 55 ist nicht besonders eingeschränkt, und
das Material muss in dem Schritt des Ausbildens des Behälters 15 und
in dem Schritt des Entfernens der Opfermetallschicht 100 nicht
geätzt werden.
Darüber
hinaus können
die elastische Schicht 50 und die Schutzschicht 55 aus
verschiedenen Materialien ausgebildet werden. Weiterhin kann die
Schutzschicht 55 in einem beliebigen Schritt ausgebildet
werden, wenn das Ausbilden ausgeführt wird, bevor der Behälter 15 ausgebildet
wird.
-
Als nächstes wird das piezoelektrische
Element 300 auf der elastischen Schicht 50 so
ausgebildet, dass es einer jeden Druckerzeugungskammer 12 entspricht.
-
In Bezug auf das wie in 3(d) gezeigte Verfahren des Ausbildens
des piezoelektrischen Elementes 300 wird zuerst die untere
Elektrodenschicht 60 durch Sputtern über die gesamte Fläche des durchlassbildenden
Substrats 10 auf der Fläche,
auf der die Druckerzeugungskammern 12 ausgebildet sind,
ausgebildet und einer Strukturierung in einer vorgegebenen Form
unterworfen. Als Material der unteren Elektrodenschicht 60 sind
Platin, Iridium oder ähnliches
vorzuziehen, da die piezoelektrische Schicht 70 (die später beschrieben
wird), die durch ein Sputterverfahren oder ein Solgel-Verfahren
abgeschieden wird, bei 600 bis 1000°C in Atmosphäre oder einer Sauerstoffatmosphäre gesintert
werden muss, um nach dem Abscheiden der Schicht kristallisiert zu
werden. Mit anderen Worten, das Material der unteren Elektrodenschicht 60 muss
Leitfähigkeit bei
solchen hohen Temperaturen und in Oxidationsatmosphäre beibehalten,
insbesondere wenn Bleizirkoniumtitanat (PZT) als piezoelektrische
Schicht 70 verwendet wird; die Änderung in der Leitfähigkeit
aufgrund von Diffusion von Bleioxid ist wünschenswerterweise gering.
Aus diesen Gründen
sind Platin und Iridium vorzuziehen.
-
Als nächstes wird wie in 4(a) gezeigt die piezoelektrische Schicht 70 abgeschieden.
In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
wird beispielsweise ein sogenanntes Solgel-Verfahren zur Ausbildung
der piezoelektrischen Schicht 70 verwendet. Bei dem Solgel-Verfahren
wird ein sogenanntes durch Auflösen/Dispergieren
von metallorganischem Material in einem Katalysator gewonnenes Sol
beschichtet und in einem Gelzustand getrocknet und danach bei einer
hohen Temperatur gesintert. Auf diese Weise erhält man die piezoelektrische
Schicht 70, die aus Metalloxid besteht. Als ein Material
der piezoelektrischen Schicht 70 wird Material der PZT-Reihe
bevorzugt, wenn es in dem Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf verwendet
wird. Es wird darauf verwiesen, dass das Abscheideverfahren der piezoelektrischen
Schicht 70 keinen besonderen Einschränkungen unterliegt. Zum Beispiel
kann die Abscheidung durch ein Sputterverfahren oder ein Aufschleuderverfahren,
wie zum Beispiel das MOD-Verfahren (metallorganisches Abscheideverfahren), durchgeführt werden.
-
Nachdem eine Vorläuferschicht aus Bleizirkoniumtitanat
mit dem Solgel-Verfahren ausgebildet worden ist, können darüber hinaus
das Sputterverfahren, das MOD-Verfahren oder ähnliches verwendet werden,
wobei die Schicht einem Kristallwachstum bei niedriger Temperatur
in einer alkalischen Wasserlösung
in einem Verarbeitungsverfahren unter hohem Druck unterworfen wird.
-
In jedem Fall hat die piezoelektrische
Schicht 70, die wie oben beschrieben abgeschieden wird,
im Gegensatz zu Massenpiezoelektrik Kristalle, die vorzugsweise
Orientierung unterliegen, und in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
werden die Kristalle der piezoelektrischen Schicht 70 in
einer Säulenform ausgebildet.
Es wird darauf verwiesen, dass die bevorzugte Orientierung einen
Zustand bedeutet, in dem die Orientierungsrichtung von Kristallen
nicht ungeordnet ist, sondern eine bestimmte Kristallfläche im Wesentlichen
in die gleiche Richtung weist. Eine Dünnschicht mit säulenförmigen Kristallen
bedeutet einen Zustand, wobei sich annährend säulenförmige Kristalle in der Oberflächenrichtung
ansammeln, um die Dünnschicht
abzuscheiden, während
die Mittelachsen der Kristalle annähernd der Dickenrichtung der
Dünnschicht
entsprechen. Natürlich
kann die Dünnschicht
aus kornförmigen
Kristallen ausgebildet werden, die der bevorzugten Orientierung
unterliegen. Es wird darauf verwiesen, dass die Dicke der piezoelektrischen
Schicht 70, die durch ein solches Dünnschichtverfahren hergestellt
wird, normalerweise 0,2 bis 5 μm
beträgt.
-
Als nächstes wird wie in 4(b) gezeigt die obere Elektrodenschicht 80 abgeschieden.
Die obere Elektrodenschicht 80 kann aus Material mit hoher
Leitfähigkeit
hergestellt werden, und verschiedene Arten von Metallen, wie zum
Beispiel Aluminium, Gold, Nickel, Platin oder leitendes Oxid kann
verwendet werden. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel wird Platin
durch Sputtern abgeschieden.
-
Danach, wie in 4(c) gezeigt,
werden nur die piezoelektrische Schicht 70 und die obere Elektrodenschicht 80 geätzt, um
Strukturierung des piezoelektrischen Elementes 300 durchzuführen. In dem
vorliegenden Ausführungsbeispiel
wird die elastische Schicht 50 in dem Bereich gegenüber der
Ansteuerschaltung 16 zur gleichen Zeit entfernt, wenn die
Strukturierung durchgeführt
wird; damit wird der Verbindungsweg 51, die der Verbindungsbereich
mit jedem piezoelektrischen Element 300 wird, ausgebildet,
und Strukturierung wird für
die elastische Schicht 50 und die untere Elektrodenschicht 60 in
der Nähe des
Endbereiches gegenüber
dem Tinten-Verbindungsbereich 13 in der Längsrichtung
der Druckerzeugungskammer 12 durchgeführt, wobei der Düsen-Verbindungsweg 52 ausgebildet
wird.
-
Als nächstes, wie in 4(d) gezeigt,
wird die Bleielektrode 90 über die gesamte Fläche des durchlassbildenden
Substrats 10 ausgebildet, Strukturierung wird auf der Bleielektrode 90 für jedes
piezoelektrische Element 300 durchgeführt, und die obere E lektrodenschicht 80 auf
jedem piezoelektrischen Element 300 und die Ansteuerschaltung 16 werden
durch den Verbindungsweg 51 elektrisch verbunden.
-
Wie in 5(a) gezeigt,
wird der Bereich der Schutzschicht 55, der auf der Fläche gegenüber der
Druckerzeugungskammer 12 des durchlassbildenden Substrats 10 ausgebildet
wird und der Behälter 15 wird,
durch Strukturieren entfernt, um einen Öffnungsbereich 56 auszubilden.
Und das anisotrope Ätzen
(Nassätzen)
wird durchgeführt,
bis das Ätzen von
dem Öffnungsbereich 56 bis
zu dem Tinten-Verbindungsbereich 13 reicht, um den Behälter 15 auszubilden.
Es wird darauf verwiesen, dass in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
der Behälter 15 ausgebildet
wird, nachdem das piezoelektrische Element 300 ausgebildet
wurde. Jedoch besteht keine Einschränkung, und der Behälter 15 kann
durch ein beliebiges Verfahren ausgebildet werden.
-
Als nächstes, wie in 5(b) gezeigt,
wird die Opfermetallschicht 100 durch Nassätzen oder Ätzen mit
Dampf von dem Behälter 15 entfernt.
Da in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
Phosphorsilicatglas (PSG) als Material der Opfermetallschicht 100 verwendet
wird, wird Ätzen
mit Fluorwasserstoffsäurelösung durchgeführt.
-
In dem oben beschriebenen Verfahren
werden die Druckerzeugungskammer 12 und das piezoelektrische
Element 300 ausgebildet. Danach, wie in 5(c) gezeigt,
wird die Düsenplatte 20,
in die die Düsenöffnungen 21 gebohrt
werden, mit Klebstoff oder ähnlichem
an der Oberfläche
des durchlassbildenden Substrats 10 befestigt, wo die piezoelektrischen
Elemente 300 ausgebildet werden.
-
In den wie oben beschriebenen Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf
wird Tinte aus einer externen Tintenzuführeinrichtung (nicht gezeigt)
in den Behälter 15 eingeleitet,
und der gesamte Innenbereich von dem Behälter 15 bis zu den
Düsenöffnungen 21 wird
mit Tinte gefüllt.
Danach wird entsprechend dem Aufzeichnungssignal von der Ansteuerschaltung 16 eine
Spannung zwischen den unteren Elektrodenschichten 60 und
den oberen Elektrodenschichten 80 entsprechend den Druckerzeugungskammern 12 angelegt,
und die elastische Schicht 50, die untere Elektrodenschicht 60 und
die piezoelektrische Schicht 70 werden mit Biegeverzerrung
hergestellt. Somit erhöht
sich der Druck in jeder Druckerzeugungskammer 12, und die
Tintentröpfchen
werden aus den Düsenöffnungen 21 ausgestoßen.
-
Es wird darauf verwiesen, dass in
dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
jede Druckerzeugungskammer 12 und der Behälter 15 so
hergestellt werden, dass sie miteinander durch den Tinten-Verbdungsbereich 13 und
den eingeengten Bereich 14 in Verbindung stehen. Jedoch
besteht hier keine Einschränkung,
und, wie beispielsweise in 6 gezeigt,
können
jede Druckerzeugungskammer 12 und der Behälter 15 so
hergestellt werden, dass sie direkt miteinander in Verbindung stehen.
-
Ebenfalls in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
wird der eingeengte Bereich 14 mit einer Breite enger als
die der Druckerzeugungskammer 12 ausgebildet, um den Zufluss
und den Austritt von Tinte in die und aus der Druckerzeugungskammer 12 zu kontrollieren.
Jedoch besteht hier keine Einschränkung, und wie beispielsweise
in 7 gezeigt, kann der
eingeengte Bereich 14A so hergestellt werden, dass er die
gleiche Breite hat wie die der Druckerzeugungskammer 12,
und die Tiefe kann angepasst werden.
-
(Ausführungsbeispiel 2)
-
8 ist
ein Querschnitt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nach Ausführungsbeispiel
2.
-
Das vorliegende Ausführungsbeispiel
ist ein Beispiel, bei dem ein durchlassbildendes Substrat mit einer
Vielzahl von Schichten verwendet wird. Wie in 8 gezeigt, werden ein SOI-Substrat, das
aus einer Isolierschicht 111 und einer ersten und einer zweiten
Siliziumschicht 112 und 113, bereitgestellt auf
beiden Flächen
der Isolierschicht 111, besteht, als durchlassbildendes
Substrat 10A verwendet.
-
Insbesondere ist die Struktur dieses
Beispiels identisch mit der des Ausführungsbeispiels 1, mit
folgender Ausnahme. Ätzen
wird auf der ersten Siliziumschicht 112 durchgeführt, deren
Schichtdicke dünner
ist als die der zweiten Siliziumschicht 113, bis Ätzen an
die Isolierschicht 111 heran reicht, um die Druckerzeugungskammer 12,
den Tinten-Verbindungsbereich 13 und
den eingeengten Bereich 14 auszubilden. Ätzen wird
für die
zweite Siliziumschicht 113 durchgeführt, bis Ätzen an die Isolierschicht 111 heran
reicht, um den Behälter 15 auszubilden,
und danach wird ein durchdrungener Bereich 111a an dem
Bereich der Isolierschicht 111 ausgebildet wird, der der
Bodenfläche
des Behälters 15 entspricht.
-
Bei einer solchen Struktur von Ausführungsbeispiel
2 kann natürlich
der gleiche Effekt wie bei dem Ausführungsbeispiel 1 erreicht werden.
-
(Ausführungsbeispiel 3)
-
9 ist
eine auseinandergezogene perspektivische Darstellung zur Veranschaulichung
des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nach Ausführungsbeispiel 3. 10(a) und 10(b) sind
Querschnitte zur Veranschaulichung einer Querschnittsstruktur in
der Längsrichtung
einer Druckerzeugungskammer des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes und eines Querschnittes
A-A' desselben.
-
Das vorliegende Ausführungsbeispiel
ist ein weiteres Beispiel, bei dem ein durchlassbildendes Substrat,
aus einer Vielzahl von Schichten bestehend, verwendet wird. Wie
in den Abbildungen gezeigt, besteht ein durchlassbildendes Substrat 10B aus
einer Polysiliziumschicht 111A und einer ersten und einer
zweiten Siliziumschicht 112 und 113, angeordnet
auf beiden Flächen
der Polysiliziumschicht 111A.
-
Auf einer Siliziumschicht, die das
durchlassbildende Substrat 10B bildet, die zum Beispiel
in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
die erste Siliziumschicht 112 ist, werden die Druckerzeugungskammern 12,
die durch eine Vielzahl von Kammerwänden 11 unterteilt
werden, parallel in der Breitenrichtung der ersten Siliziumschicht 112 angeordnet,
indem anisotropes Ätzen
durchgeführt
wird. An einem Endbereich in der Längsrichtung jeder Druckerzeugungskammer 12 wird
der Tinten-Verbindungsbereich 13 ausgebildet, der über einen
eingeengten Bereich 14 mit einem Endbereich in der Längsrichtung
der Druckerzeugungskammer 12 in Verbindung steht.
-
Auf der Siliziumschicht, die in dem
vorliegenden Ausführungsbeispiel
die zweite Siliziumschicht 113 ist, wird der Behälter 15 ausgebildet,
der die zweite Siliziumschicht 13 in der Dickenrichtung durchdringt
und mit dem Tinten-Verbindungsbereich 13 in Verbindung
steht. In dem Bereich gegenüber der
Druckerzeugungskammer 12, dem Tinten-Verbindungsbereich 13 und dem
eingeengten Bereich 14, der sich auf der Verbindungs fläche zu der
Siliziumschicht 111A befindet, und gleichzeitig in dem
Bereich mit Ausnahme des Bereiches, in dem der Behälter 15 in
Verbindung gebracht wird, wird eine mit Bor dotierte Siliziumschicht 113a,
die mit Bor dotiert wird, ausgebildet.
-
Jede der ersten Siliziumschicht 112 und
der zweiten Siliziumschicht 113, die das durchlassbildende
Substrat 10B darstellen, besteht aus einem Einkristallsiliziumsubstrat
einer Ebene (100) der Ebenen-Orientierung in dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel.
Daher bildet die Breitenrichtungsseite 12a der Druckerzeugungskammer 12 eine
schräge
Fläche,
die so geneigt ist, dass die Breite der Druckerzeugungskammer 12 näher an der
Fläche,
wo das piezoelektrische Element ausgebildet ist, enger wird. Somit
wird der Durchflusswiderstand in der Druckerzeugungskammer 12 kontrolliert.
-
Andererseits wird in der Polysiliziumschicht 111A,
die so gestützt
ist, dass sie zwischen der ersten und der zweiten Siliziumschicht 112 und 113 eingebettet
ist, in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
die mit Bor dotierte Polysiliziumschicht 111a, an die Bor
in einem bestimmten Bereich dotiert wird, ausgebildet. Durch die
mit Bor dotierte Polysiliziumschicht 111a erhält die Polysiliziumschicht 111A eine Ätzselektivität der Druckerzeugungskammer 12,
die in der ersten Siliziumschicht 112 ausgebildet ist.
Mit anderen Worten, im Wesentlichen wird nur die mit Bor dotierte
Polysiliziumschicht 111a so gestützt, dass sie zwischen der
ersten und der zweiten Siliziumschicht 112 und 113 eingebettet
ist. Es wird darauf verwiesen, dass eine Oxidschicht zwischen der
Polysiliziumschicht 111A und der ersten Siliziumschicht 112 angeordnet
werden kann, so dass eine sehr präzise Ätzselektivität der Polysiliziumschicht 111A erreicht
werden kann.
-
Auf der Fläche der ersten Siliziumschicht 112,
die das durchlassbildende Substrat 10B bildet, wird eine
Schutzschicht, ausgebildet durch bereits durchgeführte Wärmeoxidation
für die
erste Siliziumschicht 112, ausgebildet. Auf der Schutzschicht 55A, ähnlich den
oben beschriebenen Ausführungsbeispielen,
wird das piezoelektrische Element 300, das aus der unteren
Elektrodenschicht 60, der piezoelektrischen Schicht 70 und
der oberen Elektrodenschicht 80 besteht, über die
elastische Schicht 50 ausgebildet.
-
Danach wird auf der Fläche des
durchlassbildenden Substrats 10, wo das piezoelektrische
Element 300 ausgebildet ist, auf der elastischen Schicht 50 und
der unteren Elekt rodenschicht 60 in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
die Düsenplatte 20 analog
zu den obenstehenden Ausführungsbeispielen
verbunden.
-
In einer solchen Struktur des Ausführungsbeispieles 3 kann
natürlich
der gleiche Effekt wie bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen
erzelt werden.
-
In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel besteht
jede der ersten und der zweiten Siliziumschichten 112 und 113,
die das durchlassbildende Substrat 10B bilden, aus einem
Einkristallsiliziumsubstrat einer Ebene (100) der Ebenen-Orientierung. Da
hier keine Einschränkung
vorliegt, können
sie beispielsweise Einkristallsiliziumsubstrate einer Ebene (100)
der Ebenen-Orientierung und einer Ebene (110) der Ebenen-Orientierung
sein, oder beide Schichten können
eine Ebene (110) der Ebenen-Orientierung sein.
-
In dem Fall, in dem jede der ersten
und der zweiten Siliziumschichten 112 und 113 aus
einem Einkristallsiliziumsubstrat einer Ebene (110) der
Ebenen-Orientierung besteht, wie in 11 gezeigt, werden
die Innenfläche
(12a) der Druckerzeugungskammer 12, der Tinten-Verbindungsbereich 13 und der
eingeengte Bereich 14 aus Flächen annähernd rechtwinklig zu der Fläche des
durchlassbildenden Substrats 10B ausgebildet. Auch in dem
Fall dieser Struktur kann der Durchflusswiderstand des eingeengten
Bereiches 14 kontrolliert werden, beispielsweise durch
Einstellen der Breite desselben.
-
Zusätzlich besteht keine besondere
Einschränkung
für die
Ausbildungsposition der integrierten Ansteuerschaltung zum Ansteuern
des piezoelektrischen Elementes 300. Analog zu den obenstehenden
Ausführungsbeispielen
kann die integrierte Ansteuerschaltung in einem Stück mit dem
durchlassbildenden Substrat 10B oder der Düsenplatte 20 angeordnet
werden.
-
(Ausführungsbeispiel 4)
-
12 ist
eine auseinandergezogene perspektivische Darstellung des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
nach dem Ausführungsbeispiel
4. 13(a) und 13(b) sind
Querschnitte von 12.
-
Das vorliegende Ausführungsbeispiel
ist ein Beispiel, bei dem ein Einkristallsiliziumsubstrat mit einer
Ebene (100) der Ebenen-Orientierung als das durchlassbildende
Substrat 10 verwendet wird, um die Druckerzeugungskammer 12 ohne
Verwendung einer Opfermetallschicht auszubilden. Wie in der Zeichnung
gezeigt, werden die Druckerzeugungskammern 12, die durch
eine Vielzahl von Kammerwänden 11 unterteilt
werden und Querschnittsflächen von
annähernd
dreieckiger Form haben, auf einer Fläche des durchlassbildenden
Substrats 10 parallel in der Breitenrichtung angeordnet.
In der Nähe
eines Endbereiches in der Längsrichtung
der Druckerzeugungskammer 12 wird der Behälter 15,
der die gemeinsame Tintenkammer zu jeder Druckerzeugungskammer 12 wird,
ausgebildet, indem anisotropes Ätzen
von der anderen Fläche
des durchlassbildenden Substrats 10 durchgeführt wird.
-
Ebenfalls auf dem durchlassbildenden
Substrat 10 wird das piezoelektrische Element 300,
das aus der unteren Elektrodenschicht 60, der piezoelektrischen
Schicht 70 und der oberen Elektrodenschicht 80 besteht, über die
elastische Schicht 50 ausgebildet. In dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel
wird ein Vorsprung 50a, der in Richtung des durchlassbildenden
Substrats 10 hervorspringt, entlang der Längsrichtung
der Druckerzeugungskammer 12 in dem Bereich der elastischen
Schicht 50, der sich gegenüber jeder Druckerzeugungskammer 12 befindet,
ausgebildet.
-
Danach wird auf der Fläche des
durchlassbildenden Substrats 10, wo das piezoelektrische
Element 300 ausgebildet ist, das in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
die elastische Schicht 50 und die untere Elektrodenschicht 60 ist,
die Düsenplatte 20 analog
zu den obenstehenden Ausführungsbeispielen
verbunden.
-
Das Herstellungsverfahren des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes
des vorliegenden Ausführungsbeispiels,
insbesondere das Verfahren des Ausbildens der Druckerzeugungskammer 12 auf dem
durchlassbildenden Substrat 10, wird nun unter Bezugnahme
auf die 14(a) bis 14(f) und
auf 15(a) bis 15(f) beschrieben.
-
Zuerst, wie in 14(a) und 14(b) gezeigt, wird in dem Bereich des
durchlassbildenden Substrats 10, das aus einem Einkristallsiliziumsubstrat
besteht, in dem eine jede Druckerzeugungskammer 12 ausgebildet
ist, ein Nutbereich 120 von annähernd rechteckiger Form mit
einer Tiefe von beispielsweise 50 bis 100 μm in einer Breite enger als
die der Druckerzeugungskammer 12 ausgebildet. Vorzugsweise ist
die Breite des Nutbereiches 120 etwa 0,1 bis 3 μm, und der
Nutbereich 120 wird in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
in der Breite von etwa 1 μm
ausgebildet. Es wird darauf verwiesen, dass das Ausbildungsverfahren
des Nutbereiches 120 keinen besonderen Einschränkungen
unterliegt und dass der Nutbereich zum Beispiel durch Trockenätzen ausgebildet
werden kann.
-
Als nächstes, wie in 14(c) und 14(d) gezeigt, werden die elastische Schicht 50 bzw.
die Schutzschicht 55 auf beiden Flächen des durchlassbildenden
Substrats 10 ausgebildet.
-
Da ein Teil der auf der Fläche des
durchlassbildenden Substrats 10, wo der Nutbereich 120 ausgebildet
ist, ausgebildeten elastischen Schicht 50 ausgebildet wird,
um Zugang zu dem Nutbereich 120 zu haben, wird der Vorsprung 50a,
der in Richtung des durchlassbildenden Substrats 10 vorspringt
und annähernd
die gleiche Form hat wie der Nutbereich 120, in dem Bereich
der elastischen Schicht 50 ausgebildet, der jeder Druckerzeugungskammer 12 gegenüber liegt.
-
Als nächstes, wie in den 14(e) und 14(f) gezeigt,
werden die untere Elektrodenschicht 60, die piezoelektrische
Schicht 70 und die obere Elektrodenschicht 80 nacheinander
beschichtet und Strukturierung unterworfen, um das piezoelektrische
Element 300 auszubilden.
-
Danach wird anisotropes Ätzen für das Einkristallsiliziumsubstrat
als das durchlassbildende Substrat 10 durch alkalische
Lösung
oder ähnliches durchgeführt, um
die Druckerzeugungskammer 12 und ähnliches auszubilden.
-
Zuerst, wie in 15(a) und
in 15(b), der ein Querschnitt B-B' von 16(a) ist,
gezeigt, werden die untere Elektrodenschicht 60 und die
elastische Schicht 50 in dem Bereich, der ein Endbereich in
der Längsrichtung
jeder Druckerzeugungskammer 12 wird, entfernt, um den Düsen-Verbindungsweg 52 auszubilden,
der mit der Düsenöffnung 21 in
Verbindung steht. Dementsprechend werden die Fläche des durchlassbildenden
Substrats 10 und ein Endbereich in Längsrichtung des Nutbereiches
120 freigelegt.
Gleichzeitig wird die Schutzschicht 55 in dem Bereich,
in dem der Behälter 15 ausgebildet
ist, entfernt, um einen Öffnungsbereich 56 auszubilden.
-
Danach, wie in 15(c) und 15(d), die ein Querschnitt B-B' von 15(c) ist,
gezeigt, wird anisotropes Ätzen
für das
durchlassbildende Substrat 10 über den Düsen-Verbindungsweg 52 durch
alkalische Lösung,
wie zum Beispiel KOH, durchgeführt,
um die Druckerzeugungskammer 12 auszubilden. Bei dem Durchführen des
anisotropen Ätzens
strömt
die alkalische Lösung
in den Nutbereich 120 durch den Düsen-Verbindungsweg 52,
und das durchlassbildende Substrat 10 wird langsam von dem
Nutbereich 120 abgetragen, und somit wird die Druckerzeugungskammer 12 ausgebildet.
Da das durchlassbildende Substrat 10 ein Einkristallsiliziumsubstrat
einer Ebene (100) der Kristallebenen-Orientierung ist,
wird die Innenfläche
der Druckerzeugungskammer 12 aus einer Ebene (111)
ausgebildet, die um annähernd
54° zu der
Fläche
des durchlassbildenden Substrats 10 geneigt ist. Mit anderen
Worten, die Ebene (111) ist eine wesentliche Bodenfläche der
Druckerzeugungskammer 12 und eine Ätzstoppfläche bei dem Durchführen des
anisotropen Ätzens, und
die Druckerzeugungskammer 12 wird so ausgebildet, dass
ihre seitliche Querschnittsfläche
eine annähernd
dreieckige Form erhält.
-
Nachdem die Druckerzeugungskammer 12 und ähnliches
wie oben beschrieben ausgebildet worden sind, wie in 15(e) und in 15(f) gezeigt,
die ein Querschnitt C-C' von 15(e) ist, wird Ätzen von der gegenüberliegenden
Fläche
zu der des durchlassbildenden Substrats 10, an der das piezoelektrische
Element 300 ausgebildet ist, durchgeführt, indem die Schutzschicht 55 als
Maske verwendet wird. Mit anderen Worten, anisotropes Ätzen wird
für das
durchlassbildende Substrat 10 über den Öffnungsbereich 56 durchgeführt, und
somit wird das Behälter 15,
der mit der Druckerzeugungskammer 12 in Verbindung steht,
ausgebildet.
-
Wie oben beschrieben, erhöht sich
in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
die Steifigkeit der Kammerwand 11 zwischen den Druckerzeugungskammern 12 signifikant,
da die Druckerzeugungskammer 12 so ausgebildet wird, dass
ihre seitliche Querschnittsfläche
eine annähernd
dreieckige Fläche
erhält.
Daher tritt kein Nebensprechen auf, selbst wenn die Druckerzeugungskammern 12 in
hoher Dichte angeordnet werden, und somit kann die Tintenausstoßcharakteristik
hervorragend beibehalten werden.
-
Darüber hinaus kann die Druckerzeugungskammer 12 ohne
Durchdringen des durchlassbildenden Substrats 10 durch Ätzen ausgebildet
werden. Daher beträgt
in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
die Dicke des durchlassbildenden Substrats etwa 220 μm; die Platte
kann jedoch dicker sein. Dementsprechend kann eine Halbleiterscheibe
einfach gehandhabt werden, selbst wenn die Größe der Halbleiterscheibe, auf
der die durchlassbildenden Substrate 10 ausgebildet sind,
relativ groß im
Durchmesser ist, und die Herstellungskosten können gesenkt werden.
-
In einer solchen Struktur des vorliegenden Ausführungsbeispiels
kann natürlich
derselbe Effekt wie bei den obenstehenden Ausführungsbeispielen erzielt werden.
-
Übrigens
wird in dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
der Vorsprung 50a in dem Bereich der elastischen Schicht 50 ausgebildet,
der jeder Druckerzeugungskammer 12 entspricht. Der Vorsprung 50a kann
zum Beispiel zur gleichen Zeit entfernt werden, wenn Ätzen für die Druckerzeugungskammer 12 durchgeführt wird.
Weiterhin, wie in 16 gezeigt, wird
eine zweite elastische Schicht 50A, die aus Zirkoniumoxid
oder ähnlichem
besteht, bereits vorher auf der elastischen Schicht 50 bereitgestellt,
und die elastische Schicht 50 kann in dem Bereich gegenüber der
Druckerzeugungskammer 12 vollkommen entfernt werden, wenn
die Druckerzeugungskammer 12 durch anisotropes Ätzen ausgebildet
wird.
-
(Ausführungsbeispiel 5)
-
17 ist
ein Querschnitt des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nach dem Ausführungsbeispiel
5.
-
Das vorliegende Ausführungsbeispiel
ist ein Beispiel, bei dem die Ansteuerschaltung zum Ansteuern des
piezoelektrischen Elementes in einem Stück mit der Düsenplatte
bereitgestellt wird. Wie in 17 gezeigt,
wird die Ansteuerschaltung 16A in dem Bereich mit Ausnahme
des Haltebereiches 22 des piezoelektrischen Elementes der
Düsenplatte 20A auf
der Verbindungsfläche
mit dem durchlassbildenden Substrat 10 aus einem Stück bestehend
ausgebildet.
-
Die Ansteuerschaltung 16A und
die obere Elektrodenschicht 80 des piezoelektrischen Elementes 300 werden über die
Bleielektrode 90 verbunden. Als Beispiel in dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel
wird die Bleielektrode 90 so angeordnet, dass sie sich
von der Fläche
der oberen Elektrodenschicht 80 bis in die Nähe der nichtdurchgängigen unteren Elektrodenschicht 61,
die nicht durchgängig
mit der unteren Elektrodenschicht 61 ist, auf der Fläche der elastischen
Schicht 50 erstreckt. Und der Endbereich der Bleielektrode 90 und
der Ansteuerschaltung 16A sind elektrisch über die
Verbindungsschicht 110 verbunden, die aus einem anisotropen
leitenden Material (ACF) oder ähnlichem
besteht. Die Struktur dieses Beispiels ist mit der obenstehenden
Ausnahme die gleiche wie die des Ausführungsbeispiels 1.
-
In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
ist zu beachten, dass, wie in 18 gezeigt,
auf dem durchlassbildenden Substrat 10 Verbindungsdrähte 130,
die die Ansteuerschaltung 16A und die externe Verdrahtung 120 verbinden,
wie zum Beispiel FPC, in der Nähe
des Endbereiches in der Richtung, in der die Druckerzeugungskammern 12 parallel
angeordnet sind, ausgebildet sind. Die Ansteuerschaltung 16A und
die Verbindungsdrähte 130 sind
elektrisch über
die Verbindungsschicht 110 analog zu der mit der Ansteuerschaltung 16A verbundenen
Bleielektrode 90 verbunden.
-
In einer solchen Struktur des vorliegenden Ausführungsbeispiels
kann natürlich
der gleiche Effekt wie bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen
erzielt werden. Da bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel weiterhin die
Bleielektrode 90 und die Verbindungsdrähte 130 mit der Ansteuerschaltung 16A verbunden
werden können,
indem die Düsenplatte 20 und
das durchlassbildende Substrat 10 verbunden werden, kann
die Anzahl der Verbindungsdrähte 130 reduziert
werden. Somit können
die Verbindungsdrähte
zum Beispiel von FPC herausgenommen werden, selbst wenn die Düsenöffnungen 21 in
größerer Anzahl
und in hoher Dichte bereitgestellt und angeordnet werden sollen.
-
Wie zum Beispiel in 19 gezeigt, kann eine Vielzahl von Ansteuerschaltungen 16A auf
einer Verbindungsplatte bereitgestellt werden, die mit der Fläche des
durchlassbildenden Substrates 10 verbunden ist, wo die
piezoelektrischen Elemente 300 ausgebildet sind, und Felder
der Druckerzeugungskammern 12 und die piezoelektrischen
Elemente 300 können
in den Bereichen, die beiden Seiten der Ansteuerschaltung
16A auf
dem durchlassbildenden Substrat 10 entsprechen, bereitgestellt
werden. In einer solchen Struktur können Drähte von den piezoelektrischen
Elementen 300, in hoher Dichte angeordnet, problemlos durch
die externen Verdrahtungen 120, wie zum Beispiel FPC, herausgenommen
werden.
-
(Andere Ausführungsbeispiele)
-
Obwohl die Ausführungsbeispiele der vorliegenden
Erfindung oben beschrieben worden sind, ist die grundlegende Struktur
des Tintenstrahl-Aufzeichnungskopfes nicht auf die oben beschriebenen
Ausführungsbeispiele
beschränkt.
-
In den obenstehenden Ausführungsbeispielen
wird die Ansteuerschaltung 16 bzw. 16A zum Ansteuern
des piezoelektrischen Elementes 300 zum Beispiel aus einem
Stück auf
dem durchlassbildenden Substrat 10 oder der Düsenplatte 20A ausgebildet.
Anstelle dessen kann die Ansteuerschaltung separat in der Nähe des durchlassbildenden
Substrats 10 angeordnet und durch Drahtbonden oder ähnlichem
elektrisch mit dem piezoelektrischen Element 300 verbunden
werden.
-
Auch wurde in den obenstehenden Ausführungsbeispielen
zum Beispiel das Beispiel beschrieben, bei dem die Druckerzeugungskammer
ohne Durchdringen des durchlassbildenden Substrats ausgebildet wird.
Die Druckerzeugungskammer kann jedoch natürlich ausgebildet werden, so
dass sie das durchlassbildende Substrat durchdringt. 20 zeigt ein Beispiel davon.
-
In dem in 20 gezeigten Ausführungsbeispiel wird eine Dichtungsplatte 140 auf
der Fläche gegenüber der
des durchlassbildenden Substrats 10, wo die piezoelektrischen
Elemente 300 ausgebildet werden, verbunden, und eine Fläche der
Druckerzeugungskammer 12 wird auf der Dichtungsplatte 140 ausgebildet.
Darüber
hinaus wird eine Behälter ausbildende
Platte 150, wobei der Behälter 15A für Zuführen von
Tinte zu der Druckerzeugungskammer 12 ausgebildet wird,
unter der Dichtungsplatte 140 verbunden. Die Druckerzeugungskammer 12 und
der Behälter 15A werden
so hergestellt, dass sie miteinander über einen Durchdringungsweg 141,
bereitgestellt in dem Bereich der Dichtungsplatte 140,
der der Druckerzeugungskammer 12 gegenüber liegt, in Verbindung stehen.
-
Weiterhin wird eine Nachgiebigkeitsplatte 160,
die aus einer Dichtungsschicht 161 und einer Befestigungsplatte 162 besteht,
mit der Behälter
ausformenden Platte 150 verbunden. Die Dichtungsschicht 161 besteht
aus Material geringer Steifigkeit und Nachgiebigkeit, und eine Fläche des
Behälters 15A wird
durch die Dichtungsschicht 161 abgedichtet. Die Befestigungsplatte 162 besteht
aus einem harten Material, wie zum Beispiel Metall. Da der Bereich
der Befestigungsplatte 162 gegenüber dem Behälter 15A in der Dickerichtung
vollständig
entfernt wird, um einen Öffnungsbereich 163 zu
bilden, wird eine Fläche
des Behälters 15A nur
von der Dichtungsschicht 161 abgedichtet, die Nachgiebigkeit hat,
um einen nachgiebigen Bereich 164 auszubilden, der von
einer Änderung
des Innendruckes deformiert werden kann.
-
Es wird darauf verwiesen, dass eine
Tinteneintrittsöffnung 165 für Zuführen von
Tinte zu dem Behälter 15A auf
der Nachgiebigkeitsplatte 160 außerhalb des Mittelbereiches
annähernd
in der Längsrichtung
des Behälters 15A ausgebildet
wird. Ein Tinteneintrittsweg 151, der mit der Tinteneintrittsöffnung 165 und
der Seitenwand des Behälters 15A in
Verbindung steht, wird in der Behälter formenden Platte 150 bereitgestellt.
-
Weiterhin wurde in den vorangegangenen Ausführungsbeispielen
ein Dünnschicht-Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf,
der durch ein Abscheide-und-Lithografie-Verfahren hergestellt wird,
als Beispiel verwendet. Der Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf ist jedoch
nicht auf diese Ausführung
beschränkt.
Die vorliegende Erfindung kann auf Dickschicht-Tintenstrahl-Aufzeichnungsköpfe, die
durch solche Verfahren, wie zum Beispiel Aufkleben einer Grünplatte
hergestellt werden, angewandt werden.
-
Der Tintenstrahl-Aufzeichnungskopf
der Ausführungsbeispiele
stellt einen Bereich einer Aufzeichnungskopfeinheit einschließlich eines
Tintendurchganges, der mit einer Tintenpatrone oder ähnlichem
in Verbindung steht, dar uns ist an der Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung
befestigt. 21 ist eine
schematische Darstellung zur Veranschaulichung eines Beispiels der
Tintenstrahl-Aufzeichnungsvorrichtung.
-
Wie in 21 gezeigt,
werden in den Aufzeichnungseinheiten 1A und 1B,
die die Tintenstrahl-Aufzeichnungsköpfe haben, die Patronen 2A und 2B,
die eine Tintenzuführvorrichtung
darstellen, abnehmbar bereitgestellt. Ein Schlitten 3 mit
den darauf be festigten Aufzeichnungskopfeinheiten 1A und 1B wird
auf einer Schlittenwelle 5 bereitgestellt, die an einem
Vorrichtungskörper 4 so
befestigt ist, dass sie in Wellenrichtung frei beweglich ist. Jede
der Aufzeichnungskopfeinheiten 1A und 1B soll
eine schwarze Tintenzusammensetzung und eine farbige Tintenzusammensetzung
ausstoßen.
-
Die Antriebskraft des Antriebsmotors 6 wird über eine
Vielzahl von Zahnrädern
(nicht gezeigt) und einen Synchronriemen 7 auf den Schlitten 3 übertragen,
um den Schlitten 3 zu bewegen, der die Aufzeichnungseinheiten 1A und 1B entlang
der Schlittenwelle 5 bewegt. Andererseits wird eine Trägerplatte 8 für den Vorrichtungskörper 4 entlang
der Schlittenwelle 5 bereitgestellt, und ein Aufzeichnungsblatt S,
das ein Aufzeichnungsmedium, wie zum Beispiel Papier ist und von
einer Papierzuführwalze
(nicht gezeigt) zugeführt
wird, wird aufgerollt und von der Trägerplatte 8 für Transport
erfasst.
-
Da bei der vorliegenden Erfindung
wie oben beschrieben die Düsenöffnung auf
der Verbindungsplatte bereitgestellt wird, die auf der Fläche des durchlassbildenden
Substrats bereitgestellt wird, wo das piezoelektrische Element ausgebildet
wird, kann die Druckerzeugungskammer ohne Durchdringung des durchlassbildenden
Substrats ausgebildet werden. Da die Druckerzeugungskammer daher
relativ flach ausgebildet werden kann, kann die Steifigkeit der
Kammerwand, die die Druckerzeugungskammern unterteilt, verbessert
werden. Somit kann eine Vielzahl von Druckerzeugungskammern in hoher Dichte
angeordnet werden. Da die Verbindungsplatte darüber hinaus eine Vielzahl von
Funktionen erfüllt, kann
die Anzahl der Teile reduziert werden, und die Kosten können ebenfalls
gesenkt werden.
-
Obwohl die bevorzugten Ausführungsbeispiele
der vorliegenden Erfindung ausführlich
beschrieben worden sind, ist davon auszugehen, dass verschiedene Änderungen,
Ergänzungen
und Abwandlungen daran vorgenommen werden können, ohne dass von dem Umfang
der Erfindung gemäß Definition
in den anhängenden
Ansprüchen
abgewichen wird.