DE59602809D1 - Verfahren zur herstellung eines mikromembranventiles - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines mikromembranventiles

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Claudia Goll
Burkhard Buestgens
Werner Schomburg
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    • F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
    • F15C5/00—Manufacture of fluid circuit elements; Manufacture of assemblages of such elements integrated circuits

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