DE4341098A1 - Optischer Abstandsmesser und Dickenmeßgerät mit solchen - Google Patents
Optischer Abstandsmesser und Dickenmeßgerät mit solchenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen optischen Abstandmesser
gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1 sowie ein Dicken
meßgerät mit solchen Abstandmessern.
Ein Abstandsmesser, der unter Verwendung von moduliertem
Laserlicht nach dem Laufzeitprinzip arbeitet, ist in der
DE 30 34 831 C2 beschrieben. Bei ihm wird als Referenz
signal, das als Bezugspunkt für die Phasenmessung des
Meßstrahles verwendet wird, ein elektrisches Signal ver
wendet, das aus der Laser-Modulatorschaltung ausgekop
pelt wird.
Insbesondere unter Nicht-Laborbedingungen gibt es jedoch
Störeinflüsse auf die Erzeugung des Laserstrahles, die
zu einer unerwünschten zusätzlichen Phasenverschiebung
des modulierten Laserlichtes führen und somit das Meßer
gebnis verfälschen. Hierzu gehören insbesondere Tempera
turveränderungen, denen der Laser auf Grund veränderlicher
Umgebungstemperaturen oder sich ändernder Kühlbedingungen
ausgesetzt ist.
Durch die vorliegende Erfindung soll daher ein optischer
Abstandsmesser gemäß dem Oberbegriff des Anspruches
1 so weitergebildet werden, daß die Verfälschung des
Meßsignales durch externe Störgrößen vermindert ist.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß gelöst durch einen
Abstandsmesser mit den im Anspruch 1 angegebenen Merk
malen.
Bei dem erfindungsgemäßen Abstandsmesser findet eine
spezielle Prismenplatteneinheit Verwendung, um aus dem
auf das auszumessende Werkstück abgegebenen Laserstrahl
ein Teilbündel abzuspalten, welches zur Gewinnung des
Referenzsignales dient. Dieser Referenz-Laserstrahl
wird auf einen Referenzdetektor gegeben, der gleiche
Eigenschaften hat wie der Meßdetektor, also elektrisch
vergleichbar ist und auch an vergleichbarer Stelle im
Abstandsmesser angeordnet ist.
Dadurch, daß man den teildurchlässigen Meßspiegel an
der Stoßstelle zwischen zwei Prismenplatten vorsieht,
die zusammen eine Prismenplatteneinheit bilden, und
zugleich die zusätzlichen Umlenkspiegel auf Abflachungen
der Seiten der Prismenplatten vorsieht, erhält man ins
gesamt eine kompakte, robuste und gut vor-einjustierbare
Prismenplatteneinheit, die es gestattet, einen hochauf
lösenden Abstandsmesser (Genauigkeit der Abstandsbestim
mung von größenordnungsmäßig +/- 0,05 mm) so preisgün
stig herzustellen, daß dieser Abstandsmesser als Stan
dardprodukt für Steuerungen verwendet werden kann.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in Unter
ansprüchen angegeben.
Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 2 ist
im Hinblick auf eine einfache Strahlgeometrie und kom
pakten Aufbau des Abstandsmessers von Vorteil.
Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 3 erleich
tert die Handhabung der Prismenplatteneinheit und ge
währleistet die bleibende Ausfluchtung der verschiedenen
Spiegelflächen zueinander, so daß diese Spiegelflächen
nicht viel größer zu sein brauchen als dem Durchmesser
des Laserstrahles entspricht. Dies ist insbesondere
für den Meßspiegel von Vorteil.
Bei einem Abstandsmesser gemäß Anspruch 4 kann man auf
einfache Weise den auf das Werkstück gerichteten Laser
strahl exakt auf die Achse des Meßdetektors legen. Man
hat dann im von der Werkstückoberfläche zurückgeworfenen
Laserlicht kein seitliches Auswandern bei nicht exakter
Fokussierung des Laserstrahles auf die Werkstückoberfläche.
Gemäß Anspruch 5 läßt sich der Versatz des Laserstrahles
in beliebiger Richtung auf einfache und präzise Weise
einstellen.
Bei einem Abstandmesser gemäß Anspruch 1 dient entweder
die Prismenplatteneinheit oder die Meßlinse zugleich
als Fenster, welches das die restlichen Teile des Abstands
messers umschließende Gehäuse dicht verschließt.
Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 7 ist
im Hinblick auf kompakte Abmessungen des Abstandsmessers
und einfache Montage desselben von Vorteil.
Abstandsmesser werden oft unter Umgebungsbedingungen
eingesetzt, in denen sie Staub und anderen Verunreini
gungen ausgesetzt sind. Mit der Weiterbildung der Erfin
dung gemäß Anspruch 8 wird erreicht, daß die oft an
schlecht zugänglichen Stellen angeordneten Abstandsmesser
auch im Langzeitbetrieb zuverlässig arbeiten.
Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 9 ist im
Hinblick auf ein sauberes Einjustieren der Achsen von
Laser, Meßdetektor und Referenzdetektor von Vorteil.
Hierbei ist die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch
10 im Hinblick auf niedrige Herstellungskosten des Ab
standsmessers von Vorteil.
Bei einem Dickenmeßgerät, wie es im Anspruch 11 angegeben
ist, kann man die Dicke einer metallischen oder nichtmetal
lischen Materialbahn auch dann zuverlässig und präzise
messen, wenn die Materialbahn nicht in einer exakt vorge
gebenen Ebene läuft. Dabei ist durch die in den beiden
Abstandsmessern zusätzlich vorgesehene Blende gewährleis
tet, daß bei Fehlen einer Materialbahn zwischen den
beiden Abstandsmessern oder beim Ausmessen der Dicke
einer transparenten Materialbahn nicht Licht direkt
vom Laser des einen Abstandsmessers auf den Meßdetektor
des anderen Abstandsmessers fällt.
Nachstehend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbei
spielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.
In dieser zeigen:
Fig. 1 einen Längsschnitt durch einen optischen Ab
standsmesser;
Fig. 2 eine Ansicht auf die Oberseite einer Prismenplat
teneinheit des Abstandsmessers nach Fig. 1;
Fig. 3 einen vergrößerten axialen Schnitt durch einen
Laser des Abstandsmessers nach Fig. 1, eine
Justiereinrichtung für diesen sowie einen
Strahlversatzgenerator;
Fig. 4 eine seitliche Ansicht einer abgewandelten
Prismenplatteneinheit;
Fig. 5 eine Aufsicht auf die Unterseite der in Fig.
4 gezeigten Prismenplatteneinheit; und
Fig. 6 eine schematische Darstellung eines Dickenmeßge
rätes mit zwei koaxialen Abstandsmessern ähnlich
zu dem in Fig. 1 gezeigten.
In Fig. 1 ist mit 10 ein Werkstück bezeichnet, für
welches der Abstand seiner Oberfläche von einer Bezugs
ebene R gemessen werden soll. Hierzu wird ein insgesamt
mit 12 bezeichneter Abstandsmesser verwendet, und für
die Zwecke der vorliegenden Beschreibung sei angenommen,
daß die Bezugsebene R mit der Stirnfläche des Abstands
messers 12 zusammenfällt.
Der Abstandsmesser 12 hat ein becherförmiges, in der
Praxis mit lösbarem Boden ausbildetes Gehäuse 14, von
dessen Innenfläche eine Ringschulter 16 radial nach
innen vorspringt. Letztere ist an zwei einander diame
tral gegenüber liegenden Stellen mit zwei Ausnehmungen
18, 20 versehen.
Auf der Längsschulter 16 liegt eine insgesamt mit 22
bezeichnete Prismenplatteneinheit, die in Aufsicht ge
sehen (vergleiche Fig. 2) kreisförmig ist und aus zwei
im wesentlichen halbkreisförmigen Prismenplatten 24,
26 unter Verwendung eines optischen Kittes zusammenge
fügt ist.
Die Stoßfläche 28 zwischen den beiden Prismenplatten
verläuft unter einem Winkel von 45° zur Achse des Ab
standsmesser 12 geneigt und trägt in einem mittigen
Bereich einen aufgedampften teildurchlässigen Meßspie
gel 36. Parallel zur Stoßfläche 28 verlaufend ist an
der in Fig. 1 links gelegenen Seite der Prismenplatte
24 eine Abschrägung 32 vorgesehen, die in Ihrer Mitte
mit einem aufgedampften Umlenkspiegel 34 versehen ist.
Bei ihrem in Fig. 1 rechts gelegenen Ende ist die
Prismenplatte 26 mit einer Abschrägung 36 versehen, die
in einer zur Ebene der Abschrägung 32 senkrechten Ebene
liegt und bei Ihrer Mitte mit einem aufgedampften Um
lenkspiegel 38 versehen ist.
Die Umlenkspiegel 34 und 38 reflektieren 100% des auf sie
auffallenden Lichtes, während der Meßspiegel 30 einen
Reflexionsfaktor von 93% hat, somit 7% des auffallenden
Lichtes hindurchtreten läßt.
Im Inneren des Gehäuses 14 ist eine Platine 40 ange
ordnet, die im links gelegenen Bereich eine Laserein
heit 42 trägt, deren Aufbau unter Bezugnahme auf Fig.
3 später genauer beschrieben wird. Diese erzeugt einen
Laserstrahl 44, der einen Strahlversatzgenerator 46
durchquert, welcher ebenfalls unter Bezugnahme auf Fi
gur 3 noch genauer beschrieben werden wird. Der Laser
strahl gelangt dann über den Umlenkspiegel 34 auf die
Mitte des Meßspiegels 30 und wird gegen die Oberfläche
des Werkstückes 10 gerichtet.
Das von der Werkstückoberfläche reflektierte Laserlicht
wird durch eine Meßlinse 48, die unter Zwischenschaltung
eines Distanzringes 50 über der Prismenplatteneinheit
22 angeordnet ist und durch einen Haltering 52 in ihrer
Lage fixiert ist, auf einen Meßdetektor 54 fokussiert,
der ebenfalls auf der Platine 40 angeordnet ist. Der
entsprechende Strahlengang ist strichpunktiert wiederge
geben.
Das den Meßspiegel 30 durchsetzende Laserlicht gelangt
über den zweiten Umlenkspiegel 38 unter eine Fokussier
linse 56 auf einen Referenzdetektor 58, der gleichen
Aufbau aufweist wie der Meßdetektor 54 und neben diesem
auf der Platine 40 angeordnet ist.
Die Platine 40 trägt ferner eine Betriebsschaltung 60
für die Lasereinheit 42, welche den Laserstrahl 44 mit
sehr hoher Frequenz, in der Praxis zum Beispiel 279
MHz moduliert. Das Ausgangssignal des Referenzdetektors
58 hat eine fest vorgegebene Phasenlage zum Laserlicht,
welches über den Meßspiegel 30 an das Werkstück 10 abge
geben wird. Das Ausgangssignal des Meßdetektors 54 hat
dagegen eine Phasenlage, die sich gemäß dem Abstand
der Werkstückoberfläche vom Abstandsmesser 12 ändert,
und eine insgesamt mit 62 bezeichnete Auswerteelektronik
berechnet aus den beiden Ausgangssignalen von Meßdetek
tor 54 und Referenzdetektor 58 ein elektrisches Signal,
welches dem Abstand der Werkstückoberfläche von der
Bezugsebene R zugeordnet ist. Einzelheiten derartiger
Auswerteschaltungen sind an sich bekannt und brauchen
hier nicht im einzelnen beschrieben zu werden.
Wie aus Fig. 3 ersichtlich, gehört zur Lasereinheit
42 eine Platine 64, die radial verschiebbar auf einer
Schulter 66 angeordnet ist, die auf einem Halteflansch
68 des Gehäuses 14 ausgebildet ist. In Umfangsrichtung
verteilte Blattfedern 70 sorgen für ein Fixieren der
Platine 64 in der jeweils eingestellten Lage durch Reib
schluß.
Auf der Vorderseite der Platine 64 ist ein Laserdiodenge
häuse 72 vorgesehen, in welchem sich die in der Zeichnung
nicht wiedergegebene, den Meßlichtlaser darstellende
Laserdiode befindet, deren Licht durch eine vom Gehäuse
72 getragene Linse 74 in ein Parallelstrahlenbündel
umgesetzt wird.
Zum präzisen Einstellen der Lage des erzeugten Laserstrah
les übergreift ein Justierarm 76 mit einer Öffnung 78
spielfrei das Gehäuse 72. Der Justierarm 76 ist über
einen ersten schematisch angedeuteten Feingewindetrieb
80 in zur Zeichenebene von Fig. 3 senkrechter Richtung
verlagerbar und durch einen zweiten, schematisch bei
82 gezeigten Feingewindetrieb in in Fig. 3 vertikaler
Richtung verlagerbar. Diese insgesamt mit 84 bezeichnete
Justiereinheit ist lösbar am Halteflansch 68 angebracht
und kann nach Verriegeln der Platine 64 in der gewünsch
ten Sollstellung (zum Beispiel durch Verkleben, wie
bei 86 angedeutet oder durch Verschrauben) abgenommen
werden, um die Platine 64 eines weiteren Abstandsmessers
12 einzujustieren.
Wie ebenfalls aus Fig. 3 ersichtlich, ist das optisch
aktive Element des Strahlversatzgenerators 46 eine plan
parallele transparente Platte 88, die auf einem abge
flachten und mit einem Fenster 90 versehenen mittleren
Abschnitt einer Welle 92 angeordnet ist. Letztere ist
in einem Ring 94 drehbar gelagert, der seinerseits in
einem Lagerring 96 läuft, der vom Gehäuse 14 getragen
ist.
Ein Ende der Welle 92 ist durch einen Längsschlitz 98
des Lagerringes 96 hindurchgeführt und trägt einen Be
tätigungshebel 100. In den Ring 94 ist ein zweiter Be
tätigungshebel 102 eingesetzt, welcher einen in Umfangs
richtung verlaufenden Längsschlitz 104 des Lagerringes
96 durchsetzt.
Auf diese Weise kann die Platte 88 um zwei zueinander
senkrechte Achsen unabhängig verkippt werden, so daß
man den Laserstrahl 44 in seitliche Richtung einstellen
kann. Damit ist es möglich, die Richtung, in welcher
der Laserstrahl 44 gegen das Werkstück 10 gesandt wird,
exakt in die Achse des Meßdetektors 54 zu legen.
Es versteht sich, daß man in Abwandlung der oben beschrie
benen Lasereinheit 42 auch nur eine der beiden Einrich
tungen zum Ausfluchten des Laserstrahles vorsehen kann,
also entweder den Strahlversatzgenerator 46 oder die Ju
stiereinheit 84 weglassen kann. Der Strahlversatzgenerator
46 ist zum feinfühligen Ausjustieren kleinen Strahlver
satzes besonders gut geeignet.
Es versteht sich ferner, daß die Meßdetektoren 54 und 58
beide (ggf. auch nur einer) ebenfalls mit einer Justier
einrichtung auf die ihnen zugeordnete Sollachse einstell
bar sind, wobei wegen des geringeren Aufwandes vorzugsweise
eine mechanische Justiereinheit 84 verwendet wird.
Die Fig. 4 und 5 zeigen eine abgewandelte Prismen
platteneinheit 22, deren zusammengekittete Prismenplatten
24, 26 in Aufsicht gesehen jeweils rechteckig sind, im
übrigen aber ähnliche Geometrie haben und ähnlich mit
einem Meßspiegel 30 und Umlenkspiegeln 34, 38 versehen
sind, wie obenstehend unter Bezugnahme auf die Fig.
1 und 2 schon erläutert. Die in den Fig. 4 und 5
gezeigten Prismenplatteneinheit dient zugleich als ebenes
Abschlußfenster für das Gehäuse 14. Die Meßlinse 48
ist auf die Unterseite der Prismenplatteneinheit 22
aufgekittet.
In Fig. 6 ist ein Dickenmeßgerät für metallisches oder
nichtmetallisches Bandmaterial wiedergegeben, welches
zwei Abstandsmesser 12A und 12B aufweist, die abgesehen
von den unten angegebenen Abwandlungen dem Abstandsmesser
nach den Fig. 1-3 entsprechen. Die Abstands-Ausgangs
signale der beiden Abstandmesser 12A und 12B werden
auf die beiden Eingänge eines Addierkreises 105 gegeben.
Dessen Ausgangssignal und eine weiteres Signal H, das dem
Abstand der beiden Referenzebenen RA und RB der Abstands
messer 12A und 12B entspricht, werden auf die beiden
Eingänge eines Subtrahierkreises 106 gegeben, dessen
Ausgangssignal somit der Dicke der Materialbahn (Werkstück
10) entsprechen, und dies ungeachtet von Lageschwankungen
des mehr oder weniger flexiblen und nicht exakt in einer
bestimmten Ebene geförderten Materialbandes.
Die beiden Abstandsmesser 12A und 12B sind koaxial und
mit ihren Meßlinsen 48 zueinander gewandt angeordnet.
Um zu vermeiden, daß der vom Abstandsmesser 12A ausge
sandte Laserstrahl direkt auf den Meßdetektor 54 des
Abstandsmessers 12B trifft, und umgekehrt, ist auf die
Unterseite der Prismenplatte 26 unter der Stoßfläche 28
jeweils eine lichtundurchlässige Blende 108 aufgebracht,
zum Beispiel aufgedampft.
Um die Vorderseite der Meßlinse 48 auch im Dauerbetrieb
von Staub und anderen Verunreinigungen freizuhalten,
ist der Haltering 52 mit einem innen liegenden Ringkanal
110 ausgebildet, der über eine Leitung 112 mit einer
Druckluftquelle in Verbindung steht. Auf der Unterseite
hat der Haltering 52 eine Mehrzahl vom Ringkanal 110
ausgehender Nuten 114, die zusammen mit der Vorderseite
der Meßlinse 48 eine Vielzahl feiner radialer Düsen
vorgeben, die insgesamt einen tangential zur Linsenober
fläche gerichteten Luftvorhang erzeugen, der mit abneh
mendem Abstand zur Linsenachse zunehmend von der Linsen
oberfläche wegläuft.
Claims (11)
1. Optischer Abstandsmesser, mit einer durch einen
modulierten Laser (42) gebildeten Meßlichtquelle,
mit einem Meßspiegel (30) zum Umlenken des von der Meß
lichtquelle erzeugten Laserstrahles (44) gegen die Ober
fläche eines zu messenden Werkstückes (10), mit einer
Meßlinse (48) zum Fokussieren des von der Werkstückober
fläche reflektierten Laserlichtes auf einen Meßdetektor
(54), der auf der Achse der Meßlinse (48) angeordnet ist,
mit einem Referenzsignalgenerator, der ein der Phasenlage
des vom Laser (42) abgegebenen Laserlichtes zugeordnetes
Referenzsignal erzeugt, und mit einer Auswerteelektronik
(62), welche basierend auf dem Phasenunterschied zwischen
den Ausgangssignalen von Meßdetektor (54) und Referenz
signalgenerator ein dem Abstand des vom Laserstrahl
getroffenen Punktes der Werkstückoberfläche von einer
Bezugsebene (R) zugeordnetes Abstandssignal bereitstellt,
dadurch gekennzeichnet, daß der Meßspiegel (30) auf
der Stoßfläche (28) zweier bündig verbundener Prismen
platten (24, 26) vorgesehen ist und für die Laserstrahlen
teilweise durchlässig ist, und daß die Prismenplatten
(24, 26) an ihren von der Stoßfläche (28) abliegenden
Rändern mit Abschrägungen (32, 36) und Umlenkspiegeln (34,
38) versehen sind, von denen ein erster Umlenkspiegel (34)
den Laserstrahl von der Laserachse auf die Mitte des
Meßspiegels (30) und der zweite Umlenkspiegel (38) den
vom Meßspiegel durchgelassenen Teil des Laserstrahles
auf einen Referenzdetektor (58) umlenkt, der gleiche
Eigenschaften aufweist, wie der Meßdetektor (54).
2. Optischer Abstandsmesser nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß der erste Umlenkspiegel (34)
und der Meßspiegel (30) parallel zueinander ausgerich
tet sind und der zweite Umlenkspiegel (38) in einer
Ebene liegt, die unter rechtem Winkel auf der Ebene
des ersten Umlenkspiegels (34) steht.
3. Optischer Abstandsmesser nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Prismen
platten (24, 26) durch einen optischen Kitt zu einer
Prismenplatteneinheit (22) verbunden sind.
4. Optischer Abstandsmesser nach einem der Ansprüche
1-3, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Laser
(44) und dem ersten Umlenkspiegel (34) ein Strahlver
satzgenerator (46) angeordnet ist.
5. Optischer Abstandsmesser nach Anspruch 4, dadurch
gekennzeichnet, daß der Strahlversatzgenerator (46)
eine planparallele Platte (88) sowie eine kardanische
Lagerung (92-96) für dieselbe aufweist.
6. Optischer Abstandsmesser nach einem der Ansprüche
1-5, dadurch gekennzeichnet, daß die durch die
beiden Prismenplatten (24, 26) gebildete Einheit (22)
oder die Meßlinse (48) ein Fenster bildet, welches die
offene Seite eines becherförmigen Gehäuses (14) ver
schließt, in welchem der Laser (42), der Meßdetektor
(54), der Referenzdetektor (58) und die Auswerteelek
tronik (62) untergebracht sind.
7. Optischer Abstandsmesser nach Anspruch 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die Meßlinse (48) und die Pris
menplatteneinheit (22) im wesentlichen die gleiche Rand
kontur haben und hintereinander liegend unter Zwischen
schaltung eines Distanzringes (50) an einer Ringschulter
(16) des Gehäuses (14) abgestützt sind.
8. Optischer Abstandsmesser nach Anspruch 6 oder 7,
gekennzeichnet durch einen vor dem Fenster ange
ordneten Düsenring (114), der mit einer Druckgasquelle
verbindbar ist und einen das Fenster überdeckenden Gas
vorhang erzeugt.
9. Optischer Abstandsmesser nach einem der Ansprüche
1-8, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser (42)
und/oder der Meßdetektor (54) und/oder der Referenz
detektor (58) auf einer entgegen Reibschluß verschieb
baren Platine (64) angeordnet ist und durch einen Fein-
Koordinatentrieb (84) in seiner Stellung einjustierbar
ist.
10. Optischer Abstandsmesser nach Anspruch 9, dadurch
gekennzeichnet, daß der Fein-Koordinatentrieb (84)
abnehmbar ist und der Laser (42) und/oder Meßdetektor
(54) und/oder der Referenzdetektor (58) nach dem Ein
justieren in seiner Lage bleibend fixiert, zum Beispiel
verklebt (86) ist.
11. Dickenmeßgerät für metallische und nichtmetallische
Materialbahnen, dadurch gekennzeichnet, daß er
zwei koaxial angeordnete Abstandsmesser (12) nach einem
der Ansprüche 1-10 aufweist, von denen der eine mit
der Vorderseite, der andere mit der Rückseite der Material
bahn (10) zusammenarbeitet, daß eine Rechenschaltung
(105, 106), vorgesehen ist, welche das Ausgangssignal des
einen Abstandsmessers (12A) zum Ausgangssignal des anderen
Abstandsmessers (12B) hinzuaddiert und das Summensignal
von einem dem Abstand der Referenzebenen (RA, RB) der
Abstandsmesser (12A, 12B) entsprechenden Signal (H) abzieht,
und daß die beiden Abstandsmesser (12A, 12B) jeweils im
Strahlengang zwischen dem Meßspiegel (30) und dem Meßde
tektor (54) liegend eine Blende (108) aufweisen, deren
Durchmesser mindestens geringfügig größer ist als der
Durchmesser des Laserstrahles, welchen der andere Abstands
messer bei fehlender oder transparenter Materialbahn (10)
am Ort der Blende (108) erzeugt.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934341098 DE4341098A1 (de) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | Optischer Abstandsmesser und Dickenmeßgerät mit solchen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19934341098 DE4341098A1 (de) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | Optischer Abstandsmesser und Dickenmeßgerät mit solchen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4341098A1 true DE4341098A1 (de) | 1995-06-08 |
Family
ID=6504015
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19934341098 Withdrawn DE4341098A1 (de) | 1993-12-02 | 1993-12-02 | Optischer Abstandsmesser und Dickenmeßgerät mit solchen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4341098A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999067049A1 (de) * | 1998-06-25 | 1999-12-29 | Thyssen Industrie Ag | Messeinrichtung zum bestimmen der spaltbreite zwischen den stosskanten von zu verschweissenden blechen |
DE10060144A1 (de) * | 2000-12-04 | 2002-06-13 | Dillinger Huettenwerke Ag | Vorrichtung zur Dickenmessung an bahn- oder plattenförmigen Meßobjekten |
DE102007026700A1 (de) | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Solarwatt Ag | Schichtdickenmessgerät und Verfahren zur Schichtdickenmessung für verzinnte Metallbänder als elektrische Verbinder |
DE102004033807B4 (de) * | 2004-07-12 | 2010-12-16 | Sidacon Systemtechnik Gmbh | Gehäuse für optische Sensor- oder optische Sende-/Empfangseinheiten |
-
1993
- 1993-12-02 DE DE19934341098 patent/DE4341098A1/de not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999067049A1 (de) * | 1998-06-25 | 1999-12-29 | Thyssen Industrie Ag | Messeinrichtung zum bestimmen der spaltbreite zwischen den stosskanten von zu verschweissenden blechen |
DE10060144A1 (de) * | 2000-12-04 | 2002-06-13 | Dillinger Huettenwerke Ag | Vorrichtung zur Dickenmessung an bahn- oder plattenförmigen Meßobjekten |
DE102004033807B4 (de) * | 2004-07-12 | 2010-12-16 | Sidacon Systemtechnik Gmbh | Gehäuse für optische Sensor- oder optische Sende-/Empfangseinheiten |
DE102007026700A1 (de) | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Solarwatt Ag | Schichtdickenmessgerät und Verfahren zur Schichtdickenmessung für verzinnte Metallbänder als elektrische Verbinder |
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