DE4330285C2 - Nicht-reziprokes Hochfrequenz-Schaltungselement und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents
Nicht-reziprokes Hochfrequenz-Schaltungselement und Verfahren zu dessen HerstellungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf ein nicht-reziprokes Schaltungselement zur Ver
wendung in einem Mikrowellenband und insbesondere auf ein nicht-reziprokes
Hochfrequenz-Schaltungselement, das bei einem Zirkulator, einem Isolator
oder dergleichen zum Einsatz kommt und umfaßt auch
Verfahren zu dessen Herstellung.
Hochfrequenzeinrichtungen wurden in den letzten Jahren mehr und mehr mi
niaturisiert, was insbesondere für mobile Kommunikationssysteme und der
gleichen zutrifft. In diesem Zusammenhang wurde es erforderlich, auch nicht
reziproke Schaltungselemente, die in diesen Systemen zum Einsatz kommen, zu
verkleinern. Dies hat nicht zuletzt auch zu einer Kostenverringerung geführt.
Ein derartiges nicht-reziprokes Schaltungselement kann z. B. ein solches mit
konzentriertem Parameter (lumped parameter) sein, das eine Mehrzahl von Zen
tralelektroden enthält, die gekreuzt zueinander liegen und elektrisch gegenein
ander isoliert sind. Hochfrequenz-Magnetkörper liegen oberhalb und unterhalb
der sich kreuzenden Zentralelektroden, so daß die sich kreuzenden Zentralelek
troden durch magnetische Gleichfelder beaufschlagt werden können, die z. B.
durch Permanentmagnete erzeugt werden. Beispiele für Elemente der genann
ten Art sind begrenzte Parameter aufweisende Zirkulatoren, Isolatoren und der
gleichen.
Ein Beispiel eines Verfahrens zur Herstellung eines nicht-reziproken Hochfre
quenz-Schaltungselements wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Fig. 13
beschrieben.
Zunächst wird eine Zentralelektrode 32a auf einem scheibenförmigen Hochfre
quenz-Magnetkörper 31a angeordnet. Die Zentralelektrode 32a verläuft dabei
radial durch das Zentrum des Hochfrequenz-Magnetkörpers 31a sowie auf des
sen oberer Fläche. Sie erstreckt sich ferner von jeweils einer Seitenoberfläche
des Hochfrequenz-Magnetkörpers 31a zur gegenüberliegenden Seitenoberflä
che. Dabei kommt sie auch auf diesen Seitenoberflächen zu liegen. Sodann wird
ein Isolationsfilm 33a aus isolierendem Material auf die Zentralelektrode 32a
aufgelegt, und zwar koaxial zum Hochfrequenz-Magnetkörper 31a. Danach wird
eine weitere Zentralelektrode 32b auf die so erhaltene Struktur aufgebracht,
derart, daß sie quer zur Zentralelektrode 32a verläuft bzw. diese schneidet.
Schließlich werden ein weiterer Isolationsfilm 33b, eine weitere Zentralelektro
de 32c und ein noch weiterer Isolationsfilm 33c der Reihe nach auf die Zentral
elektrode 32b aufgebracht, wonach als Abschluß zuletzt ein Hochfrequenz-
Magnetkörper 31b auf die so erhaltene Struktur gelegt und fixiert wird.
Auf den durch die genannten Elemente gebildeten Körper, der eine feste Bauein
heit bildet, werden weiterhin oben und unten Permanentmagnete angeordnet,
um magnetische Gleichfelder in diesen Körper leiten zu können. Dabei durch
setzen die magnetischen Gleichfelder die zwischen den Hochfrequenz-Magnet
körpern 31a und 31b angeordneten Elemente.
Beim oben beschriebenen Herstellungsverfahren des konventionellen nicht-re
ziproken Hochfrequenz-Schaltungselements müssen die Zentralelektroden 32a
bis 32c und die Isolationsfilme 33a bis 33c wechselweise von Hand aufgebracht
werden, was relativ mühsam ist, da z. B. die Zentralelektroden 32a bis 32c nur
eine Länge von einigen mm aufweisen. Bei noch weiterer Miniaturisierung des
nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungselements ist beim oben beschriebe
nen Verfahren praktisch keine genaue Ausrichtung der Zentralelektroden 32a
bis 32c mehr möglich, so daß auf diese Weise kein zuverlässig arbeitendes
Schaltungselement mehr hergestellt werden kann.
Aufgrund der bei der Herstellung auftretenden hohen Fehlerrate ergeben sich
darüber hinaus für das konventionelle Schaltungselement ausgesprochen hohe
Herstellungskosten. Dies nicht zuletzt auch deswegen, weil bei dessen Herstel
lung sehr viele Teile zusammengesetzt werden müssen.
Aus der US 50 68 629 ist eine Ferritanordnung für ein nicht-reziprokes
Schaltungselement bekannt, bei der drei Zentralelektroden so zwischen zwei
Magnetscheiben angeordnet sind, daß sie sich untereinander unter einem
Winkel von 120° schneiden. Um die Elektroden gegeneinander zu isolieren,
sind zwischen ihnen Isolationsschichten vorgesehen. Zum Ausrichten der
Elektroden weisen diese über die Magnetscheiben vorstehende Abschnitte auf
und sind gegen einander verdreh- oder verschiebbar zwischen den Magnet
scheiben angeordnet.
Beim Einsetzen dieser Anordnung in eine Ausnehmung in einem Masseblock
greifen die vorstehenden Abschnitte der Elektroden in entsprechende Nuten,
die in der Seitenwand der Ausnehmung vorgesehen sind.
Ein bekannter Richtkoppler (DE 42 41 148 A1) mit Streifenleitungen weist
eine chip-förmige Schichtstruktur aus mehreren plattenförmigen Substraten
auf, die bis auf ein Abdecksubstrat auf einer ihrer Hauptflächen jeweils eine
Elektrode tragen. Die Substrate sind dabei aus keramischen Grünschichten
gebildet, die nach dem Aufbringen der entsprechenden Elektroden übereinan
der gestapelt und dann gesintert werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein nicht-reziprokes Hochfre
quenz-Schaltungselement der eingangs genannten Art bereitzustellen, das,
ohne an Zuverlässigkeit zu verlieren, weiter miniaturisiert und kostengünsti
ger hergestellt werden kann. Außerdem sollen Verfahren zur Herstellung
eines derartigen Hochfrequenz-Schaltungselements angegeben werden.
Diese Aufgabe wird durch das Hochfrequenz-Schaltungselement nach An
spruch 1 bzw. mit den Verfahren nach Anspruch 6, 10 und 12 gelöst.
Gemäß dem Anspruch 1 sind also eine Mehrzahl von Zentralelektroden, die sich
unter einander schneiden, so innerhalb eines Hochfrequenz-Magnetkörpers
angeordnet, daß sie mit diesem eine integrierte Struktur bilden und durch
Hochfrequenz-Magnetschichten des Hochfrequenz-Magnetkörpers gegenein
ander elektrisch isoliert sind.
Der Ausdruck Hochfrequenz-Magnetkörper bezeichnet einen magnetischen
Körper, der geeignet ist, das zuvor erwähnte nicht-reziproke Schaltungsele
ment in einem Mikrowellenband zu bilden.
Die gegeneinander isolierten Zentralelektroden können also magnetischen
Feldern ausgesetzt werden, die durch Permanentmagnete erzeugt werden. Auf
diese Weise wird ein nicht-reziprokes Hochfrequenz-Schaltungselement mit
konzentriertem Parameter erhalten, das zum Beispiel bei einem Zirkulator
oder Isolator zum Einsatz kommt.
Das nicht-reziproke Hochfrequenz-Schaltungselement
weist eine solche integrierte Struktur auf, daß die Zentralelektro
denbereiche innerhalb des Hochfrequenz-Magnetkörpers zu liegen kommen.
Das Schaltungselement kann daher extrem klein hergestellt werden im Ver
gleich zum konventionellen nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungsele
ment, bei dem die Zentralelektroden von Hand positioniert und montiert werden
müssen. Handarbeit kommt bei der Herstellung des Schaltungselements nach
der Erfindung praktisch überhaupt nicht mehr vor, so daß die Zentralelektro
den auch nicht mehr fehlausgerichtet werden können. Das
Schaltungselement läßt sich somit zuverlässig und kostengünstig herstellen.
Es liefert daher auch einen Beitrag zur Miniaturisierung und Kostenreduzie
rung von Hochfrequenz-Einrichtungen beispielsweise von mobilen Kommuni
kationssystemen.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden unter Bezugnahme auf die
Zeichnung näher beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines nicht-reziproken Hochfrequenz-
Schaltungselements nach einem ersten Ausführungsbeispiel der Er
findung,
Fig. 2 perspektivische Ansichten von magnetischen Rohschichten zur Her
stellung des Schaltungselements nach Fig. 1, wobei die magnetischen
Rohschichten jeweils mit einer Zentralelektrode bedruckt sind,
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht einer Modifikation des ersten Ausfüh
rungsbeispiels,
Fig. 4 eine perspektivische Ansicht eines zweiten Ausführungsbeispiels der
Erfindung, bei dem Hohlräume in Teilen eines Hochfrequenz-Magnet
körpers vorhanden sind, die zur Aufnahme von Zentralelektroden die
nen,
Fig. 5 eine Draufsicht auf ein drittes Ausführungsbeispiel der Erfindung in ei
nem Zustand, bei dem eine erste Schicht eines Magnetkörpers vorliegt,
Fig. 6 eine Draufsicht des dritten Ausführungsbeispiels in einem Zustand, bei
dem eine Zentralelektrode auf den Magnetkörper aufgedruckt ist,
Fig. 7 eine Draufsicht des dritten Ausführungsbeispiels in einem Zustand, bei
dem eine weitere Zentralelektrode auf einen anderen Magnetkörper
aufgedruckt ist,
Fig. 8 eine Draufsicht des dritten Ausführungsbeispiels in einem Zustand, bei
dem eine noch andere Zentralelektrode auf einen noch weiteren
Magnetkörper aufgedruckt ist,
Fig. 9(a) bis 9(c) perspektivische Ansichten von Zentralelektroden für ein viertes
Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 10 einen Querschnitt zur Erläuterung eines Herstellungsschritts des vier
ten Ausführungsbeispiels, bei dem Zentralelektroden und magneti
sche Rohschichten aufeinandergestapelt werden, um einen kompakten
Körper zu erhalten,
Fig. 11 ein Blockdiagramm zur Erläuterung einer Vorrichtung zur Bildung ei
nes Magnetfilms und eines Metallfilms zwecks Herstellung einer Zen
tralelektrode gemäß einem fünften Ausführungsbeispiel der Erfin
dung,
Fig. 12 Perspektivansichten von Magnetplatten für ein sechstes Ausführungs
beispiel der Erfindung, wobei auf die Magnetplatten Zentralelektroden
aufgedruckt sind, und
Fig. 13 eine Perspektivdarstellung zur Erläuterung der Montage eines konven
tionellen nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungselements.
Die Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht eines nicht-reziproken Hochfre
quenz-Schaltungselements 1 in Übereinstimmung mit einem ersten Ausfüh
rungsbeispiel der Erfindung. Das nicht-reziproke Hochfrequenz-Schaltungs
element 1 weist eine Struktur auf, die dadurch erhalten wird, daß eine Mehrzahl
von Zentralelektroden 3a bis 3c in einem scheibenförmigen Hochfrequenz-
Magnetkörper 2 integriert werden. Dabei liegen die Zentralelektroden 3a bis 3c
so innerhalb des Hochfrequenz-Magnetkörpers 2, daß zwischen ihnen jeweils
ein Winkel von etwa 120° vorhanden ist, wie die Fig. 1 erkennen läßt. Von unten
nach oben gesehen ist jeweils die nächstliegende Zentralelektrode also um 120°
gegenüber der vorhergehenden gedreht. Dabei sind alle Zentralelektroden mit
tels magnetischer Schichten gegeneinander elektrisch isoliert. Die jeweils ge
genüberliegenden Enden der jeweiligen Zentralelektroden 3a bis 3c reichen bis
zur Seitenoberfläche des Hochfrequenz-Magnetkörpers 2.
Das nicht-reziproke Hochfrequenz-Schaltungselement 1 kann bei einem Zirku
lator, einem Isolator und dergleichen zum Einsatz kommen. Nachfolgend wird
ein mögliches Verfahren zur Herstellung des nicht-reziproken Hochfrequenz-
Schaltungselements 1 unter Bezugnahme auf die Fig. 2 näher erläutert.
Zunächst wird ein Magnetpuder, der hauptsächlich aus Yttriumoxid (Y₂O₃) und
Eisenoxid (Fe₂O₃) besteht, mit einem organischen Binder und einem organi
schen Lösungsmittel gemischt, um einen magnetischen Schlamm zu erhalten.
Dieser magnetische Schlamm wird durch geeignete Mittel, beispielsweise durch
Abstreifmesser und dergleichen, in eine vorbestimmte Form gebracht, um auf
diese Weise magnetische Rohschichten 2a bis 2c (magnetische Grünschichten)
zu bilden, die eine Dicke von 10 bis mehreren 10 µm aufweisen.
Anschließend wird eine leitfähige Paste auf die oberen Flächen der magneti
schen Rohschichten 2a bis 2c durch ein Siebdruckverfahren aufgebracht, um
auf diese Weise die Zentralelektroden 3a bis 3c zu erhalten. Die leitfähige Paste
wird durch Mischung eines leitfähigen Puders aus Palladium oder Platin mit ei
nem organischen Lösungsmittel erhalten. Dabei werden die Zentralelektroden
3a bis 3c streifenförmig ausgebildet und so aufgedruckt, daß sie durch das Zen
trum der jeweiligen magnetischen Rohschichten 2a bis 2c verlaufen. Sodann
werden die magnetischen Rohschichten 2a bis 2c so aufeinandergeschichtet,
daß von der unteren bis zur oberen Schicht die Zentralelektroden 3a bis 3c je
weils der Reihe nach um Winkel von etwa 120° gegeneinander gedreht sind. Da
bei wechseln sich von unten nach oben gesehen magnetische Rohschichten und
Zentralelektroden einander ab. Zusätzlich wird der so erhaltene Schichtkörper
oben und unten durch weitere magnetische Rohschichten ergänzt, die keine
Zentralelektroden aufweisen. Diese Schichten dienen praktisch als Deck
schichten. Schließlich wird dieser Schichtstapel in Dickenrichtung bzw. Stapel
richtung gepreßt, um einen kompakten Körper zu erhalten. Dieser kompakte
Körper wird dann in einem Ofen bei Temperaturen zwischen 1300°C bis 1600°C
gebrannt, so daß schließlich das nicht-reziproke Hochfrequenz-Schaltungsele
ment 1 vorliegt, das den Magnetkörper 2 aufweist, in dessen Innerem sich die
Zentralelektroden 3a bis 3c befinden.
Bei dem nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungselement 1 nach diesem
Ausführungsbeispiel werden die Zentralelektroden 3a bis 3c durch Aufdrucken
einer leitfähigen Paste auf die oberen Flächen der jeweiligen magnetischen Roh
schichten 2a bis 2c erhalten, wobei diese Zentralelektroden 3a bis 3c durch Ma
gnetschichten gegeneinander elektrisch isoliert sind, die durch die magneti
schen Rohschichten 2a und 2b gebildet werden, wie oben beschrieben. Die Zen
tralelektroden brauchen somit nicht mehr separat ausgerichtet zu werden, son
dern sie lassen sich durch Ausrichtung der magnetischen Rohschichten mit ho
her Genauigkeit positionieren, was die Herstellung des nicht-reziproken Hoch
frequenz-Schaltungselements 1 erheblich vereinfacht und verbilligt und was
ferner dessen weitere Miniaturisierung ermöglicht.
Wie bereits erwähnt, sind beim nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungsele
ment 1 nach dem ersten Ausführungsbeispiel die Zentralelektroden 3a bis 3c
durch den scheibenförmigen Hochfrequenz-Magnetkörper 2 abgedeckt, wobei
sie sich kreuzen und durch die Magnetschichten elektrisch gegeneinander iso
liert sind. Selbstverständlich ist es auch möglich, dem nicht-reziproken Hoch
frequenz-Schaltungselement nach dem ersten Ausführungsbeispiel eine andere
Form oder andere Schaltungsstruktur zu geben.
Beispielsweise können die Zentralelektroden 3a bis 3c in einem Hochfrequenz-
Magnetkörper 2 vorhanden sein, der in Form einer rechteckförmigen Platte vor
liegt. Auch hier können sich die Zentralelektroden 3a bis 3c in entsprechender
Weise kreuzen und durch Magnetschichten elektrisch gegeneinander isoliert
sein, wobei ferner Kapazitäts- bzw. Kondensatorelektroden 4a bis 4c im Hoch
frequenz-Magnetkörper 2 vorgesehen sein können, um eine integrierte Struktur
mit Anpassungskondensatoren zu erhalten, wie die Fig. 3 zeigt. Dabei dienen die
Kondensatorelektroden 4a bis 4c zur Bildung von Kondensatoren, die elektrisch
mit den Zentralelektroden 3a bis 3c verbunden sind.
Entsprechend der Fig. 3 sind Anschlußelektroden 5a bis 5f vorhanden, die sich
an gegenüberliegenden Stirnflächen des Hochfrequenz-Magnetkörpers 2 befin
den, der die Form einer rechteckförmigen Platte hat. Jeweils eine dieser An
schlußelektroden 5a bis 5f ist mit jeweils einem Ende einer der Zentralelektro
den 3a bis 3f elektrisch verbunden. Dabei können die Anschlußelektroden 5a
bis 5f auch U-förmig ausgebildet sein und aus Stabilitätsgründen mit ihren
Schenkeln auf der oberen und unteren Fläche des Magnetkörpers 2 zu liegen
kommen.
Die magnetischen Rohschichten (magnetic green sheets) 2a bis 2c lassen sich
nicht nur mit Hilfe von Abstreifverfahren unter Einsatz von Abstreifmessern
herstellen, sondern auch durch Gießverfahren, Strangpreßverfahren und der
gleichen. Auch die Zentralelektroden 3a bis 3c brauchen nicht unbedingt durch
ein Siebdruckverfahren gefertigt zu werden, sondern sie lassen sich beispiels
weise auch durch ein Gravur-Transferverfahren herstellen usw.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 4 wird nachfolgend ein Verfahren zur Herstel
lung eines nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungselements nach einem
zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung näher beschrieben.
Zunächst werden magnetische Rohschichten (magnetic green sheets) identisch
zu den magnetischen Rohschichten 2a bis 2c von Fig. 2 hergestellt, jedoch wer
den diese nicht mit einer leitfähigen Paste bedruckt. Statt dessen wird auf die
jetzt vorliegenden magnetischen Rohschichten entsprechend der späteren
Form der Zentralelektroden eine Paste aufgebracht, die ein brennbares Material
enthält. Es kann sich hier z. B. um eine Kohlenstoffpaste handeln. Die Paste zer
setzt sich oderverbrennt, und zwar beim Brennen der magnetischen Rohschich
ten, so daß sie letztlich verschwindet. Die Paste kann auch eine Mischung aus
einem brennbaren Material und einem magnetischen Puder sein, die auf die
oberen Flächen der magnetischen Rohschichten aufgebracht oder aufgedruckt
wird, und zwar in derselben Form bzw. Weise, wie das bei den Zentralelektroden
3a bis 3c der Fall ist.
Sodann werden die magnetischen Rohschichten so aufeinandergestapelt, daß
sich die Pastenelemente, die in Form der Zentralelektroden aufgedruckt worden
sind, schneiden. Schließlich werden weitere magnetische Rohschichten ohne
aufgedruckte Elektroden auf der oberen und unteren Fläche des so erhaltenen
Schichtkörpers aufgebracht, und es wird der Gesamtkörper in Dickenrichtung
bzw. Stapelrichtung zusammengepreßt, um ihn zu verbonden und somit einen
kompakten Baustein zu erhalten. In einem letzten Schritt wird der so erhaltene
Baustein in einem Ofen bei einer Temperatur von etwa 1300°C bis 1600°C ge
brannt, um den in Fig. 4 gezeigten zylindrischen Hochfrequenz-Magnetkörper 2
zu erhalten.
Dieser Hochfrequenz-Magnetkörper 2 weist Hohlräume 2d, 2e und 2f auf, die
jetzt dort liegen, wo zuvor das brennbare Material oder die Mischung aus brenn
barem Material und Magnetpuder aufgedruckt worden war. Dabei reichen die
Hohlräume 2d bis 2f bis zu den Seitenflächen bzw. bis zur Umfangsfläche des
Magnetkörpers 2, sind also an ihren Stirnseiten offen und lassen sich daher mit
Elektrodenmaterial zur Bildung von Zentralelektroden füllen.
Zu diesem Zweck wird der Hochfrequenz-Magnetkörper 2 in ein Gefäß einge
taucht, das mit Metall gefüllt ist, das einen niedrigen Schmelzpunkt hat, bei
spielsweise mit Blei, Zinn, einer Legierung aus den genannten Materialien usw.
Das Metall befindet sich in dem Gefäß in einem geschmolzenen Zustand und
steht unter Druck, so daß sich die Hohlräume 2d bis 2f mit dem geschmolzenen
Metall ausfüllen lassen. Anschließend wird der Hochfrequenz-Magnetkörper 2
aus dem Gefäß herausgenommen und bei Raumtemperatur abgekühlt, so daß
sich jetzt die Zentralelektroden in Bereichen bilden, in denen die Hohlräume 2d
bis 2f vorhanden waren.
Durch die zuvor erwähnten Schritte ist es möglich, einen Körper zu erhalten, der
ähnlich dem des nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungselements 1 gemäß
Fig. 1 ist. Auch jetzt befinden sich mehrere Zentralelektroden 3a bis 3f integriert
innerhalb des Hochfrequenz-Magnetkörpers 2. Durch das oben beschriebene
Verfahren läßt sich ein nicht-reziprokes Hochfrequenz-Schaltungselement 1
herstellen, das gegenüber dem herkömmlichen weiter miniaturisiert werden
kann und eine größere Zuverlässigkeit aufweist, ähnlich wie dies beim Schal
tungselement 1 nach dem ersten Ausführungsbeispiel der Fall ist.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 5 bis 8 wird nachfolgend ein Verfahren zur Her
stellung eines nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungselements nach einem
dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert.
Zunächst wird Magnetpuder, der sich im wesentlichen zusammensetzt aus
Yttriumoxid (Y₂O₃) und Eisenoxid (Fe₂O₃), mit organischem Binder und einem
organischen Lösungsmittel gemischt, um eine magnetische Paste zu erhalten.
Diese magnetische Paste wird z. B. auf einen Film aufgebracht, der aus syntheti
schem Harz besteht, beispielsweise aus Polyester. Anschließend wird die
magnetische Paste getrocknet, um einen magnetischen Körper 6a gemäß Fig. 5
zu erhalten. Die magnetische Paste kann zuvor so strukturiert werden, daß der
magnetische Körper 6a eine rechteckige Form aufweist.
Sodann wird eine leitfähige Paste, die aus einer Mischung von Palladiumpuder
mit einem organischen Lösungsmittel besteht, auf den magnetischen Körper 6a
aufgebracht, wie in Fig. 6 zu erkennen ist, um eine Zentralelektrode 7a zu erhal
ten, die anschließend getrocknet wird. Die Zentralelektrode 7a ist streifenför
mig ausgebildet und verläuft mittig auf dem rechteckförmigen Magnetkörper 6a
in dessen Längsrichtung. In einem nächsten Schritt wird magnetische Paste
wiederum auf den magnetischen Körper 6a und auf die Zentralelektrode 7a auf
gebracht und getrocknet, so daß jetzt ein magnetischer Körper 6b gemäß Fig. 7
vorliegt. Danach wird leitfähige Paste auf die Oberfläche des magnetischen Kör
pers 6b aufgebracht und getrocknet, um eine Zentralelektrode 7b zu erhalten.
Sie ist ebenfalls streifenförmig ausgebildet und schneidet die Zentralelektrode
7a, die in Fig. 7 nicht zu erkennen ist.
In einem weiteren Schritt wird magnetische Paste auf den magnetischen Körper
6b und die Zentralelektrode 7b aufgetragen und getrocknet, wie die Fig. 8 erken
nen läßt, um einen Magnetkörper 6c zu erhalten. Auf diesen wird leitfähige Paste
aufgebracht und getrocknet, um eine Zentralelektrode 7c zu bilden, die wieder
um streifenförmig ausgebildet ist und die Zentralelektroden 7a und 7b schnei
det. Schließlich wird nochmals leitfähige Paste auf den magnetischen Körper 6c
und die Zentralelektrode 7c aufgebracht und getrocknet, so daß jetzt ein kom
pakter Körper vorliegt, der in seinem Inneren Zentralelektroden 7a bis 7c auf
weist, die sich in einem Punkt schneiden, der im Zentrum des Körpers liegt. Im
vorliegenden Fall ist der Körper rechteckförmig ausgebildet, kann jedoch auch
zylindrisch sein.
Der auf diese Weise erhaltene Körper wird anschließend in einem Ofen bei einer
Temperatur von etwa 1300°C bis 1600°C gebrannt, so daß anschließend ein
nicht-reziprokes Hochfrequenz-Schaltungselement vorliegt, das eine ähnliche
Struktur und ähnliche Eigenschaften aufweist, wie das unter Fig. 1 diskutierte
nicht-reziproke Hochfrequenz-Schaltungselement.
Beim vorliegenden dritten Ausführungsbeispiel werden, wie oben beschrieben,
magnetische Filme und Zentralelektroden abwechselnd aufgebracht oder ge
druckt, getrocknet und aufeinandergestapelt, um ein Laminat zu erhalten, wel
ches anschließend, ähnlich wie beim ersten Ausführungsbeispiel, gebrannt
wird, um auf diese Weise ein nicht-reziprokes Hochfrequenz-Schaltungsele
ment herzustellen, das in seinem Inneren integriert eine Mehrzahl von Zentral
elektroden aufweist, die sich im Zentrum des Magnetkörpers schneiden.
Auch das dritte Ausführungsbeispiel ermöglicht gegenüber dem Stand der
Technik eine weitere Miniaturisierung des nicht-reziproken Hochfrequenz-
Schaltungselements bei verbesserter Zuverlässigkeit. Dabei lassen sich wieder
um die Herstellungskosten senken.
Wie oben beschrieben, wird beim dritten Ausführungsbeispiel die magnetische
Schicht 6a durch Aufbringen einer magnetischen Paste und durch Trocknung
dieser Paste erzeugt. Die magnetische Schicht 6a kann aber auch durch eine
magnetische Rohschicht ersetzt werden, wie sie beim ersten oder zweiten Aus
führungsbeispiel verwendet wird, so daß sich darauf die Zentralelektroden und
die weiteren magnetischen Schichten aufbringen bzw. aufdrucken lassen, um
einen Schichtkörper zu erhalten.
Wie die Fig. 9(a) bis 9(c) erkennen lassen, werden beim vierten Ausführungsbei
spiel der Erfindung drei Zentralelektroden 8, 9 und 10 hergestellt, die einen obe
ren Plattenbereich 8a, 9a, 10a sowie Paare von seitlichen Plattenbereichen 8b,
9b und 10b aufweisen, die sich jeweils ausgehend vom oberen Plattenbereich
8a, 9a und 10a an dessen beiden Enden nach unten erstrecken. Dabei sind die
Längen der seitlichen Plattenbereiche 8b, 9b und 10b bzw. die Schenkellängen
der Zentralelektroden 8, 9. und 10 verschieden. Die Zentralelektrode 8 weist
seitliche Plattenbereiche 8b bzw. Schenkel mit der kürzesten Länge auf, die Zen
tralelektrode 9 seitliche Plattenbereiche 9b bzw. Schenkel mit einer etwas grö
ßeren Länge und die Zentralelektrode 10 seitliche Plattenbereiche 10b bzw.
Schenkel mit einer noch größeren Länge.
Nach Herstellung der Zentralelektroden 8 bis 10 kommt eine Preßform 11 zum
Einsatz, die eine nach oben offene Aufnahme 11a und einen Stempel 11b auf
weist. In die nach oben offene Aufnahme 11a der Preßform 11 werden zunächst
magnetische Rohschichten 2a bis 2c, die denjenigen des ersten Ausführungs
beispiels entsprechen, jedoch nicht an ihrer oberen Fläche mit Zentralelektro
den bedruckt sind, und die Zentralelektroden 8 bis 10 abwechselnd mit den
magnetischen Rohschichten 2a bis 2c eingesetzt, wobei abschließend noch eine
geeignete Anzahl von magnetischen Rohschichten auf dem obersten Teil zu lie
gen kommt. Sodann wird der Stempel 11b nach unten in Richtung der Aufnahme
11a gefahren, um den Schichtkörper in Stapelrichtung zusammenzupressen.
Auf diese Weise wird ein kompakter Körper erhalten.
Dieser kompakte Körper wird in einem weiteren Schritt bei einer Temperatur
von etwa 1300°C bis 1600°C gebrannt, so daß jetzt ein nicht-reziprokes Hoch
frequenz-Schaltungselement vorliegt, das eine ähnliche Struktur und ähnliche
Eigenschaften wie das in Fig. 1 gezeigte nicht-reziproke Hochfrequenz-Schal
tungselement 1 aufweist.
Beim vierten Ausführungsbeispiel können die Zentralelektroden 8 bis 10 zuvor
durch Bearbeitung von Metallplatten hergestellt werden. Es ist daher möglich,
das nicht-reziproke Hochfrequenz-Schaltungselement 1 so herzustellen, daß
abwechselnd magnetische Rohschichten und Zentralelektroden 8 bis 10 aufein
andergestapelt werden.
Entsprechend der Fig. 10 werden die Zentralelektroden 8, 9 und 10 so gegenein
ander gedreht, daß sie sich im Zentrum des Schichtkörpers schneiden. Die
freien Enden der Schenkel 8b, 9b und 10b kommen dabei alle an derselben
Stirnseite des zylindrischen Schichtkörpers zu liegen, wie die Fig. 10 erkennen
läßt. Dabei können die Schenkel 8b, 9b und 10b selbst außenseitig noch durch
Magnetmaterial abgedeckt sein, wie die Fig. 10 ebenfalls zeigt.
Beim nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungselement nach dem vierten
Ausführungsbeispiel ist der Hochfrequenz-Magnetkörper homogen und in ho
her Dichte um die Zentralelektroden 8 bis 10 herum angeordnet, wobei er mit
Hilfe der Preßform 11 zusammengepreßt wird. Durch die Verwendung der Preß
form wird es möglich, auch sehr stark miniaturisierte nicht-reziproke Hochfre
quenz-Schaltungselemente mit hoher Zuverlässigkeit herzustellen. Die Her
stellung kann darüber hinaus wegen der Verwendung der Preßform wesentlich
kostengünstiger als beim konventionellen Schaltungselement erfolgen, bei dem
Zentralelektroden, Hochfrequenz-Magnetkörper und Isolationsfilme getrennt
montiert werden müssen.
Darüber hinaus können beim vierten Ausführungsbeispiel die magnetischen
Rohschichten (magnetic green sheets) durch die Magnetpaste ersetzt werden,
wie sie im zweiten Ausführungsbeispiel verwendet wird. Mit anderen Worten
läßt sich die Magnetpaste in die Aufnahme 11a einbringen bzw. injizieren, nach
dem bereits die Zentralelektroden 8, 9 und 10 in die Preßform 11 eingesetzt wor
den sind. Die magnetischen Rohschichten können darüber hinaus auch durch
Magnetpuder ersetzt werden.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 11 wird nachfolgend ein Verfahren zur Herstel
lung eines nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungselements in Überein
stimmung mit einem fünften Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung
näher beschrieben.
Entsprechend der Fig. 11 befindet sich in einem Vakuumgefäß 12 einer Sputter
einheit ein Substrat 13, beispielsweise eine Kupferplatte, die invorbestimmtem
Abstand einem gesinterten Targetkörper 14 aus Yttriumeisengranat gegenüber
liegt. Zunächst wird ein magnetischer Film mit derselben Zusammensetzung
wie der Targetkörper 14 durch einen Sputtervorgang auf der Oberfläche des
Substrats 13 gebildet. Der so hergestellte Magnetfilm wird danach mit einer
Maske 15 abgedeckt, und zwar in Bereichen, die nicht mit einer Zentralelektro
de beschichtet werden sollen. Sodann wird der gesinterte Targetkörper 14 durch
einen anderen Targetkörper aus leitfähigem Material, beispielsweise aus Kup
fer, ersetzt, und es erfolgt ein neuer Sputtervorgang um jetzt eine Zentralelek
trode zu bilden. Die Schritte zur Herstellung eines magnetischen Films und ei
ner Zentralelektrode durch die jeweiligen Sputterverfahren können so oft wie er
forderlich wiederholt werden, um einen Baustein zu erhalten, bei dem Zentral
elektroden im Inneren eines magnetischen Körpers eingebettet sind.
In Übereinstimmung mit dem fünften Ausführungsbeispiel werden magnetische
Filme und Zentralelektroden, die abwechselnd aufeinandergeschichtet werden,
durch einen Sputtervorgang hergestellt. Dadurch lassen sich ähnlich wie beim
ersten Ausführungsbeispiel miniaturisierte und nicht-reziproke Hochfrequenz-
Schaltungselemente mit hoher Betriebszuverlässigkeit bei geringen Kosten her
stellen.
Das Substrat 13 läßt sich direkt mit einer Erdelektrode verbinden, um ein wirk
sames bzw. effektives nicht-reziprokes Schaltungselement zu erhalten.
Wie bereits erwähnt, werden die Magnetfilme und die Zentralelektroden beim
fünften Ausführungsbeispiel durch geeignete Sputterverfahren hergestellt.
Statt dessen ist es aber auch möglich, zur Bildung des oben beschriebenen
nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungselements andere Dünnfilm-Her
stellungstechniken zu verwenden, beispielsweise eine Ionenplattierungstech
nik, thermische Sprühverfahren, Ionenstrahlverfahren, Aufdampfverfahren im
Vakuum, CVD-Verfahren und dergleichen. Werden durch die Dünnfilm-Her
stellungsverfahren Magnetfilme hergestellt, so können diese Verfahren auch
dazu verwendet werden, magnetische Oxidfilme zu erzeugen, und zwar durch
Oxidierung eines Metalls.
Die Fig. 12 zeigt in perspektivischer Ansicht eine Explosionsdarstellung eines
nicht-reziproken Hochfrequenz-Schaltungselements nach einem sechsten Aus
führungsbeispiel der Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel sind drei
Magnetplatten 16a, 16b und 16c vorhanden, wie die Fig. 12 erkennen läßt. Jede
der Magnetplatten 16a bis 16c wird dadurch erhalten, daß mehrere magneti
sche Rohschichten (magnetic green sheets) aufeinandergestapelt werden, wobei
die magnetischen Rohschichten denjenigen entsprechen, die auch beim ersten
Ausführungsbeispiel bereits verwendet wurden. Nachdem die jeweiligen
magnetischen Rohschichten aufeinandergestapelt worden sind, werden sie in
die gewünschte Form gebracht, also mit gewünschten Abmessungen versehen,
und anschließend bei Temperaturen zwischen 1300°C und 1600°C gebrannt.
Die nach dem Brennen vorhandenen Magnetplatten 16a bis 16c werden dann je
weils mit leitfähiger Paste bedruckt, um Zentralelektroden 17a bis 17c zu erhal
ten. Die leitfähige Paste kann eine Mischung aus einem Silberpuder und einem
organischen Lösungsmittel sein. Dabei werden die Zentralelektroden 17a bis
17c so auf die oberen Flächen der scheibenförmig ausgebildeten Magnetplatten
16a bis 16c aufgedruckt, daß sie durch das Zentrum dieser Magnetplatten radi
al hindurchlaufen. Die Zentralelektroden sind streifenförmig ausgebildet.
Danach werden die Magnetplatten 16a bis 16c so angeordnet, daß ihre Zentral
elektroden 17a bis 17c in die in Fig. 12 dargestellten Richtungen weisen. Dabei
kommen die Magnetplatten 16a bis 16c übereinander zu liegen, wobei als Binde
mittel zwischen jeweils zwei der Magnetplatten eine Paste verwendet wird, die
bleihaltiges Borsilikatglas oder dergleichen, enthält. Die Paste dient also zum
Verkleben der Magnetplatten 16a bis 16c, um einen zusammenhängenden Kör
per zu erhalten, der anschließend bei Temperaturen zwischen 900°C bis 1000°C
gebrannt wird. Nach dem Brennen liegt ein nicht-reziprokes Hochfrequenz
schaltungselement vor, bei dem eine Mehrzahl von Zentralelektroden in einem
Körper fest eingebettet ist, ähnlich wie dies auch bei dem nicht-reziproken
Hochfrequenz-Schaltungselement gemäß Fig. 1 der Fall ist.
Beim sechsten Ausführungsbeispiel wird das nicht-reziproke Hochfrequenz-
Schaltungselement dadurch hergestellt, daß gebrannte Magnetplatten 16a bis
16c mit jeweils aufgedruckter Zentralelektrode aufeinandergestapelt werden,
wobei sich dann die jeweils übereinanderliegenden Zentralelektroden schnei
den, und wobei ferner dieser Stapel dann anschließend nochmals gebrannt
wird, um einen zusammenhängenden, festen Körper zu erhalten. Dabei kommt
ein Bindemittel zwischen den jeweiligen Magnetplatten 16a bis 16c zum Ein
satz. Auch auf diese Weise läßt sich ein weiteres miniaturisiertes, nicht-rezipro
kes Hochfrequenz-Schaltungselement kostengünstig und mit hoher Betriebs
zuverlässigkeit herstellen.
Im Falle des sechsten Ausführungsbeispiels wurden zur Herstellung der magne
tischen Platten 16a bis 16c jeweils mehrere magnetische Rohschichten (magne
tic green sheets) übereinandergestapelt und gebrannt. Alternativ dazu können
die magnetischen Platten 16a bis 16c aber auch dadurch hergestellt werden,
daß Magnetpuder entsprechend formgepreßt wird.
Claims (12)
1. Nicht-reziprokes Hochfrequenzschaltungselement mit
- - einem Hochfrequenz-Magnetkörper (2) und
- - einer Mehrzahl von Zentralelektroden (3a, 3b, 3c; 7a, 7b, 7c; 8, 9, 10; 17a, 17b, 17c) innerhalb des Hochfrequenz-Magnetkörpers (2), die mit diesem eine integrierte Struktur bilden,
- - wobei die Zentralelektroden (3a, 3b, 3c; 7a, 7b, 7c, 8, 9, 10; 17a, 17b, 17c) so angeordnet sind, daß sie sich untereinander schneiden und durch Hochfrequenz-Magnetschichten (2a, 2b; 6a, 6b; 16a, 16b) des Hochfrequenz-Magnetkörpers (2) gegeneinander elek trisch isoliert sind.
2. Nicht-reziprokes Hochfrequenz-Schaltungselement nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß es weitere Elektroden (4a, 4b, 4c) aufweist, die
im Hochfrequenz-Magnetkörper (2) angeordnet und gegenüber den Zentralelek
troden durch Magnetschichten getrennt sind, wobei die weiteren Elektroden mit
den Zentralelektroden jeweils paarweise Anpassungs- bzw. Abstimmkondensa
toren bilden.
3. Nicht-reziprokes Hochfrequenz-Schaltungselement nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens im Kreuzungsbereich der Zentral
elektroden (3a, 3b, 3c, 7a, 7b, 7c, 8, 9, 10, 11a, 11b, 11c)
bei ebener Draufsicht auf den schichtförmigen Hochfrequenz-
Magnetkörper (2) die Verdrehwinkel zwisch den aufeinanderfolgenden Zentral
elektroden allge gleich sind.
4. Nicht-reziprokes Hochfrequenz-Schaltungselement nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der Hochfrequenz-Magnetkörper (2) dadurch
erhalten wird, daß eine Mehrzahl von gesinterten Hochfrequenz-Magnetplatten (16a, 16b, 16c)
miteinander verbunden werden.
5. Nicht-reziprokes Hochfrequenz-Schaltungselement nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß die Zentralelektroden (17a, 17b, 17c) nur auf je
weils einer einzigen Hauptoberfläche der jeweiligen Hochfrequenz-Magnetplatten (16a, 16b,
16c) aufgebracht sind.
6. Verfahren zur Herstellung eines nicht-reziproken Hochfrequenz-
Schaltungselements, mit folgenden Schritten:
- - es werden abwechselnd mehrere Zentralelektroden (3a, 3b, 3c; 7a, 7b, 7c) und ungebrannte Hochfrequenz-Magnetschichten (2a, 2b, 2c; 6a, 6a, 6c) zur Bildung eines Schichtkörpers so aufeinander gestapelt, daß die im Schichtkörper eingebetteten Zentralelek troden (3a, 3b, 3c; 7a, 7b, 7c) durch ungebrannte Hochfrequenz- Magnetschichten voneinander getrennt und gegeneinander elektrisch isoliert sind und sich mit einander kreuzen, und
- - es wird der Schichtkörper anschließend gebrannt.
7. Verfahren zur Herstellung eines nicht-reziproken Hochfrequenz-Schal
tungselemente nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die unge
brannten Magnetschichten magnetische Hochfrequenz-Rophschichten (2a, 2b, 2c, 6a, 6b, 6c), die zuvor geformt
worden sind.
8. Verfahren zur Herstellung eines nicht-reziproken Hochfrequenz-Schal
tungselement nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentral
elektroden (3a, 3b, 3c, 7a, 7b, 7c) dadurch gebildet werden, daß unter Verwendung von magnetischen
Rohschichten als ungebrannte Hochfrequenz-Magnetschichten (2a, 2b, 2c, 6a, 6b, 6c) eine leitfähige Paste auf je
weils eine einzelne Hauptoberfläche der magnetischen Rohschichten aufge
druckt wird.
9. Verfahren zur Herstellung eines nicht-reziproken Hochfrequenz-Schal
tungselements nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die unge
brannten Magnetschichten (2a, 2b, 2c, 6a, 6b, 6c) Auftragen einer härtbaren
magnetischen Paste gebildet werden.
10. Verfahren zur Herstellung einer nicht-reziproken Hochfrequenz-Schal
tungselement mit folgenden Schritten:
- - es wird auf eine magnetische Rohschicht (2a, 2b, 2c), eine Paste in Form einer später zu bildenden Zentralelektrode aufgedruckt, wobei die Paste die Eigenschaft hat, daß sie verschwindet, wenn die ungebrannte magnetische Rohschicht (2a, 2b, 2c) bei höhe rer Temperatur gebrannt wird;
- - es wird ein Schichtkörper (2) durch Aufeinanderstapeln einer Mehrzahl von magnetischen Rohschichten (2a, 2b, 2c) gebildet, die in der oben beschriebenen Weise be druckt worden sind;
- - der Schichtkörper (2) wird gebrannt, um Hohlräume (2d, 2e, 2f) in Bereichen zu bilden, in denen die aufgedruckte Paste vorhanden war, um einen Hochfrequenz- Magnetkörper (2) zu erhalten, und
- - in die Hohlräume (2d, 2e, 2f) wird geschmolzenes Metall injiziert und anschließend verfestigt, um die Zentralelektroden (3a, 3b, 3c) zu bilden, die durch Hochfrequenz- Magnetschichten des Magnetkörpers (5) elektrisch gegeneinander isoliert sind.
11. Verfahren zur Herstellung eines nicht-reziproken Hochfrequenz-Schal
tungselements nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Paste, die
das beim Brennen der magnetischen Rohschicht verschwindende Material ent
hält, eine kohlenstoffhaltige Paste ist.
12. Verfahren zur Herstellung eines nicht-reziproken Hochfrequenz-Schal
tungselements mit folgenden Schritten:
- - zuerst werden zunächst gebrannte magnetische Platten (16a, 16b, 16c) herge stellt die Hochfrequenz-Magnetschichten bilden,
- - auf einer einzigen Hauptoberfläche der jeweiligen Platten wird eine Zentralelektrode (17a, 17b, 17c) gebildet, und
- - mehrere der magnetischen Platten (16a, 16b, 16c), die mit jeweils einer Zentralelektrode (17a, 17b, 17c) versehen sind, werden über ein Klebemittel mitein ander verbunden, so daß die Zentralelektroden (17a, 17b, 17c) durch die Hochfrequenz-Magnetschichten elektrisch gegeneinander isoliert sind.
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Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06164222A (ja) * | 1992-11-25 | 1994-06-10 | Murata Mfg Co Ltd | マイクロ波用磁性体及びその製造方法 |
JP3064798B2 (ja) * | 1993-03-31 | 2000-07-12 | ティーディーケイ株式会社 | サーキュレータ及びその製造方法 |
DE69424819T2 (de) * | 1993-03-31 | 2000-12-07 | Tdk Corp., Tokio/Tokyo | Mehrschichtiger Mikrowellenzirkulator |
JP3147615B2 (ja) * | 1993-10-12 | 2001-03-19 | 株式会社村田製作所 | 高周波用非可逆回路素子 |
JPH07273507A (ja) * | 1994-04-01 | 1995-10-20 | Tdk Corp | サーキュレータの製造方法 |
US5772820A (en) * | 1995-08-07 | 1998-06-30 | Northrop Grumman Corporation | Process for fabricating a microwave power device |
DE69621567T2 (de) * | 1995-11-27 | 2002-10-31 | Murata Mfg. Co., Ltd. | Nichtreziprokes Schaltungselement |
JPH09148805A (ja) * | 1995-11-28 | 1997-06-06 | Tokin Corp | デュアルバンド非可逆回路装置 |
JPH09214209A (ja) * | 1996-02-06 | 1997-08-15 | Murata Mfg Co Ltd | 高周波回路素子およびその製造方法 |
TW306106B (en) | 1996-04-03 | 1997-05-21 | Deltec New Zealand | Circulator and its components |
JP3097569B2 (ja) | 1996-09-17 | 2000-10-10 | 株式会社村田製作所 | 積層チップインダクタの製造方法 |
JP3077057B2 (ja) * | 1997-01-14 | 2000-08-14 | 株式会社村田製作所 | 非可逆回路素子 |
US6073340A (en) * | 1997-05-29 | 2000-06-13 | Denso Corporation | Method of producing lamination type ceramic heater |
JPH11220310A (ja) * | 1997-10-15 | 1999-08-10 | Hitachi Metals Ltd | 非可逆回路素子 |
GB2352564B (en) * | 1998-10-13 | 2001-06-06 | Murata Manufacturing Co | Nonreciprocal circuit device and communications device |
JP3353720B2 (ja) * | 1998-10-13 | 2002-12-03 | 株式会社村田製作所 | 非可逆回路素子および通信機装置 |
KR20000062780A (ko) * | 1999-03-09 | 2000-10-25 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 비가역 회로 소자 및 그 제조 방법과 그를 이용한 무선단말 장치 |
US6470545B1 (en) * | 1999-09-15 | 2002-10-29 | National Semiconductor Corporation | Method of making an embedded green multi-layer ceramic chip capacitor in a low-temperature co-fired ceramic (LTCC) substrate |
JP3772963B2 (ja) | 2000-08-18 | 2006-05-10 | 株式会社村田製作所 | 高周波用磁性体の製造方法 |
JP2002338340A (ja) | 2001-05-17 | 2002-11-27 | Murata Mfg Co Ltd | 高周波用磁性体磁器組成物、非可逆回路素子 |
JP3649162B2 (ja) * | 2001-07-06 | 2005-05-18 | 株式会社村田製作所 | 中心電極組立体、非可逆回路素子、通信装置及び中心電極組立体の製造方法 |
US6844789B2 (en) * | 2001-11-13 | 2005-01-18 | Raytheon Company | Low temperature co-fired ceramic (LTCC) circulator |
JP4286785B2 (ja) * | 2002-12-17 | 2009-07-01 | エヌエックスピー ビー ヴィ | 非可逆回路素子 |
US9786419B2 (en) * | 2013-10-09 | 2017-10-10 | Ford Global Technologies, Llc | Grain boundary diffusion process for rare-earth magnets |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2917124A1 (de) * | 1979-04-27 | 1980-11-06 | Licentia Gmbh | Breitbandiger mikrowellenzirkulator |
JPH01198802A (ja) * | 1987-10-07 | 1989-08-10 | Murata Mfg Co Ltd | 非可逆回路素子 |
US5017894A (en) * | 1989-02-01 | 1991-05-21 | Hitachi Ferrite, Ltd. | Lumped constant non-reciprocal circuit element |
JPH0425302U (de) * | 1990-06-25 | 1992-02-28 | ||
JP3230586B2 (ja) * | 1991-05-22 | 2001-11-19 | ティーディーケイ株式会社 | 非可逆回路素子用中心導体及び非可逆回路素子 |
JP2817487B2 (ja) * | 1991-12-09 | 1998-10-30 | 株式会社村田製作所 | チップ型方向性結合器 |
GB2266412B (en) * | 1992-04-17 | 1996-07-24 | Murata Manufacturing Co | Non-reciprocal circuit elements and method thereof |
DE69424819T2 (de) * | 1993-03-31 | 2000-12-07 | Tdk Corp., Tokio/Tokyo | Mehrschichtiger Mikrowellenzirkulator |
CN1041256C (zh) * | 1993-06-30 | 1998-12-16 | 株式会社村田制作所 | 非互易电路元件 |
-
1992
- 1992-08-05 JP JP20896392A patent/JP3239959B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1993
- 1993-08-02 US US08/101,895 patent/US5379004A/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-08-05 GB GB9316288A patent/GB2269942B/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-09-07 DE DE4330285A patent/DE4330285C2/de not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
---|---|
US5379004A (en) | 1995-01-03 |
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JPH0661708A (ja) | 1994-03-04 |
FR2709874A1 (fr) | 1995-03-17 |
JP3239959B2 (ja) | 2001-12-17 |
GB9316288D0 (en) | 1993-09-22 |
GB2269942B (en) | 1996-11-27 |
GB2269942A (en) | 1994-02-23 |
FR2709874B1 (fr) | 1996-10-18 |
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