DE4324119C2 - Verfahren zur Wandlung eines gemessenen Signals, Wandler sowie Messanordnung und Pirani-Messschaltung - Google Patents
Verfahren zur Wandlung eines gemessenen Signals, Wandler sowie Messanordnung und Pirani-MessschaltungInfo
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- DE4324119C2 DE4324119C2 DE4324119A DE4324119A DE4324119C2 DE 4324119 C2 DE4324119 C2 DE 4324119C2 DE 4324119 A DE4324119 A DE 4324119A DE 4324119 A DE4324119 A DE 4324119A DE 4324119 C2 DE4324119 C2 DE 4324119C2
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Umwandlung eines gemessenen Signals (x) in ein von einer interessierenden Größe (y) abhängiges Signal, wobei das gemessene Signal (x) zumindest in Näherung wie folgt mit der interessierenden Größe (y) zusammenhängt: DOLLAR F1 wobei k¶1¶, k¶Z¶ und k¶N¶ Konstanten sind. Erfindungsgemäß wird diese Gleichung angenähert durch die Gleichung DOLLAR A ln y = prop. ([ln(x-k¶N¶) -ln (k¶Z¶-n)]) DOLLAR A wobei prop. "proportional" bedeutet. Zur Bestimmung der Größe y werden mindestens zwei bipolare Transistoren eingesetzt und die Abhängigkeit ihrer Basisemitterspannungen von ihren Kollektorströmen ausgenutzt. Mittel zur Kompensation der Temperaturabhängigkeit der Transistoren können vorgesehen sein.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren nach
dem Oberbegriff von Anspruch 1 bzw. einen Wandler zur
Durchführung des Verfahrens und eine Messanordnung
mit dem Wandler.
Im ganzen Gebiet der Sensorik ist die Tendenz zu be
obachten, immer mehr Aufgaben, die früher in einem
Auswertegerät erfüllt wurden, in den Messkopf bzw.
den Messwertaufnehmer zu verlegen. So werden z. B. im
mer mehr aktive Messbrücken, Signalverstärker bzw.
Verarbeitungsschaltungen sowie Linearisierungsschal
tungen, Analog/Digitalwandler etc. in den Messkopf
verlegt. Dies ist seit einiger Zeit auch bei Sensoren
für die Totaldruckmessung festzustellen. Dadurch wer
den die Vorteile erwirkt, dass auf kleinem Raum,
thermisch gekoppelt, eine bessere und stabilere An
passung der Auswerteelektronik an den eigentlichen
Sensor erreichbar ist, eingekoppelte Signalfehler auf
der Uebertragungsstrecke zwischen Sensor und Auswer
tegerät wegfallen, Messkopf-Ausgangssignale, Speisun
gen etc. so normiert werden können, dass an normier
ten Schnittstellen eines Auswertegerätes verschiedene
Messköpfe frei austauschbar sind, sogar verschiedene
Messkopftypen teilweise untereinander austauschbar
sind.
Teilweise können derartige aktive Sensoren direkt an
den Analog/Digitalwandlereingang von Auswertungsrechnern
angeschlossen werden.
Obwohl die vorliegende Erfindung sich unter einem
Aspekt generell auf gemessene Signale bezieht, welche
in der nachfolgend durch (4b) dargestellten und er
läuterten Abhängigkeit von einer interessierenden,
vom Sensor erfassten physikalischen Grösse stehen,
bezieht sie sich insbesondere auf die Auswertung von
Messignalen, die bei Heissdraht-Vakuummeter abgegrif
fen werden, sog. Pirani-Vakuummeter.
Ueblicherweise weisen Vakuummeter Ausgangssignale
auf, welche in Messprinzip-spezifischer Art vom sen
sorseitig erfassten Druck abhängen. Dies bedeutet,
dass das Ausgangssignal der Messköpfe erst über eine
Kalibrierkurve bzw. Kalibriertabelle in Druckwerte
umgesetzt werden muss. Da die Wärmeleitfähigkeit von
Gasen, die grundsätzlich ausgewertet wird, sowohl bei
tiefen Drucken, unterhalb ca. 10-2 mbar, sowie bei ho
hen Drucken, über ca. 10 mbar, asymptotisch an kon
stante Werte läuft und mithin in diesen Bereichen die
Leitfähigkeits-Abhängigkeit vom Druck gering, die Ab
hängigkeitskurve flach wird, ist insbesondere dort
die Messempfindlichkeit schlecht. In diesen Bereichen
ist die Messung vermehrt anfällig auf Störungen, auf
grund des dort schlechten Signal/Noise-Verhältnisses.
Soll auch in diesen Bereichen gemessen werden, unter
Einsatz von Analog/Digitalwandlern, so müssen diese
dafür eine hohe Auflösung und Genauigkeit aufweisen,
was aufgrund des Quantisierungsfehlers eine hohe Stu
fenzahl der A/D-Wandler erfordert.
Die vorliegende Erfindung bezweckt unter ihrem einen
Aspekt, aus einem Messignal obgenannter Art, insbe
sondere aus dem von einer Heissdraht-Vakuummeteran
ordnung abgegriffenen Signal, auf einfache Art und
Weise eine einfach interpretierbare Ausgangssignal
charakteristik zu schaffen, einfach interpretierbar
in dem Sinne, als dass man einfach daraus auf die in
teressierende, vom Sensor aufgenommene Grösse soll
schliessen können.
Dabei soll weiter bezüglich der interessierenden
Grösse, wie bei einem Vakuummeter bezüglich des ge
messenen Druckes, ein grosser Messbereich, vorzugs
weise über sechs Dekaden und mehr, erreicht werden,
mit einer Genauigkeit in der Grössenordnung von 10%.
Aus der US-A-4 983 863 ist es bekannt, zwei zum na
türlichen Logarithmus (ln) zweier Eingangssignale
proportionale Signale durch Ausnützung der Basisemit
terspannung zweier Bipolartransistoren zu bilden und
diese zu subtrahieren, so dass ein Signal erhalten
wird, das dem ln des Eingangssignalquotienten ent
spricht. Damit wird ein Ausgangssignal geschaffen,
das direkt proportional zum ln des Eingangssignalquo
tienten ist.
Im weiteren wird auf die DE-A-37 42 334, die GB-A-2 105 047,
die der DE-A-32 30 405 (unten abgehandelt)
entspricht, sowie auf die US-A-2 030 956.
Dies wird bei Vorgehen nach dem Wortlaut von Anspruch
1 erreicht.
Gegenüber einem bekannten Ansatz zur Entzerrung der
Abhängigkeit zwischen gemessenen Grössen, insbesonde
re der Spannung an einem Pirani-Meter, und der inter
essierenden, dort dem Druck, mittels Diodennetzwer
ken, ist der durch das erfindungsgemässe Vorgehen be
wirkte Aufwand äusserst gering, die Welligkeit der
Kennlinie ist wesentlich geringer, und zudem sind
Drücke über einen wesentlich grösseren Bereich mit
erwünschter Genauigkeit erfassbar.
Im Gegensatz zu einem weiteren bekannten Vorgehen, in
einem eingeschränkten Druckbereich von ca. 10-4 bis
1 mbar mit Hilfe analoger Multiplikationstechniken ein
linear vom Druck abhängiges Ausgangssignal zu erreichen,
wie aus H. R. Hidber et al., Rev. Sci. Instrum.
47, S. 912 (1976), bekannt, ergibt sich dank der er
findungsgemäss realisierten logarithmischen Druckab
hängigkeit, bei vorgegebenem Signalhub von Auswer
tungsverstärkern, ein wesentlich grösserer Messbe
reich.
Auch der Einsatz analoger Logarithmierer, wie aus M.
Wutz et al., "Theorie und Praxis der Vakuumtechnik",
F. Vieweg & Sohn, Braunschweig, 1988, S. 413, be
kannt, ermöglicht nur die Auswertung in einem Druck
bereich von 5.10-3 mbar bis 10 mbar.
Gemäss der vorliegenden Erfindung soll, wie erwähnt,
ein über mehr als sechs Dekaden änderndes, interes
sierendes Signal erfassbar sein, d. h. an einem Heiss
draht-Vakuummeter ein Druckbereich von mindestens
10-3 bis 103 mbar.
Bevorzugte Ausführungsvarianten des erfindungsgemäs
sen Verfahrens sind in den Ansprüchen 2 bis 5, ein
erfindungsgemässer Wandler in Anspruch 6, bevorzugte
Ausführungsvarianten davon in den Ansprüchen 7 bis 12
spezifiziert.
Im weiteren wird, dem Wortlaut von Anspruch 13 fol
gend, vorgeschlagen, einen Sensor, welcher ein zu
messendes Signal abgibt, welches, wie in Anspruch 1
spezifiziert, mit einer interessierenden Grösse zu
sammenhängt, mit einem erfindungsgemässen Wandler zu
kombinieren, womit ein Satz aufeinander abgestimmter
Messwertaufnehmer/Auswerteelektronik-Einheit geschaf
fen wird.
Eine bevorzugte Ausführungsvariante einer solchen
Messanordnung, als Satz, zeichnet sich weiter nach
dem Wortlaut von Anspruch 14 bzw. 15 aus.
Unter einem zweiten Aspekt geht die vorliegende Er
findung von einer bekannten Pirani-Messbrückenschal
tung aus, wie sie in Wutz et al., "Theorie und Praxis
der Vakuumtechnik", F. Vieweg & Sohn, Braunschweig,
1988, S. 413, dargestellt ist. Dabei wird das Pirani-
Element in den einen Zweig einer Wheatstone-Brücke
geschaltet. Ueber der einen Brückendiagonale wird,
als Brückenbetriebsspannung, die Ausgangsspannung ei
nes Messoperationsverstärkers angelegt, im Sinne ei
ner Gegenkopplung. Der Eingang des als Differenzver
stärker ausgebildeten Operationsverstärkers liegt an
der zweiten Diagonale der Wheatstone-Brücke. Im einen
Zweig der Wheatstone-Brücke ist ein Temperaturkompen
sationswiderstand vorgesehen, der manuell abgeglichen
wird. Eine Temperaturkompensation wird deshalb vorge
sehen, weil sich Aenderungen der Umgebungstemperatur,
auf das Pirani-Element, gleich auswirken wie Druckän
derungen und mithin zu Messfehlern führen. Mit der
aus Wutz vorbekannten Temperaturkompensation kann
letztere exakt nur bei einem Temperaturwert vorgenom
men werden.
Aus der DE-PS-32 30 405 ist es nun weiter bekannt,
zur automatischen Temperaturkompensation an einer Pi
rani-Messschaltung im einen Brückenzweig, als Tempe
raturkompensationselement, einen temperaturempfindli
chen Widerstand vorzusehen, diesen mit einem weiteren
thermisch zu koppeln, welcher, einem Eingang eines
Additionsverstärkers vorgeschaltet, letzterem ein von
einer Referenzspannung abgeleitetes Signal tempera
turabhängig zuführt.
Unter dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung
bezweckt sie, ausgehend von der bekannten Anordnung
nach Wutz, deren Einfachheit beibehalten werden soll,
eine temperaturkompensierte Pirani-Messschaltung vor
zuschlagen, deren Kompensation gar genauer ist, be
trachtet über den Messbereich, als die aus der ge
nannten Patentschrift vorbekannte, wesentlich kompli
ziertere Kompensationsschaltung.
Zu diesem Zweck zeichnet sich die erfindungsgemässe
Messanordnung mit Pirani-Messschaltung nach dem Wort
laut von Anspruch 16 aus, bevorzugte Ausführungsvari
anten nach den Ansprüchen 17 und 18.
Die Erfindung wird anschliessend beispielsweise an
hand von Figuren erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 in doppelt logarithmischer Darstellung, den
Verlauf der einem Pirani-Vakuummeter zuge
führten elektrischen Leistung QEL bei kon
stant gehaltener Temperatur in Abhängigkeit
vom Druck p des Messgases;
Fig. 2 schematisch, in einer Darstellung gemäss ana
loger Programmiertechnik, den grundsätzlichen
Aufbau eines erfindungsgemässen Wandlers, zur
Erläuterung des erfindungsgemässen Verfah
rens;
Fig. 3 und 4 je bevorzugte Ausführungsformen eines erfin
dungsgemässen Wandlers;
Fig. 5 schematisch, einen erfindungsgemässen Mess
kopf mit Sensor und integriertem erfindungs
gemässem Wandler;
Fig. 6 komplette Messkopfschaltung mit erfindungsge
mässer Pirani-Messschaltung.
Das Prinzip von Wärmeleitungs-Vakuummetern bzw. Pira
ni-Vakuummetern ist beispielsweise nach M. Wutz et
al., "Theorie und Praxis der Vakuumtechnik", F. Vie
weg & Sohn, 4. Aufl. (1988), S. 409 ff., bekannt.
Da die Wärmeleitung eines Gases Funktion des Gasdruc
kes ist, wird dabei die elektrische Heizleistung an
einem Heizdraht einer Messzelle gemessen, welche in
das zu messende Gas eingetaucht wird, wobei die
Drahttemperatur konstant gehalten wird. Da die Lei
tungsbilanz dann ausgeglichen ist, entspricht die zu
geführte elektrische Leistung QEL der über Wärmelei
tung abgeführten Leistung. Es ergibt sich bekanntlich
die folgende Abhängigkeit zwischen zugeführter elek
trischer Leistung QEL und zu messendem Gasdruck p:
Es bedeuten darin weiter:
ε die Empfindlichkeit der Messzelle,
g ein die Geometrie der Zellenanordnung berücksichtigender Faktor,
po Störeffekte, welche einem Nulldruck po gleichzusetzen sind.
ε die Empfindlichkeit der Messzelle,
g ein die Geometrie der Zellenanordnung berücksichtigender Faktor,
po Störeffekte, welche einem Nulldruck po gleichzusetzen sind.
In Fig. 1 ist die Abhängigkeit der zugeführten elek
trischen Leistung QEL vom Gasdruck p dargestellt.
Wird (1) nach dem Gasdruck p aufgelöst, so ergibt
sich:
Wie durch asymptotische Betrachtung ohne weiteres er
sichtlich, bezeichnen die Ausdrücke:
εpo die bei sehr tiefen Drücken (p << 10-4 mbar) umgesetzte elektrische Lei stung,
ε(po + 1/g) die bei hohen Drücken (p << 1 bar) umge setzte elektrische Leistung.
εpo die bei sehr tiefen Drücken (p << 10-4 mbar) umgesetzte elektrische Lei stung,
ε(po + 1/g) die bei hohen Drücken (p << 1 bar) umge setzte elektrische Leistung.
Die zugeführte elektrische Leistung QEL ergibt sich
zu
wo UD die über dem Messdraht abfallende Spannung ist
und RD der elektrische Widerstand des Messdrahtes im
temperaturabgeglichenen Zustand;
oder zu
oder zu
wenn, beispielsweise nach Wutz, S. 413, U die Aus
gangsspannung der Brücke ist.
Es ergibt sich aus (2) mit (3) bzw. (3a):
bzw., unter Berücksichtigung der obigen Ausführungen
betreffs asymptotischen Verhaltens:
Es bedeuten:
U: Ausgangsspannung der Pirani-Anordnung,
U0: deren asymptotischer Wert bei tiefen Drücken p,
U∞: deren asymptotischer Wert bei hohen Drücken p.
U: Ausgangsspannung der Pirani-Anordnung,
U0: deren asymptotischer Wert bei tiefen Drücken p,
U∞: deren asymptotischer Wert bei hohen Drücken p.
Da Abhängigkeiten, wie sie spezifisch für die Abhän
gigkeit der Gaswärmeleitung und des Gasdruckes in
Fig. 1 dargestellt sind, grundsätzlich in der Technik
auch andernorts, beispielsweise an nicht linearen
Netzwerken, auftreten können und sich das nachfolgend
beschriebene Prinzip auch in solchen Fällen eignet,
um aus einer gemessenen Grösse x, entsprechend U an
der Vakuummeterzelle gemäss (4a), auf eine interes
sierende physikalische Grösse y, entsprechend dem
Druck p beim Vakuummeter, zu schliessen, wird nach
folgend zu einer verallgemeinerten Schreibweise über
gegangen, und es ergibt sich aus (4a) der Ausdruck:
Dieser Ausdruck kann mit genügender Näherung ersetzt
werden durch
Wird (5) logarithmiert, so ergibt sich
(6) lny ≈ lna + b[ln(x - kN) - ln(kz - x)] bzw.
(6a) lny = prop.[ln(x - kN) - ln(kZ - x)] + const.
bzw. mit der Spannung an einer Pirani-Vakuummesszelle
(6b) lnp ≈ lna' + b'[ln(U - U0) - ln(U∞ - U)] bzw.
(6c) lnp = prop.[ln(U - U0) - ln(U∞ - U)] + const.
Dabei sind die Konstanten a' und b' abhängig von der
Messanordnung. Der Druck p bzw. die interessierende
Grösse y erscheint in einer logarithmischen Abhängig
keit von der Messspannung U bzw. dem Messignal x, was
erlaubt, einen ausserordentlich weiten Bereich des
Druckes bei vorgegebenem Ausgangssignalhub zu erfas
sen, analog zur Darstellung von Fig. 1.
In Fig. 2 ist die analoge Programmierung des Ausdruc
kes gemäss (6) bzw. (6b) dargestellt. In Fig. 2 sind
sowohl die Pirani-Vakuummeter bezogenen Grössen wie
auch die verallgemeinerten verwendet.
An zwei Differenzbildnern 1 und 3 werden die beiden
Differenzen, die nachmals zu logarithmieren sind, ge
mäss den Ausdrücken (6, 6b) gebildet.
Die Differenzsignale bzw. davon abhängige Signale
werden je einer Funktionsgeneratoreinheit 5 bzw. 7
zugeführt. Die den erwähnten Differenzen entsprechen
den Eingangssignale an Eingängen E5 bzw. E7 werden,
gegebenenfalls entsprechend gewandelt, als Kollektor
ströme IC1 bzw. IC2, je einem Bipolartransistor T1
bzw. T2 zugeführt und als Ausgangsgrösse der Wandler
5 bzw. 7 an Ausgängen A5 bzw. A7, ein Signal ausge
wertet, welches proportional zur jeweiligen Basis-
Emitter-Spannung UBE1 bzw. UBE2 ist. Bekanntlich gilt
zwischen Kollektorstrom und Basis-Emitter-Spannung an
einem Bipolartransistor die Abhängigkeit:
(7) UBE = λ-1.(lnIC - lnIS),
wobei bedeutet
mit e: Elementarladung,
K: Boltzmann-Konstante,
T: absolute Temperatur,
und weiter bedeutet
IS den Kollektorsperrstrom.
K: Boltzmann-Konstante,
T: absolute Temperatur,
und weiter bedeutet
IS den Kollektorsperrstrom.
Die beiden Basis-Emitter-Spannungs-abhängigen Signale
werden entsprechend den Ausdrücken (6, 6a) an einer
Ueberlagerungseinheit 9 überlagert und schliesslich,
wiederum entsprechend den erwähnten Ausdrücken, an
einer Gewichtungseinheit 10 linear verstärkt. Mit dem
an der Ueberlagerungseinheit 9 zusätzlich zugeführten
Additivsignal wird einerseits, gemäss den Ausdrücken
(5) und (6) die als optimal befundene Näherung beim
Uebergang von (4) auf (5) berücksichtigt, anderseits
eine Sperrstromdifferenz. Mit dem an der Einheit 10
berücksichtigten multiplikativen Faktor wird einer
seits der für die optimale Näherung geeignet gefunde
ne Exponent b von (5) und anderseits λ berücksich
tigt.
Die beiden zur Wandlung vorgesehenen Transistoren T1
und T2 werden bevorzugterweise als aufeinander abge
stimmtes Paar gewählt und thermisch eng gekoppelt, so
dass sowohl Sperrströme wie auch Temperatur und damit
λ im wesentlichen gleich sind.
Eine erste bevorzugte Realisation der Funktionswand
lereinheit gemäss Fig. 2 ist in Fig. 3 dargestellt.
Dem nicht invertierenden Eingang eines ersten Opera
tionsverstärkers OP1 wird die Pirani-Messbrückenspan
nung U bzw. das Messignal x zugeführt, dem invertie
renden Eingang, über den Widerstand R0, die sich
asymptotisch für grosse Druckwerte gemäss Fig. 1 ein
stellende Pirani-Spannung U∞ bzw. kZ. Der Operations
verstärker OP1 ist über einen ersten Bipolartransi
stor T1 gegengekoppelt, dessen Kollektor mit dem invertierenden
Operationsverstärkereingang, dessen
Emitter mit dem Ausgang des Operationsverstärkers
verbunden ist. Seine Basis ist auf Masse bzw. Bezugs
potential gelegt.
Einem zweiten Operationsverstärker OP2 wird, am in
vertierenden Eingang, die Spannung U0 zugeführt, ent
sprechend der asymptotisch vom Pirani-Meter bei sehr
kleinen Drucken abgegebenen Spannung, während über
einen weiteren Widerstand R0 die Pirani-Messspannung
U bzw. die Messgrösse x dem nicht invertierenden Ein
gang von OP2 zugeführt wird.
Zwischen nicht invertierendem Eingang und Ausgang des
Operationsverstärkers OP2 liegt die Basis-Kollektor-
Strecke des Transistors T2, dessen Emitter mit dem
Emitter des Transistors T1 verbunden ist. Der Ausgang
der Wandlerschaltung ist mit UOUT bezeichnet.
Die gezeigte Schaltung arbeitet wie folgt:
Die rechte Stufe mit OP1, T1 gibt, mit λ1 sowie IS1 für Transistor 1, in bekannter Art und Weise, wie beispielsweise aus Miklos Herpy, "Analoge integrierte Schaltungen", Franzis Verlag, München, S. 307, be kannt, eine Ausgangsspannung, mit Bezug auf Bezugspo tential ab, welche sich ergibt zu
Die rechte Stufe mit OP1, T1 gibt, mit λ1 sowie IS1 für Transistor 1, in bekannter Art und Weise, wie beispielsweise aus Miklos Herpy, "Analoge integrierte Schaltungen", Franzis Verlag, München, S. 307, be kannt, eine Ausgangsspannung, mit Bezug auf Bezugspo tential ab, welche sich ergibt zu
(8) U01 = λ1 -1(ln(U∞ - U) - (lnR0 + lnIS1)),
und die gleich der Basis-Emitter-Spannung UBE1 ist.
Unter Berücksichtigung, dass für die Differenzspannung
Δ an OP2 gilt:
(9) Δ = U - IC2R0 - U0,
weiter für die Ausgangsspannung der Schaltung, die
gleich der Ausgangsspannung des zweiten Operations
verstärkers OP2 ist, gilt:
(10) UOUT = G.Δ,
wobei G die open-loop-Verstärkung des Operationsver
stärkers OP2 bezeichnet, und dass weiter die beiden
Operationsverstärker/Transistorstufen über die Glei
chung
(11) UBE2 = UOUT + U01
verbunden sind, so ergibt sich aufgrund der hohen
open-loop-Verstärkung G eine Ausgangsspannung
(12) UOUT = λ-1{ln(U - U0) - ln(U∞ - U)},
sofern gilt:
(13) λ1 = λ2 = λ
IS1 = IS2.
Dabei können unterschiedliche Sperrströme IS der bei
den Transistoren T1 und T2, wie gestrichelt in Fig. 3
an R0 der linken Stufe eingetragen, durch Abgleich
der beiden Widerstände R0 kompensiert werden.
Vergleich des Ausdruckes (12) für die Ausgangsspan
nung der Wandlereinheit nach Fig. 3 mit Ausdruck (6a)
bzw. (6c) zeigt, dass bis auf einen linearen Verstär
kungsfaktor und eine additive Konstante die Ausgangs
spannung UOUT der besagten Wandlerschaltung logarith
misch von dem mit der Pirani-Messanordnung gemessenen
Gasdruck p abhängig ist, der Logarithmus der Aus
gangsspannung ist dem zu messenden Druck proportio
nal.
In Fig. 4 ist eine weitere, heute bevorzugte Wandler
schaltung dargestellt. Wiederum ist in dieser Schal
tung sowohl als Messignal die Ausgangsspannung U der
Pirani-Brücke dargestellt wie auch, verallgemeinert,
das Messignal x. Bei dieser Wandlerkonfiguration wird
das Messignal bzw. die Messspannung U über einen Wi
derstand R0 dem nicht invertierenden Eingang eines
Operationsverstärkers OP zugeführt, dessen invertie
rendem Eingang der asymptotisch bei kleinen Drücken
eingenommene Spannungswert U0 zugeführt wird. Der
Ausgang des Operationsverstärkers OP ist über die Ba
sis-Kollektor-Strecke eines Bipolartransistors T3 auf
den nicht invertierenden Eingang dieses Verstärkers
rückgeführt, der Emitter des Transistors T3 ist mit
demjenigen eines weiteren Transistors T4 verbunden.
Basis und Kollektor des Transistors T4 sind auf Be
zugspotential, wie dargestellt auf Masse, gelegt. Ei
ne abstimmbare Gleichstromquelle Q ist zwischen den
verbundenen Emittern der Transistoren T3 und T4 und
Bezugspotential geschaltet. Der Quellenstrom I0 ist
auf den Wert
abgeglichen. Für die Differenzspannung Δ am Opera
tionsverstärkereingang gilt weiterhin Ausdruck (9),
ebenso gilt für die Ausgangsspannung UOUT und die
beiden Basis-Emitter-Spannungen der Transistoren T3
und T4 weiterhin (11).
Es ergibt sich unter Berücksichtigung von (14) wie
derum die Ausgangsspannung gemäss (12), mit (13).
Mit der heute bevorzugten Anordnung gemäss Fig. 4,
eingesetzt zur Auswertung der Pirani-Vakuummeter-Aus
gangsspannung U, wurden in einem Druckbereich von
10-3 mbar bis 103 mbar, d. h. über sechs Dekaden, eine
Genauigkeit des Wandlerausgangssignals, bezogen auf
den Druckwert, im Vergleich mit dem jeweils einge
stellten Gasdruck p von ca. ±10% erreicht. In Anbe
tracht des extrem grossen Messbereiches ist diese Ge
nauigkeit, mit den einfachen vorgeschlagenen Mitteln
erreicht, verblüffend.
Das vorgeschlagene Vorgehen und insbesondere die be
vorzugterweise eingesetzten Wandlerschaltungen gemäss
den Fig. 3 und 4 bzw. auch andere sich dem Fachmann
nun eröffnende Möglichkeiten, das Vorgehen nach Fig.
2 zu realisieren, ergibt, aufgrund des geringen elek
tronischen Schaltungsaufwandes, die Möglichkeit, den
Funktionswandler direkt in einen Messkopf bzw. Mess
wertaufnehmer zur Erfassung der Messgrösse x einzu
bauen bzw., im hier spezifisch angesprochenen Fall,
direkt einen Sensor mit mindestens einer Pirani-Vaku
ummeterzelle bzw. einer Pirani-Vakuummeter-Messzellenbrücke,
mit einem Wandler zu einem Vakuummeter-
Messkopf zu integrieren.
Ein solcher Messkopf ist in Fig. 5 schematisch darge
stellt.
Ein Messkopfgehäuse 20 mit einem Messrohr 21 mündet
an einem Vakuumflansch 22 aus. Im Messrohr 21 ist das
Pirani-Element 24 angeordnet, gebildet durch ein Aus
senrohr 26 und den Pirani-Messdraht 27. Ausserhalb
des thermisch leitenden, thermisch weitgehend iso
liert, im Gehäuse 20 montierten Rohres 26 ist ein
Temperaturkompensationselement 28 angeordnet, elek
trisch Teil der Wheatstone-Brückenelemente, welche,
abgesehen vom Pirani-Heizdraht, auf einer Elektronik
platine 30 montiert sind.
Schematisch dargestellt bei 32 ist der Kühlkörper für
die verwendeten, anhand von Fig. 3 bzw. 4 beschriebe
nen Transistoren. Der Messkopf wird über einen Stec
keranschluss 34 mit einem Anschluss 36 zum Anzeigege
rät oder Messrechner verbunden. Auf der Elektronik
platine 30 ist nebst der erwähnten Messbrücke der er
findungsgemässe Wandler in bevorzugter Ausführungs
form gemäss den Fig. 3 oder 4, bei der heutigen Aus
führungsform gemäss Fig. 4, aufgebaut.
In Fig. 6 ist die Schaltung einerseits der erfin
dungsgemässen Pirani-Messschaltung gestrichelt umran
det und mit I bezeichnet dargestellt, weiter, ebenso
umrandet und mit II bezeichnet, die Schaltung des
Wandlers gemäss Fig. 4. Bezüglich des Wandlerblockes
II sind dieselben Bezugszeichen verwendet, wie sie in
Fig. 4 verwendet wurden.
Die Wheatstone-Messbrücke umfasst das Pirani-Element
38 im einen Brückenzweig, die Widerstände R1, R3, R2,
ein temperaturabhängiges weiteres Element, wie darge
stellt in Form des PTC-Widerstandselementes. Letzte
res ist mit dem Pirani-Element 38 thermisch eng ge
koppelt und entspricht dem Element 28 von Fig. 5.
Die Messspannung wird durch einen als Differenzver
stärker betriebenen Operationsverstärker OPpi an der
einen Messbrückendiagonale abgegriffen, das Ausgangs
signal des Operationsverstärkers OPpi ist als Brüc
kenbetriebsspannung an die zweite Brückendiagonale
gelegt. Mit C sind Stabilisierungskapazitäten be
zeichnet.
Der Messbrückenzweig mit dem PTC-Element weist einen
Zwischenabgriff auf. Zwischen letzterem und demjeni
gen Brückenpunkt, an welchem das Pirani-Element und
der Widerstand R1 angeschlossen sind, ist eine Span
nungsquelle mit Referenzspannung Uref1 angeschlossen,
mit den Anschlusspunkten je über Widerstände R ver
bunden. Bei Zimmertemperatur sind die Widerstände des
Pirani-Messdrahtes einerseits und von R1 im wesentli
chen gleich, ebenso die Widerstandswerte von R3 und
die Summe von PTC und R2.
Wie ersichtlich, wird damit eine höchst einfache
Brückenschaltung realisiert, mit einem einzigen tem
peraturabhängigen Kompensationsschaltelement und der
Abgleichmöglichkeit an Uref1. Selbstverständlich kann
anstelle eines PTC-Elementes, im Brückenzweig mit R3,
ein NTC-Element vorgesehen werden.
Die Wandlerstufe II entspricht der bereits anhand von
Fig. 4 erläuterten, abgesehen vom wesentlichen zu
sätzlichen Merkmal, dass zwischen den beiden Basen
von T3 und T4 ein weiterer PTC geschaltet und auf ei
ne weitere Referenzspannung Uref2 gelegt ist, welches
PTC-Element thermisch eng mit den Transistoren T3, T4
gekoppelt ist. Unterschiede der Transistoren T3, T4
bezüglich Sperrströme und λ werden damit kompensiert.
Claims (18)
1. Verfahren zur Wandlung eines gemessenen Signals
(x, U), welches mindestens in erster Näherung wie
folgt mit einer interessierenden Grösse (y, p) zusam
menhängt:
wobei bezeichnen:
y: interessierende Grösse,
x: gemessenes Signal,
k: Konstante,
in ein von der interessierenden Grösse (y) abhängiges Signal, dadurch gekennzeichnet, dass genähert gesetzt wird:
(b) lny = prop.([ln(x - kN) - ln(kZ - x)]),
wobei prop. "proportional" bedeutet,
und diese Funktion, durch Einsatz mindestens zweier Bipolartransistoren und Ausnützung der Abhängigkeit ihrer Basisemitterspannungen von ihren Kollektorströ men zum Erhalt eines Ausgangssignals nach
(c) y' = lny,
worin y' das Ausgangssignal ist,
genähert realisiert wird.
wobei bezeichnen:
y: interessierende Grösse,
x: gemessenes Signal,
k: Konstante,
in ein von der interessierenden Grösse (y) abhängiges Signal, dadurch gekennzeichnet, dass genähert gesetzt wird:
(b) lny = prop.([ln(x - kN) - ln(kZ - x)]),
wobei prop. "proportional" bedeutet,
und diese Funktion, durch Einsatz mindestens zweier Bipolartransistoren und Ausnützung der Abhängigkeit ihrer Basisemitterspannungen von ihren Kollektorströ men zum Erhalt eines Ausgangssignals nach
(c) y' = lny,
worin y' das Ausgangssignal ist,
genähert realisiert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die beiden Transistoren thermisch eng gekoppelt
werden.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, da
durch gekennzeichnet, dass unterschiedliche Sperr
ströme der Transistoren abgeglichen werden.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da
durch gekennzeichnet, dass durch die Wahl einer mul
tiplikativen Konstanten und einer weiteren, additiven
Konstanten, unter Berücksichtigung der Abhängigkeit
zwischen der interessierenden Grösse y und der gemes
senen x an einem Messwertaufnehmer, die Näherung von
(b) an (a) optimiert wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da
durch gekennzeichnet, dass das Messignal die Aus
gangsspannung einer Pirani-Vakuummeteranordnung ist
und:
kN die asymptotisch, bei Druckverkleinerung eines Messgases, von der Anordnung abgegebene Span nung ist und
kZ die asymptotisch für hohe Druckwerte abgegebene Spannung.
kN die asymptotisch, bei Druckverkleinerung eines Messgases, von der Anordnung abgegebene Span nung ist und
kZ die asymptotisch für hohe Druckwerte abgegebene Spannung.
6. Wandler zur Durchführung des Verfahrens nach einem
der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass
mindestens zwei Wandler-Bipolartransistoren vor
gesehen sind, dass ihren Kollektoren je ein Strom
proportional zu
(x - kN) sowie
(kZ - x)
zugeführt wird und die resultierenden Basisemitter spannungen der Transistoren zur Bildung eines Aus gangssignals
lny = prop.{ln(x - kN) - ln(kZ - x)}
voneinander subtrahiert werden.
(x - kN) sowie
(kZ - x)
zugeführt wird und die resultierenden Basisemitter spannungen der Transistoren zur Bildung eines Aus gangssignals
lny = prop.{ln(x - kN) - ln(kZ - x)}
voneinander subtrahiert werden.
7. Wandler nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
dass er in Analogtechnik aufgebaut ist.
8. Wandler nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch
gekennzeichnet, dass der eine Transistor (T1) mit
seiner Emitter-Kollektor-Strecke in den Rückkoppe
lungspfad eines Operationsverstärkers (OP1) geschal
tet ist.
9. Wandler nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet,
dass der zweite Transistor (T2) mit seiner Kollektor-
Basis-Strecke zwischen Ausgang und nicht invertieren
dem Eingang eines weiteren Operationsverstärkers
(OP2) geschaltet ist und dass die beiden Emitter der
Transistoren (T1, T2) verbunden sind und der Wandler
ausgang (UOUT) mit dem Ausgang des zweiten Opera
tionsverstärkers (OP2) verbunden ist.
10. Wandler nach einem der Ansprüche 6 oder 2, da
durch gekennzeichnet, dass der eine Transistor (T3)
mit seiner Kollektor-Basis-Strecke an einem Opera
tionsverstärker (OP) einen Rückführungspfad vom
Ausgang an den nicht invertierenden Eingang bildet.
11. Wandler nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
dass der zweite Transistor (T4) mit Kollektor und Ba
sis auf Bezugspotential gelegt sind, die Emitter der
beiden Transistoren (T3, T4) verbunden sind und der
Verbindungspunkt mit einer vorzugsweise abgleichbaren
Stromquelle (Q) auf Bezugspotential gelegt ist.
12. Wandler nach einem der Ansprüche 6 bis 11, da
durch gekennzeichnet, dass zur Kompensation der Tem
peraturabhängigkeit der Transistoren (T3, T4) ein
weiteres temperaturabhängiges Schaltelement vorgese
hen ist, das mit mindestens einem der Transistoren
thermisch gekoppelt ist, vorzugsweise ein PTC- oder
NTC-Widerstandselement.
13. Messanordnung mit einem Wandler nach einem der
Ansprüche 6 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass er
mit einem Sensor für eine aufzunehmende interessie
rende Grösse, der ein Messignal (x) abgibt, verbunden
ist.
14. Anordnung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeich
net, dass der Wandler und der Sensor in einem Mess
wertaufnehmer integriert sind.
15. Anordnung nach einem der Ansprüche 13 oder 14,
dadurch gekennzeichnet, dass der Sensor mindestens
ein Pirani-Vakuummeter umfasst.
16. Anordnung nach einem der Ansprüche 13 bis 15,
dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Pirani-Mess
schaltung mit einer Brückenschaltung mit dem Pirani-
Element (38) umfasst, und dass ein Brückenzweig (PTC,
R2) einen Zwischenabgriff aufweist und dass über Wi
derstandselemente (R) eine Spannung (Uref1) zwischen
einem mit dem Pirani-Element verbundenen Brückenpunkt
und dem Zwischenabgriff geschaltet ist und weiter in
der Brücke ein Temperaturkompensationselement (PTC)
vorgesehen ist.
17. Anordnung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeich
net, dass die Temperaturkompensation mittels nur ei
nes temperaturabhängigen Elementes, vorzugsweise ei
nes PTC- oder NTC-Widerstandselementes, in der Brücke
erfolgt, welches mit dem Pirani-Element (38) ther
misch gekoppelt ist.
18. Anordnung nach einem der Ansprüche 16 oder 17,
dadurch gekennzeichnet, dass über der einen Diagonale
der Messbrücke ein Differenzverstärker geschaltet
ist, dessen Ausgangsspannung an der zweiten Diagonale
der Messbrücke liegt.
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Effective date: 20120201 |