DE4314296A1 - Sensoreinheit mit Haltebügel - Google Patents
Sensoreinheit mit HaltebügelInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Sensoreinheit mit einem ein Gehäu
seteil aufweisenden Sensor und mit einer die Sensorsignale
verarbeitenden Elektronikplatine.
Dahingehende Sensoreinheiten dienen unter anderem als Druck-
und Temperaturmeßumformer. Bei den bisher bekannten Sensorein
heiten wurden die Anschlüsse des eigentlichen Sensors an die
Elektronikplatine angeschlossen, diese Einheit mit einem
Gehäusemantel umgeben und anschließend mit einer geeigneten
Vergußmasse versehen. Diese Vergußmasse bewirkt zwar eine
Dämpfung der angesprochenen Einheit gegen Schock und Vibra
tion, die Handhabbarkeit dieser bekannten Lösung im Ferti
gungsprozeß ist jedoch bei weitem nicht optimal. Im übrigen
muß durch eine aufwendige separate Verbindung zwischen
Elektronik und Gehäuse ein Massebezug der Entstörbauelemente
erreicht werden, wenn gute EMV-Eigenschaften erreicht werden
sollen.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die
Aufgabe zugrunde, die bekannten Sensoreinheiten dahingehend zu
verbessern, daß sie zum einen in der Fertigung leichter hand
habbar sind und zum anderen die elektromagnetische Verträg
lichkeit sicher und optimal durch gute Masseverbindung er
reicht wird. Eine dahingehende Aufgabe löst eine Sensoreinheit
mit den Merkmalen des Anspruches 1.
Dadurch, daß gemäß dem kennzeichnenden Teil des Anspruches 1
die Elektronikplatine mit dem Gehäuseteil des Sensors über ein
Halteteil verbunden ist, ist eine sichere mechanische Verbin
dung der Elektronikplatine mit dem Sensorteil geschaffen. Dank
dieser Verbindung ist das Handling im Fertigungsablauf verein
facht, denn die beiden Teile nehmen eine genau definierte Lage
zueinander ein, was der Vollautomatisierung der Fertigung
zugute kommt. Durch die feste mechanische Verbindung ist die
empfindliche Elektronikplatine durch die derart gegebene
resistente Kopplung gegen extreme Vibrationen und Schockbela
stungen geschützt.
Dadurch, daß ferner gemäß dem kennzeichnenden Teil des Anspru
ches 1 das Halteteil elektrisch leitend ist, läßt sich das
Gehäusepotential des Sensors elektrisch mit den Entstörbauele
menten der Platine und mit dem Schirmanschluß der Steckverbin
dung der Sensoreinheit sicher verbinden. Aufgrund dieser
hergestellten elektrischen Verbindung zwischen Sensorgehäuse
und Elektronik sind auch extreme Anforderungen an die EMV-Si
cherheit von elektronischen Geräten, insbesondere in Form der
Sensoren, erfüllt.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen
Sensoreinheit ist das Halteteil aus einem Haltebügel gebildet,
der zwei diametral einander gegenüberliegende Haltearme auf
weist, die für einen Eingriff der Elektronikplatine jeweils
mit einer Schlitzführung versehen sind. Das dahingehende
Halteteil ist kostengünstig herstellbar und bildet eine für
das Montagehandling sehr steife Verbindung von Sensor zur
Elektronikplatine aus. Die Haltearme des Haltebügels verfügen
über Federeigenschaften, die eine gute Dämpfung gegen Schock
und Vibration bewirken.
Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der erfindungs
gemäßen Sensoreinheit ist mindestens einer der beiden Haltear
me mit einer Kontaktfahne versehen, die mittels einer Nietver
bindung, vorzugsweise in Form eines Kunststoffnietes, mit der
Elektronikplatine verbunden ist. Die Wärmeabführung der Ver
lustleistung eines Abgangstransistors auf der Elektronikpla
tine läßt sich aber die Koppelfläche in Form der Kontaktfahne
des Haltebügels, vorzugsweise durch die am Transistor fixierte
Nietverbindung, in optimaler Weise erreichen. Diese Wärmeabfuhr
erlaubt die Ausgangsstufe der Sensorelektronik, in der Ver
lustleistungen von 0,5 bis 1 W entstehen, entsprechend zu
kühlen. Bei den heutigen elektronischen Bauelementen ist es
zwar möglich, derartige Verlustleistungen unter Einbeziehung
der Platinenfläche ohne Zusatzkühlung zu betreiben. Dies hat
aber eine deutliche Aufheizung der Platine zur Folge und diese
Erwärmung führt zu einer Beeinflussung der elektronischen
Verstärkerschaltung. Es entstehen dadurch Temperaturdriften im
Hinblick auf den Nullpunkt und die Meßspanne in relevantem
Umfang, jeweils in Abhängigkeit der Endstufenverlustleistung.
Die erfindungsgemäß vorgesehene Wärmeabfuhr über den Haltebü
gel stellt eine geeignete Kühlung dar und vermeidet diesen
Effekt.
Eine vorteilhafte Maßnahme zur Qualitätsverbesserung von
Sensoren im Punkt Temperaturdrift von Nullpunkt und Spanne
stellt die sog. aktive Kompensation dar. Hierzu wird mit einem
temperaturempfindlichen Bauelement auf der Elektronikplatine
oder dem Sensor direkt eine Erfassung der Temperatur durchge
führt. In Abhängigkeit von diesem Signal werden dann schal
tungstechnische Korrekturen der Ausgangsgrößen der Sensorelek
tronik zur Minimierung des Temperatureffektes durchgeführt.
Auch hierbei ist bei der Plazierung des Temperatursensorele
mentes auf der Elektronikplatine eine möglichst gute thermi
sche Kopplung dieses Sensorenelementes zum eigentlichen Sensor
anzustreben, da im wesentlichen eine Kompensation des Sensor
elementes herbeigeführt werden soll und erst in zweiter Linie
eine Kompensation der Signalelektronik angestrebt wird. Diese
Wärmekopplung Sensor-Temperaturkompensationszweig wird durch
den erfindungsgemäßen Haltebügel ebenfalls in optimaler Weise
erfüllt.
Bei einer besonders bevorzugten Ausführungsform der erfin
dungsgemäßen Sensoreinheit stehen die beiden Haltearme über
eine ringförmige Verbindungsplatte miteinander in Verbindung,
die vorzugsweise über eine Buckelschweißung mit dem Gehäuse
teil des Sensors verbindbar ist. Diese Art der Schweißung ist
automatisierbar, mithin wirtschaftlich und ergibt gute HF-Ei
genschaften.
Weitere Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Im folgenden ist die erfindungsgemäße Sensoreinheit anhand der
Zeichnung näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 und 2 die über das Halteteil mit dem Sensorgehäuse
verbundene Elektronikplatine in Front- bzw.
in Seitenansicht;
Fig. 3 bis 3c eine Front-, Seiten- und Draufsicht sowie
ein Detail gemäß dem Schnitt längs der
Linie III-III in Fig. 3b des Halteteiles;
Fig. 4 eine zu einem Druckmeßumformer zusammenge
setzte Sensoreinheit.
Wie insbesondere die Fig. 1 und 2 zeigen, weist die Sensorein
heit einen Sensor 40 auf, der von einem Gehäuseteil 12 umgeben
ist. Das Gehäuseteil 12 verfügt über einen Meßzapfen 14 mit
einem Außengewinde 16 und läßt sich mithin per Hand oder mit
einem Schraubenschlüssel, der an den Sechskantflächen 18
angreift, in eine Meßstelle (nicht dargestellt) einschrauben.
Der Sensor 10 weist ferner ein Sensorelement 20 mit vier
Anschlußleitungen 22 auf, die über Litzen 24 angelötet mit
einer Elektronikplatine 26 elektrisch leitend verbunden sind.
Zwischen dem Gehäuseteil 12 des Sensors 10 und der Elektronik
platine 26 ist ein Halteteil in Form eines Haltebügels 28 aus
elektrisch leitfähigem Material, insbesondere aus dünnem
Messingblech, angeordnet. Wie insbesondere die Fig. 3 bis 3b
zeigen, weist der Haltebügel 28 zwei diametral einander gegen
überliegende Haltearme 30 auf, die für einen Eingriff der
Elektronikplatine 26 jeweils mit einer Schlitzführung 32 an
ihrem freien Ende versehen sind. Wie insbesondere die Fig. 1
und 2 zeigen, greift die Platine 26 in die jeweilige Schlitz
führung 32 randseitig ein und wird dort über eine Weichlötung
mit dem Halteteil fest verbunden.
Der in der Fig. 3 gezeigte rechte Haltearm 30 ist mit einer
plattenförmigen Kontaktfahne 34 versehen, die mittels einer
Nietverbindung in Form eines Kunststoffnietes 36 (s. Fig. 1
und 2) mit der Elektronikplatine 26 verbunden ist.
Die beiden Haltearme 30 stehen über eine ringförmige Verbin
dungsplatte 38 miteinander in Verbindung, wobei die Verbin
dungsplatte 38 eine kreisförmige Mittenausnehmung 40 für den
Durchgriff des Sensoranschlusses 20 aufweist. Auf der Unter
seite weist die Verbindungsplatte 38 vier einander diametral
gegenüberliegende, nach unten hin vorstehende noppenartige
Buckel 42 auf, die, wie dies insbesondere die Fig. 3c zeigt,
durch einen Präge- oder Drückvorgang aus der Verbindungsplatte
38 geformt sind. Über einen Schweißvorgang an der Stelle
dieser Buckel 42 erfolgt die Verbindung des Haltebügels 28 mit
der Oberseite das Sensor-Gehäuseteiles 12. Der Einfachheit
halber sind diese Buckel in den Fig. 1, 2 und 4 nicht gezeigt.
Wie die Fig. 4 zeigt, ist das Gehäuseteil 12 des Sensors 10 mit
einem zylindrischen Gehäusemantel 44 verbunden, der die Elek
tronikplatine 26 umgibt, wobei der zwischen Gehäusemantel 44
und Elektronikplatine 26 verbleibende Hohlraum 46 mit einer
Vergußmasse 48 ausgegossen ist, die am freien Ende der Elek
tronikplatine 26 bündig mit dieser abschließt. Die Sensorein
heit bildet einen als Ganzes mit 50 bezeichneten Druckmeßum
former in Dünnfilm-Technologie aus, der zur Erfassung von
Drücken auf den Gebieten der Hydraulik und Pneumatik einsetz
bar ist. Über einen Anschluß 52 lassen sich die mittels der
Elektronikplatine 26 verarbeitenden Signale über Leitungen 54,
die mit der Platine 26 verbunden sind (Fig. 1 und 2), zur einer
zentralen Meßwerterfassungsstelle (nicht dargestellt) weiter
leiten.
Durch die erfindungsgemäße Konstruktion des Haltebügels 28 mit
zwei Haltearmen 30 läßt sich die Wärmeabführung auf einem
Schenkel des Haltebügels durchführen, wobei über den zweiten
Schenkel 30 eine optimale Wärmekopplung der Sensortemperatur
zum Temperaturfühler der Kompensationsschaltung erzielbar ist.
Claims (9)
1. Sensoreinheit mit einem ein Gehäuseteil (12) aufweisenden
Sensor (10) und mit einer die Sensorsignale verarbeitenden
Elektronikplatine (26), dadurch gekennzeichnet, daß die
Elektronikplatine (26) mit dem Gehäuseteil (12) des Sen
sors (10) über ein Halteteil elektrisch leitend verbunden
ist.
2. Sensoreinheit nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
das Halteteil aus einem Haltebügel (28) gebildet ist, der
zwei diametral einander gegenüberliegende Haltearme (30)
aufweist, die für einen Eingriff der Elektronikplatine
(26) jeweils mit einer Schlitzführung (32) versehen sind.
3. Sensoreinheit nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Haltearme (30) mit der Elektronikplatine (26) mittels
einer Weichlötung verbunden sind.
4. Sensoreinheit nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeich
net, daß mindestens einer der beiden Haltearme (30) mit
einer Kontaktfahne (34) versehen ist, die mittels einer
Nietverbindung, vorzugsweise in Form eines Kunststoffnie
tes (36), mit der Elektronikplatine (26) verbunden ist.
5. Sensoreinheit nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die beiden Haltearme (30) über eine
ringförmige Verbindungsplatte (38) miteinander in Verbin
dung stehen, die vorzugsweise über eine Buckelschweißung
mit dem Gehäuseteil (12) des Sensors (10) verbindbar ist.
6. Sensoreinheit nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
die Verbindungsplatte (38) eine Mittenausnehmung (40) für
den Durchgriff des Sensoranschlusses (20) aufweist.
7. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Halteteil als Stanz- oder Formteil aus
dünnem Blech, vorzugsweise Messingblech, hergestellt ist,
das über eine gute Wärmeleitfähigkeit verfügt.
8. Sensoreinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß das Gehäuseteil (12) des Sensors (10)
mit einem Gehäusemantel (44), der die Elektronikplatine
(26) umgibt, verbunden ist, und daß der zwischen Gehäuse
mantel (44) und Elektronikplatine (26) verbleibende Hohl
raum (46) zumindest teilweise mit einer Vergußmasse (48)
ausgegossen ist.
9. Sensoreinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch
gekennzeichnet, daß diese als Druckmeßumformer (50) in
Dünnfilm-Technologie auf dem Gebiet der Hydraulik und
Pneumatik einsetzbar ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4314296A1 (de) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19646583A1 (de) * | 1995-11-30 | 1997-06-05 | Hiss Eckart | Strömungsüberwachungsgerät |
DE10048290C2 (de) * | 2000-09-29 | 2003-06-12 | Balluff Gmbh | Induktiver Sensor |
DE20216822U1 (de) * | 2002-10-31 | 2003-08-14 | Keller Ag Fuer Druckmestechnik | Druck-Transducer |
DE102004036843B3 (de) * | 2004-07-29 | 2006-02-16 | Reo Inductive Components Ag | Induktive Drossel |
WO2008059336A2 (en) * | 2006-11-13 | 2008-05-22 | Inverness Medical Switzerland Gmbh | Method and apparatus for testing biological samples using a reader with a conductive housing |
EP2241860A2 (de) | 2009-04-17 | 2010-10-20 | BALLUFF GmbH | Induktives Sensormodul und induktiver Näherungssensor |
DE102004049179B4 (de) * | 2003-10-10 | 2013-02-07 | Rosemount Inc. | Kompakter Messumformer mit verbesserten Leitungsanschlüssen |
CN104048679A (zh) * | 2013-03-15 | 2014-09-17 | 罗斯蒙德公司 | 变送器内的无线接口 |
EP3124938A1 (de) * | 2015-07-31 | 2017-02-01 | Kistler Holding AG | Drucksensor und verfahren zur herstellung eines solchen drucksensors |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2314901B2 (de) * | 1972-04-19 | 1974-08-29 | Suisse Horlogerie | Anordnung mit einem Quarz und Verfahren zur Herstellung derselben |
DE2817212A1 (de) * | 1977-10-29 | 1979-05-03 | Wacom R & D Corp | Schaltungsanordnung mit einem ic-chip und einem kristall-oszillator |
DE8130414U1 (de) * | 1981-10-17 | 1982-03-11 | Kienzle Apparate Gmbh, 7730 Villingen-Schwenningen | Messwertgeber |
DE3840941A1 (de) * | 1987-12-07 | 1989-06-15 | Vaisala Oy | Druckwandler |
DE4120752A1 (de) * | 1991-06-24 | 1993-01-14 | Sensorenbau Gettorf Gmbh | Messgeraetgehaeuse |
DE4231873A1 (de) * | 1991-09-24 | 1993-03-25 | Breed Automotive Tech | Sichernder geschwindigkeitswechselsensor |
DE4230443A1 (de) * | 1991-09-13 | 1993-03-25 | Trw Inc | Initiatoranordnung mit verbinder-uebergangs-element |
-
1993
- 1993-04-30 DE DE19934314296 patent/DE4314296A1/de not_active Ceased
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2314901B2 (de) * | 1972-04-19 | 1974-08-29 | Suisse Horlogerie | Anordnung mit einem Quarz und Verfahren zur Herstellung derselben |
DE2817212A1 (de) * | 1977-10-29 | 1979-05-03 | Wacom R & D Corp | Schaltungsanordnung mit einem ic-chip und einem kristall-oszillator |
DE8130414U1 (de) * | 1981-10-17 | 1982-03-11 | Kienzle Apparate Gmbh, 7730 Villingen-Schwenningen | Messwertgeber |
DE3840941A1 (de) * | 1987-12-07 | 1989-06-15 | Vaisala Oy | Druckwandler |
DE4120752A1 (de) * | 1991-06-24 | 1993-01-14 | Sensorenbau Gettorf Gmbh | Messgeraetgehaeuse |
DE4230443A1 (de) * | 1991-09-13 | 1993-03-25 | Trw Inc | Initiatoranordnung mit verbinder-uebergangs-element |
DE4231873A1 (de) * | 1991-09-24 | 1993-03-25 | Breed Automotive Tech | Sichernder geschwindigkeitswechselsensor |
Cited By (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19646583C2 (de) * | 1995-11-30 | 2001-04-26 | Eckart Hiss | Strömungsüberwachungsgerät |
DE19646583A1 (de) * | 1995-11-30 | 1997-06-05 | Hiss Eckart | Strömungsüberwachungsgerät |
DE10048290C2 (de) * | 2000-09-29 | 2003-06-12 | Balluff Gmbh | Induktiver Sensor |
US6734665B2 (en) | 2000-09-29 | 2004-05-11 | Balluff Gmbh | Inductive sensor having a sensor coil in the form of a structured conductive layer |
DE10048290C5 (de) * | 2000-09-29 | 2005-12-08 | Balluff Gmbh | Induktiver Sensor |
DE10066293B4 (de) * | 2000-09-29 | 2007-11-29 | Balluff Gmbh | Induktiver Sensor |
DE20216822U1 (de) * | 2002-10-31 | 2003-08-14 | Keller Ag Fuer Druckmestechnik | Druck-Transducer |
DE102004049179B4 (de) * | 2003-10-10 | 2013-02-07 | Rosemount Inc. | Kompakter Messumformer mit verbesserten Leitungsanschlüssen |
DE102004036843B3 (de) * | 2004-07-29 | 2006-02-16 | Reo Inductive Components Ag | Induktive Drossel |
WO2008059336A2 (en) * | 2006-11-13 | 2008-05-22 | Inverness Medical Switzerland Gmbh | Method and apparatus for testing biological samples using a reader with a conductive housing |
WO2008059336A3 (en) * | 2006-11-13 | 2008-11-27 | Inverness Medical Switzerland | Method and apparatus for testing biological samples using a reader with a conductive housing |
US8981767B2 (en) | 2009-04-17 | 2015-03-17 | Balluff Gmbh | Inductive sensor module and inductive proximity sensor |
DE102009018644A1 (de) * | 2009-04-17 | 2010-10-21 | Balluff Gmbh | Induktives Sensormodul und induktiver Näherungssensor |
EP2241860A2 (de) | 2009-04-17 | 2010-10-20 | BALLUFF GmbH | Induktives Sensormodul und induktiver Näherungssensor |
DE102009018644B4 (de) | 2009-04-17 | 2023-06-22 | Balluff Gmbh | Induktives Sensormodul und induktiver Näherungssensor |
CN104048679A (zh) * | 2013-03-15 | 2014-09-17 | 罗斯蒙德公司 | 变送器内的无线接口 |
WO2014143429A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Rosemount Inc. | Wireless interface within transmitter |
US9048901B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-06-02 | Rosemount Inc. | Wireless interface within transmitter |
AU2014228706B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-12-01 | Rosemount Inc. | Wireless interface within transmitter |
CN104048679B (zh) * | 2013-03-15 | 2018-01-26 | 罗斯蒙特公司 | 变送器内的无线接口 |
EP3124938A1 (de) * | 2015-07-31 | 2017-02-01 | Kistler Holding AG | Drucksensor und verfahren zur herstellung eines solchen drucksensors |
CN106404235A (zh) * | 2015-07-31 | 2017-02-15 | 基斯特勒控股公司 | 压力传感器和用于制造这种压力传感器的方法 |
US10378988B2 (en) | 2015-07-31 | 2019-08-13 | Kistler Holding Ag | Pressure sensor and process of manufacturing same |
CN106404235B (zh) * | 2015-07-31 | 2020-08-07 | 基斯特勒控股公司 | 压力传感器和用于制造这种压力传感器的方法 |
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WO2008040579A2 (de) | Druckmessgerät für die prozessmesstechnik |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8181 | Inventor (new situation) |
Free format text: MORSCH, JOACHIM, DIPL.-ING. (FH), 66646 MARPINGEN, DE BUCHHEIT, CHRISTOF, 66773 SCHWALBACH, DE |
|
8131 | Rejection |