DE4239635A1 - Verfahren und Einrichtung zur Wegerfassung von Ventilstangenbewegungen elektropneumatischer Stellungsregler - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur Wegerfassung von Ventilstangenbewegungen elektropneumatischer Stellungsregler

Info

Publication number
DE4239635A1
DE4239635A1 DE4239635A DE4239635A DE4239635A1 DE 4239635 A1 DE4239635 A1 DE 4239635A1 DE 4239635 A DE4239635 A DE 4239635A DE 4239635 A DE4239635 A DE 4239635A DE 4239635 A1 DE4239635 A1 DE 4239635A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
valve rod
movement
sensor
displacement sensor
inductive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE4239635A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4239635C2 (de
Inventor
Thomas Dipl Phys Dr Rer Karte
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ABB AG Germany
Original Assignee
Mannesmann AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mannesmann AG filed Critical Mannesmann AG
Priority to DE4239635A priority Critical patent/DE4239635C2/de
Priority to GB9608448A priority patent/GB2299675B/en
Priority to GB9323778A priority patent/GB2272771B/en
Priority to GB9608463A priority patent/GB2299676B/en
Publication of DE4239635A1 publication Critical patent/DE4239635A1/de
Priority to US08/584,730 priority patent/US5742161A/en
Application granted granted Critical
Publication of DE4239635C2 publication Critical patent/DE4239635C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/003Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/02Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B7/023Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/20Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
    • G01D5/2006Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils
    • G01D5/202Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the self-induction of one or more coils by movable a non-ferromagnetic conductive element
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/70Position sensors comprising a moving target with particular shapes, e.g. of soft magnetic targets
    • G01D2205/77Specific profiles
    • G01D2205/775Tapered profiles
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/70Position sensors comprising a moving target with particular shapes, e.g. of soft magnetic targets
    • G01D2205/77Specific profiles
    • G01D2205/777Whorl-shaped profiles

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Wegmessung von Ventilstangenbetätigungen für elektropneumatische Stellungsregler sowie mehrere Einrichtungen zur Durchführung des Verfahrens.
Wegmeßsysteme zur Erfassung der Ventilstangenbewegung elektropneumatischer Stellungsregler sind im allgemeinen bekannt. Dabei werden zumeist Potentiometer eingesetzt, die über einen entsprechenden mit der Ventilstange gekoppelten Hebelabgriff betätigbar sind. Unter Verwendung von Hebelabgriffen an der Ventilstange sind des weiteren kapazitive Sensoren sowie Differentialtransformatoren zur Erfassung der Ventilstangenbewegung bekannt. Des weiteren sind im Stand der Technik auch induktive Näherungssensoren bekannt, die jedoch nur als reine Positionsschalter dienen. Dabei kann eine Erfassung von Endpositionen erfolgen, nicht aber eine Wegmessung bzw. Registrierung entlang der ganzen Ventilstangenbewegung.
Die Nachteile dieser bekannten Systeme sind vielfältig. Potentiometer sind in der Regel verschleißbehaftet, insbesondere dann, wenn sie im Bereich starker mechanischer Vibrationen eingesetzt werden. Dieser Verschleiß macht sich durch einen zunehmenden Abrieb am Arbeitspunkt des Potentiometers bemerkbar. Die Verwendung von Drehkondensatoren ist sehr teuer, da hierbei aufwendige Schutzmaßnahmen gegen Feuchtigkeit getroffen werden müssen und außerdem sehr präzise mechanische Lager notwendig sind. Die Verwendung von Differentialtransformatoren ist nachteilig wegen der teuren mechanischen Lagerung, da Querbewegungen des Magneten in der Spule unterdrückt werden müssen. Die zur Versorgung entsprechend notwendige Elektronik ist außerdem zu teuer und hat einen relativ hohen Leistungsverbrauch.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Wegmessung der Ventilstangenbewegung bei elektropneumatischen Stellungsreglern zu schaffen, mit dem die Wegerfassung einfacher und zuverlässiger erfolgen kann, sowie mehrere Einrichtungen zu schaffen, die konstruktiv einfache aber genaue Wegerfassung bzw. Messung ermöglichen.
Hinsichtlich des Verfahrens gemäß Oberbegriff des Patentanspruches 1 wird die gestellte Aufgabe erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des Verfahrens sind in den Unteransprüchen angegeben.
Hinsichtlich der Einrichtungen gemäß Oberbegriff der Patentansprüche 4, 6 und 8 ist die gestellte Aufgabe erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche 4, 6 und 8 gelöst. Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben.
Der Einsatz induktiver Verfahren zur Positionserfassung ist als solches zwar bekannt, jedoch bei der vorliegenden Erfindung eine induktive "Wegerfassung". Der Betrieb üblicher induktiver Meßverfahren erfordert letztendlich am Ausgang bzw. vor Ausgang des Gebers eine Leistungsverstärkung des Signales. Beim vorliegenden Verfahren wird hierauf gezielt verzichtet. Hierbei wird eine HF-Oszillation angeregt, die in ihrer Amplitude durch metallische bzw. elektrisch leitfähige Gegenstände beeinflußbar ist. Unter Verwendung eines Ferritkerns und einer Spule als LC-Resonanzkreis wird durch die HF-Oszillation ein hochfrequentes elektromagnetisches Wechselfeld erzeugt, wobei bei Eintauchen oder Bewegen von metallischen bzw. elektrisch leitfähigen Gegenständen in diesem Feld Wirbelstromverluste entstehen, die die entsprechende Oszillation bedämpfen. Die Schwingungsamplitude dieser Oszillation ist somit ein Maß für die Nähe des Sensors zu einem elektrisch leitfähigen bzw. metallischen Gegenstand. Hierbei ist wesentlich das entsprechend demodulierte Oszillatorsignal ohne weitere Ausgangsverstärkung direkt in den Mikrorechner einzuspeisen. Um die Temperaturabhängigkeit dieses genutzten Effektes zu kompensieren erfolgt gleichzeitig eine Temperaturmessung im Bereich des Sensors. In einem Mikrorechner werden dann die gemessenen Oszillatorsignalamplituden sowie die Temperatur korreliert und der letztendlich darauf beziehbare Abstand des Sensors von einem über die Ventilstange mitbewegten metallischen Mitnehmer erfaßt. Da Mikrorechner generell bei Verwendung von elektropneumatischen Stellungsreglern in Prozeßleitsystemen eingesetzt werden, ist der notwendige Mikrorechner vorhanden. In diesem Mikrorechner können dann, wie dies in weiterer vorteilhafter Ausgestaltung auch angegeben ist, andere Einflüsse sowie entsprechende Bewegungsvorgaben mitberücksichtigt werden. Besonders vorteilhaft erweist sich die direkte, d. h. unverstärkte Einspeisung des demodulierten Oszillatorsignales in den Mikrorechner deshalb, weil in diesem Zusammenhang eine direkte Einspeisung in eine Regelung und damit eine Verarbeitung beispielsweise nach dem Fuzzyprinzip möglich ist. Das erfaßte Wegsignal liegt zuverlässig in elektrisch auf Rechnerebene bereits akzeptierbarer Form vor, so daß eine Adaption an softwareunterstützte Regelverfahren extrem einfach möglich ist. Des weiteren ist es auf diese Weise möglich, Nichtlinearitäten der Kennlinie durch eine individuelle Korrektur über beispielsweise einen Tabellenzugriff im Mikrorechner vorzunehmen. Hierdurch werden auch die Einflüsse der an der Messung beteiligten mechanischen Komponenten miterfaßt und ausgeglichen.
Insgesamt ergibt sich für den Betrieb über das vorgegebene erfindungsgemäße Verfahren der Vorteil der auf mechanische Koppelelemente zum Sensor gänzlich verzichtet werden kann. Hierdurch ist insbesondere eine vollständige Kapselung des Sensors ohne translatorische oder rotatorische Durchführung möglich, so daß sich ein besonders schmutz- und umgebungsresistentes System ergibt. Bei den erfindungsgemäßen Einrichtungen sind verschiedene konstruktive Alternativen vorgegeben. Eine erste besteht darin, den Sensor parallel zur Ventilstange auszurichten und senkrecht dazu ein entsprechend elektrisch leitfähiges Metallelement anzubringen, welches mit der Ventilstange starr verbunden und mit dieser mitbewegend ist. Die Oszillationsamplitude verändert sich dann in Abhängigkeit des Abstandes des mitgeführten metallischen Elementes vom ortsfest angeordneten Wegsensor.
In einer weiteren Ausführung ist der Wegsensor senkrecht zur Bewegungsrichtung der Ventilstange ausgerichtet und die Ventilstange ist mit einem metallischen Keil verbunden. Die Länge des Keiles in Bewegungsrichtung der Ventilstange entspricht dem Bewegungshub der Ventilstange. Somit ergibt sich entlang der Ventilstange eine durch den metallischen Keil angebrachte schiefe Ebene. Der Induktivsensor, welcher senkrecht zur Ventilstange ausgerichtet ist, ist auch hierbei wieder ortsfest angeordnet. Dies bewirkt daß der Wegsensor den metallischen Werkstoff des Keiles nun in unterschiedlicher Entfernung registriert. Je nachdem welcher Bereich der "schiefen Ebene" gerade am Sensor vorbeigeführt wird. Ist die Ventilstange beispielsweise in der einen Endlage, so befindet man sich an der schiefen Ebene ganz unten, so daß die Entfernung des Wegsensors zum metallischen Werkstoff des Keiles recht groß ist befindet sich die Ventilstange in der entsprechend anderen Endlage dann befindet man sich im Bereich des höchsten Punktes der schiefen Ebene, was bedeutet, daß der metallische Werkstoff des Keiles sehr nahe am Wegsensor liegt. Durch die geeignete Wahl der Neigung dieser "schiefen Ebene" ist eine gezielt einstellbare Wegunter­ bzw. -übersetzung bei der Wegerfassung möglich. Bei dieser Anordnung wird der Mangel wettgemacht, daß der induktive Sensor in seiner Erfaßbarkeit angenäherter Gegenstände in der Regel nur eine recht kurze Reichweite hat, die normalerweise kleiner ist als der zu erfassende Ventilstangenhub.
In einer weiteren Ausführung sind zwei Keile an gegenüberliegenden Seiten der Ventilstange in Bewegungsrichtung angeordnet, und es sind auch entsprechend zwei Wegsensoren sich dementsprechend gegenüberliegend angeordnet. Bei dieser Anordnung ist die vorherige Anordnung an der Ventilstangenachse gespiegelt. Eine solche Anordnung hat jedoch den erheblichen Vorteil, daß neben der Wegerfassung der Ventilstangenbewegung auch das Spiel der Ventilstange mitberücksichtigt bzw. kompensiert werden kann. Hierbei würde ein Spiel, d. h. eine Auslenkung senkrecht zur Bewegungsrichtung der Ventilstange in einer Richtung bedeuten, daß an einem Wegsensor sich die Amplitude erhöht und an dem entsprechenden anderen Wegsensor gleichzeitig und in gleichem Maße erniedrigt. Wesentlich hierbei ist nun, daß das eigentliche Wegsignal weder alleine von dem einen noch von dem anderen Wegsensor berücksichtigt wird, sondern daß aus den Signalen beider Wegsensoren die Summe gebildet wird. Das Summensignal ist somit bezüglich Seitenversetzungen der Ventilstange konstant, d. h. fehlerkorrigiert und nur noch variabel in Abhängigkeit des Ventilstangenhubes. Das heißt, die Fehlerkorrektur stellt sich ohne zusätzlichen Eingriff selbst ein. Der letzten Ausgestaltungsmöglichkeit liegt das zuerst genannte konstruktive Prinzip zugrunde, wobei auch hierbei ein metallisches Element an der Ventilstange angebracht und gemeinsam mit der Ventilstange bewegt wird. Der Wegsensor ist auch hierbei, wie in der ersten konstruktiven Lösung, parallel zur Ventilstange bzw. Ventilstangenbewegungsrichtung ausgerichtet. Der Wegsensor ist ebenfalls ortsfest angeordnet. Die Besonderheit dieser Ausführungsform besteht darin, daß das von der Ventilstange mitgeführte metallische Element eine Ausnehmung mit charakteristischer Kontur aufweist. Diese Ausnehmung ist kegelförmig und derart in den metallischen Körper eingebracht, daß die Kegelbasis auf vollem Querschnitt offen und dem Wegsensor zugewandt ist. In dieser Ausgestallungsversion vereinigen sich die Funktionen aller bisher beschriebenen Bauformen. Das Streufeld des Wegsensors ergibt eine "Keule" die in diese kegelförmige Ausnehmung hineinreicht. Wird nun die Ventilstange bewegt, so läuft dieser Streufeldbereich an der Mantelfläche des Kegels wieder wie an einer schiefen Ebene ab. Somit ist diese Bauform wegen der Über- bzw. Untersetzungswirkung wiederum dann einsetzbar, wenn der Ventilstangenhub größer oder kleiner als der eigentliche Registrierbereich des Wegsensors ist. Legt man nun einen Schnitt senkrecht zur Kegelachse durch diesen metallischen Körper, so erscheinen im Schnittbild zwei schiefe Ebenen die sich an der Spitze des Kegels treffen. Hierbei ergibt sich nun ebenfalls wieder die bereits geschilderte Selbstkompensation des Signales dann, wenn zusätzlich zur Ventilstangenhubrichtung auch noch eine Seitenversetzung vorliegt. Das heißt an der einen schiefen Ebene ist die Streukeule dichter dran und zu der anderen schiefen Ebene ist der Abstand großer, so daß in Summe das Signal dieses Sensors bezüglich der Seitenversetzung der Ventilstange wieder "selbstkompensiert" ist.
Eine letzte alternative Bauform ist dadurch gegeben, daß die Ventilstange über einen Anlenkhebel eine Kurvenscheibe betätigt. Hierbei liegen zwar wieder mechanische Komponenten vor, jedoch erfolgt der letztendliche Abgriff der Bewegung über den Wegsensor wieder berührungslos. Auch hierbei ist die Verschleißreduktion im Hinblick auf die dargestellte Erfindung erreicht. Bei dieser Bauform können u. U. extrem große Ventilstangenhübe ebenfalls von einem induktiven Wegsensor gemessen werden, obwohl dieser nur kurze Reichweiten erfassen kann. Die Kurvenscheibe hat dabei je nach Stellung einen größeren oder kleineren Abstand zum Wegsensor und ist im übrigen ebenfalls aus dem metallischen bzw. elektrisch leitendem Material, um das induktive Prinzip der Meßanordnung zu realisieren.
Die Erfindung sowie alle Alternativlösungen sind in der Zeichnung dargestellt und im nachfolgenden näher beschrieben. Es zeigt
Fig. 1 eine Ventilstange mit parallel ausgerichtetem Wegsensor,
Fig. 2 eine Ventilstange mit metallischem Keil und senkrecht ausgerichtetem Wegsensor,
Fig. 3 eine Ventilstange mit zwei metallischen Keilen und zwei senkrecht ausgerichteten Wegsensoren,
Fig. 4 eine Ventilstange mit kegelförmig ausgenommenem metallischen Körper und parallel ausgerichtetem Wegsensor,
Fig. 5 eine Ventilstange mit Kurvenscheibe und Wegsensor.
Fig. 1 zeigt die erste Ausgestaltungsversion, bei der der Wegsensor 1 parallel zur Ventilstange 7 ausgerichtet ist. Im Wegsensor 1 ist das Streufeld 8 entsprechend markiert. An der Ventilstange 2 ist ein metallischer bzw. elektrisch leitfähiger Körper 5 fest angebracht, der mit der Ventilstange 2 mitbewegt wird. Hierdurch wird der metallische bzw. elektrisch leitfähige Körper in dem Streufeld 8 bewegt, und bewirkt somit eine Dämpfung der in dem Wegsensor erzeugten Oszillation. An der Markierung des Streufeldes 8 ist zu erkennen, daß die Reichweite des Streufeldes unter der Maßgabe eines ausreichend großen Signales endlich ist. Diese Streufelderstreckung ist somit der Arbeitsbereich des Wegsensors. Somit muß die Streufelderstreckung bzw. der Arbeitsbereich mindestens gleich groß dem zu detektierenden Hub der Ventilstange sein.
Der Antrieb 3 der Ventilstange 2 kann beispielsweise elektromagnetisch, mechanisch oder pneumatisch ein. Über die Ventilstange 2 wird dann das eigentliche Ventil 4 betätigt.
Ebenfalls dargestellt ist, daß die Wegerfassungseinrichtung in Zweileitertechnik ausgestaltet ist; d. h. am Ausgang des Wegsensors 1 führen zwei elektrische Leitungen 6 zum Mikrorechner 7.
Fig. 2 zeigt eine Ventilstange 2 mit einem metallischen Keil 9 und senkrecht dazu ausgerichtetem Wegsensor 1. Der metallische Keil 9 ist so konturiert und an der Ventilstange 2 befestigt daß sich in Bewegungsrichtung der Ventilstange 2 in dieser Seitenansicht eine schiefe Ebene bildet. Auch hierbei ist das Streufeld 8 des Wegsensors 1 wieder markiert. Wesentlich ist hierbei, daß diese schiefe Ebene quasi eine Wegumwandlung vornimmt. Das heißt, je nach Stellung der Ventilstange ist die schiefe Ebene dieses Keiles näher am Wegsensor oder entfernter hierzu. Die schiefe Ebene kann bezüglich ihrer Neigung hierbei so bemessen werden, daß ein sehr großer Ventilstangenhub in eine sehr kleine Abstandsänderung über die schiefe Ebene zum Wegsensors umgesetzt wird. Das heißt je nach dem wo sich die schiefe Ebene bzgl. des ortsfesten Streufeldes 8 des Wegsensors 1 befindet, ist der Einfluß auf das Streufeld und damit auf die Dämpfung der Oszillation mehr oder weniger. Da, wie oben bereits gesagt, das Streufeld des induktiven Wegsensors in der Regel nur eine kurze Reichweite hat, sind über eine solche Wegumsetzung auch grobe Ventilstangenhübe wegmäßig erfaßbar.
Fig. 3 zeigt eine bzgl. Fig. 2 an einer imaginären Spiegelebene parallel zur Ventilstange 2 gespiegelte Anordnung, bei der zwei Wegsensoren 1, 1′ sich gegenüberliegend, sowie zwei Keile 9, 9′ an gegenüberliegenden Seiten der Ventilstange 2 angeordnet sind.
Fig. 4 zeigt eine Ventilstange 2 mit kegelförmig ausgenommenem metallischen Körper 10 und parallel ausgerichtetem Wegsensor 1, Der metallische bzw. elektrisch leitfähige Körper 10 ist hierbei in einem Schnitt dargestellt. Real ist dieser keilförmige Einschnitt 11 rotationssymmetrisch, also kegelförmig. Der Wegsensor 1 ist hierzu parallel zur Ventilstange 2 und in seiner zentrischen Achse zur Kegelspitze hin angeordnet. Bei dieser Anordnung ergibt sich in etwa die gleiche Funktionsweise wie bei einer Anordnung nach Fig. 3. Die Anordnung nach Fig. 3 hat den Vorteil, daß neben der Wegerfassung in Bewegungsrichtung der Ventilstange auch die Störgröße der Seitenversetzung der Ventilstange durch Ventilspiel kompensiert werden kann, indem die Wegsensorsignale der Sensoren 1 und 1′ als Summensignal zusammengeführt werden und somit eine Seitenversetzung in Summe beider Signale kompensiert ist. In Fig. 4 ist dies mit einem Sensor 1 erreicht. Findet nämlich eine Seitenversetzung der Ventilstange durch Ventilspiel statt, so ist der Einflußbereich der hier im Schnitt erscheinenden einen schiefen Ebene größer und der Einfluß der anderen schiefen Ebene kleiner, so daß in Summe das Signal bei Seitenversetzung der Ventilstange unverändert bleibt.
Fig. 5 zeigt eine letzte Anordnung, bei der die Ventilstange 2 während des Hubes über einen Anlenkhebel 12 eine entsprechend exzentrisch gelagerte Kurvenscheibe 13 betätigt, d. h. dreht. Der Wegsensor 1 ist hierbei wiederum ortsfest angeordnet. Die Kurvenscheibe 13 ist dabei so konturiert und angelenkt, daß bei Drehung sich der Abstand der Außenkontur der Kurvenscheibe 13 zum Wegsensor 1 ändert. Dadurch kommt es zu einer drehwinkelabhängigen Dämpfung der Oszillation im Wegsensor, wobei der Drehwinkel wiederum von der Ventilstangenbewegung abhängt. Diese Einrichtung läßt sich beliebig genau durch entsprechende Dimensionierung der Kurvenscheibe und der Hebelanordnung realisieren.
Alle dargestellten Figuren zeigen im wesentlichen nur die eigentliche Wegerfassungseinrichtung und schematisch dargestellt sind in alten Figuren der Ventilstangenantrieb 3 und das Ventil 4 selbst, so daß die Wegerfassungseinrichtung räumlich zwischen diesen beiden Elementen angeordnet ist.

Claims (7)

1. Verfahren zur Wegerfassung der Ventilstangenbewegung bei elektropneumatischen Stellungsreglern,
dadurch gekennzeichnet,
daß in einem induktiv arbeitenden Sensor eine HF-Oszillation innerhalb eines LC-Resonanzkreises zur Erzeugung eines hochfrequenten elektromagnetischen Wechselfeldes angeregt wird, daß über einen von der Ventilstange mitbewegten elektrisch leitfähigen Körper die HF-Oszillation wegabhängig bedämpft wird, daß das Oszillatorsignal demoduliert und unverstärkt einem Mikrorechner zur Auswertung der wegabhängigen Oszillationsamplitudenbedämpfung zugeführt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß der Sensor im Pulspausenbetrieb eingesetzt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb des induktiven Sensors die Temperatur gemessen und mit der gemessenen Oszillationsamplitude korreliert wird, und daß aus der Korrelation ein korrigiertes Wegsignal ermittelt wird.
4. Einrichtung zur Wegerfassung der Ventilstangenbewegung elektropneumatischer Stellungsregler, bei der über ein Wegerfassungselement und ein an der Ventilstange angeordnetes Geberelement die Ventilstangenbewegung erfaßbar ist, dadurch gekennzeichnet,
daß das Geberelement (5, 10) aus elektrisch leitfähigem Material besteht und mit der Ventilstange (2) fest gekoppelt ist, und daß der Wegsensor (1) im Bereich seines induktiven Streufeldes (8) zum Geberelement (5, 10) und bezüglich der Ventilstangenbewegungsrichtung parallel ausgerichtet angeordnet ist.
5. Einrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Geberelement (10) mit einer kegelförmigen Ausnehmung (11) versehen ist, die an der Basis des Kegels im vollen Querschnitt hin zum Wegsensor (1) offen ist.
6. Einrichtung zur Erfassung der Ventilstangenbewegung bei elektropneumatischen Stellungsreglern, mit berührungslos arbeitendem Sensor, welcher nach dem induktiven Prinzip arbeitet. dadurch gekennzeichnet,
daß der induktive Wegsensor (1, 1′) bezüglich seiner Detektionsrichtung senkrecht zur Ventilstangenhubrichtung ausgerichtet angeordnet ist und daß die Ventilstange (2) im induktiv wirksamen Einflußbereich des Wegsensors (1, 1′) mit mindestens einem elektrisch leitfähigen Keil (9, 9′) versehen ist, der eine schiefe Ebene bezüglich der Ventilstangenbewegungsrichtung bildet, wobei der Keil (9, 9′) in seiner Länge maximal dem Betrag des Ventilstangenhubes entspricht.
7. Einrichtung zur Erfassung der Ventilstangenbewegung bei elektropneumatischen Stellungsreglern nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß insgesamt zwei Wegsensoren (1, 1′) sowie zwei elektrisch leitfähige Keile (9, 9′) vorgesehen sind, die sich an der Ventilstange (2) auf verschiedenen Längsseiten gegenüberliegend angeordnet sind.
DE4239635A 1992-11-23 1992-11-23 Einrichtung zur Wegerfassung von Ventilstangenbewegungen elektropneumatischer Stellungsregler Expired - Fee Related DE4239635C2 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4239635A DE4239635C2 (de) 1992-11-23 1992-11-23 Einrichtung zur Wegerfassung von Ventilstangenbewegungen elektropneumatischer Stellungsregler
GB9608448A GB2299675B (en) 1992-11-23 1993-11-18 Device for detecting the displacement of valve stem movement in an electropneumatic positioner
GB9323778A GB2272771B (en) 1992-11-23 1993-11-18 Method for detecting the displacement of valve stem movement in an electropneumatic positioner
GB9608463A GB2299676B (en) 1992-11-23 1993-11-18 Device for detecting the displacement of valve stem movement in an electropneumatic positioner
US08/584,730 US5742161A (en) 1992-11-23 1996-01-11 Method and device for detecting displacement of valve rod movement in an electropneumatic position regulator with at least one proximity sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4239635A DE4239635C2 (de) 1992-11-23 1992-11-23 Einrichtung zur Wegerfassung von Ventilstangenbewegungen elektropneumatischer Stellungsregler

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4239635A1 true DE4239635A1 (de) 1994-05-26
DE4239635C2 DE4239635C2 (de) 1998-02-12

Family

ID=6473620

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4239635A Expired - Fee Related DE4239635C2 (de) 1992-11-23 1992-11-23 Einrichtung zur Wegerfassung von Ventilstangenbewegungen elektropneumatischer Stellungsregler

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5742161A (de)
DE (1) DE4239635C2 (de)
GB (1) GB2272771B (de)

Cited By (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0751326A2 (de) * 1995-06-29 1997-01-02 Georg Fischer Rohrleitungssysteme AG Vorrichtung zur Ueberwachung des Ventilhubs eines Membranventils
FR2755226A1 (fr) * 1996-10-30 1998-04-30 Technicatome Procede et dispositif de mesure du deplacement rectiligne d'une piece et application aux soupapes de moteur a explosion
DE19642699A1 (de) * 1996-10-16 1998-04-30 Saia Burgess Electronics Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Abstandsmessung
EP0734992A3 (de) * 1995-03-28 1998-05-06 Roy W. Blain Servosteuerung eines hydraulischen Aufzugs
DE19841660A1 (de) * 1998-09-11 2000-03-30 Audi Ag Anordnung zum berührungslosen Messen von Ventilbewegungen bei Brennkraftmaschinen
DE10025661A1 (de) * 2000-05-24 2001-12-06 Balluff Gebhard Feinmech Wegmeßsystem
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
DE102007019059A1 (de) 2007-04-23 2008-10-30 Abb Ag Verfahren zum Betrieb eines Stellantriebs
DE102007019045A1 (de) 2007-04-23 2008-11-06 Abb Ag Stellantrieb
DE102007039716A1 (de) 2007-08-22 2009-02-26 Abb Ag Verfahren zur Erkennung des Antriebstyps eines Stellantriebs
DE102007058776A1 (de) 2007-12-06 2009-06-10 Abb Ag Verfahren zur Erkennung des Antriebstyps eines Stellantriebs (II)
DE202010011758U1 (de) 2010-08-25 2010-11-25 Abb Technology Ag Sensoranordnung zur kontaktlosen Ermittlung der aktuellen Winkelstellung einer Welle
DE102009035126A1 (de) 2009-07-29 2011-02-03 Abb Technology Ag Verfahren zur Erhöhung der Verfügbarkeit von Weg-/ Positionsmesssytemen auf Basis von Potentiometern mit Schleiferabgriff
DE102009036875A1 (de) 2009-08-10 2011-02-24 Abb Technology Ag Verfahren zur Erhöhung der Verfügbarkeit von Weg-/ Positionsmesssystemen auf Basis von Potentiometern mit Schleiferabgriff (II)
DE102009052631A1 (de) 2009-11-10 2011-05-12 Abb Technology Ag Verfahren zur Erhöhung der Verfügbarkeit von Weg-/Positionsmesssystemen auf Basis von Potentiometern mit Schleiferabgriff (III)
DE10359090B4 (de) * 2003-12-17 2012-10-18 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Stellung eines Stellgliedes
DE102012013429A1 (de) * 2012-06-27 2014-01-02 Paragon Ag Messvorrichtung zur Erfassung der Position eines Stellglieds eines Linearaktors
DE102015222017A1 (de) 2015-09-15 2017-03-16 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Sensor zur kontaktlosen Abstands- und/oder Positionsbestimmung eines Messobjektes
WO2017102137A1 (de) * 2015-12-15 2017-06-22 Robert Bosch Gmbh Linearwegsensor
DE102016202491A1 (de) * 2016-02-18 2017-08-24 Festo Ag & Co. Kg Fluidtechnisches Antriebssystem mit Positionssensor
DE202017106872U1 (de) 2017-11-13 2019-02-18 Sick Ag Sensoranordnung zur Bestimmung einer veränderlichen Spannung eines umlaufenden Ketten- oder Riementriebes
DE102017126569A1 (de) 2017-11-13 2019-05-16 Sick Ag Sensoranordnung zur Bestimmung einer veränderlichen Spannung eines umlaufenden Ketten- oder Riementriebes

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960024253A (ko) * 1994-12-23 1996-07-20 김무 산업용 작업기기의 회전체변위 측정장치
DE19919207A1 (de) * 1999-04-28 2000-11-02 Focke & Co Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Zigaretten
US6253460B1 (en) * 1999-06-10 2001-07-03 Geoffrey W. Schmitz Apparatus for position measurement and a system and a method for using the same
US6736024B1 (en) * 2000-01-25 2004-05-18 Ford Global Technologies, Llc Method and apparatus for determining the position of a shift rail
DE10161541B4 (de) * 2001-12-11 2005-05-04 Balluff Gmbh Sensoranordnung und Funktionseinheit mit Sensoranordnung
US6670807B2 (en) * 2002-01-16 2003-12-30 Applied Materials, Inc. Proximity sensor detecting loss of magnetic field complete
US6690160B2 (en) 2002-04-22 2004-02-10 Deere & Company Position sensing apparatus
US7140257B2 (en) * 2002-12-10 2006-11-28 Ashcroft Inc. Wireless transmitting pressure measurement device
WO2004094971A1 (en) 2003-03-27 2004-11-04 Dresser, Inc. Temperature measurement device
US7165461B2 (en) * 2003-03-27 2007-01-23 Ashcroft, Inc. Pressure gauge having dual function movement plate
DE10335133A1 (de) * 2003-07-31 2005-03-03 Pepperl + Fuchs Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung des Wegs eines Zielobjektes
US7554324B2 (en) * 2003-10-28 2009-06-30 Honeywell International Inc. Turbine blade proximity sensor and control system
JP2005330942A (ja) * 2004-05-21 2005-12-02 Toyota Motor Corp アクチュエータの位置検出装置および内燃機関のバルブリフト可変機構
DE102004032981B4 (de) * 2004-07-08 2006-10-26 Preh Gmbh Ventil zur Schaltstellungsüberwachung von Ventilen
US20060174948A1 (en) * 2005-02-08 2006-08-10 Deere & Company, A Delaware Corporation Valve spool position sensor
DE102005015285A1 (de) * 2005-04-04 2006-10-12 Knorr-Bremse Systeme für Nutzfahrzeuge GmbH Niveauregulierungsvorrichtung eines Fahrzeugs
JP2007123470A (ja) * 2005-10-27 2007-05-17 Fujitsu Component Ltd ソレノイドアクチュエータ及び2軸アクチュエータ
US7576532B2 (en) * 2006-04-03 2009-08-18 Scientific Drilling International Motion transducer for motion related to the direction of the axis of an eddy-current displacement sensor
JP2009539075A (ja) * 2006-05-29 2009-11-12 エヌシーティーエンジニアリング ゲーエムベーハー 対象物の位置を測定するセンサ装置、および方法
JP4420947B2 (ja) * 2007-09-10 2010-02-24 株式会社デンソー 直線変位検出装置
DE102007058778B4 (de) * 2007-12-06 2018-05-24 Abb Ag Stellantrieb mit einem Stellungsgeber
US8058867B2 (en) * 2008-08-18 2011-11-15 Deere & Company System for determining the position of a movable member
US8188730B2 (en) * 2008-09-10 2012-05-29 Rockwell Automation Technologies, Inc. Method and system for inductive proximity sensing that includes mounting effect compensation
DE102009004572B4 (de) * 2009-01-14 2010-08-19 Abb Technology Ag Verfahren und elektronische Einrichtung zur Kompensation des Driftverhaltens bei einem pneumatischen Stellglied während des Betriebs
DE102009004571A1 (de) * 2009-01-14 2010-07-22 Abb Technology Ag Verfahren und elektronische Einrichtung zum Prüfen von Ansteuerparametern eines elektro-pneumatischen Ventils bei einem pneumatischen Stellantrieb
DE102009004570B4 (de) * 2009-01-14 2019-11-14 Abb Schweiz Ag Verfahren und elektronische Einrichtung zum Finden des Öffnungspunktes bei einem geregelten elektro-pneumatischen Ventil eines pneumatischen Stellantriebs
DE102009004569B4 (de) * 2009-01-14 2014-02-13 Abb Technology Ag Verfahren und elektronische Einrichtung zur Kompensation der Hysterese von pneumatisch angetriebenen Armaturen
CN103403426B (zh) * 2010-11-25 2015-04-15 株式会社富士金 自动阀用开度检测装置
DE102012014642A1 (de) * 2012-07-24 2014-01-30 Linde Aktiengesellschaft Messvorrichtung für Hubbewegungen
CN102768009B (zh) * 2012-07-24 2015-12-02 常州大学 一种测定往复泵泵阀阀盘位移的装置
US9574662B2 (en) * 2013-12-16 2017-02-21 Hyundai Wia Corporation Disconnector for hybrid vehicle
US11054057B2 (en) * 2014-09-15 2021-07-06 Flowserve Management Company Sensors for valve systems and related assemblies, systems and methods
CN111396621B (zh) * 2014-09-15 2022-07-08 芙罗服务管理公司 用于阀***的传感器、包括传感器的阀***及相关方法
US9914181B1 (en) * 2015-09-28 2018-03-13 Nbn Innovations, Llc. Position sensing a location pin in a welding electrode
JP2019109068A (ja) * 2017-12-15 2019-07-04 株式会社デンソー 変位検出装置及びそれを用いた流量制御装置
CN110701138B (zh) * 2019-10-25 2024-06-11 山东泰丰智能控制股份有限公司 一种可监控大行程液压阀状态的新型结构

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2925581C2 (de) * 1978-07-06 1982-11-04 Veb Kombinat Orsta-Hydraulik, Ddr 7010 Leipzig Einrichtung zur berührungslosen Schaltstellungsüberwachung an hydraulischen oder pneumatischen Ventilen
DE3525199A1 (de) * 1985-07-15 1987-01-22 Rexroth Mannesmann Gmbh Induktiver geber
DE3825974A1 (de) * 1987-08-05 1989-02-16 Man Design Co Laengenmessvorrichtung
CH676147A5 (de) * 1988-06-17 1990-12-14 Vibro Meter Ag
DE4105062A1 (de) * 1990-09-19 1992-03-26 Helmut Prof Dipl Ing Hoenicke Elektropneumatischer stellungsregler mit pulsbreitenansteuerung

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE241644C (de) *
GB904689A (en) * 1953-01-17 1962-08-29 Ass Elect Ind Improvements relating to electric gauging apparatus
DE2352851B2 (de) * 1973-10-22 1978-02-16 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Induktiver weggeber oder drehwinkelgeber
JPS5080156A (de) * 1973-11-14 1975-06-30
US4053849A (en) * 1976-10-01 1977-10-11 Systron Donner Corporation Oscillation means for generating a differential AC signal proportional to movement of a conducting member
US4112365A (en) * 1977-02-15 1978-09-05 Eaton Corporation Position detecting system
DE3303738A1 (de) * 1983-02-04 1984-08-09 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Elektrischer weggeber mit einem oszillator
US4638250A (en) * 1984-01-30 1987-01-20 Fiscint, Inc. Contactless position sensor with coreless coil coupling component
AU4195085A (en) * 1984-05-31 1985-12-05 Eaton Corporation Compact displacement transducer
DE3611862A1 (de) * 1986-04-09 1987-10-15 Steudler Gmbh & Co Kg A Induktiver naeherungssensor
GB2202331B (en) * 1987-03-19 1991-01-02 British Gas Plc Electromagnetic transducer
DE3741734C2 (de) * 1987-12-09 1996-09-26 Herion Werke Kg Vorrichtung zur Messung der Induktivität einer Spule, insbesondere zur Messung der Ankerstellung eines Spulen/Anker-Magnetsystems
IT1225118B (it) * 1988-07-22 1990-11-02 Zanussi Zeltron Inst Trasduttore di posizione.
DE3903278C2 (de) * 1989-02-03 1995-09-28 Rexroth Mannesmann Gmbh Induktive Wegaufnehmeranordnung
DE3910297A1 (de) * 1989-03-30 1990-10-04 Micro Epsilon Messtechnik Beruehrungslos arbeitendes wegmesssystem
GB8912522D0 (en) * 1989-05-26 1989-07-19 Coin Controls Coin discrimination apparatus with temperature compensation
FR2647982B1 (fr) * 1989-06-02 1991-09-20 Sgs Thomson Microelectronics Procede et dispositif de detection compense en temperature de l'oscillation d'un circuit resonant
US5045785A (en) * 1990-03-05 1991-09-03 Borg-Warner Automotive, Inc. Linear position sensor with movable tapered element
US5241280A (en) * 1990-06-05 1993-08-31 Defelsko Corporation Coating thickness measurement gauge
US5126664A (en) * 1990-12-18 1992-06-30 Bently Nevada Corporation Wire composition for a small diameter temperature stable proximity coil
DE4141065A1 (de) * 1991-12-13 1993-06-17 Vdo Schindling Verfahren zur temperaturkompensation von induktiven sensoren

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2925581C2 (de) * 1978-07-06 1982-11-04 Veb Kombinat Orsta-Hydraulik, Ddr 7010 Leipzig Einrichtung zur berührungslosen Schaltstellungsüberwachung an hydraulischen oder pneumatischen Ventilen
DE3525199A1 (de) * 1985-07-15 1987-01-22 Rexroth Mannesmann Gmbh Induktiver geber
DE3825974A1 (de) * 1987-08-05 1989-02-16 Man Design Co Laengenmessvorrichtung
CH676147A5 (de) * 1988-06-17 1990-12-14 Vibro Meter Ag
DE4105062A1 (de) * 1990-09-19 1992-03-26 Helmut Prof Dipl Ing Hoenicke Elektropneumatischer stellungsregler mit pulsbreitenansteuerung

Cited By (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0734992A3 (de) * 1995-03-28 1998-05-06 Roy W. Blain Servosteuerung eines hydraulischen Aufzugs
EP0751326A2 (de) * 1995-06-29 1997-01-02 Georg Fischer Rohrleitungssysteme AG Vorrichtung zur Ueberwachung des Ventilhubs eines Membranventils
EP0751326A3 (de) * 1995-06-29 1997-10-01 Fischer Georg Rohrleitung Vorrichtung zur Ueberwachung des Ventilhubs eines Membranventils
DE19642699A1 (de) * 1996-10-16 1998-04-30 Saia Burgess Electronics Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur berührungslosen Abstandsmessung
FR2755226A1 (fr) * 1996-10-30 1998-04-30 Technicatome Procede et dispositif de mesure du deplacement rectiligne d'une piece et application aux soupapes de moteur a explosion
DE19841660A1 (de) * 1998-09-11 2000-03-30 Audi Ag Anordnung zum berührungslosen Messen von Ventilbewegungen bei Brennkraftmaschinen
DE19841660C2 (de) * 1998-09-11 2003-07-10 Audi Ag Anordnung zum berührungslosen Messen von Ventilbewegungen bei Brennkraftmaschinen
DE10025661A1 (de) * 2000-05-24 2001-12-06 Balluff Gebhard Feinmech Wegmeßsystem
US6828780B2 (en) 2001-05-01 2004-12-07 Balluff Gmbh Position measuring system having an inductive element arranged on a flexible support
DE10359090B4 (de) * 2003-12-17 2012-10-18 Schaeffler Technologies AG & Co. KG Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Stellung eines Stellgliedes
DE102007019059A1 (de) 2007-04-23 2008-10-30 Abb Ag Verfahren zum Betrieb eines Stellantriebs
DE102007019045A1 (de) 2007-04-23 2008-11-06 Abb Ag Stellantrieb
DE102007019059B4 (de) * 2007-04-23 2013-05-08 Abb Ag Verfahren zum Betrieb eines Stellantriebs
DE102007039716A1 (de) 2007-08-22 2009-02-26 Abb Ag Verfahren zur Erkennung des Antriebstyps eines Stellantriebs
DE102007039716B4 (de) 2007-08-22 2018-08-30 Abb Ag Verfahren zur Erkennung des Antriebstyps eines Stellantriebs
CN101372993B (zh) * 2007-08-22 2012-12-05 Abb股份公司 用于识别调节驱动装置的驱动装置类型的方法
DE102007058776A1 (de) 2007-12-06 2009-06-10 Abb Ag Verfahren zur Erkennung des Antriebstyps eines Stellantriebs (II)
DE102009035126A1 (de) 2009-07-29 2011-02-03 Abb Technology Ag Verfahren zur Erhöhung der Verfügbarkeit von Weg-/ Positionsmesssytemen auf Basis von Potentiometern mit Schleiferabgriff
DE102009035126B4 (de) * 2009-07-29 2016-06-02 Abb Technology Ag Verfahren zur Erhöhung der Verfügbarkeit von Weg-/ Positionsmesssytemen auf Basis von Potentiometern mit Schleiferabgriff
DE102009036875B4 (de) * 2009-08-10 2016-06-23 Abb Technology Ag Verfahren zur Erhöhung der Verfügbarkeit von Weg-/ Positionsmesssystemen auf Basis von Potentiometern mit Schleiferabgriff (II)
US8447555B2 (en) 2009-08-10 2013-05-21 Abb Technology Ag Method for increasing the availability of displacement/position measuring systems on the basis of potentiometers with a slider tap
DE102009036875A1 (de) 2009-08-10 2011-02-24 Abb Technology Ag Verfahren zur Erhöhung der Verfügbarkeit von Weg-/ Positionsmesssystemen auf Basis von Potentiometern mit Schleiferabgriff (II)
DE102009052631A1 (de) 2009-11-10 2011-05-12 Abb Technology Ag Verfahren zur Erhöhung der Verfügbarkeit von Weg-/Positionsmesssystemen auf Basis von Potentiometern mit Schleiferabgriff (III)
DE202010011758U1 (de) 2010-08-25 2010-11-25 Abb Technology Ag Sensoranordnung zur kontaktlosen Ermittlung der aktuellen Winkelstellung einer Welle
DE102011111041A1 (de) 2010-08-25 2012-03-01 Abb Technology Ag Sensoranordnung zur kontaktlosen Ermittlung der aktuellen Winkelstellung einer Welle
DE102012013429A1 (de) * 2012-06-27 2014-01-02 Paragon Ag Messvorrichtung zur Erfassung der Position eines Stellglieds eines Linearaktors
DE102012013429B4 (de) 2012-06-27 2019-05-16 Paragon Ag Messvorrichtung zur Erfassung der Position eines Stellglieds eines Linearaktors
DE102015222017A1 (de) 2015-09-15 2017-03-16 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und Sensor zur kontaktlosen Abstands- und/oder Positionsbestimmung eines Messobjektes
WO2017045675A1 (de) 2015-09-15 2017-03-23 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Vorrichtung und sensor zur kontaktlosen abstands- und/oder positionsbestimmung eines messobjektes
US11333481B2 (en) 2015-09-15 2022-05-17 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Device and sensor for contactless distance and/or position determination of a measurement object
WO2017102137A1 (de) * 2015-12-15 2017-06-22 Robert Bosch Gmbh Linearwegsensor
US10724876B2 (en) 2015-12-15 2020-07-28 Robert Bosch Gmbh Linear displacement sensor
DE102016202491A1 (de) * 2016-02-18 2017-08-24 Festo Ag & Co. Kg Fluidtechnisches Antriebssystem mit Positionssensor
DE202017106872U1 (de) 2017-11-13 2019-02-18 Sick Ag Sensoranordnung zur Bestimmung einer veränderlichen Spannung eines umlaufenden Ketten- oder Riementriebes
DE102017126569A1 (de) 2017-11-13 2019-05-16 Sick Ag Sensoranordnung zur Bestimmung einer veränderlichen Spannung eines umlaufenden Ketten- oder Riementriebes

Also Published As

Publication number Publication date
GB2272771A (en) 1994-05-25
GB9323778D0 (en) 1994-01-05
GB2272771B (en) 1997-01-15
DE4239635C2 (de) 1998-02-12
US5742161A (en) 1998-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4239635A1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Wegerfassung von Ventilstangenbewegungen elektropneumatischer Stellungsregler
DE4102896A1 (de) Verbesserter magnetischer messfuehler
DE202015105089U1 (de) Wirbelstromsensor
DE3116333C2 (de) Meßsystem zum berührungslosen Erfassen von Positionen der Kolbenstange einer Kolben-Zylinder-Einheit
WO2004103792A1 (de) Schienenanordnung, weiche und transportvorrichtung mit magnetostriktiven sensoren
DE102010056271A1 (de) Sensoranordnung zur Erfassung sowohl der Axial- als auch der Drehstellung einer in Längsrichtung verschieblichen und drehbaren Welle
DE202014102940U1 (de) Ventil mit einem Stößel und einem Sensor
DE202006014407U1 (de) Sensorvorrichtung einer Ausstoßvorrichtung für Möbelteile
EP0849653A2 (de) Verfahren zur Steuerung eines Koordinatenmessgerätes und Koordinatenmessgerät
DE102005029494A1 (de) Kolben-Zylinder-Anordnung
DE102013105495A1 (de) Kolbenhubvorrichtung mit Messanordnung
WO2005052506A2 (de) Berührungslos arbeitendes wegmesssystem
DE102020108461A1 (de) Induktiver Linearwegsensor
EP1691165B1 (de) Vorrichtung zur Ueberprüfung der Mass-, Form- und Lagetoleranzen eines mechanischen Werkstueckes
EP2795239A1 (de) Kompaktes 3d-tastmessgerät
DE19756475A1 (de) Bedienhebel und Verfahren zum Betreiben des Bedienhebels
DE4132724A1 (de) Vorschubgeraet
AT16394U1 (de) Stopfaggregat
EP3343182B1 (de) Linearwegsensor zum erfassen einer linearbewegung eines gegenstands
DE3317888C1 (de) Mechanischer Endlagenabtaster
EP1446560B1 (de) Sensoranordnung zur erfassung der bewegung eines ankers mit unterdrückung von störspannungen
DE19805225C2 (de) Positionserfassungsvorrichtung
DE102004059653B4 (de) Bewegungsdämpfer
DE4231989C1 (de) Abtastvorrichtung für konturierte Oberflächen
DE10227425A1 (de) Induktives Wegmessgerät

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8127 New person/name/address of the applicant

Owner name: HARTMANN & BRAUN AG, 60487 FRANKFURT, DE

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: ABB PATENT GMBH, 68526 LADENBURG, DE

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: ABB AG, 68309 MANNHEIM, DE

R119 Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee

Effective date: 20110601

Effective date: 20110531