DE4232277A1 - Geraet zum testen einer halbleitervorrichtung - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Gerät zum Testen einer Halbleitervorrichtung, die in einer Halblei­ terscheibe bzw. einem Wafer ausgebildet ist.

Es ist bekannt, daß ein Halbleiterscheibentest bzw. Wafer­ test zur Ermittlung von Fehlern an in einer Halbleiter­ scheibe (Halbleiterwafer) ausgebildeten Halbleitervorrich­ tungen vor einem Montagevorgang durchgeführt wird. Bei ei­ nem herkömmlichen Wafertest werden feine Metall-Meßfühler bzw. Tastköpfe auf der Halbleitervorrichtung unter einem vorbestimmten Fühlerdruck plaziert, worauf von der Halblei­ tervorrichtung ausgegebene elektrische Signale über die Meßfühler einer Wafer-Prüfvorrichtung zugeführt werden, während gleichzeitig der Halbleitervorrichtung in Überein­ stimmung mit einem Prüfprogramm elektrische Signale zuge­ führt werden.

Nachfolgend wird der Kontakt der Meßfühler mit der Halblei­ tervorrichtung im Einzelnen erläutert. Der eine Vielzahl von Halbleitervorrichtungen aufweisende Halbleiterwafer wird zunächst auf einer drei-dimensional bewegbaren Platt­ form bzw. Bühne befestigt. Während die Bühne langsam auf­ wärts bewegt wird, überprüft eine diesen Test durchführende Bedienungsperson, ob die Meßfühler mit der Halbleitervor­ richtung in Kontakt geraten oder nicht. Die Bühne wird an­ gehalten, sobald festgestellt wird, daß ein Kontakt zwi­ schen dem Halbleiterwafer und den Meßfühlern besteht. Dar­ aufhin bewegt sich die Bühne eine vorbestimmte Strecke nach oben, um den Fühlerdruck auf einen konstanten Wert einzu­ stellen. Zur Erleichterung der nachfolgenden Beschreibung wird diese zur Einstellung des Fühlerdrucks dienende Strecke nunmehr als "Einfahrstrecke" bezeichnet.

Gewöhnlich enthält ein einziger Halbleiterwafer eine Viel­ zahl von Halbleitervorrichtungen. Die Einstellung des Füh­ lerdrucks wird jedoch nicht bei allen Halbleitervorrichtun­ gen ausgeführt, sondern lediglich bei derjenigen, die als erste geprüft wird. Demgemäß wird bei einer einzigen Halb­ leitervorrichtung des Wafers eine anfängliche Einstellung des Fühlerdrucks durchgeführt, worauf die den Halbleiterwa­ fer tragende Bühne unter Zugrundelegung der bei dieser an­ fänglichen Einstellung des Fühlerdrucks gewonnenen Höhenin­ formation in vertikaler Richtung positioniert wird, um ei­ nen Kontakt zwischen den Meßfühlern und den jeweils anderen Halbleitervorrichtungen herzustellen.

Diese Betriebsabläufe sind mit den nachfolgend erläuterten Nachteilen behaftet. Zunächst ist zu bemerken, daß der Halbleiterwafer eine teilweise unebene Oberfläche aufweist. Die in einem konkaven Bereich vorliegende geringere Ein­ fahrstrecke verringert daher den Fühlerdruck, während die in einem konvexen Bereich vorliegende längere Einfahr­ strecke den Fühlerdruck erhöht, was zu einer ungenauen Prü­ fung des Wafers führt. Wenn die Bühne und/oder der Halblei­ terwafer selbst geneigt ist bzw. sind, treten ähnliche Pro­ bleme auf.

Zur Lösung dieser Probleme könnte daran gedacht werden, die Einstellung des Fühlerdrucks vor der Prüfung jeder einzel­ nen Halbleitervorrichtung durchzuführen. Dies würde jedoch die Effizienz bzw. Zeitdauer des gesamten Prüfvorgangs ex­ trem verschlechtern. Daher wurden z. B. Anstrengungen unter­ nommen, die Einstellung des Fühlerdrucks dadurch zu automa­ tisieren, daß ein die obere Position der Bühne erfassender Bühnenpositions-Sensor vorgesehen wird, um den Kontakt der Meßfühler mit dem Halbleiterwafer zu erfassen.

Fig. 6 zeigt anhand einer Querschnittsansicht ein Halblei­ ter-Prüfgerät, das einen derartigen Bühnenpositions-Sensor aufweist. Dieser mit dem Bezugszeichen 4 bezeichnete Büh­ nenpositions-Sensor enthält zwei feine Meßfühler 4a und 4b. Wenn der Meßfühler 4a den Halbleiterwafer 2 nicht kontak­ tiert, sind die Meßfühler 4a und 4b in gegenseitigem Kon­ takt. Wenn sich die Bühne 3 soweit nach oben bewegt, bis der Meßfühler 4a den Halbleiterwafer 2 kontaktiert, wird der Meßfühler 4a vom Halbleiterwafer 2 nach oben verscho­ ben, wodurch die Meßfühler 4a und 4b voneinander getrennt werden bzw. außer Kontakt geraten. Durch diesen Trennvor­ gang wird die Kontaktnahme der Meßfühler 1 mit dem Halblei­ terwafer 2 erfaßt. Vor der Prüfung jeder einzelnen (nicht gezeigten) Halbleitervorrichtung erfaßt der Bühnenpositi­ ons-Sensor 4 die Kontaktnahme der Meßfühler 1 mit dem Halb­ leiterwafer 2. Daraufhin bewegt sich die Bühne 3 aus dieser Kontaktposition heraus um die Einfahrstrecke nach oben, so daß der Fühlerdruck auf einen konstanten Wert eingestellt wird.

Bei dem oben erläuterten Meßvorgang berührt jedoch der Meß­ fühler 4a des Bühnenpositions-Sensors 4 die Oberfläche der Halbleitervorrichtung jedesmal dann, wenn die Halbleiter­ prüfung durchgeführt wird, wodurch die Halbleitervorrich­ tung beschädigt wird. Da die Komplexität der in derartigen Halbleitervorrichtungen vorgesehenen Schaltungen zunimmt, sind zur Durchführung der Halbleiterprüfung eine zunehmende Anzahl von Meßfühlern 1 erforderlich. Bei zunehmender An­ zahl der Meßfühler 1 kann jedoch das Vorsehen des Bühnenpo­ sitions-Sensors 4 dazu führen, daß das Layout bzw. die An­ ordnung der Meßfühler 1 behindert wird. Ein weiterer Nach­ teil dieser Meßanordnung liegt darin, daß die Neigung der Halbleitervorrichtung praktisch nicht erfaßt werden kann.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Gerät zum Testen einer Halbleitervorrichtung zu schaffen, mittels dem die Höhenposition einer Halbleitervorrichtung korrekt meßbar und die Höhe der Halbleitervorrichtung genau ein­ stellbar ist, ohne hierbei die Halbleitervorrichtung zu be­ schädigen. Das erfindungsgemäße Halbleiter-Testgerät soll ferner in der Lage sein, die jeweilige Neigung der zu testenden Halbleitervorrichtung zu erfassen und zu korri­ gieren.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den im Anspruch 1 bzw. 5 angegebenen Maßnahmen gelöst.

Das erfindungsgemäße Halbleiter-Testgerät weist demnach die folgenden wesentlichen Komponenten auf: eine Bühne zum Tra­ gen des Halbleiterwafers; eine Bühnen-Antriebsvorrichtung zum Bewegen der Bühne in einer bestimmten Richtung; eine an einer in dieser Richtung von der Bühne beabstandeten Posi­ tion befestigte Entfernungs-Meßvorrichtung, die eine Licht­ quelle zum Aussenden eines auf die Halbleitervorrichtung gerichteten Lichtstrahls, einen Sensor zum Empfangen eines von der Halbleitervorrichtung reflektierten Lichtstrahls sowie eine Betriebseinheit aufweist, die eine jeweilige Entfernung zur Halbleitervorrichtung als eine Funktion des Ausgangssignals des Sensors ermittelt; und eine Steuerein­ richtung, welche die Bühnen-Antriebsvorrichtung derart an­ steuert, daß die Bühne in der genannten Richtung in Abhän­ gigkeit von einem Ausgangssignal der Entfernungs-Meßvor­ richtung positioniert wird.

Bei der Lichtquelle kann es sich um einen Halbleiterlaser handeln. Der Sensor kann beispielsweise ein photoempfindli­ cher Detektor sein.

Die Betriebseinheit ermittelt die jeweilige Entfernung vor­ zugsweise unter Zugrundelegung der Prinzipien der Triangu­ lation bzw. Dreiecksgeometriegesetzte.

Gemäß einem weiteren Gesichtspunkt der Erfindung weist das Halbleiter-Testgerät folgende Komponenten auf: eine Bühne zum Tragen des Halbleiterwafers; eine Vielzahl von Bühnen- Antriebsvorrichtungen, die an verschiedenen Stellen mit der Bühne gekoppelt sind und von denen jede die Bühne in einer Richtung bewegt; eine Vielzahl von Entfernungs-Meßvorrich­ tungen, die an einer in der ersten Richtung von der Bühne beabstandeten Position befestigt sind und von denen jede eine Lichtquelle zum Aussenden eines auf die Halbleitervor­ richtung gerichteten Lichtstrahls, einen Sensor zum Empfan­ gen eines von der Halbleitervorrichtung reflektierten Lichtstrahls sowie eine Betriebseinheit aufweist, die eine jeweilige Entfernung zur Halbleitervorrichtung in Abhängig­ keit von einem Ausgangssignal des Sensors ermittelt; und eine Steuereinrichtung, welche die Bühnen-Antriebsvorrich­ tungen derart ansteuert, daß die Bühne in der ersten Rich­ tung in Abhängigkeit von Ausgangssignalen der Entfernungs- Meßvorrichtungen positioniert wird.

Die Steuereinrichtung ist vorzugsweise so ausgebildet, daß sie in der Lage ist, die Bühnen-Antriebsvorrichtungen unab­ hängig voneinander anzusteuern. Gemäß einer anderen Weiter­ bildung der Erfindung ist die Steuereinrichtung in der La­ ge, die Bühnen-Antriebsvorrichtungen so anzusteuern, daß die von den Betriebseinheiten ermittelten Entfernungen ei­ nen konstanten Wert annehmen.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 anhand eines Blockschaltbilds ein Halbleiter- Testgerät gemäß einem ersten, bevorzugten Ausführungs­ beispiel der Erfindung;

Fig. 2 das Halbleiter-Testgerät der Fig. 1 in einer perspektivischen Teilansicht;

Fig. 3 anhand eines Blockschaltbilds eine Entfernungs- Meßeinheit;

Fig. 4 anhand eines Blockschaltbilds ein Halbleiter- Testgerät gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 5 das Halbleiter-Testgerät der Fig. 4 in einer perspektivischen Teilansicht; und

Fig. 6 ein herkömmliches Halbleiter-Testgerät.

In Fig. 1 ist anhand eines Blockschaltbilds ein erstes Aus­ führungsbeispiel des erfindungsgemäßen Halbleiter-Testge­ räts bzw. -Prüfgeräts gezeigt, wobei die Fig. 2 das in Fig. 1 gezeigte Gerät in einer perspektivischen Teilansicht wie­ dergibt. Dieses Halbleiter-Testgerät weist eine drei-dimen­ sional bzw. in drei Richtungen bewegbare Bühne bzw. Platt­ form 3 auf. Mit der Bühne 3 sind (nicht gezeigte) Antriebs­ mechanismen gekoppelt, mittels denen die Bühne 3 in der X-, Y- bzw. Z-Richtung bewegt bzw. verstellt werden kann. Je­ weilige Ausgangssignale aus einer X-Achsen-Ansteuereinheit 10 _X, aus einer Y-Achsen-Ansteuereinheit 10 _Y sowie aus einer Z-Achsen-Ansteuereinheit 10 _Z steuern die Bewegung der Bühne 3 in der X-, Y- bzw. Z-Richtung. Die Antriebsmechanismen sowie die Ansteuereinheiten sind 10 _X, 10 _Y und 10 _Z bilden gemeinsam eine Bühnen-Antriebsvorrichtung, mittels der die Bühne 3 drei-dimensional bewegbar ist.

Ein feststehender bzw. nicht bewegbarer Meßfühler 7 ist oberhalb der Bühne 3 befestigt. Durch geeignetes Positio­ nieren bzw. Verstellen der eine Halbleiterscheibe bzw. ei­ nen Halbleiterwafer 2 tragenden Bühne 3 in der Z-Richtung, werden Meßfühler 1 in Kontakt mit einer in dem Halbleiter­ wafer 2 ausgebildeten Halbleitervorrichtung 2a gebracht.

In Fig. 3 ist der prinzipielle Aufbau einer Entfernungs- Meßeinheit 20 schematisch dargestellt. Die Entfernungs-Meß­ einheit 20 ist an einer Position befestigt, die von der Oberseite des feststehenden Meßfühlers 7 um eine vorbe­ stimmte Entfernung bzw. Strecke beabstandet ist. Die Ent­ fernungs-Meßeinheit 20 beinhaltet einen Halbleiterlaser 21 zum Erzeugen eines Laserstrahls L. Der aus dem Halbleiter­ laser 21 austretende Laserstrahl L wird über einen Spiegel 22 auf die Halbleitervorrichtung 2a gerichtet, um die Ent­ fernung zur Halbleitervorrichtung 2a zu messen. Der von der Halbleitervorrichtung 2a reflektierte Laserstrahl wird auf einem Sensor in Form eines photoempfindlichen Detektors 23 fokussiert. Ein von dem photoempfindlichen Detektor 23 aus­ gegebenes Signal wird zu einem Betriebsteil bzw. zu einer Ausführungseinheit 24 übertragen, welche die Entfernung zwischen der Halbleitervorrichtung 3a und der Entfernungs- Meßeinheit 20 unter Zugrundelegung des Prinzips der Trian­ gulation bzw. der Gesetze der Dreiecksgeometrie berechnet, um einem Steuersystem 30 ein Signal S zuzuführen, das sich auf die berechnete Entfernung bezieht bzw. diese angibt.

Die Betriebsabläufe des Halbleiter-Testgeräts werden nach­ folgend näher erläutert. Der eine Mehrzahl von Halbleiter­ vorrichtungen 2a aufweisende Halbleiterwaver 2 ist auf der Bühne angeordnet. Um den Halbleiterwafer 2 auf der Bühne 3 mittels eines Saugvorgangs festzuhalten, wird eine (nicht gezeigte) Saugvorrichtung in Betrieb gesetzt. Das Steuer­ system 30 führt den X- und Y-Achsen-Ansteuereinheiten 10 _X und 10 _Y Steuersignale zu, um die Bühne 3 in der X- und Y- Richtung derart zu positionieren, daß sich die zu testenden Halbleitervorrichtung 2a unmittelbar unterhalb des festste­ henden Meßfühlers 2 befindet.

Die Entfernungs-Meßeinheit 20 berechnet die Entfernung zur Halbleitervorrichtung 2a und führt das diese Entfernung an­ gebene Signal S dem Steuersystem 30 zu. Das Steuersystem 30 steuert die Position der Bühne 3 in der Z-Richtung als Funktion bzw. auf der Basis des Signals S. Zu diesem Zweck wird die Bühne 3 in der Z-Richtung langsam nach oben be­ wegt, während die Entfernungs-Meßeinheit 20 gleichzeitig die Entfernung zur Halbleitervorrichtung 2a kontinuierlich erfaßt. Sobald die Meßfühler 1 mit der Halbleitervorrich­ tung 2 in Kontakt geraten, wird der Z-Achsen-Ansteuerein­ heit 10 _Z von dem Steuersytem 30 ein derartiges Steuersignal zugeführt, daß die Bühne 3 anhält. Die Beurteilung darüber, ob ein Kontakt herbeigeführt wurde, wird getroffen, sobald eine Differenz zwischen einer (konstanten) Entfernung von dem feststehenden Meßfühler 7 zur Entfernungs-Meßeinheit 20 und einem von der Entfernungs-Meßeinheit 20 gemessenen Wert einen vorbestimmten Wert erreicht.

Daraufhin wird die Bühne 3 um die Einfahrstrecke in der Z- Richtung nach oben bewegt, um auf diese Weise den Fühler­ druck bzw. den Messungs-Andruck einzustellen. Mittels eines (nicht gezeigten) Test- bzw. Prüfgeräts werden der jeweili­ gen Halbleitervorrichtung 2a über die Meßfühler 1 geeignete elektrische Signale zugeführt und über die Meßfühler 1 von der Halbleitervorrichtung 2a wieder abgenommen, um Testab­ läufe durchzuführen, die im Voraus programmiert worden sind.

Der vorstehend erläuterte Ablauf wird jedesmal dann durch­ geführt, wenn eine Halbleitervorrichtung geprüft wird.

Da die Entfernungs-Meßeinheit 20 eine optische Einrichtung darstellt und daher die Entfernung zur Halbleitervorrich­ tung 2a kontaktlos erfaßt, kann die Entfernung erfindungs­ gemäß ohne jegliche Beschädigung der Halbleitervorrichtung 2a gemessen werden. Bevor jede der Halbleitervorrichtungen 2a getestet wird, wird die Bühne 3 unter Zugrundelegung der ermittelten Entfernung bewegt, um die Halbleitervorrichtung 2a in der Z-Richtung exakt zu positionieren. Hierdurch wird gewährleistet, daß die Halbleitervorrichtung 2a mit einem konstanten Fühlerdruck beaufschlagt wird, so daß ein äußerst genauer Test erzielbar ist.

In Fig. 4 ist anhand eines Blockschaltbilds ein zweites Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Halbleiter-Test­ geräts dargestellt, während Fig. 5 das Halbleiter-Testgerät der Fig. 4 in einer perspektivischen Teilansicht zeigt. Zwischen dem ersten und zweiten Ausführungsbeispiel beste­ hen zwei wesentliche Unterschiede. Einer dieser Unter­ schiede liegt darin, daß das Halbleiter-Testgerät des zwei­ ten Ausführungsbeispiels drei Antriebsmechanismen zum ver­ tikalen Bewegen der Bühne 3 aufweist. Diese drei Antriebs­ mechanismen sind mit der Bühne 3 an verschiedenen Stellen gekoppelt. Die Bühne 3 ist demzufolge in der Lage, sich nach Maßgabe eines Signals aus einer Z1-Achsen-Ansteuerein­ heit 10 _Z1 entlang einer Z1-Achse, sich nach Maßgabe eines Signals aus einer Z2-Achsen-Ansteuereinheit 10 _Z2 entlang einer Z2-Achse und sich nach Maßgabe eines Signals aus ei­ ner Z3-Achsen-Ansteuereinheit 10 _Z3 entlang einer Z3-Achse zu bewegen. Die Z1-, Z2- und Z3-Achsen verlaufen im wesent­ lichen rechtwinklig sowohl zur X- als auch zur Y-Achse.

Ein weiterer Unterschied liegt darin, daß das zweite Aus­ führungsbeispiel des Halbleiter-Testgeräts insgesamt drei Entfernungs-Meßeinheiten aufweist, von denen jede den glei­ chen Aufbau wie die des ersten Ausführungsbeispiels be­ sitzt. Von den jeweiligen Entfernungs-Meßeinheiten 20a, 20b und 20c ausgesendete Laserstrahlen La, Lb und Lc treffen auf verschiedene Oberflächenbereiche in der zu testenden Halbleitervorrichtung auf, so daß die Entfernungen zu den jeweiligen Bereichen erfaßt werden.

Der übrige Aufbau des zweiten Ausführungsbeispiels ist ähn­ lich dem des ersten Ausführungsbeispiels. Im zweiten Aus­ führungsbeispiel sind zur Bezeichnung identischer oder ent­ sprechender Teile die jeweils gleichen Bezugszeichen ver­ wendet, weshalb auf eine erneute Beschreibung dieser Teile verzichtet wird.

Nachfolgend werden die Betriebsabläufe des zweiten Ausfüh­ rungsbeispiels näher erläutert. In ähnlicher Weise wie beim ersten Ausführungsbeispiel wird zunächst der Halbleiterwa­ fer auf der Bühne 3 angeordnet und vor dem Montage- bzw. Prüfvorgang auf der Bühne 3 durch Saugen befestigt. Die Po­ sitionierung der Bühne 3 in der X- und Y-Richtung wird un­ ter Zugrundelegung der Steuersignale aus dem Steuersystem 30 derart festgelegt, daß sich die jeweils zu testende Halbleitervorrichtung 2a unmittelbar unterhalb des festste­ henden Meßfühlers 7 befindet.

Die Entfernungs-Meßeinheiten 20a, 20b und 20c berechnen je­ weilige Entfernungen ha, hb und hc zur Halbleitervorrich­ tung 2a und senden dem Steuersystem 30 Signale Sa, Sb und Sc, die sich auf die Entfernung ha, hb bzw. hc beziehen. Unter fortlaufender Berücksichtigung der Signale Sa, Sb und Sc erzeugt das Steuersystem 30 Steuersignale in der Weise, daß die Bühne 3 entlang der Z1-, Z2- und Z3-Achsen langsam nach oben bewegt wird. Sobald die von den Entfernungs-Meß­ einheiten 20a, 20b und 20c erfaßten Entfernungen ha, hb und hc einen konstanten Wert annehmen, wird die Bühne 3 ange­ halten. Wenn die Halbleitervorrichtung 2a geneigt ist, sind die von den Entfernungs-Meßeinheiten 20a, 20b und 20c er­ faßten Entfernungen ha, hb und hc zueinander unterschied­ lich. In diesem Fall werden die Bewegungsstrecken entlang der Z1-, Z2- und Z3-Achse unabhängig gesteuert, um die Bühne 3 derart zu positionieren, daß die erfaßten Entfer­ nungen ha, hb und hc einen konstanten Wert annehmen bzw. gleich groß werden. Hierdurch wird erreicht, daß die Halb­ leitervorrichtung 2a in einer vorbestimmten Höhenposition positioniert wird und keinerlei Neigung aufweist. Daraufhin wird die Bühne 3 in der Z-Richtung um die Einfahrstrecke nach oben bewegt, um den eingestellten Fühlerdruck aufzu­ bringen. Daraufhin werden die im Voraus programmierten Testabläufe ausgeführt.

Bei dem zweiten Ausführungsbeispiel projizieren die drei Entfernungs-Meßeinheiten die Laserstrahlen auf unterschied­ liche Oberflächenbereiche in der zu testenden Halbleiter­ vorrichtung 2a, um gemäß vorstehender Beschreibung die Ent­ fernung ha, hb und hc zu erfassen. Hierdurch wird eine ge­ naue Erfassung der Neigung der Halbleitervorrichtung 2a ge­ währleistet. Da die Bühne 3 entlang der Z1-, Z2- und Z3- Achsen unter Zugrundelegung der erfaßten Entfernungen ha, hb und hc unabhängig bewegt wird, kann die Neigung der Halbleitervorrichtung 2a genau und ohne Schwierigkeiten korrigiert werden.

Obgleich beim zweiten Ausführungsbeispiel drei Entfernungs- Meßeinheiten vorgesehen sind, sind zur Erfassung der Nei­ gung der Halbleitervorrichtung zwei oder mehr Entfernungs- Meßeinheiten ausreichend.

Beim zweiten Ausführungsbeispiel sind zur vertikalen Ver­ stellung der Bühne 3 insgesamt drei Antriebsmechanismen vorgesehen. In ähnlicher Weise wie die Anzahl der Entfer­ nungs-Meßeinheiten ist jedoch die Anzahl der Antriebsmecha­ nismen nicht auf drei beschränkt. Vielmehr kann eine Viel­ zahl von Antriebsmechanismen vorgesehen werden.

Die Entfernungs-Meßeinheiten beim ersten und zweiten Aus­ führungsbeispiel messen die jeweilige Entfernung zur Halb­ leitervorrichtung 2a unter Zugrundelegung des Prinzips der Triangulation. Zur Messung der Entfernung können jedoch noch andere Prinzipien herangezogen werden, wie beispiels­ weise die Interferenz des Lichts. Als Lichtquelle muß nicht notwendigerweise der in den Ausführungsbeispielen verwen­ dete Halbleiterlaser herangezogen werden. Beispielsweise können auch Infrarotstrahlen, Ultraviolettstrahlen und Röntgenstrahlen verwendet werden. Unter dem Begriff "Lichtstrahl" können erfindungsgemäß vielmehr Laserstrah­ len, infrarote und ultraviolette Strahlen sowie Röntgen­ strahlen verstanden werden.

Bezüglich weiterer, nicht näher erläuterter Vorteile und Wirkungen der Erfindung, wird ausdrücklich auf die Offenba­ rung der Zeichnung verwiesen.

Claims (7)

1. Gerät zum Testen einer in einem Halbleiterwafer (2) aus­ gebildeten Halbleitervorrichtung (2a), mit:
einer Bühne (3) zum Tragen des Halbleiterwafers (2);
einer Bühnen-Antriebsvorrichtung (10 _Z) zum Bewegen der Bühne (3) in einer bestimmten Richtung;
einer Entfernungs-Meßvorrichtung (20), die an einer in der genannten Richtung von der Bühne (3) beabstandeten Position befestigt ist und eine Lichtquelle (21) zum Aussenden eines auf die Halbleitervorrichtung (2a) gerichteten Lichtstrahls (L), einen Sensor (23) zum Empfang eines von der Halblei­ tervorrichtung (2a) reflektierten Lichtstrahls sowie eine Betriebseinheit (24) aufweist, die eine Entfernung zur Halbleitervorrichtung (2a) auf der Basis eines Ausgangssi­ gnals des Sensors (23) ermittelt; und
einer Steuereinrichtung (30), welche die Bühnen-Antriebs­ vorrichtung (10 _Z) derart ansteuert, daß die Bühne (3) in der genannten Richtung unter Zugrundelegung eines Ausgangs­ signals (S) der Entfernungs-Meßvorrichtung (20) positio­ niert wird.

2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle ein Halbleiterlaser (21) ist.

3. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor ein photoempfindlicher Detektor (23) ist.

4. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Betriebseinheit (24) die Entfernung auf der Basis des Prinzips der Triangulation ermittelt.

5. Gerät zum Testen einer in einem Halbleiterwafer (2) ausgebildeten Halbleitervorrichtung (2a), mit:
einer Bühne (3) zum Halten des Halbleiterwafers (2);
einer Vielzahl von Bühnen-Antriebsvorrichtungen (10 _Z1 bis 10 _Z3), die an verschiedenen Stellen mit der Bühne (3) ge­ koppelt sind und von denen jede die Bühne (3) in einer Richtung bewegt;
einer Vielzahl von Entfernungs-Meßvorrichtungen (20a, 20b, 20c), die an einer in der ersten Richtung von der Bühne (3) beabstandeten Position befestigt sind und von denen jede eine Lichtquelle (21) zum Aussenden eines auf die Halblei­ tervorrichtung (2a) gerichteten Lichtstrahls, einen Sensor (23) zum Empfang eines von der Halbleitervorrichtung (2a) empfangenen Lichtstrahls sowie eine Betriebseinheit (24) aufweist, welche die jeweilige Entfernung zur Halbleiter­ vorrichtung (2a) auf der Basis eines Ausgangssignals des Sensors (23) ermittelt; und
einer Steuereinrichtung (30) zur Ansteuerung der Bühnen-An­ triebsvorrichtungen in der Weise, daß die Bühne (3) in der ersten Richtung unter Zugrundelegung von Ausgangssignalen der Entfernungs-Meßvorrichtungen (20a, 20b, 20c) positio­ nierbar ist.

6. Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinrichtung (30) eine Einrichtung zur unabhängigen Ansteuerung der Bühnen-Antriebsvorrichtungen aufweist.

7. Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ansteuereinrichtung (30) eine Einrichtung aufweist, welche die Bühnen-Antriebsvorrichtungen derart ansteuert, daß die von dem Betriebseinheiten (24) ermittelten Entfernungen ei­ nen konstanten Wert annehmen.