DE4226828B4 - CCD Bildsensor - Google Patents

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Abstract

CCD Bildsensor mit:
– einer Mehrzahl von VCCD Bereichen (VCCD), die in Horizontalrichtung mit konstantem Abstand zueinander angeordnet sind, wobei jeder der VCCD Bereiche (VCCD) in Vertikalrichtung mäanderförmig mit einer Reihe gekrümmter Abschnitte ausgebildet ist und eine gewünschte Länge aufweist;
– einer Mehrzahl von Gruppen von ersten bis vierten Fotodioden (PD61, PD62, PD63, PD64), die jeweils eine Signalladung in Anwort auf einfallendes Licht erzeugen und die jeweils durch Kanalstoppbereiche (ST) von benachbarten VCCD Bereichen (VCCD) auf beiden Seiten isoliert sind, wobei jeweils:
– die erste Fotodiode (PD61) einer Gruppe auf einer ungeradzahligen Horizontalabtastlinie auf der linken Seite eines der gekrümmten Abschnitte der jeweiligen VCCD Bereiche (VCCD) liegt,
– die dritte Fotodiode (PD63) einer Gruppe auf einer ungeradzahligen Horizontalabtastlinie auf der rechten Seite eines der gekrümmten Abschnitte der jeweiligen VCCD Bereiche (VCCD) liegt,
– die zweite Fotodiode (PD62) einer Gruppe auf einer geradzahligen Horizontalabtastlinie auf der...

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf einen CCD Bildsensor, insbesondere auf einen solchen CCD Bildsensor (charge coupled device image sensor), der eine Mehrzahl von vertikalen ladungsgekoppelten Einrichtungen (VCCDs), die in Vertikalrichtung entsprechend einem Mäandermuster verlaufen, und eine Merzahl von Gruppen von Fotodioden aufweist, wobei die Fotodioden der jeweiligen Gruppen jeweils an der linken und an der rechten Seite eines jeden VCCDs vorhanden sind, so daß sich bei derselben Chip-Größe eine verbesserte Bildauflösung ergibt.
  • Generell kann eine CCD als aktive Einrichtung angesehen werden, die unter Steuerung eines Taktpulses eine Signalladung in Übereinstimmung mit auftreffendem Licht überträgt, das entlang eines vorbestimmten Weges einfällt. Eine derartige CCD wird typischerweise in Bildverarbeitungseinrichtungen verwendet, beispielsweise in Speichereinrichtungen, Logikelementen, CCD Bildsensoren, usw.
  • Die Abtastung des CCD Bildsensors, der eine CCD verwendet, kann dabei verschachtelt bzw. im Zeilensprungverfahren oder nicht verschachtelt erfolgen.
  • Bei der nichtverschachtelten Abtastung (non-interlaced scanning) werden die Bilder Zeile für Zeile abgetastet und sequentiell auf den Bildschirm geschrieben. Bei der verschachtelten Abtastung bzw. beim Zeilensprungverfahren (interlaced scanning) sind dagegen Halbbilder vorhanden, die jeweils eine Mehrzahl von geradzahligen Halbbildern (even fields) und eine Mehrzahl von ungeradzahligen Halbbildern (odd fields) aufweisen. Beim Schreiben auf den Bildschirm werden zunächst die Zeilen des einen Halbbildes wiedergegeben, während anschließend die Zeilen des anderen Halbbildes geschrieben werden um ein vollständiges Bild darzustellen.
  • Hieraus ergibt sich, daß bei der nicht verschachtelten Abtastung eine hohe Abtastrate erzielt werden kann, so daß sich aktuelle Bilder von sich schnell bewegenden Objekten einwandfrei aufnehmen lassen. Die nicht verschachtelte Abtastung kommt daher insbesondere bei militärisch genutzten Objekten zum Einsatz, beispielsweise bei Raketen.
  • Problematisch bei der nicht verschachtelten Abtastung ist es allerdings, daß die Bilder auf dem Schirm zittern.
  • Im Gegensatz dazu werden bei der verschachtelten Abtastung (interlaced scanning) stabilere Bilder erhalten, jedoch bei geringerer Abtastrate als bei der nicht verschachtelten Abtastung. Für ein sich schnell bewegendes Objekt ergeben sich allerdings zwei Bilder. Aus diesem Grunde ist die verschachtelte Abtastung bei militärischen Anwendungen ungeeignet und kommt somit vorwiegend nur im Rundfunkbereich zum Einsatz, beispielsweise bei NTSC Systemen oder bei PAL Systemen.
  • Ein Beispiel eines konventionellen CCD Bildsensors für verschachtelte Abtastung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die 1 bis 4 näher beschrieben.
  • Die 1 zeigt den schematischen Aufbau eines konventionellen CCD Bildsensors für die verschachtelte Abtastung. Dieser konventionelle CCD Bildsensor enthält eine Mehrzahl von vertikalen Ladungskopplungseinrichtungs-Bereichen VCCD, die in Horizontalrichtung unter konstantem Abstand zueinander angeordnet sind, wobei jeder dieser Bereiche VCCD eine gewünschte Länge in Vertikalrichtung aufweist. Der herkömmliche CCD Bildsensor umfaßt weiter eine Mehrzahl von Gruppen von Fotodioden PD, die jeweils zur Erzeugung einer Signalladung in Antwort auf einfallendes Licht dienen, wobei die Fotodioden PD der jeweiligen Gruppen an einer Seite eines jeden großen VCCD Bereichs und unter konstantem Abstand in Vertikalrichtung zueinander angeordnet sind. Ferner ist ein horizontaler Ladungskopplungseinrichtungs-Bereich HCCD vorhanden, um in Horizontalrichtung Signalladungen zu übertragen, die ihm von den Fotodioden PD über die VCCD Bereiche zugeführt worden sind. Ein Abtastverstärker AMP dient zur Umwandlung der Signalladungen vom Bereich HCCD in eine Spannungsinformation sowie zur externen Ausgabe dieser Information.
  • Die 2 zeigt ein Layout-Diagramm des Aufbaus des konventionellen CCD Bildsensors nach 1. Entsprechend der 2 sind Transfergates TG zur Übertragung der Signalladungen von den Fotodioden PD zu den Bereichen VCCD vorhanden. Da jedes der Bilder die beiden Halbbilder bzw. ein ungeradzahliges und ein geradzahliges Halbbild umfaßt, weist der CCD Bildsensor zwei Typen von Transfergates TG1 und TG2 auf, und zwar für die jeweils ungeradzahligen und die geradzahligen Halbbilder. Die ersten Transfergates TG1 dienen dazu, die Signalladungen von den Fotodioden PD1 zu den Bereichen VCCD zu übertragen, wobei die Fotodioden PD1 an ungeradzahligen Stellen in Vertikalrichtung und damit im ungeradzahligen Halbbild liegen bzw. auf den ungeradzahligen Horizontalabtastzeilen angeordnet sind. Dagegen dienen die zweiten Transfergates TG2 dazu, Signalladungen von den Fotodioden PD2 zu den Bereichen VCCD zu übertragen, wobei die Fotodioden PD2 an geradzahligen Stellen in Vertikalrichtung und damit im geradzahligen Halbbild angeordnet sind bzw. auf den geradzahligen Horizontalabtastzeilen liegen.
  • Mit den ersten und zweiten Transfergates TG1 und TG2 sind jeweils Transfergate-Elektroden PG1 und PG2 verbunden, so daß die Signalladungen von den Fotodioden PD zu den Bereichen VCCD in Antwort auf VCCD Taktsignale Vϕ1-Vϕ4 übertragen werden können. Diese Taktsignale weisen vier Phasen auf und werden an die Transfergate-Elektroden PG1 und PG2 angelegt. Ein Taktsignal entspricht dabei einer Phase.
  • Die 3a zeigt einen Querschnitt entlang der Linie a-a' von 2, um Bereiche zu erläutern, in denen sich die Transfergates befinden. Dagegen zeigt die 3b einen Querschnitt entlang der Linie b-b' von 2, um Bereiche zu erläutern, in denen keine Transfergates vorhanden sind. Der konventionelle CCD Bildsensor enthält ein N Typ Substrat 100, auf dem sich eine Schicht 200 (Bett oder Wanne) vom P Typ befindet. Die N Typ Fotodioden PD und die N Typ VCCD Bereiche VCCD sind der Reihe nach abwechselnd auf dem N Typ Substrat 100 angeordnet, wobei jeweils nebeneinanderliegende Fotodioden PD und VCCD Bereiche VCCD über einen gewünschten Abstand hinweg gegeneinander mit Hilfe von Kanalstoppbereichen ST isoliert sind. Auf der Oberfläche einer jeden N Typ Fotodiode PD befindet sich eine dünne Schicht 300 vom P+ Typ, an die eine Anfangsvorspannung angelegt werden kann. Im vorliegenden Fall besteht die P Typ Schicht 200 aus zwei Typen von Schichten, nämlich aus einer flachen P Typ Schicht 200a und aus einer tiefen P Typ Schicht 200b, um die Über lauf-Drain-Spannung (OFD) zu steuern (over flow drain voltage). Die flache P Typ Schicht 200a befindet sich jeweils unter den N Typ Fotodioden PD, während sich die tiefe P Typ Schicht 200b unter jedem der N Typ VCCD Bereiche VCCD befindet.
  • Wie in 3a zu erkennen ist, liegt eine erste Transfergate-Elektrode PG1b der Transfergate-Elektrode PG1 oberhalb des N Typ VCCD Bereichs VCCD sowie oberhalb des Kanalstoppbereichs ST, um das erste Taktsignal Vϕ1 anlegen zu können. Das erste Transfergate TG1 ist mit der ersten Transfergate-Elektrode PG1b verbunden, um darüber die Fotodiode PD mit dem VCCD Bereich VCCD zu verbinden.
  • Entsprechend der 3b befindet sich die zweite Transfergate-Elektrode PG1a der Transfergate-Elektrode PG1 oberhalb des N Typ VCCD Bereichs VCCD und des Kanalstoppbereichs ST, um das zweite Taktsignal Vϕ2 anlegen zu können. Die Fotodiode PD und der VCCD Bereich VCCD sind gegen einander über einen gewünschten Abstand isoliert, und zwar durch den Kanalstoppbereich ST.
  • 4 zeigt ein Pixelformat für ein Bild oder einen Rahmen, das bzw. der von einem konventionellen CCD Image Sensor mit nichtverschachtelter Abtastung geliefert wird.
  • Beim oben beschriebenen konventionellen CCD Bildsensor mit verschachtelter Abtastung sind, wie bereits erwähnt, Fotodioden jeweils nur an einer Seite der VCCD Bereiche vorhanden, was den Nachteil mit sich bringt, daß er nur ein geringes Bildauflösungsvermögen aufweist. Es wurde daher bereits vorgeschlagen, den Bereich der Fotodioden auszudehnen, um das Bildauflösungsvermögen zu verbessern. Dies führt allerdings zu Schwierigkeiten, wenn die Chip-Größe nicht verändert werden soll, da die Bereiche der Fotodioden durch die VCCD Bereiche begrenzt werden. Der genannte Vorschlag hat mit anderen Worten eine Chip-Vergrößerung zur Folge.
  • Aus der CH 607 333 A5 ist eine Festkörperbildaufnahmevorrichtung bekannt, bei der zickzack- oder mäanderförmige VCCDs vorgesehen sind, die jeweils in einem konkaven Bereich zwei Fotodioden aufweisen, von denen die eine zu einer ungeraden und die andere zu einer geraden Horizonalabtastzeile gehören. Die Fotodioden der darauffolgenden beiden Horizontalabtastzeilen sind dann auf der anderen Seite des zickzackförmigen VCCDs angeordnet und in herkömmlicher Weise im entsprechenden Zeilenabstand von den vorhergehenden ebenso wie von den nachfolgenden Fotodioden der gleichen Spalte beabstandet.
  • Aus der US 4 602 289 ist ein weiterer CCD Bildsensor bekannt, bei dem die mäanderförmigen VCCDs im Vierphasenbetrieb angesteuert werden.
  • Die DE 37 11 880 A1 beschreibt einen Festkörperbildsensor bei dem die Elektroden des VCCDs so ausgebildet sind, das sie gleichzeitig als Transfergate-Elektroden genutzt werden können. Dieser bekannte Festkörperbildsensor entspricht dabei dem anhand der 1 bis 4 erläuterten Stand der Technik.
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen CCD Bildsensor zu schaffen, der bei gleicher Chip-Größe ein verbessertes Auflösungsvermögen aufweist.
  • Diese Aufgabe wird durch den CCD Bildsensor nach Patentanspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
  • Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben. Es zeigen:
  • 1 den schematischen Aufbau eines konventionellen CCD Bildsensors mit verschachtelter Abtastung,
  • 2 ein Layout-Diagramm des Aufbaus des konventionellen CCD Bildsensors nach 1,
  • 3a einen Querschnitt entlang der Linie a-a' von 2,
  • 3b einen Querschnitt entlang der Linie b-b' von 2,
  • 4 ein Pixelformat eines Bildes oder eines Rahmens, erhalten mit dem konventionellen CCD Bildsensor mit verschachtelter Abtastung,
  • 5 den Aufbau eines CCD Bildsensors nach der Erfindung mit verschachtelter Abtastung,
  • 6 ein Layout-Diagramm des Aufbaus des CCD Bildsensors mit verschachtelter Abtastung nach 5,
  • 7a einen Querschnitt entlang der Linie c-c' von 6,
  • 7b einen Querschnitt entlang der Linie d-d' von 6,
  • 8a ein Pixelformat eines Bildes oder eines Rahmens, erhalten durch den CCD Bildsensor nach der Erfindung mit verschachtelter Abtastung, und
  • 8b ein Pixelformat eines anderen Bildes, erhalten durch den CCD Bildsensor nach der vorliegenden Erfindung mit verschachtelter Abtastung.
  • Die 5 zeigt eine schematische Darstellung des Aufbaus eines CCD Bildsensors mit verschachtelter Abtastung in Übereinstimmung mit der Erfindung. Gemäß 5 enthält der CCD Bildsensor eine Mehrzahl von VCCD Bereichen VCCD, die in Horizontalrichtung in konstanten Intervallen relativ zueinander angeordnet sind. Jeder der VCCD Bereiche VCCD weist eine mäanderförmige Struktur auf mit einer Serie von gekrümmten Bereichen in Vertikalrichtung, wobei sich die VCCD Bereiche über eine gewünschte Länge in Vertikalrichtung erstrecken. Ferner enthält der CCD Bildsensor nach der Erfindung eine Mehrzahl von Gruppen von ersten bis vierten Fotodioden PD61-PD64, von denen jede eine Signalladung in Antwort auf einfallendes Licht erzeugt. Die ersten bis vierten Fotodioden PD61-PD64 der jeweiligen Gruppen befinden sich jeweils sowohl links als auch rechts von einem jeden VCCD Bereich VCCD und sind darüber hinaus gegenüber den benachbarten VCCD Bereichen mit Hilfe von Kanalstoppbereichen ST elektrisch isoliert. Genauer gesagt sind die ersten Fotodioden PD61 an den linken Seiten der gekrümmten Bereiche der jeweiligen VCCD Bereiche VCCD sowie auf den ungeradzahligen Horizontalabtastzeilen angeordnet, während die zweiten Fotodioden PD62 jeweils an den rechten Seiten der gekrümmten Bereiche der jeweiligen VCCD Bereiche VCCD sowie auf den geradzahligen Horizontalabtastzeilen angeordnet sind. Die dritten Fotodioden PD63 sind jeweils an den rechten Seiten der gekrümmten Bereiche der jeweiligen VCCD Bereiche VCCD sowie auf den ungeradzahligen Horizontalabtastzeilen angeordnet, während die vierten Fotodioden PD64 jeweils an den linken Seiten der gekrümmten Bereiche der jeweiligen VCCD Bereiche VCCD sowie auf den geradzahligen Horizontalabtastzeilen angeordnet sind.
  • Auch der CCD Bildsensor nach der vorliegenden Erfindung enthält einen HCCD Bereich HCCD, um Signalladungen in Horizontalrichtung übertragen zu können, welche ihm von den ersten bis vierten Fotodioden PD61-PD64 über die VCCD Bereiche VCCD übertragen worden sind. Ein Abtastverstärker AMP dient zur Umwandlung der Signalladungen vom HCCD Bereich HCCD in eine Spannungsinformation sowie zur Ausgabe dieser Information nach außen.
  • Die 6 zeigt ein Layout-Diagramm des Aufbaus des CCD Bildsensors nach 5 mit verschachtelter Abtastung. Wie anhand dieser 5 zu erkennen ist, enthält der CCD Bildsensor nach der Erfindung eine Serie von vier Transfergates TG1-TG4 zur Übertragung der Signalladungen von den Fotodioden PD61-PD64 zu den VCCD Bereichen VCCD. Im einzelnen dienen die ersten Transfergates TG1 zur Übertragung der Signalladungen von den ersten Fotodioden PD61 zu den VCCD Bereichen VCCD, wobei sich die ersten Fotodioden PD61 an den linken Seiten der gekrümmten Bereiche der jeweiligen VCCD Bereiche VCCD sowie auf den ungeradzahligen Horizontalabtastzeilen und damit im ungeradzahligen Halbbild befinden. Die zweiten Transfergates TG2 dienen zur Übertragung der Signalladungen von den zweiten Fotodioden PD62 zu den VCCD Bereichen VCCD, wobei sich die zweiten Fotodioden PD62 jeweils an den rechten Seiten der gekrümmten Bereiche der jeweiligen VCCD Bereiche VCCD sowie auf den gradzahligen Horizontalabtastzeilen des gradzahligen Halbbilds befinden. Ferner dienen die dritten Transfergates TG3 zur Übertragung der Signalladungen von den dritten Fotodioden PD63 zu den jeweiligen VCCD Bereichen VCCD, wobei sich die dritten Fotodioden PD63 jeweils an den rechten Seiten der gekrümmten Bereiche der jeweiligen VCCD Bereiche VCCD sowie auf den ungeradzahligen Horizontalabtastzeilen und damit im ungeradzahligen Halbbild befinden, während die vierten Transfergates TG4 dazu dienen, Signallaldungen vond en vierten Fotodioden PD64 zu den VCCD Bereichen VCCD zu übertragen, wobei sich die vierten Fotodioden PD64 jeweils an den linken Seiten der gekrümmten Bereiche der jeweiligen VCCD Bereiche VCCD sowie auf den geradzahligen Horizontalabtastzeilen und damit im geradzahligen Halbbild befinden.
  • Die jeweiligen Fotodioden PD61-PD64 weisen jeweils eine Breite a1 auf, die gleich der Breite a2 der jeweiligen VCCD Bereiche VCCD ist. Darüber hinaus befinden sich die dritten Fotodioden PD63 und die vierten Fotodioden PD64 auf einer geraden Linie, die in Vertikalrichtung verläuft.
  • Mit dem ersten Transfergate TG1 ist eine erste Transfergate-Elektrode PG1b verbunden, an die das erste VCCD Taktsignal Vϕ1 angelegt wird. Ferner ist mit dem dritten Transfergate TG3 eine zweite Transfergate-Elektrode PG-1a verbunden, an die ein zweites VCCD Taktsignal Vϕ2 angelegt wird. Mit dem vierten Transfergate TG4 ist eine dritte Transfergate-Elektrode verbunden, an die ein drittes VCCD Taktsignal Vϕ3 angelegt wird, während mit dem zweiten Transfergate TG2 eine vierte Transfergate-Elektrode verbunden ist, an die ein viertes VCCD Taktsignal Vϕ4 angelegt wird. Aus diesem Grunde werden die Signalladungen von den Fotodioden PD61-PD64 zu den VCCD Bereichen VCCD in Antwort auf die VCCD Taktsignale Vϕ1-Vϕ4 mit vier Phasen übertragen, wobei diese Taktsignale jeweils an die jeweiligen ersten bis vierten Transfergate-Elektroden angelegt werden, und wobei jeweils ein Taktsignal in Übereinstimmung mit einer der Phasen steht.
  • Es sei darauf hingewiesen, daß der CCD Bildsensor so aufgebaut sein kann, daß eine Mehrzahl von reellen Fotodioden eine virtuelle Fotodiode umgibt, und zwar in einem Fall, bei dem angenommen ist, daß die virtuelle Fotodiode ein jeweiliger VCCD Bereich VCCD ist. Eine derartige Struktur weist eine größere Betriebszuverlässigkeit beim Einschreiben von Daten in die virtuelle Fotodiode auf.
  • Die 7a zeigt einen Querschnitt entlang der Linie c-c' von 6, während die 7d einen Querschnitt entlang der Linie d-d' von 6 zeigt. Der CCD Bildsensor nach der vorliegenden Erfindung enthält ein N Typ Substrat 100 sowie eine darauf angeordnete Schicht 200 (Wanne) vom P Typ. Die VCCD Bereiche VCCD in der Schicht 200 sind vom N Typ. Die ersten und dritten N Typ Fotodioden PD61 und PD63 sind jeweils an der linken und an der rechten Seite eines jeden der VCCD Bereiche VCCD in dieser Reihenfolge sowie auf den ungeradzahligen Horizontalabtastzeilen angeordnet, und zwar oberhalb des N Typ Substrat 100, wobei eine Kanalstoppschicht ST dazu dient, die Fotodioden PD61 und PD63 jeweils gegenüber dem VCCD Bereich VCCD elektrisch zu isolieren, und zwar über einem gewünschten Abstand. Auf der Oberfläche einer jeden N Typ Fotodiode PD61 und PD63 befindet sich eine dünne Schicht 300 vom P+ Typ, an die eine Anfangsvorspannung angelegt werden kann. Im vorliegenden Fall enthält die P Typ Schicht 200 zwei Typen von Schichten bzw. Wannen, und zwar eine flache P Typ Schicht 200a und eine tiefe P Typ Schicht 200b, und zwar zur Steuerung der Überlauf-Drain-Spannung (OFD), wobei sich die flache P Typ Schicht 200a unterhalb einer jeden der N Typ Fotodioden PD61 und PD63 und die tiefe P Typ Schicht 200b unterhalb eines jeden N Typ VCCD Bereichs VCCD befindet.
  • Gemäß 7a liegt jedes der ersten Transfergates TG1 oberhalb des jeweiligen Bereichs zwischen den N Typ Fotodioden PD61 und den N Typ VCCD Bereichen VCCD, um diese Bereiche miteinander zu verbinden. Darüber hinaus liegt auch oberhalb eines jeden N Typ VCCD Bereichs und oberhalb eines jeden Kanalstoppbereichs ST die erste Transfergate-Elektrode PG1b zum Empfang des ersten VCCD Taktsignals Vϕ1. Das erste Transfergate TG1 ist mit der ersten Transfergate-Elektrode PG1b verbunden. Ferner sind die N Typ Fotodiode PD63 und der VCCD Bereich VCCD elektrisch gegeneinander isoliert, und zwar über einen gewünschten Abstand hinweg mit Hilfe des Kanalstoppbereichs ST.
  • Andererseits liegen gemäß 7b die jeweiligen dritten Transfergates TG3 oberhalb des Bereichs zwischen den jeweiligen N Typ Fotodioden PD63 und den jeweiligen N Typ VCCD Bereichen VCCD, um diese Elemente miteinander zu verbinden. Oberhalb eines jeden der N Typ VCCD Bereiche VCCD und oberhalb eines jeden der Kanalstoppbereiche ST ist ferner die zweite Transfergate-Elektrode PG1a angeordnet, an die das zweite VCCD Taktsignal Vϕ2 angelegt wird. Das dritte Transfergate TG3 ist mit der zweiten Transfergate-Elektrode PG1a verbunden. Auch die N Typ Fotodiode PD61 und der VCCD Bereich VCCD sind elektrisch gegeneinander isoliert, und zwar über einen gewünschten Abstand mit Hilfe des Kanalstoppbereichs ST.
  • 8a ist ein Pixelformat eines Bildes oder Rahmens, der von einem CCD Image Sensor mit nichtverschachtelter Abtastung gemäß der vorliegenden Erfindung geliefert wird.
  • Die Bildsignale, die nach Anlegen der Treiberspannung V1 an die ersten Transfergates TG1 in Antwort auf das erste VCCD Taktsignal Vϕ1 ausgegeben werden, sind an Positionen angeordnet, die mit "1" bezeichnet sind. Ferner sind die Bildsignale, die beim Anlegen der Treiberspannung V2 an die dritten Transfergates TG3 in Antwort auf das zweite VCCD Taktsignal Vϕ2 ausgegeben werden, an Positionen angeordnet, die mit "3" bezeichnet sind. Die Bildsignale, die bei Anlegen der Treiberspannung V3 an die vierten Transfergates TG4 in Antwort auf das dritte VCCD Taktsignal Vϕ3 ausgegeben werden, befinden sich an Positionen, die mit "4" bezeichnet sind, während die Bildsignale, die bei Anlegen der Treiberspannung V4 an die zweiten Transfergates TG2 in Antwort auf das vierte VCCD Taktsignal Vϕ4 ausgegeben werden, an Positionen angeordnet sind, die mit "2" bezeichnet sind.
  • Die 8b zeigt ein Pixelformat bzw. Bildpunktformat eines anderen Bildes, das ebenfalls mit dem CCD Bildsensor nach der Erfindung mit verschachtelter Abtastung erhalten worden ist. Bei dieser Zeichnung ist angenommen, daß die VCCD Bereiche VCCD jeweils einen virtuellen Fotodiodenbereich bilden. Die Bildsignale, die von den virtuellen Fotodioden ausgegebenen werden, liegen an Positionen, die mit "C" bezeichnet sind. Ein Wert, der annäherungsweise dem reellen bzw. echten Wert entspricht, wird dadurch gebildet, daß die Summe der Bildinformation "1", "2", "3" und "4", die in den jeweiligen Halbbildern erhalten worden ist, durch vier dividiert wird. Die Position "C" wird dann mit dem erhaltenen und ungefähren echten Wert aufgefüllt. Andere Positionen "T", "TR", "L", "R", "B" und "BL" sind Modifikationen der Position "C" und so abgewandelt, daß ein Aus druck zur Gewinnung virtueller Fotodioden für Bildsignale in den Randbereichen des Bildes erhalten wird.
  • Wie oben beschrieben, gestattet der Aufbau des CCD Bildsensors nach der Erfindung, den Füllfaktor der Fotodioden auf derselben Chip-Größe in gleicher Weise zu vergrößern, wie der Füllfaktor der VCCD Bereiche bei dieser Chip-Größe verringert wird. Dies führt zu einer erheblichen Verbesserung des Bildauflösungsvermögens. Die VCCD Bereiche sind dabei mäanderförmig ausgebildet, so daß es möglich ist, reelle Fotodioden um virtuelle Fotodioden herum zu positionieren. Hierdurch läßt sich die Betriebszuverlässigkeit beim Einschreiben von Daten in die virtuellen Fotodioden vergrößern. Die Bereiche der Fotodioden lassen sich daher maximal erweitern, da der VCCD Bereich als virtuelle Fotodiode behandelt werden kann.
  • Wie bereits erwähnt, sind die VCCD Bereiche VCCD zick-zack-förmig bzw. mäanderförmig ausgebildet und erstrecken sich in Vertikalrichtung, also senkrecht zur Zeilenabtastrichtung. Die VCCD Bereiche liegen dabei in Horizontalrichtung unter gleichen Abständen zu einander und sind alle in derselben Weise gekrümmt. In den konkaven Abschnitten der VCCD Bereiche befinden sich auf den ungeradzahligen Horizontalabtastzeilen die ersten Fotodioden PD61 und auf den geradzahligen Horizontalabtastzeilen die zweiten Fotodioden PD62. Sie können mit den jeweiligen VCCD Bereichen fluchten, so daß sie diese Bereiche in Horizontalrichtung gesehen nicht überragen. Den konvexen Abschnitten der VCCD Bereiche liegen jeweils die dritten und vierten Fotodioden PD63 und PD64 gegenüber. Dabei befinden sich die dritten Fotodioden auf den ungradzahligen Horizontalabtastzeilen, während sich die vierten Fotodioden auf den geradzahligen Horizontalabtastzeilen befinden. In Vertikalrichtung gesehen, liegen die dritten und vierten Fotodioden, die zu verschiedenen VCCD Bereichen gehören, auf einer Geraden. Die vier Fotodioden jeweils einer Gruppe schließen jeweils einen VCCD Bereich (mittig) ein, dessen entsprechener Platz im Bild mit einem Wert (Bildsignal) belegt werden kann, der sich aus den Bildsignalen der Fotodioden dieser Gruppe errechnet (siehe oben).

Claims (3)

  1. CCD Bildsensor mit: – einer Mehrzahl von VCCD Bereichen (VCCD), die in Horizontalrichtung mit konstantem Abstand zueinander angeordnet sind, wobei jeder der VCCD Bereiche (VCCD) in Vertikalrichtung mäanderförmig mit einer Reihe gekrümmter Abschnitte ausgebildet ist und eine gewünschte Länge aufweist; – einer Mehrzahl von Gruppen von ersten bis vierten Fotodioden (PD61, PD62, PD63, PD64), die jeweils eine Signalladung in Anwort auf einfallendes Licht erzeugen und die jeweils durch Kanalstoppbereiche (ST) von benachbarten VCCD Bereichen (VCCD) auf beiden Seiten isoliert sind, wobei jeweils: – die erste Fotodiode (PD61) einer Gruppe auf einer ungeradzahligen Horizontalabtastlinie auf der linken Seite eines der gekrümmten Abschnitte der jeweiligen VCCD Bereiche (VCCD) liegt, – die dritte Fotodiode (PD63) einer Gruppe auf einer ungeradzahligen Horizontalabtastlinie auf der rechten Seite eines der gekrümmten Abschnitte der jeweiligen VCCD Bereiche (VCCD) liegt, – die zweite Fotodiode (PD62) einer Gruppe auf einer geradzahligen Horizontalabtastlinie auf der rechten Seite eines der gekrümmten Abschnitte der jeweiligen VCCD Bereiche (VCCD) liegt, und – die vierte Fotodiode (PD64) einer Gruppe auf einer geradzahligen Horizontalabtastlinie auf der linken Seite eines der gekrümmten Abschnitte der jeweiligen VCCD Bereiche (VCCD) liegt; – einem HCCD Bereich (HCCD) zur Übertragung der von den ersten bis vierten Fotodioden (PD61, PD62, PD63, PD64) über die VCCD Bereiche (VCCD) erhaltenen Signalladungen in Horizontalrichtung; – einer Mehrzahl von ersten Transfergate-Elektroden (PG1b), die mit einer Mehrzahl von ersten Transfergates (TG1) verbunden sind, um ein erstes VCCD Taktsignal (VΦ1) an die ersten Transfergates (TG1) anzulegen, die über den jeweiligen Kanalstoppbereichen (ST) zwischen den ersten Fotodioden (PD61) und den jeweiligen benachbarten VCCD Bereichen (VCCD) liegen; – einer Mehrzahl von zweiten Transfergate-Elektroden (PG1a), die mit einer Mehrzahl von dritten Transfergates (TG3) verbunden sind, um ein zweites VCCD Taktsignal (VΦ2) an die dritten Transfergates (TG3) anzulegen, die über den jeweiligen Kanalstoppbereichen (ST) zwischen den dritten Fotodioden (PD63) und den jeweiligen benachbarten VCCD Bereichen (VCCD) liegen; - einer Mehrzahl von dritten Transfergate-Elektroden, die mit einer Mehrzahl von vierten Transfergates (TG4) verbunden sind, um ein drittes VCCD Taktsignal (VΦ3) an die vierten Transfergates (TG4) anzulegen, die über den jeweiligen Kanalstoppbereichen (ST) zwischen den vierten Fotodioden (PD64) und den jeweiligen benachbarten VCCD Bereichen (VCCD) liegen; und – einer Mehrzahl von vierten Transfergate-Elektroden, die mit einer Mehrzahl von zweiten Transfergates (TG2) verbunden sind, um ein viertes VCCD Taktsignal (VΦ4) an die zweiten Transfergates (TG2) anzulegen, die über den jeweiligen Kanalstoppbereichen (ST) zwischen den zweiten Fotodioden (PD64, PD62) und den jeweiligen benachbarten VCCD Bereichen (VCCD) liegen.
  2. CCD Bildsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die VCCD Bereiche (VCCD) und die ersten bis vierten Fotodioden (PD61, PD62, PD63, PD64) dieselbe Breite aufweisen.
  3. CCD Bildsensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die dritten und vierten Fotodioden (PD63, PD64) auf einer in Vertikalrichtung verlaufenden Geraden liegen.
DE4226828A 1991-08-14 1992-08-13 CCD Bildsensor Expired - Lifetime DE4226828B4 (de)

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Publication Number Publication Date
DE4226828A1 DE4226828A1 (de) 1993-02-25
DE4226828B4 true DE4226828B4 (de) 2006-04-13

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DE4226828A Expired - Lifetime DE4226828B4 (de) 1991-08-14 1992-08-13 CCD Bildsensor

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