DE4041582A1 - Drehratensensor - Google Patents

Description

Stand der Technik

Die Erfindung geht aus von einem Drehratensensor nach der Gattung des Hauptanspruchs.

Es ist bereits bekannt, z. B. zur Messung der Drehgeschwindigkeit eines Fahrzeugs im wesentlichen um die Hochachse, zur Regelung der Fahrdynamik oder auch zu Navigationszwecken, geringe Drehraten von einer Umdrehung im Bereich von mehreren Grad pro Sekunde mit Sen­ soren zu erfassen, bei denen eine Stimmgabelstruktur, die parallel zur Drehachse orientiert ist, zu Schwingungen in einer Ebene ange­ regt wird. Bei einer Drehung um die Drehachse wirkt die Coriolis­ kraft auf die schwingenden Stimmgabelzinken senkrecht zur Drehachse und senkrecht zur Anregungsrichtung. Die Drehrate kann über die von der Corioliskraft verursachte Auslenkung der Zinken senkrecht zur Anregungsrichtung erfaßt und ausgewertet werden.

In der US-PS 48 36 023 wird ein Drehratensensor mit Schwingern und mit Mitteln zur Aufhängung der Schwinger an einem Rahmen beschrie­ ben, der nach dem eingangs erläuterten Prinzip arbeitet. Die Schwinger sind quaderförmig ausgestaltet und mittels vier Aufhän­ gungen am Rahmen befestigt. Die Schwinger, die Aufhängungen und der Rahmen sind aus einem einzigen Materialblock von gleichmäßiger Ela­ stizität strukturiert. Sowohl die Schwingungsanregung der Schwinger als auch der Signalabgriff erfolgt piezoelektrisch. Die auf den Schwingern angeordneten piezoelektrischen Elemente sind über leiten­ de Dünnfilmschichten an außenliegende Schaltkreise angeschlossen. Außerdem weist der Sensor eine obere und eine untere Abdeckung auf.

In der DE-PS 34 17 858 wird vorgeschlagen, die Sensorstruktur aus piezoelektrischem Material, z. B. aus Quarz oder synthetischen Kri­ stallen, zu fertigen. Außerdem werden Sensorsysteme mit mehreren Stimmgabelstrukturen beschrieben, bei denen im wesentlichen Stirn­ gabelstrukturen paarweise rechtwinklig oder parallel zu einem Schaft an diesem befestigt sind, der zwischen zwei festen Rahmenelementen angeordnet ist. Zudem wird vorgeschlagen, das Meßsignal kapazitiv zu erfassen.

In der DE-OS 38 14 950 werden verschiedene Aufbauverfahren eines Be­ schleunigungsaufnehmers in Dickschichttechnik beschrieben.

Vorteile der Erfindung

Der erfindungsgemäße Sensor mit den kennzeichnenden Merkmalen des Hauptanspruchs ist besonders vorteilhaft, da er mit kleinem Bau­ volumen und kostengünstig herstellbar ist. Von besonderem Vorteil ist, daß die wesentlichen Elemente des Sensors in einer einheit­ lichen Technik, nämlich in Dickschichttechnik, hergestellt werden. Die Fertigung in Dickschichttechnik ist schon bei kleineren Stück­ zahlen kostengünstig. Ein weiterer Vorteil der Fertigung in Dick­ schichttechnik ist, daß die Methoden dieser Technik erprobt und gut handhabbar sind. So kann die mechanische Struktur des Drehraten­ sensors entweder durch Laserschneiden aus gebrannter Keramik oder auch durch Formen der Struktur aus ungebrannter Keramik mit an­ schließendem Brennen erzeugt werden. Ebenfalls in Dickschichttechnik realisierbar, beispielsweise durch strukturiertes Aufbringen von Dickschichtpasten im Siebdruckverfahren und anschließendes Brennen, ist das Aufbringen von Leiterbahnen, Dehnmeßstreifen-Widerständen und anderen Schaltungselementen sowie deren Kontaktierung.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vor­ teilhafte Weiterbildungen des im Hauptanspruch angegebenen Sensors möglich. Die Anregung des mindestens einen Schwingers in der ersten Schwingungsrichtung, der Anregungsrichtung, kann vorteilhaft piezo­ elektrisch erfolgen. Dazu werden ansteuerbare Piezoelemente eben­ falls in Dickschichttechnik auf den Stegen und/oder dem Schwinger aufgebracht, ohne daß ein zusätzlicher Fertigungsschritt notwendig ist. Eine weitere vorteilhafte Möglichkeit des piezoelektrischen Antriebs besteht in der Fertigung des Sensorelementes bzw. Teilen des Sensorelementes aus einer piezoelektrischen Keramik mit einer zur Anregung des Schwingers in der ersten Schwingungsrichtung geeigneten Polarisierung.

Die Anregung des Schwingers in der ersten Schwingungsrichtung kann aber auch vorteilhaft elektrodynamisch erfolgen. Eine besonders ein­ fache und vorteilhafte Maßnahme zur Realisierung eines elektro­ dynamischen Antriebs stellt eine auf den Rahmen, die Stege und/oder den Schwinger aufgebrachte Leiterbahn dar, die über Anschlußpads so anschließbar ist, daß beim Anlegen einer Anregungsspannung ein Strom I im wesentlichen senkrecht zur ersten Schwingungsrichtung fließt. Ferner sind Mittel zum Anlegen eines Magnetfeldes, das parallel zur zweiten Schwingungsrichtung orientiert ist, vorhanden. Durch den Strom I und das Magnetfeld B und deren Orientierung zueinander und zur Anregungsrichtung wirkt eine Lorentzkraft auf den Schwinger in Anregungsrichtung. Besonders vorteilhaft im Hinblick auf einen elek­ trodynamischen Antrieb ist die Möglichkeit der Regelung der Anre­ gungsfrequenz und -amplitude durch eine weitere Leiterbahn, die im wesentlichen senkrecht zur ersten Schwingungsrichtung orientiert ist und die über weitere Anschlußpads anschließbar ist, so daß bei einer Bewegung des Schwingers in der ersten Schwingungsrichtung und bei Anwesenheit des Magnetfeldes B eine Regelspannung U abgreifbar ist. Zusätzlich sind noch Mittel erforderlich zur Veränderung des Stromes I in Abhängigkeit von der Regelspannung U.

Die Auswertung der Coriolisbeschleunigung als Meßsignal erfolgt vor­ teilhaft mittels einer Differentialanordnung. Eine Möglichkeit besteht darin, die Auslenkung des mindestens einen Schwingers in der zweiten Schwingungsrichtung sowohl an seiner Oberseite als auch an seiner Unterseite zu erfassen und die Differenz dieser Meßsignale zu bilden. Dadurch wird das Meßsignal vorteilhaft verstärkt und linea­ risiert. Die Realisierung des Drehratensensors in Dickschichttechnik ermöglicht eine besonders kompakte Bauweise des Drehratensensors, bei der das das Sensorelement bildende Keramiksubstrat beidseitig mit Elektroden und Leiterbahnen bedruckt wird, so daß ein funk­ tionsfähiger Sensor mit Differentialanordnung schon mit einem ein­ zigen Schwinger erreichbar ist. Der Abgriff der Coriolisbeschleu­ nigung erfolgt dann an dem gleichen Schwinger wie die geregelte Anregung in der ersten Schwingungsrichtung. Zur Unterdrückung von Störeinflüssen ist es vorteilhaft, als Sensorelement eine Mehr­ fachanordnung von Schwingern zu wählen, die mechanisch miteinander gekoppelt sind. Zur Meßsignalerfassung werden an zwei unterschied­ lichen Schwingern gegenläufige Auslenkungen erfaßt und anschließend die Differenz der jeweiligen Meßsignale gebildet. Dadurch gehen Störeinflüsse durch lineare Beschleunigungen der Schwinger zusätz­ lich zu der Coriolisbeschleunigung nicht in das Meßergebnis ein.

Die Meßsignale können vorteilhaft piezoresistiv durch auf die Oberflächen der Stege und/oder des mindestens einen Schwingers in Bereichen maximaler Dehnung aufgebrachte Dickschichtwiderstände oder Dehnmeßstreifen erfolgen. Eine andere vorteilhafte Möglichkeit besteht darin, als Keramiksubstrat eine piezoelektrische Keramik zu wählen mit einer zur Erfassung der Auslenkungen des mindestens einen Schwingers in der zweiten Schwingungsrichtung geeigneten Polari­ sierung. Von besonderem Vorteil ist es, die Meßsignale kapazitiv zu erfassen. Dazu werden auf die Oberflächen der Schwinger Elektroden aufgebracht, die die erste Elektrodenseite eines Meßkondensators bilden. Auf den Abdeckungen des Sensorelementes sind weitere Elektroden aufgebracht, die die zweite Seite des Meßkondensators bilden. Diese Anordnung läßt sich ebenfalls einfach und vorteilhaft in Dickschichttechnik realisieren. Zur Erhöhung der Empfindlichkeit des Drehratensensors ist es vorteilhaft, die Masse der Schwinger zu erhöhen. Eine einfache Möglichkeit dazu besteht im Aufglasen von weiteren Keramikschichten oder auch Glasschichten im Bereich der Schwinger. Die Masse des Schwingers läßt sich auch vorteilhaft durch einen Mehrschichtenaufbau des Sensorelementes vergrößern, indem der Schwinger in mehreren Schichten ausgebildet ist und an dünnen, symmetrisch angeordneten Stegen aufgehängt ist. Bei einem Aufbau, bestehend aus drei über Glasdickschichten verbundenen Keramik­ schichten, sind die Stege beispielsweise nur in den beiden äußeren Keramikschichten ausgebildet, im Gegensatz zu dem Schwinger, der in allen drei Schichten ausgebildet ist.

Zeichnung

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in der Zeichnung dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen die

Fig. 1a die perspektivische Ansicht eines Sensorelementes mit vier Schwingern,

Fig. 1b den Schnitt durch einen Sensor mit einem Sen­ sorelement entsprechend Fig. 1a, die

Fig. 2a und b die Ober- und die Unterseite eines Sensorelementes,

Fig. 3a den Ausschnitt aus einem Schnitt durch ein Sensorelement und

Fig. 3b einen Ausschnitt aus einem Schnitt durch ein weiteres Sensorelement.

Beschreibung der Ausführungsbeispiele

In Fig. 1a ist ein Sensorelement 10 dargestellt, das aus einem Keramikträger strukturiert ist. Es weist eine Mehrfachanordnung von vier Schwingern 21, 31, 411 und 412 auf, die in einem Rahmen 11 über Stege 22, 32, 421 und 422 so aufgehängt sind, daß sie eine doppelte Stimmgabelstruktur bilden und mechanisch gekoppelt sind. Die zwei Schwinger 21 und 31 bilden eine einfache Stimmgabelstruktur und dienen zum Antrieb der beiden Schwinger 411 und 412. Dazu ist auf den Stegen 22, dem Rahmen 11 und dem Schwinger 21 eine Leiterbahn aufgebracht, an die über Anschlußpads 241 und 242 eine vorzugsweise oszillierende Antriebsspannung angelegt werden kann, so daß ein Strom I fließt. Durch Pfeil B ist angedeutet, daß senkrecht zur Trägeroberfläche ein Magnetfeld B wirkt. Durch den in der Leiterbahn 23 fließenden Strom I wirkt auf dem Schwinger 21 die Lorentzkraft F, was durch den Pfeil F dargestellt ist. Dadurch kann der Schwinger 21 zu Schwingungen angeregt werden, die sich auf den Schwinger 31 über­ tragen, wobei die Schwinger 21 und 31 gegenläufig schwingen. Auf den Stegen 32, dem Rahmen 11 und dem Schwinger 31 ist eine weitere Lei­ terbahn 33 aufgebracht, an der über Anschlußpads 341 und 342 eine durch die Bewegung des Schwingers 31 im Magnetfeld B induzierte Spannung U abgegriffen werden kann. Diese Spannung U ist direkt pro­ portional zur Geschwindigkeit V des Schwingers 31 bzw. des Schwin­ gers 21, der ja mechanisch mit dem Schwinger 31 gekoppelt ist. Das Abgreifen der Spannung U dient zur Regelung und Stabilisierung der Anregungsschwingungen durch Variation der Stromstärke I. Mechanisch gekoppelt mit den Schwingern 21 und 31 sind die Schwinger 411 und 412. Auf ihre Oberflächen aufgebracht sind jeweils Elektroden 451 und 452 die über Zuleitungen 431 und 432 und Anschlußpads 441 und 442 anschließbar sind. Bei einer Drehwegung um eine Drehachse A, die in der Trägerebene und senkrecht zur Anregungsrichtung orientiert ist, wirkt auf die zu Schwingungen angeregten Schwinger 411 und 412 eine gegenläufige Coriolisbeschleunigung senkrecht zur Trägerebene entsprechend der gegenläufigen Geschwindigkeiten der Schwinger 411 und 412 in Anregungsrichtung. Die Coriolisbeschleunigung ac wird in diesem Beispiel als Kapazitätsänderung zwischen den Elektroden 451 und 452 und auf der in der Fig. 1a nicht dargestellten Abdeckung aufgebrachten Gegenelektroden erfaßt, da die Coriolisbeschleunigung ac zu einer Auslenkung der Schwinger 411 und 412 in Richtung der Coriolisbeschleunigung ac führt.

In Fig. 1b ist der Schnitt durch einen Sensor mit einer oberen Ab­ deckung 131 und einer unteren Abdeckung 132 und einem Sensorelement 10 entsprechend Fig. 1a dargestellt. Auf den Abdeckungen 131 und 132 sind im Bereich des Schwingers 411 jeweils Gegenelektroden 141 und 142 aufgebracht. Das Sensorelement 10 ist beidseitig mit Leiter­ bahnen 23 zur Schwingungsanregung und mit Elektroden 451 zur Meß­ signalerfassung sowie mit Anschlußpads 441 und Leiterbahnen 431 be­ druckt. Die Stege 22 und 421 sind in der gesamten Dicke des Sensor­ elementes 10 ausgebildet.

Die in den Fig. 1a und 1b dargestellte Sensorstruktur ermöglicht zwei verschiedene Arten der Differentialauswertung des Meßsignals. An einem beidseitig mit Elektroden bedruckten Schwinger, dem gegen­ über auf einer oberen und einer unteren Abdeckung Gegenelektroden angeordnet sind, lassen sich bei einer Auslenkung in Richtung einer der Abdeckungen zwei gegenläufige Meßsignale kapazitiv erfassen, aus denen die Differenz gebildet werden kann, wodurch das Meßsignal ver­ stärkt und linearisiert wird. Eine andere Möglichkeit der Differen­ tialauswertung bei einer Mehrfachanordnung von Schwingern besteht darin, zwei gegenläufige Meßsignale an zwei unterschiedlichen Schwingern abzugreifen, was zusätzlich den Vorteil hat, daß Stör­ beschleunigungen bei der Differenzbildung der Meßwerte herausge­ mittelt werden.

In den Fig. 2a und 2b sind die Vorderseite und die Rückseite eines Sensorelementes 10 mit einem Schwinger 51 dargestellt. Der Schwinger 51 ist über Stege 521 und 522 mit einem Rahmen 11 verbun­ den. Der Schwinger 51 ist zudem beidseitig mit Elektroden 551 und 552 bedruckt, die jeweils über Zuleitungen 532 und 571 und Anschluß­ pads 543 und 583 anschließbar sind. Außerdem ist auf der Vorderseite eine über Anschlußpads 541 und 542 anschließbare Leiterbahn 531 auf­ gebracht, die zum elektrodynamischen Antrieb des Schwingers dient. Auf der Rückseite ist ebenfalls eine über Anschlußpads 581 und 582 anschließbare Leiterbahn 572 aufgebracht, an der eine Spannung abge­ griffen werden kann, die zur Regelung des Antriebs dient. Die in Fig. 2 dargestellte Ausführungsform des erfindungsgemäßen Drehra­ tensensors erfordert eine obere und eine untere Abdeckung auf die jeweils Gegenelektroden für die Elektroden 551 und 552 aufgebracht sind. Außerdem ist für den elektrodynamischen Antrieb ein Magnetfeld B erforderlich, das senkrecht zur Oberfläche des Sensorelementes 10 orientiert ist.

In Fig. 3a ist ein Ausschnitt aus einem Sensorelement dargestellt, das aus einem Keramiksubstrat 71 strukturiert ist und auf das im Bereich des Schwingers auf die Ober- und auf die Unterseite Zusatz­ massen 731 und 732 aufgebracht sind. Auf die Zusatzmassen 731 und 732 sind beidseitig Elektroden 751 und 752 gedruckt. Die Stege 761 sind nur in dem Keramiksubstrat 71 ausgebildet. Für den schicht­ weisen Aufbau des Sensorelements ist es erforderlich, im Bereich des Rahmens Ausgleichsschichten 741 und 742 entsprechend der Zusatzmas­ sen 731 und 732 des Schwingers aufzubringen. Die Ausgleichsschichten 741 und 742 sowie die Zusatzmasse 731 und 732 lassen sich vorteil­ haft in Form von per Laserstrahl strukturierten Keramiksubstraten realisieren, die mittels Dickschichtglas mit dem Keramiksubstrat 71 verbunden sind. In Fig. 3b ist eine weitere Möglichkeit darge­ stellt, einen Schwinger mit erhöhter Masse zu realisieren. In diesem Fall ist das Sensorelement aus drei Keramiksubstraten 71, 741 und 72 aufgebaut, die über Glasdickschichten verbunden sind. Das die Mittelschicht bildende Keramiksubstrat 741 ist so strukturiert, daß es nur im Bereich des Rahmens und der Schwinger ausgebildet ist, im Bereich der Stege 771 und 772 jedoch fehlt, so daß die Stege 761 und 762 ausschließlich durch Teile der Keramiksubstrate 71, 72 gebildet werden. Das Keramiksubstrat 741 dient zur Erhöhung der Masse des Schwingers.

Neben den in den Fig. 1 bis 3 dargestellten Ausführungsformen sind auch weitere Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Drehraten­ sensors möglich, bei denen die Anregung und/oder die Signalerfassung piezoresistiv erfolgt. Erfindungswesentlich ist, daß der Sensor­ aufbau, d. h. sowohl die mechanische Struktur als auch die Anordnung der Anregungs- und Signalerfassungsmittel in Dickschichttechnik realisiert ist.

Claims (13)

1. Drehratensensor mit einem Sensorelement, das einen festen Rahmen aufweist und mindestens einen Schwinger, der über einen oder mehrere Stege mit dem festen Rahmen verbunden ist und in zwei aufeinander senkrecht stehenden Richtungen schwingungsfähig ist, mit Mitteln zur Anregung des mindestens einen Schwingers in einer ersten Schwin­ gungsrichtung, die in der Ebene des Rahmens liegt, mit Mitteln zur Erfassung von Auslenkungen des mindestens einen Schwingers in der zweiten Schwingungsrichtung als Meßsignal und mit mindestens einer Abdeckung des Sensorelements in der zweiten Schwingungsrichtung, dadurch gekennzeichnet,

• - daß das Sensorelement (10) schichtweise aufgebaut ist, wobei min­ destens eine Schicht durch ein Keramiksubstrat gebildet ist,
• - daß aus dem Keramiksubstrat Teile des Rahmens (11), Teile des mindestens einen Schwingers (21, 31, 411, 412) und die Stege (22, 32, 421, 422) strukturiert sind
• - und daß Schaltungselemente zur Anregung des mindestens einen Schwingers (21, 31, 411, 412) und zur Erfassung von Meßsignalen auf das Keramiksubstrat in Dickschichttechnik, durch im Sieb­ druckverfahren aufgebrachte und anschließend gebrannte Dick­ schichtpasten, aufgebracht sind.

2. Drehratensensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zur Anregung des mindestens einen Schwingers in der ersten Schwingungsrichtung auf den Stegen und/oder dem mindestens einen Schwinger piezoelektrische Dickschichtpasten aufgebracht sind.

3. Drehratensensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Keramiksubstrat eine piezoelektrische Keramik ist mit einer zur Anregung des mindestens einen Schwingers in der ersten Schwin­ gungsrichtung geeigneten Polarisierung.

4. Drehratensensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Mittel zur Anregung des mindestens einen Schwingers (21, 31, 411, 412) in der ersten Schwingungsrichtung auf dem Rahmen (11) , den Ste­ gen (22) und/oder dem Schwinger (21) mindestens eine Leiterbahn (23) aufgebracht ist, die über Anschlußpads (241, 242) anschließbar ist, so daß beim Anlegen einer Anregungsspannung ein Strom (I) im wesent­ lichen senkrecht zur ersten Schwingungsrichtung fließt, und daß Mit­ tel zum Anlegen eines Magnetfeldes (B) in der zweiten Schwingungs­ richtung vorhanden sind.

5. Drehratensensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Rahmen (11), den Stegen (32) und/oder dem Schwinger (31) minde­ stens eine weitere Leiterbahn (33) aufgebracht ist, die im wesent­ lichen senkrecht zur ersten Schwingungsrichtung orientiert ist und die über weitere Anschlußpads (341, 342) anschließbar ist, so daß bei einer Bewegung des Schwingers (31) in der ersten Schwingungs­ richtung und bei Anwesenheit des Magnetfeldes (B) eine Regelspannung (U) abgreifbar ist, und daß Mittel zur Regelung des Stromes (I) in Abhängigkeit von der Regelspannung (U) vorhanden sind.

6. Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Oberseite und auf der Unterseite des mindestens einen Schwingers (51) jeweils Mittel zum Erfassen von Auslenkungen des Schwingers (51) in der zweiten Schwingungsrichtung angeordnet sind, die jeweils Meßsignale liefern, und daß eine Aus­ lenkung des Schwingers (51) in der zweiten Schwingungsrichtung als Differenz der Meßsignale erfaßt wird.

7. Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorelement (10) mindestens einen ersten Schwinger (21) mit Mitteln zur Anregung in der ersten Schwingungs­ richtung und mindestens einen weiteren mit dem ersten Schwinger (21) mechanisch gekoppelten Schwinger (31, 411, 412) aufweist, daß auf mindestens zwei verschiedenen Schwingern (21, 31, 411, 412) Mittel zur Erfassung von Auslenkungen der Schwinger (21, 31, 411, 412) in der zweiten Schwingungsrichtung angeordnet sind, wobei mindestens zwei Auslenkungen in entgegengesetzter Richtung als Meßsignale er­ faßt werden, deren Differenz gebildet wird.

8. Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßsignalerfassung durch auf den Oberflächen der Stege und/oder des mindestens einen Schwingers in Bereichen maximaler Dehnung aufgebrachte Dickschichtwiderstände oder Dehnmeß­ streifen erfolgt.

9. Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Keramiksubstrat eine piezoelektrische Kera­ mik ist mit einer zur Erfassung der Auslenkungen des mindestens einen Schwingers in der zweite Schwingungsrichtung geeigneten Pola­ risierung.

10. Drehratensensor nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß auf der der mindestens einen Abdeckung (131, 132) zugewandten Oberfläche des mindestens einen Schwingers (41) mindestens eine Elektrode (451, 452) aufgebracht ist, die die erste Elektrodenseite eines Meßkondensators bildet, und daß auf der dem mindestens einen Schwinger (41) zugewandten Oberfläche der minde­ stens einen Abdeckung (131, 132) mindestens eine weitere Elektrode (141, 142) aufgebracht ist, die die zweite Elektrodenseite des Meß­ kondensators bildet.

11. Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf das Keramiksubstrat (71, 72) des mindestens einen Schwingers mindestens eine Zusatzmasse (731, 732) vorzugsweise durch Aufglasen aufgebracht ist.

12. Drehratensensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Sensorelement eine erste Schicht aufweist, die durch einen ersten Keramikträger (71) gebildet ist, daß das Sen­ sorelement eine zweite Schicht aufweist, die durch einen zweiten Keramikträger (72) gebildet ist und über mindestens eine Zwischen­ schicht (741) mit der ersten Schicht verbunden ist, daß die Stege (761, 762) in den beiden Keramikträgern (71, 72) ausgebildet sind und daß der mindestens eine Schwinger in der ersten Schicht, der mindestens einen Zwischenschicht (741) und der zweiten Schicht aus­ gebildet ist.

13. Drehratensensor nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die mindestens eine Zwischenschicht ein strukturiertes Keramik­ substrat ist.