DE4017317C2 - Anodnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrometers - Google Patents

Anodnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrometers

Info

Publication number
DE4017317C2
DE4017317C2 DE19904017317 DE4017317A DE4017317C2 DE 4017317 C2 DE4017317 C2 DE 4017317C2 DE 19904017317 DE19904017317 DE 19904017317 DE 4017317 A DE4017317 A DE 4017317A DE 4017317 C2 DE4017317 C2 DE 4017317C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
detector
row
spectrum
resolution
spectrometer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19904017317
Other languages
English (en)
Other versions
DE4017317A1 (de
Inventor
Juergen Wulf
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Berthold & Co Kg 75323 Bad Wildbad De GmbH
Original Assignee
Bodenseewerk Perkin Elmer and Co GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bodenseewerk Perkin Elmer and Co GmbH filed Critical Bodenseewerk Perkin Elmer and Co GmbH
Priority to DE19904017317 priority Critical patent/DE4017317C2/de
Publication of DE4017317A1 publication Critical patent/DE4017317A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4017317C2 publication Critical patent/DE4017317C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/2803Investigating the spectrum using photoelectric array detector
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/02Details
    • G01J3/06Scanning arrangements arrangements for order-selection
    • G01J2003/064Use of other elements for scan, e.g. mirror, fixed grating
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/2889Rapid scan spectrometers; Time resolved spectrometry
    • G01J2003/2893Rapid scan spectrometers; Time resolved spectrometry with rotating grating
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G01J3/1838Holographic gratings
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/28Investigating the spectrum
    • G01J3/42Absorption spectrometry; Double beam spectrometry; Flicker spectrometry; Reflection spectrometry
    • G01J3/433Modulation spectrometry; Derivative spectrometry
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/02Column chromatography
    • G01N30/62Detectors specially adapted therefor
    • G01N30/74Optical detectors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrome­ ters, bei dem durch dispergierende, optische Mittel ein Spektrum auf einem Reihendetektor mit einer Reihe von Detektorelementen erzeugt wird.
Es sind Spektrometer bekannt, bei denen ein Eintrittsspalt über ein Dispersionsgitter und abbildende, optische Mittel spektral zerlegt in der Ebene eines Reihendetektors (Dioden- Arrays) als Spektrum abgebildet wird. Das Spektrum erstreckt sich längs dieses Reihende­ tektors. Jedes Detektorelement erfasst dabei einen bestimmten engen Wellenlängenbe­ reich des Spektrums. Es kann daher das gesamte Spektrum in einem ziemlich großen Be­ reich von Wellenlängen gleichzeitig erfasst werden. Das ist ein Vorteil gegenüber einem Monochromator mit einem einzigen Detektor, bei welchem jeweils nur ein einziger, enger Wellenlängenbereich erfasst wird und die verschiedenen Wellenlängen eines Spektrums nacheinander abgetastet werden müssen. Ein solches Spektrometer mit Reihendetektor ist besonders dort von Vorteil, wo ein Spektrum schnell erfasst werden muss. Ein Beispiel für die Anwendung eines solchen "Polychromators" ist ein Detektor für die Flüssigkeits- Chromatographie.
Ein solcher Polychromator ist beispielsweise beschrieben in der DE-C-35 44 512.
Das Auflösungsvermögen solcher Spektrometer ist begrenzt durch die endliche Fläche der Detektorelemente. Jedes Detektorelement erfasst dadurch die Strahlung aus einem endli­ chen Wellenlängenbereich und integriert den Intensitätsverlauf über diesen Wellenlängen­ bereich. Das Spektrometer liefert nicht einen kontinuierlichen Verlauf von Intensität über Wellenlänge sondern eine Folge von ggf. einer großen Anzahl von diskreten Werten. Diese Beschränkung der Auflösung kann dazu führen, dass dicht benachbarte Spektrallinien nicht mehr aufgelöst werden. Das gilt auch, wenn die Detektorelemente praktisch ohne Zwi­ schenräume unmittelbar aneinandergrenzen, was bei der Verwendung von z. B. Photodi­ oden möglich ist.
Es ist versucht worden, die Auflösung solcher Spektrometer mit Reihendetektor dadurch zu verbessern, dass die einzelnen Detektorelemente entsprechend klein ausgeführt werden. Das ist recht aufwendig und führt nur mit Einschränkungen zum Ziel. Außerdem wird mit weiterer Verkleinerung der Detektorelemente auch die von jedem einzelnen Detektorele­ ment erfasste Nutzenergie entsprechend verringert.
Des weiteren sind Spektrometer bekannt, bei denen die Auflösung dadurch verbessert wird, dass das Spektrum relativ zu den Detektorelementen eines Reihendetektors definiert ver­ lagert wird. Eine solche Vorrichtung wird beispielsweise in der EP-0320 530 A1 beschrie­ ben. Bei einer Vorrichtung dieser Art werden jedoch jeweils nur einzelne, ausgewählte Lini­ en des Spektrums auf den Detektorelementen scharf abgebildet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei einem Spektrometer mit einem Reihendetek­ tor die Auflösung zu verbessern.
Dies wird dadurch gelöst, dass nacheinander jede einzelne Linie des Spektrums schart auf dem Detektor abgebildet wird und so eine optimale Zuordnung zwischen Signalintensität und Linie erreicht wird.
Insbesondere sollen auch dicht benachbarte Linien eines Spektrums noch aufgelöst wer­ den, ohne dass die einzelnen Detektorelemente unerwünscht klein gemacht zu werden brauchen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst durch eine Vorrichtung nach Anspruch 1.
Bei einem Reihendetektor in einem Spektrometer schließen sich die Detektorelemente dicht aneinander an. Es brauchen also keine Lücken oder Zwischenräume überbrückt zu wer­ den. Dafür gilt es, eine Funktion Intensität über Wellenlänge möglichst genau zu erfassen. Jedes Detektorelement liefert ein Integral der Intensität über der Wellenlänge mit bestimm­ ten Integrationsgrenzen. Durch die Relativverlagerung von Reihendetektor und Spektrum werden diese Integrationsgrenzen in definierter Weise verändert. Dadurch, dass nachein­ ander alle Linien scharf auf den Reihendetektor abgebildet werden, lässt sich eine optimale Zuordnung zwischen Intensität und Wellenlänge jeder Linie erreichen. Aus dem dabei an jedem Detektorelement erhaltenen Signalverlauf kann der Verlauf der Intensität als Funkti­ on der Wellenlänge rekonstruiert werden. Es ergibt sich so ein Spektrometer mit hoher Auflösung.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachstehend unter Bezugnahme auf die zugehö­ rigen Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung eines Spektrometers mit einem Reihende­ tektor, einem abbildenden Gitter und einem in Richtung der Bündelachse pe­ riodisch beweglichen Eintrittsspalt.
Fig. 2 zeigt in übertriebener Darstellung die Schärfefläche der Abbildung im Ver­ hältnis zur Ebene des Reihendetektors bei dem Spektrometer von Fig. 1 bei einer Ausgangsstellung des Eintrittsspaltes.
Fig. 3 zeigt in übertriebener Darstellung die Schärfefläche der Abbildung im Ver­ hältnis zur Ebene des Reihendetektors mit dem Spektrometer von Fig. 1 bei einer etwas verschobenen Stellung des Eintrittsspaltes.
Bei der Ausführung nach Fig. 1 fällt ein Lichtbündel 66 von einem Eintrittsspalt 68 auf ein feststehendes Gitter 64. Das Gitter 64 stellt dispergierende Mittel dar und erzeugt gleichzei­ tig ein spektral zerlegtes Bild des Eintrittsspaltes 68 auf einem Reihendetektor 74.
Der Reihendetektor 74 besteht aus einer linearen Anordnung von Detektorelementen in Form von Photodioden. Die Detektorelemente schließen sich praktisch lückenlos aneinan­ der an. Die Detektorelemente haben aber natürlich endliche Abmessungen.
Jedes Detektorelement erfasst Strahlung aus einem endlichen Wellenlängenbereich. Das von dem einzelnen Detektorelement gelieferte Detektorsignal entspricht daher dem Integral der Intensitäten des Spektrums über den von der Breite des Detektorelements bestimmten Wellenlängenbereich.
Das Lichtbündel 66 bildet mit der Gitternormalen 70 einen Einfallswinkel ϕ. Licht mit der Wellenlänge λ wird von dem Gitter 64 in einem Lichtbündel 72 im Wesentlichen in der Ebene des Reihendetektors 74 fokussiert. Auf dem Reihendetektor 74 entsteht ein spektral zerlegtes Bild des Eintrittsspaltes 68.
Das Gitter 64 ist ein holographisches Konkavgitter. Wenn
R der Krümmungsradius des Gitters 64,
IA der Abstand zwischen dem Eintrittsspalt und dem Gitter,
IT die tangentiale Bildweite in der Zeichenebene von Fig. 1,
λo die Laserwellenlänge bei der Herstellung des holographischen Gitters und
HT die holographische Konstante
ist, dann ergibt sich für die tangentiale Bildweite in der Zeichenebene von Fig. 1 die Bezie­ hung:
Die tangentiale Bildweite ist daher eine Funktion der Wellenlänge und des Abstandes IA des Eintrittsspaltes 68 von dem Gitter 64:
IT = f( , 1A, ...)
Die tangentiale Bildweite ändert sich daher in dem von dem Reihendetektor erfassten Wel­ lenlängenbereich und damit über die Länge des Reihendetektors hinweg. Typischerweise hat die Funktion einen Verlauf, wie er in Fig. 2 dargestellt ist. I ist dabei die Abweichung der Schärfefläche von der Ebene des Reihendetektors. Es erfolgt also eine scharfe Abbildung jeweils nur auf zwei oder drei Detektorelementen. Auch durch solche Unschärfen wird das Auflösungsvermögen des Spektrometers beeinträchtigt.
Bei der Ausführung nach Fig. 1 wird der Eintrittsspalt 68 geringfügig longitudinal, d. h. in Richtung des Lichtbündels 66 bewegt, wie durch den Doppelpfeil 75 in Fig. 1 angedeutet ist. Dadurch werden die Punkte 76, 78, 80, in denen der Eintrittsspalt 68 tangential scharf auf dem Reihendetektor 74 abgebildet wird, längs des Reihendetektors 74 bzw. längs der Wellenlängenskala verschoben. Das ist in Fig. 3 dargestellt. Auch hierdurch ergibt sich eine Änderung der Detektorsignale der einzelnen Detektorelemente in Abhängigkeit von der Bewegung des Eintrittsspaltes 68.
Der Eintrittsspalt 68 wird periodisch longitudinal bewegt. Zu diesem Zweck liefert ein Signal­ generator 54 ein Verlagerungssignal an einen Ausgang 56. Dem Verlagerungssignal null entspricht eine Ruhestellung des Eintrittsspaltes 68. Die Auslenkung des Eintrittsspaltes 68 aus dieser Ruhestellung ist proportional zu dem Verlagerungssignal.
Mit 58 sind signalverarbeitende Mittel bezeichnet. Die signalverarbeitenden Mittel sind vor­ zugsweise von einem Digitalrechner gebildet. Auf die signalverarbeitenden Mittel 58 ist einmal über Leitung 60 das Verlagerungssignal aufgeschaltet. Zum anderen erhalten die signalverarbeitenden Mittel 58 die Signale von den Detektorelementen über Eingänge 62. Die signalverarbeitenden Mittel erhalten somit eine Folge von diskreten Detektorsignalen. Die Detektorsignale ändern sich aber in Abhängigkeit von den Verlagerungssignalen und der dazu proportionalen Auslenkung des Eintrittsspaltes 68 aus seiner Ruhestellung. Die signalverarbeitenden Mittel 58 berechnen daraus den stetigen Verlauf der Intensität des Spektrums als Funktion der Wellenlänge. Dieser Verlauf wird in geeigneter Weise an einem Ausgang 63 ausgegeben.
Dadurch wird die Auflösung des Spektrometers verbessert.

Claims (1)

1. Anordnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrometers, bei dem durch dis­ pergierende, optische Mittel ein Spektrum auf einem Reihendetektor mit einer Reihe von Detektorelementen erzeugt wird, mit
  • a) Mitteln zur definierten periodischen Verlagerung des Spektrums relativ zu den De­ tektorelementen des Reihendetektors,
  • b) Mitteln zur Erzeugung von Verlagerungssignalen nach Maßgabe der Verlagerung und
  • c) von den Detektorsignalen der Detektorelemente und den Verlagerungssignalen be­ aufschlagten Signalverarbeitungsmitteln zur Darstellung eines Spektrums hoher Auflösung aus den Abhängigkeiten der Detektorsignale von den Verlagerungssigna­ len,
dadurch gekennzeichnet, dass ein Eintrittsspalt, welcher über die dispergierenden Mittel in der Ebene des Reihendetektors abgebildet wird, in Richtung der Bündelachse periodisch bewegbar ist.
DE19904017317 1990-05-30 1990-05-30 Anodnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrometers Expired - Fee Related DE4017317C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19904017317 DE4017317C2 (de) 1990-05-30 1990-05-30 Anodnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrometers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19904017317 DE4017317C2 (de) 1990-05-30 1990-05-30 Anodnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrometers

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4017317A1 DE4017317A1 (de) 1991-12-05
DE4017317C2 true DE4017317C2 (de) 2000-02-17

Family

ID=6407435

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19904017317 Expired - Fee Related DE4017317C2 (de) 1990-05-30 1990-05-30 Anodnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrometers

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE4017317C2 (de)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5442438A (en) * 1988-12-22 1995-08-15 Renishaw Plc Spectroscopic apparatus and methods
EP0740133B1 (de) * 1991-11-16 1997-09-10 RENISHAW plc Probenbeleuchtung für spektroskopisches Gerät und Verfahren
GB9320261D0 (en) * 1993-10-01 1993-11-17 Unicam Ltd Spectrophotometer
DE19813558C2 (de) * 1998-03-27 2000-10-26 Inst Physikalische Hochtech Ev Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung von Strahlungsdetektoren
DE19815080C1 (de) * 1998-04-06 1999-09-09 Inst Physikalische Hochtech Ev Anordnung zur Erhöhung der spektralen Ortsauflösung eines Spektrometers
DE19815079A1 (de) * 1998-04-06 1999-10-07 Inst Physikalische Hochtech Ev Steuerbare Mikrospaltzeile
FR2810732B1 (fr) * 2000-06-27 2003-04-18 Jobin Yvon S A Procede de mesure spectroscopique a definition spectrale amelioree
US6947133B2 (en) 2000-08-08 2005-09-20 Carl Zeiss Jena Gmbh Method for increasing the spectral and spatial resolution of detectors
DE10038528A1 (de) * 2000-08-08 2002-02-21 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Erhöhung der spektralen und räumlichen Detektorauflösung
DE10055905B4 (de) * 2000-11-13 2004-05-13 Gesellschaft zur Förderung angewandter Optik, Optoelektronik, Quantenelektronik und Spektroskopie e.V. Verfahren zur Auswertung von Echelle-Spektren
DE10151216A1 (de) * 2001-10-16 2003-04-24 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren zur optischen Erfassung von charakteristischen Größen einer beleuchteten Probe
US8179526B2 (en) 2007-01-25 2012-05-15 Renishaw Plc Spectroscopic apparatus with dispersive device for collecting sample data in synchronism with relative movement of a focus
GB0708582D0 (en) 2007-05-03 2007-06-13 Renishaw Plc Spectroscope apparatus and methods

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4253765A (en) * 1978-02-22 1981-03-03 Hitachi, Ltd. Multi-wavelength spectrophotometer
DE3403372C1 (de) * 1984-02-01 1985-07-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Mehrkanal-Prozeß-Spektrometer
DE3544512A1 (de) * 1985-12-17 1987-06-19 Bodenseewerk Perkin Elmer Co Polychromator
EP0320530A1 (de) * 1987-12-18 1989-06-21 Hewlett-Packard GmbH Spektrometer mit Photodiodenanordnung
EP0324076A2 (de) * 1987-12-30 1989-07-19 Hewlett-Packard Company Optischer Fühler mit mehreren Elementen
WO1990005286A1 (en) * 1988-11-07 1990-05-17 Eastman Kodak Company Spectrometer apparatus for self-calibrating color imaging apparatus
JPH034130A (ja) * 1989-05-31 1991-01-10 Shimadzu Corp 分光光度計
JPH03272425A (ja) * 1990-03-20 1991-12-04 Shimadzu Corp 分光光度計

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4253765A (en) * 1978-02-22 1981-03-03 Hitachi, Ltd. Multi-wavelength spectrophotometer
DE3403372C1 (de) * 1984-02-01 1985-07-25 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Mehrkanal-Prozeß-Spektrometer
DE3544512A1 (de) * 1985-12-17 1987-06-19 Bodenseewerk Perkin Elmer Co Polychromator
EP0320530A1 (de) * 1987-12-18 1989-06-21 Hewlett-Packard GmbH Spektrometer mit Photodiodenanordnung
EP0324076A2 (de) * 1987-12-30 1989-07-19 Hewlett-Packard Company Optischer Fühler mit mehreren Elementen
WO1990005286A1 (en) * 1988-11-07 1990-05-17 Eastman Kodak Company Spectrometer apparatus for self-calibrating color imaging apparatus
JPH034130A (ja) * 1989-05-31 1991-01-10 Shimadzu Corp 分光光度計
JPH03272425A (ja) * 1990-03-20 1991-12-04 Shimadzu Corp 分光光度計

Also Published As

Publication number Publication date
DE4017317A1 (de) 1991-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1754032B1 (de) Echelle-spektrometer mit verbesserter detektorausnutzung durch die verwendung zweier spektrometeranordnungen
DE3833602C2 (de)
DE4017317C2 (de) Anodnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrometers
DE3014646C2 (de) Vorrichtung zur Spektralanalyse
DE102009003413B4 (de) Echelle-Spektrometeranordnung mit interner Vordispersion
EP2516975B1 (de) Spektrometeranordnung
DE102015218539B4 (de) Optische Positionsmesseinrichtung
EP0442596B1 (de) Echelle-Polychromator
DE19620807A1 (de) Festkörperdetektor
EP2158460B1 (de) Spektrometeranordnung
DE69406888T2 (de) Spektrophotometer
DE2829802A1 (de) Spektrograph
DE3005352C2 (de) Optische Anordnung zum Erzeugen von zeitlich aufeinanderfolgenden Meßstrahlenbündeln unterschiedlicher Wellenlänge
DE4410036B4 (de) Zweistrahl-Polychromator
DE4223212C2 (de) Gitter-Polychromator
DE69107776T2 (de) Monochromator mit speziell geformten Spalten.
EP0767359B1 (de) Photoelektrische Längen- oder Winkelmesseinrichtung
DE69502915T2 (de) Herstellungsverfahren eines reflektierenden optischen Beugungsgitters
DE102014108138B4 (de) Spektralsensor zur spektralen Analyse einfallenden Lichts
DE19815080C1 (de) Anordnung zur Erhöhung der spektralen Ortsauflösung eines Spektrometers
DE1923005A1 (de) Monochromator
CH665026A5 (de) Spektrometer.
EP1070233B1 (de) Steuerbare mikrospaltzeile
WO2001069190A1 (de) Optisches spektrometer mit astigmatismuskompensation
DE19814660C1 (de) Gitterspektrometer und Verfahren zur Messung spektraler Intensitäten von weißem Licht

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8380 Miscellaneous part iii

Free format text: DIE BEZEICHNUNG IST ZU AENDERN IN: ANORDNUNG ZUR VERBESSERUNG DER AUFLOESUNG EINES SPEKTROMETERS

8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: PERKIN ELMER BODENSEEWERK ZWEIGNIEDERLASSUNG DER B

8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: BERTHOLD GMBH & CO. KG, 75323 BAD WILDBAD, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee