DE19813558C2 - Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung von Strahlungsdetektoren - Google Patents
Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung von StrahlungsdetektorenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung von
Strahlungsdetektoren, die bei allen Detektoren zum Einsatz gelangen
kann, die über eine einzelne Strahlungsempfängerfläche oder mehrere
Strahlungsempfängerflächen, die in einer Ebene in einem periodischen
Abstand angeordnet sind, verfügen. Für solche Strahlungsdetektoren
kommen alle flächigen fotoelektrische Empfänger, wie z. B. CCD's,
Bolometer, Thermosäulen u. a. in Betracht.
Zur Erhöhung der Ortsauflösung von Strahlungsdetektoren werden
üblicherweise die eingangsseitigen Elemente eines abbildenden Systems
derart modifiziert, daß die Pixelflächen der Empfängerelemente
verringert werden. Die Erhöhung der Auflösung ist begrenzt durch die
verfügbaren Pixelgrößen in Zusammenhang mit ihrer Anzahl und den
Kosten.
In DE 43 27 944 A1 ist ein zweidimensionaler Bilddetektor beschrieben,
bei dem einer mit einer Vielzahl in Matrixform angeordneter
Bildelemente versehener Sensoranordnung eine mit Fenstern versehene
Maske vorgeordnet ist, wobei die Fenster jeweils eine kleinere Fläche
aufweisen als die einzelnen Bildelemente und die Fenster in diskreten
kleinen Schritten vor den Bildelementen verschiebbar sind, wodurch die
Auflösung der Anordnung erhöhbar ist. Nach dem Prinzip des Scannens
mit einem Spalt werden mit Verkleinerung der Fenster mehr Bildpunkte
erzeugt.
In DE 43 31 929 A1 ist ein Meßsystem zur Aufnahme hoch
zeitaufgelöster Spektren und Bilder beschrieben; eine Erhöhung der
Ortsauflösung ist mit diesem Meßsystem nicht erreichbar.
DE 43 07 530 A1 beschreibt ein Verfahren und eine Anordnung zum
berührungslosen Messen der Geschwindigkeit eines Gegenstandes, wobei
mit einem transparenten Steggitter Helligkeitsschwankungen erzeugt und
die Modulationsfrequenz ausgewertet wird. In bezug auf vorliegende
Erfindung gibt diese Schrift ansonsten keine Anregungen.
Ein Wellenfrontsensor ist in DE 40 03 698 C2 beschrieben, mit dem die
Phase und Amplitude einer Wellenfront unter Einsatz einer speziell
ausgebildeten Lochmaske bestimmbar sind. Eine Erhöhung der
Ortsauflösung ist nicht primärer Gegenstand dieses Patents.
Schließlich beschreibt US-PS 5,428,215 eine Vorrichtung zur Erhöhung
der Winkelauflösung einer Strahlung bei der u. a. eine Schattenmaske
über einem linearen Fotodetektorarray angeordnet ist.
Allen vorgenannten Schriften sind jedoch weder einzeln noch in
Zusammenschau geeignet, auf die Lösung vorliegender Erfindung
hinzuweisen.
Nur indirekt mit vorliegender Erfindung in Zusammenhang steht eine
Lösung nach EP 0 336 152 A1, bei der in einem relativ großen Abstand
ein Einfachspaltsystem vor einem Empfänger positioniert wird, der
mehrere Empfängerflächen in unterschiedlichen Abständen zueinander
beinhaltet. Diese Lösung dient ausschließlich zur Detektion der
Einfallsrichtung einer Strahlung mit der der Einfachspalt beleuchtet wird.
Vorliegender Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zur
Ortsauflösungserhöhung üblicher Strahlungsdetektoren anzugeben, die
eine variabel vorgebbare Ortsauflösungserhöhung ermöglicht und mit
wenigen Baugruppen auskommt.
Die Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des ersten
Patentanspruchs gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind durch die
nachgeordneten Ansprüche erfaßt.
Die Erfindung soll nachstehend anhand schematischer Ausführungs
beispiele näher erläutert werden. Es zeigen:
Fig. 1 eine Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung mit allen
wesentlichen Baugruppen,
Fig. 1a schematisch ein Empfängerelement mit einem zugeordneten
Steg in einer Ausgangs- und Endlage,
Fig. 2 beispielhaft den Intensitätsverlauf einer Quecksilberlinie,
Fig. 3 eine mit der erfindungsgemäßen Anordnung detektierte
Intensitätsverteilung der Linie nach Fig. 2,
Fig. 4 den aus der Intensitätsverteilung nach Fig. 3 in einer
Auswerteeinheit rechnerisch ermittelten Intensitätsverlauf der
nach Fig. 3 gewonnenen Intensitätsverteilung,
Fig. 5 eine Ausbildung einer Mehrfachsteganordnung für einen
zweidimensionalen Strahlungsdetektor und
Fig. 6 eine Ausbildung einer Mehrfachsteganordnung für einen
eindimensionalen Strahlungsdetektor mit einer
Variationsmöglichkeit der Ortsauflösungserhöhung.
Fig. 1 zeigt einen Strahlungsdetektor, der beispielhaft fünf
Empfängerflächen 1, für die im Beispiel fotoelektrische Empfänger
gewählt sind, in einem äquidistanten Abstand beinhaltet. Diese
Empfängerflächen werden entsprechend der dargestellten Pfeile S mit
einer von den Empfängern detektierbaren Strahlung beleuchtet. Besitzt
die Strahlung eine Intensitätsverteilung, wie beispielhaft in Fig. 2
angedeutet, liefert jede einzelne Empfängerfläche 1 nur ein integrales, der
Intensität entsprechendes Signal. Die Verteilung im Bereich der
Empfängerfläche wird nicht aufgelöst. An dieser Stelle setzt die
Erfindung an, indem jeder einzelnen Empfängerfläche ein für die zum
Einsatz gelangende Strahlung nicht transparenter Steg 2 in einem
Abstand in der Größenordnung der Stegbreite zugeordnet ist. Bei einem
derartigen Abstand hat die Apertur der Beleuchtung keinen merklichen
Einfluß auf die Abschattungswirkung des Stegs, so daß ein hoher
Kontrast zwischen beleuchteten und abgeschatteten
Empfängerflächenbereichen vorliegt. Die Stegbreite ba ist dabei
vorzugsweise zu einem ganzzahligen Bruchteil der Empfängerbreite be
festzulegen. Im Beispiel beträgt die Empfängerbreite be = 25 µm und die
Stegbreite ba = 5 µm. Vermittels eines hochpräzisen Verstellelements 3,
wofür ein piezoelektrischer Stellantrieb verwendet werden kann, wird der
Steg 2, bzw. die Stege 2, in mehreren diskreten Positionen von einer in
Fig. 1a mit 2a bezeichneten Ausgangsposition in eine Endposition 2e
verschoben, so daß die gesamte Empfängerfläche 1 zumindest einmal
erfaßt ist. Dabei werden bei jeder Position Teile der einfallenden
Strahlung durch den Steg 2 ausgeblendet, die entsprechenden
Empfängersignale über eine Leitung 6 einer Auswerteeinheit 5 zugeleitet,
innerhalb derer eine Zuordnung des empfangenen Intensitätssignals zur
aktuellen Stegposition erfolgt und von welcher aus, über eine Steuer- und
Datenleitung 4, das Verstellelement 3 angesteuert wird, welches eine
Stegverschiebung in die nächste diskrete Position bewirkt. Ist die gesamte
Breite der Empfängerfläche einmal vom Steg überstrichen worden, liegen
in der Auswerteeinheit pro diskreter Stegposition ermittelte Intensitäten
vor, die in Summe eine invers interpretierbare Intensitätsverteilung der
Linie nach Fig. 2 ergeben, wie in Fig. 3 angedeutet. Nach einer
entsprechenden rechnerischen Transformation wird die örtliche
Auflösung des Detektors auf Bruchteile der Empfängerbreite erhöht und
man erhält den der Linie nach Fig. 2 entsprechenden Intensitätsverlauf,
wie er in Fig. 4 dargestellt ist. Je feiner die Stegbreite ba in Bezug auf die
Breite der Empfängerfläche be festgelegt ist, um so größer ist die
Auflösung. Mit der dargestellten Ausführungsform wird eine
Ortsauflösungserhöhung um den Faktor 5 gegenüber dem Empfänger
ohne die vorgeschlagene Anordnung erreicht. Außerdem wird das
Signal/Rausch-Verhältnis gegenüber herkömmlichen Anordnungen
wesentlich verbessert. Weiterhin kann bspw. auf Multiplexerelemente,
wie sie nach dem Stand der Technik für IR-Detektorzeilen erforderlich
sind, verzichtet werden.
In Fig. 5 ist eine weitere Möglichkeit der Stegausbildung dargestellt, bei
der eine Matrix aus fotoelektrischen Empfängern, bestehend aus drei
Zeilen zu je fünf Empfängerelementen zum Einsatz gelangt. Die
Anordnung der Stege 21 entspricht dabei der Anordnung nach Fig. 1. Die
Stege 22 sind in analoger Weise, jedoch senkrecht zu den Stegen 21
angeordnet. Die Meßwerterfassung und Verschiebung der Stege 21
erfolgt zunächst, wie zu Fig. 1 beschrieben, wobei die Stege 22 in eine
Stellung verbracht sind, in der sie nicht auf die Empfängerflächen
einwirken, danach werden die Stege 21 in die in Fig. 5 dargestellte Lage
verbracht und es erfolgt im einfachsten Fall lediglich eine Verschiebung
der Stege 22; andere Abtastfolgen liegen im Rahmen der Erfindung.
Durch eine solche Anordnung lassen sich auf der Matrix abgebildete
zweidimensionale Intensitätsverläufe mit erhöhter Ortsauflösung
detektieren.
Eine weitere Ausbildungsmöglichkeit der Stege ist in Fig. 6 schematisch
dargestellt. Dort soll wiederum von zeilenförmig angeordneten fünf, in
Fig. 6 nicht näher dargestellten Empfängerflächen ausgegangen werden,
denen fünf Stege 21a zugeordnet sind. Weiterhin ist ein zweiter Satz von
Stegen 21b vorgesehen, deren Breite gegenüber den Stegen 21a etwas
verbreitert ausgeführt ist, wodurch bei deren Einsatz eine verringerte
Auflösung erreicht wird, was für manche Meßaufgaben ausreichend sein
kann. Werden mehrere solcher Sätze von unterschiedlichen Stegbreiten
zur Verfügung gestellt, kann durch entsprechende Auswahl der Sätze
und/oder der Schrittweite die jeweils gewünschte
Ortsauflösungserhöhung vorgegeben werden.
Gemäß der Erfindung sind die Stege 2, 21, 22 bevorzugt gebildet durch
Einbringen von Ausnehmungen 71 in eine Siliziummembran mitttels
mikrosystemtechnischer Methoden. Auf die beschriebene Weise
verbieten die Stege und ein sie umfassender Siliziumrahmen 7, der
seinerseits von einer nicht näher dargestellten Aufnahme erfaßt und mit
dem Verstellelement 3 in Verbindung gebracht ist.
Alle in der Beschreibung, den nachfolgenden Ansprüchen und der
Zeichnung dargestellten Merkmale können sowohl einzeln als auch in
beliebiger Kombination miteinander erfindungswesentlich sein.
1
Strahlungsempfängerelement
2
,
21
,
22
,
21
a,
21
b Stege
2
a Ausgangslage eines Stegs
2
e Endlage eines Stegs
3
Verstellelement
4
Steuer- und Datenleitung
5
Steuer- und Auswerteeinheit
6
Leitung
7
Rahmen
71
Ausnehmungen
ba Stegbreite
be Empfängerbreite
S Pfeile
ba Stegbreite
be Empfängerbreite
S Pfeile
Claims (5)
1. Anordnung zur Ortsauflösungserhöhung von Strahlungsdetektoren,
dadurch gekennzeichnet, daß vor jedem Strahlungsempfängerelement
(1) ein für die zu detektierende Strahlung nicht transparenter Steg (2)
angeordnet ist, dessen Stegbreite (ba) zu einem Bruchteil der
Strahlungsempfängerbreite (be) festgelegt ist und der Steg (2)
vermittels eines Verstellelements (3) über die gesamte
Empfängerelementbreite (be) verschiebbar ist, wobei über eine Steuer-
und Datenleitung (4) diskrete Verstellpositionen des
Verschiebeelements (3) einstellbar sind und diese diskreten Positionen
in einer Steuer- und Auswerteeinheit (5) den jeweils zugehörigen, über
eine Leitung (6) übertragenen Intensitätssignalen des
Strahlungsempfängerelements (1) zuordenbar sind und nach einer
rechnerischen Transformation den Intensitätsverlauf der zu
detektierenden Strahlung mit erhöhter Auflösung in Abhängigkeit vom
Verhältnis Empfängerbreite (be) zur Stegbreite (ba) darstellen lassen.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
Abstand der Stege zur Empfängerfläche in der Größenordnung der
Stegbreite (ba) festgelegt ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß je nach
Anzahl linear erfaßbarer Strahlungsempfängerelemente gleichviel
Stege (2, 21, 22; 21a; 21b) mit dem gleichen Mittenabstand wie die
Strahlungsempfängerelemente in einem Rahmen (7) zusammengefaßt
angeordnet sind.
4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der
Rahmen (7) mehrere Sätze von Stegen (21a; 21b) unterschiedlicher
Breite beinhaltet.
5. Anordnung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Stege einstückiges Bestandteil eines mit Ausnehmungen (71)
versehenen Siliziumchips sind.
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0336152A1 (de) * | 1988-03-28 | 1989-10-11 | Hughes Danbury Optical Systems, Inc. | Optischer Sensor zur Richtungsbestimmung eintreffender Strahlung |
DE4327944A1 (de) * | 1992-08-31 | 1994-03-03 | Shimadzu Corp | Zweidimensionaler Bilddetektor |
DE4003698C2 (de) * | 1990-02-07 | 1994-09-08 | Wild Heerbrugg Ag | Wellenfrontsensor |
DE4307530A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-15 | Kodak Ag | Verfahren und Anordnung zum berührungslosen Messen der Geschwindigkeit eines Gegenstandes |
DE4331929A1 (de) * | 1993-09-14 | 1995-03-16 | Vision 2 D Mestechnik Gmbh | Meßsystem zur Aufnahme hoch zeitaufgelöster Spektren und Bilder mit hoher Dynamik |
US5428215A (en) * | 1994-05-27 | 1995-06-27 | Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By Minister Of National Defence Of Her Majesty's Canadian Government | Digital high angular resolution laser irradiation detector (HARLID) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4017317C2 (de) * | 1990-05-30 | 2000-02-17 | Bodenseewerk Perkin Elmer Co | Anodnung zur Verbesserung der Auflösung eines Spektrometers |
US5604695A (en) * | 1995-06-05 | 1997-02-18 | Her Majesty The Queen, As Represented By The Minister Of National Defence Of Her Majesty's Canadian Government | Analog high resolution laser irradiation detector (HARLID) |
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- 1999-03-26 EP EP99919187A patent/EP1064526A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0336152A1 (de) * | 1988-03-28 | 1989-10-11 | Hughes Danbury Optical Systems, Inc. | Optischer Sensor zur Richtungsbestimmung eintreffender Strahlung |
DE4003698C2 (de) * | 1990-02-07 | 1994-09-08 | Wild Heerbrugg Ag | Wellenfrontsensor |
DE4327944A1 (de) * | 1992-08-31 | 1994-03-03 | Shimadzu Corp | Zweidimensionaler Bilddetektor |
DE4307530A1 (de) * | 1993-03-10 | 1994-09-15 | Kodak Ag | Verfahren und Anordnung zum berührungslosen Messen der Geschwindigkeit eines Gegenstandes |
DE4331929A1 (de) * | 1993-09-14 | 1995-03-16 | Vision 2 D Mestechnik Gmbh | Meßsystem zur Aufnahme hoch zeitaufgelöster Spektren und Bilder mit hoher Dynamik |
US5428215A (en) * | 1994-05-27 | 1995-06-27 | Her Majesty The Queen In Right Of Canada, As Represented By Minister Of National Defence Of Her Majesty's Canadian Government | Digital high angular resolution laser irradiation detector (HARLID) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8181 | Inventor (new situation) |
Free format text: PAWLIK, HORST, DIPL.-ING., 07751 ROTHENSTEIN, DE RIESENBERG, RAINER, DR.RER.NAT., 07749 JENA, DE SEIFERT, THOMAS, DIPL.-ING., 07743 JENA, DE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |