DE4009266A1 - Automatischer vorionisations-pulslaser - Google Patents
Automatischer vorionisations-pulslaserInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Pulslaser, wie
einen Excimer-Laser, einen Halogengas-Laser,
TEA-CO2-Laser, TEMA-CO2-Laser und Metalldampf-Laser,
welche ein Lasermedium durch Pulsentladung anregen und
einen Laserstrahl von einem Resonator schwingen lassen,
und insbesondere auf einen Röntgen-Vorionisations-
Pulslaser, der einen hohen Laseroszillationswirkungsgrad
hat.
Generell verwenden der Excimer-Laser, Halogengas-Laser,
TEA-CO2-Laser, TEMA-CO2-Laser, Metalldampf-Laser
usw., die ein Lasergas (ein Lasermedium) anregen, um
einen Laserschwingung zu erhalten, eine Technik der
Anregung durch Entladung, mit Ausnahme von großen
Leistungslasern, die eine Elektronenstrahlanregungs
technik verwenden.
Fig. 1 ist ein Schaltkreisdiagramm eines Puls-Lasers,
welcher Entladungsanregungstechnik verwendet,
entsprechend dem Stand der Technik.
Dieser Schaltkreis hat zwei Hauptelektroden 103 und 104,
welche in einer Laserröhre untergebracht sind. Die
Hauptelektroden 103 und 104 stehen einander gegenüber und
erhalten eine Pulsspannung, um eine Pulsentladung zur
Anregung eines Lasermediums zu erreichen. Um die Anregung
des Lasermediums zu stabilisieren, ist es notwendig, das
Lasermedium vorzuioniseren. Gewöhnlich wird die
Vorionisation mit ultravioletten Strahlen durchgeführt,
die durch Bogenentladung von einer Vielzahl von
Lichtbogenstrecken (spark gaps) 112 erzeugt werden. Die
Lichtbogenstrecken 112 werden von einem Pulsschaltkreis
gesteuert, welcher von einem Schaltkreis 117 zur
Steuerung der Hauptelektroden verschieden ist.
Der Steuerungsschaltkreis 117 für die Hauptelektroden 103
und 104 umfaßt einen Kondensator 101 (C 1), einen
Auslöserspalt (einen Schalter) 105 und einen
Ladewiderstand 113. Entladung der Hauptelektroden 103 und
104 wird mehrere 10 bis 100 ns nach Entladung der
Lichtbogenstrecken 112 durchgeführt.
Fig. 2 zeigt einen herkömmlichen
Auto-Vorionsationsschaltkreis für herkömmliche Bewirkung
der Vorionsationsentladung und Hauptentladung. Eine
Funktionsweise gemäß Fig. 2 wird kurz erklärt.
Wenn ein Auslöserspalt (ein Schalter) 105 geschlossen
wird, wird eine Ladung von einem Speicherkondensator 101
(C 1) zu einem Kondensator 102 (C 2) durch die
Vorionisationsstrecken 112 transferiert, und dabei der
Kondensator 102 (C 2) geladen. Nachdem ein Lasermedium
durch Vorionisation von den Vorionisationsstrecken 112
vorionisiert ist, und nachdem der Kondensator 102 (C 2)
ausreichend geladen ist, wird eine Hauptentladung
zwischen zwei Hauptelektroden 103 und 104 durchgeführt,
um einen Laserstrahl schwingen zu lassen.
Generell wird die Kapazität des Kondensators C 1 und die
des Kondensators C 2 zu C 1 = C 2 festgelegt.
Um den Laseroszillationswirkungsgrad zu verbessern und
die Entladung zu stabilisieren, ist es notwendig, das
Lasermedium ausreichend vorzuionisieren. Die herkömmliche
Technik, die Ultraviolettstrahlen verwendet, die durch
Bogenentladung von Lichtbogenstrecken erzeugt wird, ist
jedoch nicht in der Lage, das Lasermedium ausreichend
vorzuionisieren, wenn ein Betriebsgasdruck für eine
Hauptentladung zu hoch ist, oder wenn ein Volumen der
Hauptentladung zu groß ist. Nämlich, diese herkömmliche
Technik ist nicht geeignet, einen starken Laserstrahl zu
erzeugen. Zusätzlich sind die Lichtbogenstrecken
Hindernisse im Gasfluß, so daß es schwierig sein könnte,
mit hohen Wiederholraten zu operieren.
Für große Laser ist es bekannt, eine
Röntgenstrahlenvorionisationstechnik zu verwenden, die
ein Lasermedium mit Röntgenstrahlen vorionisiert. Die
Röntgenstrahlenvorionisationstechnik kann ausreichende
Vorionisation des Lasermediums erzielen, sogar wenn der
Betriebsgasdruck der Hauptentladung hoch ist, oder sogar
wenn das Volumen der Hauptentladung groß ist. Diese
Technik verwendet jedoch eine getrennte Leistungsquelle
für die Vorionisation, zusätzlich zu einer
Leistungsquelle für die Hauptentladung, und
verkompliziert damit die Leistungsquelle, vergrößert die
Abmessungen und erhöht die Kosten.
Demzufolge kann der herkömmliche
Vorionisationsschaltkreis, der ultraviolette Strahlen
verwendet, die durch Bogenentladung von
Lichtbogenstrecken erzeugt werden, nicht genügend
ultraviolette Strahlen zur Vorionisation eines
Lasermediums vorsehen, und ergibt somit einen schlechten
Oszillationswirkungsgrad, instabile Entladung, niedrige
Laserausgangsleistung und niedrige Wiederholraten. Auf
der anderen Seite hat der herkömmliche
Röntgenstrahlen-Vorionisationsschaltkreis Probleme einer
verkomplizierten Leistungsquelle und hoher Kosten.
Um die obigen Probleme zu lösen, ist es eine Aufgabe der
vorliegenden Erfindung, einen
Röntgenstrahlen-Vorionisations-Pulslaser zu erstellen,
der einen hohen Laseroszillationswirkungsgrad und eine
große Ausgangsleistung realisiert.
Eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es,
einen kompakten Röntgenstrahlen-Autovorionisationspuls-
Laser vorzusehen, der eine einfache Struktur hat und
ausreichende Vorionisation realisiert.
Noch eine andere Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist
es, einen Röntgenstrahlenvorionisationspuls-Laser
vorzusehen, der eine hohe Ausgangsleistung und eine hohe
Wiederholrate ergibt.
Einem Aspekt der vorliegenden Erfindung zur Folge umfaßt
ein Röntgenstrahlenvorionisations-Laser eine Laserröhre,
in welcher ein Paar von Hauptelektroden untergebracht
ist, die sich gegenüberstehen. Pulsentladung zwischen den
Hauptelektroden regt ein Lasermedium an, damit wird eine
Laseroszillation erhalten. Der Laser hat eine
abgedichtete Vakuumkammer, in welcher eine gleitende
Entladungszone angeordnet ist. Die gleitende
Entladungszone erzeugt Röntgenstrahlen zur Vorionisation
des Lasermediums, bevor die Hauptentladung für die
Laseroszillation durchgeführt ist.
Einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung zur Folge
umfaßt ein Röntgenstrahlen-Vorionisations-Pulslaser eine
Laserröhre, in welcher ein Paar Hauptelektroden
untergebracht sind, die sich gegenüberstehen. Elektrische
Entladung zwischen den Hauptelektroden regt ein
Lasermedium an, damit wird eine Laseroszillation
erreicht. Ein zweiter Kondensator C 2 ist parallel zu
den Hauptelektroden geschaltet. Ein erster Kondensator
C 1, ein Schalter, ein Röntgenstrahlengenerator und der
zweite Kondensator C 2 sind in Reihe geschaltet. Der
erste Kondensator C 1 wird zuerst geladen, und dann wird
der Schalter geschlossen, um den ersten Kondensator C 1
zu entladen, so daß der Röntgenstrahlengenerator
Röntgenstrahlen zur Vorionisation des Lasermediums
erzeugen kann. Zu dieser Zeit fließen Ladungen vom ersten
Kondensator C 1 zum zweiten Kondensator C 2, um den
zweiten Kondensator C 2 zu laden, welche eine hohe
Spannung auf die Hauptelektroden geben, womit eine
Pulsentladung zwischen den Hauptelektroden erreicht wird.
Die Kapazität des ersten Kondensators C 1 und die des
zweiten Kondensators C 2 sind zu C 1 < C 2 festgelegt.
Auf diese Weise wird der erste Kondensator C 1 im voraus
auf eine hohe Spannung aufgeladen, und dann wird der
Schalter geschlossen, damit wird die Röntgenstrahlen
erzeugende Zone (Gleitentladungszone) veranlaßt,
Röntgenstrahlen zu erzeugen. Zu dieser Zeit fließen
Ladungen vom ersten Kondensator C 1 zum zweiten
Kondensator C 2, und die Röntgenstrahlen, die von der
gleitenden Entladung erzeugt werden, vorionisieren das
Lasermedium ausreichend. Danach verursacht der von dem
Transfer der elektrischen Ladungen geladene Kondensator
C 2 die Hauptentladung zwischen Anode und Kathode.
Dieses regt das Lasermedium an, damit wird eine
Laseroszillation in einem Resonator erhalten. Weil die
Kapazität des zweiten Kondensators C 2 für die
Hauptentladung als größer als die des ersten Kondensators
C 1 für die Vorionisation festgelegt ist, wird eine
höhere Spannung für die Vorionisation angewandt, damit
werden Hochenergie-Röntgenstrahlen zur ausreichenden
Vorionisation des Lasermediums erzeugt.
Diese und andere Aufgaben, Eigenschaften und Vorteile der
vorliegenden Erfindung werden deutlicher in der folgenden
detaillierten Beschreibung bevorzugter
Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den begleitenden
Zeichnungen.
Fig. 1 ist ein Schaltplan, welcher den
wesentlichen Teil eines
Entladungsanregungs-Pulslasers zeigt, der
getrennte Steuerschaltkreise entsprechend
dem Stand der Technik hat;
Fig. 2 ist ein Schaltplan, der den wesentlichen
Teil eines automatischen
Vorionisationspuls-Lasers entsprechend dem
Stand der Technik zeigt;
Fig. 3 ist ein Schaltplan mit einem Ausschnitt
einer Elektrode, welcher einen
Röntgenstrahlen-Autovorionisations-
Pulslaser gemäß einem ersten
Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt;
Fig. 4 ist ein Ausschnitt einer Seitenansicht,
welche die Details einer Vorionisationszone
des ersten Ausführungsbeispieles zeigt;
Fig. 5 ist ein Schaltplan, welcher den
wesentlichen Teil einer Modifikation des
ersten Ausführungsbeispieles zeigt, mit
einer sättigungsfähigen Induktivität;
Fig. 6 und 7 sind Schaltpläne, die jeweils andere
Modifikationen des ersten
Ausführungsbeispieles zeigen;
Fig. 8 ist ein Schaltplan, der einen
Ultraviolettstrahlen-Autovorionisationspuls-
Laser nach einem zweiten
Ausführungsbeispiel der vorliegenden
Erfindung zeigt;
Fig. 9 ist ein Ausschnitt einer Seitenansicht, die
die Details einer Vorionisationszone des
zweiten Ausführungsbeispieles zeigt;
Fig. 10 ist ein Schaltplan, der den wesentlichen
Teil einer Modifikation des zweiten
Ausführungsbeispieles zeigt, mit einer
sättigungsfähigen Induktivität; und
Fig. 11 ist ein Schaltplan, der einen
Autovorionisationspuls-Laser gemäß einem
dritten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung zeigt.
Die Fig. 3 und 4 zeigen einen
Röntgenstrahlen-Vorionisations-Pulslaser nach dem ersten
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
Der Laser umfaßt eine erste Elektrode 12, die eine
Hauptkathode 3 einschließt und Gleitentladungselektroden
7 und 8, und eine zweite Elektrode 13, die eine
Hauptanode 4 einschließt.
Fig. 4 zeigt die Details der ersten Elektrode 12, in
welcher die Kathode 3, die eine gebogene Form hat, auf
dem Äußeren eines Anschlußteiles 17 angebracht ist. Das
Anschlußteil 17, Hauptkathode 3 und eine Stirnseite 9
legen eine abgedichtete Vakuumkammer 11 fest. Die
Stirnseite 9 besteht aus einem dünnen Film, welcher
Röntgenstrahlen durchläßt.
In der abgedichteten Vakuumkammer 11 hat das Anschlußteil
17 ein Substrat 6 aus Ferrit etc. Die
Gleitentladungselektroden 7 und 8 sind auf der unteren
Fläche des Substrats 6 angebracht, so daß die zweiten
Gleitentladungselektroden 8 in longitudinaler Richtung
einen Zwischenraum haben und auf jeder Seite der ersten
Gleitentladungselektrode 7 angeordnet sind.
Entladungskanäle 10 sind zwischen den ersten und zweiten
Gleitentladungselektroden 7 und 8 auf der Oberfläche des
Substrates 6 gebildet. Die Entladungskanäle 10
verursachen Gleitentladung zur Erzeugung von
Röntgenstrahlung für die Vorionisation eines
Lasermediums. Das Substrat 6 besteht aus Ferrit, Keramik,
Metalloxiden, einer Mischung davon etc. Um die
Entladungskanäle 10 auf dem Substrat 6 zu bilden, wird
ein Teil der Oberfläche des Substrates 6 schnell erhitzt
und dann durch Entladung etc. schnell abgekühlt.
Die erste Gleitentladungselektrode 7 ist an eine
Hochspannungsquelle HV über einen ersten Kondensator 1
(C 1), eine Diode 14 und eine Induktivität 15
angeschlossen. Die zweiten Gleitentladungselektroden 8
sind mit der Hauptkathode 3 durch elektrische Drähte 21,
wie in Fig. 4 dargestellt, verbunden. Die ersten und
zweiten Gleitentladungselektroden 7 und 8 sind
miteinander durch die Entladungskanäle 10, i.e. eine
Gleitentladungsportion, verbunden.
Die Anode 4 ist direkt mit einer Masse 23 verbunden,
während die Kathode 3 mit der Masse 23 durch den zweiten
Kondensator 2 (C 2) verbunden ist. Nämlich, das eine
Ende des zweiten Kondensators 2 (C 2) ist mit der
Kathode 3 verbunden und das andere Ende des zweiten
Kondensators 2 (C 2) ist mit der Anode 4 und der Masse
23 verbunden. Die Diode 14 ist mit der Masse 23 über
einen Schalter 5 verbunden. Eine Induktivität 16 ist
parallel zu den Hauptelektroden 3 und 4 geschaltet.
Demzufolge ist der zweite Kondensator 2 (C 2) parallel
zu den Hauptelektroden 3 und 4 geschaltet, während der
erste Kondensator 1 (C 1), der Schalter 5,
Gleitentladungselektroden 7 und 8, Hauptkathode 3 und
zweiter Kondensator 2 (C 2) in Serie geschaltet sind.
Die Kapazität des Kondensators 1 (C 1) und die des
Kondensators 2 (C 2) sind zu C 1 < C 2 festgelegt.
Eine Funktionsweise des ersten Ausführungsbeispieles wird
erklärt.
Zuerst wird der Schalter 5 geöffnet, um den Kondensator 1
(C 1) auf eine hohe Spannung aufzuladen. Danach wird der
Schalter 5 geschlossen, um den ersten Kondensator 1
(C 1) zu entladen. In diesem Moment werden Ladungen des
ersten Kondensators 1 (C 1) durch die erste
Gleitentladungselektrode 7, Entladungskanäle 10, zweite
Gleitentladungselektroden 8, Drähte 21 und Hauptkathode 3
zum zweiten Kondensator 2 (C 2) transferiert. Dieser
Ladungstransfer verursacht das Auftreten von
Gleitentladung auf der Oberfläche des Substrates 6,
welches aus Ferrit etc. besteht, und erzeugt dabei
Röntgenstrahlung in der abgedichteten Vakuumkammer 11.
Die Gleitentladung ist in longitudinaler Richtung der
Hauptelektroden 3 und 4 orientiert und vom Zentrum hin zu
beiden Seiten entlang den Entladungskanälen 10.
Die so erzeugten Röntgenstrahlen passieren die Stirnseite
9 und bestrahlen eine Hauptentladungsregion M, wobei das
Lasermedium in der Hauptentladungsregion M vorionisiert
wird. Die Stirnseite 9 ist ein dünner Film, der eine
Trennwand der abgedichteten Vakuumkammer 11 bildet. Der
zweite Kondensator 2 (C 2), der vom Transfer der
elektrischen Ladungen geladen wurde, verursacht das
Auftreten von Hauptentladung zwischen der Hauptkathode 3
und Anode 4. Dieses regt das Lasermedium (ein Lasergas)
an, so daß ein Resonator (nicht gezeigt) einen
Laserstrahl in Richtung einer Pfeilmarkierung L aussenden
kann, somit eine Laserschwingung realisiert.
Es ist bekannt, daß Vorionisation Röntgenstrahlen
benötigt, die eine Energie von 15 oder 20 kV oder mehr
haben. Es ist ebenso bekannt, daß Röntgenstrahlen, die
von einem Röntgenstrahlengenerator erzeugt werden, eine
Energie von einem Halb bis einem Drittel der
Entladungsspannung, die auf den Röntgenstrahlengenerator
gegeben wird, haben, welcher in dem Ausführungsbeispiel
die Gleitentladungszone, d.h. die Entladungskanäle 10,
ist. Diese Tatsachen gelten sowohl im
Gleitentladungssystem als auch im beschleunigten
Elektronenstrahlensystem.
Es versteht sich aus den Tatsachen, daß eine Spannung von
30 bis 40 kV oder mehr auf den Röntgenstrahlengenerator
(die Entladungskanäle 10) gegeben werden muß. Auf der
anderen Seite beträgt eine auf die Hauptelektrode 3 und 4
gegebene Spannung generell 20 bis 30 kV, welche niedriger
als die auf den Röntgenstrahlengenerator (die
Entladungskanäle 10) gegebene Spannung sein soll.
Im herkömmlichen Autovorionisationskreis sind jedoch die
Kondensatoren zu C 1 ≧ C 2 festgelegt, so daß eine auf
den Röntgenstrahlengenerator gegebene Spannung niedriger
als eine auf die Hauptelektroden gegebene Spannung ist.
Dieser kann die Röntgenstrahlen-Autovorionisation nicht
realisieren.
Im Gegensatz dazu sind die Kondensatoren des
Ausführungsbeispieles zu C 1 < C 2 festgelegt, und
deshalb ist eine auf den Röntgenstrahlengenerator (die
Entladungskanäle 10) gegebene Spannung höher als eine auf
die Hauptelektroden 3 und 4 gegebene Spannung. Dieses
realisiert die Röntgenstrahlenautovorionisation. Nämlich,
während Ladungen vom ersten Kondensator 1 (C 1) zum
zweiten Kondensator 2 (C 2) transferiert werden, wird
eine Spannung auf die Gleitentladungselektroden 7 und 8
gegeben, um Röntgenstrahlen von den Entladungskanälen 10
zu erzeugen. Dieses bedeutet, daß die auf die
Gleitentladungselektroden 7 und 8 gegebene Spannung höher
ist als eine Spannung, die danach von dem zweiten
Kondensator 2 (C 2), der durch die Bewegung der
elektrischen Ladungen aufgeladen ist, an die Elektroden 3
und 4 gelegt ist.
Der Röntgenstrahlengenerator kann hinter jeder der
Hauptelektroden angebracht sein oder hinter einer von
ihnen. Der Röntgenstrahlengenerator kann in einer
abgedichteten Vakuumkammer und in der Umgebung der
Hauptelektrode(n) angebracht sein.
Weil die Oberfläche des Substrates 6, das aus Ferrit etc.
besteht, vorbehandelt ist, realisieren die
Entladungskanäle 10, die darauf gebildet sind, eine
einfache Entladung.
Und, es ist möglich, den zweiten Kondensator 2 (C 2) und
die Hauptelektroden 3 und 4 zu verbinden, so daß, nachdem
Ladungen des ersten Kondensators 1 (C 1) zum zweiten
Kondensator 2 (C 2) mittels Gleitentladung transferiert
sind, die Ladungen des zweiten Kondensators 2 (C 2) zu
den Hauptelektroden 3 und 4 mittels einer anderen
Gleitentladung transferiert werden.
Fig. 5 ist eine Ansicht, die eine Modifikation des ersten
Ausführungsbeispieles zeigt. In dieser Modifikation wird
eine sättigungsfähige Induktivität 17 eingefügt und
zwischen den zweiten Kondensator 2 (C 2) und Anode 4
geschaltet, um eine schnelle Anstiegszeit der
Hauptentladung zu erreichen, womit der
Laseroszillationswirkungsgrad weiter verbessert wird.
Die Kapazität des Kondensators 1 (C 1) und die des
Kondensators 2 (C 2) sind zu C 1 < C 2 festgelegt.
Fig. 6 ist eine Ansicht, die eine andere Modifikation des
ersten Ausführungsbeispieles zeigt. Die Modifikation hat
eine Elektronenstrahlquelle 19 hinter der Hauptkathode 3
in der abgedichteten Vakuumkammer 11. Die
Elektronenstrahlquelle 19 sendet Elektronenstrahlen aus,
welche auf eine hohe Geschwindigkeit in Richtung einer
Pfeilmarkierung D beschleunigt werden und auf ein
Metalltarget 20 auftreffen gelassen werden, wobei
Röntgenbremsstrahlen erzeugt werden. Die übrige
Funktionsweise dieser Modifikation ist dieselbe wie die
des ersten Ausführungsbeispieles.
Die Kapazität des Kondensators 1 (C 1) und die des
Kondensators 2 (C 2) sind zu C 1 < C 2 festgelegt.
Fig. 7 ist eine Ansicht, die noch eine andere
Modifikation des ersten Ausführungsbeispieles zeigt.
Diese Modifikation benutzt den dünnen Film 9 als ein
Metalltarget, auf welches ein Elektronenstrahl D aus
einer Elektronenstrahlquelle 19 auftrifft.
Die Kapazität des Kondensators 1 (C 1) und die des
Kondensators 2 (C 2) sind zu C 1 < C 2 festgelegt.
Die Elektronenstrahlquelle 19 der Fig. 6 oder 7 kann eine
heiße Kathode, Plasmakathode oder kalte
Feldemissionskathode sein. Der Röntgenstrahlengenerator
der Fig. 6 oder 7 kann hinter jeder der Hauptelektroden
oder hinter einer von ihnen untergebracht sein. Der
Röntgenstrahlengenerator kann angrenzend an die
Hauptelektrode(n) in der abgedichteten Vakuumkammer 11
untergebracht sein.
Die Fig. 8 bis 10 sind Ansichten, die das zweite
Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigen. Dieses
Ausführungsbeispiel benutzt Ultraviolettstrahlen, die
durch Gleitentladung erzeugt werden, um ein Lasermedium
vorzuionisieren. Der Unterschied zum ersten
Ausführungsbeispiel ist, daß eine Stirnseite 25 aus einer
Metallplatte oder Maschendraht besteht, mit einer
Vielzahl von Perforationen. Eine erste Elektrode 12, die
Gleitentladungselektroden 7 und 8 hat, und eine zweite
Elektrode 13 sind in einer Gaskammer 27, die das
Lasermedium (ein Lasergas) G enthält, angeordnet.
Eine Betriebsweise des zweiten Ausführungsbeispieles wird
unter Bezugnahme auf die Fig. 8 und 9 erklärt.
Ein erster Kondensator 1 (C 1), der auf eine hohe
Spannung aufgeladen ist, wird durch Schließen eines
Schalters 5 entladen. Ladungen vom ersten Kondensator 1
(C 1) bewirken, daß Gleitentladung E auf der Oberfläche
eines Substrats 6, welches aus Ferrit etc. besteht,
auftritt, und gelangen zu einem zweiten Kondensator 2
(C 2). Aufgrund der Gleitentladung E werden
Ultraviolettstrahlen U in der Atmosphäre des Lasergases
erzeugt.
Mit Entladungskanälen 10, gebildet, um mit Leichtigkeit
die elektrischen Ladungen zu übertragen, ist die erzeugte
Gleitentladung E in der Longitudinalrichtung der
Hauptelektroden orientiert, d.h. einer Kathode 3 und
einer Anode 4, wie in Fig. 9 gezeigt. In dieser Figur
tritt die Gleitentladung E von der ersten
Gleitentladungselektrode 7 hin zu den zweiten
Gleitentladungselektroden 8, die gegenüber angebracht
sind, in der Longitudinalrichtung der Hauptelektroden 3
und 4 auf.
Die Ultraviolettstrahlen U passieren die Stirnseite 25
mit den Perforationen und bestrahlen eine
Hauptentladungsregion M, wobei das Lasergas in der
Hauptentladungsregion M vorionisiert wird.
Danach verursacht der zweite Kondensator 2 (C 2) ,
welcher durch die Ladungsbewegung aufgeladen worden ist,
das Auftreten von Hauptentladung zwischen der Anode 4 und
Kathode 3, um das Lasergas anzuregen. Dann sendet ein
Resonator (nicht gezeigt) einen Laserstrahl in der
Richtung einer Pfeilmarkierung L aus, wobei
Laseroszillation realisiert wird.
Weil die Ultraviolettstrahlen U durch die Gleitentladung
entlang der gesamten Länge der Entladungskanäle 10
erzeugt werden, sind die Strahlen sehr stark, um
ausreichende Vorionisation zu erzeugen. Zusätzlich ist
eine sehr einfache Schaltung, wie die in Fig. 8 gezeigte,
realisiert.
Im zweiten Ausführungsbeispiel sind die
Gleitentladungselektroden 7 und 8 hinter der Kathode 3
angebracht, um den Widerstand gegen Strömungen des
Lasergases in Richtung einer Pfeilmarkierung G in Fig. 8
zu reduzieren, und damit die Repititionsrate der
Laseroszillation zu verbessern.
Löcher 18 können an den Seitenflächen der Kathode 3, wie
in Fig. 8 dargestellt, geöffnet werden, oder eine
Gaspassage kann innerhalb der Hauptelektroden 3 und 4
arrangiert werden, damit das Lasergas auf die Oberfläche
der Gleitentladungselektroden 7 und 8 fließt. Dieses kann
weiter die Repititionsrate der Laseroszillation
verbessern.
Die Gleitentladungselektroden 7 und 8 zur Erzeugung
ultravioletter Strahlen können hinter jeder der
Hauptelektroden 3 und 4 oder hinter einer von ihnen, wie
in den Fig. 8 und 9 dargestellt, in welchen die
Gleitentladungselektroden 7 und 8 hinter der Hauptkathode
3 angebracht sind, angebracht werden. Die
Gleitentladungselektroden können außerhalb der
Hauptelektrode(n) in der Umgebung davon angebracht
werden.
Fig. 10 ist ein Schaltplan, der eine Modifikation des
zweiten Ausführungsbeispieles zeigt. In dieser
Modifikation ist eine sättigungsfähige Induktivität 17
eingefügt und zwischen den zweiten Kondensator 2 (C 2)
und Hauptelektroden 3 und 4 geschaltet, um eine schnelle
Anstiegszeit der Hauptentladung zu erreichen und damit
den Laseroszillationswirkungsgrad zu verbessern.
Fig. 11 ist eine Ansicht, die ein drittes
Ausführungsbeispiel der Erfindung erläutert. Nach diesem
Ausführungsbeispiel sind Gleitentladungskanäle 32
innerhalb einer abgedichteten Vakuumkammer 40
untergebracht, um zwei Röntgenstrahlengeneratoren 30 zu
bilden, die senkrecht zu den Hauptelektroden 3 und 4
sind. Die Röntgenstrahlengeneratoren 30 sind zueinander
parallel geschaltet, und die einen Enden
(Leistungsquellenenden) davon sind mit einem Schalter 5
verbunden, und die anderen Enden (geerdete Enden) davon
sind mit einem zweiten Kondensator 2 (C 2) verbunden,
der parallel zu den Hauptelektroden 3 und 4 geschaltet
ist. Ein erster Kondensator 1 (C 1), der Schalter 5,
zwei Röntgenstrahlengeneratoren 30 und zweiter
Kondensator 2 (C 2) sind in Serie geschaltet. In
gleicher Weise wie bei den vorherigen
Ausführungsbeispielen ist die Kapazität des zweiten
Kondensators 2 (C 2) größer als die des ersten
Kondensators 1 (C 1).
Eine Betriebsweise des dritten Ausführungsbeispieles wird
erklärt.
Zuerst wird der erste Kondensator 1 (C 1) geladen und
dann wird der Schalter 5 geschlossen, um den ersten
Kondensator 1 (C 1) zu entladen. Dieses verursacht das
Auftreten von Gleitentladung an den zwei
gegenüberliegenden Röntgenstrahlengeneratoren 30. In
diesem Moment werden Röntgenstrahlen von den
Gleitentladungskanälen 32 durch die Flächen 31 zu einer
Hauptentladungsregion M ausgesendet, um das Lasermedium M
in der Region ausreichend vorzuionisieren. Während die
Gleitentladung durchgeführt wird, bewegen sich Ladungen
vom ersten Kondensator 1 (C 1) zum zweiten Kondensator 2
(C 2), und laden dabei den zweiten Kondensator 2 (C 2).
Eine aufgeladene Spannung des zweiten Kondensators 2
(C 2) wird an die Hauptelektroden 3 und 4 gelegt, um
Hauptentladung zu bewirken, und dabei Laseroszillation
durchzuführen.
Zusammenfassend kann eine einfache Schaltung der
vorliegenden Erfindung ausreichende Vorionisation
bewirken. Ein kompakter von der Erfindung vorgesehener
Autovorionisations-Pulslaser realisiert eine hohe
Repititionsrate der Laseroszillation, eine einfache
Struktur, geringe Kosten, einen hohen
Laseroszillationswirkungsgrad und große Ausgangsleistung.
Für den Fachmann ergeben sich verschiedene Modifikationen
nach der Lehre der vorliegenden Offenbarung, ohne daß
damit ihr Umfang verlassen wird.
Claims (9)
1. Röntgenstrahlen-Vorionisations-Pulslaser,
gekennzeichnet durch
- a) ein Paar sich gegenüberstehender Hauptelektroden, von welchen Pulselektrizität zur Anregung eines Lasermediums, um eine Laseroszillation zu erhalten, entladen wird; und
- b) eine Gleitentladungszone, welche innerhalb einer abgedichteten Vakuumkammer gebildet ist, die angrenzend an wenigstens eine der Hauptelektroden angebracht ist, zur Erzeugung von Röntgenstrahlen zur Vorionisation des Lasermediums, welches von den Hauptelektroden anzuregen ist.
2. Laser nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Gleitentladungszone, die in der abgedichteten
Vakuumkammer gebildet ist, umfaßt:
- - ein Substrat, hergestellt aus wenigstens einem von Ferrit, Keramik, Metalloxiden und einer Mischung davon;
- - ein Anschlußstück, auf welches das Substrat aufgebracht ist;
- - einen Entladungskanal, welcher durch Behandlung einer vorbestimmten Zone der Oberfläche des Substrats gebildet ist; und
- - wenigstens zwei Gleitentladungselektroden, die mit dem Entladungskanal verbunden sind.
3. Laser nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
abgedichtete Vakuumkammer definiert wird von:
- - einer ersten Elektrode, die eine der Hauptelektroden ist;
- - dem Anschlußstück der Gleitentladungszone; und
- - einem dünnen Film, der Röntgenstrahlen, die aus der Gleitentladungszone kommen, durchläßt.
4. Laser nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste
Elektrode der Hauptelektroden eine Kathode ist, und
eine zweite Elektrode der Hauptelektroden eine Anode
ist.
5. Röntgenstrahlen-Vorionisations-Pulslaser,
gekennzeichnet durch
- a) ein Paar gegenüberliegender Hauptelektroden, von welchem Pulselektrizität zur Anregung eines Lasermediums, um eine Laseroszillation zu erhalten, entladen wird;
- b) einen Röntgengenerator zur Erzeugung von Röntgenstrahlen zur Vorionisation des Lasermediums, welches von den Hauptelektroden anzuregen ist;
- c) einen zweiten Kondensator, der parallel zu dem Paar von Hauptelektroden geschaltet ist;
- d) einen ersten ladenden Kondensator, der in Serie mit dem zweiten Kondensator durch den Röntgenstrahlengenerator und die Hauptelektroden geschaltet ist; und
- e) eine Schalteinrichtung, die geöffnet wird, um den ersten Kondensator aufzuladen, und die geschlossen wird, um den ersten Kondensator zu entladen, wobei der Röntgenstrahlengenerator zur Erzeugung von Röntgenstrahlen für die Vorionisation des Lasermediums veranlaßt wird, und Ladungen von dem ersten Kondensator zu dem zweiten Kondensator bewegt werden, um den zweiten Kondensator aufzuladen, und die Ladungen des geladenen zweiten Kondensators von den Hauptelektroden pulsentladen werden,
- f) eine Kapazität C 1 des ersten ladenden Kondensators und das C 2 des zweiten Kondensators zu C 1 < C 2 festgelegt ist.
6. Laser nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, daß der
Röntgenstrahlengenerator eine Gleitentladungszone
umfaßt, die innerhalb einer abgedichteten
Vakuumkammer angebracht ist, die in der Umgebung
wenigstens einer der Hauptelektroden gebildet ist.
7. Laser nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Gleitentladungszone, die innerhalb der abgedichteten
Vakuumkammer gebildet ist, umfaßt:
- - ein Substrat, welches aus wenigstens einem von Ferrit, Keramik, Metalloxiden und einer Mischung davon gemacht ist;
- - ein Anschlußstück, an welches das Substrat angebracht ist;
- - einen Entladungskanal, der durch Behandlung einer vorbestimmten Zone der Oberfläche des Substrates gebildet ist; und
- - wenigstens zwei Gleitentladungselektroden, die mit dem Entladungskanal verbunden sind.
8. Laser nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die
abgedichtete Vakuumkammer definiert wird von:
- - einer ersten Elektrode, die eine der Hauptelektorden ist;
- - dem Anschlußstück des Gleitentladungsteiles; und
- - einem dünnen Film, der Röntgenstrahlen, die von der Gleitentladungszone vorgesehen werden, durchläßt.
9. Laser nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die erste
Elektrode der Hauptelektroden eine Kathode ist, und
eine zweite Elektrode der Hauptelektroden eine Anode
ist.
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