DE4006119C2

DE4006119C2 -

Info

Publication number: DE4006119C2
Application number: DE19904006119
Authority: DE
Inventors: Josef 8265 Neuoetting De Femboeck; Ernst 8398 Pocking De Gabriel
Original assignee: Ines 8265 Neuoetting De GmbH
Current assignee: Ines 8265 Neuoetting De GmbH
Priority date: 1990-02-27
Filing date: 1990-02-27
Publication date: 1992-12-03
Also published as: DE4006119A1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein kapazitives Wegaufneh mersystem mit einem Sensor bzw. Oszillator, einer Sende- und Empfangskapazität, einem Demodulator und einem Schaltverstär ker, wobei der Oszillator einen von außen beeinflußbaren Kon densator aufweist, wobei zu dem Kondensator eine aktive Elek trode, eine Masseelektrode und eine zwischen der aktiven Elek trode und der Masseelektrode angeordnete Abschirmelektrode ge hören und wobei die Abschirmelektrode das gleiche elektrische Potential wie die aktive Elektrode aufweist.

Kapazitive Wegaufnehmersysteme bzw. entsprechende kapazitive Sensoren der in Rede stehenden Art sind seit Jahren in unter schiedlichen Bauformen aus der Praxis bekannt (vgl. beispiels weise DE-PS 33 28 210). Dabei handelt es sich in erster Linie um gekapselte Sensoren, d. h. um Sensoren mit einem zumindest die wesentlichen Kondensatorbauteile aufnehmenden Gehäuse. Zu diesen wesentlichen Kondensatorbauteilen des kapazitiven Sen sors gehören die aktive Elektrode und die Masseelektrode des Kondensators.

Ein kapazitiver Sensor mißt die Kapazitätsänderung, die durch das Annähern eines Gegenstandes im elektrischen Feld des ihm eigenen Kondensators hervorgerufen wird. In der die Kapazität eines Kondensators beschreibenden Gleichung

C=ε_rε_o _*F/d

kommen neben der absoluten Dielektrizitätskonstanten ε_o die Materialkonstante ε_r (Dielektrizitätszahl), die Kondensator fläche F und der Abstand d der Kondensatorplatten vor. Dielek trizitätszahl, Fläche und Dicke können abhängig von zu messen den Parametern den Kapazitätswert im kapazitiven Sensor beein flussen.

Zwischen der aktiven Elektrode und der Masseelektrode baut sich in den Raum hinein ein elektromagnetisches Streufeld auf. Der kapazitive Sensor detektiert neben allen elektrisch gut leitfähigen Materialien auch alle Isolatoren, sofern ihre re lative Dielektrizitätskonstante ausreichend groß ist. Zu den erfaßbaren Materialien gehören auch nahezu alle Kunststoffe, Gläser, Keramikwerkstoffe, Öle, Fette, Wasser sowie sämtliche Materialien, die Feuchtigkeit enthalten, wie beispielsweise Holz, Papier, Lebensmittel etc. Jeder Gegenstand aus den vor anstehend genannten Materialien, der in das Streufeld ein dringt, vergrößert die Kapazität des Kondensators geringfügig, ändert damit also Phase und Amplitude der Empfangsfrequenz. Die Größe der durch einen Gegenstand verursachten Kapazitäts änderung hängt ab von
dem Abstand und der Lage des Gegenstandes vor der aktiven Elektrode,
der Form und der Größe des Gegenstandes und
der Dielektrizitätskonstanten des Gegenstandes.

Das kapazitive Wegaufnehmersystem bzw. der kapazitive Sensor kann mit wenigen Volt Spannung über der Kapazität und einigen Mikrowatt Energie betrieben werden. Er lädt sich daher nicht statisch auf und verursacht auch keine Hochfrequenzstörungen. Der Zusammenhang zwischen dem Abstand und der Kapazitätsände rung ist stark nichtlinear.

Der kapazitive Sensor liefert als Ausgangssignal originär eine Schwingung mit großer bzw. sehr kleiner Oszillatoramplitude. Daraus wird im Wegaufnehmersystem ein Schaltsignal gebildet, d. h. die in der Schwingungsamplitude enthaltenen Informationen werden in ein Schaltsignal umgesetzt.

Der den Ausgangspunkt der erfindungsgemäßen Lehre bildende Stand der Technik ergibt sich zumindest hinsichtlich des Nähe rungsgebers aus der WO 89 08 352 A1. Bei diesem Näherungsgeber weist der Kondensator zur Verkleinerung der Grundkapazität zwischen der aktiven Elektrode und der Masseelektrode eine Ab schirmelektrode auf, die das gleiche elektrische Potential wie die aktive Elektrode besitzt. Bei Einbettung in ein Wegaufneh mersystem ist der bekannte Näherungsgeber jedoch insoweit pro blematisch, als das in vorgegebener Richtung erzielbare Streu feld begrenzt ist und somit keine Überwachung von beispiels weise großflächigen Bereichen möglich ist.

Aus der DE 32 21 223 A1 ist für sich ein kapazitiver Nähe rungsinitiator bekannt, wobei es sich auch hier um einen sin gulären Sensor handelt. Dieser bekannte Näherungsinitiator weist einen Kondensator mit einer aktiven Elektrode, einer Masseelektrode und einer zwischen der aktiven Elektrode und der Masseelektrode angeordneten Abschirmelektrode auf, wobei die Abschirmelektrode das gleiche elektrische Potential wie die aktive Elektrode hat.

Die aus der Praxis bekannten kapazitiven Wegaufnehmer sind je doch dann problematisch, wenn sie aufgrund ihres Einsatzes einen nur äußerst geringen Raum einnehmen dürfen bzw. sehr flach ausgebildet sein müssen. Die in Rede stehenden Wegauf nehmersysteme streuen nämlich das elektromagnetische Feld seitlich und nach hinten weg, wenn keine Abschirmmaßnahmen vorgesehen sind, die - wie beispielsweise eine Kapselung zur Aufnahme des Sensors - erheblichen Raum beanspruchen. Folglich führt die Forderung nach einer extrem flachen Ausbildung des Sensors dazu, daß einerseits solche Abschirmmaßnahmen nicht vorgesehen werden können und daß andererseits auch seitlich oder gar hinter dem Sensor befindliche Gegenstände - ungewollt - Einfluß auf die Kapazität des Kondensators und somit Einfluß auf den Oszillator des kapazitiven Wegaufnehmers nehmen.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein kapaziti ves Wegaufnehmersystem der eingangs genannten Art so auszuge stalten und weiterzubilden, daß bei äußerst flacher Ausbildung des Kondensators und bei Realisierung einer Richtwirkung des Sensors in zumindest einer vorgebbaren Richtung eine hinrei chende Streuung zur Detektion von Gegenständen in einem großen Detektionsbereich gegeben ist.

Das erfindungsgemäße kapazitive Wegmeßsystem, bei dem die zu vor aufgezeigte Aufgabe gelöst ist, ist durch die Merkmale des Patentanspruches 1 beschrieben. Danach sind bei einem kapazi tiven Wegaufnehmersystem der in Rede stehenden Art mindestens zwei kaskadierende Sensoren paarweise zusammengeschaltet. Als Schaltsignal wird die Differenz der Schwingungsamplituden der Sensoren gebildet.

Erfindungsgemäß ist zunächst erkannt worden, daß das zur Mes sung erforderliche Streufeld des Wegaufnehmersystems durch kaskadierende Anordnung der Sensoren vergrößert werden kann. Diese Erkenntnis setzt die bereits für sich erfinderische Überlegung voraus, daß die Vergrößerung des Streufeldes nicht durch entsprechende Dimensionierung des Kondensators bzw. der Kondensatorplatten erreicht wird. Vielmehr sind die Elektroden des Kondensators unter Zwischenschaltung einer Masseelektrode gerade zur Begrenzung des Streufeldes eines jeden einzelnen Kondensators ausgebildet, wobei die Abschirmelektrode das gleiche elektrische Potential wie die aktive Elektrode auf weist. Lediglich die Kaskadierung von Sensoren bzw. Kondensa toren vergrößert hier das Streufeld insgesamt, wobei bei den kaskadierenden Sensoren als Schaltsignal die Differenz der Schwingungsamplituden der Sensoren gebildet wird. In erfin dungsgemäßer Weise wurde also gerade nicht das Streufeld des einzelnen Sensors vergrößert, wodurch sich die Richtwirkung verschlechtert. Vielmehr wurde die Richtwirkung durch die be sondere Anordnung bzw. Ausgestaltung des Kondensators verbes sert, wobei das Streufeld des Wegaufnehmersystems insgesamt durch die kaskadierende Anordnung mindestens zwei Kondensato ren bzw. Sensoren erreicht ist.

Nach einer bevorzugten Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Lehre ist insbesondere zur Kompensation des Einflusses von Wasser auf die Kapazität der Empfangseinheit, d. h. auf die Empfangskapazität, eine Kompensationselektrode vorgesehen. Im Falle einer Betauung - insbesondere beim Einsatz im Freien - ist die Oberfläche des kapazitiven Sensors meist mit einem sich in seiner Dicke stets ändernden Feuchtefilm versehen. Dies führt aufgrund der Dielektrizitätskonstanten von Wasser zu einer drastischen Erhöhung der Kapazität, wodurch die Emp fangseinheit ungewollt beeinflußt wird. Durch geeignete Form gebung und Beschaltung der Kompensationselektrode ist es möglich, diesen Effekt ohne nennenswerte Empfindlichkeitsver luste des Wegaufnehmersystems weitgehend zu kompensieren.

Hinsichtlich der Ausgestaltung des Kondensators der Emp fangseinheit ist es möglich, die Elektroden entsprechend den räumlichen Erfordernissen besonders zu formen. Hinsichtlich einer flachen Ausgestaltung des RC-Oszillators ist es beson ders vorteilhaft, die aktive Elektrode, die Masseelektrode, die Abschirmelektrode und ggf. die Kompensationselektrode plattenförmig auszubilden, wodurch sich die Bauhöhe des Sen sors durch die Plattendicken und die dazwischen erforderlichen Abstände begrenzen läßt. Bei hinreichend dünner Ausbildung der "Kondensatorplatten" lassen sich die aktive Elektrode, die Masseelektrode, die Abschirmelektrode und ggf. die Kompensati onselektrode flexibel ausführen, wodurch eine extreme Anpas sung eines flächenhaft ausgebildeten Sensors an eine Auflage fläche möglich ist.

Im Rahmen der flächenhaften - flachen - Ausgestaltung des kapazitiven Wegaufnehmers könnten in besonders vorteilhafter Weise die aktive Elektrode, die Masseelektrode, die Abschirm elektrode und ggf. die Kompensationselektrode als Folien oder gar als Film ausgeführt sein. Eine solche Ausgestaltung des kapazitiven Sensors ermöglicht einerseits eine äußerst flache Bauweise des kapazitiven Wegaufnehmers, andererseits die Her stellung der folien- bzw. filmhaften Elektroden mittels Ver fahren, wie sie heutzutage im Rahmen der Halbleitertechnologie üblich sind. Beispielsweise könnten die Elektroden durch CVD oder Sputtern mit entsprechenden Isolierschichten auf ein Sub strat aufgebracht werden.

Hinsichtlich der Geometrie der Elektroden des Kondensators ist es zum Erzielen einer Richtungswirkung des Sensors besonders zweckmäßig, wenn die Masseelektrode großflächiger als die ak tive Elektrode und die Abschirmelektrode kleinflächiger als die Masseelektrode, jedoch großflächiger als die aktive Elek trode ausgeführt ist. Durch diese Dimensionierung ist gewähr leistet, daß bei dünner Bauweise des Sensors keine ungewollte Streuung des elektromagnetischen Feldes auftritt.

Eine Ausgestaltung des Wegaufnehmersystem mit mindestens zwei kaskadierenden Sensoren hat gegenüber einem Wegaufnehmersystem mit nur einem Sensor den Vorteil, daß dadurch das Streufeld in vorgegebener Richtung vergrößert wird. Werden die Sensoren bei der Annäherung eines Objektes - beispielsweise einer sich öff nenden und sich schließenden Aufzugtür - gleichmäßig bedämpft, so ist das Differenzsignal stets Null. Findet dagegen eine un terschiedliche Bedämpfung der Sensoren - beispielsweise durch eine den Aufzug betretende Person - statt, so hat das Diffe renzsignal einen von Null abweichenden Wert. Im Falle einer Aufzugstürüberwachung erhielt dann die Steuerung der Aufzugs tür ein Signal zum Öffnen bzw. ein Signal zum Umsteuern vom Schließvorgang zum Öffnungsvorgang der Tür.

Bei einem Anwendungsfall wie der Überwachung einer Aufzugstür könnte das Wegaufnehmersystem bzw. der Sensor oder die Senso ren so angeordnet sein, daß sie eine Kapazitivleiste bilden, die sich entweder in die dem Türholm zugewandte freie Türkante oder in den der freien Türkante zugewandten Türholm integrie ren läßt.

Nachfolgend finden sich einige vorteilhafte Ausgestaltungen hinsichtlich der Auswertung der vom Sensor bzw. von den Senso ren erzeugten Signale.

Problematisch beim Erkennen eines sich dem Sensor nähernden Gegenstandes ist die schleichende Annäherung des Gegenstandes. Damit ab einer bestimmten, vorgegebenen Entfernung des Gegen standes vom Sensor der Gegenstand als "anwesend" detektiert wird, damit also am Schaltausgang des Wegmeßsystems nur einer von zwei möglichen Schaltzuständen - unveränderlich - einge nommen wird, wird die Schwingung des Sensors bzw. werden die Schwingungen der Sensoren in vorteilhafter Weise gleichgerich tet, geglättet und einer Schmitt-Triggerstufe zugeführt.

Damit der Schaltungsausgang des kapazitiven Wegaufnehmer systems nicht zwischen den beiden möglichen Schaltzuständen hin- und herpendelt, wird das Schaltsignal zur Änderung des Sensorabgleichs bzw. zur Schaffung einer eindeutig definierten Schalthysterese herangezogen, wenn sich der zu detektierende Gegenstand exakt im Schaltpunkt befindet. Unter der Schalthy sterese ist dabei die Wegdifferenz zwischen Ein- und Aus schaltpunkt des Sensors zu verstehen.

Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, den Gegenstand der vorliegenden Erfindung in vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die nachgeordneten Patentansprüche 2 bis 6, andererseits auf die Erläuterung von Ausführungsbeispielen des Gegenstandes anhand der Zeichnung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung der bevorzugten Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung werden auch im allgemeinen bevorzugte Ausgestaltungen der Lehre er läutert. In der Zeichnung zeigt

Fig. 1 in einer schematischen Darstellung, geschnitten, einen herkömmlichen kapazitiven Wegaufnehmer,

Fig. 2 in einem Diagramm die wesentlichen elektronischen Funktionsgruppen eines kapazitiven Wegaufnehmers,

Fig. 3 in einer schematischen Darstellung die Elektrodenan ordnung eines Ausführungsbeispiels des erfindungsge mäßen kapazitiven Wegaufnehmers und

Fig. 4 in einer schematischen Darstellung, perspektivisch, eine erfindungsgemäße kapazitive Wegaufnehmerleiste im Rahmen einer Aufzugstüre.

Fig. 1 zeigt in einer schematischen Darstellung einen herkömm lichen kapazitiven Wegaufnehmer, wobei die vom Sensor ausge henden elektromagnetischen Feldlinien nur angedeutet sind.

Der kapazitive Wegaufnehmer 1 weist gemäß der Darstellung in Fig. 2 einen in Fig. 1 nur hinsichtlich der kapazitiven Be standteile gezeigten Sensor auf. Zu dem Wegaufnehmer 1 gehören ein Oszillator 2, eine Sende- und Empfangskapazität, ein Demo dulator 3 und ein Schaltverstärker 4, wobei der Oszillator 2 einen von außen beeinflußbaren Kondensator 5 aufweist. Gemäß der Darstellung in Fig. 1 gehören zu dem Kondensator 5 eine aktive Elektrode 6 und eine Masseelektrode 7, wobei der Kon densator 5 in einem Gehäuse 8 gekapselt ist.

Zwischen der auch als "heiße" Elektrode bezeichneten aktiven Elektrode 6 und der Masseelektrode 7 baut sich ein elektroma gnetisches Streufeld 9 in den Raum hinein auf. In Fig. 1 sind die elektromagnetischen Feldlinien 10 angedeutet. Man kann deutlich erkennen, daß sich diese elektromagnetischen Feldli nien 10, d. h. das Streufeld 9, auch seitlich und gar hinter den Wegaufnehmer 1 erstrecken, wodurch auch seitlich oder gar hinter dem Wegaufnehmer 1 befindliche Gegenstände auf die Kapazität des Kondensators 5 Einfluß nehmen.

Fig. 3 zeigt, daß erfindungsgemäß zwischen der aktiven Elek trode 6 und der Masseelektrode 7 des Kondensators 5 eine Ab schirmelektrode 11 vorgesehen ist. Die Abschirmelektrode 11 ist dabei so verschaltet, daß sie das gleiche elektrische Po tential wie die aktive Elektrode 6 aufweist. Gemäß der Dar stellung in Fig. 3 ist die aktive Elektrode 6 hochohmig ausge koppelt und wird mittels einer Treiberstufe 12 niederohmig auf die Abschirmelektrode 11 getrieben. Wird die aktive Elektrode 6 mit einem elektrischen Feld beaufschlagt, dann breiten sich die elektromagnetischen Feldlinien 10 von der aktiven Elek trode 6 aus in Richtung der Masseelektrode 7 aus. Da die Ab schirmelektrode 11 gleiches Potential wie die aktive Elektrode 6 aufweist, bewirkt die Abschirmelektrode 11 eine Neutralisie rung. Dadurch wird die aktive Elektrode 6 nicht gegen die Mas seelektrode 7 bedämpft, da zwischen der aktiven Elektrode 6 und der Masselektrode 7 kein Potentialunterschied besteht.

Fig. 1 zeigt desweiteren, daß in der Ebene der aktiven Elek trode 6 eine Kompensationselektrode 13 vorgesehen ist. Diese Kompensationselektrode 13 dient zur Kompensation des Einflus ses von Wasser auf die Kapazität des Oszillators 2. Eine sol che Kompensationselektrode 13 könnte in vorteilhafter Weise ebenso bei dem erfindungsgemäßen Wegaufnehmersystem gemäß Fig. 3 verwirklicht sein.

Bei dem erfindungsgemäßen kapazitiven Wegaufnehmersystem sind in besonders vorteilhafter Weise die aktive Elektrode 6, die Masseelektrode 7, die Abschirmelektrode 11 und - falls vorhan den - die Kompensationselektrode 13 plattenförmig ausgeführt. Eine solche Ausgestaltung führt bereits zu einer relativ fla chen Ausbildung des Wegaufnehmers 1. Im Rahmen einer solchen plattenförmigen Ausgestaltung der Elektroden des Wegaufnehmers 1 könnten die aktive Elektrode 6, die Masseelektrode 7, die Abschirmelektrode 11 und ggf. die Kompensationselektrode 13 flexibel ausgeführt sein. Dies hätte den Vorteil, das sich der Wegaufnehmer bei großflächiger Ausbildung der Umgebung bzw. einer vorgegebenen Unterlage weitgehend anpassen kann.

Will man das erfindungsgemaße kapazitive Wegaufnehmersystem - beispielsweise zur Überwachung einer automatisch schließenden Tür in einem Personenaufzug gemäß der Darstellung in Fig. 4 - extrem flach ausbilden, so werden die aktive Elektrode 6, die Masseelektrode 7, die Abschirmelektrode 11 und ggf. die Kom pensationselektrode 13 in besonders vorteilhafter Weise als Folien ausgeführt. Diese Folien lassen sich mittels bekannter Beschichtungstechnologien aufbringen und sind bei entsprechen den Trägerwerkstoffen äußerst elastisch.

Dem in Fig. 3 gezeigten Ausführungsbeispiel läßt sich deswei teren entnehmen, daß die Masseelektrode 7 großflächiger als die aktive Elektrode 6 und die Abschirmelektrode 11 klein flächiger als die Masseelektrode 7 und großflächiger als die aktive Elektrode 6 ausgeführt ist. Diese Dimensionierung hat den Vorteil, daß die Richtung, in die sich das von der aktiven Elektrode 6 ausgehende Streufeld erstreckt, eindeutig defi niert ist.

Hinsichtlich der Dimensionierung des Streufeldes 9 und auch hinsichtlich der Bildung des Schaltsignals läßt sich das erfindungsgemäße Wegaufnehmersystem so ausgestalten, daß mindestens zwei kaskadierende Sensoren 2 paarweise zusammen geschaltet sind und daß als Schaltsignal die Differenz der Schwingungsamplituden der Sensoren 2 gebildet wird. Eine sol che Ausgestaltung hat gegenüber dem herkömmlichen Wegaufneh mersystem mit nur einem Sensor 2 den Vorteil, daß die Empfind lichkeit deutlich vergrößert ist. Werden die Sensoren 2 bei der Annäherung eines Objektes - beispielsweise einer sich öff nenden und sich schließenden Aufzugtür - gleichmäßig bedämpft, so hat das Differenzsignal stets den Wert Null. Findet dagegen eine unterschiedliche Bedämpfung der Sensoren 2 - beispiels weise durch eine den Aufzug betretende Person - statt, so hat das Differenzsignal einen von Null abweichenden Wert. Im Falle einer Aufzugtürüberwachung erhielt dann die Steuerung der Auf zugstür ein Signal zum Öffnen bzw. ein Signal zum Umsteuern vom Schließvorgang zum Öffnungsvorgang der Tür.

Gemäß der Darstellung in Fig. 4 könnten die zuvor erörterten kapazitiven Sensoren 2 eine Kapazitivleiste 14 bilden, was insbesondere bei dem zuvor bereits erwähnten Einsatz zur Über wachung einer Aufzugstür von Vorteil wäre, da eine flache, langgestreckte Ausbildung des Wegaufnehmers 1 einerseits das Nachrüsten von Aufzügen ohne weitgehende bauliche Maßnahmen ermöglicht und andererseits gewährleistet, daß bei entspre chend langer Auslegung der Kapazitivleiste 14 auch kleine Ob jekte, beispielsweise Kinder oder Hunde, vom Wegaufnehmer system erfaßt werden.

Damit auch bei einer schleichenden Annäherung eines Gegenstan des am Schaltausgang des Wegmeßsystems nur einer von zwei mög lichen Schaltzuständen eingenommen werden kann, wird bei dem erfindungsgemäßen Wegaufnehmersystem in vorteilhafter Weise das Signal (Phase und Amplitude) in geeigneter Weise gleich gerichtet, geglättet und einer in Fig. 2 gezeigten Schmitt-Trigger stufe 15 zugeführt.

Damit der Schaltungsausgang nicht zwischen den beiden mögli chen Schaltzuständen hin- und herpendelt, kann das Schalt signal zur Änderung des Sensorabgleichs bzw. zur Schaffung ei ner eindeutig definierten Hysterese herangezogen werden, wenn sich der zu detektierende Gegenstand exakt im Schaltpunkt be findet.

Claims

1. Kapazitives Wegaufnehmersystem mit einem Sensor bzw. Oszillator (2), einer Sende- und Empfangskapazität, einem Demodulator (3) und einem Schaltverstärker (4), wobei der Oszillator (2) einen von außen beeinflußbaren Kondensator (5) aufweist, wobei zu dem Kondensator (5) eine aktive Elektrode (6), eine Masseelektrode (7) und eine zwischen der aktiven Elektrode (6) und der Masseelektrode (7) angeordnete Abschirm elektrode (11) gehören und wobei die Abschirmelektrode (11) das gleiche elektrische Potential wie die aktive Elektrode (6) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei kaskadierende Sensoren (2) paarweise zusammengeschaltet sind und daß als Schaltsignal die Differenz der Schwingungs amplituden der Sensoren (2) gebildet wird.

2. Kapazitives Wegaufnehmersystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die kaskadierenden Sensoren (2) eine Kapa zitivleiste (14) bilden.

3. Kapazitives Wegaufnehmersystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Schwingung des Sensors (2) bzw. der Sensoren (2) gleichgerichtet, geglättet und einer Schmitt-Triggerstufe (15) zugeführt wird, damit auch bei einer schleichenden Annäherung eines Gegenstandes am Schaltausgang des Wegmeßsystems nur einer von zwei möglichen Schaltzuständen eingenommen werden kann.

4. Kapazitives Wegaufnehmersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Schaltsignal zur Ände rung des Sensorabgleichs bzw. zur Schaffung einer eindeutig definierten Hysterese herangezogen wird, wenn sich der zu de tektierende Gegenstand exakt im Schaltpunkt befindet, damit der Schaltungsausgang nicht zwischen den beiden möglichen Schaltzuständen hin- und herpendelt.

5. Kapazitives Wegaufnehmersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die aktive Elektrode (6), die Masseelektrode (7), die Abschirmelektrode (11) und ggf. eine Kompensationselektrode (13) flexibel ausgeführt sind.

6. Kapazitiver Wegaufnehmer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die aktive Elektrode (6), die Masseelektrode (7), die Abschirmelektrode (11) und ggf. eine Kompensationselektrode (13) als Folien ausgeführt sind.