DE4002162C1 - - Google Patents

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Description

Die Erfindung betrifft einen schmalbandig abstimmbaren Laser, insbesondere einen schmalbandig abstimmbaren Farbstofflaser, mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruches 1.
Ein solcher Laser ist aus der US 48 64 578 bekannt. Dort handelt es sich allerdings um einen kontinuierlich arbeitenden Farb­ stofflaser, der eine Bandbreite von 1 MHz aufweist. Die vorlie­ gende Erfindung hingegen wird bevorzugt bei gepulsten Lasern eingesetzt mit einer Bandbreite von 1,2 GHz, also drei Größen­ ordungen höher.
Aus der DD 2 28 117 A1 ist eine Resonatoranordnung für einen durchstimmbaren Laser bekannt, bei der ein einziges reflektie­ rendes Bauteil so gestaltet ist, daß eine gute spektrale Filte­ rung bei hoher Wellenlängenselektivität und Schmalbandigkeit er­ reicht wird. Es erfolgt eine kontinuierliche Abstimmung der Wel­ lenlänge durch Druckvariation. Der Laserstrahl wird durch ein Prismensystem aufgeweitet.
Aus einem Aufsatz von R. König, S. Mory und A. Rosenfeld in der Zeitschrift J. Phys. E.: Sci. Instrum. 20 (1987), S. 200-203 ist ein gepulster Farbstofflaser bekannt, bei dem der Strahl im Resonator mittels Prismen aufgeweitet wird und die Wellenlänge durch Drehung eines Gitters und/oder eines FP-Etalon abgestimmt wird.
Auch aus dem Aufsatz von OLCAY, M.R. et al.: Tuning of a narrow linewidth pulsed dye laser with a Fabry-Perot and diffraction grating over a large wavelength range. In: Applied Optics, Vol. 24, 1985, No. 19, S. 3146-3150 ist ein gepulster Farbstoff­ laser bekannt, der mittels eines FP-Etalon und eines Gitters über einen weiten Wellenlängenbereich abstimmbar ist.
Aus der DE 37 44 323 A1 ist ein Laser bekannt, bei dem zum Stabilisieren der Frequenz des Laserstrahls ein Teil desselben in ein Fabry-Perot- Interferometer eingegeben wird, um ein Stell­ signal zum Einstellen eines wellenlängenselektiven Elementes abzuleiten. Das Ringsystem des Fabry-Perot-Interferometers wird auf einen Festkörper-Strahlungswandler abgebildet, um es mit einem gespeicherten Bezugssignal zu vergleichen und daraus ein Stellsignal für das wellenlängenselektive Element des Lasers zu gewinnen.
Der vorliegenden Erfindung liegt ein anderes Problem als die Stabilisierung der Frequenz eines Laserstrahls zugrunde.
Zum Einengen der Bandbreite eines gepulsten Lasers, wie insbe­ sondere eines Farbstofflasers, ist es bekannt, zusätzlich zum Abstimmgitter des Lasers ein Etalon im Laser-Resonator anzu­ ordnen. Aufgrund seiner selektiven Transmissionseigenschaften engt das Etalon die Bandbreite des Laserstrahles erheblich ein. Beim Abstimmen eines solchen Lasers ist es erforderlich, das Gitter und das Etalon miteinander zu synchronisieren. Diese beiden wellenlängenselektiven Elemente (Etalon und Gitter) müssen so relativ zueinander positioniert werden, daß die Transmission des Etalons der durch das Gitter vorgegebenen Wellenlänge entspricht. Statt eines Etalons sind auch andere wellenlängenselektive Elemente bekannt, wie Fabry-Perot-Inter­ ferometer, doppelbrechende Kristalle etc.
Bei Verwendung eines Etalons erfolgt die Synchronisierung mit dem Gitter durch ein geringfügiges Kippen des Etalons zur Laserstrahlachse.
Wird nun die Wellenlänge des Lasers abgestimmt (verändert), müssen sowohl das Gitter als auch das im Resonator angeordnete Etalon (sogenanntes Intra-Cavity-Etalon) synchron zueinander verkippt werden. Mit den bei einer solchen synchronen Einstel­ lung von wellenlängenselektiven Elementen (z. B. Gitter und Etalon) auftretenden Problemen beschäftigt sich die vorliegende Erfindung.
Aufgrund der beim synchronen Bewegen des Gitters und des Eta­ lons auftretenden sogenannten "Walk-off"-Verluste, die vom Etalon im Resonator verursacht sind, ist ein kontinuierliches Abstimmen der Laserwellenlänge beim Stand der Technik jedoch nur über einen sehr kleinen Bereich von ca. 1 nm möglich. Überdies führen kleinste Abweichungen von der Linearität des Gitter- und Etalonantriebs zu einer Desynchronisierung, so daß der Laser im Extremfall auf zwei benachbarten Transmissions­ stellen des Etalons gleichzeitig anschwingt.
Die Erfindung setzt sich das Ziel, einen schmalbandig abstimm­ baren Laser zu schaffen, der eine genaue Abstimmung ohne Leistungsverluste über einen relativ großen Wellenlängenbereich ermöglicht.
Der diese Aufgabe erfindungsgemäß lösende Laser ist im Patent­ anspruch gekennzeichnet.
Die Erfindung ermöglicht so die Feststellung einer Desynchro­ nisierung der beiden wellenlängenselektiven Elemente (z. B. Gitter und Etalon), um daraus ein Regelsignal zum Einstellen von zumindest einem der beiden Elemente zu gewinnen und in dessen Antrieb zurückzukoppeln, so daß ein synchrones Abstimmen der Laserwellenlänge gewährleistet ist.
Außerdem ermöglicht es die Erfindung, einzelne Abstimmbereiche des Lasers, insbesondere des Farbstofflasers, in einfacher Weise aneinanderzureihen, so daß ein automatisches Abstimmen der Laserwellenlänge mit dem Etalon über den gesamten Wellen­ längenbereich eines Farbstoffes (z. B. 30 nm) ermöglicht ist.
Die Erfindung macht sich die Erkenntnis zunutze, daß eine De­ synchronisierung von Gitter und Etalon nicht nur zu einer Verringerung der Lichtintensität im Laserstrahl führt, sondern auch zu einer, wenn auch geringfügigen, Änderung der Lage des Laserstrahls im Laser-Resonator. Eine solche Lage- und/oder Richtungsänderung des Strahls läßt sich mit Hilfe eines geeig­ net ausgekoppelten Referenzstrahls feststellen und hieraus kann ein Regelsignal für die Synchronisierung der beiden wellenlän­ genselektiven Elemente abgeleitet werden.
Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert: Es zeigt:
Fig. 1 schematisch einen gepulsten Farbstofflaser mit Oszil­ lator und Vorverstärker einschließlich eines Rechners und einer gesonderten Steuerung für den Farbstoff­ laser;
Fig. 2 erfindungswesentliche Einzelheiten des Farbstofflasers gemäß Fig. 1 und
Fig. 3 ein weiteres Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäß gesteuerten Farbstofflasers.
Fig. 1 zeigt einen gepulsten, durch einen Excimerlaser gepump­ ten Farbstofflaser, dessen Resonator durch ein Gitter 10 und einen Endspiegel 12 gebildet ist. Im Resonator ist eine Farb­ stoff-Küvette 14 angeordnet, in der ein Farbstoff enthalten ist, in welchem eine Besetzungsinversion durch Pumpen, hier mittels eines Excimerlasers, erzeugt wird.
Der Laser weist weiterhin einen sogenannten Strahlaufweiter 16 auf, der im Strahlengang des Resonators angeordnet ist und zum Aufweiten des Laserstrahls dient, wodurch das Auflösungsvermö­ gen des Gitters 10 in bekannter Weise verbessert werden kann.
Weiterhin ist im Resonator in als solches bekannter Weise ein Etalon 18 zur Einengung der Bandbreite des Laserstrahls ange­ ordnet.
Zum Abstimmen, d. h. zur Änderung der Wellenlänge des Lasers, wird das Gitter 10 mittels einer mechanischen Steuerung (nicht gezeigt) in bekannter Weise geschwenkt. Durch Änderung des Winkels zwischen dem Laserstrahl und dem Gitter wird die Wel­ lenlänge der reflektierten Strahlung eingestellt. Das Etalon 18 muß dabei synchron mit dem Gitter 10 gekippt werden.
Fig. 2 zeigt hierfür wesentliche Einzelheiten des Farbstoff­ lasers gemäß Fig. 1. In den Figuren sind einander entsprechende Bauteile mit gleichen Bezugszeichen versehen.
Der Strahlaufweiter 16 besteht aus den Prismen P1, P2, P3, P4 und P5. Ein vom Endspiegel 12 reflektierter Laserstrahl wird vom Prisma P1 in Richtung auf das Prisma P2 gebrochen und ist nach Verlassen des Prismas P5 gemäß den Fig. 1 und 2 erheb­ lich aufgeweitet.
Neben dem durch die Prismen P1 bis P5 laufenden Laserstrahl zeigen die Fig. 1 und 2 noch einen an der Fläche F1 des Prismas P1 (Fig. 2) in Richtung auf das Gitter 10 reflektierten Strahl 20′, der am Gitter 10 reflektiert wird, von dort auf anderem Wege als der zwischen dem Gitter 10 und dem Endspiegel 12 oszillierende Resonatorstrahl durch die Farbstoff-Küvette 14 hindurchtritt und als Laserstrahl 20 aus dem Resonator ausge­ koppelt wird. Die Auskopplung des Strahls 20 aus dem Resonator entspricht der DE-PS 29 18 863. An der Stelle, an welcher der Strahl 20 durch die Farbstoff-Küvette 14 tritt, wird eine zusätzliche Strahlverstärkung in der Küvette bewirkt. Hierzu werden die Farbstoff-Moleküle in der Küvette auch an derjenigen Stelle gepumpt, an welcher der Strahl 20 die Küvette passiert.
Zum Synchronisieren des Etalons 18 in bezug auf das Gitter 10 wird gemäß den Fig. 1 und 2 (s. insbesondere Fig. 2) eine planparallele Platte P im Resonator-Strahlengang zwischen den Prismen P1 und P2 angeordnet. An der planparallelen Platte P wird ein Teil des vom Gitter 10 durch das Etalon 18 reflek­ tierten Oszillatorstrahls ausgekoppelt. Der so ausgekoppelte Teilstrahl 25 (Fig. 2) durchläuft zunächst ein Prisma P6, um die durch das Prisma P1 erzeugte Aufweitung und Dispersion zu kompensieren. Der Teilstrahl 25 wird dann an der verspiegelten Basisfläche F2 eines Prismas P7 umgelenkt und als Referenz­ strahl 24 auf einen Festkörper-Strahlungswandler 22, wie bei­ spielsweise eine Doppel-Fotodiode oder ein sogenanntes Dioden­ array gerichtet. Der so aus dem Resonator ausgekoppelte Refe­ renzstrahl 24 wird nicht durch Laserlicht gestört, das von der Vor- und Endverstärkerstufe des Farbstofflasers in den Resona­ tor zurückgestreut wird. Mit 26 ist ein hier nicht weiter inte­ ressierender Teilstrahl bezeichnet.
Werden nun zum Abstimmen der Wellenlänge des Lasers das Gitter 10 und das Etalon 18 verstellt, so bewirkt eine Desynchronisie­ rung von Gitter und Etalon eine Verschiebung der Lage des Refe­ renzstrahls 24 in bezug auf den Festkörper-Strahlungswandler 22, die dort unmittelbar festgestellt werden kann. Ein entspre­ chendes elektrisches Signal wird vom Festkörper-Strahlungs­ wandler 22 über eine Leitung 28 zu einem Analog-Digital-Wandler 30 übertragen und in einen Rechner PC zur weiteren Verarbeitung eingegeben. Entsprechend der Verlagerung des Ortes des Refe­ renzstrahles 24 in bezug auf eine Soll-Position errechnet der Rechner PC ein Steuersignal, mit dem dann der Kippwinkel des Gitters 10 oder des Etalons 18 so eingestellt wird, daß der Re­ ferenzstrahl 24 wieder seine Soll-Stellung erreicht. Die Abwei­ chung der Richtung des Referenzstrahles 24 in bezug auf seine Soll-Stellung kann mittels des Festkörper-Strahlungswandlers 22 festgestellt werden und liefert sowohl eine Information über die Richtung der Desynchronisierung (Phase) als auch eine In­ formation über den Betrag der Desynchronisierung, was der Rechner PC auswertet.
Über eine IEEE-Schnittstelle wird ein vom Rechner PC errechne­ tes Regelsignal zum Einstellen des Kippwinkels des Etalons 18 zur eigentlichen Steuerung 32 für das Gitter und das Etalon übertragen. Solche mechanischen Steuerungen sind als solches bekannt.
Fig. 3 zeigt eine Abwandlung des in den Fig. 1 und 2 ge­ zeigten Ausführungsbeispiels einer Lasersteuerung, wobei kein gesonderter Rechner PC vorgesehen ist, sondern das auf der Leitung 28 vom Festkörper-Strahlungswandler 22 kommende Meß­ signal (welches ein Maß für die Desynchronisierung ist) direkt über einen A/D-Wandler 30 in die integrierte Lasersteuerung 32 eingegeben wird. Über eine Leitung 34 wird dann das Steuersig­ nal zum Synchronisieren des Etalons 18 und des Gitters 10 direkt eingegeben.

Claims (1)

  1. Schmalbandig abstimmbarer Laser, insbesondere ein schmalbandig abstimmbarer Farbstofflaser, mit
    • - einer Einrichtung (P, P6; P7) zum Auskoppeln eines Referenz­ strahles (24) aus dem Laser-Resonator (10, 12),
    • - zumindest zwei wellenlängenselektiven Elementen (10, 18) zur schmalbandigen Abstimmung des Lasers,
    • - einem Festkörper-Strahlungswandler (22), auf den der Refe­ renzstrahl (24) trifft, um dessen Änderungen zu messen und ein Steuerungssignal zur Steuerung der Winkelorientierung zumin­ dest eines wellenlängenselektiven Elementes (10, 18) des Lasers abzuleiten, dadurch gekennzeichnet, daß
    • - der Referenzstrahl (24) zum Synchronisieren von zumindest zwei wellenlängenselektiven Elementen (10, 18) dient, wobei eine Verlagerung des Auftreffortes des Referenzstrahles (24) auf den Festkörper-Strahlungwandler (22) ermittelt wird, um daraus das Steuersignal abzuleiten.
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DE (1) DE4002162C1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4216001A1 (de) * 1992-05-13 1992-09-17 Arkadi Dr Rosenfeld Resonatoranordnung fuer durchstimmbare laser
DE4302378A1 (de) * 1993-01-28 1994-08-04 Lambda Physik Gmbh Abstimmbarer Laseroszillator
DE19511247A1 (de) * 1994-11-15 1996-05-23 Korea Atomic Energy Res Verfahren und Vorrichtung zur selbstinduzierten Auslösung eines durchstimmbaren Doppelkavitätenlasers unter Verwendung eines Beugungsgitters

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19603637C1 (de) 1996-02-01 1997-07-31 Lambda Physik Gmbh Laser zur Erzeugung schmalbandiger Strahlung
US5901163A (en) * 1997-06-04 1999-05-04 Cymer, Inc. Narrow band laser with etalon based output coupler
US6580517B2 (en) 2000-03-01 2003-06-17 Lambda Physik Ag Absolute wavelength calibration of lithography laser using multiple element or tandem see through hollow cathode lamp
US6160832A (en) 1998-06-01 2000-12-12 Lambda Physik Gmbh Method and apparatus for wavelength calibration
US7006541B2 (en) * 1998-06-01 2006-02-28 Lambda Physik Ag Absolute wavelength calibration of lithography laser using multiple element or tandem see through hollow cathode lamp
US6795473B1 (en) 1999-06-23 2004-09-21 Lambda Physik Ag Narrow band excimer laser with a prism-grating as line-narrowing optical element
US6490307B1 (en) 1999-03-17 2002-12-03 Lambda Physik Ag Method and procedure to automatically stabilize excimer laser output parameters
US6426966B1 (en) 1999-02-10 2002-07-30 Lambda Physik Ag Molecular fluorine (F2) laser with narrow spectral linewidth
US6393037B1 (en) 1999-02-03 2002-05-21 Lambda Physik Ag Wavelength selector for laser with adjustable angular dispersion
US6476987B1 (en) 1999-08-04 2002-11-05 Lambda Physik Ag Excimer laser with line narrowing
US6424666B1 (en) 1999-06-23 2002-07-23 Lambda Physik Ag Line-narrowing module for high power laser
US6965624B2 (en) * 1999-03-17 2005-11-15 Lambda Physik Ag Laser gas replenishment method
US6421365B1 (en) 1999-11-18 2002-07-16 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser having an output coupling interferometer
US6389052B2 (en) 1999-03-17 2002-05-14 Lambda Physik Ag Laser gas replenishment method
US6678291B2 (en) 1999-12-15 2004-01-13 Lambda Physik Ag Molecular fluorine laser
US6717973B2 (en) 1999-02-10 2004-04-06 Lambda Physik Ag Wavelength and bandwidth monitor for excimer or molecular fluorine laser
US6393040B1 (en) 1999-02-24 2002-05-21 Lambda Physik Ag Molecular fluorine (F2) excimer laser with reduced coherence length
US6298080B1 (en) 1999-03-12 2001-10-02 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser with adjustable bandwidth
US6700915B2 (en) 1999-03-12 2004-03-02 Lambda Physik Ag Narrow band excimer laser with a resonator containing an optical element for making wavefront corrections
US6727731B1 (en) 1999-03-12 2004-04-27 Lambda Physik Ag Energy control for an excimer or molecular fluorine laser
DE29907349U1 (de) 1999-04-26 2000-07-06 Lambda Physik Gmbh Laser zur Erzeugung schmalbandiger Strahlung
US6785316B1 (en) 1999-08-17 2004-08-31 Lambda Physik Ag Excimer or molecular laser with optimized spectral purity
US6553050B1 (en) 1999-11-18 2003-04-22 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser having an output coupling interferometer
US6603788B1 (en) 1999-11-23 2003-08-05 Lambda Physik Ag Resonator for single line selection
JP2003521683A (ja) 2000-01-25 2003-07-15 ラムダ フィジーク アーゲー ビーム・パラメータ監視ユニット、分子弗素(F2)或はArFレーザ・システム、分子弗素(F2)レーザ・システム、およびArFレーザ・システム
US7075963B2 (en) 2000-01-27 2006-07-11 Lambda Physik Ag Tunable laser with stabilized grating
US6735232B2 (en) 2000-01-27 2004-05-11 Lambda Physik Ag Laser with versatile output energy
US6597462B2 (en) 2000-03-01 2003-07-22 Lambda Physik Ag Laser wavelength and bandwidth monitor
US6941259B2 (en) * 2000-03-01 2005-09-06 Lamda Physik Ag Laser software control system
US20010049618A1 (en) * 2000-03-23 2001-12-06 Rainer Patzel Method for allocating predictable costs for consumable items
US6834066B2 (en) 2000-04-18 2004-12-21 Lambda Physik Ag Stabilization technique for high repetition rate gas discharge lasers
US6862307B2 (en) * 2000-05-15 2005-03-01 Lambda Physik Ag Electrical excitation circuit for a pulsed gas laser
US6603789B1 (en) 2000-07-05 2003-08-05 Lambda Physik Ag Narrow band excimer or molecular fluorine laser with improved beam parameters
US6807205B1 (en) 2000-07-14 2004-10-19 Lambda Physik Ag Precise monitor etalon calibration technique
US6721345B2 (en) 2000-07-14 2004-04-13 Lambda Physik Ag Electrostatic precipitator corona discharge ignition voltage probe for gas status detection and control system for gas discharge lasers
US6801561B2 (en) 2000-09-25 2004-10-05 Lambda Physik Ag Laser system and method for spectral narrowing through wavefront correction
US6747741B1 (en) 2000-10-12 2004-06-08 Lambda Physik Ag Multiple-pass interferometric device
US6998620B2 (en) * 2001-08-13 2006-02-14 Lambda Physik Ag Stable energy detector for extreme ultraviolet radiation detection
US20030063663A1 (en) * 2001-10-01 2003-04-03 Bryant Paul Henry Multistage equalizer that corrects for linear and nonlinear distortion in a digitally-modulated signal
US6788726B2 (en) * 2002-02-26 2004-09-07 New Focus, Inc. External cavity laser with high spectral purity output
JP4527479B2 (ja) * 2004-09-10 2010-08-18 サンテック株式会社 波長走査型ファイバレーザ光源
US7254156B2 (en) * 2005-01-19 2007-08-07 Coherent, Inc. Line-narrowed dye laser
US8162693B2 (en) * 2009-05-04 2012-04-24 Bridgeport Fittings, Inc. Snap-in electrical connector with locking cam and method of use
KR20130093704A (ko) * 2011-12-23 2013-08-23 한국전자통신연구원 사용자 선택형 레이저 및 이를 포함하는 광 송신기

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2918863C2 (de) * 1979-05-10 1981-07-02 Lambda Physik Gesellschaft zur Herstellung von Lasern mbH & Co KG, 3400 Göttingen Abstimmbarer Laseroscillator
DD228117A1 (de) * 1984-07-06 1985-10-02 Adw Ddr Resonatoranordnung fuer durchstimmbare laser
DE3744323A1 (de) * 1987-12-28 1989-07-06 Lambda Physik Forschung Verfahren und vorrichtung zum stabilisieren der frequenz eines laserstrahles
US4864578A (en) * 1983-04-12 1989-09-05 Coherent, Inc. Scannable laser with integral wavemeter

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1989002175A1 (en) * 1987-08-25 1989-03-09 Kabushiki Kaisha Komatsu Seisakusho Device for controlling the output of excimer laser
US4939739A (en) * 1989-04-24 1990-07-03 Coherent, Inc. Laser alignment servo method and apparatus
US5048031A (en) * 1990-04-23 1991-09-10 Coherent, Inc. Laser with actively stabilized etalon for single frequency operation

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2918863C2 (de) * 1979-05-10 1981-07-02 Lambda Physik Gesellschaft zur Herstellung von Lasern mbH & Co KG, 3400 Göttingen Abstimmbarer Laseroscillator
US4864578A (en) * 1983-04-12 1989-09-05 Coherent, Inc. Scannable laser with integral wavemeter
DD228117A1 (de) * 1984-07-06 1985-10-02 Adw Ddr Resonatoranordnung fuer durchstimmbare laser
DE3744323A1 (de) * 1987-12-28 1989-07-06 Lambda Physik Forschung Verfahren und vorrichtung zum stabilisieren der frequenz eines laserstrahles

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
HOHLA, K.L. u.a.: Excimere als Pumpquellen für Farbstofflaser- die Wahl der Zukunft für Systeme mit hoher Leistung und hoher Qualität, In: Laser + Elektro-Optik, Nr. 1, 1982 *
KÖNIG, R. et al.: Small line with nanosecond dye Laser of high spectral purity with double functional grating. In: J. Phys. E: Sci. Instrum., Vol. 20, 1987,S. 200-203 *
OLCAY, M.R. et al.: Tuning of a narrow linewidth pulsed dye laser with a Fabry-Perot and diffraction grating over a large wavelength range. In: Applied Optics, Vol. 24, 1985, No. 19, S. 3146-3150 *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4216001A1 (de) * 1992-05-13 1992-09-17 Arkadi Dr Rosenfeld Resonatoranordnung fuer durchstimmbare laser
US5406571A (en) * 1993-01-18 1995-04-11 Lambda Gesellschaft Zur Herstellung Von Lasern Mbh Optical decoupling arrangement for laser beam
DE4302378A1 (de) * 1993-01-28 1994-08-04 Lambda Physik Gmbh Abstimmbarer Laseroszillator
DE19511247A1 (de) * 1994-11-15 1996-05-23 Korea Atomic Energy Res Verfahren und Vorrichtung zur selbstinduzierten Auslösung eines durchstimmbaren Doppelkavitätenlasers unter Verwendung eines Beugungsgitters

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