DE3933983C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Schaltungsanordnung und
ein Verfahren zur Signalinterpolation gemäß dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1 bzw. 9 sowie eine die Schaltungsanordnung
enthaltende Versetzungsmeßeinrichtung.
Als Schaltungsanordnung dieser Art ist aus der Veröffentlichung
"Optical Engineering Contact", Band 19, Nr. 5, 1981 eine
herkömmliche Signalinterpolationsschaltung gemäß Fig. 1A bekannt.
Die in Fig. 1A gezeigte Schaltung hat Eingangsanschlüsse
1 und 2 zur Aufnahme von sinusförmigen Signalen mit
zwei verschiedenen Phasenwinkeln (0° und 90°), Pufferverstärker
3 und 4, einen invertierenden Pufferverstärker 5 zum In
vertieren eines Eingangssignals, Wandlereinrichtungen 6 bis 9
zum Umsetzen von mehreren Signalen mit voneinander verschiedenen
Phasenwinkeln (0°, 45°, 90° und 135°), die durch das Mischen
von Signalen in einem vorbestimmten Verhältnis aus einer
Widerstandsschaltung mit Widerständen R1 bis R4 erhalten werden,
zu Rechtecksignalen, Impulsgeneratoreinrichtungen (10 bis
13) zum Erzeugen von den Signalen aus der Widerstandsschaltung
entsprechenden Impulssignalen gemäß den Rechtecksignalen aus
den Wandlereinrichtungen, ein ODER-Glied 14 zum Bilden von Inter
polationsimpulsen aus den Ausgangssignalen der Impulsgenerator
einrichtungen 10 bis 13 und einen Ausgangsanschluß 15.
Die Widerstände R1 bis R4 haben gleiche Widerstandswerte.
Eine anwendbare Schaltung der Wandlereinrichtungen 6 bis 9 und
der Impulsgeneratoreinrichtungen 10 bis 13 ist in Fig. 1B dar
gestellt. Die in Fig. 1B gezeigte Schaltung enthält einen Ver
gleicher 61, der durch Widerstände RA und RB (mit Widerstands
werten rA und rB) Hystereseverhalten zum Unterdrücken von
Störsignaleinwirkungen hat. Die Hysterese ise durch eine Vorspannung
VB positiv/negativsymmetrisch um die Mitte eines Signals
(den Nulldurchgangspunkt) eingestellt. Die Schaltung
enthält ferner einen Pufferverstärker 101, einen Inverter 102,
monostabile Kippstufen 103 und 104 und ein ODER-Glied 105.
Nachstehend wird die Funktion beschrieben. An den Eingangsanschlüssen
1 und 2 werden sinusförmige Signale mit jeweiligen
Phasenwinkeln 0° und 90° eingegeben. Auf diese Weise werden
aus den Pufferverstärkern 3 und 4 und dem invertierenden
Pufferverstärker 5 sinusförmige Signale mit den
Phasenwinkeln 0°, 90° und 180° erhalten. An Knotenpunkten c
und d nach Fig. 1A treten Signale mit Phasenwinkeln 45° und
135° auf, da zwei Signale mittels der Widerstände R1 bis R4
gemischt werden. Die Signale an diesen Knotenpunkten haben die
in Fig. 1C gezeigten Kurvenformen.
Die Signale an den Knotenpunkten a bis d werden mittels der
Wandlereinrichtungen 6 bis 9 in Rechtecksignale umgesetzt, um
auf diese Weise Interpolationsimpulse zu bilden. Dieser Vorgang
wird nachstehend anhand der Fig. 1C beschrieben. Beispielsweise
wird das sinusförmige Signal an dem Knotenpunkt a
durch den Vergleicher 61 in das Rechtecksignal umgesetzt.
Falls dabei der Spitze/Spitze-Wert der Ausgangsspannung des
Vergleichers 61 Vp ist, ist die Breite der Hysterese durch
VprA/(rA+rB) gegeben. Das Rechtecksignal durchläuft den Pufferverstärker
101 und den Inverter 102 und ergibt Signale mit
Kurvenformen e und f nach Fig. 1C. An den Vorderflanken dieser
Signale e und f erzeugen die monostabilen Kippstufen 103 und
104 Impulse, so daß an dem Ausgang des ODER-Glieds 105 ein Signal
mit der Kurvenform g gemäß Fig. 1C, nämlich ein dem Phasenwinkel
entsprechendes Impulssignal erhalten wird. Die gleichen
Betriebsvorgänge werden in den Wandlereinrichtungen 7 bis
9 und den Impulsgeneratoreinrichtungen 11 bis 13 ausgeführt,
die den gleichen Aufbau wie den vorstehend beschriebenen haben,
und es wird am Ausgang des ODER-Glieds 14 eine Impulsfolge
h gemäß Fig. 1C erhalten.
Als Ergebnis wird eine Interpolationsimpulsfolge entsprechend
den Phasenwinkeln 0°, 45°, 90° und 135° sowie ihren invertierten
Phasenwinkeln 180°, 225°, 270° und 315° erhalten. Auf
diese Weise kann eine Periode eines eingegebenen sinusförmigen
Signals in acht Abschnitte unterteilt werden.
Da jedoch in der herkömmlichen Interpolierschaltung die Amplituden
der durch die Signalmischung mittels der Widerstände gebildeten
sinusförmigen Signale mit den Phasenwinkeln 45° und
135° kleiner als diejenigen der den an den Eingangsanschlüssen
1 und 2 eingegebenen ursprünglichen Signale entsprechenden si
nusförmigen Signale mit den Phasenwinkeln 0° und 90° sind,
sind auch die zeitlichen Lagen der jeweils duch die Vergleicher
61 der Wandlereinrichtungen 6 bis 9 erzeugten Rechtecksi
gnale unterschiedlich. Daher ändert sich auch der Interpolations
impulsabstand, so daß die Interpolationsgenauigkeit vermindert
ist. Insbesondere ist dann, wenn eine große Hysteresebreite
angesetzt ist, um durch äußere Störsignale oder dergleichen
verursachte Fehlfuktionen zu verhindern, die Inter
polationsgenauigkeit weiter herabgesetzt.
Aus der EP 02 73 518 A2 ist ein Winkeldigitalisierer bekannt,
in welchem aus zwei gegeneinander um 90° phasenverschobenen
sinusförmigen Signalen gleicher Amplitude weitere zwei Signale
mit gemittelter Phasenverschiebung und gleicher Amplitude erzeugt
werden. Aus den ursprünglichen Signalen und aus den daraus
abgeleiteten Signalen werden über logarithmische Verstärker
Spannungen erzeugt, die jeweils Funktionen der Phasenwinkel
der vier Signale sind. Diese vier Spannungen werden dann
in ein digitales Signal umgesetzt, das den Phasenwinkel darstellt.
Dadurch wird zwischen den beiden Eingangssignalen hinsichtlich
der Phase interpoliert, jedoch ist durch das Logarithmieren
und die darauffolgende Analog/Digital-Umsetzung
eine aufwendige Schaltung erforderlich. Die Interpolationsgenauigkeit
ist von der Genauigkeit des analogen Logarithmierers
und dem Auflösungsvermögen des Analog/Digital-Wandlers
abhängig.
In der EP 02 26 546 A2 ist eine Versetzungsmeßeinrichtung beschrieben,
in der mit Sensoren von einer Skala zwei sinusförmige,
gegeneinander um 90° versetzte Signale mit einem ersten
Phasenwinkel abgenommen werden. Diese Signale werden jeweils
in einem Analog/Digital-Wandler in digitale Signale umgesetzt,
die auf digitale Weise mit entsprechenden Signalen für einen
zweiten Phasenwinkel multipliziert werden, welcher durch Rückführung
der Multiplikationsergebnisse über einen phasengekoppelten
Regelkreis dem ersten Phasenwinkel angeglichen wird und
als Meßergebnis ausgegeben wird. Mit dieser bekannten Verset
zungsmeßeinrichtung ist zwar eine hohe Meßgenauigkeit erzielbar,
jedoch nur mit sehr großem Schaltungsaufwand.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Schaltungsanordnung
und ein Verfahren zur Signalinterpolation gemäß dem
Oberbegriff des Patentanspruchs 1 bzw. 9 derart weiterzubilden,
daß mit geringem Aufwand eine hohe Interpolationsgenauigkeit
bei geringer Beeinflussung durch Störsignale oder dergleichen
erzielt wird; ferner soll eine mit der erfindungsgemäßen
Schaltungsanordnung ausgestattete Versetzungsmeßeinrichtung
geschaffen werden.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß hinsichtlich der Schaltungsanordnung
und der Versetzungsmeßeinrichtung mit den im kennzeichnenden
Teil des Patentanspruchs 1 bzw. 8 aufgeführten
Mitteln sowie hinsichtlich des Verfahrens mit den im kennzeichnenden
Teil des Patentanspruchs 9 aufgeführten Maßnahmen
gelöst.
Demnach werden erfindungsgemäß die aus den eingegebenen sinusförmigen
Eingangssignalen gebildeten Ausgangssignale in jeweiligen
Vergleichern zu binären Signalen umgeformt, aus deren
Flanken dann eine Impulsgeneratoreinrichtung die
Interpolationsimpulse bildet. Die Vergleicher schalten zwischen
den Pegeln der binären Signale mit einer Hysterese um,
durch die die an Nulldurchgangspunkten der Ausgangssignale besonders
starke Einwirkung von Störsignalen unterdrückt wird.
Die Hysteresen werden derart gewählt, daß binäre Signale erhalten
werden, die trotz unterschiedlicher Amplituden der Ausgangssignale
gleiche Breiten haben und gegenüber den Ausgangssignalen
um den gleichen Phasenwinkel versetzt sind. Dadurch
wird mit geringem Aufwand erreicht, daß unter konstanter Phasenversetzung
die Interpolationsimpulse den Ausgangssignalen
hinsichtlich des Phasenwinkels genau entsprechen, ohne daß die
Phasenlage der Interpolationsimpulse durch die Amplituden der
Ausgangssignale beeinflußt sind. Es wird daher mit guter Störsicherheit
eine sehr genaue Signalinterpolation erreicht.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Schaltungs
anordnung sind in den Unteransprüchen 2 bis 7 aufgeführt.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen
unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.
Fig. 1A ist ein Schaltbild einer herkömmlichen
Interpolierschaltung.
Fig. 1B ist ein ausführliches Schaltbild
einer Wandlereinrichtung und einer Impulsgeneratoreinrichtung,
die in der Schaltung nach Fig. 1A anwendbar ist.
Fig. 1C ist ein Kurvenformdiagramm, das
Kurvenformen von Signalen an Knotenpunkten a bis h gemäß
Fig. 1A und 1B zeigt.
Fig. 2 ist ein Blockschaltbild der Schaltungsanordnung
gemäß einem Ausführungsbeispiel.
Fig. 3 ist ein ausführliches Schaltbild einer
Wandlereinrichtung und einer Impulsgeneratoreinrichtung, die
in Fig. 2 gezeigt sind.
Fig. 4 ist ein Kurvenformdiagramm, das Kurvenformen
von Signalen an Knotenpunkten a bis d und h gemäß
Fig. 2 zeigt.
Fig. 5 ist eine schematische Darstellung der
Versetzungsmeßeinrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel.
Fig. 6 ist eine schematische Darstellung der
Gestaltung eines in Fig. 5 gezeigten Reflektorsystems 220.
Fig. 7 ist eine schematische Darstellung des
in Fig. 5 gezeigten Reflektorsystems 220 in einer anderen
Ausführungsform.
Fig. 8 ist eine Darstellung zur Erläuterung
einer Abwandlungsform der in Fig. 5 gezeigten Meßeinrich
tung.
Die Fig. 2 ist ein Blockschaltbild, das die Schaltungsanordnung
zur Signalinterpolation gemäß einem Ausführungsbeispiel
zeigt. Die in Fig. 2 gezeigte Schaltung hat Eingangsanschlüsse
1 und 2 zur Aufnahme von sinusförmigen Signalen mit
zwei verschiedenen Phasenwinkeln (0° und 90°) und eine
Mischeinrichtung 16 mit Pufferverstärkern 3 und 4, einem
invertierenden Pufferverstärker 5 und einer Widerstandsschaltung
R zum Erzeugen von Signalen mit vorbestimmten
Phasenwinkeln aus den über die Pufferverstärker 3, 4 und 5
erhaltenen Signalen, nämlich sinusförmigen Signalen und
ihren Inversionssignalen. Die Widerstandsschaltung R ist wie
gemäß Fig. 1A aus Widerständen R 1 bis R 4 mit gleichem Wider
standswert gebildet. Die Mischeinrichtung 16 enthält diese
Pufferverstärker 3, 4 und 5 und die Widerstände R 1 bis R 4.
Ferner enthält die in Fig. 2 gezeigte Schaltung eine Wandlereinrichtung
17 zum Umsetzen von durch die Signalmischung
in der Mischeinrichtung 16 erhaltenen mehreren vorbestimmten
Signalen mit voneinander verschiedenen Phasenwinkeln zu
Rechtecksignalen bzw. Binärsignalen, eine Impulsgenerator
einrichtung 18 zum Erzeugen von den Phasenwinkeln entsprechenden
Impulssignalen aus den Rechtecksignalen, ein ODER-
Glied 14 zum Bilden von Interpolationsimpulsen aus den
Ausgangssignalen der Impulsgeneratoreinrichtung 18 und einen
Interpolationsimpuls-Ausgangsanschluß 15. Die Wandlereinrichtung
17 und die Impulsgeneratoreinrichtung 18 sind
derart gestaltet, daß jeweils ein Wandler und ein Impulsgenerator
in Einheiten von durch das Mischen der beiden an den
Eingangsanschlüssen 1 und 2 eingegebenen Signale erhaltenen
Signalen mit beliebigen Phasenwinkeln (von 0°, 45°, 90° und
135°) bei diesem Ausführungsbeispiel vorgesehen sind und die
in Fig. 3 gezeigte Schaltungsanordnung haben. Jeder Wandler
enthält einen Vergleicher 19. Durch Widerstände RC und RD
erhält der Vergleicher 19 Hystereseverhalten. Die Breite der
Hysterese wird für einen jeden Vergleicher 19 auf einen zur
Amplitude eines Signals aus der Mischeinrichtung 16 proportionalen
Wert eingestellt und hat das nachstehend in der
Tabelle 1 dargestellte Verhältnis.
Hierbei ist der Widerstandswert des Widerstands RD der
Wandlereinrichtung 17 als rD angenommen, während der Wider
standswert des Widerstands RC, an dem ein Signal mit dem
Phasenwinkel 0° eingegeben wird, als rc angesetzt ist, um
die Widerstandswerte für die Vergleicher 19 zu berechnen, in
die die Signale mit den anderen Phasenwinkeln eingegeben
werden. In dieser Tabelle ist Vp der Spitze/Spitze-Wert der
Ausgangsspannung eines jeden Vergleichers 19.
Daher sind bei diesem Ausführungsbeispiel die Hysteresebreiten
derjenigen Vergleicher 19 einander gleich gewählt, die
Signale mit den Phasenwinkeln 0° und 90° aufnehmen, die den
beiden an den Eingangsanschlüssen 1 und 2 eingegebenen
Signalen entsprechen, während die Hysteresebreiten derjenigen
Vergleicher 19 einander gleich eingestellt sind, die
neue Signale mit den Phasenwinkeln 45° und 135° aufnehmen,
welche durch die Mischeinrichtung 16 gebildet sind. Damit
haben die Vergleicher 19 für die Signale mit den Phasenwinkeln
0° und 90° und die Vergleicher 19 für die Signale mit
den Phasenwinkeln 45° und 135° voneinander verschiedene
Hysteresebreiten. Durch diese Gestaltung werden die Breiten
der jeweils den Winkeln 0°, 45°, 90° und 135° entsprechenden
Rechtecksignale aus der Wandlereinrichtung 17 einander
nahezu gleich, was nachfolgend beschrieben wird.
Die Impulsgeneratoreinrichtung 18 enthält je Impulsgenerator
einen Pufferverstärker 20, einen Inverter 21, monostabile
Kippstufen 22 und 23, die durch die Ausgangssignale des
Pufferverstärkers 20 bzw. des Inverters 21 betrieben werden,
und ein ODER-Glied 24. Gemäß der vorstehenden Beschreibung
sind vier Schaltungen gemäß Fig. 3 zum Bilden der Wandler
einrichtung 17 und der Impulsgeneratoreinrichtung 18 zusammen
gesetzt.
Nachstehend wird die Funktion beschrieben. Sinusförmige
Signale mit den Phasenwinkeln 0° und 90° und ein sinusförmiges
Signal mit dem Phasenwinkel 180° als Inversionssignal
des Signals mit dem Phasenwinkel 0°, die aus den Eingangsanschlüssen
1 und 2 über die Pufferverstärker 3 bis 5 erhalten
werden, werden mittels der Widerstände R 1 bis R 4 der Misch
einrichtung 16 zu vier Signalen mit den Phasenwinkeln 0°,
45°, 90° und 135° gemischt. Diese vier Signale mit den
verschiedenen Phasenwinkeln werden durch die Wandlereinrichtung
17 zu Rechtecksignalen umgesetzt, welche in die Impuls
generatoreinrichtung 18 eingegeben werden. Als Ergebnis
werden von der Impulsgeneratoreinrichtung 18 vier Signale
einer Impulsfolge abgegeben, in der Impulse in vorgegebenen
Abständen aufeinanderfolgen, so daß über das ODER-Glied 14
an dem Ausgangsanschluß 15 Interpolationsimpulse bzw. eine
Interpolationsimpulsfolge auftritt.
Die Fig. 4 zeigt die Kurvenform von Signalen an Knotenpunkten
a bis d und h nach Fig. 2. Gemäß Fig. 4 betragen die
Amplituden der Signale mit den Phasenwinkeln 45° und 135° an
den Knotenpunkten c und d 1/√ der Amplituden der Signale
mit den Phasenwinkeln 0° und 90° an den Knotenpunkten a und
b. Gemäß Tabelle 1 werden die Hysteresebreiten der den
Signalen mit den Phasenwinkeln 45° und 135° entsprechenden
Vergleicher 19 der Wandlereinrichtung 17 auf 1/√ der Hysterese
breiten der den Signalen mit den Phasenwinkeln 0° und
90° entsprechenden Vergleicher 19 eingestellt. Daher liegen
auch dann, wenn einige der mehreren Signale aus der Mischeinrichtung
16 abweichende Amplituden haben, die Arbeitspunkte
der Vergleicher 19 für die entsprechenden Signale
jeweils an Punkten, die gegenüber den Nulldurchgangspunkten
der Signale um den gleichen Phasenwinkel ϕ versetzt sind.
Infolgedessen werden die Breiten der Rechtecksignale aus den
Vergleichern 19 einander gleich, und die an dem
Ausgang h auftretenden Interpolationsimpulse folgen mit hoher
Genauigkeit in gleichen Abständen aufeinander. Das heißt,
die Interpolationsgenauigkeit ist in hohem Ausmaß verbessert.
In diesem Fall wird die Interpolationsgenauigkeit
grundlegend auch dann nicht beeinträchtigt, wenn die Hysteresebreiten
der Vergleicher 19 beträchtlich vergrößert
werden. Auf diese Weise können die Hysteresebreiten der
Vergleicher 19 verhältnismäßig groß angesetzt werden, so daß
eine Interpolationsschaltung erzielt wird, die nicht
leicht durch externe Störsignale oder dergleichen zu beein
flussen ist.
Bei diesem Ausführungsbeispiel wird eine Periode eines an
dem Eingangsanschluß 1 oder 2 eingegebenen sinusförmigen
Signals in acht Abschnitte unterteilt. Es besteht jedoch
keine Einschränkung hierauf, so daß vielmehr eine beliebige
Anzahl von Unterteilungen gewählt werden kann. Das heißt, es
können wie bei diesem Ausführungsbeispiel die Hysteresebreiten
der Vergleicher jeweils proportional zu den Amplituden
der Signale mit den voneinander verschiedenen Phasenwinkeln
aus der Mischeinrichtung 16 eingestellt werden. Dabei ist
"proportional" nicht darauf beschränkt, daß die numerischen
Werte zueinander streng proportional sind, sondern kann auch
in Anbetracht von durch Elementetoleranzen verursachten
Fehlern bzw. Abweichungen und vom Spielraum hinsichtlich der
Leistung einer einzusetzenden Maschine den Fall umfassen,
daß die numerischen Werte zueinander nahezu bzw. im wesentlichen
proportional sind.
Bei diesem Ausführungsbeispiel werden die Hysteresebreiten
der Vergleicher der Wandlereinrichtung 17 auf vorbestimmte
Werte entsprechend den Amplituden der Signale aus der Mischeinrichtung
16 eingestellt. Auf diese Weise wird die Genauigkeit
des Interpolierens der eingegebenen Signale außerordentlich
verbessert. Da ferner große Hysteresebreiten eingestellt
werden können, wird die Schaltungsanordnung zur
Signalinterpolation nur schwer durch externe Störsignale
beeinflußt, so daß eine hohe Genauigkeit erreicht werden
kann.
Die Fig. 5 ist eine schematische Darstellung eines optischen
Systems, das als Ausführungsbeispiel für die erfindungsgemäße
Vernetzungsmeßeinrichtung einen optischen Codierer bzw.
Wegmeßgeber zeigt.
Die Fig. 5 zeigt einen Halbleiterlaser 201, eine Kollimatorlinse
202 und eine optische Skala 203, die an einem bewegten
Meßobjekt angebracht ist, ein Beugungsgitter mit einer
Gitterteilung d hat und sich in der Richtung eines Pfeils X
mit einer Geschwindigkeit v bewegt. Mit 209 ist ein polari
sierender Strahlenteiler bezeichnet. Mit 251 und 252 sind
Viertelwellenlängenplatten bezeichnet, mit 301 und 302 sind
Reflexionsspiegel bezeichnet, mit 206 ist ein Strahlenteiler
bezeichnet und mit 271 und 272 sind Polarisierplatten bezeichnet,
deren Polarisationsachsen zueinander senkrecht
stehen und zu den Polarisationsachsen der Viertelwellenlängenplatten
251 und 252 einen Winkel von 45° bilden. Mit 281
und 282 sind Lichtempfangselemente bezeichnet, die Interferenzlicht
auf fotoelektrische Weise erfassen. Mit 211 ist
eine Indexgradienten-Stablinse mit planen gegenüberliegenden
Stirnflächen zum Fokussieren von an einer Stirnfläche einfallendem
Licht auf der anderen Stirnfläche bezeichnet, auf
die ein Reflexionsfilm 212 aufgebracht ist. Die Stablinse
211 und der Reflexionsfilm 212 bilden zusammen ein Reflektorsystem
220.
Bei diesem Ausführungsbeispiel werden kohärente Lichtstrahlen
aus dem Halbleiterlaser 201 durch die Kollimatorlinse
202 im wesentlichen parallel ausgerichtet und auf den polarisierenden
Strahlenteiler 209 gerichtet, durch den sie in
zwei Lichtstrahlenbündel geteilt werden, nämlich in
P-polarisierte Durchlaßlichtstrahlen und
in S-polarisierte Reflexionslichtstrahlen.
Der Halbleiter 201 wird in seiner Lage derart
eingestellt, daß dabei die Richtung der linearen Polarisation
der aus dem Halbleiterlaser 201 austretenden Lichtstrahlen
um 45° in bezug auf die Polarisationsrichtung des
polarisierenden Strahlenteilers 209 versetzt ist. Dadurch
beträgt das Intensitätsverhältnis zwischen den Durchlaßlichtstrahlen
und den Reflexionslichtstrahlen aus dem polarisierenden
Strahlenteiler 209 ungefähr 1 : 1.
Die Reflexionslichtstrahlen und die Durchlaßlichtstrahlen
aus dem Strahlenteiler 209 werden durch die Viertelwellen
längenplatten 251 und 252 jeweils zu zirkular polarisierten
Lichtstrahlen, die von den Spiegeln 301 und 302 reflektiert
und schräg auf die optische Skala 203 gerichtet werden. Die
jeweiligen Lichtstrahlen fallen derart auf die optische
Skala 203, daß von dieser weg das in ±1-ter Ordnung gebeugte
Licht im wesentlichen senkrecht zur Beugungsgitterebene
der Skala 203 austritt.
Das heißt, die jeweiligen Lichtstrahlen werden derart auf
die optische Skala 203 gerichtet, daß
Rm = sin-1 (mλ/P) (1)
gilt, wobei P die Gitterteilung des Beugungsgitters der
optischen Skala 203 ist, λ die Wellenlänge der kohärenten
Lichtstrahlen aus dem Halbleiterlaser 201 ist, m eine ganze
Zahl ist und Rm der Einfallwinkel der kohärenten Lichtstrahlen
auf die Beugungsgitterfläche, nämlich der Winkel zu
der zur Beugungsgitterebene Senkrechten ist.
Die Reflexionslichtstrahlen aus dem Strahlenteiler 209
treffen über den Spiegel 301 schräg unter dem Einfallwinkel
Rm auf die optische Skala 203 und werden von dem Beugungsgitter
der Skala 203 gebeugt und reflektiert, wobei das in
+1-ter Ordnung gebeugte Licht senkrecht aus der Skala 203
austritt. Andererseits fallen die Durchlaßlichtstrahlen aus
dem polarisierenden Strahlenteiler 209 über den Spiegel 203
schräg unter dem Einfallwinkel Rm auf die optische Skala
203 und werden durch das Beugungsgitter der Skala 203 gebeugt
und reflektiert, wobei das in -1-ter Ordnung gebeugte
Licht senkrecht aus der Skala 203 austritt. Bei diesem
Ausführungsbeispiel fallen die Reflexionslichtstrahlen und
die Durchlaßlichtstrahlen an der optischen Skala 203 auf der
gleichen Stelle ein, so daß die von der Skala 203 weg senkrecht
austretenden, in ±1-ter Ordnung gebeugten beiden
Lichtstrahlen einander überlagert sind. Auf diese Weise
erhalten diese reflektierten Beugungslichtstrahlen einen
gemeinsamen optischen Weg. Die optischen Wege der Durchlaß
lichtstrahlen und der Reflexionslichtstrahlen aus dem polarisierenden
Strahlenteiler 209 sowie der reflektierten
Beugungslichtstrahlen liegen in der gleichen
zur Zeichnungsebene parallelen Ebene.
Das senkrecht aus der optischen Skala 203 austretende Beugungslicht
±1-ter Ordnung gelangt zu dem Reflektorsystem 220
und trifft auf die Stirnfläche der Linse 211. Die Linse 211,
die eine Stablinse ist, ist hinsichtlich ihrer Länge derart
gewählt, daß an einer Stirnfläche derselben einfallende
parallele Lichtstrahlen auf der anderen Stirnfläche fokussiert
werden. Das heißt, die Brennebene des Reflektorsystems
220 ist die Stirnfläche des Linsenelements. Auf dieser
anderen Stirnfläche ist der Reflexionsfilm 212 gebildet. Das
im wesentlichen senkrecht aus der optischen Skala 203 austretende
Beugungslicht ±1-ter Ordnung tritt in die Linse 211
ein. Da an der Brennebene der Linse 211 der Reflexionsfilm
212 angeordnet ist, werden die Lichtstrahlen an diesem gemäß
der Darstellung in Fig. 6 reflektiert, wonach sie auf dem
ursprünglichen optischen Weg zurückkehren, aus der Linse 211
austreten und auf die optische Skala 203 fallen.
Die in ±1-ter Ordnung erneut durch das Beugungsgitter der
optischen Skala 203 gebeugten und reflektierten Lichtstrahlen
kehren entlang den ursprünglichen optischen Wegen zurück,
werden von den Spiegeln 301 bzw. 302 reflektiert,
durch die Viertelwellenlängenplatten 251 und 252 durchgelassen
und wieder auf den polarisierenden Strahlenteiler 209
gerichtet.
Dabei treten die erneut gebeugten Lichtstrahlen wieder durch
die Viertelwellenlängenplatten 251 und 252 hindurch, so daß
daher die zuerst von dem polarisierenden Strahlenteiler 209
reflektierten S-polarisierten Lichtstrahlen bei dem Wiedereintritt
in den Strahlenteiler zu P-polarisierten Licht
strahlen werden, deren Polarisationsrichtung in bezug auf
den Strahlenteiler 209 um 90° abweicht, so daß sie daher
durch den Strahlenteiler 209 durchgelassen werden. Im Gegensatz
dazu werden die zuerst durch den polarisierenden Strahlenteiler
209 durchgelassenen P-polarisierten Lichtstrahlen
zu S-polarisierten Lichtstrahlen, die bei dem Wiedereintreten
in den Strahlenteiler von diesem reflektiert werden.
Auf diese Weise werden die beiden zweimalig
gebeugten Lichtstrahlen durch den polarisierenden Strahlenteiler
209 einander überlagert, wonach sie durch eine Viertel
wellenlängenplatte 253 zu in entgegengesetzten Richtungen
zirkular polarisiertem Licht werden, das durch den Strahlenteiler
206 in zwei Lichtstrahlen geteilt wird, die durch die
Polarisierplatten 271 und 272 zu linear polarisierten Lichtstrahlen
werden, welche danach auf die Lichtempfangselemente
281 bzw. 282 fallen.
Der Einfallwinkel Rm gemäß Gleichung (1) kann irgendeinen
Wert innerhalb des Bereichs haben, in welchem das Beugungslicht
auf das Reflektorsystem 220 und danach wieder auf die
optische Skala 203 fallen kann.
Bei diesem Ausführungsbeispiel ändert sich die Phase des in
±1-ter Ordnung gebeugten Lichts um ±2π, wenn sich das Beugungsgitter
um eine Gitterteilung bewegt. Infolgedessen
nehmen die Lichtempfangselemente 281 und 282 das aus den
zweimalig in positiver und negativer erster Ordnung gebeugten
Lichtstrahlen gebildete Interferenzlicht auf und setzen
das Interferenzlicht auf fotoelektrische Weise um, so daß
daher dann, wenn sich das Beugungsgitter um eine einem
Teilungsabstand des Gitters entsprechende Strecke bewegt,
aus den Lichtempfangselementen 281 und 282 jeweils Signale
mit vier Sinuswellen erhalten werden.
Infolgedessen werden dann, wenn die Gitterteilung des Beugungsgitters
der optischen Skala 203 gleich 3,2 µm ist und
das Beugungslicht ±1-ter Ordnung genutzt wird, aus den
Lichtempfangselementen 281 und 282 vier Sinuswellensignale
erhalten, wenn sich die optische Skala 203 um 3,2 µm bewegt.
Das heißt, als Auflösungsvermögen je Sinuswelle wird ein
Viertel der Gitterteilung des Beugungsgitters, nämlich 3,2/4
=0,8 µm erreicht.
Ferner entsteht durch die Kombination aus den Viertelwellenlängenplatten
251, 252 und 253 und den Polarisierplatten 271
und 272 zwischen den Ausgangssignalen der Lichtempfangselemente
281 und 282 eine Phasendifferenz von 90°, so daß daher
die Bewegungsrichtung des Beugungsgitters ermittelt werden
kann.
Bei diesem Ausführungsbeispiel haben die von der optischen
Skala 203 weg austretenden, in ±1-ter Ordnung gebeugten
Lichtstrahlen einen gemeinsamen optischen Weg und diese
Beugungslichtstrahlen werden durch das gemeinsame Reflektorsystem
220 wieder auf die optische Skala 203 gerichtet. Das
heißt, für die einzelnen Beugungslichtstrahlen müssen keine
gesonderten Spiegel vorgesehen werden. Ferner ist dadurch
das Verhältnis verringert, in welchem Streulichtstrahlen
erzeugt werden, die die Lichtempfangselemente 281 und 282
erreichen. Dadurch ist die Genauigkeit der Interferenzlichtmessung
verbessert.
Im weiteren können gemäß der Darstellung in Fig. 5 alle die
Meßeinrichtung bildenden Teile auf einfache Weise oberhalb,
nämlich an einer Seite der optischen Skala 203 angebracht
werden; daher ergibt sich ein sehr universell anwendbarer
optischer Codierer bzw. Wegmeßgeber.
Das Reflektorsystem 220 bei diesem Ausführungsbeispiel hat
seine Reflexionsfläche in der Brennebene, so daß daher
beispielsweise selbst dann, wenn sich der Beugungswinkel
infolge einer Änderung der Schwingungswellenlänge der Laserstrahlen
geringfügig ändert, wodurch sich der Einfallwinkel
auf die Linse 211 mehr oder weniger ändert, die Beugungslichtstrahlen
auf im wesentlichen dem gleichen optischen Weg
zu der optischen Skala 203 zurückgeführt werden können.
Dadurch werden die beiden in positiver und negativer Ordnung
gebeugten Lichtstrahlen einander auf genaue Weise überlagert,
was zur Folge hat, daß eine Verringerung des Störabstands
der Ausgangssignale
der Lichtempfangselemente 281 und 282 vermieden
ist. Weiterhin wird durch das Wählen des Einfallwinkels Rm
der kohärenten Lichtstrahlen auf die optische Skala 203 auf
die vorstehend beschriebene Weise und durch den Einsatz des
Reflektorsystems 220 ein kompakter Aufbau der ganzen Meßeinrichtung
erreicht.
Falls die Gitterteilung des Beugungsgitters der optischen
Skala 203 gleich 3,2 µm ist und die Wellenlänge des Lichts
aus dem Halbleiterlaser 201 0,78 µm beträgt, beträgt auf die
vorangehend angeführte Weise für das in ±1-ter Ordnung
gebeugte Licht der Beugungswinkel 14,2°. Daher beträgt dann,
wenn als Linse 211 eine Indexgradientenlinse mit einem
Durchmesser in der Größenordnung von 2 mm verwendet wird, um
nur das in ±1-ter Ordnung gebeugte Licht zu reflektieren,
der Abstand von der optischen Skala 203 zu der Linse 211
2/tg 14,2°=7,9 mm; die Skala und die Linse können daher
voneinander einen Abstand in der Größenordnung von 8 mm
erhalten, so daß die ganze Meßeinrichtung sehr kompakt
aufgebaut werden kann.
Bei diesem Ausführungsbeispiel haben die beiden erneut
gebeugten Lichtstrahlen, die an den Lichtempfangselementen
281 und 282 das Interferenzlicht bilden, gleiche optische
Weglängen. Infolgedessen kann selbst dann, wenn sich die
Wellenlänge des Halbleiterlasers 201 ändert, ein nur auf
die Versetzung der optischen Skala 203 reagierendes Interferenzlicht
gebildet werden. Ferner kann als Leuchtelement der
Meßeinrichtung ein billiger Multimode-Halbleiterlaser verwendet
werden.
Wie aus der Fig. 5 ersichtlich ist, ist bei diesem Ausführungsbeispiel
der optische Weg des optischen Systems mit dem
polarisierenden Strahlenteiler 209, den Spiegeln 301 und 302
und dem Reflektorsystem 220 bisymmetrisch und bildet ein
System, das gegenüber Störungen wie einer Vertikalbewegung
der optischen Skala 203 unempfindlich ist.
Ferner ist bei diesem Ausführungsbeispiel als Linse 211 eine
Indexgradientenlinse verwendet, jedoch kann gemäß der Darstellung
in Fig. 7 stattdessen das Reflektorsystem 220 durch
eine Kombination aus einer Sammellinse 213 und einem Spiegel
214 gebildet sein.
Ferner wird bei diesem Ausführungsbeispiel das gebeugte und
reflektierte Licht wieder auf die optische Skala 203 gerichtet,
jedoch kann gemäß der Darstellung in Fig. 8 das Reflektorsystem
220 auf der anderen Seite der optischen Skala 203
angeordnet werden, um das gebeugte und durchgelassene Licht
wieder auf die optische Skala 203 zu richten.
Nach Fig. 5 werden die aus den Lichtempfangselementen 281
und 282 erhaltenen beiden Signale mit der Phasendifferenz
90° in die Eingangsanschlüsse 1 und 2 der Mischeinrichtung
16 als sinusförmiges Signal mit dem Phasenwinkel 0° und
sinusförmiges Signal mit dem Phasenwinkel 90° eingegeben.
Diese Signale werden dann durch die Mischeinrichtung 16, die
Wandlereinrichtung 17 und die Impulsgeneratoreinrichtung 18
verarbeitet. Die Mischeinrichtung 16, die Wandlereinrichtung
17 und die Impulsgeneratoreinrichtung 18 haben die in Fig. 2
und 3 gezeigte Gestaltung. Daher werden die von der aus
diesen Einrichtungen gebildeten Signalinterpolationsschaltung
erzeugten Interpolationsimpulse als Impulsfolge, in der
die Impulse in gleichen Abständen aufeinanderfolgen, in eine
Meßeinrichtung 25 eingegeben. Die Meßeinrichtung 25 zählt
aufeinanderfolgend die Impulse der Interpolationsimpulsfolge,
um daraus eine Bewegungsstrecke der Skala
203 zu bestimmen. In der Versetzungsmeßeinrichtung werden
die von den Lichtempfangselementen 281 und 282 abgegebenen
Signale interpoliert und es werden je Periode
eines jeden Signals acht Impulse erzeugt. Daher kann mit
dieser Meßeinrichtung eine Versetzung der Skala 203 mit
einem sehr hohen Auflösungsvermögen gemessen werden. Da die
Abstände der durch die Interpolation erzeugten Impulse
einander immer gleich sind, ist auch die Meßgenauigkeit
hoch.
Claims (9)
1. Schaltungsanordnung zur Signalinterpolation mit einer
Mischeinrichtung, die mindestens zwei sinusförmige Eingangssignale
mit vorbestimmten Phasenwinkeln aufnimmt und mehrere
entsprechende Ausgangssignale mit jeweils unterschiedlichem
bestimmten Phasenwinkel und unterschiedlicher Amplitude abgibt,
aus denen binäre Signale gebildet werden, deren Flanken
Interpolationsimpulse ergeben, gekennzeichnet durch
mehrere Vergleicher (17, 19), die jeweils eines der Ausgangssignale
(a bis d) der Mischeinrichtung (16) in ein binäres
Signal mit einer Hysterese umsetzen, welche jeweils derart
eingestellt ist, daß unabhängig von der Amplitude der Ausgangssignale
die binären Signale aus den Vergleichern gleiche
Breiten und in Bezug auf die betreffenden Ausgangssignale
gleiche Phasenverschiebungen haben, und
eine Impulsgeneratoreinrichtung (18), die im Ansprechen auf
die Flanken der binären Signale aus den Vergleichern die Inter
polationsimpulse abgibt.
2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Breite der Hysterese der Hysterese der Vergleicher (17,
19) im wesentlichen proportional zu der Amplitude des betreffenden
Ausgangssignals (a bis d) der Mischeinrichtung (16)
eingestellt ist.
3. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß in die Mischeinrichtung (16) Eingangssignale
mit den Phasenwinkeln 0° und 90° eingegeben sind.
4. Schaltungsanordung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Mischeinrichtung (16) die
Ausgangssignale mit gleichen Phasenwinkelabständen abgibt, so
daß die Interpolationsimpulse gleiche Phasenwinkelabstände er
halten.
5. Schaltungsanordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Mischeinrichtung (16)
eine Widerstandsreihenschaltung (R) aufweist, die über Puffer
verstärker (3 bis 5) mit den Eingangssignalen gespeist ist und
die die Ausgangssignale (a bis d) an den Verbindungspunkten
der Widerstände der Reihenschaltung abgibt.
6. Schaltungsanordnung gemäß einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Impulsgeneratoreinrichtung
(18) für jedes der binären Signale aus den Vergleichern
(17, 19) zwei monostabile Kippstufen (22, 23) enthält,
von denen zur Abgabe der Interpolationsimpulse eine durch das
binäre Signal und das andere durch das invertierte binäre Signal
getriggert wird.
7. Schaltungsanordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche,
gekennzeichnet durch eine der Impulsgeneratoreinrichtung
(18) nachgeschaltete ODER-Schaltung (14), die die Inter
polationsimpulse aus der Impulsgeneratorschaltung als Impuls
folge (h) abgibt.
8. Versetzungsmeßeinrichtung mit einer Schaltungsanordnung
gemäß einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch
eine Lesevorrichtung (281, 282) zum Lesen von auf einer bewegbaren
Skala (203) ausgebildeten Skalenmarkierungen und zum Abgeben
von einer Versetzung der Skala entsprechenden, im wesentlichen
sinusförmigen Signalen mit voneinander verschiedenen
Phasenwinkeln als Eingangssignale der Mischeinrichtung
(16), und einen Meßeinrichtung (25), die die Interpolationsimpulse
aus der Impulsgeneratoreinrichtung (18) zu einem Maß für
die Skalenversetzung umsetzt.
9. Verfahren zur Signalinterpolation, bei dem aus im wesentlichen
sinusförmigen Eingangssignalen mit vorbestimmten
Phasenwinkeln mehrere Ausgangssignale mit jeweils unterschiedlichem
bestimmten Phasenwinkel und unterschiedlicher Amplitude
erzeugt werden, aus denen Binärsignale gebildet werden, deren
Flanken Interpolationsimpulse ergeben, dadurch gekennzeichnet,
daß die binären Signale aus den Ausgangssignalen durch Vergleichen
mit einer Hysterese gebildet werden, die derart gewählt
ist, daß unabhängig von den Amplituden der Ausgangssignale
die binären Signale gleiche Breiten und in Bezug auf die
betreffenden Ausgangssignale gleiche Phasenverschiebungen haben,
und daß die Interpolationsimpulse durch die Flanken der
derart erzeugten binären Signale ausgelöst werden.
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---|---|---|---|---|
JPH04229702A (ja) * | 1990-06-20 | 1992-08-19 | Canon Inc | 信号処理方法及び装置、並びにこれを用いた変位検出装置等のシステム |
JP3232795B2 (ja) * | 1992-08-06 | 2001-11-26 | キヤノン株式会社 | 検出装置 |
US5442313A (en) * | 1994-05-27 | 1995-08-15 | The Torrington Company | Resolution multiplying circuit |
JPH08145719A (ja) * | 1994-09-22 | 1996-06-07 | Canon Inc | 位置または角度の検出方法 |
JP2756761B2 (ja) * | 1994-11-08 | 1998-05-25 | 株式会社ミツトヨ | 内挿パルス発生装置 |
US6249855B1 (en) * | 1998-06-02 | 2001-06-19 | Compaq Computer Corporation | Arbiter system for central processing unit having dual dominoed encoders for four instruction issue per machine cycle |
JP3937596B2 (ja) | 1998-06-16 | 2007-06-27 | キヤノン株式会社 | 変位情報測定装置 |
DE10160835B4 (de) * | 2001-12-06 | 2011-02-17 | Anton Rodi | Anordnung zur Interpolation eines Messsignals |
JP2003240607A (ja) | 2002-02-18 | 2003-08-27 | Canon Inc | エンコーダの電気分割回路 |
WO2005053146A2 (en) * | 2003-11-20 | 2005-06-09 | University Of Virginia Patent Foundation | Method and system for enhanced resolution, automatically- calibrated position sensor |
US20080052033A1 (en) * | 2004-08-12 | 2008-02-28 | University Of Virginia Patent Foundation | Method, Apparatus and Computer Program Product of Aliasing Discriminator for Encoder Interfaces |
US7880657B2 (en) * | 2009-02-26 | 2011-02-01 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Interpolation accuracy improvement in motion encoder systems, devices and methods |
US7880658B2 (en) * | 2009-02-26 | 2011-02-01 | Avago Technologies Ecbu Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Interpolation accuracy improvement in motion encoder systems, devices and methods |
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---|---|---|---|---|
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JPS53114339A (en) * | 1978-03-20 | 1978-10-05 | Hitachi Ltd | Frequency multiplying circuit |
JPS57131118A (en) * | 1981-02-06 | 1982-08-13 | Toshiba Corp | Pulse generator |
US4410798A (en) * | 1981-06-10 | 1983-10-18 | Itek Corporation | Incremental optical encoder system with addressable index |
JPS58115922A (ja) * | 1981-12-29 | 1983-07-09 | Sony Corp | 周波数逓倍回路 |
JPH0621801B2 (ja) * | 1985-07-03 | 1994-03-23 | キヤノン株式会社 | ロ−タリ−エンコ−ダ− |
JPS6212814A (ja) * | 1985-07-10 | 1987-01-21 | Canon Inc | ロ−タリ−エンコ−ダ− |
US4811254A (en) * | 1985-12-17 | 1989-03-07 | Nippon Gakki Seizo Kabushiki Kaisha | Displacement detector for an encoder |
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