DE3929290A1 - Interferometrische sensorsysteme - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft Sensorsysteme, die als Sensorelement
ein optisches Interferometer enthalten.
Ein Sensorsystem kann als eine Meßkette verstanden werden,
die aus einem Sensorelement, einer Signalaufbereitung und
einer Meßwertausgabe besteht. Der aktive Teil ist das Sensor
element, das eine zu messende Größe wie z. B. die Temperatur T
in eine elektrisch erfaßbares Signal umwandelt. In einem
interferometrischen Sensorsystem wird diese Aufgabe von einem
optischen Interferometer übernommen. Hierunter soll im weite
sten Sinne ein Interferometer verstanden werden, das ein
Interferogramm erzeugt, wenn es mit elektromagnetischer
Strahlung ("Licht") aus dem "optischen" Wellenlängenbereich
(von etwa 50 nm bis 50 µm) bestrahlt wird.
Zur Messung von physikalischen Größen wie Temperatur T, Druck
p, Dichte ρ (T, p, x) und Zusammensetzung x = {x₁, . . ., xN} eines
Mischsystems aus N Komponenten eignen sich im Prinzip alle
Stoff- bzw. Systemeigenschaften, die mit diesen Größen in
einen umkehrbar eindeutigen Zusammenhang gebracht werden
können (xi= Molenbruch der chemischen Komponente i des N-
Komponentensystems). Die bisher käuflichen physikalisch-
chemischen Sensorsysteme zur Messung von T, p und ρ nutzen
überwiegend Änderungen von mechanisch-elastischen Eigenschaf
ten (z. B. Schwingungsfrequenz oder Membrandurchbiegung) und
elektrischen Eigenschaften (z. B. Kapazität oder elektrischer
Widerstand) des aktiven Sensorelements aus. Die elastische
Verformung wird überwiegend elektrisch (z. B. mit
Dehnungsmeßstreifen), selten aber auch geometrisch-optisch
durch Reflektion eines Lichtstrahls an einem mit dem Sensor
element verbundenen Spiegel sichtbar gemacht ("Lichtzeiger",
z. B. beim Quarzwendelmanometer der Fa. Ruska). Häufige Nach
teile dieser Sensorelemente sind z. B. ein kleiner
physikalischer Meßeffekt, Hystereseerscheinungen und größere
Abweichungen von einem linearen Verhalten, wodurch wichtige
Sensoreigenschaften wie Meßempfindlichkeit, Meßgenauigkeit
und Größe des Meßbereichs beeinträchtigt werden.
Mit interferometrischen Sensorsystemen sollen diese Meßei
genschaften verbessert werden.
Dieses Ziel wird dadurch erreicht, daß optische Interferometer als Sensorelemente verwendet werden. Mit ihnen lassen
sich die optischen Eigenschaften Absorption und Brechung
eines Sensorsystems zur Bestimmung von p, T oder ρ messen.
Mit Hilfe der heutzutage vorhandenen miniaturisierten aktiven
(Laser, Photodioden) und passiven (Spiegel, Linsen usw.)
optischen und elektronischen Bauelemente ist eine Entwicklung
von preiswerten und kompakten interferometrischen Sensorsystemen
möglich. Die Funktionsweise und Vorteile eines solchen
neuartigen Sensorsystems sollen im folgenden am Beispiel
eines Sensortyps mit einem 2-Platteninterferometer als
Sensorelement beschrieben werden. Als zu messende Größen
sollen hier nur p und T betrachtet werden, obwohl im Prinzip
auch eine Messung der Dichte ρ oder der Zusammensetzung x
eines Mischsystems möglich ist. Abb. 1 zeigt
schematisch ein solches Sensorsystem in der Option eines
Hochdrucksensors und Abb. 2 die optische Wirkungsweise
des 2-Platten-Interferometers. Es besteht aus einer
teilverspiegelten Teilerplatte Tp (Brechzahl n₁) und einem
Oberflächenspiegel Sp, die mit Hilfe eines Abstandshalters
im Abstand 1 möglichst planparallel zueinander angeordnet sind.
Das Interferometer befindet sich in einem Gehäuse, das
einseitig mit einem Fenster SF verschlossen ist (in Abb. 1 ein
Hochdruckautoklav mit einem Saphirfenster SF). Gehäuse und
Interferometer sind vollständig mit einem fluiden
Sensormedium vom Brechungsindex n(λ, T, p) und Absorptions
koeffizient a(λ, T, p) gefüllt, wobei über Bohrungen im
Abstandshalter Druckausgleich erfolgt. Im Falle eines
Temperatursensorsystems kann z. B. ein geschlossenes
Interferometer ohne Gehäuse oder in einem dünnwandigen
Gehäuse verwendet werden, das mit der zu messenden
Temperaturquelle in gutem Wärmekontakt gebracht wird. Das
Interferometer wird mit Laserlicht der Wellenlänge λ
beleuchtet und das reflektierte Interferenzmuster (Interfero
gramm) nach Aufweitung mit einer Aufweitungsoptik AO durch
eine Photodiode PD mit Blende registriert. Daran anschließend
findet eine Aufbereitung des analogen elektrischen Signals U
mit einem Computer statt. Die optoelektronische Baueinheit
Laser-AO-PD kann mit dem Sensor fest verbunden (integriert)
oder an ihn flexibel über Lichtleiter optisch angekoppelt
werden. Die Funktionsweise des Interferometers ist schema
tisch in Abb. 2 gezeigt. Der Lichtstrahl wird an der
Innenseite 1 von Tp in einen reflektierten Teilstrahl A und
einen durchgelassenen Teilstrahl aufgespalten. Dieser wird an
der Innenseite 2 des Spiegels Sp reflektiert und verläuft als
Teilstrahl B in der Teilerplatte Tp parallel zu A. Unter
idealen Bedingungen (monochromatisches paralleles Licht, Tp
und Sp planparallel) ist der Gangunterschied γ zweier
beliebiger benachbarter kohärenter Teillichtbündel (z. B. A, B)
nach Abb. 2 gegeben durch
γ ≡ Nλ = nL (1)
mit der geometrischen Weglänge
L =2l cos ε = 2l[1-(n₁/n)² sin²α]1/2 (2)
des Teilstrahls B im Interferometermedium der (reellen)
Brechzahl n(λ, T, p). Der Wurzelausdruck für cos ε=[1-sin² ε]¹/²
ergibt sich aufgrund des Brechungsgesetzes n₁ sin α = n sin ε. N
ist die Interferenzordnung ("Interferenzstreifenzahl"). Ein
fachste Verhältnisse ergeben sich also bei genau senkrechtem
Lichteinfall (α=ε=0°, γ=nL=n2l). Dem Gangunterschied γ=Nλ
entspricht eine Phasendifferenz ψ=2πN + ϕ der interferieren
den Teilstrahlen (A, B), wobei ϕ die Differenz der
Phasensprünge ist, die bei der Reflektion der Teilstrahlen an
den Phasengrenzen 1 und 2 auftreten. Für n<n₁ ist ϕ=-π und
für n<n₁ ist ϕ=π. Für die Intensitätsverteilung im Beobachtungspunkt P' kann man dann schreiben:
I(P') = I₁ + I₀ cos ψ = I₁ - I₀ cos 2πN (3)
Im Idealfall streng monochromatischer Teilstrahlen (A, B), der
Intensitäten IA und IB ist die Untergrundintensität I₁=IA+IB
und die Amplitude des Zweistrahlinterferogramms
I₀=2(IAIB)1/2. Nach (3) ergeben sich Intensitätsmaxima für
N=+-{0, 1, 2, . . .}
und Intensitätsminima für
N=+-{1/2, 3/2 . . .}.
Eine Änderung ΔN von N ergibt also ein kosinusförmiges
Intensitätssigna I(P') auf der Blende der Photodiode PD und
damit ein entsprechendes kosinusförmiges elektrisches Signal U,
das dann z. B. mit einem Einplatinencomputer weiterverar
beitet werden kann. Die Richtung von ΔN (ΔN<0, ΔN<0) kann
z. B. mit einer Quadrantenphotodiode festgestellt werden. Eine
gleichzeitige Änderung des Absorptionskoeffizienten a(λ, T, p)
des Sensormediums im Interferometer macht sich gemäß dem
Lambert-Beer'schen Gesetz
IB = IB 0 exp(-aL) (4)
in der Intensität IB des Teilstrahls B und damit in den
Größen I₁ und I₀ des Interferogramms (3) bemerkbar. IB 0 ist
die Intensität des Teilstrahls B für ein leeres Interferometer
(a=0). Der Einfachheit halber soll dieser Absorptionsef
fekt (4), der im Prinzip auch für Meßzwecke ausgenutzt werden
kann, im folgenden nicht weiter betrachtet werden, sondern
nur noch der reine Interferenzeffekt (1).
Die Vorteile eines interferometrischen Sensorsystems gegen
über herkömmlichen Sensorsystemen lassen sich z. B. anhand der
Abschätzung der Auflösung und Genauigkeit eines Sensortyps
der Abb. 1 für die Messung von Temperatur T und Druck p
erläutern. Da N die eigentliche Meßgröße in (1) bzw. (3) ist,
schreibt man (1) zweckmäßig in
N = (L/λ)n = Kn (5)
um, wobei
K = (L/λ) = (2l/λ) cos ε = (2l/λ)(1-[n₁/n]² sin² α)1/2 (6)
eine dimensionslose "Apparatekonstante" ist, die für α=ε=0°
ihren Maximalwert K=2l/λ annimmt. Der Einfachheit halber soll
im folgenden nur dieser Maximalwert betrachtet werden. Aus
(5) erhält man für eine infinitesimale Änderung von N:
dn = ndK + Kdn = dNK + dNn (7)
Betrachtet man als Meßgrößen nur p und T, so ist
dNK = ndK = n[(∂K/∂p)Tdp + (∂K/∂T)pdT] = n[dKp + dKT] (8)
dNn = Kdn = K[(∂n/∂p)Tdp + (∂n/∂T)pdT] = K[dnp + dnT] (9)
Es ist zweckmäßig, bei einem Drucksensor T und bei einem
Temperatursensor p (z. B. mit Hilfe eines Expansionsvolumens
für das Sensormedium) möglichst konstant zu halten. Durch
Optimierung der geometrischen Abmessungen des Platten
abstandshalters kann man den Druckkoeffizienten (∂l/∂p)T von
l sehr klein machen, so daß dKp≈0 wird. Dies kann z. B. für
Hochdrucksensoren erwünscht sein. Aus l=l₀[1+α₁(T-T₀)] folgt
dann für den Temperaturkoeffizienten (∂l/∂T)p=αl₀, wenn α₁
der lineare thermische Ausdehnungskoeffizient des
Abstandshaltermaterials und l₀=l(T₀) der Plattenabstand für
eine Bezugstemperatur T₀ ist. Damit folgt aus (8) mit
K(T)≈K(T₀)=K₀ die Abschätzung:
dNK = ndK ≈ ndKT ≈ nK₀α₁dT (10)
l₀=20 mm , λ=830 nm , α=0°, K₀=4.8 * 10⁴, n≡1 (Vakuum):
α₁ (Aluminium)=2.2 * 10-1K-1, dNK = 1.06(dT/K),
α₁ (Quarzglas)=6 * 10-7K-7, dNK = 0.03(dT/K).
α₁ (Aluminium)=2.2 * 10-1K-1, dNK = 1.06(dT/K),
α₁ (Quarzglas)=6 * 10-7K-7, dNK = 0.03(dT/K).
Ein ähnlich kleiner Wert wie für Quarzglas gilt für Glaske
ramiken. Meßtechnisch ist eine Auflösung von dN≈10-3 Interfe
renzstreifen möglich. Deshalb sollte sich also bereits für
ein evakuiertes Aluminiuminterferometer eine ähnlich gute
Temperaturauflösung und hohe Meßgenauigkeit (nach Kalibrie
rung!) ergeben, so daß sich ein solches Interferometer als
Temperatursensorelement aneignen sollte. Die maximale Größe des
Temperaturmeßbereichs hängt dann praktisch nur noch von der
thermischen Stabilität der Baumaterialien des Interferometers
ab. Umgekehrt sollte ein Quarzglas- oder Glaskeramikinterfero
meter gut als Drucksensorelement geeignet sein, das
notwendigerweise immer mit einem Sensormedium gefüllt werden
muß. Meßfehler durch Schwankungen dT der Meßtemperatur werden
so minimiert. Eine zusätzliche Thermostatisierung des
Drucksensors kann diese Temperaturempfindlichkeit weiter
verringern.
Für ein ideales Gas gilt exakt:
n = 1 + (2πα₀/k)p/T = 1 + a₀p/T (11)
k ist die Boltzmannkonstante und α₀=α₀ (λ, T) die Dipolpolari
sierbarkeit des freien (isolierten) Moleküls in dem idealen
Gas (mit der Dimension eines Volumens). Aus (11) folgt
(∂n/∂T)p=-a₀p/T² und (∂n/∂p)T=a₀/T.
Mit B₀≡K₀a₀ ergibt sich:
dNnp (T) = K₀ (∂n/∂T)pdT = -B₀p (dT/T²) (12)
dNnT (p) = K₀ (∂n/∂p)Tdp = (B₀/T)dp (13)
Gemäß (12) ist ein gasgefüllter Temperatursensor um so
empfindlicher, je größer p und je kleiner T ist. Gemäß (13)
ist ein gasgefüllter Drucksensor um so empfindlicher, je klei
ner T ist. Für Edelgase ist α₀ bis 1000 K praktisch von T
unabhängig. Deshalb sollten sich diese besonders gut als
Sensorgase eignen. Wählt man K₀=4.82 * 10⁴, so liegen die B₀-
Werte der Edelgase zwischen 0.00452KPa-1 (Helium) und
0.09041KPa-1 (Xenon). Wählt man p=10⁵Pa (1bar), T=300K und
Xenon als Füllgas, so ergibt sich
dNnp (T) = -0.10(dT/K), dNnT (p) = 3.01 * 10-4 (dp/PA).
Einer Auflösung von dN≈10-3 entspricht dT≈0.01K und dp≈3Pa
(dT/T≈dp/p≈3 * 10-5). Ein solcher Sensor ist also sehr
empfindlich, obwohl der Temperatureffekt dNnp (T) von Xenongas
bei diesem Druck um einen Faktor 10 kleiner ist als bei einem
evakuierten Interferometer mit einem Abstandshalter aus
Aluminium (siehe oben).
n(p,T) ist bisher nur für wenige reale Gase und Flüssigkeiten
gemessen worden. Als Beispiel soll CCl₄ betrachtet werden.
Für T=298K, p=1bar und λ= 667.8 nm ist etwa:
(Δn/Δp)T = 4.66 * 10-5bar-1, (Δn/ΔT)p= -6.04 * 10-4K-1.
Damit ergibt sich mit K₀(667.8nm) = 5.99 * 10¹ gemäß (9):
dNn = 2.79(dp/bar) - 36.18 (dT/K) (14)
Nach (14) sollte sich ein Flüssigkeitssensor gut zur
Temperaturmessung eignen, wenn p konstant gehalten wird
(dp=0, z. B. mit Hilfe eines Expansionsgefäßes für die
Sensorflüssigkeit). Eine Druckmessung ist jedoch um einen
Faktor 10 unempfindlicher als mit Xenongas, wobei T noch
genauer konstant zu halten wäre. In jedem Fall ist jedoch im
Falle eines Drucksensors zu überlegen, ob ein Trenngefäß
zwischen Sensormedium und dem äußeren Druckmedium
eingeschaltet werden muß. Ein Sensorinterferometer, das
direkt mit diesem Druckmedium (z. B. einem Hochdrucköl)
beaufschlagt werden kann, würde trotz der geringeren
Empfindlichkeit einem Gassensor vorzuziehen sein.
Die bisherigen Überlegungen und Beispiele sollten dazu dienen,
Abschätzungen für die Empfindlichkeit und mögliche
Genauigkeit interferometrischer Sensorsysteme zu gewinnen
sowie ihre meßtechnischen Vorteile gegenüber bekömmlichen
Sensorsystemen aufzuzeigen. In der Praxis wird sich sicher
lich die Kalibrierung eines solchen Sensorsystems empfehlen,
um N(p) bzw. N(T) gemäß (5) zu bestimmen.
Claims (5)
1. Interferometrische Sensorsysteme
dadurch gekennzeichnet, daß ein optisches Interferometer als
Sensorelement verwendet wird.
2. Interferometrische Sensorsysteme zur Messung von Temperatur
und Druck sowie Brechzahl, Absorptionskoeffizient, Dichte und
chemische Zusammensetzung eines Sensormediums.
3. Das Interferometer ist evakuiert oder enthält ein Sensormedium.
4. Das Interferometer wird mit Laserlicht bestrahlt.
5. Das Interferometer ist ein 2-Platteninterferometer.
Priority Applications (1)
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DE19893929290 DE3929290A1 (de) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | Interferometrische sensorsysteme |
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DE19893929290 DE3929290A1 (de) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | Interferometrische sensorsysteme |
Publications (1)
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DE3929290A1 true DE3929290A1 (de) | 1991-03-07 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4306756A1 (de) * | 1993-03-04 | 1994-09-08 | Sios Mestechnik Gmbh | Lichtwellenleitergekoppelte Temperaturmeßvorrichtung |
DE19808222A1 (de) * | 1998-02-27 | 1999-09-02 | Abb Research Ltd | Faser-Bragg-Gitter Drucksensor mit integrierbarem Faser-Bragg-Gitter Temperatursensor |
DE10301416B3 (de) * | 2003-01-16 | 2004-07-15 | Medizinisches Laserzentrum Lübeck GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur kontaktlosen Temperaturüberwachung und -regelung |
DE102010061950A1 (de) * | 2010-11-25 | 2012-05-31 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren sowie Anordnung zum Bestimmen des Erwärmungszustandes eines Spiegels in einem optischen System |
-
1989
- 1989-09-04 DE DE19893929290 patent/DE3929290A1/de not_active Withdrawn
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4306756A1 (de) * | 1993-03-04 | 1994-09-08 | Sios Mestechnik Gmbh | Lichtwellenleitergekoppelte Temperaturmeßvorrichtung |
DE19808222A1 (de) * | 1998-02-27 | 1999-09-02 | Abb Research Ltd | Faser-Bragg-Gitter Drucksensor mit integrierbarem Faser-Bragg-Gitter Temperatursensor |
US6563970B1 (en) | 1998-02-27 | 2003-05-13 | Abb Research Ltd. | Pressure sensor with fibre-integrated bragg grating, comprising an integrated temperature sensor with fibre-integrated bragg grating |
DE10301416B3 (de) * | 2003-01-16 | 2004-07-15 | Medizinisches Laserzentrum Lübeck GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur kontaktlosen Temperaturüberwachung und -regelung |
DE102010061950A1 (de) * | 2010-11-25 | 2012-05-31 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren sowie Anordnung zum Bestimmen des Erwärmungszustandes eines Spiegels in einem optischen System |
US10161808B2 (en) | 2010-11-25 | 2018-12-25 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method and arrangement for determining the heating condition of a mirror in an optical system |
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