DE3901625A1 - Goniometer in einer roentgenstrahlbeugungseinrichtung - Google Patents
Goniometer in einer roentgenstrahlbeugungseinrichtungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Goniometer in einer Röntgen
strahlbeugungseinrichtung, und insbesondere eine Verbesserung
eines Goniometers, welches in Verbindung mit einer Röntgen
strahlbeugungseinrichtung, beispielsweise einem Diffraktor
meter, verwendet wird.
Eine Röntgenstrahlbeugungseinrichtung, beispielsweise ein
Beugungsmeßgerät bzw. Diffraktormeter, wird zur Röntgen
strahlbeugungsanalyse verwendet. Bei der Röntgenstrahl
beugungsanalyse mit Hilfe eines Diffraktormeters wird bei
spielsweise ein Kristallaufbau einer Substanz durch Bestrah
len der Substanz mit einem Röntgenstrahl und Messen eines
Beugungswinkels des Röntgenstrahls, der von der Substanz
reflektiert oder durch diese hindurchgetreten ist, analy
siert. Ein Goniometer wird in Verbindung mit dem Diffrak
tormeter zur Messung eines Beugungswinkels des Röntgen
strahls verwendet.
Zunächst wird der Grundaufbau eines herkömmlichen Gonio
meters unter Bezugnahme auf die Fig. 12 beschrieben.
Das Goniometer enthält eine Röntgenstrahlquelle 60, einen
Empfangsspalt 61, einen Röntgenstrahldetektor 62 und
einen Probenhalter zum Halten einer Probe 63. Die Röntgen
strahlquelle 60 und der Empfangsspalt 61 sind so ange
ordnet, daß ein Abstand L 1 zwischen der Röntgenstrahlquelle
60 und der Probe 63 gleich einem Abstand L 2 zwischen dem
Empfangsspalt 61 und der Probe 63 ist. Die Röntgenstrahl
quelle 60 und der Empfangsspalt 61 sind daher auf einem
vorbestimmten Kreis 64 mit einem Radius von L 1 (= L 2) ange
ordnet. Dieser Kreis verläuft um eine Mittelachse O der
Probe 63. Der vorbestimmte Kreis 64 wird als Diffraktor
meterkreis bzw. Teilkreis bezeichnet. Das Goniometer läßt
sich in zwei Typen klassifizieren in Abhängigkeit von der
Lage der Ebene, in welcher sein Diffraktormeterkreis liegt.
Ein Typ ist ein lateraler Typ, dessen Diffraktormeterkreis
in einer horizontalen Ebene liegt, und der andere Typ ist
ein vertikaler Typ, dessen Diffraktormeterkreis in einer
vertikalen Ebene liegt.
Zur Änderung eines Einfallswinkels (R) des Röntgenstrahls
in bezug auf eine Gitterebene einer Probe ist es in einem
Goniometer erforderlich, eine relative Lage zwischen der
Röntgenstrahlquelle 60 und der Probe 63 zu ändern. In Ab
hängigkeit von der Änderung dieser relativen Lage ist es
ferner erforderlich, eine relative Lage zwischen dem Emp
fangsspalt 61 und der Probe 63 zu ändern, so daß der gebeug
te Röntgenstrahl im Empfangsspalt 61 empfangen wird. Bei
einem herkömmlichen Goniometer sind in beliebiger Auswahl
zwei der drei Goniometerbestandteile - Röntgenstrahlquelle
60, Probe 63 und Empfangsspalt 61 - um die Mittelachse O
der Probe 63 in beliebiger Auswahl drehbar, während der
verbleibende Bestandteil unverdrehbar fixiert bleibt. In Ab
hängigkeit von dem unverdrehbar fixierten Bauteil wird das
Goniometer in drei Typen klassifiziert, nämlich in einen
Typ mit fixierter Röntgenstrahlquelle (bezeichnet als
R-2R-Betriebssystem), in welchem die Röntgenstrahlquelle
unverdrehbar fixiert ist, einen Typ mit fixiertem Proben
halter (bezeichnet als R-R-Betriebssystem) und einen Typ
mit fixiertem Empfangsspalt (bzw. fixiertem Röntgenstrahl
detektor). Diese drei Typen des Goniometers sind sowohl beim
lateralen als auch beim vertikalen Typ des Goniometers an
wendbar. Im allgemeinen werden Goniometer vom Lateraltyp
mit fixierter Röntgenstrahlquelle oder vom Vertikaltyp
mit fixierter Röntgenstrahlquelle oder vom Vertikaltyp
mit fixierter Probe zum Einsatz gebracht. Insbesondere ein
Goniometer vom Vertikaltyp mit horizontal fixierter Probe
wird als Horizontalgoniometer bezeichnet.
Bei einem herkömmlichen Goniometer ist irgendeiner der drei
Bestandteile Röntgenstrahlquelle, Probe und der neben dem
Empfangsspalt angeordnete Röntgenstrahldetektor, undrehbar
fixiert. Die Auswahl des Goniometerbestandteils, der un
drehbar fixiert sein soll, wird bestimmt in Abhängigkeit
von den beabsichtigten Vorteilen. Jedoch ergeben sich bei
jeder der drei Arten der undrehbaren Fixierung Nachteile.
Bei dem Typ mit fixierter Röntgenstrahlquelle ergibt sich
der Nachteil, daß ein Aufbau mit hohem Gewicht für den
Probenhalter und den Röntgenstrahldetektor nicht so ohne
weiteres möglich ist, da diese Bestandteile drehbar sein
sollen. Zubehörteile mit hohem Gewicht, wie beispielsweise
Hochdruckbehälter, können daher beispielsweise am Proben
halter bzw. Probentisch nicht vorgesehen sein. Außerdem
kann ein Röntgenstrahldetektor, beispielsweise ein Fest
körperdetektor, nicht verwendet werden. Andererseits kann
bei einem Goniometertyp mit fixiertem Probentisch keine
Röntgenstrahlquelle mit großer Abmessung verwendet werden,
da diese drehbar sein soll.
In Anbetracht der geschilderten Nachteile ist es Aufgabe der
Erfindung, ein Goniometer zu schaffen, bei welchem der Pro
bentisch, die Röntgenstrahlquelle und der Röntgenstrahldetek
tor unabhängig voneinander drehbar sind und eine dieser Kom
ponenten in Abhängigkeit von den Meßerfordernissen, von dem
Probenzubehör, welches für die Komponenten, beispielsweise
den Probentisch, erforderlich ist, für die Fixierung frei
wählbar ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Anspruch 1
angegebenen Merkmale gelöst.
Durch die Erfindung wird ein Goniometer in einer Röntgen
strahlbeugungseinrichtung geschaffen, bei welcher erste
Röntgenstrahlen auf eine Probe gestrahlt werden und zweite
Röntgenstrahlen, die aus der Bestrahlung mit den ersten
Röntgenstrahlen resultieren, erfaßt werden, wobei die zwei
ten Röntgenstrahlen in Abhängigkeit von der Probe gebeugt
werden und die Probe eine Mittenachse aufweist. Dieses
Goniometer enthält einen Probentisch, der um die Mittenachse
der Probe zum Halten der Probe drehbar vorgesehen ist, eine
Röntgenstrahlquelle, die um die Mittenachse der Probe zum
Bestrahlen der Probe mit den ersten Röntgenstrahlen drehbar
angeordnet ist, einen Röntgenstrahldetektor, der um die
Mittenachse der Probe zur Erfassung der zweiten Röntgen
strahlen drehbar angeordnet ist. Da bei der Erfindung der
Probentisch, die Röntgenstrahlquelle und der Röntgenstrahl
detektor unabhängig voneinander drehar sind, kann eine
dieser Komponenten in Abhängigkeit von den Meßerfordernissen
und dem für die Probe erforderlichen Zubehör für die Fixie
rung frei ausgewählt werden. Ferner können verschiedene
Arten von Meßverfahren für die Durchführung der Röntgen
strahlbeugungsanalyse mit Hilfe eines einzigen Goniometers
angewendet werden.
Anhand der Figuren wird die Erfindung noch näher erläutert.
Es zeigt
Fig. 1 in schnittbildlicher Darstellung ein
Goniometer in einer Röntgenstrahlbeugungs
einrichtung als Ausführungsbeispiel der
Erfindung;
Fig. 2 eine Draufsicht auf einen Antriebs
mechanismus für die Drehung eines Proben
tisches;
Fig. 3 bis 9 Draufsichten zur Erläuterung der Verwen
dung eines Goniometers in einer Röntgen
strahlbeugungseinrichtung gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 10 und 11 perspektivische Darstellungen einer ande
ren Ausführungsform der Erfindung; und
Fig. 12 eine schematische Darstellung eines her
kömmlichen Goniometers.
In der Fig. 1 ist als Ausführungsbeispiel der Erfindung ein
Goniometer vom Lateraltyp dargestellt.
Dieses Goniometer besitzt eine Grundplatte 10, eine Proben
tischeinheit 20, eine Röntgenstrahldetektoreinheit 30 und
eine Röntgenstrahlröhreneinheit 40. Die Einheiten 20 und 30
sind über Lager 34, 35, welche dazwischen angeordnet sind,
zusammengebaut, und die Einheiten 30 und 40 sind über Lager
44, 45 miteinander zusammengebaut. Die Grundplatte 10 ist
einstückig verbunden mit einem zylindrischen Bauteil 11. Der
zylindrische Bauteil 11 besitzt einen Teil mit großem
Durchmesser und einen Teil mit kleinem Durchmesser. Ein
offenes Ende des Teils mit großem Durchmesser ist einstückig
mit der Grundplatte 10 verbunden. Das Innere des zylindri
schen Bauteils bildet einen Aufnahmeraum 12 zur Aufnahme
einer Welle 22 und eines Schneckenrades 23.
Die Probentischeinheit 20 enthält einen Probentisch 21 als
Träger für eine Probe. Die Welle 22 erstreckt sich vertikal
und wird über Lager 24, 25 im zylindrischen Bauteil 11 abge
stützt. Das Schneckenrad 23 ist am unteren Ende der Welle 22
befestigt und befindet sich im Aufnahmeraum 12. Ein Abstand
halter 16 ist zwischen den beiden Lagern 24, 25 angeordnet.
Eine Probenplatte 27 ist entfernbar am Probentisch 21 mon
tiert. Das Schneckenrad 23 kämmt mit einer Schnecke 28, die
mit einem in Fig. 2 dargestellten Impulsmotor 29 verbunden
ist.
Die Röntgenstrahldetektoreinheit 30 enthält eine Hohlwelle
31, welche sich vertikal erstreckt und welche über Lager
34, 35 am zylindrischen Bauteil 11 abgestützt ist. Ein
Tragarm 32 erstreckt sich in horizontaler Richtung und ist
am oberen Ende der Hohlwelle 31 befestigt. Ein Schneckenrad
33 ist am unteren Ende der Hohlwelle 31 befestigt. Ein Ab
standhalter 36 ist zwischen den beiden Lagern 34, 35 ange
ordnet. Auf den Tragarm 32 ist ein Röntgenstrahldetektor 37
montiert. Ein Empfangspalt 51 und ein Streuspalt 52 sind
neben dem Röntgenstrahldetektor 37 auf dem Tragarm 32 ange
ordnet. Das Schneckenrad 33 kämmt mit einer Schnecke 38, die
mit einem nicht näher dargestellten Impulsmotor in der glei
chen Weise, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, verbunden ist.
Die Röntgenstrahlröhreneinheit 40 enthält eine Hohlwelle 41,
die sich vertikal erstreckt und über Lager 44, 45 an der
Hohlwelle 31 abgestützt ist. Ein Tragarm 42 ist einstückig
am oberen Ende der Hohlwelle 41 vorgesehen. Ein Schnecken
rad 43 ist am unteren Ende der Hohlwelle 41 befestigt. Ein
Abstandhalter 46 ist zwischen den beiden Lagern 44, 45 an
geordnet. Eine Röntgenstrahlröhre 47 ist in einer Gleitbahn
verschiebbar am Tragarm 42 vorgesehen. Hierzu ist an den
Tragarm 42 eine Führungsnut 42 a angeformt, die sich in einer
Richtung senkrecht zur Zeichnungsebene erstreckt. Die Rönt
genstrahlröhre 47 besitzt an ihrem unteren Ende einen Ein
griffsteil 47 a, der in die Führungsnut 42 a eingesetzt ist.
Auf diese Weise kann die Röntgenstrahlröhre 47 in Längs
richtung der Führungsnut 42 a beim Einschalten eines nicht
näher dargestellten Impulsmotors bewegt werden. Ein Diver
genzspalt 53 ist neben der Röntgenstrahlröhre 47 am Trag
arm 42 angeordnet. Das Schneckenrad 43 kämmt mit einer
Schnecke 49, die mit einem nicht näher dargestellten Impuls
motor in der gleichen Weise, wie es in Fig. 2 dargestellt
ist, verbunden ist.
Bei dieser Anordnung gelangen Röntgenstrahlen, welche von
der Röntgenstrahlröhre 47 erzeugt werden, durch den Diver
genzspalt 53, welcher die Strahlendivergenz begrenzt. Die
Röntgenstrahlen treffen auf eine Probe, die sich auf dem
Probentisch 47 befindet. Gebeugte Röntgenstrahlen, welche
von der Probe reflektiert werden, werden vom Röntgenstrahl
detektor 37, nachdem sie durch den Empfangsspalt 51 und den
Streuspalt 52 hindurchgetreten sind, erfaßt und verarbeitet.
Der Emfangsspalt 51 dient zur Begrenzung der Röntgenstrah
len, welche zum Röntgenstrahldetektor 37 gelangen. Der
Streuspalt 52 verhindert, daß Röntgenstreustrahlen zum
Röntgenstrahldetektor 37 gelangen. Nur der Röntgenstrahl,
der von der Probe kommt, kann zum Röntgenstrahldetektor 37
gelangen. Wenn bei dieser Röntgenstrahlbeugungsanalyse die
Schnecken 38 und 49 angetrieben werden, werden die an der
Hohlwelle 41 vorgesehene Röntgenstrahlröhre 47 und der an
der Hohlwelle 31 vorgesehene Empfangsspalt 51 unabhängig
voneinander um die Mittelachse 15 der Probe auf dem Teil
kreis bzw. Diffraktormeterkreis gedreht. Der Röntgenstrahl
detektor 37 wird dabei um die Mittelachse 15 der Probe, zu
sammen mit dem Empfangsspalt 51, gedreht. Der Probentisch
27 ist ferner unabhängig um die Mittelachse 15 durch den
Antrieb der Schnecke 28 drehbar. Das heißt, der Probentisch
21, der Röntgenstrahldetektor 37 und die Röntgenstrahlröhre
47 sind um die Mittelachse 15 im Goniometer unabhängig von
einander drehbar.
Im folgenden werden verschiedene Verfahren unter Verwendung
eines so aufgebauten Goniometers unter Bezugnahme auf die
Fig. 3 bis 9 beschrieben.
In den Fig. 3 bis 9 sind Draufsichten dargestellt, welche
die Beziehung der relativen Lage zwischen von der Röntgen
strahlröhre 47 erzeugten Röntgenstrahlen 54, einer Probe 55
auf dem Probenhalter und dem Röntgenstrahldetektor 37 zeigen.
Andere Komponenten und Bauteile sind nicht dargestellt. Die
se Figuren dienen zur Erläuterung eines Goniometers vom
Lateraltyp. Im Falle eines Goniometers vom Vertikaltyp kön
nen die Fig. 3 bis 9 als Vorderansichten anstelle der
Draufsichten angesehen werden. In den Fig. 3 bis 9 bedeu
ten R s einen Drehwinkel der Röntgenstrahlröhre 47, R c
einen Drehwinkel des Probentisches 21 und R d einen Dreh
winkel des Röntgenstrahldetektors 37.
Die Röntgenstrahlröhre und damit die Röntgenstrahlen 54
sind hier ortsfest bzw. in ihrer Richtung festgelegt. Der
Drehwinkel R s der Röntgenstrahlröhre bleibt daher unver
ändert. In diesem Fall wird die Winkelgeschwindigkeit des
Röntgenstrahldetektors 37 doppelt so hoch bemessen wie die
Winkelgeschwindigkeit der Probe 55. Das heißt, bei einem
Drehwinkel R c des Probentisches von R beträgt der Dreh
winkel R d des Röntgenstrahldetektors 2R, wie es in Fig. 3
dargestellt ist. Die Anordnung des Goniometers ist die
gleiche wie bei einem herkömmlichen Lateralgoniometer.
Der Probentisch ist fixiert und ortsfest angeordnet. Der
Drehwinkel der Probe bleibt daher unverändert. Mit der Be
zugziffer 56 ist eine Normale der Gitterebene, die zu
messen ist, bezeichnet. In diesem Fall wird die Winkel
geschwindigkeit der Röntgenstrahlröhre 47 gleich der Winkel
geschwindigkeit des Röntgenstrahldetektors 37 gewählt. Das
heißt, bei einem Drehwinkel R s der Röntgenstrahlröhre von
R hat auch der Drehwinkel R d des Röntgenstrahldetektors
den Wert R, wie es in Fig. 4 dargestellt ist. Bei dieser
Anordnung des Goniometers ist der Probentisch ortsfest an
geordnet. Zubehörteile mit hohem Gewicht, wie beispielsweise
ein Hochdruckgefäß, kann daher ohne weiters am Probentisch
angeordnet werden. Die Probe kann horizontal gehalten werden,
wenn die Anordnung bei einem Vertikalgoniometer angewendet
werden soll.
Die Fig. 5 zeigt ein anderes Verfahren unter Verwendung des
Goniometers mit ortsfestem Probentisch. Bei diesem Verfahren
ist die zu messende Gitterebene gegenüber einer Oberfläche
der Probe 55 geneigt. In der Probe 55 vorhandene Spannungen
können durch die Röntgenstrahlbeugungsanalyse beobachtet und
gemessen werden, wobei der Neigungsgrad der Probe 55 geän
dert wird. Insbesondere wenn auf die Probe 55 eine äußere
Belastung, beispielsweise eine Zugbelastung, ausgeübt wird,
führt dies zu einer Vergrößerung des Gitterebenenabstands
oder zu einer Verringerung des Gitterebenenabstands in Ab
hängigkeit von den Belastungsrichtungen. Wenn beispielsweise
auf die Probe 55 eine Zugbelastung ausgeübt wird, ergibt sich
nicht nur eine axiale Spannung, welche aus einer Verlängerung
in Zugrichtung resultiert, sondern es ergibt sich auch eine
Lateralspannung, welche aus einer Schrumpfung in Richtung
senkrecht zur Zugbelastung resultiert. Die Spannung, welche
gemessen werden soll, kann wahlweise in Abhängigkeit von
der Richtung unter diesen Spannungen ausgewählt werden. Dies
kann mit Hilfe des in Fig. 5 gezeigten Verfahrens erfolgen.
Fig. 6 zeigt ein weiteres Verfahren bei einem Goniometer mit
fixiertem Probentisch. Bei diesem Verfahren ist die zu mes
sende Gitterebene ebenfalls geneigt gegenüber einer Ober
fläche der Probe 55. Der einzige Unterschied zwischen den
Verfahren der Fig. 5 und 6 besteht darin, daß die Probe
ohne Schrägstellung bzw. Neigung fixiert ist.
In dem Fall, in welchem der Röntgenstrahldetektor fixiert
ist, bleibt der Drehwinkel des Röntgenstrahldetektors unver
ändert. Die Winkelgeschwindigkeit der Röntgenstrahlröhre 47
ist auf das Doppelte der Winkelgeschwindigkeit des Proben
tisches 27 festgelegt. Das heißt, bei einem Drehwinkel R c
des Probentisches von R hat der Drehwinkel R s der Röntgen
strahlröhre einen Wert von 2R, wie es in Fig. 7 dargestellt
ist. Da bei dieser Anordnung im Goniometer der Röntgen
strahldetektor 37 ortsfest angeordnet ist, kann ein Röntgen
strahldetektor 37 mit hohem Gewicht, beispielsweise ein
Festkörperdetektor, verwendet werden.
Die Fig. 8 zeigt ein weiteres Verfahren bei einem Goniometer,
bei welchem der Röntgenstrahldetektor ortsfest angeordnet
ist. Wenn bei diesem Verfahren der Drehwinkel R s der Rönt
genstrahlröhre 2R beträgt, ist der Wert des Drehwinkels R c
des Probentisches gleich R s - α. Demgemäß fallen die
ersten Röntgenstrahlen 54 auf die Probe 55 mit einem Winkel
α gegenüber einer Oberfläche der Probe ein. Dieses Verfah
ren der Röntgenstrahlbeugungsanalyse wird bei filmähnlichen
Proben angewendet. Der kleine Einfallswinkel ermöglicht es,
daß die Röntgenstrahlen innerhalb einer langen Strecke in
der filmähnlichen Probe fortschreiten. Der Einfallswinkel
wird normalerweise innerhalb eines Winkelbereichs von
2-5° eingestellt.
In diesem Fall sind die Röntgenstrahlröhre und der Proben
tisch fixiert. Der Drehwinkel R s der Röntgenstrahlröhre
und der Drehwinkel R c der Probe bleiben unverändert, wie
es in Fig. 9 dargestellt ist. Dieses Verfahren kann auch
zur Messung filmähnlicher Proben, wie beim Verfahren der
Fig. 8, angewendet werden. Die Richtung der Röntgenstrahlen
54 und die Probe 5 sind ortsfest, so daß die Röntgenstrahlen
54 auf der Probe 55 mit einem Winkel α bezüglich der Ober
fläche der Probe einfallen. Der Röntgenstrahldetektor 37
ist um die Mittelachse der Probe 55 drehbar.
Aus obiger Beschreibung ergibt sich, daß mit dem erfindungs
gemäßen Goniometer verschiedene Meßverfahren an Proben durch
geführt werden können. Das jeweilige Meßverfahren kann frei
gewählt werden in Abhängigkeit von den Meßanforderungen und
dem Zubehör, welches bei der Messung der jeweiligen Probe
erforderlich ist.
Ferner kann das Goniometer austauschbar sowohl als Lateral
typ oder Vertikaltyp verwendet werden, wie im Zusammenhang
mit den Fig. 10 und 11 noch erläutert wird.
In der Fig. 10 ist eine Basisplatteneinheit 14 dargestellt,
welche die Grundplatte 10 und eine Seitenplatte 13 aufweist.
Die Seitenplatte erstreckt sich senkrecht von der Grund
platte und ist an der Grundplatte 10 befestigt. Die Anord
nung ist in einem Scharnier 16 gelagert. Die Grundplatte 10
und die Seitenplatte 13 besitzen an zum Scharnier 16 ent
fernten Stellen Stützen 17, 17.
Das Goniometer G ist schematisch mit strichpunktierten
Linien der Einfachheit halber dargestellt. Das Goniometer
vom Lateraltyp, wie es in Fig. 10 dargestellt ist, kann als
Goniometer vom Vertikaltyp verwendet werden, wie es in
Fig. 11 dargestellt ist. Hierzu wird die Basisplatteneinheit
14 um 90° verschwenkt, wie es durch einen Pfeil 19 ange
deutet ist. Die Grundplatte 10, an welcher das Goniometer G
gelagert ist, hat dann eine vertikale Stellung. Bei Schwen
kung in entgegengesetzter Richtung wird das Vertikal-Gonio
meter wieder ein Lateral-Goniometer.
Da gemäß der Erfindung der Probentisch, die Röntgenstrahl
quelle und der Röntgenstrahldetektor unabhängig voneinander
drehbar vorgesehen sind, kann eine dieser Komponenten frei
wählbar fixiert werden, und zwar in Abhängigkeit von den
Meßanforderungen und den Zubehörteilen, welche bei der
Messung der jeweiligen Probe erforderlich sind. Ferner kön
nen verschiedene Arten von Meßverfahren zur Durchführung der
Röntgenstrahlbeugungsanalyse unter Zuhilfenahme eines ein
zelnen Goniometers angewendet werden. Wenn beispielsweise
die Röntgenstrahlquelle und der Röntgenstrahldetektor dreh
bar angeordnet sind und der Probentisch ortsfest ist, können
am Probentisch Zubehörteile mit hohem Gewicht, wie beispiels
weise ein Hochdruckbehälter, vorgesehen sein. Wenn sowohl
der Probentisch als auch die Röntgenstrahlquelle drehbar
sind und der Röntgenstrahldetektor ortsfest ist, kann ein
Röntgenstrahldetektor mit hohem Gewicht, beispielsweise ein
Festkörperdetektor, verwendet werden.
Außerdem kann bei Verwendung eines einzelnen Goniometers
dieses Goniometer wechselweise als Lateralgoniometer oder
als Vertikalgoniometer zum Einsatz kommen, da die Position
einer entsprechenden Lagereinrichtung, an welcher das Gonio
meter gelagert ist, wechselweise zwischen einer vertikalen
Stellung und einer horizontalen Stellung bewegt werden kann.
Claims (4)
1. Goniometer in einer Röntgenstrahlbeugungseinrichtung zum
Bestrahlen einer Probe mit ersten Röntgenstrahlen und Er
fassen von zweiten Röntgenstrahlen, die aus der Bestrahlung
mit den ersten Röntgenstrahlen resultieren und in Abhängig
keit von der bestrahlten Probe, welche eine Mittelachse
aufweist, gebeugt sind,
gekennzeichner durch
- - einen Probentisch (21), der um die Mittelachse (15) der Probe (55) drehbar ist und einen Probenhalter bildet;
- - eine Röntgenstrahlquelle (47), welche um die Mittelachse (15) der Probe (55) zum Bestrahlen der Probe mit den ersten Röntgenstrahlen drehbar ist; und
- - einen Röntgenstrahldetektor (37), der ebenfalls um die Mittelachse (15) der Probe (55) drehbar ist, zum Erfassen der zweiten Röntgenstrahlen.
2. Goniometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
der Probentisch (21), die Röntgenstrahlquelle (47) und der
Röntgenstrahldetektor (37) an einer Trageinrichtung (10, 11)
gelagert sind, und daß die Trageinrichtung (10, 11) wechsel
weise in einer vertikalen Ebene und in einer horizontalen
Ebene positionierbar ist.
3. Goniometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich
net, daß der Probentisch (21) an einer ersten Trägereinrich
tung (22), die Röntgenstrahlquelle an einer zweiten Träger
einrichtung (41, 42) und der Röntgenstrahldetektor (37) an
einer dritten Trägereinrichtung (31, 32) gelagert sind, und
daß die erste, zweite und dritte Trägereinrichtungen konzen
trisch zueinander angeordnet sind.
4. Goniometer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß ein erster Antriebsmechanismus (23, 28)
zum Antrieb des Probentisches (21) vorgesehen ist, daß ein
zweiter Antriebsmechanismus (43, 49) für den Antrieb der
Röntgenstrahlquelle (47) vorgesehen ist, und daß ein dritter
Antriebsmechanismus (33, 38) zum Antrieb des Röntgenstrahl
detektors (37) vorgesehen ist, und daß der Probentisch (21),
die Röntgenstrahlquelle (47) und der Röntgenstrahldetektor
(37) unabhängig voneinander drehbar sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63010763A JPH01187441A (ja) | 1988-01-22 | 1988-01-22 | X線回折装置の三軸回転ゴニオメータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3901625A1 true DE3901625A1 (de) | 1989-07-27 |
Family
ID=11759372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3901625A Withdrawn DE3901625A1 (de) | 1988-01-22 | 1989-01-20 | Goniometer in einer roentgenstrahlbeugungseinrichtung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4972448A (de) |
JP (1) | JPH01187441A (de) |
DE (1) | DE3901625A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4036821A1 (de) * | 1990-11-19 | 1992-05-21 | Foerster Inst Dr Friedrich | Rotiersystem und verfahren zum verstellen von dessen relativer winkellage |
DE4114582A1 (de) * | 1991-05-04 | 1992-11-05 | Inst Mechanik | Vorrichtung zur aufnahme eines prueflings in einem stationaeren diffraktometer |
DE19962503B4 (de) * | 1998-12-28 | 2007-07-26 | Rigaku Industrial Corp., Takatsuki | Röntgenfluoreszenzanalysator mit Wegumschaltvorrichtung |
DE102007020149A1 (de) * | 2007-04-26 | 2008-10-30 | Anatec As | Analysevorrichtung zur optischen Analyse eines Mediums mittels zumindest einer bildaufnehmenden Vorrichtung |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB9216443D0 (en) * | 1992-08-03 | 1992-09-16 | Moore Christopher J L | An improved x-ray diffractometer using a solid state semiconductor detector |
WO2003053402A1 (en) * | 2001-12-20 | 2003-07-03 | Pharmacia Corporation | Zero-order sustained released dosage forms and method of making the same |
US6888920B2 (en) * | 2002-09-03 | 2005-05-03 | Basil Eric Blank | Low-cost, high precision goniometric stage for x-ray diffractography |
KR20050019620A (ko) * | 2003-08-20 | 2005-03-03 | 삼성전자주식회사 | 마이크로 회절 시스템 및 이를 이용한 시료 분석방법 |
ITFI20050137A1 (it) * | 2005-06-20 | 2006-12-21 | Giovanni Berti | Apparecchiatura mobile per irragiamento e rilevazione di radiazioni |
US8477905B2 (en) * | 2009-03-20 | 2013-07-02 | Proto Manufacturing Ltd. | Non-destructive testing systems and methods |
CN101825212B (zh) * | 2009-12-25 | 2013-02-13 | 中国计量科学研究院 | 一种通用空间双定位转动机构 |
CN103148166B (zh) * | 2013-03-10 | 2016-05-11 | 常州市第八纺织机械有限公司 | 双输出横移蜗轮箱 |
CN104122281B (zh) * | 2014-06-27 | 2017-01-18 | 丹东通达科技有限公司 | 一种中空轴测角仪装置 |
JP2018169276A (ja) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | 株式会社島津製作所 | X線分析装置 |
CN116592802A (zh) * | 2023-05-17 | 2023-08-15 | 丹东奥龙射线仪器集团有限公司 | X射线衍射测角仪动力传动与测角装置及其角度控制方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH574107A5 (de) * | 1972-10-11 | 1976-03-31 | Merigoux Henri | |
US4263510A (en) * | 1979-07-30 | 1981-04-21 | General Electric Company | Combined x-ray diffraction and fluorescence spectroscopy apparatus with environmentally controllable chamber |
SU1040390A1 (ru) * | 1982-03-16 | 1983-09-07 | Московский Ордена Ленина,Ордена Октябрьской Революции И Ордена Трудового Красного Знамени Государственный Университет Им.М.В.Ломоносова | Устройство дл рентгено-графического исследовани монокристаллов |
-
1988
- 1988-01-22 JP JP63010763A patent/JPH01187441A/ja active Pending
-
1989
- 1989-01-20 DE DE3901625A patent/DE3901625A1/de not_active Withdrawn
- 1989-01-23 US US07/299,584 patent/US4972448A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4036821A1 (de) * | 1990-11-19 | 1992-05-21 | Foerster Inst Dr Friedrich | Rotiersystem und verfahren zum verstellen von dessen relativer winkellage |
DE4114582A1 (de) * | 1991-05-04 | 1992-11-05 | Inst Mechanik | Vorrichtung zur aufnahme eines prueflings in einem stationaeren diffraktometer |
DE19962503B4 (de) * | 1998-12-28 | 2007-07-26 | Rigaku Industrial Corp., Takatsuki | Röntgenfluoreszenzanalysator mit Wegumschaltvorrichtung |
DE102007020149A1 (de) * | 2007-04-26 | 2008-10-30 | Anatec As | Analysevorrichtung zur optischen Analyse eines Mediums mittels zumindest einer bildaufnehmenden Vorrichtung |
DE102007020149B4 (de) * | 2007-04-26 | 2016-03-10 | Anatec As | Analysevorrichtung zur optischen Analyse eines Mediums mittels zumindest einer bildaufnehmenden Vorrichtung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4972448A (en) | 1990-11-20 |
JPH01187441A (ja) | 1989-07-26 |
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