DE3901625A1 - Goniometer in einer roentgenstrahlbeugungseinrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Goniometer in einer Röntgen­ strahlbeugungseinrichtung, und insbesondere eine Verbesserung eines Goniometers, welches in Verbindung mit einer Röntgen­ strahlbeugungseinrichtung, beispielsweise einem Diffraktor­ meter, verwendet wird.

Eine Röntgenstrahlbeugungseinrichtung, beispielsweise ein Beugungsmeßgerät bzw. Diffraktormeter, wird zur Röntgen­ strahlbeugungsanalyse verwendet. Bei der Röntgenstrahl­ beugungsanalyse mit Hilfe eines Diffraktormeters wird bei­ spielsweise ein Kristallaufbau einer Substanz durch Bestrah­ len der Substanz mit einem Röntgenstrahl und Messen eines Beugungswinkels des Röntgenstrahls, der von der Substanz reflektiert oder durch diese hindurchgetreten ist, analy­ siert. Ein Goniometer wird in Verbindung mit dem Diffrak­ tormeter zur Messung eines Beugungswinkels des Röntgen­ strahls verwendet.

Zunächst wird der Grundaufbau eines herkömmlichen Gonio­ meters unter Bezugnahme auf die Fig. 12 beschrieben.

Das Goniometer enthält eine Röntgenstrahlquelle 60, einen Empfangsspalt 61, einen Röntgenstrahldetektor 62 und einen Probenhalter zum Halten einer Probe 63. Die Röntgen­ strahlquelle 60 und der Empfangsspalt 61 sind so ange­ ordnet, daß ein Abstand L 1 zwischen der Röntgenstrahlquelle 60 und der Probe 63 gleich einem Abstand L 2 zwischen dem Empfangsspalt 61 und der Probe 63 ist. Die Röntgenstrahl­ quelle 60 und der Empfangsspalt 61 sind daher auf einem vorbestimmten Kreis 64 mit einem Radius von L 1 (= L 2) ange­ ordnet. Dieser Kreis verläuft um eine Mittelachse O der Probe 63. Der vorbestimmte Kreis 64 wird als Diffraktor­ meterkreis bzw. Teilkreis bezeichnet. Das Goniometer läßt sich in zwei Typen klassifizieren in Abhängigkeit von der Lage der Ebene, in welcher sein Diffraktormeterkreis liegt. Ein Typ ist ein lateraler Typ, dessen Diffraktormeterkreis in einer horizontalen Ebene liegt, und der andere Typ ist ein vertikaler Typ, dessen Diffraktormeterkreis in einer vertikalen Ebene liegt.

Zur Änderung eines Einfallswinkels (R) des Röntgenstrahls in bezug auf eine Gitterebene einer Probe ist es in einem Goniometer erforderlich, eine relative Lage zwischen der Röntgenstrahlquelle 60 und der Probe 63 zu ändern. In Ab­ hängigkeit von der Änderung dieser relativen Lage ist es ferner erforderlich, eine relative Lage zwischen dem Emp­ fangsspalt 61 und der Probe 63 zu ändern, so daß der gebeug­ te Röntgenstrahl im Empfangsspalt 61 empfangen wird. Bei einem herkömmlichen Goniometer sind in beliebiger Auswahl zwei der drei Goniometerbestandteile - Röntgenstrahlquelle 60, Probe 63 und Empfangsspalt 61 - um die Mittelachse O der Probe 63 in beliebiger Auswahl drehbar, während der verbleibende Bestandteil unverdrehbar fixiert bleibt. In Ab­ hängigkeit von dem unverdrehbar fixierten Bauteil wird das Goniometer in drei Typen klassifiziert, nämlich in einen Typ mit fixierter Röntgenstrahlquelle (bezeichnet als R-2R-Betriebssystem), in welchem die Röntgenstrahlquelle unverdrehbar fixiert ist, einen Typ mit fixiertem Proben­ halter (bezeichnet als R-R-Betriebssystem) und einen Typ mit fixiertem Empfangsspalt (bzw. fixiertem Röntgenstrahl­ detektor). Diese drei Typen des Goniometers sind sowohl beim lateralen als auch beim vertikalen Typ des Goniometers an­ wendbar. Im allgemeinen werden Goniometer vom Lateraltyp mit fixierter Röntgenstrahlquelle oder vom Vertikaltyp mit fixierter Röntgenstrahlquelle oder vom Vertikaltyp mit fixierter Probe zum Einsatz gebracht. Insbesondere ein Goniometer vom Vertikaltyp mit horizontal fixierter Probe wird als Horizontalgoniometer bezeichnet.

Bei einem herkömmlichen Goniometer ist irgendeiner der drei Bestandteile Röntgenstrahlquelle, Probe und der neben dem Empfangsspalt angeordnete Röntgenstrahldetektor, undrehbar fixiert. Die Auswahl des Goniometerbestandteils, der un­ drehbar fixiert sein soll, wird bestimmt in Abhängigkeit von den beabsichtigten Vorteilen. Jedoch ergeben sich bei jeder der drei Arten der undrehbaren Fixierung Nachteile. Bei dem Typ mit fixierter Röntgenstrahlquelle ergibt sich der Nachteil, daß ein Aufbau mit hohem Gewicht für den Probenhalter und den Röntgenstrahldetektor nicht so ohne weiteres möglich ist, da diese Bestandteile drehbar sein sollen. Zubehörteile mit hohem Gewicht, wie beispielsweise Hochdruckbehälter, können daher beispielsweise am Proben­ halter bzw. Probentisch nicht vorgesehen sein. Außerdem kann ein Röntgenstrahldetektor, beispielsweise ein Fest­ körperdetektor, nicht verwendet werden. Andererseits kann bei einem Goniometertyp mit fixiertem Probentisch keine Röntgenstrahlquelle mit großer Abmessung verwendet werden, da diese drehbar sein soll.

In Anbetracht der geschilderten Nachteile ist es Aufgabe der Erfindung, ein Goniometer zu schaffen, bei welchem der Pro­ bentisch, die Röntgenstrahlquelle und der Röntgenstrahldetek­ tor unabhängig voneinander drehbar sind und eine dieser Kom­ ponenten in Abhängigkeit von den Meßerfordernissen, von dem Probenzubehör, welches für die Komponenten, beispielsweise den Probentisch, erforderlich ist, für die Fixierung frei wählbar ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Anspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Durch die Erfindung wird ein Goniometer in einer Röntgen­ strahlbeugungseinrichtung geschaffen, bei welcher erste Röntgenstrahlen auf eine Probe gestrahlt werden und zweite Röntgenstrahlen, die aus der Bestrahlung mit den ersten Röntgenstrahlen resultieren, erfaßt werden, wobei die zwei­ ten Röntgenstrahlen in Abhängigkeit von der Probe gebeugt werden und die Probe eine Mittenachse aufweist. Dieses Goniometer enthält einen Probentisch, der um die Mittenachse der Probe zum Halten der Probe drehbar vorgesehen ist, eine Röntgenstrahlquelle, die um die Mittenachse der Probe zum Bestrahlen der Probe mit den ersten Röntgenstrahlen drehbar angeordnet ist, einen Röntgenstrahldetektor, der um die Mittenachse der Probe zur Erfassung der zweiten Röntgen­ strahlen drehbar angeordnet ist. Da bei der Erfindung der Probentisch, die Röntgenstrahlquelle und der Röntgenstrahl­ detektor unabhängig voneinander drehar sind, kann eine dieser Komponenten in Abhängigkeit von den Meßerfordernissen und dem für die Probe erforderlichen Zubehör für die Fixie­ rung frei ausgewählt werden. Ferner können verschiedene Arten von Meßverfahren für die Durchführung der Röntgen­ strahlbeugungsanalyse mit Hilfe eines einzigen Goniometers angewendet werden.

Anhand der Figuren wird die Erfindung noch näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 in schnittbildlicher Darstellung ein Goniometer in einer Röntgenstrahlbeugungs­ einrichtung als Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 2 eine Draufsicht auf einen Antriebs­ mechanismus für die Drehung eines Proben­ tisches;

Fig. 3 bis 9 Draufsichten zur Erläuterung der Verwen­ dung eines Goniometers in einer Röntgen­ strahlbeugungseinrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 10 und 11 perspektivische Darstellungen einer ande­ ren Ausführungsform der Erfindung; und

Fig. 12 eine schematische Darstellung eines her­ kömmlichen Goniometers.

In der Fig. 1 ist als Ausführungsbeispiel der Erfindung ein Goniometer vom Lateraltyp dargestellt.

Dieses Goniometer besitzt eine Grundplatte 10, eine Proben­ tischeinheit 20, eine Röntgenstrahldetektoreinheit 30 und eine Röntgenstrahlröhreneinheit 40. Die Einheiten 20 und 30 sind über Lager 34, 35, welche dazwischen angeordnet sind, zusammengebaut, und die Einheiten 30 und 40 sind über Lager 44, 45 miteinander zusammengebaut. Die Grundplatte 10 ist einstückig verbunden mit einem zylindrischen Bauteil 11. Der zylindrische Bauteil 11 besitzt einen Teil mit großem Durchmesser und einen Teil mit kleinem Durchmesser. Ein offenes Ende des Teils mit großem Durchmesser ist einstückig mit der Grundplatte 10 verbunden. Das Innere des zylindri­ schen Bauteils bildet einen Aufnahmeraum 12 zur Aufnahme einer Welle 22 und eines Schneckenrades 23.

Die Probentischeinheit 20 enthält einen Probentisch 21 als Träger für eine Probe. Die Welle 22 erstreckt sich vertikal und wird über Lager 24, 25 im zylindrischen Bauteil 11 abge­ stützt. Das Schneckenrad 23 ist am unteren Ende der Welle 22 befestigt und befindet sich im Aufnahmeraum 12. Ein Abstand­ halter 16 ist zwischen den beiden Lagern 24, 25 angeordnet. Eine Probenplatte 27 ist entfernbar am Probentisch 21 mon­ tiert. Das Schneckenrad 23 kämmt mit einer Schnecke 28, die mit einem in Fig. 2 dargestellten Impulsmotor 29 verbunden ist.

Die Röntgenstrahldetektoreinheit 30 enthält eine Hohlwelle 31, welche sich vertikal erstreckt und welche über Lager 34, 35 am zylindrischen Bauteil 11 abgestützt ist. Ein Tragarm 32 erstreckt sich in horizontaler Richtung und ist am oberen Ende der Hohlwelle 31 befestigt. Ein Schneckenrad 33 ist am unteren Ende der Hohlwelle 31 befestigt. Ein Ab­ standhalter 36 ist zwischen den beiden Lagern 34, 35 ange­ ordnet. Auf den Tragarm 32 ist ein Röntgenstrahldetektor 37 montiert. Ein Empfangspalt 51 und ein Streuspalt 52 sind neben dem Röntgenstrahldetektor 37 auf dem Tragarm 32 ange­ ordnet. Das Schneckenrad 33 kämmt mit einer Schnecke 38, die mit einem nicht näher dargestellten Impulsmotor in der glei­ chen Weise, wie es in Fig. 2 gezeigt ist, verbunden ist.

Die Röntgenstrahlröhreneinheit 40 enthält eine Hohlwelle 41, die sich vertikal erstreckt und über Lager 44, 45 an der Hohlwelle 31 abgestützt ist. Ein Tragarm 42 ist einstückig am oberen Ende der Hohlwelle 41 vorgesehen. Ein Schnecken­ rad 43 ist am unteren Ende der Hohlwelle 41 befestigt. Ein Abstandhalter 46 ist zwischen den beiden Lagern 44, 45 an­ geordnet. Eine Röntgenstrahlröhre 47 ist in einer Gleitbahn verschiebbar am Tragarm 42 vorgesehen. Hierzu ist an den Tragarm 42 eine Führungsnut 42 a angeformt, die sich in einer Richtung senkrecht zur Zeichnungsebene erstreckt. Die Rönt­ genstrahlröhre 47 besitzt an ihrem unteren Ende einen Ein­ griffsteil 47 a, der in die Führungsnut 42 a eingesetzt ist. Auf diese Weise kann die Röntgenstrahlröhre 47 in Längs­ richtung der Führungsnut 42 a beim Einschalten eines nicht näher dargestellten Impulsmotors bewegt werden. Ein Diver­ genzspalt 53 ist neben der Röntgenstrahlröhre 47 am Trag­ arm 42 angeordnet. Das Schneckenrad 43 kämmt mit einer Schnecke 49, die mit einem nicht näher dargestellten Impuls­ motor in der gleichen Weise, wie es in Fig. 2 dargestellt ist, verbunden ist.

Bei dieser Anordnung gelangen Röntgenstrahlen, welche von der Röntgenstrahlröhre 47 erzeugt werden, durch den Diver­ genzspalt 53, welcher die Strahlendivergenz begrenzt. Die Röntgenstrahlen treffen auf eine Probe, die sich auf dem Probentisch 47 befindet. Gebeugte Röntgenstrahlen, welche von der Probe reflektiert werden, werden vom Röntgenstrahl­ detektor 37, nachdem sie durch den Empfangsspalt 51 und den Streuspalt 52 hindurchgetreten sind, erfaßt und verarbeitet. Der Emfangsspalt 51 dient zur Begrenzung der Röntgenstrah­ len, welche zum Röntgenstrahldetektor 37 gelangen. Der Streuspalt 52 verhindert, daß Röntgenstreustrahlen zum Röntgenstrahldetektor 37 gelangen. Nur der Röntgenstrahl, der von der Probe kommt, kann zum Röntgenstrahldetektor 37 gelangen. Wenn bei dieser Röntgenstrahlbeugungsanalyse die Schnecken 38 und 49 angetrieben werden, werden die an der Hohlwelle 41 vorgesehene Röntgenstrahlröhre 47 und der an der Hohlwelle 31 vorgesehene Empfangsspalt 51 unabhängig voneinander um die Mittelachse 15 der Probe auf dem Teil­ kreis bzw. Diffraktormeterkreis gedreht. Der Röntgenstrahl­ detektor 37 wird dabei um die Mittelachse 15 der Probe, zu­ sammen mit dem Empfangsspalt 51, gedreht. Der Probentisch 27 ist ferner unabhängig um die Mittelachse 15 durch den Antrieb der Schnecke 28 drehbar. Das heißt, der Probentisch 21, der Röntgenstrahldetektor 37 und die Röntgenstrahlröhre 47 sind um die Mittelachse 15 im Goniometer unabhängig von­ einander drehbar.

Im folgenden werden verschiedene Verfahren unter Verwendung eines so aufgebauten Goniometers unter Bezugnahme auf die Fig. 3 bis 9 beschrieben.

In den Fig. 3 bis 9 sind Draufsichten dargestellt, welche die Beziehung der relativen Lage zwischen von der Röntgen­ strahlröhre 47 erzeugten Röntgenstrahlen 54, einer Probe 55 auf dem Probenhalter und dem Röntgenstrahldetektor 37 zeigen. Andere Komponenten und Bauteile sind nicht dargestellt. Die­ se Figuren dienen zur Erläuterung eines Goniometers vom Lateraltyp. Im Falle eines Goniometers vom Vertikaltyp kön­ nen die Fig. 3 bis 9 als Vorderansichten anstelle der Draufsichten angesehen werden. In den Fig. 3 bis 9 bedeu­ ten R s einen Drehwinkel der Röntgenstrahlröhre 47, R c einen Drehwinkel des Probentisches 21 und R d einen Dreh­ winkel des Röntgenstrahldetektors 37.

A. Fall der fixierten Röntgenstrahlröhre

Die Röntgenstrahlröhre und damit die Röntgenstrahlen 54 sind hier ortsfest bzw. in ihrer Richtung festgelegt. Der Drehwinkel R s der Röntgenstrahlröhre bleibt daher unver­ ändert. In diesem Fall wird die Winkelgeschwindigkeit des Röntgenstrahldetektors 37 doppelt so hoch bemessen wie die Winkelgeschwindigkeit der Probe 55. Das heißt, bei einem Drehwinkel R c des Probentisches von R beträgt der Dreh­ winkel R d des Röntgenstrahldetektors 2R, wie es in Fig. 3 dargestellt ist. Die Anordnung des Goniometers ist die gleiche wie bei einem herkömmlichen Lateralgoniometer.

B. Fall des fixierten Probentisches

Der Probentisch ist fixiert und ortsfest angeordnet. Der Drehwinkel der Probe bleibt daher unverändert. Mit der Be­ zugziffer 56 ist eine Normale der Gitterebene, die zu messen ist, bezeichnet. In diesem Fall wird die Winkel­ geschwindigkeit der Röntgenstrahlröhre 47 gleich der Winkel­ geschwindigkeit des Röntgenstrahldetektors 37 gewählt. Das heißt, bei einem Drehwinkel R s der Röntgenstrahlröhre von R hat auch der Drehwinkel R d des Röntgenstrahldetektors den Wert R, wie es in Fig. 4 dargestellt ist. Bei dieser Anordnung des Goniometers ist der Probentisch ortsfest an­ geordnet. Zubehörteile mit hohem Gewicht, wie beispielsweise ein Hochdruckgefäß, kann daher ohne weiters am Probentisch angeordnet werden. Die Probe kann horizontal gehalten werden, wenn die Anordnung bei einem Vertikalgoniometer angewendet werden soll.

Die Fig. 5 zeigt ein anderes Verfahren unter Verwendung des Goniometers mit ortsfestem Probentisch. Bei diesem Verfahren ist die zu messende Gitterebene gegenüber einer Oberfläche der Probe 55 geneigt. In der Probe 55 vorhandene Spannungen können durch die Röntgenstrahlbeugungsanalyse beobachtet und gemessen werden, wobei der Neigungsgrad der Probe 55 geän­ dert wird. Insbesondere wenn auf die Probe 55 eine äußere Belastung, beispielsweise eine Zugbelastung, ausgeübt wird, führt dies zu einer Vergrößerung des Gitterebenenabstands oder zu einer Verringerung des Gitterebenenabstands in Ab­ hängigkeit von den Belastungsrichtungen. Wenn beispielsweise auf die Probe 55 eine Zugbelastung ausgeübt wird, ergibt sich nicht nur eine axiale Spannung, welche aus einer Verlängerung in Zugrichtung resultiert, sondern es ergibt sich auch eine Lateralspannung, welche aus einer Schrumpfung in Richtung senkrecht zur Zugbelastung resultiert. Die Spannung, welche gemessen werden soll, kann wahlweise in Abhängigkeit von der Richtung unter diesen Spannungen ausgewählt werden. Dies kann mit Hilfe des in Fig. 5 gezeigten Verfahrens erfolgen.

Fig. 6 zeigt ein weiteres Verfahren bei einem Goniometer mit fixiertem Probentisch. Bei diesem Verfahren ist die zu mes­ sende Gitterebene ebenfalls geneigt gegenüber einer Ober­ fläche der Probe 55. Der einzige Unterschied zwischen den Verfahren der Fig. 5 und 6 besteht darin, daß die Probe ohne Schrägstellung bzw. Neigung fixiert ist.

C. Fall des fixierten Röntgenstrahldetektors

In dem Fall, in welchem der Röntgenstrahldetektor fixiert ist, bleibt der Drehwinkel des Röntgenstrahldetektors unver­ ändert. Die Winkelgeschwindigkeit der Röntgenstrahlröhre 47 ist auf das Doppelte der Winkelgeschwindigkeit des Proben­ tisches 27 festgelegt. Das heißt, bei einem Drehwinkel R c des Probentisches von R hat der Drehwinkel R s der Röntgen­ strahlröhre einen Wert von 2R, wie es in Fig. 7 dargestellt ist. Da bei dieser Anordnung im Goniometer der Röntgen­ strahldetektor 37 ortsfest angeordnet ist, kann ein Röntgen­ strahldetektor 37 mit hohem Gewicht, beispielsweise ein Festkörperdetektor, verwendet werden.

Die Fig. 8 zeigt ein weiteres Verfahren bei einem Goniometer, bei welchem der Röntgenstrahldetektor ortsfest angeordnet ist. Wenn bei diesem Verfahren der Drehwinkel R s der Rönt­ genstrahlröhre 2R beträgt, ist der Wert des Drehwinkels R c des Probentisches gleich R s - α. Demgemäß fallen die ersten Röntgenstrahlen 54 auf die Probe 55 mit einem Winkel α gegenüber einer Oberfläche der Probe ein. Dieses Verfah­ ren der Röntgenstrahlbeugungsanalyse wird bei filmähnlichen Proben angewendet. Der kleine Einfallswinkel ermöglicht es, daß die Röntgenstrahlen innerhalb einer langen Strecke in der filmähnlichen Probe fortschreiten. Der Einfallswinkel wird normalerweise innerhalb eines Winkelbereichs von 2-5° eingestellt.

D. Fall der fixierten Röntgenstrahlröhre und des fixierten Probentisches

In diesem Fall sind die Röntgenstrahlröhre und der Proben­ tisch fixiert. Der Drehwinkel R s der Röntgenstrahlröhre und der Drehwinkel R c der Probe bleiben unverändert, wie es in Fig. 9 dargestellt ist. Dieses Verfahren kann auch zur Messung filmähnlicher Proben, wie beim Verfahren der Fig. 8, angewendet werden. Die Richtung der Röntgenstrahlen 54 und die Probe 5 sind ortsfest, so daß die Röntgenstrahlen 54 auf der Probe 55 mit einem Winkel α bezüglich der Ober­ fläche der Probe einfallen. Der Röntgenstrahldetektor 37 ist um die Mittelachse der Probe 55 drehbar.

Aus obiger Beschreibung ergibt sich, daß mit dem erfindungs­ gemäßen Goniometer verschiedene Meßverfahren an Proben durch­ geführt werden können. Das jeweilige Meßverfahren kann frei gewählt werden in Abhängigkeit von den Meßanforderungen und dem Zubehör, welches bei der Messung der jeweiligen Probe erforderlich ist.

Ferner kann das Goniometer austauschbar sowohl als Lateral­ typ oder Vertikaltyp verwendet werden, wie im Zusammenhang mit den Fig. 10 und 11 noch erläutert wird.

In der Fig. 10 ist eine Basisplatteneinheit 14 dargestellt, welche die Grundplatte 10 und eine Seitenplatte 13 aufweist. Die Seitenplatte erstreckt sich senkrecht von der Grund­ platte und ist an der Grundplatte 10 befestigt. Die Anord­ nung ist in einem Scharnier 16 gelagert. Die Grundplatte 10 und die Seitenplatte 13 besitzen an zum Scharnier 16 ent­ fernten Stellen Stützen 17, 17.

Das Goniometer G ist schematisch mit strichpunktierten Linien der Einfachheit halber dargestellt. Das Goniometer vom Lateraltyp, wie es in Fig. 10 dargestellt ist, kann als Goniometer vom Vertikaltyp verwendet werden, wie es in Fig. 11 dargestellt ist. Hierzu wird die Basisplatteneinheit 14 um 90° verschwenkt, wie es durch einen Pfeil 19 ange­ deutet ist. Die Grundplatte 10, an welcher das Goniometer G gelagert ist, hat dann eine vertikale Stellung. Bei Schwen­ kung in entgegengesetzter Richtung wird das Vertikal-Gonio­ meter wieder ein Lateral-Goniometer.

Da gemäß der Erfindung der Probentisch, die Röntgenstrahl­ quelle und der Röntgenstrahldetektor unabhängig voneinander drehbar vorgesehen sind, kann eine dieser Komponenten frei wählbar fixiert werden, und zwar in Abhängigkeit von den Meßanforderungen und den Zubehörteilen, welche bei der Messung der jeweiligen Probe erforderlich sind. Ferner kön­ nen verschiedene Arten von Meßverfahren zur Durchführung der Röntgenstrahlbeugungsanalyse unter Zuhilfenahme eines ein­ zelnen Goniometers angewendet werden. Wenn beispielsweise die Röntgenstrahlquelle und der Röntgenstrahldetektor dreh­ bar angeordnet sind und der Probentisch ortsfest ist, können am Probentisch Zubehörteile mit hohem Gewicht, wie beispiels­ weise ein Hochdruckbehälter, vorgesehen sein. Wenn sowohl der Probentisch als auch die Röntgenstrahlquelle drehbar sind und der Röntgenstrahldetektor ortsfest ist, kann ein Röntgenstrahldetektor mit hohem Gewicht, beispielsweise ein Festkörperdetektor, verwendet werden.

Außerdem kann bei Verwendung eines einzelnen Goniometers dieses Goniometer wechselweise als Lateralgoniometer oder als Vertikalgoniometer zum Einsatz kommen, da die Position einer entsprechenden Lagereinrichtung, an welcher das Gonio­ meter gelagert ist, wechselweise zwischen einer vertikalen Stellung und einer horizontalen Stellung bewegt werden kann.

Claims (4)

1. Goniometer in einer Röntgenstrahlbeugungseinrichtung zum Bestrahlen einer Probe mit ersten Röntgenstrahlen und Er­ fassen von zweiten Röntgenstrahlen, die aus der Bestrahlung mit den ersten Röntgenstrahlen resultieren und in Abhängig­ keit von der bestrahlten Probe, welche eine Mittelachse aufweist, gebeugt sind, gekennzeichner durch

• - einen Probentisch (21), der um die Mittelachse (15) der Probe (55) drehbar ist und einen Probenhalter bildet;
• - eine Röntgenstrahlquelle (47), welche um die Mittelachse (15) der Probe (55) zum Bestrahlen der Probe mit den ersten Röntgenstrahlen drehbar ist; und
• - einen Röntgenstrahldetektor (37), der ebenfalls um die Mittelachse (15) der Probe (55) drehbar ist, zum Erfassen der zweiten Röntgenstrahlen.

2. Goniometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Probentisch (21), die Röntgenstrahlquelle (47) und der Röntgenstrahldetektor (37) an einer Trageinrichtung (10, 11) gelagert sind, und daß die Trageinrichtung (10, 11) wechsel­ weise in einer vertikalen Ebene und in einer horizontalen Ebene positionierbar ist.

3. Goniometer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß der Probentisch (21) an einer ersten Trägereinrich­ tung (22), die Röntgenstrahlquelle an einer zweiten Träger­ einrichtung (41, 42) und der Röntgenstrahldetektor (37) an einer dritten Trägereinrichtung (31, 32) gelagert sind, und daß die erste, zweite und dritte Trägereinrichtungen konzen­ trisch zueinander angeordnet sind.

4. Goniometer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ein erster Antriebsmechanismus (23, 28) zum Antrieb des Probentisches (21) vorgesehen ist, daß ein zweiter Antriebsmechanismus (43, 49) für den Antrieb der Röntgenstrahlquelle (47) vorgesehen ist, und daß ein dritter Antriebsmechanismus (33, 38) zum Antrieb des Röntgenstrahl­ detektors (37) vorgesehen ist, und daß der Probentisch (21), die Röntgenstrahlquelle (47) und der Röntgenstrahldetektor (37) unabhängig voneinander drehbar sind.