DE3876571T2

DE3876571T2 - Kardanische aufhaengung.

Info

Publication number: DE3876571T2
Application number: DE8888905042T
Authority: DE
Inventors: Charles Romero
Original assignee: Hughes Aircraft Co
Current assignee: Raytheon Co
Priority date: 1987-04-10
Filing date: 1988-03-21
Publication date: 1993-04-22
Anticipated expiration: 2008-03-22
Also published as: IL85803A; WO1988008145A2; IL85803A0; WO1988008145A3; DE3876571D1; EP0309581B1; JPH01503092A; EP0309581A1; ES2008442A6

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine kardanische Aufhängung für die präzise Positionierung einer Einrichtung auf einer Achse und insbesondere die präzise Justage der Position der Einrichtung.
Viele Vorrichtungen benötigen das präzise Positionieren eines Elementes bezüglich eines anderen, wobei dies insbesondere im Hinblick auf optische und elektro-optische Systeme zutrifft. Beispielsweise kann der Ausgang eines Lasers entlang eines Pfades zu einem Modulatorkristall hingeführt werden. In derartigen Systemen ist es essentiell, daß die Achse des Modulatorkristalles mit der optischen Achse des Lasers koinzident ist. Um eine derartige Koinzidenz zu erhalten, muß die Modulatorkristallachse mit der optischen Achse des Lasers ausgerichtet werden. Eine derartige Ausrichtung verlangt gewöhnlich sowohl laterale/translatorische Justagen als auch Rotationsjustagen.
Eine kardanische Aufhängung gemäß dem Stand der Technik um den Resonator eines Lasers zu justieren und die Frequenz abzustimmen ist beschrieben in "L.S. Vasilenko et al.; "Instruments and Experimental Techniques", 27(1984), Nr. 5, Teil 2, S. 1267-1268; New York, U.S.A.". An der kardanischen Aufhängung ist ein piezoelektrisches Element befestigt, um den Spiegel des Resonators zu bewegen. Die kardanische Aufhängung ist mit gekrümmten Oberflächen ausgestattet, welche miteinander paaren. Das Design der kardanischen Aufhängung basiert auf einer Winkelablenkung mit Hilfe der Oberflächen, welche in Kontakt miteinander sind. Diese Oberflächen können sphärisch, konisch, zylindrisch etc. sein. Die kardanische Aufhängung besteht aus einem stationären Teil, der fest mit dem Flansch des Lasers verbunden ist. Der stationäre Teil paart mit einem zweiten beweglichen Teil, auf dem das piezoelektrische Element und ein Laserspiegel befestigt sind. Winkeljustagen werden mittels Schrauben durchgeführt, welche gleichzeitig den beweglichen Teil der kardanischen Aufhängung gegen den festen Teil pressen. Gemäß der beschriebenen bevorzugten Ausführungsform ist eine kardanische Aufhängung beschrieben, in der die paarenden Oberflächen sphärisch sind und ein Kugelgelenk bilden. Die beschriebene kardanische Aufhängung weist im Vergleich mit anderen Justageeinrichtungen, welche Rückholfedern, Kragarme etc. verwenden, ein verbessertes Frequenzansprechverhalten auf.
Eine weitere Lösung für die Bereitstellung einer kardanischen Aufhängung gemäß dem Stand der Technik, mit der optische Elemente mit großer Genauigkeit positioniert werden können, ist in der FR-A-2 044 159 beschrieben. Die kardanische Aufhängung besteht aus einem zylindrischen Gehäuse und einer hohlen Fassung, innerhalb der ein optisches Element wie beispielsweise eine Linse, ein Prisma oder ein Spiegel befestigt ist, wobei die Fassung innerhalb des Gehäuses angeordnet ist und eine sphärische Oberfläche aufweist, die sich im Reibungseingriff mit dem Gehäuse befindet. Die Fassung weist eine externe Oberfläche auf, die teilweise sphärisch ist und die aus einer Halterung besteht, die zwischen zwei identischen Lagern angeordnet ist, von denen die externen Oberfläche die zuvor erwähnte externe Oberfläche der Fassung bilden. Die optische Einrichtung wird von der Halterung getragen. Die Fassung, welche aus den zwei Lagern und der Halterung besteht, wird innerhalb des Gehäuses mittels Ringen in Position gehalten, von denen jeweils eine auf jeder Seite der Fassung angeordnet ist. Diese Ringe sind identisch und bestehen aus Teilen eines ringförmigen Querschnitts, wobei die Endoberflächen eines jeden in zwei nicht parallelen Ebenen enthalten sind, und wobei die Endoberfläche eines jeden, die von ihrem jeweiligen Lager entfernt ist, senkrecht zu der Symmetrieachse des Gehäuses ist. Diese Ringe sind innerhalb des Gehäuses angeordent, und zwar derart, dar die verkippten Oberflächen mit den äußeren Endoberflächen der jeweiligen Lager in Kontakt kommen. Wenn der gesamte Stapel innerhalb des Gehäuses mittels Arretierungsschrauben angeordnet wird, kann jede gewünschte Position des optischen Elementes, das innerhalb der Halterung angeordnet ist, erhalten werden, indem die Ringe um die Symmetrieachse des Gehäuses gedreht werden. Die Position des optischen Elementes, das heißt die der Halterung, da das Element mit der letzteren fest verbunden ist, wird justiert, indem die Halterung um zwei durch den selben Punkt gehende Achsen gewackelt wird, die orthogonal zu der Symmetrieachse sind. Diese zwei Wackelbewegungen werden erhalten, indem die Winkelposition der zwei Ringe justiert wird, indem sie um die Symmetrieachse des Gehäuses gedreht werden.
Noch eine weitere kardanische Aufhängung zur Positionierung von optischen Elementen bezüglich der optischen Achse eines Lasersystemes ist in der WO-A 86/00 982 beschrieben. Die optischen Elemente werden innerhalb einer röhrenförmigen Hülle angeordnet und bestehen aus einer ersten Linsengruppe und einer zweiten Linsengruppe. Die erste Linsengruppe kann sich axial bewegen, während die zweite Linsengruppe für eine fließende Bewegung vorgesehen ist, zur Korrektur von Fokussierfehlern, die in der Aufhängung induziert werden. Um die Brennweite des gesamten Linsensystems zu justieren, sind erste Justagevorrichtungen bereitgestellt, um die erste Linsengruppe zu der gewünschten Position zu schieben. Die röhrenförmige Hülle, die aus der ersten und der zweiten Linsengruppe besteht, wird innerhalb eines äußeren Gehäuses angeordnet, das des weiteren das Lasersystem umfaßt. Um die röhrenförmige Hülle bezüglich der optischen Achse des Lasersystemes und des äußeren Gehäuses zu positionieren, sind zweite Justagevorrichtungen vorgesehen, um die röhrenförmige Hülle bezüglich der optischen Achse des Lasersystemes drehbar zu justieren.
Indessen machen in Fällen, in denen das optische Element beispielsweise ein Modulatorkristall ist, die Designkriterien es manchmal wünschenswert und unter einigen Umgebungsvoraussetzungen essentiell, daß das Design der Justage und der Befestigung des Modulators bezüglich des Lasers kompakt, leicht, einfach und widerstandsfähig bezüglich äußerer Störungen ist.
Diese Aufgabe wird mittels einer Präzisionspositioniervorrichtung gemäß dem Anspruch 1 und einem Verfahren zum präzisen Positionieren einer Einrichtung gemäß dem Anspruch 11 gelöst.
Genauer gesagt löst die vorliegende Erfindung diese und andere Aufgaben, indem die auszurichtende Einrichtung, wie beispielsweise ein Kristallmodulator, auf einer Achse gehaltert wird und indem die Achse in Translation und Drehrotation bezüglich einer anderen Achse, wie beispielsweise der eines Lasers, positioniert wird.
Insbesondere wird gemäß der bevorzugten Ausführungsform der Kristallmodulator in einem inneren Gehäuse auf einer Achse getragen, die sowohl der des inneren Gehäuses als auch der des Modulators gemeinsam ist. Das innere Gehäuse wird innerhalb eines äußeren Gehäuses getragen, dessen Achse mit der optischen Laserachse koinzident sein kann. Paarige Oberflächen auf dem inneren und dem äußeren Gehäuse weisen eine sphärische Kontur auf, so daß das innere Gehäuse um das Zentrum der verlängerten Sphäre der paarigen Oberflächen gedreht werden kann, wodurch die Achse der Einrichtung in Koinzidenz mit der optischen Achse des Lasers gedreht wird. Ein Ende des Kristallmodulators ist in diesem sphärischen Zentrum angeordnet. Wenn die zwei Achsen voneinander verschoben sind, so daß das Ende der Einrichtung in dem Zentrum der Sphäre nicht auf der Achse des äußeren Gehäuses liegt, dann kann das gesamte innere Gehäuse, und daher auch seine Achse, translatorisch oder lateral bewegt werden, bis das sphärische Zentrum die Achse der äußeren Gehäusevorrichtung schneidet
Der bevorzugte Mechanismus enthält zwei Sätze aus vier Gewindestiften, welche in das äußere Gehäuse an seinen Enden und unter 90º zueinander eingedreht sind. Ein Satz von Schrauben ist derartig angeordnet, daß sie das innere Gehäuse direkt kontaktiert. Der andere Satz von Schrauben ist angeordnet, um einen Ring zu kontaktieren, dessen innere Oberfläche eine der sphärischen Oberflächen umfaßt. Durch Justage der Schrauben kann die Achse des inneren Gehäuses in einer radialen Richtung linear zu der optischen Laserachse bewegt werden, und zwar bis wenigstens die optische Achse des Lasers und die innere Gehäuseachse und, spezifischerweise, die Achse des Kristallmodulators, den Mittelpunkt der sphärischen Oberflächen schneidet.
Der Satz der Gewindestifte, der von den sphärischen Oberflächen entfernt angeordnet ist, wird justiert, um die Achse des inneren Gehäuses um den Mittelpunkt der sphärischen Oberflächen zu drehen, und zwar bis die Laser- und Modulator/innere Gehäuseachsen koinzidieren.
Es ist ein weiteres Merkmal der vorliegenden Erfindung, daß der Ring einen elastisch deformierbaren Bereich aufweist, so daß er auf seiner inneren peripheren Oberfläche leicht kleiner ausgelegt sein kann als die periphäre Oberfläche auf dem inneren Gehäuse, um einen sicheren Eingriff zwischen den zwei sphärischen Oberflächen zu erlauben.
Verschiedene Vorteile sind aus diesem Aufbau ableitbar. Das Design ist kompakt und daher raumsparend, und zwar insbesondere dort, wo die Umgebung, in der die Justage durchgeführt werden muß, nur einen begrenzten Raum zur Verfügung stellt. Als ein Ergebnis hiervon kann das Konzept der vorliegenden Erfindung in Anwendungsbeispielen eingesetzt werden, die in Luft und Raum gestützten Fahrzeugen verwendbar sind. Das Design ist weiter einfach und daher einem zuverlässigen und darüber hinaus einem kostengünstigen Design zugänglich. Darüber hinaus hilft seine Einfachheit es von Umgebungsschocks und Streß zu isolieren.
Weitere Ziele und Vorteile sowie ein vollständigeres Verständnis der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung von beispielshaften Ausführungsformen und der begleitenden Zeichnung deutlich.

Beschreibung der Zeichung

Fig. 1 ist eine Seitenansicht, teilweise im Querschnitt, die eine Version der vorliegenden Erfindung zeigt.
Fig. 2 ist eine Endansicht der in Fig. 1 gezeigten Version.
Fig. 3 ist eine Ansicht des modularen Layouts der hergestellten Version der vorliegenden Erfindung im Querschnitt
Fig. 4 ist eine Schnittansicht des in Fig. 3 gezeigten inneren Gehäuses.
Fig. 5 ist eine Endansicht des inneren Gehäuses, das in Fig. 4 gezeigt ist.
Fig. 6 ist eine perspektivische Ansicht eines justierbaren Drehrings, der in der in Fig. 3 gezeigten Ausführungsform verwendet wird.
Fig. 7 ist eine Querschnittsansicht des in Fig. 6 gezeigten Ringes, die entlang der Linie 7-7 genommen wurde.

Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen

Die in den Fig. 1 und 2 gezeigten Versionen und die in den Fig. 3 bis 7 gezeigten unterscheiden sich vorwiegend in der Konstruktion eines Lagers 32 und eines Drehrings 36. Daher werden beide Versionen zusammen diskutiert, wobei die Unterschiede zwischen ihnen zu geeignten Zeitpunkten hervorgehoben werden.
Demnach umfaßt unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 3 eine Laser- und Kristallmodulator-Vorrichtung 10 einen Laser 12, welcher eine optische Achse 17 aufweist, und einen Modulatoraufbau 14. Der Modulatoraufbau 14 schließt ein äußeres Gehäuse 16 ein, das fest mit dem Laser 12 verbunden ist, sowie ein inneres Gehäuse 18, welches eine Achse 19 aufweist. Daher ist die optische Achse 17 des Lasers bezüglich dem äußeren Gehäuse 16 fixiert, wenn die zwei miteinander verbunden sind, aber die Achse 17 muß mit der Achse des äußeren Gehäuses nicht koinzident sein. Ein Modulatorkristall 20 ist innerhalb des inneren Gehäuses 18 auf einer konventionellen Art und Weise befestigt, wobei sein Ende 22 in einem Zentrum 24 eines sphärischen Aufbaus angeordnet ist, der im folgenden beschrieben werden wird. Der Modulatorkristall weist eine Achse auf, die mit der Achse 19 des inneren Gehäuses koinzident ist.
Das äußere Gehäuse 16 ist mit zwei Sätzen von Schrauben 26 und 28 ausgestattet, wobei jeder Satz von Schrauben vorzugsweise aus vier Schrauben besteht, die in 90º zueinander angeordnet sind und die in schneidenden Ebenen liegen, so daß sich die diametral gegenüberliegenden Schrauben beider Sätze 26 und 28 in ihrer jeweiligen Ebene liegend befinden. Um die Justage- und Positionierfähigkeit zu maximieren, werden die zwei Sätze 26 und 28 bei gegenüberliegenden Enden und in einem Gewindeeingriff mit dem äußeren Gehäuse 16 angeordnet.
Wie in den Fig. 4 und 5 dargestellt, ist das innere Gehäuse 18 mit vier ebenen Oberflächen 30 (vgl. Fig. 5) ausgestattet, welche orthogonal zueinander und um die Peripherie des inneren Gehäuses herum angeordnet sind. Die Oberflächen 30 erstrecken sich in Ebenen, welche im wesentlichen parallel zu der inneren Gehäuseachse 19 sind. Der Satz Schrauben 28 ist derartig angeordnet, daß die Schrauben ihre jeweiligen ebenen Oberflächen 30 kontaktieren und, wenn sie derartig in Kontakt sind, eine Rotation des inneren Gehäuses um seine Achse 19 verhindern.
An dem anderen Ende des inneren Gehäuses 18 befindet sich ein Lager 32 für die in den Fig. 1 und 2 gezeigte Version und ein Lager 32A für die in den Fig. 3 bis 7 gezeigte Version. Die Lager 32 und 32A sind in vier Segmente 33 aufgeteilt, deren kollektive äußere Oberfläche im wesentlichen ringförmig ist und eine sphärisch konturierte Peripherie aufweist, die um das Zentrum 24 zentriert ist. Der Unterschied zwischen den Lagern 32 und 32A besteht darin, daß das erstere separat bereitgestellt ist und mit dem inneren Gehäuse verbunden wird, während das letztere integral mit dem Gehäuse 18 ausgebildet ist.
Das äußere Gehäuse 16 weist an seinem Ende bei dem Schraubensatz 26 einen inneren Raum 34 auf, in dem Drehringe 36 und 36A jeweils aus den verschiedenen Versionen angeordnet sind, welche eine interne sphärische Oberfläche 38 und eine äußere Oberfläche 40 aufweisen. Vier orthogonal angeordnete ebene Oberflächen 42 sind auf der äußeren Oberfläche 40 bereitgestellt und sind angeordnet, um den jeweiligen Schraubensatz 26 zu kontaktieren. In der ringförmigen Konfiguration des Drehringes 36A sind vier Diskontinuitäten 44 durch paarig angeordnete Enden 46 definiert, welche miteinander durch einen elastisch deformierbaren Bereich 48 verbunden sind. Der Bereich 48 besteht aus einem Paar parallel und radial angeordneten Segmenten 50 und drei lateral angeordneten Segmenten 52. Die lateralen Segmente sind im wesentlichen senkrecht mit den Radialsegmenten verbunden, um die Anschlüsse an einem Ende der Radialelemente mit einem anderen zu verbinden, und die anderen Anschlüsse der Segmente 50 jeweils mit den Enden 46 der Ringdiskontinuitäten.
In der Praxis ist der Drehring 36A einheitlich um seine Peripherie gekräuselt, um seinen Durchmesser derartig zu vermindern, daß seine interne sphärische Oberfläche 38 in ihrer Dimension geringfügig kleiner ist als die externe periphere Oberfläche des Lagers 32, wobei die Segmente 50 beim Prozeß des Kräuselns leicht verbogen werden. Der Bereich 48 ist aufgrund seiner Konstruktion elastisch deformierbar und sichert den unmittelbaren Kontakt der internen sphärischen Oberfläche 38 des Drehringes mit den externen sphärischen Oberflächen der Segmente 33 des Lagers 32A. Diese nachgebende Konfiguration kompensiert beliebige kleinere Abweichungen von der Toleranz.
Teile der inneren sphärischen Oberfläche 38 des Drehringes 36A werden an einer Seite von ihm auch ausgeschnitten, wie durch das Bezugszeichen 54 bezeichnet. Diese Teile sind orthogonal bezüglich einander angeordnet und sind derartig konfiguriert, daß sie mit den orthogonal bereitgestellten Segmenten 33 des Lagers 32 zusammenpassen. Daher kann das innere Gehäuse 18 zunächst innerhalb des Drehringes 36A angeordnet werden, indem die Segmente 33 in die ausgeschnittenen Teile 54 eingeführt werden und dann das innere Gehäuse 18 über einen Winkel von 45º gedreht wird, so daß die Segmente 33 innerhalb der nicht ausgeschnittenen Teile 56 der Drehringoberfläche 38 verbleiben. Nachfolgend kann der Unteraufbau aus dem Ring 36 und dem inneren Gehäuse 18 in das äußere Gehäuse 16 eingeführt werden. Dann werden die Schraubensätze 26 und 28 in ihre jeweilige Eingriffsposition mit den ebenen Oberflächen 42 und 30 gedreht. Mit den innerhalb den Teilen 56 angeordneten Segmenten 33 werden die ebenen Oberflächen 30 mit dem jeweiligen Schraubensatz 28 ausgerichtet, der, wenn er sich in gemeinsamen Kontakt befindet, die Drehung des inneren Gehäuses bezüglich dem Drehring und dem äußeren Gehäuse 16 verhindert.
Bei der Durchführung der vorliegenden Erfindung, um die Achsen 17 und 19 des Lasers 12 und des inneren Gehäuses 18 in Koinzidenz zu bringen, werden beide Sätze von Schrauben 26 und 28 justiert, um die Achse 19 bezüglich der Achse 17 lateral bis zu einem Punkt zu verschieben, an dem die zwei Achsen wenigstens das gemeinsame Zentrum der sphärischen Oberfläche des Lagers 32 und der Drehringoberfläche 38 kreuzen. Nachdem dieses minimale Schneiden der Achsen in den sphärischen Zentren vervollständigt ist, wird dann der Schraubensatz 28 justiert, um das innere Gehäuse 18 und seine Achse 19 um das gemeinsame sphärische Zentrum zu drehen, um so die Achsen 17 und 19 in Koinzidenz zu bringen.
Obgleich die Erfindung bezüglich bestimmten Ausführungsformen von ihr beschrieben worden ist, sollte festgestellt werden, dar verschiedene Änderungen und Modifikationen durchgeführt werden können, ohne die Lehre und den Schutzbereich der Erfindung zu verlassen.

Claims

1. Vorrichtung (10) zur präzisen Positionierung einer Einrichtung (20), mit

a) einem inneren Gehäuse (18), welches Vorrichtungen zum Tragen der Einrichtung (20) auf einer Achse (19) aufweist, die für das innere Gehäuse (18) und die Einrichtung (20) gemeinsam ist, sowie eine sphärisch konturierte Peripherie (33) auf einer externen Lageroberfläche eines integralen Lagers (32A), die eine ringförmige sphärische Oberfläche definiert, die mit einem Zentrum (24) des inneren Gehäuses (18) zentriert ist;

b) einem äußeren Gehäuse (16) zum Tragen des inneren Gehäuses (18), und mit einer Achse (17), die bezüglich des äußeren Gehäuses (16) fixiert ist;

c) Winkelbewegungsvorrichtungen (26, 28, 30, 36A), die zwischen dem inneren (18) und dem äußeren (16) Gehäuse angekoppelt sind, um das innere Gehäuse (18) und die Einrichtung (20) bezüglich des äußeren Gehäuses (16) winklig zu bewegen, um die gemeinsame Achse (19) mit der festen Achse (17) in Koinzidenz zu bringen;

d) wobei die Winkelbewegungsvorrichtungen (26, 28, 30, 36A) erste Winkeljustagevorrichtungen (28, 30) aufweisen, die axial entfernt von der sphärisch konturierten Peripherie (33) angeordnet sind, um das innere Gehäuse (18) und seine Achse (19) drehend um das Zentrum (24) bezüglich der festen Achse (17) zu justieren;

e) zweiten Winkeljustagevorrichtungen (26, 36A), die axial entfernt von den ersten Winkeljustagevorrichtungen (28, 30) angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, daß

f) die zweiten Winkeljustagevorrichtungen (26, 36A) sich radial in Richtung der sphärisch konturierten Peripherie (33) des inneren Gehäuses (18) erstrecken und es zusammen mit den ersten Winkeljustagevorrichtungen (28, 30) tragen, so daß wenn sowohl die ersten (28, 30) als auch die zweiten (26, 36A) Winkeljustagevorrichtungen betrieben werden, sie das innere Gehäuse (18) bezüglich dem äußeren Gehäuse (16) auch radial verschieben, um die axiale Koinzidenz zu ermöglichen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, gemäß der die Winkelbewegungsvorrichtungen des weiteren aufweisen:

einen ringförmigen Bereich (36A) auf einer inneren Oberfläche des äußeren Gehäuses (16), welcher eine interne sphärische Oberfläche (38) aufweist, die mit der sphärisch konturierten Peripherie (33) paart.

3. Vorrichtung nach Anspruch 2, in der die ersten Winkeljustagevorrichtungen (28, 30) aufweisen:

ebene Oberflächen (30), welche auf und um die Peripherie des inneren Gehäuses (18) herum angeordnet sind und sich jeweils im wesentlichen parallel zu der gemeinsamen Achse (19) erstrecken;

einen ersten Satz Schrauben (28), die mit dem äußeren Gehäuse (16) im Gewindeeingriff stehen und sich radial in Richtung des inneren Gehäuses (18) erstrecken, und jeweils in Kontakt mit den peripheren ebenen Oberflächen (30) des inneren Gehäuses (18) stehen, um sowohl das innere Gehäuse (18) und seine gemeinsame Achse (19) bezüglich des äußeren Gehäuses (16) und der festen Achse (17) zu drehen, als auch um eine Drehung des inneren Gehäuses (18) um seine gemeinsame Achse (19) bezüglich des äußeren Gehäuses (16) zu verhindern.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, in der die sphärisch konturierte Peripherie (33) des Gehäuses (18) Segmente (33) umfaßt, die voneinander entfernt und um die externe Oberfläche des inneren Gehäuses herum angeordnet sind; und

der ringförmige Bereich (36A) des äußeren Gehäuses (16) Teile (54, 56) enthält, die voneinander entfernt um die innere Oberfläche (38) des äußeren Gehäuses herum in Übereinstimmung mit den Segmenten (33) angeordnet sind, um zwischen ihnen einen Bajonettverschluß zu bilden; wobei

der Bajonettverschluß eine axiale Drehung und einen Zwischeneingriff zwischen dem inneren (18) und dem äußeren (16) Gehäuse erlaubt, und zwar vor dem Zugriff des ersten Satzes von Schrauben (28) mit den peripheren ebenen Oberflächen (30) des inneren Gehäuses, und einen verriegelten, nicht drehbaren Zwischeneingriff zwischen dem inneren (18) und dem äußeren (16) Gehäuse nach dem Zugriff des ersten Satzes der Schrauben (28) auf die peripheren planaren Oberflächen (30) des inneren Gehäuses.

5. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 4, in der der kreisförmige Bereich (36A) des äußeren Gehäuses (16) aus einem Drehring (36A) besteht, der eine Kopplung mit ihm aufweist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, in dem Kopplung enthält

ebene Oberflächen (42), welche auf und um die Peripherie des Drehringes (36A) herum angeordnet sind, und die sich jeweils im wesentlichen parallel zu der festen Achse (19) erstrecken, und worin

die zweiten Winkeljustagevorrichtungen (26, 36A) einen zweiten Satz von Schrauben (26) umfassen, die im Gewindeeingriff mit dem äußeren Gehäuse (16) stehen und sich radial in Richtung des Drehringes (36A) und des inneren Gehäuses (18) erstrecken, und die jeweils mit den peripheren ebenen Oberflächen (42) des Drehringes (36A) in Kontakt stehen, teilweise um die Drehung des inneren Gehäuses (18) um seine gemeinsame Achse (19) bezüglich des äußeren Gehäuses (16) zu verhindern.

7. Vorrichtung nach den Ansprüchen 5 oder 6, welche des weiteren Vorrichtungen (56) aufweist, um den Drehring (36A) in einem nachgebenden Eingriff mit der sphärisch konturierten Peripherie (33) auf der äußeren Oberfläche des inneren Gehäuses zu halten.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6, in der die interne sphärische Oberfläche (38) des Drehringes (36) radial geringfügig kleiner ist als die sphärisch konturierte Peripherie (33) des inneren Gehäuses (18), wobei der Drehring (36A) wenigstens einen elastisch deformierbaren Bereich (48) enthält, um es der internen sphärischen Oberfläche (38) des Drehringes zu ermöglichen, nachgebend und sicher auf die sphärisch konturierte Peripherie (33) des inneren Gehäuses zuzugreifen.

9. Vorrichtung nach Anspruch 1, in der die Einrichtung einen Modulatorkristall (20) umfaßt, der ein Ende (22) aufweist, das bei dem Zentrum (24) der sphärischen Oberfläche angeordnet ist, wobei das äußere Gehäuse (16) mit einem Laser (12) gekoppelt ist, welcher eine optische Achse (17) aufweist, die die feste Achse (17) definiert.

10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, in der der Drehring (36A) eine periphere Oberfläche (40) enthält, welche radial außerhalb der internen sphärischen Oberfläche (38) angeordnet ist, sowie eine Diskontinuität (44), die durch Enden (46) definiert ist, die mittels dem elastisch deformierbaren Bereich (48) zusammengekoppelt sind; und

wobei der elastisch deformierbare Bereich (48) ein Paar von im wesentlichen parallelen radialen Segmenten (50) umfaßt, welche voneinander entfernt angeordnet sind sowie laterale Segmente, die sich im wesentlichen senkrecht zu den radialen Segmenten (50) befinden, und die jeweils Enden der radialen Segmente (50) miteinander und mit den Enden (46) der Diskontinuität (44) verbinden.

11. Ein Verfahren zur präzisen Positionierung einer Einrichtung, die eine Achse aufweist, welches die Schritte aufweist:

Anordnen der Einrichtung (20) in einem inneren Gehäuse (18) auf eine Achse (19), die für das innere Gehäuse (18) und die Einrichtung (20) gemeinsam ist;

Bereitstellen des inneren Gehäuses (18) mit einer sphärisch konturierten Peripherie (33) auf einer externen lagernden Oberfläche eines integralen Lagers (32A), das eine ringförmige sphärische Oberfläche definiert, die um ein Zentrum (24) des inneren Gehäuses (18) zentriert ist;

Tragen des inneren Gehäuses (18) mittels eines äußeren Gehäuses (16), welches eine Achse (17) aufweist, die bezüglich des äußeren Gehäuses (16) fixiert ist;

winkliges Bewegen des inneren Gehäuses (18) und der Einrichtung (20) bezüglich des äußeren Gehäuses (16), um die gemeinsame Achse (19) mit der fixierten Achse (17) in Koinzidenz zu bringen;

Bereitstellen von ersten Winkeljustagevorrichtungen (28, 30), welche axial von der sphärisch konturierten Peripherie (33) entfernt angeordnet sind, um das innere Gehäuse (18) und seine Achse (19) um das Zentrum (24) bezüglich der fixierten Achse (17) drehend zu justieren;

Bereitstellen von zweiten Winkeljustagevorrichtungen (26, 36A), welche axial von den ersten Winkeljustagevorrichtungen (28, 30) entfernt angeordnet sind, dadurch gekennzeichnet, dar es des weiteren die Schritte aufweist:

radiales sich Ausdehnenlassen der zweiten Winkeljustagevorrichtungen (26, 36A) in Richtung der sphärisch konturierten Peripherie (33) des inneren Gehäuses (18); und

Tragen des inneren Gehäuses (18) mittels den ersten (28, 30) und zweiten (26, 36A) Winkeljustagevorrichtungen derart, daß wenn sie betrieben werden, sie das innere Gehäuse (18) gleichermaßen radial bezüglich des äußeren Gehäuses (26) verschieben, um die Achsenkoinzidenz zu ermöglichen.

12. Verfahren nach Anspruch 11, welches des weiteren den Schritt aufweist:

paariges Ausbilden einer internen sphärischen Oberfläche (38) des äußeren Gehäuses (16) mit der sphärisch konturierten Peripherie.

13. Ein Verfahren nach Anspruch 12, welches des weiteren die Schritte des Bereitstellen eines Drehringes (36A) aufweist, der die Peripherie (33) lagert und Aufrechterhalten des Drehringes (36A) in einem nachgebenden Zugriff auf diese sphärisch konturierte Peripherie (33).