DE3838333C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3838333C2 DE3838333C2 DE3838333A DE3838333A DE3838333C2 DE 3838333 C2 DE3838333 C2 DE 3838333C2 DE 3838333 A DE3838333 A DE 3838333A DE 3838333 A DE3838333 A DE 3838333A DE 3838333 C2 DE3838333 C2 DE 3838333C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrode
- pressure
- fixed electrode
- membrane
- bearing elements
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
- G01C9/12—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using a single pendulum plumb lines G01C15/10
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/04—Means for compensating for effects of changes of temperature, i.e. other than electric compensation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L7/00—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements
- G01L7/02—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges
- G01L7/08—Measuring the steady or quasi-steady pressure of a fluid or a fluent solid material by mechanical or fluid pressure-sensitive elements in the form of elastically-deformable gauges of the flexible-diaphragm type
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Kapazitätsvariations-Meßvorrichtung
gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Derartige Meßvorrichtungen werden beispielsweise als Kapazitäts-Membran-Meßgeräte
zur Druckmessung eingesetzt.
In einem System, das Flüssigkeiten oder Gase aufweist,
die in einem vorbestimmten Druckbereich gehalten werden
müssen, ist es notwendig, den Druck genau zu messen. Zur
Messung des Drucks sind zahlreiche Vorrichtungen verfügbar.
Einige Vorrichtungen zeigen den Druck an, während andere
als Wandler wirken, welche den gemessenen Druck in eine
kalibrierte Größe konvertieren, die an ein anderes System
übertragen wird. Beispielsweise in einem System, das elek
tronische Schaltungen zur automatischen Kontrolle des
Drucks nutzt, ist es wünschenswert, eine elektrische Dar
stellung des Druckes zu schaffen, die als Eingang für die
elektronische Schaltung vorgesehen werden kann. Eine der
artige Vorrichtung, die zur Erzeugung einer elektrischen
Darstellung des Drucks verwendet wird, ist ein Kapazitäts
manometer oder eine Kapazitäts-Membran-Meßvorrichtung.
Ein exemplarisches Kapazitätsmanometer ist in US-PS
35 57 621 vom 26. Januar 1971 beschrieben. Kurz gesagt
besitzt ein derartiges Kapazitätsmanometer eine Membran,
welche aus elektrisch leitendem Material besteht, welches
entlang des Umfangs der Membran durch ein Gehäuse oder eine
andere derartige Tragstruktur abgestützt ist. Typischerweise
ist das Gehäuse aus elektrisch leitendem Metall gebaut, so
daß das Gehäuse einen elektrisch leitenden Pfad zur Membran
hin bildet. Die Membran, die als eine Elektrode eines Kon
densators wirkt, ist in der Nähe wenigstens einer Referenz
elektrode angeordnet, die, wie in US-PS 35 57 621 beschrieben
ist, vorzugsweise feststehend angeordnet ist. Die feststehende
Referenzelektrode ist vorteilhafterweise auf einem Keramik
scheibensubstrat montiert, das seinerseits am Gehäuse montiert
ist.
Eine Seite der Membran ist einem bekannten oder einem Refe
renzdruck ausgesetzt und die andere Seite der Membran ist
einem unbekannten variablen Druck ausgesetzt, der gemessen
werden soll. Eine Differenz bzw. ein Differential des Druckes
zwischen den beiden Seiten der Membran bewirkt, daß sich
die Mitte der Membran in die Richtung des niedrigeren der
beiden Drücke bewegt und damit verursacht, daß die Membran
eine Kurve bzw. Krümmung bildet. Diese Bewegung und die
sich ergebende Krümmung bewirkt, daß sich der Mittelpunkt
der Membran näher zu der festen Referenzelektrode des Kon
densators hinbewegt oder von dieser wegbewegt, so daß eine
entsprechende Veränderung der Kapazität zwischen den beiden
Elektroden hervorgerufen wird. Die Kapazität zwischen den
beiden Elektroden kann überwacht werden, beispielsweise
durch die Schaltung der Fig. 2 der US-PS 35 57 621, so daß
die Bewegung der Membran ermittelt und damit Veränderungen
des Druckes festgestellt werden. Das elektrische Ausgangs
signal der Schaltung kann mit bekannten Vorrichtungen ge
messen werden und es können Berechnungen an dem gemessenen
Signalwert vorgenommen werden, um eine Anzeige des Druck
unterschiedes bzw. Druckdifferentials zu liefern.
Das vorstehend beschriebene Kapazitätsmanometer ist eine
Vorrichtung mit hoher Impedanz, die mit sehr kleinen Strömen
arbeitet. Leckströme durch Feuchtigkeit in der Vorrichtung,
durch Streukapazitäten und ähnliches können daher Ungenauig
keiten der Messungen herbeiführen. Wie in US-PS 35 57 621
erläutert, ist die feststehende Referenzelektrode des variab
len Kondensators vorteilhafterweise von einem leitenden
Schutzring umgeben, der typischerweise konzentrisch mit der
festen Referenzelektrode ist. Ein Signal mit im wesentlichen
der gleichen Momentanspannung und -phase wie es an der festen
Referenzelektrode ermittelt wird, wird an den leitenden
Schutzring angelegt, so daß in wirksamer Weise Leckströme
zwischen der Membran (d.h. der bewegbaren Elektrode) und der
festen Referenzelektrode blockiert werden. Durch Blockieren
der Leckströme wird die Genauigkeit der mit dem Kapazitäts
manometer erzielten Messungen nennenswert erhöht, und zwar
insbesondere mit Bezug auf die Messung von kleinen Druck
unterschieden, bei denen die Bewegung der Membran verhält
nismäßig klein ist. Beispielsweise wurden Kapazitätsmanometer
gebaut, welche Druckunterschiede messen, die so klein sind
wie ungefähr 10-9 Atmosphären (oder ungefähr Bar).
Es wurde gefunden, daß die Genauigkeit eines Kapazitätsva
riationsmanometers, wie in US-PS 35 57 621 beschrieben, ganz
wesentlich in Abhängigkeit von Veränderungen der Temperatur
variabel sein kann, der das Manometer ausgesetzt ist. Ein
derartiger Temperatureffekt wird durch die differentielle
Expansion und Kontraktion des festen Elektrodenträgers (bei
spielsweise einer Keramikscheibe) bewirkt, auf welchem die
feste Referenzelektrode mit Bezug auf das metallische Ge
häuse des Manometers getragen ist. Beispielsweise ist in
beispielhaften Kapazitätsmanometern die feste Elektrode auf
einer Keramikscheibe montiert, welche einen Koeffizienten
der thermischen Expansion besitzt, der von dem des metalli
schen Gehäuses verschieden ist. Die unterschiedliche bzw.
differentielle Expansion und Kontraktion bewirkt eine Rela
tivbewegung des Trägers der festen Elektrode und der festen
Referenzelektrode bezüglich dem metallischen Gehäuse, und
zwar dadurch, daß sie bewirkt, daß der Träger der festen
Elektrode und die feststehende Elektrode sich biegen und
eine Krümmung entwickeln. Der Mittelpunkt der festen Re
ferenzelektrode kann daher näher an der Membran liegen oder
weiter von dieser weg sein, und zwar als Ergebnis einer
Temperaturänderung. Die Bewegung der festen Referenzelek
trode aufgrund der Temperatur bewirkt eine Veränderung
der Kapazität, die von der Kapazitätsveränderung aufgrund
von Veränderungen der Kapazität durch Druckänderungen nicht
unterschieden werden kann. Überdies wurde gefunden, daß
die Wirkung der Temperaturänderungen nicht vorhersagbar
sind, da die Relativbewegung des Trägers der festen Elek
trode bezüglich des metallischen Gehäuses sich typischer
weise nicht wiederholt, wenn die Temperatur ansteigt oder
sich vermindert. Änderungen der Temperatur bewirken daher
störende bzw. unechte Kapazitätsänderungen, welche die Ge
nauigkeit der Messungen beeinflussen. Um die temperaturbe
dingten Änderungen der Kapazität zu verhindern, ist es
wünschenswert, die Relativbewegung des Trägers der festen
Elektrode bezüglich des metallischen Gehäuses zu vermindern.
Eine Kapazitätsvariations-Meßvorrichtung der eingangs genannten
Gattung ist aus der DE 29 48 165 A1 bekannt. Diese Druckschrift
beschreibt eine Kapazitätsvariations-Meßvorrichtung,
die auf einen variablen Parameter anspricht. Der variable
Kondensator umfaßt ein erstes elektrisch leitendes Element,
das eine erste Elektrode bildet. Wenigstens ein Teil der
ersten Elektrode ist in einer ersten Richtung in Abhängigkeit
von Variationen des variablen Parameters bewegbar. Der Kondensator
umfaßt auch ein zweites elektrisch leitendes Element,
das eine zweite Elektrode bildet. Die Kapazitätsmeßvorrichtung
ist speziell als Kraftfühler ausgebildet. Sie umfaßt
eine flexible Membran, die gebogen werden kann, wenn sie
einer Kraft ausgesetzt wird. Die erste Elektrode umfaßt zwei
getrennte Elektrodenelemente, die an den beiden Seiten der
Membran angeordnet sind. Zwischen diese zwei Elektrodenelemente
ist eine bewegliche Platte eingefügt. Die zweite Elektrode
umfaßt ebenfalls zwei getrennte Elektrodenelemente
auf den beiden Seiten der Membran. Die erste Elektrode ist
bezüglich der zweiten Elektrode derart angeordnet, daß die
beiden einen Kondensator bilden. Typischerweise liegen die
erste und die zweite Elektrode in Form dünner Filme vor.
Die bewegbare Platte besteht vorzugsweise aus einem elektrisch
isolierenden Material. Distanzelemente stellen sicher,
daß die bewegbare Platte mit der Membran zwischen den getrennten
Elektrodenelementen der ersten bzw. zweiten Elektrode zusammenwirkt.
Die unbeweglichen Abstandswülste dieser bekannten
Vorrichtung weisen zwar gekrümmte Bogensegmente auf,
sie rotieren jedoch nicht. Diese Abstandswülste bestehen
aus Glas oder Keramikmaterial, das auf die bewegbare Platte
aufgebracht ist.
Ein weiteres Problem, das weiterhin bei handelsüblich ver
fügbaren Kapazitätsmanometern vorliegt, ist ein geringer
Betrag restlicher Streukapazität. Diese Streukapazitäten
existieren beispielsweise zwischen der festen Referenz
elektrode und dem metallischen Gehäuse, wobei das Keramik
material des Trägers der festen Elektrode als ein Dielektri
kum zwischen der festen Referenzelektrode und dem Gehäuse
wirkt. In ähnlicher Weise existieren Streukapazitäten zwi
schen dem Schutzring und dem metallischen Gehäuse. Obgleich
der Schutzring die Streukapazitäten durch den Träger der
festen Elektrode zum metallischen Gehäuse wesentlich ver
mindert, ist es bisher nicht möglich gewesen, die Streu
kapazitäten vollständig zu beseitigen. Beispielsweise wurden
die Streukapazitäten auf ungefähr 1 Picofarad vermindert
bei einem bekannten handelsüblich verfügbaren Kapazitäts
manometer. Die Streukapazitäten verändern sich auch ent
sprechend Temperaturänderungen und erzeugen daher eine
weitere unkontrollierte Variable in den Meßwerten, die
bei Verwendung eines Kapazitätsmanometers erhalten werden.
Es ist daher wünschenswert, die Streukapazitäten weiter
zu vermindern.
Durch die Erfindung, wie sie im Anspruch 1 definiert ist,
wird eine Lösung für die vorstehend erläuterten Probleme
mit unerwünschten Kapazitätsänderungen geboten, die durch
Temperatur und Streukapazitäten verursacht werden, welche
durch Leckströme durch das dielektrische keramische Material
bewirkt werden.
Bei einer speziellen Ausführungsform der Erfindung ist der
variable Parameter ein Differentialdruck bzw. Druckunter
schied zwischen einem ersten Druck und einem zweiten Druck.
Die Meßvorrichtung gemäß der Erfindung umfaßt vorteilhafter
weise ein Gehäuse mit einer darin befindlichen Montagefläche.
Die erste Elektrode umfaßt vorzugsweise eine Membran mit
einer ersten und einer zweiten Seite, wobei die Membran der
art positioniert ist, daß der erste Druck an der ersten
Seite der Membran herrscht und der zweite Druck an der
zweiten Seite der Membran, wobei wenigstens ein Teil der
Membran in der ersten Richtung in Abhängigkeit von Ände
rungen des Druckunterschiedes bewegbar ist. Die erfindungs
gemäße Meßvorrichtung umfaßt vorzugsweise einen isolierenden
Träger innerhalb des Gehäuses, wobei der isolierende Träger
eine erste Oberfläche besitzt, auf der die zweite Elektrode
befestigt ist, wobei die Rolleinrichtung zur Montage der
zweiten Elektrode nahe der ersten Elektrode Wälzlager um
faßt, welche zwischen dem isolierenden Träger und der Mon
tagefläche des Gehäuses eingefügt sind; die Position der
Wälzlager ist derart gewählt, daß der isolierende Träger
mit Bezug auf die Montagefläche des Gehäuses in der ersten
Richtung im wesentlichen unbeweglich ist und der isolierende
Träger mit Bezug auf die Montagefläche in der zweiten Rich
tung bewegbar ist.
Bei der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung umfassen
die Wälzlager einen elektrischen Isolator zur Herstellung
einer elektrischen Isolation zwischen dem isolierenden Träger
und dem Gehäuse. Die Wälzlager können aus Saphir bestehen.
Sie können sphärisch oder zylindrisch sein. Vorteilhafter
weise sind sie im wesentlichen um 120° auseinander auf einer
im wesentlichen kreisförmigen Kontur positioniert. Bei der
Meßvorrichtung gemäß der Erfindung ist das Gehäuse vorzugs
weise aus elektrisch leitendem Material hergestellt, welches
einen ersten thermischen Ausdehnungskoeffizienten besitzt,
während der isolierende Träger aus einem Material besteht,
das einen zweiten thermischen Ausdehnungskoeffizienten be
sitzt, der von dem ersten thermischen Ausdehnungskoeffizien
ten verschieden ist.
Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise unter Bezug
nahme auf die Zeichnung näher erläutert; es zeigt:
Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines zusammenge
bauten Kapazitätsmanometers nach dem Stand der
Technik, wobei die Außenhülle und das hohle Druck
rohr zur Verbindung des Manometers mit einer
Druckquelle dargestellt sind;
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht des zusammengebauten
Kapazitätsmanometers der Fig. 1, wobei das zweite
Ende des Manometers mit den beiden koaxialen Ver
bindern, der Getterhülle und dem abgequetschten
Evakuierungsrohr gezeigt ist;
Fig. 3 eine auseinandergezogene Darstellung des Kapazi
tätsmanometers der Fig. 1 und 2, wobei der Innen
aufbau des Kapazitätsmanometers dargestellt ist,
und zwar insbesondere die Membran, die Membran
tragstruktur, die Halterung der festen Elektrode
und die beiden festen Elektroden;
Fig. 4 eine Querschnittsansicht des Kapazitätsmanometers
entlang der Linien 4-4 der Fig. 2, wobei die Po
sitionsbeziehungen zwischen den Elementen des Mano
meters dargestellt sind;
Fig. 5 eine perspektivische Ansicht der zweiten Ober
fläche des Trägers der festen Elektrode, wobei
die darauf angeordneten Schutzelemente darge
stellt sind;
Fig. 6 eine ausgebrochene perspektivische Ansicht des
Trägers der festen Elektrode der Fig. 3 und 4,
wobei zusätzliche Einzelheiten der zweiten Schutz
vorrichtung dargestellt sind;
Fig. 7 eine ausgebrochene perspektivische Ansicht des
Trägers der feststehenden Elektrode der Fig. 3
und 4, wobei zusätzliche Einzelheiten der Nut
und des darin befindlichen elektrischen Leiters
zur Verbindung der drei Abschnitte der zweiten
Schutzeinrichtung dargestellt sind;
Fig. 8 ein schematisches Schaltbild einer beispielsweisen
elektrischen Schaltung des Kapazitätsmanometers,
das zur Erläuterung des grundlegenden Betriebs
des Kapazitätsmanometers zur Messung von Druck
veränderungen dient;
Fig. 9 ein schematisches Schaltbild einer beispielsweisen
verbesserten elektrischen Schaltung, die in Verbin
dung mit den Schutzringelektroden auf dem Träger
der feststehenden Elektrode verwendet wird, um
einen elektrischen Schutz bzw. eine elektrische
Abschirmung gegen Leckströme zu schaffen, die durch
Streukapazitäten im Träger der festen Elektrode
verursacht werden;
Fig. 10 eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht
der Erfindung, welche Wälzlager umfaßt, um den
Träger der festen Elektrode mechanisch und elek
trisch von der Trägerstruktur der Membran zu iso
lieren;
Fig. 11 eine perspektivische Ansicht der zweiten Ober
fläche des Trägers der festen Elektrode gemäß
der Erfindung, wobei die Positionierung der er
sten und zweiten Schutzeinrichtungen auf der
zweiten Oberfläche dargestellt ist;
Fig. 12 eine Querschnittsansicht der Erfindung, wobei
die Positionierung der Wälzlager bezüglich des
Trägers der festen Elektrode und der Tragstruk
tur dargestellt ist;
Fig. 13 eine vergrößerte Teilschnittansicht der Erfindung,
wobei zusätzliche Einzelheiten der zweiten Schutz
einrichtung und der Glasschicht dargestellt sind,
welche die zweite Schutzeinrichtung auf der ersten,
zweiten und dritten Umfangsoberfläche des Trägers
der festen Elektrode isoliert;
Fig. 14 eine vergrößerte Teilquerschnittsansicht der Er
findung, wobei zusätzliche Einzelheiten eines
Wälzlagers dargestellt sind, das sich zwischen
der Trägerschulter der ersten festen Elektrode und
der Tragstrukturschulter der Membran befindet, und
wobei zusätzliche Einzelheiten eines Wälzlagers
dargestellt sind, das sich zwischen der Träger
schulter der zweiten festen Elektrode und dem Druck
ring befindet; und
Fig. 15 eine vergrößerte, ausgebrochene perspektivische
Ansicht der Erfindung, wobei zusätzliche Einzel
heiten der Positionen der Wälzlager bezüglich der
ungeschützten Rollenkontaktbereiche auf den er
sten und zweiten dielektrischen Trägerschultern
dargestellt sind, sowie zusätzliche Einzelheiten
der Lagerhalteringe.
Zum besseren Verständnis der Probleme, die durch die Erfin
dung gelöst werden, werden zuerst die Struktur und die Be
triebsweise eines beispielhaften bekannten Kapazitätsmano
meters beschrieben.
Die Fig. 1 und 2 zeigen eine perspektivische Ansicht der
Außenseite eines beispielhaften Kapazitätsmanometers 100
für 1,33×104 Pa (100 Torr), wie es derzeit handelsüblich
verfügbar ist. Die Fig. 3 zeigt eine auseinandergezogene
perspektivische Ansicht der inneren Teile des Kapazitäts
manometers, wobei die Abdeckung entfernt ist. Die Fig. 4
ist eine Querschnittsansicht des zusammengebauten Kapa
zitätsmanometers der Fig. 1 und 2. Die Fig. 5 bis 7 zeigen
zusätzliche Einzelansichten des Kapazitätsmanometers. Wie
dargestellt, umfaßt das Kapazitätsmanometer 100 eine hohle
Druckschale bzw. ein Gehäuse 102, das einen luftdichten
Einschluß des Kapazitätsmanometers darstellt. Zugang zu
einem ersten Hohlraum 104 der hohlen Druckschale 102 ist
durch ein hohles Druckrohr 106 gegeben, das ein erstes
Ende 110 der Druckschale 102 durchdringt. Das Druckrohr 104
ist mechanisch mit dem ersten Ende 110 der Druckschale 102
durch Verschweißen oder durch ein anderes geeignetes Ver
fahren verbunden, um eine luftdichte Abdichtung zwischen
der Druckschale 102 und dem Druckrohr 106 herzustellen. Das
Druckrohr 106 ist mechanisch mit einer Quelle (nicht gezeigt)
verbindbar, welche einen mit dem Kapazitätsmanometer 100
zu überwachenden Druck aufweist. Beispielsweise kann das
Druckrohr 106 an eine Vakuumleitung (nicht gezeigt) oder
ähnliches angeschweißt sein, so daß der Druck in der Vakuum
leitung an den ersten Hohlraum 104 der Druckschale 102 an
gelegt wird.
Wie in den Fig. 2 und 4 dargestellt, umfaßt die Druckschale
102 ein zweites Ende 120, das von einem zweiten Druckrohr
122 durchdrungen ist. Das zweite Druckrohr 122 liefert Zu
gang zu einem zweiten Hohlraum 124 der Druckschale 102.
Der zweite Hohlraum 124 der Druckschale 102 ist pneumatisch
von dem ersten Hohlraum 104 isoliert, und zwar durch eine
dünne metallische Membran 126. Wie auf dem Fachgebiet wohl
bekannt, besitzt die Membran 126 typischerweise eine kreis
förmige Gestalt und ist um ihren Umfang herum durch eine
Tragstruktur 128 abgestützt. Die Membran 126 ist mit der
Tragstruktur 128 durch Verschweißen oder andere geeignete
Mittel verbunden, um eine luftdichte Abdichtung um den Um
fang der Membran 126 herum zu bilden. Beispielsweise umfaßt
die Tragstruktur 128 vorzugsweise einen ersten Abschnitt 128 A
und einen zweiten Abschnitt 128 B, die miteinander verschweißt
sind, wobei die Membran zwischen ihnen eingeschichtet ist.
Die Membran 126 ist jenem Druckdifferential bzw. Druck
unterschied ausgesetzt, der zwischen dem ersten Hohlraum
104 und dem zweiten Hohlraum 124 vorliegen kann, und wird
sich allgemein derart verformen, daß sie in der Richtung
desjenigen Hohlraums konvex ist, der den niedrigeren Druck
besitzt, sowie konkav in der Richtung desjenigen Hohlraums
mit dem höheren Druck. Bei typischen Kapazitätsmanometern
ist die Membran 126 kreisförmig und um die Symmetrieachse
130 herum symmetrisch. Die Symmetrieachse 130 ist senkrecht
zu einer Ebene 132, welche dem ungebogenen bzw. unausgelenkten
(d.h. flachen) Zustand der Membran 126 entspricht. Die maxi-
male Auslenkung der Membran 126 in Abhängigkeit von einem
Druckunterschied erfolgt am mittleren Abschnitt der Mem
bran 126 entlang der Symmetrieachse 130. Die Richtung der
Auslenkung ist also senkrecht zur Ebene 132. Da der Umfang
der Membran an der Tragstruktur 128 festgelegt ist, ist er im
wesentlichen unbewegbar in Abhängigkeit von Veränderungen
des Druckunterschieds. Diejenigen Abschnitte der Membran
126, die näher am Umfang liegen als die Mitte, haben also
eine wesentlich geringere Bewegung als der Mittelabschnitt
der Membran 126.
Das zweite Druckrohr 122 ist durch Verschweißen oder andere
Mittel mit einer Quelle eines bekannten Referenzdrucks oder
einer anderen Druckquelle verbindbar, mit der es erwünscht
ist, den an das erste Druckrohr 106 angelegten Druck zu ver
gleichen. Alternativ, und wie in den Fig. 2 und 4 darge
stellt, wird das zweite Druckrohr 122 dazu verwendet, Zu
gang zum zweiten Hohlraum 124 zu gewähren, um den zweiten
Hohlraum 124 einem bekannten, feststehenden Referenzdruck
auszusetzen. Während der feststehende Referenzdruck konstant
gehalten wird, wird dann das zweite Druckrohr 122 abge
quetscht und permanent abgedichtet, so daß der zweite Hohl
raum 124 auf dem feststehenden Referenzdruck gehalten wird.
Der an das erste Druckrohr 106 angelegte Druck wird somit
stets mit dem bekannten festen Referenzdruck verglichen.
Der an das zweite Druckrohr 122 angelegte Druck kann wäh
rend des Herstellungsverfahrens gewählt werden, um Kapazi
tätsmanometer zu bilden, die ausgewählte Betriebsbereiche
besitzen. Zur Messung sehr niedriger Drücke (d.h. subatmosphäri
scher Drücke), kann beispielsweise der zweite Hohlraum 124
über das zweite Druckrohr 122 evakuiert werden.
Bei typischen Kapazitätsmanometern, die gemäß den Fig. 1
bis 7 aufgebaut sind, insbesondere bei denen zur Messung
von absoluten Drücken, kann das zweite Ende 120 eine Getter
hülle 136 aufweisen. Die Getterhülle bzw. das Gettergehäuse
136 beherbergt ein Gettermaterial (nicht gezeigt), das von
dem zweiten Hohlraum 124 durch ein Netz bzw. ein Sieb 138
isoliert ist. Das Gettermaterial entfernt Gasspuren, die
nach dem Evakuieren des zweiten Hohlraums 124 und dem Ver
schließen des zweiten Druckrohrs 122 verblieben sind. Das
Entfernen von Restgas ist bevorzugt, damit es die Genauig
keit der Druckmessungen nicht beeinträchtigt.
Die metallische Membran 126 ist in der Nähe einer ersten
festen bzw. feststehenden Elektrode 140 angeordnet. Vor
zugsweise ist die erste feste Elektrode 140 allgemein
kreisförmig und liegt in einer Ebene 142, die zur Ebene
132 parallel ist und damit senkrecht zur Symmetrieachse
130 steht. Die erste feste Elektrode 140 ist auf einer
ersten Fläche 146 eines allgemein scheibenförmigen, elek
trisch isolierend festgelegten Elektrodenträger 144 mon
tiert. Die erste Fläche 146 des Festelektrodenträgers 144
umfaßt eine Schulter 148, die auf einer Schulter 150 der
Tragstruktur 128 ruht. Die Abmessungen der Festelektroden
trägerschulter 148 und die Abmessungen der Tragstruktur
schulter 150 sind derart gewählt, daß die erste feste Elek
trode 140 in einer bekannten festen Position bezüglich der
Membran 126 gehalten ist. Die Festelektrodenträgerschulter
148 wird fest an ihrem Platz gehalten gegen die Träger
strukturschulter 150, und zwar durch die Einwirkung einer
kreisförmigen Wellenscheibe 154 gegen einen Druckring 156.
Ein Druck wird gegen die Wellenscheibe 154 und damit auch
gegen den Festelektrodenträger 144 durch das zweite Ende
120 der Druckschale 102 ausgeübt. Das zweite Ende 120 der
Druckschale 102 ist an der Tragstruktur 128 durch Verschweißen
oder andere geeignete Befestigungsmittel festgelegt, um
eine luftdichte Abdichtung zu bilden. Typischerweise ist
der Innendurchmesser der Druckschale 102 größer als der
Außendurchmesser des zweiten Endes 120. Das zweite Ende
120 umfaßt auch eine Schulter 160, deren Durchmesser größer
ist als der Außendurchmesser der Tragstruktur 128. Die
Druckschale 102 ist an die Schulter des zweiten Endes 120
angeschweißt, so daß eine schmale Lücke 162 zwischen der
Außenseite der Tragstruktur 128 und der Innenseite der
Druckschale 102 verbleibt, wodurch die Tragstruktur 128
von der Druckschale 102 isoliert wird. Wie dargestellt,
ist der Festelektrodenträger 144 innerhalb des zweiten
Hohlraums 124 angeordnet. Typischerweise ist eine kleine
Nut oder eine andere Öffnung in dem Festelektrodenträger
144 geformt, um sicherzustellen, daß der Druck an beiden
Seiten des Festelektrodenträgers 144 ausgeglichen wird.
Die Membran 126 und die erste Festelektrode 140 bilden die
beiden Platten eines Parallelplattenkondensators, wobei
der Raum dazwischen das Dielektrikum des Kondensators dar
stellt. Beispielsweise ist bei beispielhaften Kapazitäts
manometern zur Messung von subatmosphärischen Drücken die
Dielektrizitätskonstante des Raums zwischen der Membran 126
und der ersten festen Elektrode 140 nahe der Dielektrizitäts
konstante eines Vakuums. Es ist ohne weiteres verständlich,
daß die Bewegung des mittleren Teils der Membran 126 entlang
der Symmetrieachse 130 zur ersten festen Elektrode 140
hin und von dieser weg bewirkt, daß der Abstand zwischen
der Membran 126 und der ersten festen Elektrode sich ver
ändert und damit bewirkt, daß sich auch die Kapazität zwi
schen diesen beiden Elektroden verändert. Die Membran 126
und die erste feste Elektrode 140 bilden also einen variab
len Kondensator. Die Kapazität wird überwacht und Verände
rungen des Druckunterschiedes zwischen dem ersten Hohlraum
104 und dem zweiten Hohlraum 124 werden aus den Veränderungen
der gemessenen Kapazität bestimmt.
Da beträchtliche Veränderungen der Kapazität zwischen der
Membran 126 und der festen Elektrode 140, die durch Tempe
raturänderungen oder anderen druckunabhängigen Veränderungen
verursacht werden, auftreten können, wird die Messung der
Kapazitätsveränderungen dadurch erreicht, daß zwei variable
Kondensatoren vorgesehen werden, die sich unterschiedlich
in Abhängigkeit von Druckveränderungen ändern, die jedoch
im wesentlichen die gleiche Änderung in Abhängigkeit von
Temperaturänderungen und ähnlichem besitzen. Beispielsweise
ist gemäß der vorstehend erwähnten US-PS 35 57 621 die Mem
bran zwischen ersten und zweiten Elektroden angeordnet.
Wenn sich also die Membran näher zur ersten festen Elektrode
hin bewegt in Abhängigkeit von einer Veränderung des Druck
unterschiedes und damit die Kapazität zwischen der Membran
und der ersten festen Elektrode vergrößert wird, bewegt
sich die Membran von der zweiten festen Elektrode weiter
weg und vermindert daher diese Kapazität.
Im Gegensatz zu der Vorrichtung gemäß US-PS 35 57 621, ist
bei der in den Fig. 1 bis 7 gezeigten Vorrichtung eine
zweite feste Elektrode 170 durch einen elektrisch leitenden
Ring 170 gebildet, der allgemein konzentrisch zur ersten
festen Elektrode 140 ist und im Abstand zum äußeren Umfang
der ersten festen Elektrode 140 angeordnet ist. Die Membran
126 und die zweite feste Elektrode 170 bilden einen zweiten
variablen Kondensator. Wie vorstehend erwähnt, ist jedoch
die Bewegung der Membran 126 in Abhängigkeit von Druckver
änderungen nahe dem mittleren Teil der Membran 126 konzen
triert (d.h. entlang der Symmetrieachse 130). Da die zweite
feste Elektrode 170 nahe dem äußeren Abschnitt der Membran
126 positioniert ist und nicht nahe dem zentralen Abschnitt
der Membran 126, erfährt somit die Kapazität zwischen der
Membran 126 und der zweiten festen Elektrode 170 eine we
sentlich kleinere Änderung der Kapazität in Relation zur
Veränderung der Kapazität zwischen der Membran 126 und der
ersten festen Elektrode 140. Die differentiellen Änderungen
der Kapazität werden gemessen, um die Differentialdruckver
änderungen zu bestimmen. Andererseits verändert sich die
Kapazität zwischen der zweiten festen Elektrode 170 und der
Membran 126 und die Kapazität zwischen der ersten festen
Elektrode 140 und der Membran ungefähr um den gleichen Be
trag und in der gleichen Richtung (d.h. in Richtung Zunahme
oder Abnahme der Kapazität) in Abhängigkeit von Temperatur
veränderungen und einer Linearbewegung (d.h. einer Bewegung
der beiden festen Elektroden zur Membran hin oder von dieser
weg). Diese "Gemeinschaftsmodus"-Veränderung der Kapazität
kann allgemein ignoriert werden und kann mit bekannten elek
tronischen Schaltungen ohne weiteres beseitigt werden.
Die erste feste Elektrode 140 ist elektrisch mit einem Lei
ter 180 verbunden, der den Festelektrodenträger 144 und das
zweite Ende 120 durchdringt. Wie dargestellt, ist beispiels
weise der Leiter 180 der Mittelleiter eines ersten herme
tisch abgedichteten Koaxialverbinders 182, der am zweiten
Ende 120 durch Schweißen oder andere geeignete Mittel be
festigt ist, um eine luftdichte Abdichtung zu schaffen. In
ähnlicher Weise ist die zweite feste Elektrode 170 elektrisch
mit einem Leiter 184 verbunden, der ebenfalls den Festelek
trodenträger 144 und das zweite Ende 120 durchdringt. Der
zweite Leiter 184 ist vorteilhafterweise der Mittelleiter
eines zweiten hermetisch abgedichteten Koaxialverbinders
186, der ebenfalls am zweiten Ende 120 befestigt ist. Typi
scherweise umfassen die Tragstruktur 128, das zweite Ende 120,
die Druckschale 102 und das erste hohle Druckrohr 106
elektrisch leitende Materialien. Ebenfalls typischerweise
sind eines oder mehrere dieser Elemente elektrisch mit
einer elektrischen Massereferenz verbunden (in der Fig. 4
schematisch durch ein herkömmliches Massesymbol 190 ge
zeigt). Auf diese Weise wird eine elektrische Verbindung
von der Membran 126 zur Massereferenz hergestellt. Bei
dem gezeigten Ausführungsbeispiel umfaßt der erste Koaxial
verbinder 182 einen konzentrischen Außenleiter 192, der
im Abstand zu und elektrisch isoliert von dem Mittelleiter
180 durch einen Isolator 193 gehalten ist, welcher aus
Glas oder einem anderen geeigneten Material besteht, das
auch eine gasdichte Abdichtung zwischen den beiden Lei
tern herstellt. Zur elektrischen Isolierung des konzen
trischen Außenleiters 192 von dem zweiten Ende 120 und
damit von der Massereferenz ist der erste Koaxialverbinder
182 vorzugsweise mit einer konzentrischen Außenhülle 194
versehen, welche den Abschnitt des äußeren Leiters 192
umgibt, der durch das zweite Ende 120 hindurchtritt. Die
konzentrische Außenhülle 194 ist beabstandet und elektrisch
isoliert von dem konzentrischen Außenleiter 192, und zwar
durch einen Isolator 195, der ebenfalls eine gasdichte Ab
dichtung bildet. In ähnlicher Weise umfaßt der zweite
Koaxialverbinder 186 einen konzentrischen Außenleiter 196,
der durch einen gasdichten Isolator 197 im Abstand zu und
elektrisch isolierend von dem Mittelleiter 184 gehalten
ist. Eine konzentrische Außenhülle 198 umgibt den Außen
leiter 196 und ist im Abstand zum Außenleiter 196 durch
einen gasdichten Isolator 199 gehalten.
Eine beispielhafte Schaltung, die in Verbindung mit der
in den Fig. 1 bis 7 dargestellten Struktur verwendet werden
kann, ist in der Fig. 8 gezeigt. Die Schaltung umfaßt einen
ersten Kondensator C 1 und einen zweiten Kondensator C 2. Wie
dargestellt, entspricht der erste Kondensator C 1 der variab
len Kapazität zwischen der Membran 126 und der ersten festen
Elektrode 140. In ähnlicher Weise entspricht der zweite Kon
densator C 2 der variablen Kapazität zwischen der Membran
126 und der zweiten festen Elektrode 170. Die entsprechenden
Bezugszeichen für die Membran und die beiden festen Elektro
den sind in der Fig. 8 gezeigt. Die Elektroden der beiden
Kondensatoren entsprechend der Membran 126 sind mit der
Massereferenz 190 verbunden. Die Elektrode 140 des ersten
Kondensators C 1 ist elektrisch über den Leiter 180, den
Verbinder 182 und einen elektrischen Leiter 200 mit einem
ersten Anschluß 202 einer Sekundärwicklung 204 eines Trans
formators 206 verbunden. Die Elektrode 170 des zweiten
Kondensators C 2 ist elektrisch über den Leiter 184, den
Verbinder 186 und einen elektrischen Leiter 210 mit einem
zweiten Anschluß 212 der Sekundärwicklung 204 des Trans
formators 206 verbunden. Die Sekundärwicklung 204 umfaßt
eine Mittelanzapfung 214. Ein elektrischer Leiter 220 ver
bindet die Mittelanzapfung 214 mit einem Eingang 222 eines
Verstärkers 224. Der Verstärker 224 besitzt vorzugsweise
eine hohe Eingangsimpedanz, so daß im wesentlichen kein
Strom in den Eingang 222 hineinfließt. Der Verstärker 224
liefert ein Ausgangssignal an einem elektrischen Leiter
226.
Der Transformator 206 besitzt eine Primärwicklung 230 mit
einem ersten Eingangsanschluß 232 und einem zweiten Ein
gangsanschluß 234. Eine Hochfrequenzsignalquelle 236 ist
elektrisch mit der Primärwicklung über den ersten und
zweiten Eingangsanschluß 232 und 234 verbunden, so daß das
durch die Hochfrequenzsignalquelle 236 erzeugte Signal an
die Primärwicklung angelegt ist. Das angelegte Signal wird
auf die Sekundärwicklung 204 gekoppelt und induziert eine
Hochfrequenzspannung an der Sekundärwicklung 204. Die indu
zierte Spannung wird an den ersten Kondensator C 1 und den
zweiten Kondensator C 2 angelegt. Es ist zu sehen, daß die
Spannung an jedem der beiden Kondensatoren umgekehrt pro
portional zu den entsprechenden Kapazitäten der beiden Kon
densatoren ist und sich daher entsprechend der Auslenkung
der Membran 126 ändern wird, die durch einen Druckunter
schied an der Membran 126 hervorgerufen wird. Da eine
Elektrode (d.h. die Membranelektrode 126) jedes der beiden
Kondensatoren elektrisch mit der Massereferenz 190 ver
bunden ist, erscheint der Spannungsunterschied bzw. das
Spannungsdifferential als ein Spannungsunterschied zwi
schen der ersten festen Elektrode 140 des ersten Konden
sators C 1 und der zweiten festen Elektrode 170 des zweiten
Kondensators C 2. Dieser Spannungsunterschied bzw. dieses
Spannungsdifferential bewirkt, daß eine Spannung an der
Mittelanzapfung 214 erscheint, die auf die Massereferenz
190 bezogen ist und die proportional zu den Unterschieden
der Kapazitätswerte zwischen dem ersten Kondensator C 1 und
dem zweiten Kondensator C 2 ist. Die Spannung an der Mittel
anzapfung 214 wird über den Leiter 220 an den Eingang 222
des Verstärkers 224 geführt. Der Verstärker 224 verstärkt
die Spannung der Mittelanzapfung und liefert sie als Aus
gangssignal am Leiter 226. Das Ausgangssignal am Leiter 226
ist ein zeitveränderliches Signal mit der Frequenz der
Signalquelle 236 und mit einer Amplitude, die proportional
zum Kapazitätsunterschied ist. Da die Kapazität des ersten
Kondensators C 1 sich beträchtlich in Abhängigkeit von Ver
änderungen der Druckunterschiede ändert und da die Kapa
zität des zweiten Kondensators C 2 sich verhältnismäßig
wenig in Abhängigkeit von Veränderungen des Druckdifferentials
ändert, verändert sich die Amplitude des zeitvariablen
Signalausgangs des Verstärkers 224 entsprechend den Änderun
gen des Druckunterschiedes an der Membran 126. Das zeit
variable Signal wird durch einen herkömmlichen Demodulator
240 demoduliert und liefert ein Ausgangssignal an einen
Leiter 244, das einen Gleichspannungspegel besitzt, der dem
Druckunterschied bzw. Druckdifferential an der Membran 126
entspricht. Beispielsweise ist der Demodulator 240 vorzugs
weise ein synchroner Demodulator wohlbekannter Bauweise.
Die vorstehende Beschreibung der Betriebsweise der be
schriebenen beispielhaften Vorrichtung nach dem Stand der
Technik geht von der Voraussetzung aus, daß der Festelek
trodenträger ein perfektes Dielektrikum ohne Leckströme ist.
Wie in US-PS 35 57 621 erläutert, können jedoch Umgebungs
feuchtigkeit und andere Faktoren Leckströme hervorrufen,
die zwischen den festen Elektroden und anderen elektrisch
leitenden Teilen der Vorrichtung fließen. Beispielsweise
kann bei der beschriebenen Ausführung der Fig. 1 bis 7
ein Leckstrompfad von der zweiten festen Elektrode 170
zur Tragstruktur 128 über die Festelektrodenträgerschulter
148 und die Tragstrukturschulter 150 und damit zur Masse
referenz 190 hin existieren. Da die Sekundärwicklung 204
des Transformators 206 bezüglich der Massereferenz 190
"schwimmt", muß dieser Leckstrom durch die Sekundärwicklung
204 des Transformators von dem Eingang 222 des Verstärkers
224 geliefert werden. Da jedoch die Eingangsimpedanz des
Verstärkers 224 sehr hoch ist, verursacht sogar ein kleiner
Leckstrom Veränderungen der Spannung am Eingang zum Ver
stärker 224 und führt daher zu einem fehlerhaften Ausgangs
signal am Ausgang des Verstärkers 224.
Die US-PS 35 57 621 beschreibt eine Lösung für das vor
stehend erläuterte Problem mit Leckströmen, wobei ein zu
sätzliches leitendes Element über dem Leckstrompfad von
einer der Elektroden zu leitenden Teilen der Tragstruktur
angeordnet wird. Eine Verwirklichung der in dem obigen
Patent beschriebenen Lösung ist in der Vorrichtung der
Fig. 1 bis 7 dargestellt. Wie am deutlichsten in der Fig. 6
gezeigt ist, ist ein erster elektrisch leitender Schutz 250,
der Abmessungen besitzt, die ähnlich den Abmessungen der
ersten festen Elektrode 140 sind, auf dem Festelektroden
träger 144 auf einer zweiten Fläche 252 des Festelektroden
trägers 144 angeordnet. Die zweite Fläche 252 steht der
ersten Fläche 146 gegenüber und der erste Schutz bzw. die
erste Schutzvorrichtung 250 ist ungefähr mit der ersten
festen Elektrode 140 ausgerichtet angeordnet. Es ist zu
sehen, daß ein Leckstrompfad von der ersten festen Elek
trode 140 beispielsweise zum zweiten Ende 120 hin die
erste Schutzeinrichtung 250 überquert. Zur Blockierung
des Leckstrompfades, um den Leckstrom am Weiterfließen
zum zweiten Ende 120 hin zu hindern, wird ein Spannungs
potential gleich der Spannung der ersten festen Elektrode
140 an die erste Schutzeinrichtung 250 angelegt. In ähn
licher Weise ist ein zweiter Schutz 254 vorgesehen, um
Leckströme von der zweiten festen Elektrode 170 zu ver
hindern. Bei der beispielhaften Vorrichtung der Fig. 1
bis 7 umfaßt die zweite Schutzeinrichtung 254 erste,
zweite und dritte getrennte, jedoch elektrisch mitein
ander verbundene Schutzringe 254 A, 254 B und 254 C. Der
erste Schutzring 254 A ist auf der ersten Fläche 146 und
einer benachbarten Umfangsfläche 256 zwischen der ersten
Fläche 146 und der Festelektrodenträgerschulter 148 po
sitioniert. Der zweite Schutzring 254 B ist auf einer
äußeren Umfangsfläche 258 angeordnet. Der dritte Schutz
ring 254 C ist auf der zweiten Fläche 252 gegenüber der
zweiten Festelektrode 170 angeordnet. Die drei Schutzringe
254 A, 254 B und 254 C sind durch eine elektrische Zwischen
verbindung 260 miteinander verbunden, die bei einer bei
spielhaften Ausführung dieser Vorrichtung aus einer Me
tallisierung in einer Nut 262 am Umfang des Festelektroden
trägers 144 besteht. Eine Spannung mit im wesentlichen der
gleichen Größe als die Spannung an der zweiten Festelek
trode 170 ist an die zweite Schutzeinrichtung 254 ange
legt. Die zweite Schutzeinrichtung 254 bewirkt also eine
Blockierung von Leckströmen von der zweiten Festelektrode
170 zu benachbarten Teilen der Tragstruktur 128 und dem
zweiten Ende 120. Wie dargestellt, ist die zweite Schutz
einrichtung 254 nicht kontinuierlich, da die Festelektroden
trägerschulter 148 in mechanischem Kontakt mit der Trag
strukturschulter 150 steht und daher eine elektrische Ver
bindung verursachen würde, wenn die zweite Schutzeinrich
tung 254 auf der Schulter angeordnet wäre. In ähnlicher
Weise ist die zweite Schutzeinrichtung 254 nicht auf den
Umfangskanten der zweiten Fläche 252 in der Nähe des Druck
rings 156 angeordnet, um eine elektrische Verbindung mit
diesen zu verhindern.
Eine beispielsweise elektrische Schaltung zur Lieferung der
geeigneten Spannung an den ersten Schutzring 250 und den
zweiten Schutzring 254 ist in der Fig. 9 dargestellt. In
der Fig. 9 sind Elemente, die den Elementen der Fig. 8 ent
sprechen, mit den gleichen Bezugszeichen versehen. Zusätz
lich sind schematische Darstellungen der ersten Schutzein
richtung 250 und der zweiten Schutzeinrichtung 254 in der
Nähe der ersten festen Elektrode 140 und der zweiten festen
Elektrode 170 dargestellt. Die erste Schutzeinrichtung 250
ist über eine erste Lasche 270 (siehe Fig. 4) oder ähnliches
angeschlossen, die elektrisch mit dem konzentrischen Außen
leiter 192 des ersten Koaxialverbinders 182 verbunden ist.
In der elektrischen Schaltung der Fig. 9 ist der elektrische
Leiter 200 der Mittelleiter 200 eines ersten Koaxialkabels
272, welches einen konzentrischen Außenleiter 274 besitzt,
der den Mittelleiter 200 umgibt. Der konzentrische Außen
leiter 192 des ersten Koaxialverbinders 182 ist elektrisch
mit dem konzentrischen Außenleiter 274 des ersten Koaxial
kabels 272 verbunden. In gleicher Weise ist die zweite
Schutzvorrichtung 254 über eine zweite Lasche 276 ange
schlossen, die elektrisch mit dem Außenleiter 196 des zwei
ten Koaxialverbinders 186 verbunden ist. Der Außenleiter
196 ist seinerseits elektrisch mit einem konzentrischen
Außenleiter 280 um den elektrischen Leiter 210 herum ver
bunden, welcher der Mittelleiter 210 eines zweiten Koaxial
kabels 282 ist.
In der Fig. 9 besitzen der erste Anschluß 202, der zweite
Anschluß 212 und die Mittelanzapfung 214 jeweils einen A-Teil
und einen B-Teil. Die beiden Mittelleiter 200 und 210 sind
mit dem ersten Anschluß 202 A und dem zweiten Anschluß 212 A
der Sekundärwicklung 204 des Transformators 206 verbunden,
der bzw. die gemäß der Fig. 9 der Mittelleiter eines drit
ten Koaxialkabels 284 ist. Das dritte oder Sekundärwicklungs-
Koaxialkabel 284 besitzt einen Außenleiter 290, der konzen
trisch mit dem Innenleiter 204 ist. Der Außenleiter 290 des
Sekundärwicklungs-Koaxialkabels 284 ist elektrisch am
ersten Anschluß 202 B mit dem Außenleiter 274 des ersten
Koaxialkabels 272 verbunden und ist elektrisch an dem
zweiten Anschluß 212 B mit dem Außenleiter 280 des zweiten
Koaxialkabels 282 verbunden. Der Innenleiter 204 und der
Außenleiter 290 des Sekundärwicklungs-Koaxialkabels 284
sind beide dem Feld ausgesetzt, das von der Primärwicklung
induziert wird. Der Innenleiter 204 und der Außenleiter 290
des Sekundärwicklungs-Koaxialkabels 284 sind mittelangezapft
an den Mittelanzapfungen 214 A und 214 B. Die Mittelanzapfung
214 A des Innenleiters 204 des Sekundärwicklungskoaxialkabels
284 ist elektrisch mit dem Leiter 220 verbunden, der vorzugs
weise der Mittelleiter 220 eines vierten Koaxialkabels 292
ist, welches einen Außenleiter 294 besitzt. Die Mittelan
zapfung 214 B des Außenleiters 290 des Sekundärwicklungs
koaxialkabels 284 ist elektrisch mit dem Außenleiter 294
des Koaxialkabels 292 verbunden.
Der Innenleiter 220 des vierten Koaxialkabels 292 ist elek
trisch mit dem Eingangsanschluß 222 des Verstärkers 224
verbunden, der in der Fig. 9 als ein Verstärker mit dem
Verstärkungsfaktor 1 gezeigt ist. Mit anderen Worten
führt der Ausgang des Verstärkers 224 auf der Leitung 226
die Eingangsspannung auf dem Eingangsanschluß 222. Die Lei
tung 226 ist mit dem Eingang des Demodulators 240 wie vor
her verbunden. Zusätzlich ist die Leitung 226 elektrisch
mit dem Außenleiter 294 des vierten Koaxialkabels 292 ver
bunden und somit mit dem Außenleiter 290 des Sekundärwick
lungskoaxialkabels 284 an der Mittelanzapfung 214 B.
Die Betriebsweise der Schaltung der Fig. 9 ist im wesent
lichen die gleiche wie die Betriebsweise der Schaltung der
Fig. 8. Die Verwendung des Koaxialkabels 284 in der Sekun
därwicklung und die Anlegung der gleichen Spannung an den
Außenleiter 290 wie an den Innenleiter 204 stellt jedoch
sicher, daß die Spannung an der ersten Schutzeinrichtung
250 im wesentlichen identisch mit der Spannung an der er
sten festen Elektrode 140 ist und daß die Spannung an der
zweiten Schutzeinrichtung 254 im wesentlichen identisch
mit der Spannung an der zweiten festen Elektrode 170 ist.
Leckströme zu und von den festen Elektroden in dem Fest
elektrodenträger 144 werden somit durch die entsprechenden
Schutzeinrichtungen geliefert. Da der Ausgang des Verstärkers
224 ein Ausgang mit verhältnismäßig niedriger Impedanz
ist, können die kleinen Leckströme, die er aufnehmen oder
abgeben muß, keine nennenswerte Wirkung auf die Spannung
auf der Leitung 226 ausüben. Die Schaltung der Fig. 9 in
Verbindung mit der ersten Schutzeinrichtung 250 und der
zweiten Schutzeinrichtung 254 vermindert daher die Auswir
kung der Leckströme auf die Genauigkeit der Kapazitätsmano
meter gemäß den Fig. 1 bis 7 ganz beträchtlich. Die mit den
Leckströmen verknüpften Streukapazitäten wurden beispiels
weise von ungefähr 15 Picofarad auf ungefähr 1 Picofarad
vermindert. Die Kapazität zwischen der ersten Festelektrode
140 und der Membran 126 beträgt nominell etwa 30 Picofarad,
so daß ersichtlich ist, daß der Abschirmeffekt durch die
erste Schutzeinrichtung 250 und die zweite Schutzeinrichtung
254 sehr vorteilhaft ist.
Obgleich das vorstehend beschriebene Kapazitätsmanometer
genaue Messungen von Druckänderungen liefert, wurde dennoch
gefunden, daß ein Bedürfnis besteht, immer kleinere schritt
weise Änderungen des Drucks zu messen. Es wurden beispiels
weise Vorrichtungen gebaut, bei denen die zu messenden Drücke
im Bereich von 10-9 Atmosphären (ungefähr 10-9 bar) liegen.
Um Drücke in diesem Bereich messen zu können, ist es not
wendig, den zweiten Hohlraum 124 auf einen Druck in dem zu
messenden Bereich zu evakuieren. Bei diesen sehr niedrigen
Meßbereichen sind die Kapazitätsänderungen durch die Bewe
gung der Membran sehr klein und es wurde gefunden, daß das
eine Picofarad der verbleibenden Streukapazität ausreicht,
um genaue Messungen zu stören. Beispielsweise bei der vor
stehend beschriebenen Vorrichtung existiert ein kleiner
Leckpfad an der Verbindung der Festelektrodenträgerschulter
148 und der Tragstrukturschalter 150. Es besteht daher ein
Bedürfnis, die Streukapazitäten und die ihnen zugeordneten
Leckströme zu vermindern.
Ein weiteres Problem bei dem vorstehend beschriebenen
Kapazitätsmanometer ergibt sich aus der Verwendung des
keramischen Festelektrodenträgers 144 in Verbindung mit
der metallischen Tragstruktur 128. Der Festelektroden
träger 144 besitzt einen thermischen Ausdehnungskoeffi
zienten, der von dem der Tragstruktur 128 verschieden
ist. Wenn sich also die Umgebungstemperatur des Kapazi
tätsmanometers verändert, expandieren und kontrahieren
der Festelektrodenträger 144 und die Tragstruktur 128
mit unterschiedlichen Beträgen. Wegen dieser unterschied
lichen Expansion und Kontraktion ist es notwendig, daß ein
Verschieben an der Verbindung der Festelektrodenträger
schulter 148 mit der Tragstrukturschulter 150 um den Um
fang des Festelektrodenträgers 144 herum stattfindet.
Wegen des durch die gewellte Scheibe 154 auf die Trag
struktur 128 ausgeübten Drucks sind jedoch die Reibungs
kräfte an der Verbindungsstelle ziemlich groß. Es kann da
her ein beträchtlicher Wert unterschiedlicher Expansion
oder Kontraktion auftreten, bevor ein Gleiten bzw. Ver
schieben an der Verbindungsstelle um den Umfang des Fest
elektrodenträgers 144 herum stattfindet, wodurch sich ein
Biegen des Festelektrodenträgers 144 einstellt, wenn sich
die Tragstruktur 128 schneller zusammenzieht als der Fest
elektrodenträger 144, oder ein Abflachen des Festelektroden
trägers 144, wenn sich die Tragstruktur 128 schneller aus
dehnt als der Festelektrodenträger 144. Obgleich die durch
Temperatur verursachte Biegung verhältnismäßig klein ist,
sind die Kapazitätsveränderungen vergleichbar mit den Kapa
zitätsveränderungen, die von den zu messenden kleinen Druck
veränderungen verursacht werden. Obgleich Versuche unter
nommen wurden, eine Temperaturkompensation in die elektrische
Schaltung aufzunehmen oder die Temperaturänderungen als
Faktor in die Berechnung des gemessenen Druckes einzube
ziehen, waren derartige Versuche im allgemeinen nicht
vollständig erfolgreich. Ein Grund für das Fehlen des
Erfolges ist die Tatsache, daß die Bewegung der Fest
elektrodenträgerschulter 148 relativ zur Tragstruktur
schulter 150 eine mechanische Hysterese zeigt, die durch
die Reibung zwischen den beiden Schultern hervorgerufen
wird. Das heißt, daß das Maß der Relativbiegung der Fest
elektrodenträgerschulter 148 mit Bezug auf die Tragstruk
turschulter 150 bei einer Temperaturveränderung um einen
vorgegebenen Betrag in einer Richtung nicht notwendiger
weise das gleiche Maß der Relativbewegung ergibt, wenn
die Temperatur auf die Originaltemperatur zurückgeht.
Das Maß der Biegung kann nicht vorhergesagt werden auf
der Grundlage der gemessenen Temperaturveränderungen und
kann daher nicht ohne weiteres kompensiert werden. Es be
steht daher ein Bedürfnis, die Reibungskräfte zwischen
den beiden Schultern zu beseitigen.
Das bevorzugte Ausführungsbeispiel der vorliegenden Er
findung ist in den Fig. 10 bis 15 dargestellt. Die Fig.
10 ist eine auseinandergezogene perspektivische Ansicht
der strukturellen Elemente der Erfindung, wobei ein ver
besserter Festelektrodenträger gezeigt ist. Die Fig. 11
ist eine perspektivische Ansicht der zweiten Fläche des
Festelektrodenträgers. Die Fig. 12 ist eine Querschnitts
ansicht des vollständigen Zusammenbaus, wobei die Posi
tionierung der Elemente in Bezug zueinander dargestellt
ist. Die Fig. 13 und 14 sind vergrößerte Teilquerschnitt
ansichten der Erfindung. Die Fig. 15 ist eine vergrößerte
Teilperspektivansicht der Erfindung. Die Elemente der Er
findung die gleich oder im wesentlichen ähnlich den Ele
menten der vorstehend beschriebenen Vorrichtung sind,
sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
Wie dargestellt, sind die Tragstruktur 128 und die Mem
bran 126 im wesentlichen wie vorstehend erläutert auf
gebaut. Die vorliegende Erfindung umfaßt eine verbesserte
Festelektrodenträgerstruktur 300. Der Festelektrodenträger
300 umfaßt eine kreisförmige Scheibe aus Keramik oder
einem anderen geeigneten Isolationsmaterial mit einer
ersten im wesentlichen ebenen Fläche 310 und einer zwei
ten im wesentlichen ebenen Fläche 312.
Der kreisförmige äußere Umfang des Festelektrodenträgers
oder isolierenden Trägers 300 umfaßt eine erste Umfangs
fläche 320, eine zweite Umfangsfläche 322 und eine dritte
Umfangsfläche 324. Der Umfang des Festelektrodenträgers
300 um die erste Umfangsfläche 320 und der Umfang um die
dritte Umfangsfläche 324 herum sind kleiner als der Um
fang um die zweite Umfangsfläche 322 herum, so daß eine
erste Festelektrodenträgerschulter 330 zwischen der er
sten Umfangsfläche 320 und der zweiten Umfangsfläche 322
gebildet ist, und so daß eine zweite Festelektrodenträger
schulter 332 zwischen der zweiten Umfangsfläche 322 und
der dritten Umfangsfläche 324 gebildet ist. Die erste
Festelektrodenträgerschulter 330 und die zweite Festelek
trodenträgerschulter 332 sind eben und definieren Ebenen,
die im wesentlichen parallel zur ersten ebenen Fläche 310
und zur zweiten ebenen Fläche 312 sind.
Eine erste Festelektrode 340, die aus elektrisch leitendem
Material besteht, ist auf der ersten ebenen Fläche 310
des Festelektrodenträgers 300 angeordnet und befindet sich
im wesentlichen im Zentrum der ersten ebenen Fläche 310.
Eine zweite Festelektrode 342, die aus einem Ring aus
elektrisch leitendem Material besteht, ist auf der er
sten ebenen Fläche 310 angeordnet und im wesentlichen
konzentrisch mit der ersten festen Elektrode 340. Eine
erste elektrisch leitende Schutzeinrichtung 350 ist im
wesentlichen im Zentrum der zweiten ebenen Fläche 312
des Festelektrodenträgers 300 gegenüber der ersten
Festelektrode 340 angeordnet. Eine zweite elektrisch
leitende Schutzeinrichtung 352 ist auf der ersten ebenen
Fläche 310 in der Nähe von und im Abstand zu der zweiten
Festelektrode 342 angeordnet, so daß die zweite Schutz
einrichtung 352 einen Ring um die zweite Festelektrode
342 herum bildet. Die zweite Schutzeinrichtung 352 setzt
sich fort auf die erste Umfangsfläche 320, auf die erste
Schulter 330, auf die zweite Umfangsfläche 322, auf die
zweite Schulter 332, auf die dritte Umfangsfläche 324
und dann auf die zweite ebene Fläche 312. Derjenige Teil
der zweiten Schutzeinrichtung 352 auf der zweiten ebenen
Fläche 312 bildet einen Ring um die erste Schutzeinrich
tung 350 herum und im Abstand zu dieser. Bei bevorzugten
Ausführungen der Erfindung ist das elektrisch leitende
Material der Festelektroden und der Schutzeinrichtungen
Silber, welches mit herkömmlichen Verfahren auf den Fest
elektrodenträger 300 aufplatiert ist.
Die erste Festelektrode 340 ist elektrisch mit einer
ersten elektrisch leitenden Durchführung oder einem Durch
gangsweg 360 verbunden, welche den Festelektrodenträger
300 durchdringt. Die Durchführung 360 bildet eine elek
trische Verbindung mit dem Mittelleiter 180 des ersten
Koaxialverbinders 182. Der Mittelleiter 180 kann sich bei
spielsweise durch die Durchführung 360 erstrecken und kann
elektrisch mit der ersten Festelektrode 340 durch Verlöten
oder andere herkömmliche Mittel verbunden sein. In ähnlicher
Weise ist eine zweite elektrisch leitende Durchführung 362
vorgesehen, um die zweite Festelektrode 342 elektrisch mit
dem Mittelleiter 184 des zweiten Koaxialverbinders 186 zu
verbinden. Die erste Lasche 270 des ersten Koaxialverbin
ders 182 ist elektrisch mit der ersten Schutzeinrichtung
350 verbunden und die zweite Lasche 276 des zweiten Koaxial
verbinders 186 ist elektrisch mit der zweiten Schutzeinrich
tung 352 verbunden.
Es sollte angemerkt werden, daß zwar die Festelektroden
und die Schutzeinrichtungen als kreisförmig oder ringför
mig beschrieben wurden, daß sie jedoch nicht vollständig
kreisförmig sind, so daß sie die Durchgänge bzw. Durchfüh
rungen 360 und 362 und die elektrischen Verbindungen mit
diesen Durchführungen aufnehmen können.
Insbesondere aus der Querschnittsansicht der Fig. 12 ist
ersichtlich, daß die erste Festelektrodenträgerschulter
330 die Trägerstrukturschulter 150 nicht berührt, wie es
bei dem vorstehend beschriebenen bekannten und beispiel
haften Kapazitätsmanometer der Fall ist. Vielmehr ist die
erste Festelektrodenträgerschulter 330 im Abstand von der
Tragstrukturschulter 150 angeordnet, und zwar durch eine
erste Gruppe von Wälzlagern 370. Die erste Gruppe bzw.
der erste Satz von Wälzlagern bzw. Lagerkugeln 370 be
steht vorteilhafterweise aus elektrisch isolierendem Ma
terial, wie industriellem Saphir (kristallines Aluminiumoxid
Al2O3) oder einem anderen geeigneten Material mit vergleich
barer Härte und elektrischen Isoliereigenschaften. Dieser
erste Satz von Wälzlagern 370 ist um die erste
Festelektrodenträgerschulter 330 herum im Abstand ange
ordnet. Beispielsweise umfaßt bei dem beispielhaften be
vorzugten und beschriebenen Ausführungsbeispiel die erste
Gruppe von Wälzlagern drei Lagerelemente 370 A, 370 B und
370 C, die in gleichen Abständen im Abstand zueinander an
geordnet sind und daher jeweils um 120° voneinander ent
fernt entlang der ersten Festelektrodenträgerschulter 330
positioniert sind. Die Durchmesser der ersten drei Lager
kugeln 370 A, 370 B und 370 C sind derart gewählt, daß sie
im wesentlichen gleich sind, so daß die Festelektroden
trägerschulter 330 von der Tragstrukturschulter 150 durch
jedes der Wälzlagerelemente 370 A, 370 B und 370 C um eine
gleiche Strecke im Abstand gehalten ist, wodurch sicher
gestellt wird, daß die erste Fläche 310 des Festelektroden
trägers in einer Ebene liegt, die parallel zur Ebene der
Membran 126 verläuft.
Die erfindungsgemäße Ausführung umfaßt ferner eine zweite
Gruppe von Wälzlagerelementen 380, die auf der zweiten
Festelektrodenträgerschulter 332 zwischen der zweiten
Festelektrodenträgerschulter und dem Druckring 156 ange
ordnet sind. Die zweite Gruppe von Wälzlagerelementen 380
umfaßt vorteilhafterweise drei Wälzlagerelemente 380 A,
380 B und 380 C, die um die zweite Trägerschulter 332 in
gleichen Abständen herum im Abstand zueinander angeordnet
sind (d.h., sie sind in Winkeln von 120° in Bezug zuein
ander positioniert). Die zweite Gruppe der Wälzlagerele
mente 380 umfaßt ebenso vorteilhafterweise ein hartes
kristallines isolierendes Material, wie Saphir.
Wenn das zweite Ende 120 an der Tragstruktur 128 be
festigt ist, wird ein Druck auf den Druckring 156 über die
Wellenscheibe 154 und damit auf die zweite Gruppe von Wälz
lagerelementen 380, den Festelektrodenträger 300 und die
erste Gruppe von Wälzlagerelementen 370 ausgeübt. Das harte
kristalline Material der ersten Gruppe von Wälzlagerele
menten 370 und der zweiten Gruppe von Wälzlagerelementen
380 verformt sich nicht ohne weiteres unter dem Druck,
der über die Wellenscheibe 154 ausgeübt wird. Die beiden
Gruppen von Wälzlagerelementen 370, 380 verhindern daher
im wesentlichen eine Bewegung des Festelektrodenträgers
300 in der Richtung, die zur Ebene der Membran 126 senk
recht ist.
Da ein beträchtlicher Druckwert auf die erste Festelektroden
trägerschulter 330 und die zweite Festelektrodenträger
schulter 332 durch die erste Gruppe von Wälzlagerelementen
370 und die zweite Gruppe von Wälzlagerelementen 380 bei
den bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung ausgeübt
wird, wird eine Vielzahl von kleinen Bereichen 382 der zwei
ten Schutzeinrichtung 352 auf der ersten Festelektrodenträ
gerschulter 330 und der zweiten Trägerschulter 332 an der
Stelle entfernt, an der die Wälzlagerelemente 370, 380 die
Schultern 330, 332 berühren. Der durch die Wälzlagerelemente
370, 380 ausgeübte Druck wird somit unmittelbar auf die
harte Oberfläche des keramischen Festelektrodenträgers 330
ausgeübt, und nicht auf das verhältnismäßig weiche Silber
material der zweiten Schutzeinrichtung 352.
Vorzugsweise weisen die Wälzlagerelemente 370 und 380 eine
zylindrische Gestalt auf, wie in den Fig. 12, 14 und 15
dargestellt. Alternativ hierzu können die Wälzlagerelemente
370 und 380 eine sphärische Gestalt wie bei einem herkömm
lichen Kugellager haben. Bei der bevorzugten zylindrischen
Ausführungsform besitzt jedes der Wälzlagerelemente 370, 380
eine Längsachse 386, die senkrecht zu einer radialen Linie aus
gerichtet ist, welche sich von der Mitte des Festelektroden
trägers 300 wegerstreckt. Die Wälzlagerelemente 370, 380
rollen radial einwärts und auswärts und gestatten eine
freie Bewegung des Festelektrodenträgers 300 relativ zur
Tragstrukturschulter 150 und bezüglich des Druckrings 156.
Wenn daher eine differentielle Expansion und Kontraktion
des Festelektrodenträgers 330 und der Tragstruktur 128
durch Temperaturveränderungen stattfindet, verhindert die
Relativbewegung zwischen dem Festelektrodenträger 330 und
der Tragstruktur 128 mittels der Wälzlagerelemente 370, 380
das Verbiegen, das bei der vorstehend erläuterten Vorrich
tung nach dem Stand der Technik auftritt. Die unvorhersag
baren Veränderungen der Kapazität, die durch das Verbiegen
verursacht werden, werden daher durch die Wälzlagerelemente
370, 380 wesentlich vermindert oder ganz beseitigt.
Bei bevorzugten Ausführungen der Erfindung ist ein erster
Lagerelementhalter 390 für die erste Gruppe von Wälzlager
elementen 370 vorgesehen, sowie ein zweiter Lagerelement
halter 392 für die zweite Gruppe von Wälzlagerelementen 380.
Der erste Lagerelementhalter 390 ist ein dünner Ring aus
Metall oder einem anderen geeigneten Material mit einer
Öffnung 394 für jedes der Lagerelemente 370. Bei der be
vorzugten Ausführung besitzt der erste Lagerelementhalter
390 drei Öffnungen 394, die im Abstand von 120° um den
ersten Lagerelementhalter 390 herum angeordnet sind, so
daß die Lagerelemente in gleichen Abständen voneinander
angeordnet sind, wie vorstehend beschrieben. Bei der ge
zeigten Ausführung sind die Öffnungen 394 des ersten Lager
elementhalters 390 rechteckig zur Aufnahme der zylindrischen
Wälzlagerelemente 370 der bevorzugten Ausführungsform. Der
zweite Lagerelementhalter 392 besitzt einen ähnlichen Aufbau
mit drei rechteckigen Öffnungen 396. Es sollte angemerkt
werden, daß bei der alternativen sphärischen Ausführungs
form der Lagerelemente (nicht gezeigt), der erste und der
zweite Lagerelementhalter 390 bzw. 392 jeweils entspre
chend groß bemessene kreisförmige Öffnungen zur Aufnahme
der sphärischen Gestalt besitzen.
Wie vorstehend erläutert, vermindern die Wälzlagerele
mente 370, 380 der vorliegenden Erfindung die Veränderun
gen der Kapazität, die durch Expansion und Kontraktion
bei Temperaturänderungen verursacht werden, wesentlich
oder beseitigen sie ganz. Zusätzlich wurde gefunden, daß
die Wälzlagerelemente 370, 380 eine beträchtliche Ver
minderung der Reststreukapazitäten in dem Festelektroden
träger 330 herbeiführen, die durch Leckströme zwischen
der ersten Festelektrode 340, der zweiten Festelektrode
342 und den Metallteilen der Tragstruktur 128 vorliegen.
Wie vorstehend erläutert, war es bei der Vorrichtung nach
dem Stand der Technik erforderlich, einen direkten Kontakt
zwischen der Festelektrodenträgerschulter 148 (Fig. 4) und
der Tragstrukturschulter 150 vorzusehen. Die zweite Schutz
vorrichtung 254 (d.h. die Schutzabschnitte 254 A, 254 B und
254 C) der Vorrichtung des Standes der Technik (Fig. 4) um
faßten daher nicht einen zweiten Schutzvorrichtungsabschnitt
auf der Festelektrodenträgerschulter 148. Dies hatte die
Wirkung, die Abschirmung zu unterbrechen, die durch die
zweite Schutzvorrichtung 254 gegeben war, und überdies
wurde eine elektrische Verbindung mit der Trägerstruktur
schulter 150 geschaffen. Die elektrische Verbindung von
Schulter zu Schulter bei der Vorrichtung des Standes der
Technik bildet einen Pfad für Leckströme und die Träger
strukturschulter 150 wirkt daher als die Elektrode einer
kleinen Streukapazität.
Bei der vorliegenden Erfindung bilden die Wälzlagerelemente
370, 380 zwei Grundlagen zur Beseitigung der Leckströme und
damit der Streukapazitäten. Erstens ist ersichtlich, daß
die zweite Schutzeinrichtung 352 gemäß der Erfindung effek
tiv kontinuierlich von der ersten Fläche 310 zur zweiten
Fläche 312 verläuft, und zwar mit Ausnahme der sechs sehr
kleinen Bereiche 382, an denen die Wälzlagerelemente 370,
380 anliegen. Die potentiellen Leckpfade zu jedem der be
nachbarten Abschnitte der Tragstruktur 128 und des zwei
ten Endes 120 werden daher effektiv entweder durch die
erste Schutzeinrichtung 350 oder die zweite Schutzeinrich
tung 352 blockiert. Zusätzlich ist an den sechs kleinen
Bereichen 382 der Festelektrodenträger 330 elektrisch von
der Tragstrukturschulter 150 durch die isolierenden Eigen
schaften der ersten Gruppe von Wälzlagerelementen 370 iso
liert und ferner elektrisch isoliert von dem Druckring 156
durch die isolierenden Eigenschaften der zweiten Gruppe von
Wälzlagerelementen 380.
Die Wälzlagerelemente 370 und 380 gemäß der Erfindung be
wirken also eine Verminderung der Streukapazität um unge
fähr eine Größenordnung, und zwar von ungefähr einem Pico
farad bei der Vorrichtung gemäß dem Stand der Technik her
unter auf ungefähr 0,1 Picofarad bei einer Vorrichtung,
die erfindungsgemäß aufgebaut ist.
Aus den Einzelquerschnittansichten der Fig. 13 und 14 und
der ausgebrochenen perspektivischen Ansicht der Fig. 15
ist ersichtlich, daß die zweite Umfangsfläche 322 dadurch
elektrisch isoliert ist, daß eine dünne Glasbeschichtung
398 oben auf der aus Silber bestehenden zweiten Schutz
einrichtung 352 hinzugefügt ist. Die isolierende Glasbe
schichtung 398 wird vorteilhafterweise deshalb vorgesehen,
damit der Festelektrodenträger 300 in Kontakt mit der Trag
struktur 128 zentriert werden kann, ohne daß ein elektrischer
Kontakt zwischen der zweiten Schutzeinrichtung 352 und der
Tragstruktur 128 vorliegt.
Obgleich vorstehend in Verbindung mit der bevorzugten Aus
führungsform beschrieben, sollte für den Fachmann klar sein,
daß bei der beschriebenen Erfindung gewisse Abwandlungen
möglich sind, ohne über den Grundgedanken und den Rahmen
der Erfindung hinauszugehen. Beispielsweise können die
Wälzlagerelemente aus anderen Materialien bestehen, bei
spielsweise aus einem elektrisch leitenden Metall. Bei
derartigen Ausführungen (nicht gezeigt), wird ein isolie
render Einsatz aus Saphir beispielsweise in den benach
barten Abschnitt der ersten und zweiten Festelektrodenträ
gerschultern 330 und 332 vorgesehen, um die elektrisch
isolierenden Eigenschaften zu liefern und um die Festelek
trodenträgerschulter 330 und 332 von der Tragstrukturschul
ter 150 und dem Druckring 156 elektrisch zu isolieren.
Claims (11)
1. Kapazitätsvariations-Meßvorrichtung, die auf einen
variablen Parameter anspricht, mit einem variablen
Kondensator, der folgende Merkmale umfaßt: ein erstes
elektrisch leitendes Element aus einer ersten Elektrode
(340) des variablen Kondensators, wobei wenigstens ein
Teil der ersten Elektrode (340) in einer ersten Rich
tung in Abhängigkeit von Veränderungen des variablen
Parameters bewegbar ist, und ein zweites elektrisch
leitendes Element aus einer zweiten Elektrode (342)
des variablen Kondensators, gekennzeich
net durch Rolleinrichtungen (370) zur Montage der
zweiten Elektrode (342) nahe der ersten Elektrode
(340), so daß die zweite Elektrode (342)
in der ersten Richtung bezüglich der ersten
Elektrode (340) unbewegbar ist, und so daß die zweite
Elektrode (342) in einer zweiten Richtung senkrecht
zu der ersten Richtung bewegbar ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der variable Parameter ein
Druckunterschied bzw. Differenzdruck zwischen einem
ersten Druck und einem zweiten Druck ist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß sie ein Gehäuse (102)
umfaßt, in welchem eine Montagefläche (330, 332) vor
gesehen ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß die erste Elektrode
(340) eine Membran (126) umfaßt, welche erste und
zweite Seiten besitzt, daß die Membran (126) derart
positioniert ist, daß der erste Druck sich auf der
ersten Seite der Membran (126) befindet und der zweite
Druck sich auf der zweiten Seite der Membran (126)
befindet, und daß wenigstens ein Teil der Membran
(126) in der ersten Richtung in Abhängigkeit von
Veränderungen des Druckunterschieds bewegbar ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß ein isolierender
Träger (300) innerhalb des Gehäuses (102) vorgesehen
ist, daß der isolierende Träger (300) eine erste
Fläche besitzt, auf der die zweite Elektrode (342)
befestigt ist, daß die Rolleinrichtungen (370) zur
Montage der zweiten Elektrode (342) nahe der ersten
Elektrode (340) Wälzlagerelemente (370 A, 370 B, 370 C)
umfassen, die zwischen dem isolierenden Träger (300)
und der Montagefläche des Gehäuses (102) eingesetzt
sind, daß die Position der Wälzlagerelemente (370 A,
370 B, 370 C) derart gewählt ist, daß der isolierende
Träger (300) unbewegbar ist mit Bezug
auf die Montagefläche des Gehäuses (102) in der ersten
Richtung, und daß der isolierende Träger (300) mit Bezug
auf die Montagefläche in der zweiten Richtung bewegbar
ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Wälzlagerelemente (370 A,
370 B, 370 C) einen elektrischen Isolator umfassen, um
eine elektrische Isolierung zwischen dem isolierenden
Träger (300) und dem Gehäuse (102) zu schaffen.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die Wälzlagerelemente (370 A,
370 B, 370 C) aus Saphir bestehen.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Wälzlagerelemente (370 A,
370 B, 370 C) sphärisch sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Wälzlagerelemente (370 A,
370 B, 370 C) zylindrisch sind.
10. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Wälzlagerelemente (370 A,
370 B, 370 C) um 120° voneinander ent
fernt auf einer im wesentlichen kreisförmigen Kontur
(330) positioniert sind.
11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, daß das Gehäuse (102)
aus elektrisch leitendem Material hergestellt ist, das
einen ersten thermischen Ausdehnungskoeffizienten be
sitzt, und daß der isolierende Träger (300) aus einem
Material besteht, das einen zweiten thermischen Aus
dehnungskoeffizienten besitzt, der sich von dem ersten
thermischen Ausdehnungskoeffizienten unterscheidet.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/189,780 US4823603A (en) | 1988-05-03 | 1988-05-03 | Capacitance manometer having stress relief for fixed electrode |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3838333A1 DE3838333A1 (de) | 1989-11-16 |
DE3838333C2 true DE3838333C2 (de) | 1990-12-13 |
Family
ID=22698745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3838333A Granted DE3838333A1 (de) | 1988-05-03 | 1988-11-11 | Kapazitaetsmanometer mit kraftentlastung der festelektrode |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4823603A (de) |
JP (1) | JPH01307632A (de) |
KR (2) | KR890017528A (de) |
CH (1) | CH674263A5 (de) |
DE (1) | DE3838333A1 (de) |
FR (1) | FR2631120B1 (de) |
GB (2) | GB8814942D0 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4425164A1 (de) * | 1994-07-18 | 1996-01-25 | Ifm Electronic Gmbh | Kapazitiver Sensor |
Families Citing this family (54)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SE461300B (sv) * | 1988-05-17 | 1990-01-29 | Hydrolab Ab | Tryckmaetare |
DE3942047A1 (de) * | 1989-12-20 | 1991-07-04 | Vega Grieshaber Gmbh & Co | Druckaufnehmer fuer hydrostatische fuellstandmessung |
DE3942020C2 (de) * | 1989-12-20 | 1993-11-04 | Vega Grieshaber Gmbh & Co | Druckaufnehmer fuer hydrostatische fuellstandsmessung mit einem kapazitiven druckwandler |
CA2058916C (en) * | 1991-01-28 | 2000-03-21 | Dean Joseph Maurer | Piezoresistive pressure transducer with a conductive elastomeric seal |
US5271277A (en) * | 1991-12-23 | 1993-12-21 | The Boc Group, Inc. | Capacitance pressure transducer |
US5343757A (en) * | 1992-05-21 | 1994-09-06 | Fuji Koki Manufacturing Co., Ltd. | Pressure sensor |
US5396803A (en) * | 1993-07-07 | 1995-03-14 | Tylan General, Inc. | Dual balanced capacitance manometers for suppressing vibration effects |
US5349865A (en) * | 1993-08-30 | 1994-09-27 | Kavlico Corporation | Wide-pressure-range, adaptable, simplified pressure transducer |
US5452613A (en) * | 1993-10-04 | 1995-09-26 | Granville-Phillips Company | Wide range vacuum gauge |
SE506558C2 (sv) * | 1994-04-14 | 1998-01-12 | Cecap Ab | Givarelement för tryckgivare |
US5942692A (en) * | 1997-04-10 | 1999-08-24 | Mks Instruments, Inc. | Capacitive pressure sensing method and apparatus avoiding interelectrode capacitance by driving with in-phase excitation signals |
US5911162A (en) * | 1997-06-20 | 1999-06-08 | Mks Instruments, Inc. | Capacitive pressure transducer with improved electrode support |
US5965821A (en) * | 1997-07-03 | 1999-10-12 | Mks Instruments, Inc. | Pressure sensor |
US6019002A (en) * | 1997-12-02 | 2000-02-01 | Setra Systems, Inc. | Pressure transducer having a tensioned diaphragm |
US5939639A (en) * | 1997-12-04 | 1999-08-17 | Setra Systems, Inc. | Pressure transducer housing with barometric pressure isolation |
US20040099061A1 (en) * | 1997-12-22 | 2004-05-27 | Mks Instruments | Pressure sensor for detecting small pressure differences and low pressures |
US6029525A (en) * | 1998-02-04 | 2000-02-29 | Mks Instruments, Inc. | Capacitive based pressure sensor design |
US6568274B1 (en) * | 1998-02-04 | 2003-05-27 | Mks Instruments, Inc. | Capacitive based pressure sensor design |
US6105436A (en) * | 1999-07-23 | 2000-08-22 | Mks Instruments, Inc. | Capacitive pressure transducer with improved electrode support |
US6772640B1 (en) | 2000-10-10 | 2004-08-10 | Mks Instruments, Inc. | Multi-temperature heater for use with pressure transducers |
FR2818676B1 (fr) * | 2000-12-27 | 2003-03-07 | Freyssinet Int Stup | Procede de demontage d'un cable de precontrainte et dispositif pour la mise en oeuvre |
US6807865B2 (en) * | 2002-02-04 | 2004-10-26 | Dwyer Instruments, Inc. | Pressure sensor with a radially tensioned metal diaphragm |
US6734659B1 (en) * | 2002-06-13 | 2004-05-11 | Mykrolis Corporation | Electronic interface for use with dual electrode capacitance diaphragm gauges |
US6837111B2 (en) * | 2002-06-24 | 2005-01-04 | Mykrolis Corporation | Variable capacitance measuring device |
US7000482B2 (en) * | 2002-06-24 | 2006-02-21 | Mykrolis Corporation | Variable capacitance measuring device |
US6837112B2 (en) * | 2003-03-22 | 2005-01-04 | Stec Inc. | Capacitance manometer having a relatively thick flush diaphragm under tension to provide low hysteresis |
US6993973B2 (en) * | 2003-05-16 | 2006-02-07 | Mks Instruments, Inc. | Contaminant deposition control baffle for a capacitive pressure transducer |
US7201057B2 (en) * | 2004-09-30 | 2007-04-10 | Mks Instruments, Inc. | High-temperature reduced size manometer |
US7137301B2 (en) * | 2004-10-07 | 2006-11-21 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for forming a reference pressure within a chamber of a capacitance sensor |
US7141447B2 (en) * | 2004-10-07 | 2006-11-28 | Mks Instruments, Inc. | Method of forming a seal between a housing and a diaphragm of a capacitance sensor |
US7204150B2 (en) | 2005-01-14 | 2007-04-17 | Mks Instruments, Inc. | Turbo sump for use with capacitive pressure sensor |
JP4563312B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2010-10-13 | 株式会社堀場エステック | 静電容量式圧力センサ装置 |
US20090015269A1 (en) * | 2007-07-13 | 2009-01-15 | Pinto Gino A | Stray Capacitance Compensation for a Capacitive Sensor |
US7757563B2 (en) * | 2008-04-10 | 2010-07-20 | Mks Instruments, Inc. | Capacitance manometers and methods of making same |
JP5588243B2 (ja) * | 2009-07-01 | 2014-09-10 | ブルックス・インストルメント・エルエルシー | 検出手段として静電気干渉を使用するモノリシック真空マノメータ |
US8561471B2 (en) * | 2010-02-02 | 2013-10-22 | Mks Instruments, Inc. | Capacitive pressure sensor with improved electrode structure |
US8893555B2 (en) | 2011-09-01 | 2014-11-25 | Setra Systems, Inc. | Pressure measuring instrument |
WO2013049490A2 (en) | 2011-09-29 | 2013-04-04 | Mks Instruments, Inc. | Capacitive pressure sensor with improved electrode structure |
CN104145179B (zh) | 2011-10-11 | 2016-11-09 | Mks仪器公司 | 压力传感器 |
US8997576B2 (en) | 2013-01-18 | 2015-04-07 | Reno Technologies, Inc. | Method and system for monitoring gas pressure for reference cavity of capacitance diaphragm gauge |
US8997548B2 (en) | 2013-01-29 | 2015-04-07 | Reno Technologies, Inc. | Apparatus and method for automatic detection of diaphragm coating or surface contamination for capacitance diaphragm gauges |
US8965725B2 (en) | 2013-02-05 | 2015-02-24 | Reno Technologies, Inc. | Automatic calibration adjustment of capacitance diaphragm gauges to compensate for errors due to changes in atmospheric pressure |
US8862420B2 (en) | 2013-02-05 | 2014-10-14 | Reno Sub-Sustems Canada Incorporated | Multi-axis tilt sensor for correcting gravitational effects on the measurement of pressure by a capacitance diaphragm gauge |
US8997575B2 (en) | 2013-02-13 | 2015-04-07 | Reno Technologies, Inc. | Method and apparatus for damping diaphragm vibration in capacitance diaphragm gauges |
US9194760B2 (en) | 2013-03-14 | 2015-11-24 | Dwyer Instruments, Inc. | Capacitive pressure sensor with reduced parasitic capacitance |
WO2015076413A1 (ja) * | 2013-11-25 | 2015-05-28 | 株式会社堀場エステック | 静電容量型圧力センサ |
US10288509B2 (en) * | 2013-11-25 | 2019-05-14 | Horiba Stec, Co., Ltd. | Capacitive pressure sensor with reduced sensitivity to temperature change |
CN108700479A (zh) * | 2016-02-25 | 2018-10-23 | 英福康股份公司 | 具有多电极的电容式真空测量元件 |
RU174317U1 (ru) * | 2016-12-19 | 2017-10-11 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тверской государственный технический университет" | Сорбционный электретный газоанализатор |
CN107843379B (zh) * | 2017-12-13 | 2023-09-22 | 沈阳市传感技术研究所 | 装配式定电极的电容压力传感器 |
KR102622726B1 (ko) * | 2019-05-15 | 2024-01-08 | 스미토모 크라이어제닉스 오브 아메리카 인코포레이티드 | 진공 게이지를 위한 브리지 전압 반전 회로 및 전압 반전 회로를 갖는 압력 게이지 센서 |
CN110987281B (zh) * | 2019-11-29 | 2022-06-07 | 中国科学院微电子研究所 | 环形支撑结构及应用其的陶瓷电容式压力传感器 |
US11287342B2 (en) | 2020-03-20 | 2022-03-29 | Mks Instruments, Inc. | Capacitance manometer with improved baffle for improved detection accuracy |
CN114323355B (zh) * | 2022-03-15 | 2022-06-03 | 季华实验室 | 用于电容薄膜规的压力测量***、方法及电容薄膜规 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2751530A (en) * | 1954-01-04 | 1956-06-19 | Honeywell Regulator Co | Differential pressure sensing unit |
US3555621A (en) * | 1967-04-22 | 1971-01-19 | Tamagawa Kikai Kinzoku Kk | Compacting apparatus for magnetic powders |
US3557621A (en) * | 1969-07-07 | 1971-01-26 | C G S Scient Corp Inc | Variable capacitance detecting devices |
US4380041A (en) * | 1978-09-25 | 1983-04-12 | Motorola Inc. | Capacitor pressure transducer with housing |
US4295376A (en) * | 1978-12-01 | 1981-10-20 | Besco Industries, Inc. | Force responsive transducer |
US4587851A (en) * | 1985-02-26 | 1986-05-13 | Edward Mortberg | High vacuum capacitance manometer having Px side open housing |
US4703658A (en) * | 1986-06-18 | 1987-11-03 | Motorola, Inc. | Pressure sensor assembly |
-
1988
- 1988-05-03 US US07/189,780 patent/US4823603A/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-06-23 GB GB888814942A patent/GB8814942D0/en active Pending
- 1988-07-01 KR KR1019880008164A patent/KR890017528A/ko not_active Application Discontinuation
- 1988-07-11 FR FR888809402A patent/FR2631120B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1988-07-13 CH CH2669/88A patent/CH674263A5/fr not_active IP Right Cessation
- 1988-11-04 JP JP63280250A patent/JPH01307632A/ja active Granted
- 1988-11-11 DE DE3838333A patent/DE3838333A1/de active Granted
- 1988-11-16 GB GB8826782A patent/GB2218207B/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-12-09 KR KR8816383A patent/KR930004079B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4425164A1 (de) * | 1994-07-18 | 1996-01-25 | Ifm Electronic Gmbh | Kapazitiver Sensor |
DE4425164C2 (de) * | 1994-07-18 | 2002-05-16 | Ifm Electronic Gmbh | Kapazitiver Sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2218207A (en) | 1989-11-08 |
FR2631120A1 (fr) | 1989-11-10 |
KR930004079B1 (en) | 1993-05-20 |
CH674263A5 (de) | 1990-05-15 |
DE3838333A1 (de) | 1989-11-16 |
KR890017522A (ko) | 1989-12-16 |
GB8814942D0 (en) | 1988-07-27 |
FR2631120B1 (fr) | 1993-09-03 |
US4823603A (en) | 1989-04-25 |
GB2218207B (en) | 1992-04-08 |
GB8826782D0 (en) | 1988-12-21 |
JPH01307632A (ja) | 1989-12-12 |
KR890017528A (ko) | 1989-12-16 |
JPH0364813B2 (de) | 1991-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3838333C2 (de) | ||
DE69213904T2 (de) | Kapazitiver Druckwandler | |
DE3310643C2 (de) | Drucksensor | |
DE3883067T2 (de) | Kapazitives Manometer zur Absolutdruckmessung. | |
DE60031869T2 (de) | Kapazitiver druckwandler | |
DE2459612C2 (de) | Kapazitiver Druckwandler | |
DE2124979C2 (de) | Kapazitiver Druckfühler | |
DE3814109C2 (de) | Kondensatoranordnung zur Verwendung in Druckfühlern | |
DE69807876T2 (de) | Kapazitiver druckwandler mit verbessertem elektrodenträger | |
DE2411212A1 (de) | Druckmesseinrichtung | |
DE112011100416T5 (de) | Kapazitiver Drucksensor | |
EP0718612B1 (de) | Zündkerze mit Kraftmesselement und geteiltem Isolierkörper | |
DE19743749A1 (de) | Halbleiterdrucksensor | |
EP0480170A2 (de) | Sensor für ein Kapazitäts-Manometer | |
DE10100321A1 (de) | Kapazitive Druckmessung mit beweglichem Dielektrikum | |
EP1167938A2 (de) | Druckmessvorrichtung | |
DE1763187B1 (de) | Ueberspannungs schutzeinrichtung | |
DE69400168T2 (de) | Kondensator mit hoher thermischer Stabilität | |
EP0548043B1 (de) | Drucksensor | |
EP0464021B1 (de) | Messeinrichtung mit einer hilfselektrode für eine gasisolierte gekapselte hochspannungsanlage | |
DE3920674C2 (de) | Druckdetektor vom elektrostatischen Kapazitätstyp | |
DE4224524A1 (de) | Elektrostatischer kapazitaetstyp-differenzdruckdetektor | |
DE4426699C2 (de) | Spannungswandler für eine metallgekapselte elektrische Schaltanlage und Verfahren zu seiner Herstellung | |
EP0147614A2 (de) | Druckaufnehmer mit Sensorquarz | |
DE19912214A1 (de) | Hochspannungskeramikkondensator |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: TYLAN GENERAL, INC. (N.D.GES.D.STAATES MASSACHUSET |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: TYLAN GENERAL, INC. (N.D.GES.D. STAATES DELAWARE), |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: MILLIPORE CORP., BEDFORD, MASS., US |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: MYKROLIS CORP., BEDFORD, MASS., US |
|
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Free format text: DERZEIT KEIN VERTRETER BESTELLT |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: ENTEGRIS,INC.(N.D.GES.D.STAATES DELAWARE), CHA, US |
|
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Representative=s name: BUSSE & BUSSE, PATENT- UND RECHTSANWAELTE, 49084 O |