DE3818894C2 - - Google Patents

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DE3818894C2
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hole
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Tadao Ibaraki Jp Kushima
Tasao Soga
Kazuji Hitachi Jp Yamada
Mitugu Hadano Jp Shirai
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Hitachi Ltd
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Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Lotträger gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, ein Verfahren zu dessen Herstellung und ein Verfahren zur Montage einer Halbleiteranordnung unter dessen Verwendung gemäß den Oberbegriffen der Patentansprüche 3 und 4.
Es sind mehrere herkömmliche Verfahren zur Bildung von Lotvorsprüngen zum Zweck der Bildung von Anschlußkontakten bei der Montage von Halbleitern bekannt. So ist im Abstract zur JP-OS 61-2 51 152 ein Aufdampflotvorsprung-Verfahren, bei dem die Vorsprünge durch Aufdampfen von Lot unter Verwendung von Metallmasken gebildet werden und im Abstract zur JP-OS 61-2 96 728 ein Lotplattiervorsprung-Verfahren (CCB-Verfahren), bei dem die Lotvorsprünge unter Verwendung von lotbeständigen Masken durch Lotplattierung gebildet werden, offenbart.
Weiter wurde ein Verfahren offenbart (JP-OS 58-35 935), bei dem eine organische Isolierfolie, die sowohl durch ein Lochungsverfahren gebildete durchgehende Löcher als auch die durchgehenden Löcher füllende Lotkugeln aufweist, direkt auf den Stellen (Auschlußflecken, Vorsprungsteilen), an denen die Lotvorsprünge der Halbleiteranordnung zu bilden sind, angeordnet wird, bei dem die Folie dann erhitzt und mit den Vorsprungs­ teilen der Halbleiteranordnung durch das an den Vorsprungs­ teilen befestigte geschmolzene Lot verbunden wird. Bei diesem Verfahren wird die Isolierfolie, die als Kugelträger dient, als solche auch auf der Halbleiteranordnung mon­ tiert.
Es wurde auch ein Verfahren offenbart (JP-OS 60-2 34 396), bei dem ein Lot auf Anschlußflecken (Vorsprungsteilen) aufgebracht wird, indem eine plattenförmige Halterung mit geringer Benetzbarkeit durch das Lot und mit auf ihrer Oberfläche gebildeten koni­ schen oder quadratisch-pyramidenartigen Rillen mit Lotpaste gefüllt und anschließend erhitzt wird, wodurch das Lot geschmolzen wird.
Das Aufdampflotverfahren hat die Nachteile, daß eine uner­ wünschte Variation in der Menge des aufgebrachten Lots auftritt und daß, da der Dampfdruck von Sn hoch ist, im Fall des Erhaltens einer gewünschten Zusammensetzung, in der der Anteil von Sn hoch und z. B. Pb/Sn=4/6 ist, eine Zeit von mehreren zehn Stunden erforderlich werden. Andererseits ist beim Lotplattierverfahren die Variation der Menge des aufgebrachten Lots höher, und es ist eine große Zahl von Verfahrensschritten erforderlich.
Weiter ergeben sich bei dem oben beschriebenen Verfahren, bei dem eine organische Folie verwendet wird, die folgenden Probleme:
  • 1. Da ein Locher verwendet wird, ist es schwierig, eine Hochdichteverteilung von Löchern herzustel­ len.
  • 2. Da die Lotkugeln einer Mehrzahl kleiner, in der organi­ sche Folie vorgesehener durchgehender Löcher zugeführt werden müssen, ohne davon herabzufallen, wird es schwierig, die Trägerfolien herzustellen.
  • 3. Es ist schwierig, Lotkugeln gleichmäßiger Form und Abmessungen herzustellen. Selbst wenn es möglich ist, neigen die Lotkugeln zum Herausfallen aus den durchgehenden Löchern. Die Folie ist schwierig zu handhaben, da die verwendete Folie eine Dünnschichtfolie (100 µm Dicke) ist.
  • 4. Selbst wenn eine Polyamidfolie mit ausgezeichneter Wärmebeständigkeit verwendet wird, verschwindet, wenn die Folie auf die Temperatur erhitzt wird, bei der das Lot schmilzt, die Restspannung, so daß eine Verformung der Folie wegen der geringen Dicke der Folie hervorgerufen wird, die es unmöglich macht, die Folie kor­ rekt zu positionieren.
Es ergeben sich daher bei diesem Verfahren Probleme, wenn es auf einen Lotträger zur Bildung von auf einer Halbleiter­ anordnung zu montierenden Lotkugeln angewendet wird, bei der eine hohe Genauigkeit und eine hohe Dichte benötigt werden.
Weiter ist es bei einem Verfahren, bei dem die konischen oder quadratisch-pyramidenartigen Rillen in einer Halterung aus einem Material wie z. B. Polytetrafluoräthylen oder rostfreiem Stahl mit geringer Benetzbarkeit durch das Lot gebildet werden, in welcher Halterung ein Material zum Löten die Rillen füllt, schwierig, eine konstante Lotmenge in die Halterung einzubringen. Das einzubringende Lot muß geschmolzen werden, doch wird dieses geschmolzene Lot aufgrund der durch die niedrigere Benetzbarkeit der Halterung verursachten Oberflächenspannung von kugelförmiger Gestalt. Wenn daher überschüssige Anteile des Lots, die über der Oberfläche der Halterung vorstehen, durch ein Quetschorgan od. dgl. entfernt werden, wird auch ein Teil des die Rillen in der Form einer Kugel füllenden geschmolzenen Lots zusammen mit dem Überschußlot entfernt. Es ist daher schwierig, diesen konischen oder quadratisch-pyramidenartigen Rillen eine konstante Lotmenge zuzuführen.
Außerdem ist ein Lotträger mit einer Trägerfolie bekannt (Abstract der JP-OS 61-2 44 035), bei der auf beiden Seiten der Trägerfolie Vorsprünge aus Indium angeordnet sind und aufgrund der speziellen Geometrie der Trägerfolie und der (an den Enden konisch verjüngten) Vorsprünge ein Herausfallen der Vorsprünge vermieden wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Lotträger der eingangs genannten Art und ein Verfahren zu dessen Herstellung zu entwickeln, wobei der Lotträger zur einfachen und zuverlässigen gleichzeitigen Bildung gleichmäßiger Lotvorsprünge mit einer konstanten Lotmenge auf einer Mehrzahl mit hoher Dichte angeordneter kleiner Anschlußkontaktteile einer Halbleiteranordnung geeignet ist, und ein Verfahren der eingangs genannten Art zur Montage einer Halbleiteranordnung unter Verwendung dieses Lotträgers zu entwickeln.
Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der Patentansprüche 1 bzw. 3 bzw. 4 gelöst.
Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Patentansprüchen 2 und 5 gekennzeichnet.
Durch das Material der Trägerbahn und die besondere Doppelkegelstumpfform der durchgehenden Löcher wird erreicht, daß das in die Löcher eingefüllte Lot beim Schmelzen aufgrund seiner Oberflächenspannung an den oberen Lochenden anschwillt und vorquillt, so daß sich Vorsprünge leicht bilden lassen, während gleichzeitig verhindert wird, daß Lot aus den Löchern herabfällt.
Beim Verfahren zur Herstellung des Lotträgers kann das Ätzen in einer üblichen Weise vorgenommen werden. Beispielsweise kann ein durchgehendes Loch durch Einrichten eines zwischen den beiden Seiten der Trägerbahn unterschiedlichen Ätzgrades gebildet werden, der erhalten wird, indem man die Temperatur oder Dichte des Ätzmittels zwischen den beiden Seiten unterschiedlich macht. Da die Abmessung der im ätzbeständigen Überzug gebildeten Öffnungen zwischen den beiden Seiten unterschiedlich ist, wird die Ätzmenge notwendig unterschiedlich gemacht, und daher lassen sich die durchgehenden Löcher in der Form eines Doppelkegelstumpfes bilden.
Diese Verfahren können entsprechend den Anforderungen bezüg­ lich der Gestalt der durchgehenden Löcher, des Materials und der Dicke der Trägerbahn gewählt und kombiniert werden. Was das Ätzmittel betrifft, so wird es entsprechend dem Material der Trägerbahn bestimmt (man verwendet übli­ cherweise Marmorflüssigkeit (CuSO4 und anorganische Säure sind enthalten) und eine andere Flüssigkeit, die Eisen (III)-Chlorid und Salzsäure enthält). Um die Ätzgeschwindig­ keit zu steigern, wird das Ätzen vorzugsweise unter Rühren des Ätzmittels oder unter Anlegen von Ultraschallwellen durchgeführt.
Die Trägerbahn muß solche Eigenschaften haben, daß sich die kleinen durchgehenden Löcher relativ einfach durch Ätzen bilden lassen, daß die Bahn nicht mit dem geschmolze­ nen Lot reagiert und daß weder Schmelzen noch Verformung und Schrumpfung auftreten, wenn das Lot geschmolzen wird. Außerdem muß die Trägerbahn eine geringe Benetzbarkeit durch geschmolzenes Lot aufweisen.
Beispielsweise wird eine Trägerbahn aus rostfreiem Stahl, Molybdän, Wolfram, FENICO (Fe-Ni-Co-Legierung) oder kerami­ schem Material verwendet. Falls erforderlich, kann eine Chrombeschichtung auf die Trägerbahn aufgebracht werden. Die Abmessungen der Trägerbahn, wie z. B. Schichtdicke und -breite, lassen sich entsprechend der Menge des einzu­ bringenden Lots und dem Lotvorsprungsmuster und den Verwen­ dungszwecken bestimmen.
Ein Lot zur Verwendung im Rahmen der Erfindung ist vom beim Bilden von Lotvorsprüngen von Halbleiteranordnungen allge­ mein verwendeten Typ. Beispielsweise ist dies eine Pb-Sn- Legierung, Sn-Ag-Legierung oder Pb-In-Legierung.
Wie im folgenden Ausführungsbeispiel beschrieben wird, kann ein gewünschter Lotträger erhalten werden, indem man die durchgehenden Löcher in der Trägerbahn mit einem Lot bei einer Temperatur, die unter derjenigen liegt, bei der das Lot schmilzt, z. B. bei Raumtemperatur, unter Anwendung von Druck auf das Lot füllt. Beispielsweise kann in einem Fall, in dem ein rostfreies Stahlblech als Trägerbahn und Pb-Sn (Sn 60%, Pb Rest)-Legierungslot verwendet werden, das Lot unter einem Druck von 300 bis 400 N/cm² in die durch­ gehenden Löcher eingebracht werden. Das Einbringen des Lots wird durch Walzen oder Pressen vorgenommen. Je höher die Temperatur ist, bei der das Lot eingebracht wird, desto niedriger wird der zum Einbringen des Lots in die Löcher erforderliche Druck unter der Bedingung, daß die Temperatur den Schmelzpunkt des Lots nicht erreicht. Jedoch muß das Lot in einer Atmosphäre von inerten Gasen eingebracht werden, wenn das Einbringen bei einer hohen Temperatur erfolgt, da das Lot bei einer hohen Temperatur oxidiert wird.
Durch Abdecken der Trägerbahnoberfläche mit einem Überzug aus einem Formtrennmittel läßt sich der restliche Lotfilm (Restlotfolie), der auf der Trägerbahnoberfläche nach dem Einführen des Lots in die durchgehenden Löcher verbleibt, entfernen. Er kann auch einfach durch mechanisches Schlei­ fen der Oberfläche der Trägerbahn entfernt werden. Weiter kann er entfernt werden, indem man Photolack, der zur Durchführung des Ätzens gebildet worden war, vorhanden bleiben läßt und dann den Photolack zusammen mit der Restlotfolie abkratzt.
Das Lot, das in den durchgehenden Löchern im Lotträger geschmolzen wird, neigt dazu, aufgrund seiner Oberflächen­ spannung kugelförmig zu werden. Wenn das durchgehende Loch des Lotträgers in der Weise gemäß dem Anspruch 1 gebildet wird, wirkt aufgrund der Oberflächenspannung des Lots eine Kraft zum Drücken des Lots zu dem Öffnungsende mit der größeren Fläche hin mit dem Ergebnis, daß das Lot vorquillt. Wenn das so vorquellende Lot in Kontakt mit den Anschlußflecken eines Mikrochipträgers gebracht wird, bildet das Lot eine Kugelform aufgrund seiner Oberflächenspannung.
Durch Verwendung einer Trägerbahn, die mit dem geschmolzenen Lot nicht reagiert und nicht benetzt wird, läßt sich das ganze in den Löchern des Lotträgers vorgesehene Lot zu einer Kugelge­ stalt mit dem Ergebnis formen, daß die Menge des die Vor­ sprünge bildenden Lots nicht variieren kann.
Die Erfindung wird beispielhaft anhand der Zeichnung näher erläutert; darin zeigt:
Fig. 1 einen Querschnitt eines Lotträgers nach einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 2 einen Querschnitt zur Veranschaulichung eines Verfahrens zur Herstellung des Lot­ trägers;
Fig. 3 eine Perspektivdarstellung des Lotträgers zur Veranschaulichung des Zustands der Trennung der Restlotfolie von der Ober­ fläche des Lotträgers gemäß der Erfindung;
Fig. 4a, 4b und 4c schematische Darstellungen zur Veranschauli­ chung des Zustands, in dem Lotvorsprünge auf der Halbleiteranordnung gebildet werden; und
Fig. 5 eine Perspektivdarstellung zur Veranschauli­ chung des Zustands, in dem der Lotträger gemäß der Erfindung auf eine Spule gewickelt wird.
Beispiel
Fig. 1 ist eine Querschnittsansicht einer Lotträgerbahn 2 gemäß der Erfindung. Als eine Bahn, die nicht direkt mit dem Lot reagiert, wenn sich das Lot im geschmolzenen Zustand befindet, wurde ein 0,25 mm dickes rostfreies Stahl­ blech verwendet. In diesem Blech wurden durchgehende Löcher 3 durch Ätzen gebildet, wobei die durchgehenden Löcher derart angeordnet sind, daß sie einem Muster (mit Abmessungen von 20×20 cm und 2×3 Musterstücken, deren jedes 300 Lotvorsprünge hatte) kleiner Anschlußkontakte eines Mikrochipträgers 7 einer in Fig. 4 gezeigten Halbleiteran­ ordnung entsprechen.
Das Ätzen wurde in der Weise durchgeführt, daß ein Photolack 2a aus einem organischen lichtempfindlichen Material auf beide Seiten des Blechs aufgebracht wurde, eine Musterung nach einem Photolithographieverfahren zur Bildung eines Photo­ lackfilms durchgeführt wurde und das so beschichtete Blech in eine Ätzflüssigkeit (30°C) eingetaucht wurde, wobei die Flüssigkeit gerührt wurde, um das Ätzen auf beiden Seiten des Blechs vorzunehmen, wobei die Ätzflüssigkeit ent­ hielt
CuSO₄ 4 g
35% HCl 20 ml, und
Wasser 20 ml
Der Photolack auf der Oberfläche des Trägerblechs wurde unter Verwendung eines organischen Lösungsmittels nach Vollendung des Ätzens aufgelöst und entfernt. Bei diesem Ätzen wurde die Abmessung der Öffnung, die im Photolack auf einer Seite (der oberen Seite 3a), die zum Kontakt mit einer Halbleiteranordnungsoberfläche bestimmt ist, auf der die Lotvorsprünge der Halbleiteranordnung zu bilden sind, mit einem Durchmesser von 320 µm erzeugt, und deren Abmessung auf der Rückseite (Unterseite 3b) wurde mit einem Durchmesser von 250 µm erzeugt. Als Ergebnis konnten, wie Fig. 1 zeigt, die durchgehenden Löcher 3 von Doppelkegel­ stumpfform, deren jedes im Längsschnitt unsymmetrisch war und deren beide Enden von unterschiedlichem Durchmesser waren, genau gebildet werden. Die Längsschnittfläche des Teils, der mit dem Ende des größeren Durchmessers versehen war, war größer als die des anderen Teils, der mit dem Ende des kleineren Durchmessers versehen war.
Jedes der durchgehenden Löcher 3 hatte ein Fassungsvermögen, das ausreichte, um einen Pb-Sn(60 Gew.-% Sn und Rest Pb)- Legierungslotvorsprung mit 300 µm Durchmesser zu bilden. Durch die Vorsprünge wurde die Halbleiteranordnung 8, die in Fig. 4(a) gezeigt ist, auf einem Vielschichtschaltungs­ substrat montiert. Der Durchmesser des oberen Endes 3a des durchgehenden Lochs 3 war 320 µm, der Durchmesser des unteren Endes 3b war 250 µm, und der Durchmesser des engsten Teils 3c innerhalb des durchgehenden Lochs war 200 µm.
Das Pb-Sn-Legierungslot 4 wurde unter Druck in die in der Trägerbahn 2 vorgesehenen Löcher 3 in einer in Fig. 2 veran­ schaulichten Weise eingebracht.
Das Einbringen des Lots 4 wird auf einer ebenen Platte 1 durchgeführt, die sich durch den einwirkenden Druck nicht verformt und aus einem Material besteht, das mit dem ge­ schmolzenen Lot nicht reagiert. Die Lotfolie 4 von 0,30 mm Dicke wurde auf der Oberseite des Trägerblechs 2 angeord­ net, eine Walze 5 von 600 mm Durchmesser wurde verwendet, und das Lot 4 wurde in die Löcher unter einem Druck von 400 N/cm2 bei Raumtemperatur eingedrückt.
Nach dem Einbringen des Lots blieb folienförmiges Lot 4b (Restlotfolie) auf der Oberfläche des Trägerblechs 2, wel­ ches dann durch einen drehbaren Mikroschneider abge­ schliffen wurde.
Wie schematisch in Fig. 3 gezeigt ist, kann die Restlotfolie 4b auch durch Abschaben entfernt werden. In jeder von beiden Arten wurde das in die durchgehenden Löcher eingebrachte Lot nicht entfernt.
Dann wurde bei einer in Fig. 4a gezeigten Halbleiteranord­ nung der Lotträger 2, dessen Oberfläche mit einem Lotfluß­ mittel des Harztyps überzogen wird, in Kontakt mit einer Oberfläche mit Anschlußflecken 7a des Mikrochipträgers 7 gebracht, an welchem die Lotvorsprünge zu bilden sind, und sie wurden auf die Temperatur erhitzt, bei der das Lot schmilzt. Als Ergebnis der Aufbringung des Lotflußmittels wurde es möglich, das geschmolzene Lot wirksam in eine Kugelform zu bringen.
Bevor die Lotkugeln 4a unter Verwendung der Lotvorsprünge gebildet wurden, wurde (alternativ) eine kleine Menge von Lot 11 (dessen Zusammensetzung die gleiche ist) vorab auf jeden Anschlußfleck 7a des Mikrochipträgers 7 durch Ultraschall­ wellenlöten, wie in Fig. 4b gezeigt ist, aufgebracht.
Die Lotvorsprünge wurden durch Erhitzen und Schmelzen des im Trägerblech vorgesehenen Lots bei 240°C in einem lnfrarotstrahlenofen gebildet, in dem die Atmosphäre varia­ bel war. Das erhitzte und geschmolzene Lot war, wie in Fig. 4b gezeigt ist, aufwärts angeschwollen, wobei seine Form teilweise halbkugelförmig wurde. Als der Anschlußfleck 7a das so angeschwollene Lot berührte, konnten die kugelför­ migen Vorsprünge, wie in Fig. 4c gezeigt, gebildet werden.
Wie oben beschrieben, kann die Halbleiteranordnung auf den Anschlußflecken eines Schaltungssubstrats montiert und damit verbunden werden, indem man die auf dem kleinen An­ schlußkontaktteil der Halbleiteranordnung gebildeten Lot­ vorsprünge verwendet, nachdem die Stellen sowohl der Halb­ leiteranordnung als auch der Anschlußflecken des Schaltungs­ substrats untereinander ausgerichtet worden sind. Die Erhit­ zungsbedingungen können unter Berücksichtigung sowohl des Materials des Schaltungssubstrats als auch der Eigenschaften der Halbleiteranordnung bestimmt werden. Falls erforderlich, kann die Erhitzung in einem inerten Gas, wie z. B. Stick­ stoff oder Argon, vorgenommen werden.
Gemäß Fig. 4a wurden eine Halbleiteranordnung 8 mit An­ schlußflecken 7c und der Mikrochipträger 7 nach einem CCB- Verfahren unter Verwendung eines Hochschmelzpunkt-Lots 9 (Pb-Sn: 5 Gew.-% Sn und Rest Pb, Schmelzpunkt 290 bis 310°C) verbunden, und um das Lot 9 herum gebildete Räume wurden mit einem anorganische Teilchen und Gummiteilchen aufweisenden Harz 10 gefüllt, um die Anordnung 8 und den Mikro­ chipträger 7 miteinander zu verbinden. Da das Lot im Lot­ träger gemäß der Erfindung einen niedrigeren Schmelzpunkt als das Hochschmelzpunkt-Lot 9 hatte, konnte die Halbleiter­ anordnung (Halbleiterbauelement + Mikrochipträger) mit dem Schaltungssubstrat ohne irgendeinen Einfluß auf den verbundenen Teil verbunden werden. Weiter kann, wenn ein Teil der auf dem Schaltungssubstrat montierten Halbleiter­ anordnung bricht, dieser leicht ersetzt werden.
Mit dem Träger gemäß der Erfindung kann eine Mehrzahl von Vorsprüngen gleichzeitig auf kleinen Elektroden einer Halb­ leiteranordnung gebildet werden. Weiter kann die Halbleiter­ anordnung mit dem Mikrochipträger nach einem Verfahren gemäß der Erfindung verbunden werden.
Der Lotträger gemäß der Erfindung kann als ein längliches Blech, wie in Fig. 5 gezeigt, unter Verwendung eines Metallblechs gebildet werden. Wenn es um eine Spule 6 ge­ wickelt wird, fällt das in den Träger eingebrachte Lot nicht ohne weiteres heraus, so daß sich ein großer Vorteil zur Verwirklichung der Massenproduktion der Montage von Halbleitern erzielen läßt.
Durch Verwendung des Lotträgers gemäß der Erfindung können gleichmäßige Lotvorsprünge, deren jeder eine konstante Lotmenge aufweist, leicht auf den Anschlußkontaktteilen einer Halbleiteranordnung gebildet werden. Folglich läßt sich eine hohe Verläßlichkeit erzielen, wenn eine Halb­ leiteranordnung mit genauen Lotvorsprüngen in hoher Dichte auf einem Schaltungssubstrat montiert wird, und man kann einen großen Vorteil für die Herstellung einer elektroni­ schen Schaltungsanordnung erzielen.

Claims (5)

1. Lotträger mit einer Trägerbahn, die eine Mehrzahl kleiner durchgehender Löcher mit darin aufgenommenem Lot aufweist, dadurch gekennzeichnet,
daß die Trägerbahn (2) selbsttragend und aus einem Material hergestellt ist, das mit dem geschmolzenen Lot (4a) nicht reagiert, und vom Lot (4a) kaum benetzt wird,
daß jedes in der Trägerbahn (2) gebildete Loch (3) die Form zweier Kegelstümpfe mit unterschiedlichen Durchmessern an den beiden Enden des Lochs (3) und einem engsten Teil (3c) innerhalb des Lochs (3) aufweist, wobei das Ende (3a) mit dem größeren Durchmesser des Kegelstumpfes nach oben gewandt ist,
daß die Längsschnittfläche des einen Kegelstumpfes mit dem größeren Durchmesser am oberen Ende (3a) des Lochs (3) größer als die des anderen Kegelstumpfes mit dem kleineren Durchmesser am unteren Ende (3b) des Lochs (3) ist und
daß das Lot (4a) die Löcher (3) vollständig füllt, so daß gleichmäßige Lotvorsprünge durch Schmelzen des Lots (4a) bildbar sind.
2. Lotträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerbahn (2) aus Metall ist und die durchgehenden Löcher (3) darin an den Stellen gebildet sind, die Teilen entsprechen, an denen Lotvorsprünge einer Halbleiteranordnung (8) zu bilden sind.
3. Verfahren zur Herstellung eines Lotträgers nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß man
ein Lot herstellt;
einen ätzbeständigen Überzug auf beiden Seiten einer Trägerbahn aus einem Material, das mit dem geschmolzenen Lot nicht reagiert und vom Lot kaum benetzt wird, aufbringt;
eine Mehrzahl von Öffnungen im Überzug an den Stellen bildet, wo Lotvorsprünge zu bilden sind;
durchgehende Löcher mittels Ätzens der Trägerbahn durch die Öffnungen bildet; und
die durchgehenden Löcher mit dem Lot unter Druck füllt.
4. Verfahren zur Montage einer Halbleiteranordnungen unter Verwendung eines Lotträgers nach Anspruch 1 oder 2, bei dem auf der Halbleiteranordnung vorgesehene Lotvorsprünge erhitzt und geschmolzen werden, so daß die Halbleiteranordnung mit einem Schaltungssubstrat verbunden wird, gekennzeichnet durch
Erhitzen des Lotträgers auf eine Temperatur, bei der das Lot geschmolzen wird und aufgrund der Oberflächenspannung des Lots aus den oberen Enden der durchgehenden Löcher vorquillt; und
Positionieren des Lotträgers mit den durchgehenden Löchern an den Stellen, wo die Lotvorsprünge auf der Halbleiteranordnung zu bilden sind, so daß beim Kontakt des Lots mit diesen Stellen aufgrund der Oberflächenspannung des Lots Lotkugeln gebildet werden.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Bilden der Lotkugeln an den Stellen, wo die Lotvorsprünge der Halbleiteranordnung zu bilden sind, vorab Lot vorgesehen wird.
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