DE3731168A1

DE3731168A1 - Vorrichtung zur erzeugung von kaltem plasma fuer wechselspannungsanregung im khz-bereich, vorzugsweise zur erzeugung von ozon, und verfahren zur herstellung der vorrichtung

Info

Publication number: DE3731168A1
Application number: DE19873731168
Authority: DE
Inventors: Hans-Heinrich Dr Stiehl; Juergen Dr Schweckendiek; Mehdi Panahpurian
Original assignee: SORBIOS VERFAHRENSTECH
Current assignee: Astex GmbH
Priority date: 1987-09-14
Filing date: 1987-09-14
Publication date: 1989-03-30
Anticipated expiration: 2007-09-15
Also published as: DE3731168C2

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Er zeugung von kaltem Plasma für Wechselspannungs anregung im kHz-Bereich, vorzugsweise zur Er zeugung von Ozon nach dem Oberbegriff des Haupt anspruchs und ein Verfahren zu ihrer Herstellung.

Die Ozonerzeugung nach dem Prinzip der stillen elektrischen Entladung ist seit langem bekannt und das technisch am weitesten verbreitete Verfahren zur Erzeugung von Ozon. Allgemein wird dabei eine Anordnung von zwei Elektroden verwendet, zwischen denen eine Wechselspannung angelegt wird. Bei einer hinreichend hohen Spannung tritt eine Entladung im Gasraum auf. Ein Dielektrikum dient dabei der Strombegrenzung. Die Ozon produktion pro Dielektrikumsfläche kann als Maß für die Leistungsfähigkeit eines Ozonerzeugers gewählt werden. Für die am Ozongenerator umge setzte Leistung gilt:

N_el∼C _de xf xU _Z x (U _z),

wobei N_el die umgesetzte elektrische Leistung, C _de die Kapazität des Dielektrikums, U _z die Zündspannung des Ozongenerators und U der Scheitelwert der aufgeprägten Spannung ist. Die Ozonproduktion ist durch die Energieausbeute mit der Flächenleistungsdichte verbunden zu:

P/F = (N_el x A)/ F,

wobei P der Ozonproduktion (Masse/Zeit), F der Fläche des Ozonerzeugers und A der Energie ausbeute (Masse/Energie) entspricht.

Ziel der technischen Ozonerzeugung ist einerseits eine möglichst günstige Energieausbeute, anderer seits eine hohe Produktionsdichte, wodurch kleine Bauformen erzielt werden können.

Herkömmliche Plasmareaktoren zur Erzeugung von Ozon verwenden eine durchgehende Entladungselektrode, eine Gegenelektrode und ein Dielektrikum, wobei in der Regel zwischen Entladungselektrode und Dielektrikum ein Entladungsspalt vorgesehen ist, in dem die Gasentladung und Ozonbildung stattfindet. Zugleich erfolgt der Transport des Einsatzgases durch den Gasspalt, und zwar senkrecht zur Entladung. Druck, Gasart und Spaltweite bestimmen im wesent lichen die Zündspannung. Diese Anordnung hat den Nachteil, daß das gebildete Ozon in hohem Maße erneutem Elektronenbeschuß und thermischer Zer setzung in den heißen Entladungskanälen ausge setzt ist. Zur Überwindung dieser Nachteile wurde die Spaltweite vermindert und teilweise eine Kühlung beider Elektroden vorgesehen. Letzteres ist aufwendig, da ein hochspannungs fester zweiter Kühlkreislauf aufgebaut werden muß. Fertigungstoleranzen begrenzen die weitere Verminderung der Spaltweite, obgleich grund sätzlich die Verkleinerung des Spaltes zu besserer Kühlung des Gases führt. In technischen Ozongeneratoren werden nach dem Stand der Technik Spaltweiten von 1 bis 1,5 mm realisiert, die entsprechenden Zündspannungen liegen bei 4 bis 6 kV Scheitelwert.

Die Leistung wird bei Ozongeneratoren nach dem Stand der Technik im wesentlichen durch die Spannung bestimmt. In letzter Zeit ist man bestrebt, eine Wechselspannungsanregung im Kilohertzbereich (kHz), zu verwenden, da diese Anregung deutliche Vorteile hinsichtlich der Baugröße der elektrischen Versorgung aufweist, denn beispielsweise wächst die übertragbare Leistung eines Transforma tors gegebener Größe linear mit der Übertragungs frequenz. Um bei den bekannten Ozonerzeugern eine ganzflächige Durchzündung zu erzielen, muß etwa das Eineinhalbfache der Zündspannung vorliegen. Bei gegebener hoher Frequenz führt die Leistungs dichte sofort beim gleichmäßigen Durchzünden zu thermischer Überlastung und zu hohen Ozon verlusten aufgrund der thermischen Zersetzung.

Durch die in der EP-A2-01 02 568 beschriebenen Vor richtung wird unter Anwendung eines inhomo genen Feldes versucht, die beschriebenen Nachteile zu vermeiden. Bei dieser bekannten Vorrichtung wird eine ungebrannte Keramikmasse plattenförmig geformt, wobei auf der einen Oberfläche der Platte mittels Siebdruck technik eine Wolframpuder aufweisende Paste in parallelen miteinander verbundenen Linien aufgebracht wird, die die Entladungselektroden bilden und die Unterseite der Platte wird in gleicher Technik mit einer rechteckigen Schicht, die die Gegenelektrode bilden soll, versehen. Anschließend wird die gesamte An ordnung zu einem hohlen Zylinder geformt, wobei die Gegenelektrode auf dem inneren Umfang und die Entladungselektroden auf dem äußeren Umfang liegen. Der so geformte Zylinder wird anschließend zusammen mit der Wolframpaste gesintert und gebrannt, so daß als Dielektrikum ein hohler Zylinder entsteht, auf dessen Innen- und Außenflächen in Dickschichttechnik die Elektroden angeordnet sind. Dieser Ferti gungsvorgang ist sehr aufwendig und es sind keine Rohre herstellbar, die für eine gute Kühlung ein günstiges Oberflächenvolumen verhältnis aufweisen. Die Zündspannung kann zwar niedriger gewählt werden, aber die Kühlung ist nicht ausreichend, um eine thermische Zersetzung des Ozons zu verhindern bzw. um eine hohe Konzentration der Ozonproduktion zu erzielen. Aufgrund der schlechten Kühlung wird der Wirkungsgrad herabgesetzt, da sich die Dichte des Gases verringert. Der Ver ringerung der Gasdichte könnte durch Anwendung höherer Drücke entgegengetreten werden, allerdings wird die Vorrichtung wieder aufwendiger, da sie gegen hohe Drücke abgedichtet sein muß.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Erzeugung von kaltem Plasma für Wechselspannungsanregung im mittel frequenten Bereich, vorzugsweise zur Erzeugung von Ozon gemäß dem Oberbegriff des Haupt anspruchs zu schaffen, die eine einfache Herstellung gestattet und die eine gute Kühlung ermöglicht, wodurch die Erhöhung der Konzentration und des Wirkungsgrades gewähr leistet wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Hauptanspruchs gelöst.

Dadurch, daß eine als diskretes Bauelement ausgebildete Entladungselektrode vorgesehen ist, die derart geformt ist, daß sie eng am Umfang des Dielektrikums anliegt und keine geschlossene Fläche bildet, wobei das Dielektrikum als langgestrecktes handelsübliches Rohr ausgebildet ist, dessen Länge sehr viel größer ist als sein Radius, wird einerseits ein sehr einfacher Aufbau der Vorrichtung möglich und andererseits ist die gekühlte Fläche bezogen auf das um schlossene Volumen sehr groß, so daß eine sehr gute Kühlung erzielt wird. Aufgrund der niedrigen benötigten Zündspannung kann ein breiteres Spektrum von Zündspannungen verwendet werden, wodurch weitere Entladungsbereiche erreicht werden können. Da die Vorrichtung druckunabhängig ist, kann auf besondere Dichtungsmaßnahmen verzichtet werden. Im übrigen ist der Aufbau der erfindungs gemäßen Vorrichtung sehr variabel, so daß sie an unterschiedliche Gegebenheiten ohne Schwierig keiten anpaßbar ist.

Durch die in den Unteransprüchen angegebenen Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen möglich.

Auch die Entladungselektrode kann einfach aus gebildet sein, beispielsweise kann sie als Spirale oder Wendel oder als Metallgeflecht geformt sein, wobei zur Erzielung eines engen Kontaktes mit dem Dielektrikum der Außendurch messer der Spirale bzw. des Gewebes größer als der Innendurchmesser des Dielektrikums bzw. der Innendurchmesser der Wendel kleiner als der Außendurchmesser des Rohres ist.

Vorzugsweise liegt das Verhältnis von Radius des Rohres zur Länge zwischen 1 : 50 und 1 : 400, wobei der Innenradius etwa 3 mm oder geringer ist.

Die Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische perspektivische Teilansicht eines Ausführungs beispiels der Erfindung,

Fig. 2 einen Schnitt durch die Vorrichtung nach Fig. 1,

Fig. 3 eine Ansicht auf ein weiteres Ausführungsbeispiel der Er findung,

Fig. 4 eine Zusammenschaltung von mehreren erfindungsgemäßen Vorrichtungen zu einer Einheit,

Fig. 5 ein Diagramm der Ozonkonzentration über die Flächenproduktions dichte, kennzeichnend für die Vorrichtung nach der Erfindung, und

Fig. 6 eine Ansicht eines weiteren Ausführungsbeispiels.

Die in Fig. 1 und 2 dargestellte Vorrichtung weist ein Dielektrikum 1 auf, das als lang gestrecktes Rohr ausgebildet ist. Da das Di elektrikum 1 gleichzeitig als Wärmeaustausch fläche dient und hohen elektrischen Belastungen bei der Verwendung inhomogener Felder ausge setzt ist, muß das Material elektrisch und thermisch belastbar sein. Zugleich sollte die relative Dielektrizitätskonstante möglichst hoch sein, da damit die elektrische Leistungsdichte erhöht wird und das verwendete Material eine hohe Wärmeleitfähigkeit und eine gute chemische Beständigkeit aufweisen. Hierzu eignen sich keramische Materialien, insbesondere Al₂O₃, es sind aber auch quarz- oder ferroelektrische Materialien oder Spezialglas denkbar. Das lang gestreckte Rohr weist einen Innenradius von 10 mm, vorzugsweise 3 mm oder weniger auf, wobei eine Wandstärke von 1 mm oder weniger angestrebt wird. Das Radius/Längenverhältnis liegt zwischen 1 : 50 und 1 : 400. Derartige Rohre sind ohne Spezialfertigung im Handel erhältlich. Auf die Außenfläche des Rohres 1 wird eine Gegenelektrode 2 durch ein Verfahren unabhängig vom Herstellungs prozeß des Dielektrikums 1 bei Temperaturen unter 500°C beispielsweise durch Metalldampf abscheidung oder chemische Metallisierung auf gebracht und gegebenenfalls elektrolytisch ver stärkt. Als Entladungselektrode 3 wird ein Draht verwendet, der einen Durchmesser von etwa 2 mm oder weniger, vorzugsweise 0,5 mm, aufweist und der zu einer Spirale oder Wendel gewickelt ist. Der Außendurchmesser der Spirale oder der Wendel ist größer als der Innendurch messer des als Rohr ausgebildeten Dielektrikums 1, so daß die Entladungselektrode 3, d.h. die Spirale oder Wendel, unter Spannung in das Innere des Rohres 1 eingesetzt wird. Dadurch liegt der Draht der Entladungselektrode 3 eng an der inneren Wand des Rohres 1 an und es wird ein guter Wärmeübergang ermöglicht. Der Draht der Entladungselektrode 3 ist vorzugsweise ver nickelt oder mit einer Chromnickelschicht ver sehen, damit seine Oberflächenbeschaffenheit verbessert wird. Die Steigung der Spirale bzw. Wendel liegt vorzugsweise zwischen 10 mm und der 2,5fachen Drahtstärke, beispielsweise werden bei einer Wasserkühlung Steigungen von etwa 2 bis 2,5 mm und bei einer Luftkühlung von etwa 4 bis 6 mm gewählt.

Die Bauform der Drahtwendel ist unabhängig von der vorgefertigten Bauform der übrigen Bestandteile der Vorrichtung in Drahtstärke, Steigung, Material und Oberflächenveredelung angepaßt an den Plasmaprozeß veränderbar.

Das Dielektrikum mit der Gegenelektrode 2 werden von einem Außenrohr 4 umgriffen, wobei zwischen dem Raum zwischen Gegenelektrode 2 und Außenrohr 4 ein Kühlmedium 5 hindurchge leitet wird.

Die Entladungselektrode 3 und die Gegenelektrode 2 werden mit einer Hochspannungsversorgung verbunden, wobei die Zündspannung in der Größenordnung von 0,8 kV liegen kann. Der Reaktionsraum, durch den das Anregungsgas geführt wird, liegt im Inneren des rohrförmigen Dielektrikums 1 und wird somit in seinem Quer schnitt voll von der Kühlung umschlossen. Da der Radius sehr klein ist im Verhältnis zur Länge des Rohres, wird eine maximale Kühlfläche pro umschlossenes Volumen zur Verfügung gestellt.

In dem beschriebenen Ausführungsbeispiel wird als Entladungselektrode 3 eine Spirale oder Wendel verwendet. Selbstverständlich können auch andere Bauformen verwandt werden, wobei darauf zu achten ist, daß sich keine geschlossene Fläche ergibt. Beispielsweise kann ein Metall gewebe, Streckmetall oder ein Metallnetz unter Spannung in das rohrförmige Dielektrikum ein gebracht werden.

Die Gegenelektrode ist nach Fig. 1 und 2 als aufgedampfte Metallschicht ausgebildet. Sie kann aber auch bei der beschriebenen Konfiguration durch das Kühlmedium 5, beispielsweise Wasser, gebildet werden, wobei allerdings Voraus setzung ist, daß das Kühlmedium leitfähig ist. Die Leitfähigkeit kann zusätzlich durch An bringen eines metallischen Leiters erhöht werden.

In Fig. 3 ist ein Ausführungsbeispiel darge stellt, bei dem eine Luftkühlung verwendet wird. Die Entladungselektrode 3 ist rechts im nicht eingebauten Zustand angedeutet. Auf der metallisierten Gegenelektrode 3 sitzen in diesem Ausführungsbeispiel Kühlkörper 6, wie sie in der Elektrotechnik bekannt sind, beispielsweise sternförmige Kühlkörper für Transistoren oder geschlitzte Aluminiumbänder. Diese Kühlkörper 6 sind über die gesamte Länge des rohrförmigen Dielektrikums 1 mit Abstand zueinander verteilt.

Vorteilhafterweise ist in den beschriebenen Ausführungsbeispielen die Entladungselektrode 3 im Innenraum des rohrförmigen Dielektrikums 1 angeordnet. Es ist aber auch denkbar (Fig. 6), daß die Gegenelektrode 2 auf den Innenumfang des rohrförmigen Dielektrikums 1 aufgebracht wird, während die Entladungselektrode 3 außen unter Spannung aufgesetzt wird, wobei die Spannung dadurch erreicht wird, daß der Innen durchmesser der Entladungselektrode 3 kleiner ist als der Außendurchmesser des rohrförmigen Dielektrikums 1 oder die gesamte Anordnung mit aufgesetzter Entladungselektrode thermisch nachbehandelt wird. Mit etwa erhöhtem Aufwand als die Ausführungsbeispiele nach Fig. 1 bis 3 kann diese Ausführungsform innen und außen gekühlt werden.

In der Fig. 4 ist eine Zusammenschaltung mehrerer Module gemäß Fig. 1 bis 3 zu einer Einheit höherer Leistung gezeigt. Die langgestreckten rohrförmigen Module 7 liegen parallel zueinander und werden an den Enden durch Halterungen 8 in dichtem Abschluß gegen außen gehalten, wobei in den Halterungen die Module 7 miteinander verbunden sind. Die Halterungen 8 nehmen gleich zeitig die Hochspannungsversorgung auf und weisen Anschlüsse 9 für die Zu- bzw. Abfuhr des Anregungsgases auf. Weiterhin sind Anschluß elemente 10 für das Kühlmedium vorgesehen, d.h. die Außenrohre 4 sind über die Anschlußelemente, die nahe an den Enden der Module liegen, mit einander verbunden. Die Anschlußelemente sind mit jeweils einem Stutzen 11 für den Einlaß bzw. Auslaß des Kühlmediums versehen. Bei Ver wendung von Rohren gemäß der Erfindung mit den angegebenen Durchmesser/Längenverhältnissen läßt sich eine besonders günstige Kühlung durch hohe Wandgeschwindigkeit des Kühlmittels in dem schmalen Ringspalt bei geringem Kühlmittel bedarf realisieren.

Fig. 5 zeigt ein charakteristisches Leistungs diagramm für eine Anordnung gemäß den Fig. 1 bis 3, wobei die Ozonkonzentration in g/m³ über die Flächenproduktionsdichte P/F in g/(m²×h) aufgetragen ist. Daraus ist zu erkennen, daß eine sehr hohe Ozonkonzentration allerdings bei einer etwas geringeren Flächenproduktions dichte erzielt wird.

In dem Ausführungsbeispiel ist das Dielektrikum als Rohr mit rundem Querschnitt ausgebildet. Selbstverständlich sind auch andere Querschnitte denkbar. So kann das Rohr einen viereckigen, dreieckigen oder vieleckigen Querschnitt haben. Ein anderes Ausführungsbeispiel liegt darin, daß das Dielektrikum auf der der Entladungs elektrode zugewandten Seite eine in Längsrichtung rippenartige Struktur aufweist, so daß die Entladungselektrode an mindestens drei Stellen am Umfang aufliegt. Dabei sind die Abstände an den Stellen, an denen die Elektrode nicht aufliegt, sehr viel geringer als der Innen durchmesser des Rohres.

Claims

1. Vorrichtung zur Erzeugung von kaltem Plasma für Wechselspannungsanregung im kHz-Bereich, vorzugsweise zur Erzeugung von Ozon, mit einem als rohrförmig ausgebildeten Dielektri kum, mindestens einer an der Rohrwand angeordneten Entladungselektrode und einer Gegenelektrode, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladungselektrode (3) ein diskretes Bauelement ist und eng am Umfang des Dielektrikums (1) anliegt und keine ge schlossene Fläche bildet, und daß das Dielektrikum (1) als langgestrecktes Rohr ausgebildet ist, dessen Länge sehr viel größer als seine Querschnittsabmessungen sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß bei rohrförmigem Dielektrikum (1) mit rundem Querschnitt das Verhältnis von Innenradius zur Länge zwischen 1 : 50 und 1 : 400 liegt, wobei der Innenradius 10 mm, vorzugsweise 3 mm oder geringer ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladungselektrode (3) als Drahtwendel ausgebildet ist.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichnet, daß der Draht der Entladungselektrode (3) einen Durchmesser von 2 mm oder weniger, vorzugsweise 0,5 mm aufweist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Bauform der Draht wendel unabhängig von der vorgefertigen Bauform der übrigen Bestandteile der Vor richtung in Drahtstärke, Steigung, Material und Oberflächenveredelung angepaßt an den Plasmaprozeß veränderbar ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, daß die Steigung der Drahtwendel zwischen 10 mm und der 2,5fachen Drahtstärke liegt.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladungselektrode (3) als Metallgewebe, Streckmetall oder Metallnetz ausgebildet ist.

8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladungs elektrode (3) am Innenumfang des rohr förmigen Dielektrikums (1) angeordnet ist und im nicht eingebauten Zustand einen Außendurchmesser aufweist, der größer als der Innendurchmesser des rohrförmigen Di elektrikums ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladungs elektrode (3) auf dem Außenumfang des rohr förmigen Dielektrikums (1) sitzt und im nicht eingebauten Zustand einen Innendurch messer besitzt, der kleiner als der Außen durchmesser des rohrförmigen Dielektrikums (1) ist.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Gegenelektrode (2) unabhängig vom Herstellungsprozeß des Dielektrikums (1) auf der der Anlagefläche der Entladungselektrode (3) entgegengesetzten Umfangsfläche des rohrförmigen Dielektrikums (1) als durchgehende Metallschicht ausge bildet ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das rohr förmige Dielektrikum (1) an der der Anlage fläche der Entladungselektrode (3) entgegen gesetzten Umfangsfläche durch ein Kühlmedium direkt gekühlt wird.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekenn zeichnet, daß das Kühlmedium elektrisch leitend ist und die Gegenelektrode bildet, wobei durch Vorsehen eines metallischen Leiters im Kühlmedium oder an der Grenzfläche zwischen Kühlmedium und Dielektrikum die Leitfähigkeit erhöhbar ist.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekenn zeichnet, daß das Kühlmedium Luft ist und daß auf der Oberfläche der die Gegenelektrode (2) bildenden Metallschicht Kühlkörper (6) angeordnet sind.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß das rohrförmige Dielektrikum aus einem Material relativ großer Dielektrizitätskonstante, hoher Wärme leitfähigkeit und hoher Spannungsfestigkeit besteht.

15. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekenn zeichnet, daß das Material Keramik, Quarz oder Spezialglas ist.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Entladungs elektrode (3) aus Edelstahl, Nickel oder Kupfer besteht und die Oberfläche angepaßt an den Plasmaprozeß veredelbar ist.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß mehrere lang gestreckte rohrförmige Dielektrika (1) mit Entladungselektrode (3) und Gegenelektrode (2) parallel zueinander in einer Halterung (8) miteinander verbunden angeordnet sind, wobei die Halterung (8) die Hochspannungs versorgung und Anschlüsse (9) zur Zu- bzw. Abführung des Anregungsgases aufweist.

18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekenn zeichnet, daß die rohrförmigen Dielektrika (1) mit einem Außenrohr (4) versehen sind, wobei zwischen rohrförmigem Dielektrikum (1) und Gegenelektrode (2) und Außenrohr (4) ein Kühlmedium aufgenommen ist und daß die Enden der Außenrohre (4) jeweils in einem Anschluß element (10) aufgenommen und miteinander verbunden sind, durch das das Kühlmedium zu- bzw. abgeführt wird.

19. Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein langgestrecktes Rohr aus dielektrischem Material, vorzugsweise ein gezogenes Rohr aus Keramik, durch ein Verfahren unabhängig vom Herstellungsprozeß des Dielektrikums bei vergleichsweise geringen Temperaturen von kleiner als 500°C innen oder außen metallisiert und gegebenenfalls elektro lytisch verstärkt wird und daß eine vorge fertigte wendel-, netz- oder gewebeartige Entladungselektrode (3) eng anliegend in oder auf das Rohr gesetzt wird.

20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekenn zeichnet, daß das die Gegenelektrode mittels physikalischer Dampfabscheidung oder chemischer Metallisierung auf das Dielektrikum aufge bracht wird.

21. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, daß das Dielektrikum auf der der Entladungselektrode zugewandten Seite in Längsrichtung eine rippenartige Struktur derart aufweist, daß die Entladungs elektrode an mindestens drei Stellen am Umfang aufliegt und die Abstände an den Stellen, an denen die Entladungselektrode nicht auf liegt, sehr viel geringer sind als der Innendurchmesser des Rohres.