DE3641862A1 - Vorrichtung zur pruefung rotationssymmetrischer werkstuecke - Google Patents

Description

Stand der Technik

Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung zur Prüfung von rota­ tionssymmetrischen Werkstücken, insbesondere Dichtringen mit kreis­ förmigem Querschnitt, sogenannten O-Ringen, nach der Gattung des Hauptanspruchs. Fehler an O-Ringen können sein Geometriefehler an der Trennfuge, z.B. Schrumpfriß, Kerben längs der Trennfuge, vor­ stehender Grat, zu starkes Entgraten, und Geometriefehler ohne Vor­ zugslage, z.B. Fehlstellen durch nichtausgefüllte Form, durch Abla­ gerungen in der Form, durch Einschluß von Fremdmaterial, Fließmar­ ken, Risse, sowie sonstige Fehler, z.B. zu rauhe Oberfläche, Ein­ schluß von Fremdmaterial ohne Geometrieänderung (Farbänderung). Um die gewünschte Qualität der O-Ringe bezüglich Fehlerfreiheit zu er­ langen, wird bisher eine ein- oder mehrmalige 100%ige manuelle Sichtprüfung nach Grenzmustern durchgeführt. Diese Prüftechnik hat den Nachteil, daß durch die menschlichen Unzulänglichkeiten keine 100%ige Fehlerfreiheit zu erreichen ist und außerdem die Prüfkosten an diesem Teil sehr hoch sind. Ein O-Ringprüfgerät, das eine auto­ matische O-Ringprüfung vornehmen könnte, ist bislang nicht bekannt­ geworden.

Aus der DE-OS 32 32 885 ist eine Vorrichtung zur automatischen Prü­ fung von Oberflächen bekannt. Es ist eine Strahlungsquelle vorge­ sehen, deren fokussierte Strahlung über eine Werkstückoberfläche ge­ führt wird, wobei die von der Oberfläche zurückgeworfene Strahlung nach bestimmten Kriterien für die Oberflächenbeschaffenheit ausge­ wertet wird. Die zurückgeworfene Strahlung trifft einerseits auf ei­ nen Strahlungsempfänger im Hellfeld und andererseits auf eine Mehr­ zahl in der gleichen Ebene um den Hellfelddetektor herum angeordne­ ter Strahlungsdetektoren, die die gesamte Winkelverteilung der im Dunkelfeld von der Werkstückoberfläche zurückgestreuten Strahlung nach Betrag und Richtung erfassen. Schäden auf der Werkstückober­ fläche verändern die im Dunkelfeld oder Hellfeld reflektierte Strah­ lung. Die bekannte Vorrichtung eignet sich jedoch nicht zur Prüfung von O-Ringen, da beispielsweise der Fehler, der lediglich eine Farb­ änderung durch Einschluß von Fremdmaterial in der O-Ringoberfläche ohne Geometrieänderung bewirkt, nicht detektiert wird.

Vorteile der Erfindung

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zur Prüfung von rotationssymme­ trischen Werkstücken, insbesondere Dichtringen mit kreisförmigem Querschnitt, sogenannte O-Ringe, weist den Vorteil auf, daß alle an­ gegebenen Fehler, insbesondere auch Fremdeinschlüsse ohne Geometrie­ änderung, detektierbar sind. Es ist eine Strahlungsquelle vorge­ sehen, die eine im optischen Frequenzbereich liegende Strahlung vor­ gegebener Frequenz emittiert. Ein Teil von der zu prüfenden Ober­ fläche des Werkstücks reflektierten Strahlung ist auf einen Strah­ lungsdetektor gerichtet, der ein zur Bestrahlungstärke proportiona­ les Ausgangssignal an eine Auswerteeinrichtung abgibt. Die Richtung der von dem zu prüfenden Werkstück reflektierten Strahlung wird von gleichen oder von einem weiteren Strahlungsdetektor erfaßt, der ein vom Auftreffort der Strahlung auf dem Detektor abhängiges Signal an die Auswerteeinrichtung liefert. Eine Farbabweichung oder ein Geo­ metriefehler wird in der Auswerteeinrichtung durch Vergleich der er­ faßten Meßwerte mit gespeicherten Vergleichswerten erkannt.

Durch die in den Unteransprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vor­ teilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im Hauptanspruch angegebenen Vorrichtung möglich. Vorteilhaft ist es, wenn das Werk­ stück auf einer Abwälzvorrichtung aufgespannt ist, die einen dreh­ baren Aufspanndorn sowie einen Schieber zum Abwälzen des Werkstücks auf dem Dorn umfaßt. Eine Verbesserung der Farbdetektion ergibt sich, wenn zwei Strahlungsquellen vorgesehen sind, die zwei im op­ tischen Bereich liegende Strahlungen vorgebbarer unterschiedlicher Frequenz emittieren. Es ist Detektor vorgesehen, der an eine Auswer­ teeinrichtung ein Signal abgibt, das proportional zur Intensität der vom zu prüfenden Werkstück reflektierten Strahlung mit der einen Frequenz ist und es ist ein weiterer Detektor vorgesehen, der an die Auswerteeinrichtung ein Signal abgibt, das proportional zur Inten­ sität der vom zu prüfenden Werkstück reflektierten Strahlung mit der anderen Frequenz ist. Mit den Ausgangssignalen der beiden farbselek­ tiven Detektoren ist eine Farbkontrastmessung möglich.

Als Strahlungsquellen eignen sich insbesondere Halbleiterlaser, de­ ren Ausgangsleistung steuerbar ist. In kostenempfindlichen Anlagen können jedoch auch beispielsweise Halogenlampen Verwendung finden, aus deren breitbandigem Emissionsspektrum gegebenenfalls mit Farb­ durchlaßfilter die gewünschten Strahlungsanteile herausgesucht wer­ den können.

Eine Leistungsregelung der Strahlungsquellen bringt den Vorteil mit sich, daß starke Intensitätsschwankungen an den Strahlungsdetektoren verursacht durch eine stark unterschiedlich reflektierende Werk­ stückoberfläche, auf leicht handhabbare Werte reduziert werden kön­ nen.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung verwendet als optisches Meßverfah­ ren das Lichtschnittprinzip, das alle Anforderungen an Erkennung und Vermessung der zu erwartenden Werkstückdefekte erfüllt. Beim Licht­ schnittverfahren wird ein Lichtstrahl oder ein Lichtband schräg, vor­ zugsweise mit einem Winkel von kleiner oder gleich 45° zur Ober­ flächennormalen, auf das zu prüfende Werkstück projiziert. In der vom zu prüfenden Werkstück reflektierten Strahlung ist die Profil­ kurve der Oberfläche enthalten. Der Neigungswinkel zwischen der ein­ fallenden Strahlung und der Flächennormalen vergrößert das Auflö­ sungsvermögen der Vorrichtung durch eine Überhöhung der Profillinie. In den Grenzen der Schärfentiefe der eingesetzten Objektive redu­ ziert das Lichtschnittverfahren eine dreidimensionale Geometrie ein­ deutig in eine zweidimensionale Abbildung, sequentiell für die vom Lichtstrahl gerade beleuchtete Werkstückfläche. Somit kann ab­ schnittsweise die gesamte Oberfläche eines Werkstücks geprüft wer­ den. Damit das erfaßbare Flächenstück des Werkstücks, eine bestimmte Größe nicht unterschreitet, ohne daß das Werkstück mit der Abwälz­ vorrichtung bewegt werden müßte, ist wenigstens ein erster beweg­ barer Spiegel vorgesehen, mit dem die einfallende Strahlung zeilen­ förmig oder mit einem anderen Muster über den zu prüfenden O-Ring geführt wird. Gegebenenfalls ist im Strahlengang der reflektierten Strahlung ein weiterer drehbarer Spiegel angeordnet, der eine Anpas­ sung der Auslenkung der reflektierten Strahlung an die begrenzten Strahlungsdetektorflächen ermöglicht.

Weitere Einzelheiten und vorteilhafte Weiterbildungen der erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung ergeben sich aus weiteren Unteransprüchen in Verbindung mit der folgenden Beschreibung.

Zeichnung

Fig. 1 zeigt einen Aufbau einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und Fig. 2 zeigt eine Lichtschnittanordnung im Bereich eines zu prüfen­ den O-Rings gemäß der Schnittlinie II-II′ aus Fig. 1.

Beschreibung des Ausführungsbeispiels

Fig. 1 zeigt eine erste und eine zweite Strahlungsquelle 10, 11. Die von der zweiten Strahlungsquelle 11 emittierte Strahlung 12 wird mit einem Umlenkspiegel 13 und einem Strahlteiler 14 mit der von der ersten Strahlungsquelle 10 emittierten Strahlung 15 zu einen Licht­ strahl 16 vereinigt. Der Begriff "Licht" soll keine Einschränkung des Frequenzbereiches der von den beiden Strahlungquellen 10, 11 emittierten optischen Strahlungen 12, 15 auf den sichtbaren Teil des optischen Frequenzbereiches darstellen. Unter dem Begriff "op­ tischer Frequenzbereich" wird der Frequenzbereich der Ultraviolett-, der sichtbaren und der Infrarotstrahlung verstanden. Die beiden op­ tischen Strahlungen 12, 15 weisen jeweils eine vorgegebene Frequenz auf. Vorteilhaft werden für die beiden Strahlungsquellen 10, 11 Laser verwendet, die eine Strahlung der gewünschten Frequenz emit­ tieren.

Besonders geeignet sind Halbleiterlaser, da sich deren Ausgangslei­ stung über eine Ansteuerschaltung 17 leicht steuern läßt. Als preis­ günstige Alternative zu Lasern können auch thermische Strahler, insbesondere Halogenlampen, verwendet werden. Von der von den ther­ mischen Strahlern abgegebenen breitbandigen Strahlung wird mit Hilfe von einem ersten und zweiten Farbdurchlaßfilter 18, 19 der gewünsch­ te Spektralanteil durchgelassen.

Der Lichtstrahl 16 gelangt über eine strahlformende Einrichtung 20 und über einen drehbaren Umlenkspiegel 21 sowie über eine als Sam­ mellinse 22 ausgeführte Abbildungsoptik als einfallende Strahlung 25 scharf gebündelt auf ein zu prüfendes Werkstück 24. Das Werkstück weist eine rotationssymmetrische Form auf. Solche Werkstücke sind beispielsweise Dichtringe mit kreisförmigem Querschnitt, die als O-Ringe bezeichnet werden. In der weiteren Beschreibung wird die er­ findungsgemäße Vorrichtung anhand der Prüfung von O-Ringen beschrie­ ben. Die von einem Oberflächensegment 29 des O-Rings 24 reflektierte Strahlung 30 gelangt über eine Abbildungsoptik 31, die vorzugsweise als Sammellinse ausgebildet ist, und über einen zweiten drehbaren Spiegel 32 auf eine Sensoranordnung 33. Die Sensoranordnung 33 um­ faßt einen ersten Strahlungsdetektor 34, der ein Ausgangssignal an eine Auswerteeinrichtung 35 abgibt, das von dem Auftreffort der re­ flektierten Strahlung 30 auf einer aktiven Oberfläche 36 des ersten Sensors 34 abhängt. Die reflektierte Strahlung 30 wird mit einer Sammellinse 37 auf die Oberfläche 36 des ersten Sensors 34 abgebil­ det. Im Strahlengang zwischen dem zweiten drehbaren Spiegel 32 und der Sammellinse 37 sind zwei Strahlteiler 38, 39 angeordnet, die ei­ nen Teil der reflektierten Strahlung 30 auskoppeln. Die vom ersten Strahlteiler 38 ausgekoppelte Strahlung 40 gelangt über einen Um­ lenkspiegel 41 und über ein drittes Farbdurchlaßfilter 42 auf eine Sammellinse 43, die die ausgekoppelte Strahlung 40 auf einen zweiten Strahlungsdetektor 44 abbildet, der ein Ausgangssignal an die Aus­ werteeinrichtung 35 abgibt, das proportional zu seiner Bestrahlungs­ stärke ist. Die vom zweiten Strahlteiler 39 ausgekoppelte Strahlung 45 gelangt über einen weiteren Umlenkspiegel 46 und über ein viertes Farbdurchlaßfilter 47 auf eine Sammellinse 48, die die ausgekoppelte Strahlung 45 auf einen dritten Strahlungssensor 49 abbildet, der ein Ausgangssignal an die Auswerteeinrichtung 35 abgibt, das proportio­ nal zu seiner Bestrahlungsstärke ist.

Die Auswerteeinrichtung liefert Ausgangsssignale an drei Stellein­ richtungen 50, 51, 52. Die erste Stelleinrichtung 50 bewegt den er­ sten drehbaren Spiegel 21 und die zweite Stelleinrichtung 51 bewegt den zweiten drehbaren Spiegel 32. Beide drehbaren Spiegel 21, 32 werden um eine auf der Zeichnungsebene der Fig. 1 senkrecht stehen­ de Achse in die beiden angegebenen Pfeilrichtungen 53, 54 gedreht. Die dritte Stelleinrichtung 52 bewegt eine Abwälzvorrichtung, die einen um seine Achse 26 drehbaren Aufspanndorn 25 und einen parallel zur Achse 26 des Dorns 25 bewegbaren Schieber 27 umfaßt. Die Paral­ lelbewegungsrichtung trägt das Bezugszeichen 28.

Weiterhin gibt die Auswerteeinrichtung 35 Signale an die Steuer­ schaltung 17 ab, die die Strahlungsleistung der beiden Strahlungs­ quellen 10, 11 steuert.

Ferner ist die Auswerteeinrichtung 35 mit einer Aus- und Eingabeein­ heit 56 verbunden, die einerseits für die Eingabe von Daten und Be­ fehle für die Auswerteinrichtung 35 und andererseits für eine Aus­ gabe der von der Auswerteeinrichtung 35 ermittelten Meßwerte des zu prüfenden O-Rings 24 vorgesehen ist.

Fig. 2 ist ein Detailbild gemäß der in Fig. 1 eingezeichneten Schnittlinie II-II′, das die einfallende und reflektierte Strahlung 23, 30 zwischen den beiden Sammellinsen 22, 31 im Bereich des Werk­ stücks 24 zeigt. Die in den Fig. 1 und 2 übereinstimmenden Teile sind jeweils mit den gleichen Bezugszeichen eingetragen. Die einfal­ lende Strahlung 23 bildet mit der Flächennormalen 59 auf dem Ober­ flächensegment 29 des Werkstücks 24 einen Einfallswinkel 57. Die von der Oberfläche 23 reflektierte Strahlung 30 bildet mit der Flächen­ normalen 59 einen Ausfallswinkel 58.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung arbeitet folgendermaßen:

Der Lichtstrahl 16 wird mit dem ersten drehbaren Spiegel 21 zeilen­ förmig oder mit einem beliebigen anderen Muster über das Ober­ flächensegment 29 des Werkstücks 24, beispielsweise eines O-Rings geführt. Die einfallende Strahlung 23 bildet mit der Flächennormalen 59 des Segments 29 einen Einfallswinkel 57, der vorzugsweise kleiner oder gleich 45° ist. Die vom Segment 29 reflektierte Strahlung 30 weist während des Abtastens eine Ortsänderung auf, die die Profil­ linie der O-Ringoberfläche wiedergibt. Wird der Einfallswinkel 57 etwa 45° gewählt, so ist der Ausfallswinkel 58 ebenfalls etwa 45° und die entstehende Profilkurve erscheint im Verhältnis Wurzel 2 : 1 überhöht. Dieses Meßverfahren ist als Lichtschnittverfahren in der optischen Oberflächenprüftechnik seit langer Zeit bekannt (K. Räntsch: Die Optik in der Feinmeßtechnik, München, Hanser, 1949).

Die reflektierte Strahlung 30 gelangt auf die aktive Fläche 36 des ersten Strahlungssensors 34. Da der Auftreffpunkt der einfallenden Strahlung 23 auf dem zu prüfenden O-Ring 24 jederzeit bekannt ist, ist auch der Auftreffpunkt der reflektierten Strahlung 30 auf dem ersten Sensor 34, unter der Voraussetzung einer störungsfreien Fläche 29, zu jedem Zeitpunkt durch optische Abbildungsbeziehungen gegeben. Eine Abweichung der Position wird von der Auswerteeinrich­ tung 35 durch Vergleich mit einem "Gut"-Muster festgestellt und wei­ terverarbeitet. Es erfolgt dann beispielsweise das Aufstellen einer Statistik und/oder eine Ausgabe über die Ein- und Ausgabeeinheit 56.

Das erfaßbare Oberflächensegment 29, ohne den O-Ring zu bewegen, hängt von den maximal möglichen Auslenkungen der beiden drehbaren Spiegel 21, 32 und von der Fläche der Detektoren 34, 44, 49 ab. Eine Ortsänderung der reflektierten Strahlung 30 auf dem ersten Sensor 34, bedingt durch die Bewegung des ersten drehbaren Spiegels 21, wird bei der Auswertung in der Auswerteeinrichtung 35 automatisch berücksichtigt. Ab einer bestimmten Stellung des ersten drehbaren Spiegels 21 trifft die reflektierte Strahlung nicht mehr auf die aktive Fläche 36 des ersten Sensors 34. Eine Meßbereichserweiterung ist dann durch den zweiten drehbaren Spiegel 32 möglich. Wenigstens bei größeren Auslenkungen durch den ersten drehbaren Spiegel 21 wird die reflektierte Strahlung 30 durch den zweiten drehbaren Spiegel 32 derart nachgeführt, daß sie stets auf die aktive Oberfläche 36 des ersten Sensors 34 fällt. Da auch der zweite drehbare Spiegel 32 über die zweite Stelleinrichtung 51 von der Auswerteeinrichtung 35 ge­ steuert wird, ist die Stellung des zweiten drehbaren Spiegels 32 jederzeit in der Auswerteeinrichtung 35 bekannt und kann bei der Auswertung des Meßergebnisses berücksichtigt werden.

Die vollständige Oberfläche des O-Rings 24 kann mit einem Abtastvor­ gang nicht erfaßt werden. Deshalb wird der auf den Dorn 25 aufge­ spannte O-Ring 24 um seine Achse 26 von der Stelleinrichtung 52 ge­ dreht. Zusätzlich betätigt die Stelleinrichtung 52 den parallel zur O-Ringachse 26 bewegbaren Schieber 27, der entweder auf die eine oder die andere O-Ringauflagefläche eine Druckkraft ausübt, die ein Abwälzen des O-Rings 24 auf dem Dorn 25 zur Folge hat.

Ein Teil der reflektierten Strahlung 30 wird von dem Strahlteiler 38 ausgekoppelt und auf den zweiten Strahlungssensor 44 abgebildet. Auf den zweiten Sensor gelangen jedoch nur die Strahlungsanteile, die das dritte Farbdurchlaßfilter 42, das auf eine der beiden emittier­ ten Strahlungen 12, 15 abgestimmt ist, passieren läßt. Ein Teil der reflektierten Strahlung 30 wird weiterhin mit dem Strahlteiler 39 ausgeblendet, die auf den dritten Strahlungssensor 49 abgebildet wird. Auf den dritten Sensor 49 können nur diejenigen Strahlungsan­ teile treffen, die das vierte Farbdurchlaßfilter 47, das auf die an­ dere der beiden emittierten Strahlungen 12, 15 abgestimmt ist, pas­ sieren läßt. Da der zweite und dritte Sensor 44, 49 jeweils ein Aus­ gangssignal an die Auswerteeinrichtung 35 abgeben, das proportional zur Bestrahlungsstärke ist, wird mit diesen beiden Sensoren 44, 49 eine Änderung der Intensität der beiden Strahlungsanteile 12, 15 in der reflektierten Strahlung 30 detektiert. Eine Ortsänderung der re­ flektierten Strahlung 30 auf den Oberflächen der beiden Sensoren 44, 49 hat keine Auswirkung auf das Meßergebnis, solange der Ober­ flächenbereich nicht verlassen wird, in dem das Ausgangssignal pro­ portional zur Bestrahlungsstärke ist. Eine Intensitätsänderung der einen oder der anderen oder beider Strahlungsanteile 12, 15 deutet auf eine frequenzabhängige Reflexion auf dem zu prüfenden O-Ring 24 hin, wenn gleichzeitig keine Positionsveränderung vom ersten Sensor 34 detektiert wird. Aus der festgestellten relativen Änderung der Ausgangssignale entweder des zweiten Sensors 44 oder des dritten Sensors 49 oder einer relativen Änderung des Verhältnisses beider Signale zueinander kann auf eine Farbänderung des geprüften Ober­ flächensegments 29 geschlossen werden. Durch einen Einspeicherungs­ vorgang vor Beginn der eigentlichen Messung in die Auswerteeinrich­ tung 35 von bekannten Farbänderungen läßt sich eine quantitative An­ gabe von Farbänderungen, beispielsweise als Änderungen der Farbko­ ordinaten im Farbendreieck, über die Ein- und Ausgabevorrichtung 56 anzeigen. Ein anderes Auswerteverfahren stellt eine Nachbarschafts­ analyse dar, bei der die Positions- und Farbabweichung der reflek­ tierten Strahlung 30 von einem Abtastpunkt auf dem Segment 29 zum nächsten erfaßt und bewertet sowie mit gespeicherten Referenzwerten verglichen werden.

Eine Farbänderung entsteht insbesondere durch Fremdmaterialein­ schlüsse im O-Ring 24. Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung können derartige Fehler detektiert und angezeigt werden.

Eine vereinfachte Ausführung der Vorrichtung gemäß Fig. 1 ist ge­ geben, wenn anstelle der beiden Strahlungsquellen 10, 11 lediglich eine Strahlungsquelle vorgesehen ist. Die Sensoranordnung 33 enthält den ersten Strahlungssensor 34, der die Positionsdetektierung der reflektierten Strahlung 30 vornimmt und einen weiteren Strahlungs­ sensor, der die Bestrahlungsstärke mißt. In dieser Anordnung wird keines der Farbfilter 18, 19, 42, 47 benötigt. Eine Farbänderung in der Oberfläche des Werkstücks 24 führt zu einer Änderung der Inten­ sität der reflektierten Strahlung 30. Detektiert der erste Sensor 34 keine Positionsänderung und ändert sich gleichzeitig die Intensität der reflektierten Strahlung 30, so kann wenigstens qualitativ auf eine Farbänderung in der Werkstückoberfläche geschlossen werden.

Eine weitere Vereinfachungsmöglichkeit der Vorrichtung mit einer Strahlungsquelle ist gegeben durch Verwendung lediglich eines einzi­ gen Strahlungssensors. Dieser Sensor detektiert gleichzeitig sowohl den Auftreffort der reflektierten Strahlung 30 auf dem Sensor als auch die Intensität. Geeignet sind alle Arten von ein- oder zweidi­ mensionalen Multisensoranordnungen. Vorzugsweise kommen Fotodioden­ zeilen zur Anwendung.

In einer weiteren Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung können mehr als zwei Strahlungsquellen vorgesehen sein, wobei alle Strahlungsquellen eine Strahlung im optischen Frequenzbereich mit voneinander verschiedenen Frequenzen emittieren. Die Sensoranordnung 33 enthält dann weitere Auskopplungspfade 40, 45 für die reflektier­ te Strahlung 30, die zu farbselektiven Strahlungssensoren 42, 44 bzw. 47, 49 führen. Mit dieser Anordnung läßt sich eine noch genaue­ re Farbanalyse durchführen.

Claims (18)

1. Vorrichtung zur Prüfung von rotationssymmetrischen Werkstücken, insbesondere Dichtringen mit kreisförmigem Querschnitt, sogenannten O-Ringen, auf Oberflächenfehler, dadurch gekennzeichnet, daß wenig­ stens eine Strahlungsquelle (10, 11) vorgesehen ist, deren Strahlung (12, 15) auf die Oberfläche (29) eines zu prüfenden Werkstücks (24) gerichtet ist, wobei zwischen Strahlungsquelle (10, 11) und Werk­ stücks (24) Abbildungs- und Strahlformungsmittel (20, 22) vorgesehen sind, und daß eine Strahlungssensoranordnung (33) vorgesehen ist, die wenigstens einen Sensor (34, 44, 49) aufweist, der ein Ausgangs­ signal an eine Auswerteeinrichtung (35) abgibt, das proportional zur Bestrahlungsstärke ist und das vom Auftreffort der Strahlung auf der Sensoroberfläche (36) abhängt, wobei zwischen Werkstück (24) und Sensor (34, 44, 49) Abbildungsmittel (31, 37, 43, 48) vorgesehen sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sen­ soranordnung (33) wenigstens einen Strahlungssensor (34) aufweist, der ein Ausgangssignal in Abhängigkeit von dem Auftreffort der ein­ fallenden Strahlung (30) auf der Oberfläche (36) des Sensors (31) abgibt und daß wenigstens ein weiterer Sensor (44, 49) vorgesehen ist, der ein Ausgangssignal abgibt, das proportional zur Bestrah­ lungsstärke des Sensors (44, 49) ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei Strahlungsquellen (10, 11) vorgesehen sind, die vor­ gegebene unterschiedliche im optischen Spektralbereich liegende Strahlungen abgeben.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Sen­ soranordnung (33) wenigstens einen ersten Strahlungssensor (34) um­ faßt, der ein Signal in Abhängigkeit von dem Auftreffort der reflek­ tierten Strahlung (30) auf der Oberfläche (36) des ersten Sensors (34) abgibt und daß wenigstens zwei weitere Sensoren (44, 49) vorge­ sehen sind, die ein Ausgangssignal in Abhängigkeit von der Bestrah­ lungsstärke abgeben, wobei vor dem zweiten und dritten Sensor (44, 49) jeweils ein Farbdurchlaßfilter (42, 47) angeordnet ist, wobei der Durchlaßbereich des ersten Farbdurchlaßfilters (42) auf die von der ersten Strahlungsquelle (10) emittierten Strahlung (15) und das zweite Farbdurchlaßfilter (47) auf die von der zweiten Strahlungs­ quelle (11) emittierten Strahlung abgestimmt ist.

5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zur vollständigen Erfassung der Werkstückober­ fläche eine Abwälzvorrichtung (25, 27, 52) vorgesehen ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Ab­ wälzeinrichtung wenigstens einen um die Werkstückachse (26) drehba­ ren Dorn (25) und einen parallel zur Achse (26) bewegbaren Schieber (27) umfaßt, wobei zur Drehung des Dorns (25) und zur Ausführung der Bewegung (28) des Schiebers (27) eine von der Auswerteeinrichtung (35) gesteuerte Stelleinrichtung (52) vorgesehen ist.

7. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Strahlungsquelle (10, 11) ein Laser ist.

8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Strahlungsquelle (10, 11) ein Halbleiterlaser ist.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Strahlungsquelle (10, 11) ein thermischer Strahler ist und daß vor der Strahlungsquelle (10, 11) wenigstens ein Farb­ durchlaßfilter (18, 19) angeordnet ist, das einen vorgegebenen Fre­ quenzbereich der Strahlung (12, 15) passieren läßt.

10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die thermische Strahlungsquelle (10, 11) eine Halogenlampe ist.

11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß eine Steuerschaltung (17) zur Leistungssteuerung der von der Strahlungsquelle (10, 11) abgegebenen Strahlung (12, 15) vorgesehen ist.

12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß wenigstens ein erster drehbarer Spiegel (21) zwi­ schen der Strahlungsquelle (10, 11) und dem Werkstück (24) vorge­ sehen ist.

13. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß wenigstens ein zweiter drehbarer Spiegel (32) zwi­ schen dem Werkstück (24) und der Sensoranordnung (33) vorgesehen ist.

14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zur Vereinigung der Strahlung (15) der ersten Strahlungsquelle (10) und der Strahlung (12) der zweiten Strahlungs­ quelle (11) ein Strahlteiler (14) vorgesehen ist.

15. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zwischen dem ersten drehbaren Spiegel (31) und dem Werkstück (24) eine Abbildungsoptik, vorzugsweise eine Sammellinse (22) angeordnet ist.

16. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zwischen dem Werkstück (24) und dem zweiten dreh­ baren Spiegel (32) eine Abbildungsoptik, vorzugsweise eine Sammel­ linse (31) angeordnet ist.

17. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die auf die zu prüfende Oberfläche (29) des Werk­ stücks (24) einfallende Strahlung (23) mit der Flächennormalen (59) auf der Oberfläche (29) des Werkstücks (24) einen Winkel von etwa 45° bildet.

18. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zur Drehung (53) des ersten Spiegels (21) eine er­ ste Stellvorrichtung (50) und zur Drehung (54) des zweiten drehbaren Spiegels (32) eine zweite Stelleinrichtung (51) vorgesehen sind, die mit der Auswerteeinrichtung (35) verbunden sind.