DE3631652A1 - Messanordnung zur beruehrungslosen dickenbestimmung - Google Patents
Messanordnung zur beruehrungslosen dickenbestimmungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Meßanordnung zur zer
störungsfreien, berührungslosen Bestimmung der Dicke von
Folien und dünnen Oberflächenbeschichtungen mittels
instationärer Wärmeleitung, mit
- - einer Heizeinrichtung zur Erzeugung einer auf das Meßobjekt gerichteten zeitlich intensitätsmodulierten Heizstrahlung und
- - einem Strahlungsempfänger für die vom angeregten Meß objekt emittierte thermische Strahlung.
Das Prinzip der Dickenbestimmung von Folien und dünnen
Oberflächenbeschichtungen mit Hilfe der instationären
Wärmeleitung ist seit langem bekannt. Es beruht darauf,
bei einer zeitlich veränderlichen Aufheizung einer
Probenoberfläche den daraus resultierenden zeitlichen
Verlauf der Oberflächentemperatur auszuwerten. Es läßt
sich zeigen, daß der zeitliche Verlauf der Temperatur
nach einer zeitlich definierten Aufheizung empfindlich
von der Dicke sowie von den thermischen Kenngrößen einer
Schicht oder Folie abhängt. Im Prinzip kann die Auf
heizung dabei einen zeitlichen Verlauf haben, der
zwischen einem Einzelpuls und einer periodischen
sinusförmigen Form liegt. Ist die Anregung periodisch,
so stellt sich die Temperaturoszillation hinsichtlich
Amplitude und Phase in charakteristischer Weise ein.
Eine Meßanordnung der eingangs genannten Art ist bei
spielsweise aus Z. Werkstofftech. 15, 140-148 (1984)
bekannt. Bei der dort dargestellten Versuchsanordnung
wird die von einem Laser erzeugte und in einem nach
geordneten Modulator in der Intensität periodisch ver
änderte Heizstrahlung auf das Meßobjekt gerichtet.
Die absorbierte Heizstrahlung erzeugt dann sog. Wärme
wellen, die von Grenzflächen im Probeninneren reflek
tiert werden. Diese reflektierten Wärmewellen werden
dann an der Oberfläche des Meßobjekts über die resul
tierende Modulation der thermischen Emission nachge
wiesen. Hierzu wird ein Infrarot-Detektor verwendet,
dessen Ausgangssignal in einem phasenempfindlichen
Lock-In Verstärker mit dem Referenzsignal des Modu
lators verglichen wird. Der derart ermittelte Phasen
unterschied gibt dann Aufschluß über die jeweilige
Schichtdicke, wobei durch einen Schiebeschlitten auch
eine lokale Ortsauflösung ermöglicht wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine für den
praktischen Einsatz geeignete Meßanordnung zur zer
störungsfreien, berührungslosen Bestimmung der Dicke von
Folien und dünnen Oberflächenbeschichtungen mittels
instationärer Wärmeleitung zu schaffen, die bei geringem
baulichen Aufwand eine Dickenbestimmung hoher Genauig
keit ermöglicht.
Diese Aufgabe wird bei einer Meßanordnung der eingangs
genannten Art erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß der
Strahlungsempfänger auf einen außerhalb der Wellenlänge
oder des Wellenlängenbereichs der anregenden Heiz
strahlung liegenden Empfangsbereich begrenzt ist.
Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß für
Dickenbestimmungen hoher Genauigkeit eine Separation von
Anregungs- und Nachweisstrahlung unerläßlich ist. Dem
entsprechend muß der Empfangsbereich des Strahlungs
empfängers derart begrenzt werden, daß Strahlung mit der
Wellenlänge oder im Wellenlängenbereich der anregenden
Heizstrahlung nicht die Messung der emittierten thermi
schen Strahlung verfälschen kann.
Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist
dem Strahlungsempfänger zur Begrenzung des Empfangsbe
reichs ein für die Wellenlänge oder den Wellenlängenbe
reich der anregenden Heizstrahlung undurchlässiges
Filter vorgeschaltet. Mit Hilfe eines derartigen Fil
ters kann die Begrenzung des Empfangsbereichs auf be
sonders einfache Weise realisiert werden. Vorzugsweise
ist das Filter dann so ausgebildet, daß Strahlung außer
halb des Durchlaßbereichs nicht absorbiert wird. Würde
an der Oberfläche des Meßobjekts direkt reflektierte
Strahlung in dem Filter absorbiert, so könnten durch
diesen Absorptionsprozeß neue zeitkohärente und daher
störende Infrarot-Quellen entstehen.
Die unerwünschte Absorption der Heizstrahlung wird vor
zugsweise dadurch verhindert, daß das Filter Strahlung
außerhalb des Durchlaßbereichs reflektiert. Diese Ref
lexion kann dann auf einfache Weise dadurch erzielt
werden, daß das Filter auf der vom Strahlungsempfänger
abgewandten Seite eine dielektrische Vielfachbeschichtung
trägt.
Gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist dem
Strahlungsempfänger eine Abbildungsoptik vorgeschaltet.
Eine derartige Abbildungsoptik, bei welcher es sich um
eine Infrarot-Sammellinse oder eine Spiegeloptik
handeln kann, fokussiert dann die emittierte thermische
Strahlung derart in den Strahlungsempfänger, daß die
Temperatur eines definierten Bereichs der Oberfläche des
Meßobjekts erfaßt werden kann.
Vorzugsweise ist der Strahlungsempfänger als Infrarot-
Detektor ausgebildet. Dabei haben pyroelektrische
Infrarot-Detektoren den Vorteil, daß sie robust und
billig sind und keine Kühlung benötigen. Entsprechende
Halbleiterdetektoren ermöglichen demgegenüber eine bes
sere Nachweisempfindlichkeit.
Gemäß einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Er
findung umfaßt die Heizeinrichtung einen Temperatur
strahler, der gegenüber den bisher verwendeten Lasern
einen erheblich geringeren Kostenaufwand erfordert.
Ist der Temperaturstrahler als Glühlampe, insbesondere
als Halogenlampe ausgebildet, so kann für die Erzeugung
der Anregungsstrahlung auf die weit verbreiteten elek
trischen Lichtquellen zurückgegriffen werden.
Weiterhin ist es besonders vorteilhaft, wenn dem Tempe
raturstrahler ein für Wellenlängen im Empfangsbereich
des Strahlungsempfängers undurchlässiges Filter nachge
ordnet ist. Ein derartiges Filter sorgt dann dafür, daß
die anregende Heizstrahlung keinen Anteil im Empfangs
bereich des Strahlungsempfängers hat.
Während die bisher verwendeten Laser auch aus größerer
Entfernung eine definierte und ausreichend intensive
Energiezufuhr gewährleisten, sollte bei dem Einsatz von
Lasern für eine geeignete Strahlenbündelung gesorgt
werden. Besonders günstig ist es dann, wenn die Heiz
strahlung über einen Lichtleiter auf das Meßobjekt über
tragbar ist. Mit Hilfe eines derartigen Lichtleiters
können dann auch Abstände im Meter-Bereich ohne nennens
werte Verluste überbrückt werden.
Besonders vorteilhaft ist es dann, wenn der Lichtleiter
als Flüssigkeitslichtleiter ausgebildet ist. Derartige
Flüssigkeitslichtleiter werden beispielsweise in Ver
bindung mit entsprechenden Glühlampen mit Erfolg für
endoskopische Zwecke eingesetzt.
Weiterhin ist es auch besonders günstig, wenn der Licht
leiter für Wellenlängen im Empfangsbereich des Strah
lungsempfängers undurchlässig ist. In diesem Fall kann
dann ggf. ein separates, für Wellenlängen im Empfangsbe
reich des Strahlungsempfängers undurchlässiges Filter
entfallen.
Im Hinblick auf die erforderliche Separation von Anre
gungs- und Nachweisstrahlung ist es schließlich auch
noch zweckmäßig, wenn die anregende Heizstrahlung auf
Wellenlängen im Sichtbaren, im nahen Ultraviolett und im
nahen Infrarot begrenzt ist. Dabei hat sich eine Be
grenzung auf Wellenlängen zwischen 0,2 und 2 µm als be
sonders vorteilhaft erwiesen, da Heizstrahlung in diesem
Wellenlängenbereich vom Meßobjekt größtenteils absor
biert und kaum reflektiert wird.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeich
nung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.
Es zeigen in stark vereinfachter schematischer Dar
stellung:
Fig. 1 eine Meßanordnung zur berührungslosen Bestimmung
der Dicke von Folien und Oberflächenbeschich
tungen und
Fig. 2 die Separation von Anregungs- und Nachweisstrah
lung.
Mit der in Fig. 1 dargestellten Meßanordnung soll an
einem mit Mo bezeichneten Meßobjekt die Dicke einer auf
Stahlblech Sb aufgebrachten Lackschicht Ls ermittelt
werden. Hierzu wird zunächst die mit einer Heizeinrich
tung He erzeugte, intensitätsmodulierte Heizstrahlung Hs
auf die Oberfläche der Lackschicht Ls gerichtet. Für die
Erzeugung der intensitätsmodulierten Heizstrahlung Hs
sind eine an eine regelbare Lampenversorgung Lv ange
schlossene Halogenlampe Hl und ein nachgeordneter Modu
lator M vorgesehen. Der Modulator M umfaßt einen durch
einen Antriebsmotor Am angetriebenen Lichtzerhacker oder
Chopper C und eine mit Cs bezeichnete Choppersteuerung.
Nach dem Modulator M wird dann die intensitätsmodulierte
Heizstrahlung Hs über ein Filter F 2 und einen flexiblen
Lichtleiter Ll auf die Lackschicht Ls gerichtet.
Die in der Lackschicht Ls absorbierte Heizstrahlung Hs
bewirkt an der Oberfläche eine Temperaturoszillation,
die über die entsprechend emittierte thermische
Strahlung St von einem Strahlungsempfänger Se erfaßt
wird. Die emittierte thermische Strahlung St gelangt
dabei über ein Filter F 1 zu einer als Infrarot-Sammel
linse ausgebildeten Abbildungsoptik Ao, welche die
thermische Strahlung St so in den Strahlungsempfänger Se
fokussiert, daß jeweils nur die Temperatur eines
definierten Bereichs der Oberfläche der Lackschicht Ls
erfaßt wird.
Die Signalverarbeitung umfaßt einen Lock-In Verstärker
LI und ein mit Dv bezeichnetes Digitalvoltmeter. Der
Lock-In Verstärker LI ermittelt dabei den Phasenunter
schied zwischen dem Referenzsignal Rs des Modulators M
und dem Ausgangssignal As des Strahlungsempfängers Se.
Das dem Lock-In Verstärker LI nachgeordnete Digitalvolt
meter Dv kann dann so geeicht werden, daß es die je
weilige Dicke der Lackschicht Ls anzeigt.
Bei der in Fig. 1 dargestellten Meßanordnung soll eine
Separation von Anregungs- und Nachweisstrahlung bewirkt
werden, die im folgenden unter zusätzlichem Hinweis auf
Fig. 2 erläutert wird. Dort sind auf einer horizontalen
Achse Wellenlängen λ in µm aufgetragen, die im nahen
Ultraviolett UV, im Sichtbaren S und im Infrarot IR
liegen. Mit Bezug auf diese Achse ist ferner zu er
kennen, daß die Halogenlampe Hl eine Heizstrahlung Hs
mit Anteilen im nahen Ultraviolett UV, im Sichtbaren S
und im nahen Infrarot IR aussendet. Der Bereich der
Wellenlänge λ der von der Halogenlampe Hl ausgesandten
Heizstrahlung Hs liegt im dargestellten Ausführungs
beispiel ungefähr zwischen 0,25 und 2,5 µm. Das Filter
F 1 oder - wie dargestellt - der als Flüssigkeitslicht
leiter ausgebildete Lichtleiter Ll lassen von dieser
Heizstrahlung Hs nur Wellenlängen λ im Sichtbaren S und
im nahen Infrarot Ir durch, wobei dieser Bereich den
Wellenlängenbereich Wlb der auf das Meßobjekt Mo ein
fallenden Heizstrahlung Hs entspricht. Im dargestellten
Ausführungsbeispiel ist der Wellenlängenbereich Wlb auf
Wellenlängen λ zwischen 0,25 und 0,75 µm begrenzt, da
die im Lichtleiter Ll verwendete Flüssigkeit nur in
diesem Wellenlängenbereich transparent ist.
Der als Strahlungsempfänger Se verwendete Infrarot-De
tektor würde ohne das vorgeschaltete Filter F 1 auch auf
Strahlung im Wellenlängenbereich Wlb ansprechen. Damit
der Strahlungsempfänger Se mit Sicherheit nur die vom
Meßobjekt Mo emittierte thermische Strahlung St erfaßt,
wird das Filter F 1 so ausgelegt, daß es nur für Strah
lung St durchlässig ist, deren Wellenlängen λ ober
halb des Wellenlängenbereichs Wlb liegen. Der Durch
lässigkeitsbereich des Filters F 1 definiert den Empfangs
bereich Eb des Strahlungsempfängers Se. Im dargestell
ten Ausführungsbeispiel ist das Filter F 1 durch eine
dielektrische Vielfachbeschichtung so ausgelegt, daß es
nur für thermische Strahlung St mit Wellenlängen λ
oberhalb 1,0 µm durchlässig ist und Wellenlängen λ von
weniger als 1 µm reflektiert.
Die erfindungsgemäße Separation von Anregungs- und
Nachweisstrahlung ist in Fig. 2 dadurch zu erkennen, daß
sich der Wellenlängenbereich Wlb der anregenden Heiz
strahlung Hs und der eingeschränkte Empfangsbereich Eb
des Strahlungsempfängers Se deutlich unterscheiden. Der
dazwischenliegende Differenzbereich Δ λ der Wellen
länge λ kann als Sicherheitszone angesehen werden, durch
welche Uberschneidungen auch bei geringfügigen Ände
rungen der jeweiligen Durchlaßbereiche ausgeschlossen
werden. Derartige Änderungen sind beispielsweise darauf
zurückzuführen, daß es sich bei dem Filter F 1 um ein
Interferenzfilter handelt, dessen Durchlaßbereich sich
mit dem Einfallsbereich der Heizstrahlung Hs ändern
kann. Dementsprechend kann auch ggf. eine Beeinflussung
des Strahlungsempfängers Se durch eine "Rest-Streu
strahlung" durch geeignete Plazierung des Filters F 1
weiter reduziert oder ausgeschlossen werden.
Mit der vorstehend beschriebenen Meßanordnung können
Dickenbestimmungen von Folien und Beschichtungen durch
geführt werden, sofern das Meßobjekt von wenigstens
einer Seite her zugänglich ist. Die zerstörungsfreie und
berührungslose Dickenbestimmung ist insbesondere für
Lackschichten oder Kunststoffbeschichtungen geeignet,
die auf ein Trägermaterial mit von der Beschichtung
verschiedenen thermischen Größen, insbesondere Metall,
aufgebracht sind. Die Meßanordnung ist prinzipiell auch
bei einem Arbeitsabstand im Meter-Bereich einsetzbar. Es
können auch Oberflächenbeschichtungen unmittelbar nach
der Auftragung im noch unverfestigten Zustand vermessen
werden. Mit der Meßanordnung kann eine zuverlässige
On-line-Überwachung und On-line-Regelung der Folien-
bzw. Beschichtungsdicke in der Fertigung durchgeführt
werden.
Wird bei der in Fig. 1 dargestellten Meßanordnung in der
Heizeinrichtung He anstelle der Halogenlampe Hl ein
Laser eingesetzt, so ist die Wellenlänge λ der Heiz
strahlung Hs auf die Emissionswellenlänge des jewei
ligen Lasers begrenzt. In Fig. 2 ist dies für einen
Argonlaser durch die Wellenlänge Wl angedeutet. Bei Ver
wendung eines Lasers können dann auch das Filter F 2 und
insbesondere der Lichtleiter Ll entfallen.
Die beschriebene Meßanordnung wurde für die Dickenbe
stimmung von Lackschichten Ls aus noch unverfestigtem
grauen Aoryllack auf 0,5 mm dicken Stahlblech Sb einge
setzt. Bei einer Frequenz des Modulators von 13 Hz
zeigte das entsprechend geeichte Digitalvoltmeter Dv
beispielsweise einen Phasenunterschied von 120° an, was
einer Dicke der Lackschicht von 55 µm entsprach.
Claims (14)
1. Meßanordnung zur zerstörungsfreien, berührungslosen
Bestimmung der Dicke von Folien und dünnen Ober
flächenbeschichtungen mittels instationärer Wärme
leitung, mit
- - einer Heizeinrichtung (He) zur Erzeugung einer auf das Meßobjekt (Mo) gerichteten zeitlich intensi tätsmodulierten Heizstrahlung (Hs) und
- - einem Strahlungsempfänger (Se) für die vom ange regten Meßobjekt (Mo) emittierte thermische Strah lung (St),
dadurch gekennzeichnet, daß der
Strahlungsempfänger (Se) auf einen außerhalb der Wel
lenlänge (Wl) oder des Wellenlängenbereichs (Wlb) der
anregenden Heizstrahlung (Hs) liegenden Empfangsbe
reich (Eb) begrenzt ist.
2. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß dem Strahlungsempfänger (Se)
zur Begrenzung des Empfangsbereichs (Eb) ein für die
Wellenlänge (Wl) oder den Wellenlängenbereich (Wlb)
der anregenden Heizstrahlung (Hs) undurchlässiges
Filter (F 1) vorgeschaltet ist.
3. Meßanordnung nach Anspruch 2, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Filter (F 1) Strahlung
außerhalb des Durchlaßbereichs nicht absorbiert.
4. Meßanordnung nach Anspruch 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Filter (F 1) Strahlung
außerhalb des Durchlaßbereichs reflektiert.5. Meßanordnung nach Anspruch 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Filter (F 1) auf der vom
Strahlungsempfänger (Se) abgewandten Seite eine di
elektrische Vielfachbeschichtung trägt.
6. Meßanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß dem
Strahlungsempfänger (Se) eine Abbildungsoptik (Ao)
vorgeschaltet ist.
7. Meßanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß der
Strahlungsempfänger (Se) als Infrarot-Detektor aus
gebildet ist.
8. Meßanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Heizeinrichtung (He) einen Temperaturstrahler umfaßt.
9. Meßanordnung nach Anspruch 8, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Temperaturstrahler als
Glühlampe ausgebildet ist.
10. Meßanordnung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Temperatur
strahler als Halogenlampe (Hl) ausgebildet ist.
11. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 8 bis 10, da
durch gekennzeichnet, daß dem
Temperaturstrahler ein für Wellenlängen im Empfangs
bereich (Eb) des Strahlungsempfängers (Se) undurch
lässiges Filter (F 2) nachgeordnet ist.
12. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 8 bis 11, da
durch gekennzeichnet, daß die
Heizstrahlung (Hs) über einen Lichtleiter (Ll) auf
das Meßobjekt (Mo) übertragbar ist.
13. Meßanordnung nach Anspruch 12, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Lichtleiter (Ll)
als Flüssigkeitslichtleiter ausgebildet ist.
14. Meßanordnung nach Anspruch 12 oder 13, dadurch
gekennzeichnet, daß der Lichtleiter
(Ll) für Wellenlängen im Empfangsbereich (Eb) des
Strahlungsempfängers (Se) undurchlässig ist.
15. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 8 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß die
anregende Heizstrahlung (Hs) auf Wellenlängen im
Sichtbaren, im nahen Ultraviolett und im nahen In
frarot begrenzt ist.
16. Meßanordnung nach Anspruch 15, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Heizstrahlung (Hs) auf
Wellenlängen zwischen 0,2 und 2 µm begrenzt ist.
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3631652A DE3631652C2 (de) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | Meßanordnung zur berührungslosen Dickenbestimmung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3631652A DE3631652C2 (de) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | Meßanordnung zur berührungslosen Dickenbestimmung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3631652A1 true DE3631652A1 (de) | 1988-03-24 |
DE3631652C2 DE3631652C2 (de) | 1994-05-19 |
Family
ID=6309777
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3631652A Expired - Fee Related DE3631652C2 (de) | 1986-09-17 | 1986-09-17 | Meßanordnung zur berührungslosen Dickenbestimmung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3631652C2 (de) |
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3913474A1 (de) * | 1989-04-24 | 1990-10-25 | Siemens Ag | Photothermisches untersuchungsverfahren, einrichtung zu seiner durchfuehrung und verwendung des verfahrens |
DE3939876A1 (de) * | 1989-12-01 | 1991-06-06 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen |
DE3939877A1 (de) * | 1989-12-01 | 1991-06-06 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen |
EP0447775A1 (de) * | 1990-02-05 | 1991-09-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Anordnung zum Prüfen der Oberfläche von bewegten Objekten |
DE4030300A1 (de) * | 1990-09-25 | 1992-03-26 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen |
DE4030802A1 (de) * | 1990-09-28 | 1992-04-02 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen und/oder der absorptionseigenschaften inhomogener materialien |
DE4030801A1 (de) * | 1990-09-28 | 1992-04-30 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen und/oder der absorptionseigenschaften inhomogener materialien |
DE19520788A1 (de) * | 1995-01-13 | 1996-07-18 | Wissenschaftlich Tech Optikzen | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Schichtdicke, der Leitfähigkeit und/oder der Schichtkontaktgüte von auf Substraten aufgetragenen Schichten |
EP0780682A1 (de) | 1995-12-21 | 1997-06-25 | Wagner International Ag | Verfahren und Vorrichtung zum zerstörungsfreien Prüfen von Werkstücken |
EP0791818A2 (de) * | 1996-02-21 | 1997-08-27 | Wagner International Ag | Verfahren und Vorrichtung zum photothermischen Prüfen von Werkstüken |
DE19832833A1 (de) * | 1998-07-21 | 2000-02-10 | Fraunhofer Ges Forschung | Thermographievorrichtung und -verfahren |
DE19837889C1 (de) * | 1998-08-20 | 2000-12-21 | Siemens Ag | Thermowellen-Meßverfahren |
EP1070597A1 (de) * | 1999-02-04 | 2001-01-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Detektor für ein zu bedruckendes objekt und druckdetektionsverfahren |
WO2001044752A1 (de) * | 1999-12-17 | 2001-06-21 | Abb Research Ltd. | Messvorrichtung |
DE102009025639A1 (de) * | 2009-06-17 | 2010-12-23 | Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg | Verfahren zur zerstörungsfreien Schichtdickenmessung bei Bauteilen mit komplexer Geometrie |
CN110073171A (zh) * | 2017-11-24 | 2019-07-30 | 韩国科学技术院 | 对漆膜的厚度分布执行可视化测量的方法及其设备 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10128131A1 (de) * | 2001-06-09 | 2002-12-12 | Lutz Berger | Verfahren und Vorrichtung zur Materialprüfung und/oder Objektidentifizierung |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3017512A (en) * | 1959-06-29 | 1962-01-16 | American Can Co | Coating thickness gauge |
US3043956A (en) * | 1958-09-24 | 1962-07-10 | Franklin Systems Inc | Measuring systems using infra-red radiation |
DE2909400A1 (de) * | 1978-03-10 | 1979-09-20 | Asahi Dow Ltd | Verfahren und vorrichtung zur ir- messung der folienschichtdicken einer mehrschichtigen verbundfolie |
DE8202548U1 (de) * | 1982-07-01 | Fogra Deutsche Forschungsgesellschaft für Druck- und Reproduktionstechnik e.V., 8000 München | Vorrichtung zur Messung der Schichtdicke von Neutralisationspasten |
-
1986
- 1986-09-17 DE DE3631652A patent/DE3631652C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE8202548U1 (de) * | 1982-07-01 | Fogra Deutsche Forschungsgesellschaft für Druck- und Reproduktionstechnik e.V., 8000 München | Vorrichtung zur Messung der Schichtdicke von Neutralisationspasten | |
US3043956A (en) * | 1958-09-24 | 1962-07-10 | Franklin Systems Inc | Measuring systems using infra-red radiation |
US3017512A (en) * | 1959-06-29 | 1962-01-16 | American Can Co | Coating thickness gauge |
DE2909400A1 (de) * | 1978-03-10 | 1979-09-20 | Asahi Dow Ltd | Verfahren und vorrichtung zur ir- messung der folienschichtdicken einer mehrschichtigen verbundfolie |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Z. Werkstofftechnik 15 (1984) S. 140-148, Technisches Messen 49. Jg. 1982, H. 11, S. 391-398 * |
Cited By (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3913474A1 (de) * | 1989-04-24 | 1990-10-25 | Siemens Ag | Photothermisches untersuchungsverfahren, einrichtung zu seiner durchfuehrung und verwendung des verfahrens |
DE3939876A1 (de) * | 1989-12-01 | 1991-06-06 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen |
DE3939877A1 (de) * | 1989-12-01 | 1991-06-06 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen |
EP0447775A1 (de) * | 1990-02-05 | 1991-09-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren und Anordnung zum Prüfen der Oberfläche von bewegten Objekten |
DE4030300A1 (de) * | 1990-09-25 | 1992-03-26 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen |
DE4030802C2 (de) * | 1990-09-28 | 1998-01-29 | Siemens Ag | Meßanordnung zur berührungslosen Bestimmung der Dicke und/oder thermischen Eigenschaften von Folien und dünnen Oberflächenbeschichtungen und/oder der Absorptionseigenschaften inhomogener Materialien |
DE4030802A1 (de) * | 1990-09-28 | 1992-04-02 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen und/oder der absorptionseigenschaften inhomogener materialien |
DE4030801A1 (de) * | 1990-09-28 | 1992-04-30 | Siemens Ag | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen und/oder der absorptionseigenschaften inhomogener materialien |
DE4030801C2 (de) * | 1990-09-28 | 1998-02-05 | Siemens Ag | Meßanordnung zur berührungslosen Bestimmung der Dicke und/oder thermischen Eigenschaften von Folien und dünnen Oberflächenbeschichtungen |
DE19520788A1 (de) * | 1995-01-13 | 1996-07-18 | Wissenschaftlich Tech Optikzen | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Schichtdicke, der Leitfähigkeit und/oder der Schichtkontaktgüte von auf Substraten aufgetragenen Schichten |
DE19520788C2 (de) * | 1995-01-13 | 2001-08-16 | Optisense Ges Fuer Optische Pr | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Schichtdicke, der Leitfähigkeit und/oder der Schichtkontaktgüte von auf Substraten aufgetragenen Schichten |
DE19548036C2 (de) * | 1995-12-21 | 1999-09-09 | Wagner Gmbh J | Verfahren und Vorrichtung zum zerstörungsfreien Prüfen von Werkstücken |
US5841138A (en) * | 1995-12-21 | 1998-11-24 | Wagner International Ag | Method of an apparatus for nondestructuve workpiece testing |
EP0780682A1 (de) | 1995-12-21 | 1997-06-25 | Wagner International Ag | Verfahren und Vorrichtung zum zerstörungsfreien Prüfen von Werkstücken |
DE19548036A1 (de) * | 1995-12-21 | 1997-06-26 | Wagner Gmbh J | Verfahren und Vorrichtung zum zerstörungsfreien Prüfen von Werkstücken |
DE19606453C2 (de) * | 1996-02-21 | 1998-07-16 | Wagner Int | Verfahren und Vorrichtung zum photothermischen Prüfen von Werkstücken |
US5760400A (en) * | 1996-02-21 | 1998-06-02 | Wagner International Ag | Method and a device for photothermally testing workpieces |
EP0791818A2 (de) * | 1996-02-21 | 1997-08-27 | Wagner International Ag | Verfahren und Vorrichtung zum photothermischen Prüfen von Werkstüken |
EP0791818A3 (de) * | 1996-02-21 | 1997-12-17 | Wagner International Ag | Verfahren und Vorrichtung zum photothermischen Prüfen von Werkstücken |
DE19606453A1 (de) * | 1996-02-21 | 1997-08-28 | Wagner Int | Verfahren und Vorrichtung zum photothermischen Prüfen von Werkstücken |
DE19832833A1 (de) * | 1998-07-21 | 2000-02-10 | Fraunhofer Ges Forschung | Thermographievorrichtung und -verfahren |
DE19832833C2 (de) * | 1998-07-21 | 2002-01-31 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur thermographischen Untersuchung eines Werkstückes und Vorrichtung hierfür |
US6812468B1 (en) | 1998-08-20 | 2004-11-02 | Siemens Aktiengesellschaft | Thermal-wave measuring method |
DE19837889C1 (de) * | 1998-08-20 | 2000-12-21 | Siemens Ag | Thermowellen-Meßverfahren |
EP1070597A1 (de) * | 1999-02-04 | 2001-01-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Detektor für ein zu bedruckendes objekt und druckdetektionsverfahren |
EP1070597A4 (de) * | 1999-02-04 | 2003-01-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Detektor für ein zu bedruckendes objekt und druckdetektionsverfahren |
WO2001044752A1 (de) * | 1999-12-17 | 2001-06-21 | Abb Research Ltd. | Messvorrichtung |
DE102009025639A1 (de) * | 2009-06-17 | 2010-12-23 | Rolls-Royce Deutschland Ltd & Co Kg | Verfahren zur zerstörungsfreien Schichtdickenmessung bei Bauteilen mit komplexer Geometrie |
CN110073171A (zh) * | 2017-11-24 | 2019-07-30 | 韩国科学技术院 | 对漆膜的厚度分布执行可视化测量的方法及其设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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DE3631652C2 (de) | 1994-05-19 |
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