DE3612375C2 - - Google Patents
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/67313—Horizontal boat type carrier whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising rod-shaped elements
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
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Description
Die Erfindung betrifft eine Beladevorrichtung zur Aufnahme von in einem Ofen
zu behandelnden Substratscheiben mit einer Trägerstange, an deren Ende eine
Substratscheiben-Aufnahme angeordnet ist, die zwei parallel zueinander und
parallel zu der Trägerstange verlaufende Tragstäbe aufweist, die Innenflächen
besitzen, auf denen sich die Substratscheiben abstützen, und die an ihren der
Trägerstange abgewandten Enden über ein Querteil miteinander verbunden sind.
Eine derartige Beladevorrichtung ist aus der US-PS 37 44 650 bekannt. Bei
dieser Beladevorrichtung ist an einer Trägerstange eine Aufnahme für Substrat
scheiben angeordnet, die eine untere Strebe aufweist, auf der die Substrat
scheiben stehen, und zwei seitliche Streben, die an den Seitenkanten der senk
recht stehenden Scheiben anliegen. Durch diese drei Stäbe wird eine Art Auf
nahmekäfig für die Substratscheiben gebildet. Zwischen den einzelnen Wärmebe
handlungszyklen werden solche Beladevorrichtungen vor Einsetzen der nächsten
Substratscheiben-Charge gereinigt.
Aus der CH-PS 5 70 700 ist eine Trägerhorde aus Quarzglas bekannt mit vier oder
mehr Tragstäben, die parallel zueinander verlaufen und von denen mindestens
zwei über einem unteren, dritten Stab angeordnet sind. Die Stäbe mit rundem
Querschnitt weisen Schlitze auf, in die Substratscheiben eingestellt werden
können. An ihren Enden sind diese Tragstäbe über einen Rahmen unverrückbar
miteinander verbunden.
Aus der GB 20 80 618 ist eine Trägerhorde aus Quarzglas bekannt, die ein
stückig als Wanne ausgebildet ist mit Schlitzen am oberen Rand der Seiten
wände. An den Enden dieser Wanne sind Bohrungen vorgesehen, in die ein gabel
förmiges Werkzeug zum Transportieren und Hantieren der Trägerhorde eingescho
ben werden kann.
Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine einfach aufge
baute, leicht zu reinigende Beladevorrichtung für in einem Ofen zu behandelnde
Substratscheiben zu schaffen.
Diese Aufgabe wird durch folgende Merkmale gelöst:
An der Trägerstange ist ein Halteelement mit zwei Bohrungen angeordnet, in die
die Tragstäbe mit Paß-Sitz eingesteckt sind, die Tragstäbe sind zu ihren mit
dem Querteil verbundenen Enden hin im Querschnitt sich verjüngend ausgebildet,
das Querteil ist auf die verjüngten Enden der Tragstäbe aufgesteckt.
Mit dieser Anordnung ist ein leicht zu zerlegendes Stecksystem geschaffen, das
mit den Tragstäben und dem Querteil im zerlegten Zustand drei Teile
aufweist, die leicht gereinigt werden können. Durch den sich zu den Enden hin
verjüngenden Querschnitt der Tragstäbe lassen sich diese in den zwei Bohrungen
des Halteelementes verklemmen, ohne daß besondere Sicherungselemente oder Be
festigungsteile notwendig sind. Gleiches gilt für das Querteil, das bevorzugt
ebenfalls zwei Bohrungen aufweist, mittels derer es auf die verjüngten Enden
der Tragstäbe aufgesteckt ist.
Das Halteelement, das die beiden Tragstäbe aufnimmt, ist bevorzugt eine
Platte, die in einer vorteilhaften Ausgestaltung eine solche Größe aufweist,
daß mit ihr gleichzeitig das Ofenrohr, in das die Aufnahme eingeschoben wird,
verschlossen wird.
Es kann von Vorteil sein, das Halteelement mit einer Hülse fest zu verbinden,
die dann zusammen mit dem Halteelement und den Tragstäben, auf das Ende der
Trägerstäbe aufgesteckt ist. Mit einer solchen Anordnung kann auch das Halte
element zu Reinigungszwecken von der Trägerstange abgenommen werden. Gleich
zeitig hat diese Anordnung den Vorteil, daß die Substratscheiben-Aufnahme mit
dem Halteelement zum Einsetzen der Substratscheiben von der Trägerstange abge
nommen werden kann.
Um das Halteelement, an dem die Trägerstangen angeordnet sind, zu entlasten,
wird mit Abstand zu diesem ein Führungselement angeordnet, an dem die den
Enden mit dem Querteil gegenüberliegenden Enden geführt sind. In einer
besonders einfachen Ausgestaltung wird hierzu ein plattenförmiges Führungs
element eingesetzt, in dem zwei Bohrungen vorgesehen sind, durch die die Trag
stäbe mit ihren Enden hindurchgeführt sind.
Um die Stabilität der Trägerstangen zu erhöhen und andererseits eine gute Auf
lagefläche für die Substratscheiben zu gewährleisten, sind die einander zuge
kehrten Flächen der Tragstäbe konkav gewölbt, bevorzugt mit einem Krümmungs
radius der Fläche, der dem Radius der in die Aufnahme einzusetzenden Substrat
scheiben entspricht.
Die Beladevorrichtung bietet auch die Möglichkeit, gesondert Horden mit darin
eingesetzten Halbleiterscheiben auf die Tragstäbe aufzusetzen. Hierbei ist es
nicht erforderlich, die Stäbe mit Schlitzen zu versehen. Falls die Tragstäbe
an ihrer einander zugewandten Seite konisch verlaufen, werden die Schlitze in
unterschiedlicher Tiefe entlang der Tragstäbe ausgeführt, so daß die lichte
Weite zwischen den Böden jeweils gegenüberliegender Schlitze entlang der Trag
stäbe sich nicht verändert.
Bevorzugt ist die Trägerstange aus Al2O3 gefertigt, während die anderen
Bauteile, wie Tragstäbe, Halte- und Führungselement, Querteil und Hülse aus
SiO2 bestehen.
Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nach
folgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispieles anhand der Zeichnung.
In der Zeichnung zeigt
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung einer erfindungsgemäßen Beladevor
richtung mit angedeuteten Substratscheiben,
Fig. 2 eine Draufsicht auf die Beladevorrichtung nach Fig. 1,
Fig. 3 eine Ansicht in Richtung des Pfeiles III in Fig. 2 und
Fig. 4 eine gegenüber der Beladevorrichtung nach Fig. 1 bis 3 abgewandelte
Ausführungsform.
Die Beladevorrichtung weist eine Trägerstange 1 auf, auf deren Ende eine
Hülse 2 aufgesteckt ist. Am vorderen Ende
der Hülse 2 ist ein Halteelement 3 angeordnet und mit Abstand
zu diesem ein Führungselement 4. Sowohl das Halteelement
3 als auch das Führungselement 4 weisen in ihrem unteren
Bereich jeweils zwei Bohrungen auf, durch die zwei parallel
zueinander verlaufende Tragstäbe 5, 6 (siehe Fig. 2) hindurchgeführt sind.
Die Tragstäbe 5, 6 sind zwischen dem Halteelement 3 und ihren
der Trägerstange 1 abgewandten Enden 7 sich verjüngend aus
gebildet. Auf diese Enden 7 ist ein plattenförmiges Querteil
8, das Bohrungen aufweist, mit Paß-Sitz aufgesteckt. Während
in der gezeigten Ausführung durch die Bohrungen des Halteelements
3 die Tragstäbe 5, 6 ebenfalls mit Paß-Sitz eingeschoben
sind, sind sie durch Bohrungen im Führungselement 4 mit ihren
Enden geringfügig über dessen Außenseite überstehend geführt.
Ein Bolzen 9 in dem überstehenden Ende sichert die Trag
stäbe 5, 6 an dem Führungselement 4 gegen unbeabsichtigtes
Herauslösen. Die Bohrungen des Querteils 8 und des Halte
elementes 3 können, entsprechend der Verjüngung der Trag
stäbe 5, 6, konisch ausgebildet sein. Die Tragstäbe 5, 6
sind im Querschnitt Ringsegmente, die derart zueinander ausgerich
tet sind, daß sie einerseits in ihrer Längserstreckung parallel
zueinander verlaufen und andererseits die konkav gewölbten
Innenflächen einander zugekehrt sind. Der Krümmungsradius
11 (siehe Fig. 2) der konkaven Fläche 10 der Tragstäbe
5, 6 ist dem Radius der in die Substratscheiben-Aufnahme
einzusetzenden runden Substratscheiben 12, die in Fig. 1
angedeutet sind, angepaßt. Durch diese konkaven Flächen 10
wird eine gute Abstützung der Substratscheiben erreicht;
gegebenenfalls können die Tragstäbe 5, 6 in ihren konkaven
Flächen 10 nicht dargestellte Schlitze aufweisen, in die
dann die Substratscheiben 12 eingesteckt werden. Wie aus
Fig. 1 ersichtlich ist, ist an dem den Enden 7 der Tragstäbe
5, 6 zugewandte Ende der Hülse 4 eine Platte 13 fest angeordnet,
gegen deren der Trägerstange 1 zugewandten Fläche das Halte
element 3 flächig anliegt. Diese Platte 13 weist an ihrer
Oberseite eine horizontal verlaufende Anlagefläche 14 auf,
auf der ein überkragender Rand 15 des Halteelementes 3 anliegt.
Durch diesen an der Anlagefläche 14 anliegenden überkragenden
Rand 15 wird ein Verdrehen des auf die Hülse 2 aufgesteckten
Halteelementes 3 verhindert. Aus Fig. 2 ist ersichtlich,
daß die Tragstäbe 5, 6, beginnend von ihrem durch das Halte
element 3 geführten Bereich zu ihren Enden 7 hin, an der
Außenseite eine keilförmige Außenfläche 19 aufweisen, die durch die
unterschiedlichen Abstände 16 und 17 zu der Achse 18 der
Anordnung in Fig. 2 angedeutet ist. Durch diese keilförmige
Fläche wird der sich verjüngende Querschnitt der Tragstäbe
zu den Enden 7 hin erreicht, wobei der Abstand der konkaven
Fläche 10 der Tragstäbe zu der Achse 18 über deren Länge
gleich bleibt.
Fig. 4 zeigt eine gegenüber den Fig. 1 bis 3 abgewandelte
Ausführungsform. Bei dieser Anordnung ist ein Halteelement
3′, mit in den Bohrungen entsprechend der Ausführungsform
nach Fig. 1 bis 3 mit Paß-Sitz eingesteckten Tragstäben
5, 6, an der Platte 13 der Hülse 2 mit einem hakenförmig ausgebildeten
Rand 19 angehängt.
Zu Reinigungszwecken können sowohl die Beladevorrichtung
nach den Fig. 1 bis 3 als auch die Beladevorrichtung nach
Fig. 4 vollständig in einzelne, leicht zu reinigende Teile
zerlegt werden. So können die Tragstäbe 5, 6 aus den Halte
elementen 3, 3′ bzw. dem Führungselement 4, nach dem das Querteil
8 gelöst ist, herausgezogen werden. Außerdem ist die Hülse
2 mit der Platte 13 von der Trägerstange 1 abnehmbar. Für
den Zusammenbau der Anordnung sind keine gesonderten Befesti
gungselemente erforderlich.
Claims (5)
1. Beladevorrichtung zur Aufnahme von in einem Ofen zu behandelnden Substrat
scheiben (12) mit einer Trägerstange (1), an deren Ende eine Substrat
scheiben-Aufnahme angeordnet ist, die zwei parallel zueinander und
parallel zu der Trägerstange (1) verlaufende Tragstäbe (5, 6) aufweist,
die Innenflächen (10) besitzen, auf denen sich die Substratscheiben (12)
abstützen, und die an ihren der Trägerstange (1) abgewandten Enden (7)
über ein Querteil (8) miteinander verbunden sind, gekennzeichnet durch
folgende Merkmale:
- a) an der Trägerstange (1) ist ein Halteelement (3, 3′) mit zwei Bohrungen angeordnet, in die die Tragstäbe (5, 6) mit Paß-Sitz einge steckt sind,
- b) die Tragstäbe (5, 6) sind zu ihren mit dem Querteil (8) verbundenen Enden (7) hin im Querschnitt sich verjüngend ausgebildet,
- c) das Querteil (8) ist auf die verjüngten Enden (7) der Trag stäbe (5, 6) aufgesteckt.
2. Beladevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Halte
element (3, 3′) plattenförmig ausgebildet ist.
3. Beladevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das
Halteelement (3, 3′) an einer Hülse angeordnet ist, die auf die Träger
stange (1) aufgesteckt ist.
4. Beladevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeich
net, daß in Richtung der Trägerstange (1) gesehen hinter dem Halte
element (3) mit Abstand zu diesem ein Führungselement (4) für die Trag
stäbe (5, 6) angeordnet ist.
5. Beladevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeich
net, daß die einander zugekehrten Innenflächen (10) der Tragstäbe (5, 6)
konkav gewölbt ausgebildet sind.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863612375 DE3612375A1 (de) | 1986-04-12 | 1986-04-12 | Beladevorrichtung zur aufnahme von in einem ofen zu behandelnde substratscheiben |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19863612375 DE3612375A1 (de) | 1986-04-12 | 1986-04-12 | Beladevorrichtung zur aufnahme von in einem ofen zu behandelnde substratscheiben |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3612375A1 DE3612375A1 (de) | 1987-10-15 |
DE3612375C2 true DE3612375C2 (de) | 1988-03-24 |
Family
ID=6298558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19863612375 Granted DE3612375A1 (de) | 1986-04-12 | 1986-04-12 | Beladevorrichtung zur aufnahme von in einem ofen zu behandelnde substratscheiben |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3612375A1 (de) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5186764A (en) * | 1990-02-13 | 1993-02-16 | Viscodrive Gmbh | Method and apparatus for treating plates with gas |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3744650A (en) * | 1971-10-26 | 1973-07-10 | Semiconductor Elect Memories | Boat mover for semiconductor fusion process |
JPS5068775A (de) * | 1973-10-19 | 1975-06-09 | ||
DE3024751C2 (de) * | 1980-06-30 | 1982-06-03 | Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau | Trägerhorde aus Quarzglas |
-
1986
- 1986-04-12 DE DE19863612375 patent/DE3612375A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3612375A1 (de) | 1987-10-15 |
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