DE3584123D1 - Verfahren zum ziehen von halbleitereinkristallen aus untiefen tiegeln gemaess dem czochralskiverfahren. - Google Patents
Verfahren zum ziehen von halbleitereinkristallen aus untiefen tiegeln gemaess dem czochralskiverfahren.Info
- Publication number
- DE3584123D1 DE3584123D1 DE8585107878T DE3584123T DE3584123D1 DE 3584123 D1 DE3584123 D1 DE 3584123D1 DE 8585107878 T DE8585107878 T DE 8585107878T DE 3584123 T DE3584123 T DE 3584123T DE 3584123 D1 DE3584123 D1 DE 3584123D1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- deep
- single crystals
- semiconductor single
- czochralski process
- pillars according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/10—Crucibles or containers for supporting the melt
- C30B15/12—Double crucible methods
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
- C30B15/02—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the melt
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US62837784A | 1984-07-06 | 1984-07-06 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3584123D1 true DE3584123D1 (de) | 1991-10-24 |
Family
ID=24518621
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE8585107878T Expired - Lifetime DE3584123D1 (de) | 1984-07-06 | 1985-06-25 | Verfahren zum ziehen von halbleitereinkristallen aus untiefen tiegeln gemaess dem czochralskiverfahren. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0170856B1 (de) |
JP (1) | JPS6136197A (de) |
CA (1) | CA1261715A (de) |
DE (1) | DE3584123D1 (de) |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6379790A (ja) * | 1986-09-22 | 1988-04-09 | Toshiba Corp | 結晶引上げ装置 |
JPS6395195A (ja) * | 1986-10-08 | 1988-04-26 | Toshiba Corp | 結晶引上げ方法及び装置 |
US5085728A (en) * | 1987-05-05 | 1992-02-04 | Mobil Solar Energy Corporation | System for controlling crystal growth apparatus and melt replenishment system therefor |
CA1305909C (en) * | 1987-06-01 | 1992-08-04 | Michio Kida | Apparatus and process for growing crystals of semiconductor materials |
CA1306407C (en) * | 1987-06-08 | 1992-08-18 | Michio Kida | Apparatus for growing crystals of semiconductor materials |
JPH0791051B2 (ja) * | 1987-06-09 | 1995-10-04 | 日東化学工業株式会社 | 微細シリカ粒子の製造方法 |
GB8718643D0 (en) * | 1987-08-06 | 1987-09-09 | Atomic Energy Authority Uk | Single crystal pulling |
JPS6445796A (en) * | 1987-08-13 | 1989-02-20 | Toshiba Corp | Apparatus for pulling up si single crystal and method therefor |
DE3733487C2 (de) * | 1987-10-03 | 1997-08-14 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen |
DE3737051A1 (de) * | 1987-10-31 | 1989-05-11 | Leybold Ag | Vorrichtung fuer die kontinuierliche zufuhr von schmelzgut |
DE3865628D1 (de) * | 1987-11-02 | 1991-11-21 | Mitsubishi Materials Corp | Einrichtung zur zuechtung von kristallen. |
JPH0633218B2 (ja) * | 1987-12-08 | 1994-05-02 | 日本鋼管株式会社 | シリコン単結晶の製造装置 |
DE3806918A1 (de) * | 1988-03-03 | 1989-09-14 | Leybold Ag | Vorrichtung zum ziehen von einkristallen |
FI87660C (fi) * | 1988-03-03 | 1993-02-10 | Leybold Ag | Foerfarande och anordning foer dragning av monokristaller |
EP0340941A1 (de) * | 1988-04-28 | 1989-11-08 | Nkk Corporation | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Silizium-Einkristallen |
JPH0543107Y2 (de) * | 1988-07-07 | 1993-10-29 | ||
FI893246A (fi) * | 1988-07-07 | 1990-01-08 | Nippon Kokan Kk | Foerfarande och anordning foer framstaellning av kiselkristaller. |
JPH0257962U (de) * | 1988-10-24 | 1990-04-26 | ||
FI901413A0 (fi) * | 1989-03-30 | 1990-03-21 | Nippon Kokan Kk | Anordning foer framstaellning av kiselenkristaller. |
FI901415A0 (fi) * | 1989-10-26 | 1990-03-21 | Nippon Kokan Kk | Anordning foer framstaellning av kiselenkristaller. |
US5016683A (en) * | 1990-03-27 | 1991-05-21 | General Signal Corporation | Apparatus for controllably feeding a particulate material |
JP2585123B2 (ja) * | 1990-04-13 | 1997-02-26 | 東芝セラミックス株式会社 | シリコン単結晶の製造方法 |
DE4106589C2 (de) * | 1991-03-01 | 1997-04-24 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Kontinuierliches Nachchargierverfahren mit flüssigem Silicium beim Tiegelziehen nach Czochralski |
US5242667A (en) * | 1991-07-26 | 1993-09-07 | Ferrofluidics Corporation | Solid pellet feeder for controlled melt replenishment in continuous crystal growing process |
JP2754104B2 (ja) * | 1991-10-15 | 1998-05-20 | 信越半導体株式会社 | 半導体単結晶引上用粒状原料供給装置 |
JP3478406B2 (ja) * | 1992-09-09 | 2003-12-15 | アルベマール・コーポレーシヨン | 粒状物質の供給装置 |
DE4301072B4 (de) * | 1993-01-16 | 2006-08-24 | Crystal Growing Systems Gmbh | Verfahren zum Ziehen von Einkristallen aus einer Schmelze |
JP2935337B2 (ja) * | 1994-11-21 | 1999-08-16 | 信越半導体株式会社 | 粒状原料の供給装置およびその供給方法 |
US5690734A (en) * | 1995-03-22 | 1997-11-25 | Ngk Insulators, Ltd. | Single crystal growing method |
JP3598642B2 (ja) * | 1996-02-27 | 2004-12-08 | 信越半導体株式会社 | 連続チャージ法によるシリコン単結晶の製造方法 |
US5997234A (en) * | 1997-04-29 | 1999-12-07 | Ebara Solar, Inc. | Silicon feed system |
US6200383B1 (en) | 1999-05-03 | 2001-03-13 | Evergreen Solar, Inc. | Melt depth control for semiconductor materials grown from a melt |
US6090199A (en) * | 1999-05-03 | 2000-07-18 | Evergreen Solar, Inc. | Continuous melt replenishment for crystal growth |
EP1556529B1 (de) | 2002-10-18 | 2007-09-12 | Evergreen Solar Inc. | Verfahren und vorrichtung zur kristallzüchtung |
US6814802B2 (en) | 2002-10-30 | 2004-11-09 | Evergreen Solar, Inc. | Method and apparatus for growing multiple crystalline ribbons from a single crucible |
JP5188673B2 (ja) | 2005-06-09 | 2013-04-24 | 株式会社Sumco | Igbt用のシリコンウェーハ及びその製造方法 |
JP4631717B2 (ja) | 2006-01-19 | 2011-02-16 | 株式会社Sumco | Igbt用シリコン単結晶ウェーハ及びigbt用シリコン単結晶ウェーハの製造方法 |
JP4760729B2 (ja) | 2006-02-21 | 2011-08-31 | 株式会社Sumco | Igbt用のシリコン単結晶ウェーハ及びigbt用のシリコン単結晶ウェーハの製造方法 |
WO2008087949A1 (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Sharp Kabushiki Kaisha | 固体原料供給装置、融液原料供給装置および結晶製造装置 |
JP5103194B2 (ja) * | 2007-01-15 | 2012-12-19 | シャープ株式会社 | 固体原料投入装置、融液原料供給装置および結晶製造装置 |
JP5560546B2 (ja) | 2008-08-28 | 2014-07-30 | 株式会社Sumco | シリコンウェーハ及びその製造方法 |
CN102140685A (zh) * | 2010-02-03 | 2011-08-03 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种用于多晶硅熔炼炉的真空连续加料*** |
KR101690490B1 (ko) * | 2010-10-21 | 2016-12-28 | 에스케이이노베이션 주식회사 | 탄화규소 단결정의 제조방법 및 장치 |
CN102242395A (zh) * | 2011-06-17 | 2011-11-16 | 常州天合光能有限公司 | 用于硅单晶生长的连续加料装置及设置该装置的单晶炉 |
CN109505006B (zh) * | 2018-12-25 | 2021-02-12 | 江苏大学 | 一种水平提拉硅带成型设备的入料装置及其入料方法 |
EP4060097B1 (de) | 2021-03-16 | 2024-05-01 | Siltronic AG | Vorrichtung und verfahren zur herstellung eines dotierten monokristallinen stabes aus silicium |
WO2023231597A1 (zh) * | 2022-05-31 | 2023-12-07 | 隆基绿能科技股份有限公司 | 液体加料装置、单晶炉及其供料方法、拉晶方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL237834A (de) * | 1958-04-09 | |||
GB939102A (en) * | 1959-02-18 | 1963-10-09 | Philco Corp | Improvements in and relating to the production of crystals, and apparatus for use therein |
FR1302043A (fr) * | 1961-08-09 | 1962-08-24 | Union Carbide Corp | Appareil pour provoquer la croissance de compositions homogènes solides |
SU661966A1 (ru) * | 1976-11-23 | 1980-04-05 | Всесоюзный Научно-Исследовательский Институт Монокристаллов И Особо Чистых Химических Веществ "Вниимонокристалл" | Устройство дл выт гивани монокристаллов из расплава |
JPS5611675A (en) * | 1979-07-04 | 1981-02-05 | Marantz Japan Inc | Key-touch strength changing circuit for automatic playing piano |
-
1985
- 1985-06-21 CA CA000484842A patent/CA1261715A/en not_active Expired
- 1985-06-25 EP EP19850107878 patent/EP0170856B1/de not_active Expired
- 1985-06-25 DE DE8585107878T patent/DE3584123D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1985-07-05 JP JP14909185A patent/JPS6136197A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6136197A (ja) | 1986-02-20 |
EP0170856A1 (de) | 1986-02-12 |
EP0170856B1 (de) | 1991-09-18 |
CA1261715A (en) | 1989-09-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3584123D1 (de) | Verfahren zum ziehen von halbleitereinkristallen aus untiefen tiegeln gemaess dem czochralskiverfahren. | |
DE3381509D1 (de) | Verfahren zum herstellen von halbleiteranordnungen. | |
DE3684676D1 (de) | Verfahren zum herstellen von halbleitersubstraten. | |
DE3583111D1 (de) | Verfahren zum schneiden von halbleiterscheiben. | |
DE3485108D1 (de) | Verfahren zum verbessern des wachstums von pflanzen. | |
DE3586109D1 (de) | Verfahren zum herstellen einer verbindungsstruktur von einer halbleiteranordnung. | |
DE3780369D1 (de) | Verfahren zum herstellen einer halbleiterstruktur. | |
DE3688009D1 (de) | Verfahren zum herstellen von kieselsaeure hoher reinheit. | |
DE3889849D1 (de) | Verfahren zum bevorzugten Ätzen von polykristallinem Silicium. | |
DE3882862D1 (de) | Verfahren zum extrahieren von atp. | |
DE3686570D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum herstellen von einkristallen nach dem czochralski-verfahren. | |
DE3582856D1 (de) | Verfahren zum manipulieren von fluessigkeiten. | |
IT8321371A1 (it) | Metodo per la produzione allo stato solido di articoli monocristallo multipli | |
DE3771670D1 (de) | Verfahren zum entschleimen von triglyceridoelen. | |
DE3751747D1 (de) | Verfahren zum Herstellen von Briketts aus gebrannten Pellets | |
DE3576829D1 (de) | Verfahren zum herstellen kornorientierter bleche aus siliziumstahl. | |
DE3775665D1 (de) | Verfahren zum filtrieren planktonhaltigen wassers. | |
DE3777149D1 (de) | Verfahren zum vermehren von pflanzensetzlingen. | |
DE3779169D1 (de) | Verfahren zum entfernen von verunreinigenden stoffen aus bohrungen. | |
DE3481569D1 (de) | Verfahren zum herstellen von diamantwaermesenken. | |
DE3686738D1 (de) | Verfahren zum herstellen von hochreinem niob. | |
DE3580335D1 (de) | Verfahren zum herstellen einer halbleiterstruktur. | |
KR860700207A (ko) | 밀납보리로부터 생성물을 회수하는 방법 | |
DE3774687D1 (de) | Verfahren zum vermehren von zwiebelpflanzen. | |
DE3889749D1 (de) | Verfahren zum Vervielfältigen von Pflanzensämlingen. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |