DE3516183A1 - Optisches system fuer spektralgeraete - Google Patents

Optisches system fuer spektralgeraete

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DE3516183A1 DE19853516183 DE3516183A DE3516183A1 DE 3516183 A1 DE3516183 A1 DE 3516183A1 DE 19853516183 DE19853516183 DE 19853516183 DE 3516183 A DE3516183 A DE 3516183A DE 3516183 A1 DE3516183 A1 DE 3516183A1
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Description

Optisches Syst err· für Spektral^eriite
Die Erfindung betrifft ein optisches System für Spektralgeräte, das insbesondere in der ntomemissionsspektroskopie sowohl im Polychromatorbetrieb für eine simultane Registrierung mehrerer Spektrallinlen als auch im Eonochro-TT>atorbetrieb für eine kontinuierliche sequentielle Registrierung des Gesagtspektrums einer Analysenprobe eingesetzt werden kann.
Bedingt durch die analytische Aufgabenstellung besteht bei Spektrometer!! das Ziel, das für die Lösung der Aufgabe minimal notwendige Auflösungsvermögen und den minimal notwendigen Lichtloitwert über einen breiten Spektralbereich bei möglichet geringer Baugrö'ße des üpektrometers und mit τinimalem Aufwand zu erreichen. Die erforderliche Fläche des Gitters wird durch den geforderten minimalen Lichtleitwert bestimmt. Bei fester Gittergröße nehmen bei Verringerung der Brennweite von Kollimator- und Kameraspiegel die minimal möglichen außeraxialen Winkel und damit die Abbildungsfehler zu. Um geringste Baugröfienzu realisieren, ist ein möglichst abbildungsfehlerar^er Spektrometeraufbau notwendig. Bekannte optische Anordnungen, bieten keine günstigen Toraussetzungen für die Korrektur der Abbildungsfehler, insbesondere Koma und Astigmatismus unter diesen Bedingungen·
4576 BAD ORIGiNAL
Zum Beispiel erfolgt bei dem in der US-PS 4183668 beschriebenen Verfahren eine Korrektur des Astigmatismus nach dem Prinzip der divergenten Beleuchtung des Gitters durch Sintrittsspaltverschiebung. Die Bedingungen für die Kompensation des Komafehlers in Czerny-Turner-Auf Stellungen nach Reader (JOSA 9 (1969) 1189) werden dabei verletzt. Astigmatismus und Koma sind nicht unabhängig voneinander korrigierbar. Die Korrektur der Abbildungsfehler erzeugt Bauelemeateabetände und V-inkel, die au einer erheblichen baulichen Vergrößerung- und Verteuerung entsprechender Geräte führen.
Zur Lösung bestimmter, häufig auftretender spektrornetrischer Aufgabenstellungen werden Cpektra!gerate benötigt, die sowohl eine Simultananalyoe als auch eine kontinuierliche Registrierung zulassen.
Die Simultananalyse ermöglicht insbesondere im analytischen Routinebetrieb eine wesentliche Verkürzung der Meßzeit und eine erhebliche Senkung des Probenbedarfs. Die Möglichkeit der kontinuierlichen sequentiellen Registrierung erlaubt unabhängig von der 'Jiahl der festgelegten Simultankanäle die Untersuchung beliebiger einzelner Spektralelemente oder einen überblick über das gesamte Strahlungsspektrum oder Teile desselben. Als dafür besonders geeignete optische Systeme haben sich 'iichelle-Spektrometer erwiesen, Ca das gesamte Meßlicht eines ausgedehnten Spektralbersichs durch das Schelle-Gitter mit hoher Effektivität und hohem Auflösungsvermögen in einen geringen 77inke!bereich gebeugt wird* MonochromatoraufStellungen sind im allgemeinen nur für einen Strahlengang bezüglich ihrer Abbildungsfehler ausreichend korrigiert, so daß eine gleichzeitige Messung mehrerer Spektrallinien innerhalb eines ausgedehnten Spektralbereichs nicht möglich ist ο
Polychroraatoren, s.3, KonkavgitteraufStellungen nach Paschen-Runge, sind dagegen für einen zusätzlichen Monochromatorbetrxeb aufgrund des ausgedehnten Spektrums ungeeignet,
4576 BAD RI
!«!,,nfiiiiyuiil
Sind beide Meßverfahren gefordert, müssen entweder zwei unabhängige Spektrometer eingesetzt oder an einem Spektrometer wesentliche Veränderungen vorgenommen v/erden. Letzteres geschieht mit einem Echelle-Spektrometer (Prospekt der Fa0 Beckman, Spectrospan V), bei dem ein Echelle-Gitter und ein Prisma in zueinander gekreuzter Aufstellung verwendet werden«. Am Ausgang des Spektrorneters liegt das gesamte Spektrum einer Analysensubstanz flächenhaft vor« Sin auswechselbares Kasettensystem, das sich zwischen Spektrometer und Photornultipliergehäuse "befindet, bietet nun die Möglichkeit der simultanen und auch der sequentiellen Analyse einer Probe. Bei der Simultanbestimmung im Polychromatorbetrieb entsteht auf der Fokalfläche das Strahlungsspektrum der Analysensubstanz, und die dahinter sitzende Kasette enthält auf ihrer Vorderseite die Austrittsspalte an den geometrischen Orten der entsprechenden Smissionslinien. Im innern der Kasette befindet sich hinter jedem Spalt eine Umlenkoptik, die das Licht auf die entsprechenden Photomultiplier lenkt, die fest angeordnet sind. Für den Monochromatorbetrieb steht eine spezielle Kasette mit variablem Austrittsspalt in der Mitte zur Verfügung. Durch Schwenken der Gitter-Prismen-Kombination kann mit Hilfe eines Antriebes jede gewünschte Analysenlinie auf dem Austrittsspalt eingestellt werden. Hinter dem Austrittsspalt ist ein Photomultiplier angeordnete
Als wesentliche und nachteilige Veränderung an diesem Spektrometer ist neben dem Bewegen zweier optischer Elemente der Austausch der Kasette beim Viechsei von Polychromator- auf Monochromatorbetrieb anzusehen. Ein Kasettenwechsel ist auch bei Änderung des Analysenprogramms im Polychromatorbetrieb notwendig. Durch die genannten Maßnahmen wird das Spektrometer aufwendig und teuer·
45/6 BAD ORIGlMAL
Ziel ist es, Abbildungsfehler, insbesondere Astigmatismus und Koma, die Baugiöße des Systems sowie Kosten und Aufwand gegenüber den bekannten technischen Lösungen gering zu halten.
Es besteht die Aufgabe ein optisches System mit voneinander getrennt korrigierbaren Abbildungsfehlern Astigmatismus und Koma, bei dem der Zustand bester Korrektur bei der geometrisch engst möglichen Anordnung erreicht wird, ohne wesentliche Veränderungen sowohl für eine simultane als auch eine kontinuierliche, sequentielle Registrierung einsetzbar zu gestalten.
Gelöst wird diese Aufgabe durch ein optisches System für Spektralgeräte mit einer Lichteintrittsöffnung, einem Kollimator, einem dispergierenden Glied, einer Kameraoptik und mit in der Fokalfläche des Systems angeordneten Elementen zur Aussonderung und Weiterleitung von Spektralelementen zu einer Empfängeranordnung erfindungsgemäß dadurch, daß Kollimator- und Kameraoptik als sphärische Konkavspiegel ausgebildet sind und Scheitelpunkte aufweisen, die gleichweit vom dispergierenden Glied entfernt in der Dis~ persionsebene des dispergierenden Gliedes liegen und an ihnen reflektierte Mittenstrahlen in senkrecht zur Mspersionsebene des dispergierenden Gliedes stehenden Reflexionsebenen verlaufen, die Lichteintrittsöffnung aus zueinander im -wesentlichen senkrecht im Strahlengang nacheinander angeordneten Spalten zur sagittalen und tangentialen Begrenzung der Eintrittsapertur besteht, wobei sagittales und tangential.es Spaltbild in der Fokalebene zusammenfallen und daß die Licht eintritt soffnung bezüglich der Mitte der Fokalfläche auf entgegengesetzter Seite und gleichweit entfernt von der Dispersionsebene des dispergierenden Gliedes angeordnet ist.
Während der tangential begrenzende Spalt eine Entfernung r. = 1/2 R cos C zum Kollimator spiegel aufweist, ist diese für den sagittal begrenzenden Spalt
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BAD ORIGINAL
(cos.x/cos
?
(cos-^/cos β) · cos c* - sin
[ (/c β) j
r = 1/2 R cos ^ ; ρ ?- =—- (2)
wobei R den Spiegelradien von Kollimator- und Kameraspiegel, r dem eingeschlossenen Winkel zwischen den reflektierten Mittenstrahlen, .% dem Einfalls- und ß dem Beugungswinkel am aispergierenden Glied entspricht. Bedingt durch die spezielle Anordnung der optischen Bauelemente wirkt die anamorphe Vergrößerung des Dispersionseleraentes senkrecht zu den Ebenen, in denen die Ablenkung der Mittenstrahlen an den Spiegeln erfolgt. Befindet sich der Eintrittsspalt im tangentialen Brennpunkt des Kollimator spiegeis, d.h. im Abstand r^ = 1/2R cos tritt eine Komakompensation auf· Der Komafehler ist bei Verwendung eines Beugungsgitters als Dispersionselement nicht mehr vom Einfallswinkel ot und Beugungswinkel ß am Gitter abhängig.
Der Astigmatismus ist beseitigt, wenn das tangentiale Bild und das sagittale Bild des Eintrittsspaltes in der Fokalfläche zusammenfallen. Zu diesem Zweck wird der Eintritt sspalt erfindungsgemäß in zwei Teilspalte zerlegt. Die Spaltkomponente, die das einfallende Lichtbündel senkrecht zur Dispersionsrichtung begrenzt, befindet sich wegen der Komakompensation im tangentialen Brennpunkt des Kollimatorspiegels. Das scharfe Bild entsteht dann im tangentialen Brennpunkt des Kameraspiegels (r. = 1/2 R cos'^ Damit das sagittale Bild an demselben Ort entsteht, wird die Eintrittsspaltkomponente, die das einfallende Bündel in Dispersionsrichtung begrenzt, entlang der optischen Achse verschoben. Der entsprechende Abstand ist durch r_ gegeben.
Unter diesen Bedingungen entsteht auf der Fokalfläche ein koma- und astigmatismusfreies Bild,» Dabei können sowohl die außeraxialen tfinkel an den Spiegeln, als auch der Differenzwinkel zwischen Einfallswinkeloc und Beugungswinkel ß am Gitter so gering gehalten werden, wie es die
4576
BAD ORIGINAL
minimalen BauelementeabmesBungen zulassen. Ss entsteht eine kompakte Anordnung auf engstem Raum, für die die Abbildungsfehler Koma und Astigmatismus unabhängig voneinander in einem Punkt auf der Fokalfläche zum verschwinden gebracht werden können.
Die erfindungsgemäße Anordnung der Bauelemente ist sowohl für Schelle-Gitter, Plangitter oder Dispersionsprismen als auch für Echelle—Gitter und Dispersionsprismen in gekreuzter Aufstellung geeignet« Im letzten Fall ist das Dispersionsprisma nahe dem Bchelle-Gitter vorteilhafterweise in doppeltem Durchgang im Strahlengang angeordnet» Zur Gewährleistung von Polychroraator- und Monochromatorbetrieb bei gekreuzter Aufstellung von Prisma und Echelle-Gitter ist der Kameraspiegel um zwei Achsen, die senkrecht zu seiner optischen Achse verlaufen, drehbar gelagert, und die geometrisch im wesentlichen gleichmäßig über die Fokalfläche verteilten und für den Polychroraatorbetrieb vorgesehenen Elemente zur Aussonderung und Weiterleitung der Spektralelemente werden in ihrer Anzahl zumindest teilweise für den Monochromatorbetrieb eingesetzt. Die speziellen Abbildungseigenschaften des beschriebenen optischen Systems erlauben eine Verschiebung des Spektrums auf der Fokalfläche bei vernachlässigbarer Verminderung der Abbildungsqualität des Systems mittels geringfügiger Drehung des Earneraspiegels. Durch definierte Drehung um die zwei Achsen läßt sich somit Jedes Spektralelement des Gesamtspektrums auf die Stirnfläche eines Lichtleitelementes, ZoBo einer Lichtleitfaser, abbilden. Die Stirnfläche befindet sich in einem eng begrenzten Abstand zur Fokalfläche*
Durch die Auswahl einer minimalen Anzahl annähernd gleichmäßig über das Spektrum verteilter Lichtleitelemente aus einer für den Polychromatorbetrieb vorhandenen Gesamtheit, kann so das gesamte Spektrum mit der zur Verfügung stehenden Empfängeranordnung kontinuierlich registriert
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BAD OBlGlNAL
JO
werden, indem der Kanieraopiegel innerhalb der» sur Gewähr« leistung des geforderten Auflösungsvermögens zugelassenen Winkerbereichs definiert gedreht wirdo Die Anzahl der Sequenzkanäle im Monochromatorbetrieb sollte zweckmäßigerweise gleich der Ansah! der im Spektrometer vorhandenen Simultankanäle für den Polychromatorbetrieb sein.
Um nur geringste Bewegungen des Kameraspiegels zu benötigen, können in bestimmten Anwendungsfällen auch alle Simultankanäle für den Monochromatorbetrieb eingesetzt werdeno Die Zuordnung der Lichtleitelemente zu den einzelnen Empfängern ist frei wählbar und rechnergesteuert. Neben dem Monochromatorbetrieb wird durch die Drehung des Kameraspiegels im Pol yohrotnatorbet rieb eine Registrierung der unmittelbar benachbarten Spektralintervalle für alle simultan gemessenen Spektralelemente ermöglicht, sowie eine durch Umwelteinflüsse bedingte Nachführung des Spektrums auf der Pokalfläche.
Der Monochromatorbetrieb ist außerdem realisierbar, indem zumindest Teile des dispergierenden Gliedes verstellbar sind und die Fokalfläche einen im wesentlichen in ihrer Mitte angeordneten Austrittsspalt aufweist· Bei Einsatz eines Schelle-Gitters ist dieses um eine zu den Gitterfurchen parallele Achse drehbar gelagert. Das gilt auch, wenn das dispergierende Glied als Piangitter ausgebildet ist· V/ird zusätzlich zum Echelle-Gitter ein Dispersionsprisma zur Ordnungstrennung verwendet, ist neben der Drehung ein Texschwenken um eine zur Drehachse senkrechte Achse, die in der Dispersionsebene des Echelle-Gitters liegt, notwendig· Für ein Dispersionsprisma liegt die Drehachse senkrecht zu dessen Dispersionsebene <,
Die Erfindung soll nachstehend anhand der schematischen Zeichnung näher erläutert werden«,
4576
BAD ORIGINAL
Ss zeigen:
Fig. 1 eine optische Anordnung der Bauelemente gemäß
der Erfindung
Fig. 2 die Verteilung der Stirnflächen von Lichtleit element en in einem Faserblock
In Fig. 1 sind einer Lichtquelle 1 im Strahlengang eine aus zueinander senkrecht angeordneten Eintrittsspalten 2, 3 "bestehende Licht eintritt soff nung zur sagitt&len. und tangentialen Begrenzung der Eintrittsapertur naohgeordnet. Sin Kollimatorspiegel 4 mit einem Radius R. und ein Kameraspiegel 5 mit einem Radius Rg, beide sind als sphärische Konkavspiegel ausgebildet, sind eng benachbart zueinander und mit ihren Scheitelpunkten B und D gleichvveit vom Mittelpunkt C eines Schelle-Gitters 6 entfernt. Für die erfindungsgemäße Lösung ist R = R = R9 Der Kameraspiegel 5 ist um zwei Achsen a, a1, die senkrecht zu seiner optischen Achse verlaufen, drehbar gelagert. Die Bewegung kann mit Hilfe von Schrittmotoren, die rechnergesteuert angetrieben werden- und jeweils einer Spindel Woex Hebelarme definiert erfolgen« Zur Ordnungatrennung ist dem Echelle-Gitter 6 ein Dispersionsprisma 7 in doppeltem Strahlengang vorgeordnet * Strecken PTb und pTd spannen die Hauptdispersionsebene des optischen Systems auf, die durch das Dispersionsprisma 7 geknickt wird und zwischen dem Echelle-Gitter 6 und dem Dispersionsprisma 7 durch Strecken YJJ und P~C bestimmt ist«
Der Eintrittsspalt 2 und eine Fokalfläche 8 sind mit ihren Mittelpunkten A und S im gleichen Abstand und jeweils auf entgegengesetzter Seite bezüglich der Hauptdispersionsebene angeordnet«,
Ein von der Lichtquelle 1 ausgehendes Strahlenbündel, das durch seinen Mittenstrahl 9 dargestellt ist, durchsetzt am Mittelpunkt A den sagittalen Eintrittsspalt 2, anschließend den tangentialen Eintrittsspalt 3 und
4576
BAD ORlGiNAL }
trifft irn Scheitelpunkt B auf den Kollimator spiegel 4» Der reflektierte Mittenstrahl 10 tritt in Punkten P. und Pp durch das Dispersionsprisma 7 und fällt unter einem Einfallswinkel o' im Punkt C auf das -Schelle-Gitter 6. Abgelenkt unter einem Beugungswinkel ß wird das Dispersionsprisma 7 wiederum, diesmal in Punkten P^ und P^ durch den Mittenstrahl 11 durchstrahlt« Der Mittenstrahl 11 fällt im Scheitelpunkt D auf den Kameraspiegel 5 und wird als reflektierter Mittenstrahl 12 von diesem auf die Fokalfläche 8 gerichtet« In der Foka.1-flache 8 entsteht ein in zwei Dimensionen aufgespaltenes ■Spektrum« Die Mittenstrahlen 9 und 10, 11 und 12 schließen außer axiale Winkelt, und Gp ein, wobei für die erfindungsgemäße Lösung i ^ = 3>2 = Θ gilto Die Ablenkung erfolgt in Rsflexionsebenen, die senkrecht zur Hauptdispsi'Sionsebane stehen«
Eine Anordnung gemäß der Erfindung wird in folgender Konfiguration verwirklicht:
R « R2 s: 1002 mm CP2 = "GT3 = 67 mm
25 = 506,25 ram ^ 1 s c'z ~ 7>46°
Bl1= DP4= 473 mm *. = 68,23° ß = 60,33°
Das Dispersionsprisma 7 ist so angeordnet, daß für den Strahl, der die geometrische Mitte der Fokalflache 8 im Punkt S trifft, ein symmetrischer Strahlenverlauf am Dispersionsprisma 7 sowohl in der Hauptdispersionsebene als auch in der dazu im wesentlichen senkrecht stehenden Dispersionsebene des Dispersionsprismas 7 erreicht wird.
Der Fokalebene 8 nachgeordnet sind hinter einer Spaltmaske Lichtleitelemente in einem Faserblock positioniert (nicht dargestellt), die die abgebildeten Spektralelemente au Fotoempfängern weiterleiten. Abgeleitet von einer begrenzten Empfänger ans aiii werden Kombinationen von Elementen ausgewählte
Die Verteilung der Stirnflächen der Lichtleitelemente im
4576
BAD ORIGINAL
Faserblock, die den geometrischen Orten von Hauptanalysenlinien verschiedener Elemente im Echelle-Spektrum ent spricht, ist in Figo 2 dargestellte Für den Monochromatorbetrieb werden der Empfang er zahl entsprechend aus der Gesamtheit der Polychromatorkanäle geometrisch möglichst gleichmäßig ifber das Spektrum verteilte Lichtleitelemente ausgewählt und den Empfängern zugeordnet. Die Registrierung aller Spektralelemente des Gesamt spektrums kann somit erfindungsgemäß über den jeweils nächst-gelegenen Monochromatorkanal durch Drehung des Kameraspiegels um die Achsen a, a' erfolgen. Zum Beispiel wird die Queoksilberlinie Hg 194, 227 nm,. siehe Fig. 2, Übex den Zn-Kanal Zn 202, 551 nm registriert. Diese Maßnahme "bewirkt keine Verschlechterung der Abbildungsqualität. Demgegenüber wäre eine Registrierung der genannten Hg-Linie ixbeT den Monochromatorkanal Magnesium Mg 279, 553 nm mit einer deutlichen, abberationsbedingten Erhöhung der Halbiertsbreite der Linie verbunden. Zur Zuordnung der Lichtleitelemente zu den Photoempfängern sind Stellmittel vorgesehen, die rechnergesteuert angetrieben werden«
4576
BAD

Claims (1)

  1. Pat e nt anspr ü ehe " ; - ; - ο ς ι ω -ι q ο
    1· Optisches System für .Spektralgeräte'mit einer Lichteintritt sb'ffnung, einem Kollimator, einem dispergierendem Glied, einer Kameraoptik und mit in der Fokalflache des Systems angeordneten Elementen zur Aussonderung und Weiterleitung von Spektralelementen zu einer Empfängeranordnung, gekennzeichnet dadurch, daß Kollimator- und Kameraoptik als sphärische Konkavspiegel ausgebildet sind und Scheitelpunkte aufweisen, die gleichweit vom dispergierenden Glied entfernt in der Dispersionsebene des dispergierenden Gliedes liegen und an ihnen reflektierte Mittenstrahlen in senkrecht zur Dispersionsebene des dispergierenden Gliedes stehenden.'Reflexionsebenen verlaufen, die Licht eintrittsöffnung aus zueinander im wesentlichen senkrecht im Strahlengang nacheinander angeordneten Spalten zur sagittalen und tangentialen Begrenzung der Eintrittsapertur besteht, wobei sagittales und tangentiales Spaltbild in der Pokalebene zusammenfallen und daß die Licht eintrittscffnung bezüglich der Mitte der Fokalflache χ auf entgegengesetzter Seite und gleichweit entfernt von | der Dispersionsebene des d isper gier enden Gliedes angeord- *" net ist.
    2o Optisches System nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß der tangential begrenzende Spalt eine Entfernung r. » 1/2 S cos e und der sagittal begrenzende Spalt
    j (cos oc/cos flj
    eine Entfernung ro - Ί2 E cos , j (cos oc/cos fl
    ^ I (cos x/cos ß) ocos -'-sin ·
    zum Kollimator aufweisen, wobei
    R den Spiegelradien von Kollimator- und Kameraspiegel, ij dem eingeschlossenen Winkel zwischen den reflektierten
    Mittenstrahlen,
    .'■£ dem Einfalls- und
    ß dem Beugungswinkel am dispergierenden Glied entsprechen,,
    3ο Optisches System nach Anspruch 2, gekennzeichnet dadurch, daß als dispergierendes Glied ein Echelle-Gitter eingesetzt isto
    4576 BAD ORIGINAt
    ζ 4» Optisches Sv-stem nach Anspruch 3 gekennzeichnet dadurch,
    daß zur Ordnungstrennung dem Echelle-Gitter ein Dispersionsprisma in doppeltem Durchgang im Strahlengang vorgeschaltet ist, dessen Dispersionsebene im wesentlichen senkrecht zur Dispersionsebene des Echelle-Gitters verläuft ·
    5* Optisches System nach Anspruch 2, gekennzeichnet dadurch, daß das dispergierende Glied ein Plangitter ist·
    6. Optisches System nach Anspruch 2, gekennzeichnet dadurch, daß das dispergierende Glied als Dispersionsprisma ausgebildet ist.
    7. Optisches oystem nach Anspruch 3 oder 4, gekennzeichnet dadurch, daß der Kameraspiegel um zwei Achsen, die senkrecht zu seiner optischen Achse verlaufen, drehbar gelagert ist und daß die geometrisch im wesentlichen gleichmäßig über die Fokalebene verteilten und für den Polychro-
    T matorbetrieb vorgesehenen Elemente zur Aussonderung und
    Weiterleitung der Spektralelemente in ihrer Anzahl zumin-
    * dest teilweise für den Monochromatorbetrieb eingesetzt
    werden.
    8o Optisches System nach Anspruch 2, gekennzeichnet dadurch, daß zumindest '!'eile des dispergierenden Gliedes zum Monochromatorbetrieb verstellbar sind und die Fokalfläche einen im wesentlichen in ihrer Mitte angeordneten Austrittsspalt aufweist.
    9β Optisches System nach Anspruch 3 und 8, gekennzeichnet dadurch, daß das "Echelle-Gitter um eine zu den Gitterfurchen parallele Achse drehbar ist.
    10. Optisches System nach Anspruch 4 und 8, gekennzeichnet dadurch, daß das Echelle-Gitter um eine erste, zu den Gitterfurchen parallele Achse drehbar und um eine zweite, die zur ersten senkrecht verläuft und in der Dispersionsebene des Schelle-Gitters liegtfverschwenkbar ist.
    4576 BAD ORIGINAL
    11. Optisches System naοIi Anspruch 5 und 8, gekennzeichnet dadurch, daß das Plangitter um eine zu den Gitterfurchen parallele Achse drehbar ist·
    12. Optisches System nach Anspruch 6 und 8, gekennzeichnet dadurch, daß das Dispersionsprisma urn eine zu seiner Dispersiansebene senkrecht verlaufenden Achse drehbar ist.
    4576
    BAD ORIGINAL
DE19853516183 1984-07-02 1985-05-06 Optisches system fuer spektralgeraete Withdrawn DE3516183A1 (de)

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