DD226962B1 - Optisches system fuer echelle-spektrometer - Google Patents

Optisches system fuer echelle-spektrometer Download PDF

Info

Publication number
DD226962B1
DD226962B1 DD26478984A DD26478984A DD226962B1 DD 226962 B1 DD226962 B1 DD 226962B1 DD 26478984 A DD26478984 A DD 26478984A DD 26478984 A DD26478984 A DD 26478984A DD 226962 B1 DD226962 B1 DD 226962B1
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
echelle
grating
collimator
camera
echelle grating
Prior art date
Application number
DD26478984A
Other languages
English (en)
Other versions
DD226962A1 (de
Inventor
Stefan Florek
Helmut Becker-Ross
Joachim Mohr
Hans-Juergen Dobschal
Original Assignee
Zeiss Jena Veb Carl
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zeiss Jena Veb Carl filed Critical Zeiss Jena Veb Carl
Priority to DD26478984A priority Critical patent/DD226962B1/de
Priority to DE19853516183 priority patent/DE3516183A1/de
Priority to US06/744,861 priority patent/US4690559A/en
Priority to FR858509825A priority patent/FR2566902B1/fr
Priority to GB08516395A priority patent/GB2163567B/en
Priority to CH2809/85A priority patent/CH668126A5/de
Priority to JP60145664A priority patent/JPS6156921A/ja
Publication of DD226962A1 publication Critical patent/DD226962A1/de
Publication of DD226962B1 publication Critical patent/DD226962B1/de

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J3/00Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
    • G01J3/12Generating the spectrum; Monochromators
    • G01J3/18Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
    • G01J2003/1828Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating with order sorter or prefilter

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Description

Für die Astigmatismuskompensation muß der Abstand des sagittalen Spaltes vom Kollimatorspiegel
,2
v=X Rcos 0.
(cos oC/cos ß)'
2 2
(cOSiX-/cOfc ß) · COS
betragen. Zur Trennung von sich überlagernden Echelle-Ordnungen bei Verwendung eines großen Wellenlängenbereiches wird ein Dispersionsprisma vor dem Echelle-Gitter angeordnet, das in doppeltem, möglichst symmetrischem Durchgang, arbeitet. Der außeraxiale Winkel Θ an den Spiegeln wird so gewählt, daß sich die Begrenzung des zweidimensionalen Spektrums so eng wie möglich neben der Prismakante befindet.
Ausführungsbeispiel
Die Erfindung soll anhand eines in der Zeichnung dargestellten Beispieles näher erläutert werden.
In Figur ist das erfindungsgemäße System schematisch dargestellt.
Von einer Lichtquelle 1 ausgehendes Licht durchsetzt am Mittelpunkt Aden sagittalen Eintrittsspalt 2.
Weiter wird der nachgeordnete tangentiale Eintrittsspalt 3 durchdrungen, und das Licht tritt im Scheitelpunkt B auf den Kollimatorspiegel 4 mit dem Radius Rv Das reflektierte Licht durchsetzt in den Punkten P1, P2 das Dispersionsprisma 8 und fällt unter dem Einfallswinkel im Punkt C auf den Mittelpunkt des Echelle-Gitters 7. Der Lichtstrahl wird unter dem Beugungswinkel ß vom Echelle-Gitter 7 abgelenkt und durchsetzt in den Punkten P3, P4 erneut das Dispersionsprisma 8. Danach tritt das Licht im Scheitelpunkt D auf den Kameraspiegel 5 mit dem Radius R2 und erzeugt nach Reflexion in der Fokalebene 6 einen herausgegriffenen Mittelpunkt E des Spektrums. Der Lichtstrahl wird unter einem außeraxialen Winkel O1 am Kollimatorspiegel 5 reflektiert.
Das beschriebene optische System ist überdies auch für Plangittersysteme anwendbar.
Der erfindungsgemäße Aufbau wird in folgender Konfiguration realisiert:
R1 = R2 = 1 002 mm O1=Q2 = 7,46°
AB = 506,25 mm a = 68,23°
BP1 = DP4 = 473 mm ß = 60,33° CP2 = CP3 = 67 mm
Die Fokalebene 6 ist um 5,2° senkrecht zur Dispersionsebene des Echelle-Gitters 7 gedreht. Das Prisma 8 ist so angeordnet, daß für die Wellenlänge, die die geometrische Mitte von 6 in B trifft, symmetrischer Strahlverlauf am Prisma 8 sowohl in der Dispersionsebene von Gitter 7 als auch in der senkrecht dazu stehenden Dispersionseinrichtung des Prismas 8 erzielt wird. Das optische System istfüreinen Wellenlängenbereich von 190-850 nm ausgelegt, wobei für den Bereich 190-370 nm eine Auflösung 0,01 nm und für den Bereich 370-850 nm eine Auflösung 0,05nm erreicht wird.

Claims (2)

  1. -1 Patentansprüche:
    1. Optisches System für Echelle-Spektrometer, bestehend aus einer Eintrittsspaltanordnung, einem Echelle-Gitter (7), Kollimatorspiegel (4) und Kameraspiegel (5) sowie einer Fokalfläche (6), gekennzeichnet dadurch, daß die Reflexion der Scheitelpunktstrahlen (AB, BC) am Kollimatorspiegel (4) und (CD, DE) am Kameraspiegel (5) in Ebenen erfolgt, die senkrecht zur Dispersionsebene des Echelle-Gitters (7) verlaufen, daß die Abstände der Scheitelpunkte von (4) und (5) zum Echelle-Gitter gleich sind, daß die Eintrittsspaltanordnung aus einem sagittalen (2) und tangentialen Spalt (3) besteht, die derart angeordnet sind, daß das tangentiale und sagittale Spaltbild auf der Fokalfläche (6) zusammenfällt, daß sich die Eintrittsspaltanordnung bezüglich der Fokalfläche auf entgegengesetzten Seiten in gleichem Abstand von der Dispersionsebene des Echelle-Gitters befindet, daß sich die Fokalfläche in der tangentialen Brennebene des Kameraspiegels (5) befindet.
  2. 2. Optisches System nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß zur Ordnungstrennung ein Dispersionsprisma (8) in doppeltem Durchgang vor dem Echelle-Gitter eingesetzt ist.
    Hierzu 1 Seite Zeichnung
    Anwendungsgebiet der Erfindung
    Die Erfindung kann in Geräten für die Spektralanalysen angewandt werden.
    Charakteristik der bekannten technischen Lösungen
    Echelle-Spektrometer für Anwendungen in der Spektralanalyse, bei denen durch die analytische Aufgabenstellung das minimale Auflösungsvermögen und der minimale Lichtleitwert bei vorgegebenem Spektralbereich weitestgehend festgelegt sind, sind bekannt. Die Geräteentwicklung tendiert dazu, die Grenzwerte dieser Parameter bei möglichst geringer Baugröße des Spektrometer und minimalen Aufwand zu erreichen. Es ergibt sich, daß die erforderliche Fläche des Echelle-Gitters durch den geforderten minimalen Lichtleitwert bestimmt wird. Bei fester Gittergroße nehmen bei Verringerung der Brennweite von Kollimator- und Kameraspiegel die minimal möglichen außeraxialen Winkel und damit die Abbildungsfehler zu. Um geringste Baugröße zu realisieren, ist ein möglichst abbildungsfehlerarmer Spektrometeraufbau notwendig. Hierfür bieten bekannte Lösungen keine günstigen Voraussetzungen. Die Korrekturmethoden der Abbildungsfehler bedingen unnötig große Geräteabmessungen und hohe Kosten, wie z.B. in US-PS 4183668 beschrieben.
    Ziel der Erfindung
    Ziel der Erfindung ist es, eine Lösung zu finden, die die Mängel des bekannten Standes der Technik abstellt.
    Darlegung des Wesens der Erfindung
    Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen optischen Aufbau für ein Echelle-Spektrometer anzugeben, bei dem der Zustand geringster Abbildungsfehler, insbesondere Koma und Astigmatismus, für den vorgegebenen Spektralbereich bei der engsten geometrisch möglichen Anordnung der optischen Bauelemente erreicht wird. Diese Aufgabe löst ein optisches System für Echelle-Spektrometer erfindungsgemäß dadurch, daß die Anordnung der optischen Bauelemente zur Minimierung von Abbildungsfehlern bestimmte geometrische Bedingungen erfüllt. Kollimator- und Kameraspiegel sind Hohlspiegel, deren Scheitelpunkte in der Dispersionsebene des Echelle-Gitters liegen, wobei die Dispersionsebene die Ebene ist, die senkrecht zu den Gitterfurchen durch den Mittelpunkt der Gitterfläche verläuft. Kollimator- und Kameraspiegel befinden sich in gleichem Abstand vom Echelle-Gitter in minimaler Entfernung voneinander, um zum Zwecke hoher Gittereffektivität eine nur geringe Abweichung vom Autokollimationsfall am Gitter zu gewährleisten. Die Ablenkung der Hauptstrahlen in den Scheitelpunkten von Kollimator- und Kameraspiegel erfolgt in Ebenen, die senkrecht zur Dispersionsebene des Echelle-Gitters verlaufen. Die Eintrittsspalte und die Mitte des Spektrums liegen jeweils auf der entgegengesetzten Seite der Dispersionsebene des Echelle-Gitters. Die Koma ist nicht mehr wie bei Czerny-Turner-Anordnungen vom Einfalls- und Beugungswinkel am Echelle-Gitter abhängig.
    Sie verschwindet für
    2 3
    sin θ2 = R2 * cos Q2
    sin O1 R1 2 · 1
    wenn sich der Eintrittsspalt in einer Entfernung rt = Ѵг · R1 · cosQvom Kollimatorspiegel befindet. Das wird für Ѳі = 02 = Ѳ und R1 = R2 = R erfüllt, die Koma wird für den symmetrischen Fall eliminiert. Das tangentiale Bild des Eintrittsspaltes entsteht im Abstand r[ = 1/2Rcos0 vom Kameraspiegel. Der Astigmatismus ist dann beseitigt, wenn das sagittale Bild mit dem tangentialen zusammenfällt.
    Dazu wird erfindungsgemäß der Eintrittsspalt in zwei senkrecht zueinander angeordnete Teilspalte zerlegt, die die begrenzte Spalthöhe und -breite der Eintrittsapertur bilden.
DD26478984A 1984-07-02 1984-07-02 Optisches system fuer echelle-spektrometer DD226962B1 (de)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD26478984A DD226962B1 (de) 1984-07-02 1984-07-02 Optisches system fuer echelle-spektrometer
DE19853516183 DE3516183A1 (de) 1984-07-02 1985-05-06 Optisches system fuer spektralgeraete
US06/744,861 US4690559A (en) 1984-07-02 1985-06-14 Optical system for spectral analysis devices
FR858509825A FR2566902B1 (fr) 1984-07-02 1985-06-27 Systeme optique pour spectroscope
GB08516395A GB2163567B (en) 1984-07-02 1985-06-28 Optical system for spectral analysis devices
CH2809/85A CH668126A5 (de) 1984-07-02 1985-07-01 Optisches system fuer spektralgeraete.
JP60145664A JPS6156921A (ja) 1984-07-02 1985-07-02 スペクトル分析装置用光学系

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD26478984A DD226962B1 (de) 1984-07-02 1984-07-02 Optisches system fuer echelle-spektrometer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DD226962A1 DD226962A1 (de) 1985-09-04
DD226962B1 true DD226962B1 (de) 1987-05-06

Family

ID=5558458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DD26478984A DD226962B1 (de) 1984-07-02 1984-07-02 Optisches system fuer echelle-spektrometer

Country Status (1)

Country Link
DD (1) DD226962B1 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10011462C2 (de) * 2000-03-10 2002-05-08 Ges Zur Foerderung Angewandter Optik Optoelektronik Quantenelektronik & Spektroskopie Ev Optisches Spektrometer mit Astigmatismuskompensation

Also Published As

Publication number Publication date
DD226962A1 (de) 1985-09-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1845349B1 (de) Spektralanalytische Einheit mit einem Beugungsgitter
DE102006047913B4 (de) Hochempfindliche spektralanalytische Einheit
DE19611218A1 (de) Spektrograph mit niedriger Blendenzahl
DE69518244T2 (de) Gerät zur durchführung einer spektralanalyse einer optischen lichtquelle mittels bildaufnahme und trennung bestimmter spektraler ordnungen
EP2943760B1 (de) Spektrometer
EP0442596B1 (de) Echelle-Polychromator
EP0502866B1 (de) Zweistrahl-spektrometer
DE19961908C2 (de) Hochauflösendes Littrow-Spektrometer und Verfahren zur quasi-simultanen Bestimmung einer Wellenlänge und eines Linienprofils
DE3516183A1 (de) Optisches system fuer spektralgeraete
DE102018205401B4 (de) Spektralanalysesystem zum Aufnehmen eines Spektrums
EP0587683B1 (de) Echelle-polychromator
DE102015108818B4 (de) Anordnung zur Spektroskopie und Verfahren zur Herstellung der Anordnung
DE60201596T2 (de) Breitband-Spektrometer mit einem einen asphärischen Korrekturspiegel aufweisenden Objektiv und einem zweifach vom Einfallsstrahl durchquerten Dispersionselement
DE2814058A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur korrektur von astigmatismus und koma in einem spektrographen mit ebenem gitter und zwei konkaven spaerischen spiegeln
DD226962B1 (de) Optisches system fuer echelle-spektrometer
DD141862A1 (de) Optisches system fuer spektralgeraete
DE4410036A1 (de) Zweistrahl-Polychromator
EP0454284A1 (de) Spektrometer
DE19900308B4 (de) Echelle-Spektrometer geringer Baugröße mit zweidimensionalem Detektor
DE10011462C2 (de) Optisches Spektrometer mit Astigmatismuskompensation
DE102018100622B4 (de) Simultanspektrometer mit einem planen reflektiven Beugungsgitter
EP1597548A1 (de) Verfahren zur ermittlung optimaler gitterparameter für die herstellung eines beugungsgitters für ein vuv- spektrometer
DE102022110651B4 (de) Kompaktes optisches Spektrometer
DD296552A5 (de) Spektrograf
DD251837B5 (de) Polychromator f}r CCD-Zeilenabbildung

Legal Events

Date Code Title Description
RPI Change in the person, name or address of the patentee (searches according to art. 11 and 12 extension act)
ASS Change of applicant or owner

Owner name: CARL ZEISS JENA GMBH

Effective date: 19921019

IF04 In force in the year 2004

Expiry date: 20040703