DE3503048C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft eine zweidimensionale Bildlese
vorrichtung, insbesondere eine Festkörper-Abbildeein
heit, die ohne mechanische oder optische Abtasteinrich
tung ein Bild auf einer Vorlage erkennt, die unmit
telbar auf der Abbildeeinheit liegt.
Eine Bildlesevorrichtung wird z. B. für eine Faksimile-
Einrichtung oder einen intelligenten Kopierer benutzt.
Bei der bekannten Bildlesevorrichtung wird die Doku
mentvorlage nach dem sogenannten Schlitzabtastverfahren
gelesen, bei dem die Dokumentvorlage in einem Schlitz
belichtet wird, der über die gesamte Dokumentvorlage
optisch oder mechanisch abgetastet wird. Das Schlitz
bild, das im allgemeinen mit Hilfe eines geeigneten
optischen Linsensystems auf kleinere Größe reduziert
wird, wird von der Festkörper-Abbildeeinheit erkannt
und gelesen, die in eindimensionaler Anordnung so ge
staltet ist, daß mehrere Abbildeelemente, z. B. vom
CCDs- oder MOS-Typ geradeausgerichtet sind.
Eine typische bekannte Festkörper-Abbildeeinheit ist
etwa 30 mm lang und deshalb muß ein verhältnismäßig
langer optischer Weg zwischen dem Vorlagedokument, bei
dem das Schlitzbild hergestellt wird und der
Abbildeeinheit, bei der das Schlitzbild reproduziert
wird, vorgesehen werden. Daher war es schwierig, eine
Bildlesevorrichtung gedrungener, kompakter Größe
herzustellen. Außerdem war bei einer solchen bekannten
Bildlesevorrichtung die Justierung des optischen
Systems, z. B. die Fokuseinstellung, sehr schwierig und
verlangte große Erfahrung. Ferner entstanden viele
andere Probleme, z. B. ungenügende Lichtintensität in
den Randzonen und problematische Bildzerlegbarkeit.
Zur Überwindung der beschriebenen Probleme wurde eine
Bildlesevorrichtung des Kontakttyps vorgeschlagen. Bei
dieser Vorrichtung wird ein eindimensionaler Festkör
per-Bildsensor verwendet, der ohne Bildverkleinerung
mittels einer Faserlinsengruppe, die sich zwischen der
Dokumentvorlage, an der das Schlitzbild erzeugt wird
und der Abbildeeinheit erstreckt, ein Schlitzbild di
rekt erkennen und lesen kann. Infolge des Kontakttyps
der Bildlesevorrichtung wird jedoch eine verhältnismä
ßig große fotoelektrische Umsetzervorrichtung benötigt,
die die gleichmäßige Ausbildung einer fotoleitfähigen
Schicht auf einem verhältnismäßig großen Bereich ver
langt. Bisher wird vorgeschlagen, zur Bildung einer
eindimensionalen Festkörper-Abbildeeinheit des Kontakt
typs eine CdS-CdSe-Schicht, eine amorphe Se-As-Te-
Schicht oder amorphe Si-Schicht zu verwenden. In jedem
Falle ist es zur Anwendung dieser Schichten bei einer
Bildlesevorrichtung notwendig, eine Anordnung zur Ab
tastung der Dokumentvorlage oder zur Abtastung des op
tischen Linsensystems gemeinsam mit der Abbildeeinheit
über die Dokumentvorlage vorzusehen, wodurch der Aufbau
sperrig und kompliziert wird.
Bei einer aus der JP-OS 58-79 56 bekannten Bildleseein
heit ist eine Halbleiterschicht aus fotoelektrischem
Material mit einer ersten und einer zweiten Fläche vor
gesehen, wobei auf der ersten Fläche der Halbleiter
schicht eine erste Elektrode und auf der zweiten Fläche
der Halbleiterschicht mehrere, zueinander parallel an
geordnete zweite Elektroden, die die erste Elektrode
kreuzen, angeordnet sind. Die erste Elektrode oder die
zweiten Elektroden bestehen aus transparentem Material.
Diese Bildleseeinheit ist ein eindimensionaler Festkör
per-Bildsensor. Ein derartiger eindimensionaler Bild
sensor erfordert, eine Einrichtung zur Abtastung der
Dokumentvorlage vorzusehen, die einen hohen Platzbedarf
hat und mechanisch aufwendig ist. Ferner ist das
Signal/Rausch-Verhältnis und die Empfindlichkeit der
artiger Bildsensoren nicht zufriedenstellend.
Die JP-OS 57-1 97 853 beschreibt eine Dünnfilm-Diode mit
p-i-n-Struktur, jedoch nicht, daß die p- und n-Schicht
die jeweiligen Elektroden in die i-Schicht einbetten.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Bildle
seeinheit zu schaffen, die keine mechanische oder opti
sche Abtasteinrichtung benötigt und deren Signal/Rausch-
Verhältnis und Empfindlichkeit verbessert ist.
Zur Lösung dieser Aufgabe dienen die Merkmale des
Hauptanspruchs.
Die Erfindung schafft eine verbesserte Bildlesevorrich
tung mit einer zweidimensionalen Festkörper-Abbildeein
heit, die das Vorlagebild ohne mechanische oder opti
sche Abtasteinrichtung erkennen und lesen kann.
Der Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung der p-i-n-
Schicht besteht darin, daß ein unerwünschter Leckstrom
zwischen benachbarten Fotozellen unterbunden wird, wo
durch der Signal/Rausch-Abstand und die Empfindlichkeit
der Fotozellen verbessert wird.
Die zweidimensionale Bildleseeinheit weist eine Schicht
aus fotoelektrischem Material mit entgegengesetzten
Flächen, mehrere zueinander parallele transparente
Elektroden auf der einen Schichtfläche und mehrere opa
ke Elektroden auf der anderen Schichtfläche auf, wobei
die opaken Elektroden und die transparenten Elektroden
sich kreuzen. An jeder Kreuzungsstelle der transparen
ten und der opaken Elektroden befindet sich eine Foto
zelle.
Diese und andere Gegenstände und Merkmale der Erfindung
werden unter Bezug auf die bevorzugte Ausführungsformen
darstellenden Zeichnungen nachfolgend beschrieben, wo
bei gleiche Teile gleiche Bezugszeichen aufweisen. Es
zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Teilansicht der Struktur
des fotoelektrischen Materials einer zweidimensionalen
Festkörper-Bildleseeinheit für eine Bildlesevorrichtung
gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 2a einen Querschnitt längs der Linie II-II in
Fig. 1,
Fig. 2b eine Draufsicht auf die zweidimensionale
Festkörper-Bildleseeinheit nach Fig. 1,
Fig. 3 ein Schaltschema zur Veranschaulichung eines
Antriebskreises zum Antrieb der Fotozellen einer zwei
dimensionalen Festkörper-Bildleseeinheit nach Fig. 1,
Fig. 4, 5, 6 und 7 graphische Darstellungen ver
schiedener Betriebscharakteristika der zweidimensiona
len Festkörper-Bildleseeinheit,
Fig. 8 eine schematische Ansicht eines Systems, bei
dem die zweidimensionale Festkörper-Bildleseeinheit an
verschiedene Vorrichtungen angeschlossen ist,
Fig. 9 einen Querschnitt durch eine andere, von der
Anordnung nach Fig. 2a abweichende Ausführungsform
einer zweidimensionalen Festkörper-Bildleseeinheit und
Fig. 10 und 11 Schaltbilder, die eine Operation zum
Antrieb jeder Fotozelle zeigen.
Fig. 1, 2a und 2b zeigen Teilansichten einer zweidi
mensionalen Festkörper-Bildleseeinheit in vergrößertem
Maßstab. Die zweidimensionale Festkörper-Bildleseein
heit besteht aus einem Substrat 1 aus elektrisch iso
lierendem Material, mehreren mit vorgegebenen Abständen
parallel zueinander angeordneten Streifenelektroden 2,
einer Halbleiterschicht 3 und mehreren Streifenelektro
den 4, die mit vorgegebenen Abständen parallel zueinan
der verlaufen. Streifenelektroden 2, die als X-Elektro
den bezeichnet werden und Streifenelektroden 4, die als
Y-Elektroden bezeichnet werden, sind auf den entgegen
gesetzten Flächen der Halbleiterschicht 3 angeordnet
und sie verlaufen senkrecht zueinander. Gemäß einer
bevorzugten Ausführungsform ist die Halbleiterschicht 3
aus fotoelektrischem Material, z. B. einem hydrierten
amorphen Silicium mit PIN-Struktur. An jedem Kreuzungs
punkt von X-Elektrode und Y-Elektrode wird eine Foto
zelle definiert.
Wenn es sich um eine Bildleseeinheit handelt, die ein
Bild auf der Oberfläche der mit Streifenelektroden 2
ausgestatteten Halbleiterschicht 3 empfängt, müssen das
Substrat 1 und die Streifenelektroden 2 aus transparen
ten Materialien und die Streifenelektroden 4 aus nicht
transparentem Material hergestellt werden. Vorzugsweise
besteht in diesem Falle das transparente Substrat 1 aus
einer Glasplatte, während die transparenten Streifen
elektroden 2 aus Indiumoxid (In2O3), Zinnoxid (SnO2)
oder Indium-Zinnoxid (ITO) hergestellt sind. Nicht
transparente Streifenelektroden 4 werden zweckmäßiger
weise aus einem Film aus Al,Cr,Pt,In,In-Sn-Legierung,
In-Ga-Legierung oder Ni-Cr-Legierung hergestellt.
Wenn es sich dagegen um eine Bildleseeinheit handelt,
die ein Bild auf der Oberfläche der mit Streifenelek
troden 4 ausgestatteten Halbleiterschicht 3 empfängt,
müssen die Streifenelektroden 4 aus transparentem Ma
terial und die Streifenelektroden 2 sowie das Substrat
1 aus nicht transparenten Materialien hergestellt sein.
In diesem Falle ist es zweckmäßig, das nicht transpa
rente Substrat 1 aus einer Keramikplatte zu fertigen
und die nicht transparenten Elektroden 2 aus einem Film
aus A1,Cr,Pt,In,In-Sn-Legierung, In-Ga-Legierung oder
Ni-Cr-Legierung herzustellen. Transparente Elektroden 4
bestehen vorteilhafterweise aus Indiumoxid (In2O3),
Zinnoxid (SnO2) oder Indium-Zinnoxid (ITO).
Fig. 3 zeigt eine Ersatzschaltung der Bildleseeinheit
mit einem Antriebskreis zum Antrieb der Fotozellen.
X-Elektroden 2 sind an Schaltelemente 5 angeschlossen.
Entsprechend sind Y-Elektroden 4 an Schaltelemente 6
angeschlossen. Jedes Schaltelement wird z. B. aus einem
C-MOS-Transistor gebildet, dessen Tor an ein Schiebere
gister angeschlossen ist. Durch Steuersignale von senk
rechten und waagerechten Abtastschaltungen 7 und 8 wird
der Ein- und Aus-Betrieb jeder Fotozelle gesteuert.
Die verschiedenen Kennlinien der Fotozelle sind in den
Diagrammen der Fig. 4 bis 7 dargestellt. Fig. 4
zeigt Spannung-Stromkennlinien; Fig. 5 zeigt Foto
strom-Helligkeitsintensitätskennlinien; Fig. 6 zeigt
Ein- und Aus-Ansprechzeiten bei verschiedenen Gegenvor
spannungen und Fig. 7 zeigt Definitionen von Ansprech
zeiten tEIN und tAUS, die in dem Diagramm der Fig. 6
benutzt werden. Aus diesen grafischen Darstellungen ist
ersichtlich, daß die Fotozelle bei niedriger Spannung,
z. B. unter 5 Volt arbeiten und trotzdem einen deutli
chen Unterschied zwischen dem Strom im Dunkeln und bei
Beleuchtung (statische Kennlinie), z. B. im Verhältnis
104-105 erzielen kann. Ferner ist die Ansprechzeit für
den Anstieg (90%) und den Abfall (10%) sehr kurz, z. B.
unter 50 Mikrosekunden.
Da die Fotozelle aus hydriertem amorphem Silicium be
steht, ist der effektive Durchgangswiderstand der p-
Schicht oder n-Schicht verhältnismäßig niedrig, wodurch
sich ein unerwünschter Leckstrom zwischen benachbarten
Fotozellen ergibt. Zur Verhinderung solcher Leckströme
durch die Fotozellen ist es zweckmäßig, das hydrierte
amorphe Silicium so zu behandeln, daß die p-Schicht und
die n-Schicht durch Ätzung in ein Muster unterteilt
werden, das den gleichen Aufbau wie die X- und Y-Elek
troden aufweist. Eine solche Ätzung beeinflußt die
Kennlinien der Fotozellen kaum. Die auf der licht
empfangenden Seite angeordnete Schicht soll vorzugswei
se sehr dünn, z. B. 5 bis 100nm sein, um Lichtintensi
tätsverluste in der Schicht zu verhindern. Zur Unter
bindung von Pinhole-Fehlern und zur Verhinderung jegli
cher Stromintrusion hat die i-Schicht eine Dicke zwi
schen 0,5 und 5 µm, vorzugsweise zwischen 1 bis 3 µm
mit einem Durchgangswiderstand größer als 107 Ohm-cm,
vorzugsweise 109 Ohm-cm. Verschiedene Ausführungsformen
sind nachfolgend beschrieben.
Das Substrat 1 wird aus Pyrexglas (140×70) mit einer
Dicke von 1,1 mm hergestellt. Auf das Substrat 1 wird
ein dünner Aluminiumfilm 2 mit einer Dicke von etwa
200 nm aufgedampft und danach wird durch Plasma-CVD
eine amorphe p-Typ Silicium-Schicht 3-1 (Fig. 2) mit
einer Dicke von etwa 100 nm niedergeschlagen. Anschlie
ßend werden mittels des bekannten fotolithografischen
Verfahrens Aluminiumschicht 2 und amorphe p-Typ-Silici
um-Schicht 3-1 gemeinsam geätzt, um mehrere parallele
Streifenelektroden 2 in einer Aufteilung von vier Elek
troden pro Millimeter zu bilden. Als Ätzmittel wird
HF-HNO3-CH3COOH verwendet. Zur Ätzung kann jedes andere
bekannte Verfahren, z. B. das Trockenverfahren mit Reak
tionstyp-Ionenäzung unter Verwendung von CF4 einge
setzt werden. Nach Bildung der Streifen wird auf diesen
die i-Typ-Schicht 3-2 mit einer Dicke von etwa 1 µm
gebildet und anschließend wird die amorphe n-Typ-Sili
cium-Schicht 3-3 mit einer Dicke von 20 nm geformt,
wodurch die als Fotozellen dienenden PIN-Dioden entste
hen.
Die amorphe Silicium-Schicht wird durch folgende
Schritte erzeugt: Die p-Typ-Schicht wird gebildet durch
Glimmentladung von B2H6 und SiH4 mit einem Volumenver
hältnis 1000 ppm, verdünnt mit H2 in 10%; die i-Typ-
Schicht wird gebildet durch Glimmentladung von SiH4,
verdünnt mit H2 in 30% und die n-Typ-Schicht wird ge
bildet durch Glimmentladung von PH3 und SiH4 mit einem
Volumenverhältnis 10 000 ppm, verdünnt mit H2. Die Kon
ditionen zur Durchführung der Glimmentladung sind fol
gende: Die Substrattemperatur beträgt 250°C, der Gas
druck 0,6 mbar und die RF-Leistung beträgt 100 Watt (80
mW/cm2).
Nach Herstellung der amorphen Silicium-Schicht werden
durch RF-Zerstäubung auf der Silicium-Schicht transpa
rente elektrisch leitende Elektroden 4 aus ITO
(In2O3SnO2 (5%))-Film mit einer Dicke von etwa 100 nm
niedergeschlagen. Zur Bildung des Streifenmusters der
Elektroden 4 dient ein Fotoresist-Muster von Streifen,
die zueinander parallel, jedoch zu den Aluminium-Strei
fenelektroden 2 diese vorzugsweise senkrecht kreuzend
mit einer vorgegebenen Rate, z. B. vier Streifen pro
Millimeter verlaufen. Sowohl der ITO-Film als auch die
amorphe n-Typ-Silicium-Schicht werden geätzt. Man er
hält daher eine zweidimensionale Festkörper-Bildeinheit
mit 400 X-Elektroden und 520 Y-Elektroden. Wie Fig. 3
zeigt, ist jede X-Elektrode an den Antriebskreis 7 und
jede Y-Elektrode an den Antriebskreis 8 angeschlossen.
Unter Verwendung der beschriebenen zweidimensionalen
Festkörper-Bildleseeinheit B bei einem System, z. B.
gemäß Fig. 8, wurde ein Bildlesetest durchgeführt. Ein
halbtransparentes Dokument A wurde direkt auf die Bild
leseeinheit B gelegt und durch geeignetes Licht in
Richtung der Pfeile von oben belichtet. Das von der
Bildleseeinheit B empfangene Signal wird zu einer Bild
signalverarbeitungseinrichtung C und weiter zu mehreren
Anzeigeeinrichtungen D, z. B. einem Sichtanzeigegerät,
einem grafischen Drucker und einer Bildspeichereinrich
tung übertragen.
Bei dieser Ausführungsform ist die zweidimensionale
Festkörper-Bildleseeinheit entgegengesetzt zu derjeni
gen des Ausführungsbeispiels 1 ausgebildet. Ein ITO-
Film mit einer Dicke von 90 nm wird zunächst auf dem
Pyrex-Glassubstrat durch RF-Zerstäubung niedergeschla
gen. Dann wird mit Hilfe des Plasma-CVD-Verfahrens
(CVD= Chemical Vapor Deposition) ein amorpher p-Typ-Si
licium-Film von etwa 8 nm Dicke niedergeschlagen. Diese
Filme werden in der vorstehend beschriebenen Weise ge
meinsam so geätzt, daß mehrere parallele Streifenelek
troden zu vier Streifen pro Millimeter gebildet werden.
Dann werden mit Hilfe der Glimmentladungs-Zersetzungs
technik unter Verwendung gewisser reaktiver Gase ein
amorpher i-Typ-Silicium-Film von etwa 3 µm Dicke und
ein amorpher n-Typ-Silicium-Film von etwa 300 nm Dicke
auf den Streifenelektroden geformt. Anschließend wird
durch Zerstäubung ein Aluminium-Film von etwa 200 nm
Dicke auf den n-Typ-Film aufgedampft. Dann werden der
Aluminium-Film und der n-Typ-Film gemeinsam so geätzt,
daß mehrere parallele Streifenelektroden entstehen, die
sich mit den zuerst genannten parallelen Streifenelek
troden kreuzen. Die Bedingungen und die Schritte zur
Herstellung der amorphen Silicium-Schicht sind den in
Verbindung mit dem Ausführungsbeispiel 1 beschriebenen
sehr ähnlich.
Wenn die vorstehend erläuterte zweidimensionale Fest
körper-Bildleseeinheit in der Art gemäß Fig. 3 an An
triebsstromkreise angeschlossen und bei einem System
gemäß Fig. 8 angewendet wird, wird das Bild der Vorla
ge A sofort auf dem Sichtanzeigegerät angezeigt.
Bei dieser Ausführungsform werden Sperrdioden oder
Dünnschichttransistoren benutzt.
Fig. 9 zeigt einen Querschnitt einer zweidimensionalen
Festkörper-Bildleseeinheit gemäß dieser Ausführungsform
3. Diese Anordnung besteht im wesentlichen aus einem
Bereich 9 einer Fotodiodengruppe, an dem das Licht ge
richtet wird und aus einem Bereich 10 einer Sperrdio
dengruppe, die Nebensprechströme verhindert. Fig. 10
zeigt ein Schaltschema ohne Sperrdiode. In einem sol
chen Falle ist es möglich, daß unerwünschter Strom
längs eines Stromweges Y durch die das Bildelement D11
umgebenden Fotodioden fließt. Fig. 11 zeigt ein
Schaltschema einer zweidimensionalen Festkörper-Bildle
seeinheit gemäß dieser Ausführungsform 3, bei dem jede
Fotodiode D mit einer Sperrdiode Db gegenläufig in
Reihe geschaltet ist. Wenn die Fotodiode D Licht
empfängt, sorgt die von der Fotodiode Dp erzeugte La
dung für umgekehrte Vorspannung an der Sperrdiode Db,
wodurch der Nebensprechstrom unterdrückt und verringert
wird.
Anschließend werden die Schritte zur Herstellung der
zweidimensionalen Festkörper-Bildleseeinheit gemäß die
ser Ausführungsform beschrieben.
Der Bereich 9 der Fotodiodengruppe wird mit Hilfe der
im Zusammenhang mit der ersten Ausführungsform erläu
terten Schritte auf einem Substrat 11 gebildet. Bei
dieser Ausführungsform ergeben sich folgende Dickenbe
messungen: transparente ITO-Elektrode 12=150 nm; p-
Typ-Schicht 13=10 nm; i-Typ-Schicht 14=1 µm und
n-Typ-Schicht 15=30 nm. Auf der Fotodiodengruppe 9
ist eine Sperrdiodengruppe 10 angeordnet. Zunächst wird
durch Zerstäubung auf einer Grenzebene eine Lichtab
schirmelektrode 16 niedergeschlagen, damit die Licht
strahlen nicht in die Sperrdiodengruppe 10 eindringen
können. Dann wird auf dieser eine amorphe n-Typ-Sili
ciumschicht 18 gebildet. Diese beiden Schichten werden
gemeinsam geätzt, um mehrere parallele Streifen zu vier
Streifen pro 1 Millimeter zu bilden, die dem gleichen
sich mit den parallelen Streifenelektroden in der Foto
diodengruppe 9 deckenden Muster folgen. Die Streifen
elektroden sind durch Isolationsmaterial 17, z. B.
Si3N4, das durch Plasma CVD zwischen die Streifen ge
langt, gegeneinander isoliert. Das Isolationsmaterial
17 wird in Streifen mit Kontaktmuster hergestellt, das
demjenigen der Streifenelektroden entspricht. Dann wer
den die amorphen i-Typ- und p-Typ-Silicium-Schichten 19
und 20 angelegt. Die Dicke dieser Schichten und die
Bedingungen zu ihrer Herstellung sind die gleichen wie
bei der Fotodiodengruppe. Schließlich wird durch Zer
stäubung eine Aluminiumschicht niedergeschlagen, die
mit der n-Typ-Schicht geätzt wird, um mehrere Streifen
elektroden 21 zu bilden, die sich senkrecht mit trans
parenten Streifenelektroden 12 schneiden. Da die Sperr
diodengruppe 10 Nebensprechstrom eliminiert oder unter
drückt, ist ein hohes Gleichrichtungsverhältnis erfor
derlich. Infolge der Sperrdiode der Ausführungsform 3
wurde ein Gleichrichtungsverhältnis bis zu 1010 oder
darüber für 2 Volt Vorspannung beobachtet.
Wenn man die zweidimensionale Festkörper-Bildleseein
heit gemäß dieser Ausführungsform an die Antriebsstrom
kreise anschließt und in das in Fig. 8 gezeigte System
einbaut, wird unter Einsatz von Uhrimpulsen von 200 KHz
in etwa 1 Sekunde ein Rahmen ausgelesen. Das S/N-Ver
hältnis überschritt 20 dB bei 100 Lux Belichtung und
einer Akkumulationszeit von etwa 3 Millisekunden.
Die Benutzung der zweidimensionalen Festkörper-Bildle
seeinheit gemäß der Erfindung führt zu einer direkten
Bildlese-Einrichtung mit verhältnismäßig einfachem Auf
bau. Ferner läßt sich durch Verwendung von amorphem
Silicium mit hoher Empfindlichkeit und hohem Lichtan
sprechvermögen in der Fotozelle eine ultraschnelle
Bildleseeinrichtung schaffen, die mit der eindimensio
nalen Festkörper-Bildleseeinheit sehr schwierig herzu
stellen ist.
Da im übrigen das Vorlageblatt direkt auf die Abbilde
einheit aufgelegt werden kann, erübrigt sich eine Ju
stierung des optischen Weges. Da ferner die zweidimen
sionale Festkörper-Bildleseeinheit verhältnismäßig gro
ße Abmessungen ähnlich der Vorlage hat, wird zur Her
stellung der Bildleseeinheit keine hohe fotolithografi
sche Technik benötigt. Beispielsweise können die Foto
zellen und auch die Elektroden für den externen elek
trischen Anschluß verhältnismäßig groß bemessen sein.
Abwandlungen und Änderungen der beschriebenen und dar
gestellten bevorzugten Ausführungsformen sind im Rahmen
der Erfindung möglich, die durch die Ansprüche defi
niert ist.
Claims (8)
1. Bildlese-Einheit mit
einer Halbleiterschicht (3) aus fotoelektri schem Material mit einer ersten Fläche und einer zweiten Fläche;
mindestens einer auf der ersten Fläche der Halbleiterschicht (3) angeordneten ersten Elektrode (2) und
mehreren auf der zweiten Fläche der Halbleiter schicht (3) angeordneten zueinander parallelen zweiten Elektroden (4), die die ersten Elek troden (2) kreuzen, wobei die ersten oder die zweiten Elektroden aus transparentem Material bestehen,
dadurch gekennzeichnet,
einer Halbleiterschicht (3) aus fotoelektri schem Material mit einer ersten Fläche und einer zweiten Fläche;
mindestens einer auf der ersten Fläche der Halbleiterschicht (3) angeordneten ersten Elektrode (2) und
mehreren auf der zweiten Fläche der Halbleiter schicht (3) angeordneten zueinander parallelen zweiten Elektroden (4), die die ersten Elek troden (2) kreuzen, wobei die ersten oder die zweiten Elektroden aus transparentem Material bestehen,
dadurch gekennzeichnet,
- - daß die Halbleiter-Schicht (3) aus amorphem Silicium mit p-i-n-Struktur besteht und aus einer zwischen einer p-Schicht (3-1) und einer n-Schicht (3-3) angeordneten i-Schicht (3-2) gebildet ist,
- - daß die p-Schicht (3-1) in parallele Streifen unterteilt ist, deren Muster dem Muster der parallelen Elektroden (2) auf der p-Schicht (3-1) entspricht, und die n-Schicht (3-3) in parallele Streifen unterteilt ist, deren Muster dem Muster der parallelen Elektroden (4) auf der n-Schicht (3-3) entspricht, und
- - daß mehrere zueinander parallele erste Elektro den (2) auf der ersten Fläche angeordnet sind.
2. Bildlese-Einheit nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß an jedem Kreuzungspunkt der ersten
und zweiten Elektroden (2, 4) eine Fotozelle defi
niert ist, an der eine Gegenvorspannung anliegt
und die einen der Intensität des auf die Fotozelle
auftreffenden Lichtes entsprechenden Strom erzeugt.
3. Bildlese-Einheit nach Anspruch 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß der spezifische Durchgangs
widerstand der n-Schicht (3-3) kleiner als 106
Ohm-cm ist, daß der spezifische Durchgangswider
stand der i-Schicht (3-2) und der p-Schicht (3-1)
jeweils größer als 107 Ohm-cm ist
und daß die n-Schicht (3-3) in parallele Streifen
unterteilt ist, deren Muster dem Muster der
parallelen Elektroden (4) auf der n-Schicht (3-3)
entspricht.
4. Bildleseeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der n-Schicht
(3-3) größer als 5 nm und kleiner als 100 nm ist
und daß die Dicke der i-Schicht (3-2) größer als
0,5 µm und kleiner als 5 µm ist.
5. Bildleseeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichent, daß die Dicke der p-Schicht
(3-1) größer als 5 nm und kleiner als 100 nm ist
und daß die Dicke der i-Schicht (3-2) größer als
0,5 µm und kleiner als 5 µm ist.
6. Bildleseeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
gekennzeichnet durch eine weitere Halbleiter
schicht, die mit einem zwischen die eine Halblei
terschicht und die ersten Elektroden eingefügten
Lichtabschirmfilm (16) laminiert ist und die eine
Gruppe von Sperrdioden (10) bildet.
7. Bildleseeinheit nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß die Elektroden (2) auf
der einen Fläche der Halbleiterschicht (3) aus
transparentem Material bestehen und daß die Elek
troden (4) auf der anderen Fläche der Halbleiter
schicht (3) aus opakem Material hergestellt sind.
8. Bildlesevorrichtung zum Lesen eines Bildes auf
einer Vorlage mit einer zweidimensionalen Bild
lese-Einheit gemäß den Ansprüchen 1 bis 7, ge
kennzeichnet durch eine erste Treiberschaltung
(7), die an die ersten Elektroden (2) angeschlos
sen ist, und eine zweite Treiberschaltung (8), die
an die zweiten Elektroden (4) angeschlossen ist,
so daß wenigstens eine der beiden Antriebsschal
tungen (7, 8) eine Signalreihe erzeugt, die ein
Bild der Vorlage repräsentiert, die auf die mit
den ersten Elektroden (2) versehene erste Fläche
der Halbleiterschicht (3) aufgelegt ist.
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