DE3502388A1

DE3502388A1 - Verfahren und anordnung zur optischen kontrolle mechanischer messobjektantastung

Info

Publication number: DE3502388A1
Application number: DE19853502388
Authority: DE
Inventors: Joachim DDR 6902 Jena-Lobeda Beck
Original assignee: Jenoptik Jena GmbH
Current assignee: Jenoptik AG
Priority date: 1984-03-01
Filing date: 1985-01-25
Publication date: 1985-09-05
Also published as: DD222391A1

Description

Verfahren und Anordnung zur optischen Kontrolle
mechanischer Meßobjektantastung Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Anordnung zur optischen Kontrolle mechanischer Meßobjektantastung bei Koordinatenmeßgeräten.
In der Firmendruckschriit Nr. 111.810-075 a "Leitz UWM digital S" der Fa. Ernst Zeitz Wetzlar GmbH ist ein universelles Meßmikroskop beschrieben und dargestellt, bei welchem ein Nulleinstellgerät zum mechanischen Antasten von Meßflachen an Meßobjekten mittels eines Taststiftes vorgesehen ist. Eine mit dem Taster verbundene emarke wird dabei mit Hilfe eines Okular-Doppelstriches eingefangen und deren Verschiebung gemessen. Ein wesentlicher Nachteil dieser Einrichtung besteht darin, daß der Ort der Antastung an der Meßobjektfläche nicht genau beobachtet werden kann.
Demzufolge sind Fehlantastungen am Meßobjekt nicht mit Sicherheit auszuschließen.
Ziel der Erfindung ist es, die Nachteile des Standes der Technik zu beseitigten und den Gebrauchswert der Koordinatenmeßgeräte zu erhöhen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei Koordinatenmeßgeraten eine optische Kontrolle der Antastung von Meßobjekten mittels mechanischer Taster zu ermöglichen.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einem Verfahren zur optischen Kontrolle mechanischer Meßobjektantastung dadurch gelöst, daß ein Tastelement einer Tasteranordnung und der Antastort am Meßobjekt gemeinsam mittels einer Abbildungsoptik in einer Bildebene einer Beobachtungseinrichtung abgebildet werden.
Gemäß einer Anordnung zur Durchführung des Verfahrens, die eine Beleuchtungs- und Beobachtungseinrichtung besitzt und bei der mittels einer Abbildungsoptik ein Schattenbild des Meßobjektes erzeugt und das eojekt mittels mindestens eines Tasters angetastet wird, wobei die Beobachtungseinrichtung an einem Träger angeordnet ist, der senkrecht zu einem Tisch verschiebbar, an einem Ständer oder einer Pinole des Meßgerätes gelagert ist, ist es vorteilhaft, daß am Träger oder an der Beobachtungseinrichtung ein Halteelement vorgesehen ist, an welchem eine Tasteranordnung mit einem Tasterelement in horizontaler Ebene justier- und einstellbar derart angeordnet ist, daiS das in der Antastebene liegende Tastelement und der Antastort am Meßobjekt im Gesichtsfeld der Beobachtungseinrichtung scharf abgebildet sind.
Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn das Halteelement mit seinem einen Ende am Obäektivstutzen der Beobachtungseinrichtung befestigt ist und an seinem anderen Ende Aufnahme- und Feststellmittel :Üür die Tasteranordnung besitzt.
Bei Anwendung der Erfindung ergibt sich der Vorteil, daß während der Messung der Taster und die anzutastende Meßobäektfläche gleichzeitig im Sehfeld der Beobachtungseinrichtung abgebildet werden und der Ort der Antastung am Meßobjekt beobachtet und gut lokalisiert werden kann, so daß Fehlantastungen, die zu Meßfehlern führen können, weitestgehend vermieden werden.
Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbei spiel näher erläutert werden. In der zugehörigen Zeichnung zeigen Fig. 1 ein Koordinatenmeßgerät mit erfindungsgemäSer Anordnung und Fig. 2 ein Ausschnitt aus dem Sehfeld der Beobachtungseinrichtung GemäX dem Verfahren werden ein Tastelement einer Tasteranordnung und der Antastort am Meßobjekt gemeinsam mittels einer Abbildungsoptik in einer Bildebene einer Beobachtungseinrichtung abgebildet.
Ein in Fig. 1 dargestelltes Meßgerät umfaßt einen Grundkörper 1, an welchem ein dazu senkrechter Ständer 2 oder eine Pinole vorgesehen ist und welches einen in der x-y-Ebene bewegbaren und einstellbaren Tisch 3 mit Aufmahmemitteln 4 für ein Meßobjekt 5 trägt. An iUhrungen 6 des Ständers 2 ist ein verschiebbarer Träger 7 angeordnet, der eine aus Objektiv 8, Okular 9 und/oder Projektionsanordnung 10 bestehende Beobachtungseinrichtung trägt.
Am Träger 7 oder, wie in Fi. 1 drbestellt, am Objektivstutzen 11 der beobachtungseinrichtung ist ein Halteelement 12 angeordnet, an welchem sich eine Dast-eranordnung 13 mit einem Tastelement 14 befindet.
Die i0asteranordnung 13 ist in horizontaler Ebene (x-y-Ebene) derart justierbar, daß das Tastelement 14 im Gesichtsfeld (Fig. 2) der ieobachtungseinriohtung in der Antastebene, die gleichzeitig die Fokussierebene des Objektives 8 ist, scharf abgebildet ist.
Zur Befestigung der Tasteranordnung 13 am Halteelement 12 sind vorzugsweise Feststellmittel 15, z. B. Schrauben, und zur Befestigung des Halteelementes 12 am Objektivstutzen 11 sind ebenfalls Feststellmittel 16 vorgesehen, - Leerseite

Claims

Patentansprüche 1. Verfahren zur optischen Kontrolle mechanischer Meßobjektantastung, dadurch gekennzeichnet, daß ein Tastelement einer Tasteranordnung und der Antastort am Meßobåekt gemeinsam mittels einer Abbildungsoptik in einer Bildebene einer Beobachtungseinrichtung abgebildet werden.
2. Anordnung zur Durchfübrung des Verfahrens nach Anspruch 1, die eine Beleuchtungs- und Beobachtungseinrichtung besitzt und bei der mittels einer Abbildungsoptik ein Schattenbild des Meßobjektes erzeugt und das Meßobjekt mittels mindestens eines Tasters angetastet wird, wobei die Beobachtungseinrichtung an einem Träger angeordnet ist, der senkrecht zu einem Tisch verschiebbar, an einem Ständer oder einer Pinole des Meßgerätes gelagert ist, dadurch gekennzeichnet, daß am Träger oder an der Beobachtungseinrichtung ein Halteelement vorgesehen ist, an welchem eine Tasteranordnun6> mit einem Tasterelement in horizontaler Ebene åustier- und einstellbar derart angeordnet ist, daß das in der Antastebene liegende Tastelement und der Antastort am Meßobjekt im Gesichtsfeld der Beobachtungseinrichtung scharf abgebildet sind.
3. Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, aß das Halteelement mit seinem einen Ende am Objektivstutzen der Beobachtungseinrichtung befestigt ist und an seinem anderen Ende Aufnahme- und Feststellmittel für die Tasteranordnung besitzt.