DE3337453A1 - Optisches attenuations-totalreflexionselement spektralanalyseverfahren und mat rix zur herstellung dieses elements - Google Patents

Optisches attenuations-totalreflexionselement spektralanalyseverfahren und mat rix zur herstellung dieses elements

Info

Publication number
DE3337453A1
DE3337453A1 DE19833337453 DE3337453A DE3337453A1 DE 3337453 A1 DE3337453 A1 DE 3337453A1 DE 19833337453 DE19833337453 DE 19833337453 DE 3337453 A DE3337453 A DE 3337453A DE 3337453 A1 DE3337453 A1 DE 3337453A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
optical
matrix
contact
optical element
atr
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19833337453
Other languages
English (en)
Other versions
DE3337453C2 (de
Inventor
Asker Alekper Ogly Abdullaev
Evgenij Ivanovič Lebedev
Gadir Mamed Ogly Mansurov
Valerij Viktorovič Mel'nikov
Vladimir Aleksandrovič Leningrad Nikitin
Aleksandr Ivanovič Leningrad Somsikov
Semen Mordkovič Sumgait Sutovskij
Vladimir Michajlovič Zolotarev
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MEL'NIKOV VALERIJ VIKTOROVIC
Original Assignee
MEL'NIKOV VALERIJ VIKTOROVIC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MEL'NIKOV VALERIJ VIKTOROVIC filed Critical MEL'NIKOV VALERIJ VIKTOROVIC
Priority to DE19833337453 priority Critical patent/DE3337453A1/de
Publication of DE3337453A1 publication Critical patent/DE3337453A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3337453C2 publication Critical patent/DE3337453C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N21/552Attenuated total reflection

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)

Description

  • Verfahren zur spektralanalytischen Untersuchung von
  • Festkörpern Die Erfindung bezieht sich auf die Spektroskopie und betrifft insbesondere ein Verfahren zur spektralanalytischen Untersuchung von Festkörpern, wobei mittels eines lichtdurchlässigen optischen Elementes ein optischer kontakt zum zu untersuchenden Festkörper erzeugt wird, auf den zu untersuchenden Festkörper mit einem Strahlungsfluß eingewirkt wird, welcher durch das optische Element durchgeht und auf die Zone des optischen Kontaktes unter einem Winkel einfällt, welcher den Grenzwinkel der Totalreflexion übertrifft sowie eine Matrix zur Durchführung des Verfahrens.
  • Die Erfindung kann zur Erzeugung von ATR-Spektren im Infrarotbereich (von 1 bis 18µm) von Festkorpern verwendet werden. Mittels des erfindungsgemassen Verfahrens lassen sich Spektren von Kristallen, Glas, harten polymeren Fasern, Folien sowie massiven Einzelteilen, Schutzschichten auf Maschinen, Haushaltsgegenständen von grossen Ausmassen (E2hlschranke, Möbel) und auf unbeweglich befestigten Objekten (z.B. an den Wanden) erzeugen.
  • Darüberhinaus gewahrt die Erfindung die Möglichkeit, Spektren von biologischen Objekten in ihrem naturlichen Zustand zu erzeugen, z.B. des Hornstoffes der Nagel bzw.
  • des Zahnschmelzes.
  • Es ist ein Spektralanalyseverfahren für Festkörper mittels der ATF-Technik bekannt, welches darin besteht, dass ein optischer Kontakt zwischen dem zu untersuchenden Probestück und dem optischen ATR-Element erzeugt wird, ein Strahlungsfluss auf die Zone des optischen Kontakts durch das optische Element unter einem Winkel gerichtet wird, welcher grösser als der Grenzwinkel der Totalreflexion ist, und das ATR-Spektrum registriert wird (s. z. B.
  • "Internal Reflectionsspectroscopy" by N.J. Harrick, Interscience Publishers, a division of John Wiley, New York, London, Sydney, 1967, S. 7-9).
  • Optische ATR-Elemente werden aus Normalsubstanzen hergestellt, d.h. aus Substanzen mit bekannten Spektralkennlinien: dem Brechungßindex und dem Durchlasskoeffizienten.
  • Besonders breit bekannt sind optische ATR-Elemente, welche in Form von Prismen und Linsen aus kristallinen Materialien Germanium, Silizium, Silberchlorid, ERS-5 (Thallium-bromid/ jodid) hergestellt sind (s. z.B. Broschüre KIO-O1444 der Firma Perkin-Elmer "Perkin-Elmer Infrared Spectrophotometer Accessories", S. 14).
  • Optische ATR-Elemente aus Kristallinen Normalsubstanzen weisen eine Reihe von Nachteilen auf.
  • Erstens, ist ihre Herstellung mit arbeitsaufwendigen Vorgängen des Schleifens und Polierens verbunden. Zweitens, fällt es bei Verwendung solcher Elemente schwer, einen optischen Kontakt zwischen der Oberfläche des zu untersuchenden Festkörpers und der Oberflache des optischen Elements zu gewährleisten: Fast immer wird dazu eine arbeitsintensive spezielle Oberflächenbehandlung benötigt, welche Schleifen und Polieren des Probestücks umfasst und physikalische und chemische Eigenschaften der Grenzschichten des Probestücks wesentlich ändern kann. Darüberhinaus ist eine derartige Behandlung f"ur manche Stoffe, wie Kunststoffe, harte Fasern, adsorbierte Folien, überhaupt nicht geeignet.
  • Demzufolge hat die Spektralanalyse mittels der ATR--Technik eine beschränkte Anwendung für Festkörper.
  • Wegen eines unvollkommenen Kontakts sind die erzeugten Spektren kontrastarn und nicht reproduzierbar, es erfolgen Bandenverschiebungen nach Frequenz und Verzerrungen der Bandenintensitäten. Bei Untersuchung der Folien und Fasern ist in einigen Fällen das Auftreten der Fehlbanden möglich, welche dem Spektrum des zu untersuchenden Probestücks nicht eigen sind. Dabei kommen diese Effekte für verschiedene Zustände des linear polarisierten Lichts unterschiedlich zum Vorschein, wodurch eine richtige Spektren zuordnung erschwert wird. Eine niedrige Qualität der TR-Spektren, welche durch Unvollkommenheit des optischen Kontakts bedingt ist, beschränkt darüberhinaus rapide die Möglichkeiten der Erhaltung einer besonders llmtang reichen Information über die Eigenschaften des Objekts, z.B. bei einer vergleichenden quantitativen Untersuchung der Volumen und OberiElächeneigenschaften realer Probestücke.
  • Zur Überwindung von Schwierigkeiten, welche mit Erzeugung des optischen Kontakts zwischen dein Festkörper und dem optischen ATR-Element verbunden sind, wurden Flüssigkeits- elemente entwickelt, welche z.B. aus Dijodinethan schwefelgesättigt bzw. aus flüssigem Chalkogenidglas As0,22 S0,53 Br0,44 hergestellt werden (s. SU-Urheberschein Nr.693122, COI J 3/02, 1977, "Investigation of the Moleonlar Structure of Polymer Surfaces by ATR Spectroscopr', A.E.Tshmel, V.R.Vettergen and V.U. Zolotarev, J.Macromol. Sci-Phys., B 21(2), 243-264 (1982).
  • Obwohl die optischen Flüssigkeitselemente die Er-Erzeugung eines guten optischen Kontakts durch das Zerfliessen der Normalsubstanz über die Oberfläche des zu untersuchenden Probestücks gewährleisten, weisen diese Elemente ebenfalls eine Reihe von Nachteilen auf. Erstens, ist die Mehrheit der bekannten hochbrechenden und im Infrarotbereich durchsichtigen Flüssigkeiten chemisch aktiv und toxisch. Die chemische Wechselwirkung zwischen der Normalsubstanz und dem zu untersuchenden Probestück während der Messungen kann zur Änderung von Eigenschaften der ausstrahlenden Fläche führen, d.h. zur Reduzierung der Stabilität und Genauigkeit der Messergebnisse und sogar zur Verletzung des Probestücks. Dabei sind spezielle Massnahmen des Arbeitsschutzes erforderlich, welche die Durchführung des Experiments erschweren. Zweitens, existiert eine Wechselwirkung zwischen der flüssigen Normalsubstanz und dem umgebenden Medium: Luftfeuchtigkeitsaufnahme und Verdampfung leichtflüchtiger Fraktionen der Normalsubstanz. In allen diesen Fällen erfolgt eine zeitliche Anderung der Spektraleigenschaften der Normalsubstanz, was zur Herabsetzung der Genauigkeit und Reproduzierbarkeit der Messungen führt und in einigen Fällen diese unm"oglich macht. Darüberhinaus sind die optischen Flüssigkeitselemente zur Untersuchung und Kontrolle vieler praktisch wichtiger Objekte, die grosse Ausmasse aufweisen bzw. beweglich befestigt sind, sowie der biologischen Systeme wenig geeignet.
  • Zar Bildung der optischen Flüssigkeitselemente verwendet man eine Matrix oder Mivette, welche auf einer Grundplatte befestigte Seiten und Stirnwände enthalt, welche einen Hohlraum bilden, der mit einer flüssigen Normalsubstanz gefüllt wird Ca. Saydov G.V., Judovich M.E. "Optisches Flüssigkeitselement mit variabler Reflexiorszahl", Zeitschrift "Optik und Spektroskopis", 1974, 36, S. 1216-1217).
  • Ein Eauptnachteil der bekannten Matrix besteht in der Unm"oglichkeit einer Bildung optischer Elemente mit unterschiedlicher Länge und Form, um eine Konfiguration zu erhalten, welche den Beding en und aufgaben einer spektroskopischen Untersuchung am besten Rechnung trägt.
  • Es ist dadurch bedingt, dass die Seiten und Stirnwände der Matrix mit der Grundplatte starr verbunden sind. r Die Arbeit mit optischen Flüssigkeitselementen erfordert darüberhinaus die Verwendung in der bekannten Matrix der Stirnwände in Form von optischen Fenstern, welche in dem zu verwendenden Spektralintervall durchsichtig sind. Das macht die Herstellnng der Matrix totpliziert und beschränkt das Spektralintervall, in dem das optische ATR-Flüssigkeitselement arbeiten kann, und reduziert allgezeine Lichtdurchlässigkeit aufgrund der Eiitstehnng zusätzlicher optischer Elemente (Fenster).
  • Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur spektralanalytischen Untersuchung von Festkörpern der eingangs genannten Art und eine Matrix zur DurchfUhrung des Verfahrens zu schaffen, welches bzw. welche die Bildung eines optischen Kontaktes zwischen der Oberfläche des zu untersuchenden Festkörpers und der Oberfläche des festen optischen Elements ohne mechanische Bearbeitung dieser Oberfläche ermöglicht, was die Erzeugung der kontrastreichen und reproduzierbaren Spektren der zu untersuchenden Festkörper gewährleistet.
  • Die Aufgabe wird dadurch gelöst, daß ein optisches Attenuations-Totalreflexionselement (ATR-Element) verwendet wird, das aus thermoplastischem Chalkogenid-Glas hergestellt wird.
  • Gemäß einer weiteren Ausbildung ist das Verfahren derart weitergebildet, daß das aus thermoplastischem Chalkogenid-Glas hergestellte optische Attenuations-Totalreflexionselement die folgende Zusammensetzung (Mass, %) aufweist: Arsen 7-27, Atimon 1-6, Jod 14-29, Selen 47-62, Tellur 1-6.
  • In vorteilhafter Weise ist das Verfahren in Verbindung mit einer Registrierung des ATR-Spektrums derart weiter ausgebildet, daß zur Erzeugung des optischen Kontaktes zwischen dem optischen Attenuations-Totalreflexionselement und dem Festkörper vor bzw. nach der Deckung dieses optischen Elementes mit dem Festkörper die Oberfläche des optischen Elementes in der Zone seines Kontaktes mit dem Festkörper auf eine Temperatur über seinem Erweichungspunkt erwärmt und nach der Erzeugung des optischen Kontaktes das optische Element auf eine Temperatur unter seinem Erweichungspunkt gekühlt wird.
  • Gemäß einer weiteren Ausgestaltung ist das Verfahren dadurch gekennzeichnet, daß die Bildung des optischen Elements mit der Erzeugung des optischen Kontakts zwischen dem Festkörper und dem optischen Element vereinigt wird, wozu der Hohlraum einer Matrix, der der Form des optischen Elements entspricht, mit thermoplastischem Chalkogenid-Glas gefüllt wird und die Matrix mit Glas auf eine Temperatur erwärmt wird, welche den Erweichungspunkt des Glases übertrifft, danach ein optischer Xontakt zwischen dem Festkörper und der Oberfläche des erweichten Glases erzeugt wird, wonach die Matrix mit Glas auf eine Temperatur unter seinem Erweichungspunkt gekühlt wird und vom optischen Element die Baugruppen der Matrix getrennt werden, welche mit seiner Eingangs- und Ausgangsoberfläche in Berührung stehen.
  • Zur Durchführung des Verfahrens ist eine Matrix vorgesehen, die Seiten und Stirnwände enthält, die auf einer Grundplatte befestigt sind und einen Hohlraum zur Bildung des optischen Elementes bilden und die dadurch gekennzeichnet ist, daß die Stirnwände verschiebbar auf Führungsschienen, die auf der Grundplatte befestigt sind, aufgestellt sind und Halterungen aufweisen, welche die die Länge des optischen Attenuations-Totalreflexionselementes vorgeben, die Seitenwände aber durch Stege verbunden sind und Einstellelemente aufweisen.
  • Nachstehend wird die Erfindung durch die Beschreibung deren Ausführungsbeispiele unter Bezugnahme auf die beigelegten Zeichnungen erläutert. Es zeigen: Fig. 1a, b ATR-Spektren verschiedener Proben; Fig. 2 und 3 Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen optischen ATR-Elements; Fig. 4 eine Matrix zur Herstellung des erfindungsgemässen optischen Elements, eine Gesamtansicht in Axonometrie; Fig. 5 dito im auseinandergenommenen Zustand; Fig. 6 einen Querschnitt durch das erfindungsgemasse optische element im Kontakt mit dem zu untersuchenden Probestück; Fig. 7 ein prinzipielles Schema eines Spektralgeräts zur Verwirklichung des erfindungsgemassen Verfahrens zur Spektralanalyse; Fig. 8 ein prinzipielles Schema eines Spektralgerats zur Untersuchung der Erseugnisse von grossen Ausmassen; Fig. 9 eine Matrix zur Herstellung des erfindungsgemassen optischen Elements, in der es mit dem zu untersuchenden Probestück in Berührung steht.
  • Das erfindungsgemässe optische ATR-Element wird aus thermoplastischem Chalkogenidglas mit einem Erweichungspunkt über 10°-30°C, z.B. aus Glas, welches folgende Komponenten (Mass.%) enthält: Arsen 7-27, Antimon 1-6, aod 14-29, Selen 47-62, Tellur 1-6, hergestellt.
  • Einige konkrete Beispiele der Zusammensetzung des thermoplastischen Chalkogenidglases, welche als Normalsubstanz zur Herstellung eines optischen ATR-Elements empfohlen werden, sind in der Tabelle angeführt, in der auch ihre physikalischen Grundeigenschaften genannt sind. Glas mit solcher Zusammensetzung kann man durch ein beliebiges bekanntes Verfahren herstellen.
  • tabelle Durch- Brelfd.Nr. Erweilass- chungs der chungsbe- index Zusam Glaszusammensetzung punkt reich men- (Mass.%) °C set- Dicke zung 10 mm 1 10,82 1,35 28,92 55,34 4,25 25-30 1-18 2,4 2 14,96 2,70 28,16 4i,93 4,25 100-110 1-18 2,4 3 26,07 5,65 14,72 47,64 5,92 110-135 1-18 2,4 4 9,21 1,36 28,36 58,22 2,85 15-25 1-18 2,3 5 7,57 1,37 18,49 61,14 1,43 12-17 1-18 2,3 Es ist aus der Tabelle ersichtlich, dass thermoplastische Ohalkogenidgläser sämtlichen Grundforderungen an Normalsubstanzen für ATR-Spektroskopie Rechnung tragen: - sie weisen einen genügend hohen Brechungsindex auf (n = 2,3 - 2,4); - durch die Wahl der Zusammensetzung der Gläser lässt sich ihr Brweichungspunkt, welcher einer Viskosität von 107-1014 Poise entspricht9 in einem breiten Bereich variieren: von 12-170C bis 110-135°C; - der burchlassbereich umfasst einen für spektroskopische Untersuchungen und technologische Kontrolle besonaers interessanten Grundfrequenzbereich der Molekülschwingungen.
  • In dünnen Schichten (mit einer Dicke von ca. 30µm) sind diese Gläser bis 25µm durchsichtig.
  • Zur Durchführung einer Spektralanalyse von Festkörpern bei Raumtemperatur (20°-25°C) sind optische ATR-Elemente aus der Glaszusammensetzung Nr. 1 besonders geeignet: Arsen 10,83%, Antimon 1,35%, Jod 28,32%, Selen 55,35%, Tellur 4,26%.
  • Zur Durchführung einer Analyse bei erhöhten Temperaturen (bis 100°-110°C) ist es zweckmässig, die Zusammensetzung Nr. 2 und 3 zu verwenden. Zur Untersuchung der nicht wärmebeständigen Stoffe, welche einer Erwärmung über 45°C nicht standhalten, kann man optische ATR-Element verwenden, welche aus Chalkogenidglaszusammensetzung Nr. 4 bzw. Nr. 5 hergestellt wurden.
  • Ein niedriger Erweichungspunkt der aufgez"ahlten Chalkogenidglaszusammensetzungen, welche zur Herstellung von optischen Elementen verwendet werden, ermöglicht dabei die Gewährleistung eines optischen Kontakts bei einer geringen Erwartung der Kontaktzone, d.h. bei Beibehaltung der physikalischen Eigenschaften der zu untersuchenden Oberfläche der Probestücke. Da bei jeder nachfolgenden Erweichung der Oberfläche des optischen Elements in der Kontektzone mit dem zu untersuchenden Probestück diese Oberflache ein Mikroprofil erhält, welches dem Mikroprofil der Oberfl"ache des Probestücks entspricht, kann man jedes optische Element mehrfach ohne mechanische Nachbearbeitung benutzen.
  • Das erfindungsgemåsse Verfahren gewahrt ebenfalls die Möglichkeit einer spektroskopischen Untersuchung im naturlichen Zustand ("in situ") der Oberflächenschichten der Probestücke von grossen Ausmassen, die sich in einem Spektralgerät nicht unterbringen lassen (Maschinen, Haushaltsgegenstände, z.B. Nöbel, lokale Abschnitte der Wände usw.).
  • Es ist zweckm"assig, diese optischen Elemente beim Studium verschiedener biologischer Objekte, darunter des Hornstoffes der Nägel bzw. des Zahnschmelzes im natürlichen Zustand, zu verwenden.
  • In Fig. 1a sind ATR-Spektrogramme angeführt, d.h. Abhängigkeiten des Reflexionskoeffizienten R von der Wellenlänge # (in µm) bzw. von der Wellenzahl # (in cm-1) der Spaltstücke des Quarzglases, die mit einem Ultrarotspektrofotometer unter Verwendung des optischen ATR-Elements aus der Glaszusammensetzung Nr. 1 erhalten wurden. Wie es aus dem Spektrogramm ersichtlich ist, kennen eine geringe Schwächung der Strahlung in einem Spektralintervall von 4000 2000 cm 1 und eine Absorptionsbande von 750 cm-1 (Kurve c) durch Aufstellung im Referenzstrahl des Spektrofotometers einer Platte mit entsprechender Dicke, die aus dem gleichen Glas (Kurve d) gefertigt ist, leicht ausgeglichen werden. Die Kurve "e" entspricht einem Glasabsorptionsspektrum.
  • In Fig. Ib sind ATR-Spektren des Spaltstücks eines Gipskristalls (Kurve f) und der Fläche des Kristallwachstums von Kupfervitriol (Kurve g) angeführt.
  • Dem optischen ÄTR-Element kann eine beliebige erforderliche Form verliehen werden, die durch den Charakter der Untersuchungen und die Parameter des zu verwendenden Spektralgeräts bestimmt wird. In dem einfachsten Ausführungsbeispiel des optischen ATR-Elements in Fig. 2 dargestellt, stellt es einen Halbzylinder 1 dar, dessen flache Fläche 2 als Kontaktzone mit dem Probestück, die zylinderförmige Fläche 3 aber zur Strahlungseingabe und -auskopplung mit einem regelbaren Einfallswinkel dient.
  • Dieses optische Element gewährleistet eine EinSach-- Strahlungsreflexion von der Oberfläche 2.
  • Zur Durchführung einer spektroskopischen Analyse mittels des Verfahrens zur Attenuations-Mehrfachtotalreflexion kann das in Fig. 3 dargestellte optische Element verwendet werden. Es stellt ein Prisma 4 dar, dessen eine bzw. beide Grundflächen 5 zur Herstellung eines optischen Kontakts mit dem Probestück, Stirnflächen 6 aber zur Strahlungseingabe und -auskopplung dienen. Seitenflächen 7 sind keine Arbeitsflächen.
  • Zur Herstellung eines optischen ATR-Elements wird eine in Fig. 4,5 dargestellte Matrix empfohlen. Die Matrix weist eine Grundplatte 8 auf, an der mit Schrauben 9 Seitenw"ande 10S 11 und mft Schrauben 12 Führungsschienen 13 befestigt sind Auf den Führungsschienen 13 sind mit Möglichkeit einer fortschreitenden Bewegung Stirnwände 14 aufgestellt, Die einander zugewandten Flächen 15 der Stirnwände 14 und Flächen 16 der Seitenwände 10, 11 sowie ein zwischen diesen Flächen liegender Abschnitt 17 der dplatte 8 bilden einen Hohlraum zur Bildung des optischen Elements. Die Flächen 15, 16 und der Abschnitt 17 der Grundplatte, welche den Hohlraum bilden, müssen ein Profil aufweisen, welches das Profil entsprechender Fischen des optischen Elements erganzt.
  • Zum Beispiel, das in Fig. 4,5 dargestellte Ausführungsbeispiel der Matrix mit flachen schrägen Stirnwänden 14 ist zur Herstellung eines optischen Elements in Form eines in Fig. 3 dargestellten Prismas bestimmt. Zur Herstellung eines optischen Elements in Form eines Halbzylinders (Fig. 2) müssen die Stirnwände der Matrix konkave zylinderförmige Flächen aufweisen.
  • Zur Gewahrleistung hoher optischer Kennlinien des optischen Elements müssen samtliche genannte Flächen der Einzelteile der Matrix eine hohe Oberflächenqualität aufweisen. Es wird deshalb empfohlen, sie aus Glas bzw. aus anderen Stoffen herzustellen, welche sich gut mechanisch bearbeiten und polieren lassen, bis die erforderliche Oberflächenqualität erreicht wird, bei der die Strahlungsbrechung an dieser Flache keine bemerkbaren Formverzerrungen der Wellenfront hervorruft. Dabei können sämtliche Flachen der Matrix, die mit der Normalsubstanz in Berührung stehen, mit einer polymeren Folie mit einer Dicke von mindestens 0,2-0,5 µm überzogen werden, die eine niedrige Adhäsion gegenüber dem thermoplastischen Chalkogenidglas aufweisen.. Als olienstoff wird Polytetrafluoräthylen empfohlen. Die Dicke der Folie wird eo gewählt, dass ihre Geschlossenheit über die gesamte Innenfläche der Matrix gewährleistet wird. Die Folie kann durch Zerstäubung im Vakuum bzw. aus einer Lösung aufgetragen werden.
  • Zur Befestigung der Stirnwände 14 in vorgegebener Lage auf den Führungsschienen 13 dienen Halterungen, welche z.B. in Form von Schrauben 18 ausgeführt sind; welche sich beim Einschrauben in die Stirnwände 14 mit ihren Köpfen gegen die Seitenwand 11 stützen. Zur Beinführung der Schrauben 18 in die Stirnwände 15 sind in der Seitenwand 11 Schlitze 19 vorgesehen. Die Seitenw"ande 10, 11 sind miteinander durch Stege starr verbunden, welche so angeordnet sind, dass dabei keine Hindernisse für die Verschiebung der Stirnwände 14 der Matrix entstehen und die Eingangs- und Ausgangs-Stirnfläche des optischen Elements nicht überdeckt wird. An der Seitenwand 11 bzw. an den beiden Seitenwänden 10, 11 befinden soh Einstellelemente, z.B.
  • Stifte 21.
  • Die Herstellung des optischen Elements aus thermoplastischem Chalkogenidglas unter Verwendung der erfindungsgemässen Matrix geht wie folgt vor sich.
  • In den Hohlraum einer montierten Matrix (Fig. 4) werden ein bzw. mehrere Stücke des thermoplastischen Chalkogenidglases gelegt; das Summenvolumen dieser Stücke muss das Volumen des Hohlraums der Matrix um 3-5% übertreffen.
  • Die Matrix mit Glas wird danach auf eine Temperatur erwart, die den Erweichungspunkt des thermoplastischen Chalkogenidglases übersteigt. Bei Verwendung der Glaszusammensetzung Nr. 1 ist es zweckmässig, die Erwarmungstemperatur in einem Bereich von 60°-65°C zu wählen. Zur Erwärmung kann man gewöhnliche Heizgeräte, wie Elektrokochplatte bzw. Thermostat verwenden. Bei Anwendung der Glaszusammensetzung Nr. 2 bzw Nr. 3 ist die Erw"armungstemperatur auf 140°-150°C zu erhöhen. Die Zusammensetzung Nr. 4 bedarf einer Erwärmung lediglich auf 25°-30°C.
  • Unter der Einwirkung der Erwärmung wird thermoplastisches Chalkogenidglas weich, sein Fliessvermögen nimmt zu, und es füllt gleichmässig den Hohlraum der Matrix und nimmt die Form an, welche der erforderlichen Form des optischen ÄTR-Elements entspricht. Danach wird die Erwärmung eingestellt und die Matrix kühlt sich auf die Raumtemperatur ab und im Ergebnis wird ein optisches Element gebildet. Danach werden die Schrauben 18 ausgeschraubt und die Stirnwände 14 über die Führungsschienen 13 vom optischen Element abgeführt und von der Grundplatte 8 Fig 5) abgenommen. Die Möglichkeit, die Flachen 15 der Stirnw"ande 14 von entsprechenden Stirnflächen 6 des optischen Elements zu trennen, wird durch vorhandene Antiadhäsions-Schutzschicht an den Flaschen 15 gewährleistet. Dasselbe kann auch durch Erzeugung von Vorspannungen in den Einzelteilen der Matrix, welche mit den Arbeitsflächen des optischen Elements in Berührung stehen, bzw. durch zusätzliche Kühlung der Matrix mit dem optischen Element auf eine Temperatur von ca. 50C erzielt werden. Zur Trennung der Stirnwande 14 vom optischen Element wird auch durch eine solche Wahl des Stoffes dieser Wande beigetragen, dass ihr linearer Ausdehnungskoeffizient sich wesentlich vom linearen Ausdehnungskoeffizienten des thermoplastischen Chalkogenidglases aus dem das optische Element hergestellt wird, unterscheidet. Dieser Forderung entsprechen unter anderem solche polymere Stoffe, wie Polymethylmethakrylat, Polytetrafluoräthylen, sowie einige Bronzearten.
  • Danach werden die Schrauben 9 abgeschraubt und das optische Element zusammen mit den Seitenwänden 10, 11 wird von der Grundplatte 8 der Matrix (Fig. 5) abgetrennt. Somit ist die Herstellung des optischen Elements beendet. Nachstehend, bei Beschreibung des Verfahrens zur Spektralanalyse wird gezeigt, dass es oft günstig ist, das optische Element zu verwenden, ohne es von den Seitenwänden 102 11 zu trennen.
  • Durch Änderung des Abstandes zwischen den 5tirnwanden 14 kann man die Lange des optischen Elements, d.h. die Zahl der Strahlungsreflexionen regeln. Zur Herstellung von Elementen mit unterschiedlicher Konfiguration: in Form von Prismen mit verschiedenen Winkeln, Linsen mit komplivierter Form u.a.m. ,können die Stirnwand 14 der Matrix auswechselbar ausgeführt werden. Darüberhinaus kann man die Glasteile der Matrix mit einer polymeren Schutzschicht durch Einzelteile auswechseln, welche aus entsprechenden Polymeren gefertigt sind.
  • Somit sind optische ATR-Elemente aus thermoplastischem Chalkogenidglas einfach in Herstellung im Vergleich zu Elementen aus kristallinen Normalsubstanzen, da sie keiner arbeitsaufwendigen mechanischen Bearbeitung bedürfen.
  • Bei Verwendung der optischen Elemente aus thermoplastischem Chalkogenidglas ist es ausserdem bedeutend einfacher, die Aufgabe der Herstellung von Elementen mit einer praktisch beliebigen erforderlichen Form zu linsen.
  • Die erfindungsgemässen optischen Elemente haben wesentliche Vorteile auch im Vergleich zu den Flüssigkeitselementen: sie sind nicht toxisch, in festem und auch erweichtem Zustand chemisch nicht aktiv und können innerhalb einer längeren Zeit, insbesondere bei niedrigeren Temperaturen gelagert werden, ohne ihre Form die physikalischen und chemischen Eigenschaften unzulässig zu ändern.
  • Das Verfahren zur Spektralanalyse von Festkörpern unter Verwendung des erfindungsgemassen ATR-Elements wird zuerst an einem Beispiel der Untersuchung von kleinen Probesticken bei Raumtemperatur mittels des Verfahrens zur Attenuations-Mehrfachtotalreflexion behandelt.
  • Bei Verwirklichung des erfindungsgemässen Verfahrens zur Spektralanalyse ist zuerst ein optischer Kontakt zwischen dem zu untersuchenden Probestück und dem optischen Element zu schaffen. Dazu wird, wie es in Fig. 6 gezeigt ist, ein optisches Element 22 mit der Grundfläche 5 auf die Oberfläche eines zu untersuchenden Probestücks 23 gelegt, mit geringer Kraftanwendung mit der Hand, mit einem Gewicht bzw. mit jedem anderen Mittel an diese Oberflache angedrückt und das zu untersuchende Probestück 23 wird, z.B. mit einem Heizgerät 24, erwärmt.
  • Durch die Wärmeübertragung vom Probestück 23 auf die Oberflache der Grundfl"ache 5 des optischen Elements 22 erhöht sich die Temperatur dieser OberfiEche. Das Probestück 23 wird so lange erwärmt bis die Temperatur der Oberfl"ache der Grundfläche 5 den Erweichungspunkt des thermoplastischen Chalkogenidglases übertrifft. Als Folge wird die Oberflächenschicht des optischen Elements 22 plastisch, wodurch das Glas die Unebenheiten der Oberfläche des zu untersuchenden Probestücks 23 benetzt und ausfüllt und einen guten optischen Kontakt gewahrleistet, auch wenn die Oberfläche des Probestücke 23 im voraus nicht poliert wurde.
  • Da die Wärmeleitfähigkeit des thermoplastischen Chalkogenidglases gering ist, bleibt die Temperatur der Glashauptmasse bei kurzzeitiger Erwarmung der Oberilache des optischen Elements 22 unter dem Erweichungs punkt, d.h. es erfolgt keine VerSormung des optischen Elements 22. Nach der Erzeugung des optischen Kontakts werden das Probestück 23 und das optische Element 22 auf Raumtemperatur abgekt. Danach wird das optische Element 22 zusammen mit dem zu untersuchenden Probestuck 23 in einem Spektralgerät 25 (Fig. 7), z.B. in einem Spektrofotometer auf der Basis eines Monochromators mit Dispergierelementen bzw. eines Fourier-Spektrometers, aufgestellt. Das Vorhandensein der Stifte 21 an der Seitenwand 11 (Fig. 4,5), welche in entsprechende Sitze 26 (Fig. 7) eingehen, die in einer Grundplatte 27 eines guvettenteils 28 des Spektralgeräts 25 vorgesehen sind, gewahrleistet eine genaue und reproduzierbare Aufstellung des optischen Elements 22 in der vorgegebenen Lage. Dadurch entfallt die Notwendigkeit, das optische Element 22 so zu justieren, dass ein Strahlungsfluss 29, welcher durch eine im Spektralgerät 25 vorhandene Strahlungsquelle 30 erzeugt und durch das erste optische System 31 gebildet wird, unter einem vorgegebenen Winkel auf die Eintrittsfläche 5 des optischen Elements 22 einfällt.
  • Die bauliche Gestaltung des ersten optischen Systems 31 wird durch den Typ des zu verwendenden Spektralgeräts 25 bestimmt. Bei Verwendung eines Fourier-Spektrometers kann das erste optische System 31 neben einer Beleuchtungseinheit (einem Kondensor) ein Interferometer enthalten.
  • Der Strahlungsfluss 29, welcher auf das optische Element 22 einfällt, bricht an seiner Eintrittsstirnfläche 5 und fällt auf die Grenziläche des Elements 22 (Fig. 6) mit dem zu untersuchenden Objekt 23 ein. Wenn der Einiallswinkel # des Strahlungsflusses 29 (Fig. 7) einen Grenzwinkel sin # = ## übertrifft, wo no und n - Brechungsindexe des Probestücks bzw. Glases sind, so erfolgt eine Totalreflexion; eine Lichtwelle dringt unter diesen Bedingungen in das Probestück 23 in eine Tiefe in der Grössenordnung der Wellenlange ein, und wenn das Probestück 23 in diesem Spektralintervall absorbiert, so wird die Intensität des reflektierten Liohtstromes abgeschwächt, d.h. es erfolgt eine Attenuation der Totalreflexion. Die Grosse der Schwächung korreliert mit der der Absorption, was zu einer äusseren Ähnlichkeit der ATR-Spektren und der Durchlässigkeitsspektren führt.
  • Ein reflektierter Lichtstrom 32 tritt aus dem optischen Element 22 durch die Stirnflache 5 aus und gelangt in das zweite optische System 33. Wenn das Spektralgerät ein Spektrofotometer dispergierenden Typs darstellt, muss das zweite optische System 33 neben einem Fokusiersystem einen Monochromator enthalten, welcher im Strahlungsfluss aufeinanderfolgend schmale Spektralintervalle mit unterschiedlicher Wellenl"ange trennt, d.h. eine Abtastung des ATR-Spektrums durchfïlhrt. Aus dem zweiten optischen System 33 gelangt die Strahlung in das Registrier-Meßsystem 34, das die Strahlung mittels eines zum System gehorenden Detektors, z.3. des pyroelektrischen Typs, in elektrische Signale umwandelt und ihre Verstärkung sowie die erforderliche Verarbeitung dieser Signale vornimmt. In Spektrofotometern dispergierenden Typs erfolgt diese Verarbeitung, z.B. eine Korrektur der Grundlinie, im Abtastungsprozess.- Wird ein Fourier-Spektrofotometer verwendet, sieht die Verarbeitung der Signale, die vom Detektor abgenommen werden, eine Fourier-Transformation dieser Signale-vor. Solche Verarbeitung geschieht nach der Registrierung (Aufzeichnung) des Interferogramms und wird in der Regel mit einer ERM durchgefuhrt, welche ein Bestandteil des Registrier-Mesystems ist. Die Folge der elektrischen Signale, welche dem Spektrum des zu untersuchenden Probestücks entspricht, wird in einer Registriereinrichtung 35, z.B. auf ein Tonband bzw. auf einen anderen Informationstrager, aufgezeichnet.
  • Nach der Registrierung des ATR-Spektrums des zu untersuchenden Probe stücks 23 wird dieses vom optischen Element 22 getrennt, indem das Probestück 23 und das optische Element 22 im voraus in einem Kühlschrank bzw. mittels einer thermoelektrischen Kühleinrichtung auf der Basis des Peltier-Effekts, abgekuhl"t werden. Bei der Durchführung einer quantitativen Analyse ist es notwendig, die Grundlinie zusätzlich aufzuzeichnen, d.h. die Registrierung des Spektrums bei der Aufstellung des optischen Elements 22 ohne Probestück im Lichtstrom vorzunehmen. Das korrigierte Spektrum wird als Ergebnis der Teilung der Spektren ermittelt, welche für das optische Element 22 mit dem Probestuck 23 und ohne dieses registriert wurden.
  • Ein Hauptvorteil des geschilderten Spektralanalyseverfahrens ist die Möglichkeit einen guten optischen Kontakt zwischen dem zu untersuchenden Probestück und dem optischen Element zu erzeugen, ohne die in Beruhrung stehenden Flachen des Probestücks und des optischen Elements sorgfältig mechanisch zu bearbeiten. Dadurch werden die Kosten für die Vorbereitung und Durchführung der Analyse gesenkt und, was besonders wichtig ist, es wird möglich, solche Probestücke zu untersuchen, die sich schlecht mechanisch bearbeiten lassen (harte Kunststoffe, unelastische polymere Fasern u.a.m.).
  • Es kann bei der Untersuchung der Probestücke von grossen Ausmassen (Fig. 8) beschwerlich sein, die Kontaktzone auf eine erforderliche Temperatur nach der Aufstellung des optischen Elements auf dem zu untersuchenden Probestuck zu erwärmen. Es ist in diesem Falle zweckmässig, zuerst einen Teil der Oberflache des PrObestücks 23 in der zu untersuchenden Zone auf die erforderliche Temperatur zu erwarmen und danach, ohne si abkGhlen zu lassen, darauf das optische Element 22 aufzustellen. Durch die Warmeübertragung von der Oberfläche des Probestücks 23 wird die Oberfläche des optischen Elements 22 in der Kontakts zone deshalb plastisch, weil, wie im vorherigen Fall, ein hochwertiger optischer Kontakt gesichert wird. Wie es in Fig. 8 gezeigt ist, ist das Spektralgerät 25 in diesem Fall mit einem zusätzlichen optischen System zu versehen; das bedingt in Form von zwei Planspiegeln 36 und zwei Linsen 37 dargestellt ist, welche das optische Element 22 mit den optischen Systemen 31 und 32 (Fig. 7) optisch verbinden.
  • In dem Fall, wenn die zu untersuchende Oberflache des Probestücks 25 vertikal ist (Fig. 8), ist es zweckmässig, solch ein Volumen des Glases zu nehmen, welches zur Bildung des optischen Elements während der Herstellung verwendet wird, dass es um 3-5% geringer wird als das Volumen des Hohlraums der Matrix. Es ist bei der Verwirklichung der obengeschilderten Ausführungsbeispiele des erfindungsgemässen Verfahrens zur Spektralanalyse notwendig, bei der Erwärmung der Oberfläche des optischen Elements in der Kontaktzone Vorsicht zu üben, damit die Temperatur der anderen Zonen dieses Elements den Erweichungspunkt nicht überschreitet. Anderenfalls kann eine Verformung einzelner Abschnitte des optischen Elements zustandenkommen, was zu einer Verzerrung der Wellenfront des Strahlungsflusses nach dem Durchgang durch das optische Element führt, d.h.
  • zu einer Verringerung der Lichtdurchlässigkeit und zu einer gewissen Verschlechterung der Spektrumqualität.
  • Zweifache Erwärmung und zweifache AbkGhlung des optischen Elements verlangern daru"berhinaus die Dauer der Vorbereitung der Analyse und folglich der Analyse im ganzen.
  • Deshalb ist fur die Mehrheit der Probestücke das Ausführungsbeispiel des erfindungsgem"assen Verfahrens vorzuziehen, welches folgende Reihenfolge vorsieht. .kbnlich wie in den obengeschilderten Beispielen, wird zuerst thermoplastisches Chalkogenidglas in einer Matrix auf eine Temperatur über seinem Erweichungspunkt erwärmt, d.h.
  • so lange, bis es plastisch wird und die erforderliche Form des optischen Elements 22 (Fig. 9) annimmt. Danach, ohne Glas abkühlen zu lassen, wird auf die obere Oberfläche des optischen Elements das zu untersuchende Probestuck 23 unter einer geringen Kraftanwendung gelegt und seine Oberfläche wird an die des optischen Elements 22 angedruckt. Dadurch wird zwischen ihnen ein optischer Kontakt erzeugt. Danach wird die Erwärmung eingestellt, das gewahrt der Matrix, dem Probestück 23 und dem optischen Element 22 die Möglichkeit, sich auf die Raumtemperatur abzlzkWhlen. Danach, wie oben geschildert, werden die Stirnwände 14 der Matrix (Fig. 5) abgetrennt und entfernt und die Seitenwände 10, 11 zusammen mit dem optischen Element 22 und dem zu untersuchenden Probestück 23 werden von der Grundplatte 8 der Matrix abgetrennt.
  • Das optische Element 22 wird zusammen mit dem zu untersuchenden Probestuck 23 im uvettenteil 28 des Spektralgeräts 25 aufgestellt, sie werden durch Stellstifte 21 (Fig. 7) fixiert, auf das optische Element 22 wird der Strahlungsfluss 29 gerichtet und das ATR-Spektrum des zu untersuchenden Probe stücks 23 wird registriert.
  • Dadurch, dass in diesem Ausführungsbeispiel des Verfahrens die Erzeugung eines optischen Kontakts der Bildung des optischen Elements unmittelbar folgt, entf"allt die Notwendigkeit, die Kontaktzone wiederholt zu erwarmen. Nach der Abtrennung des optischen Elements 22 von der Grundplatte 8 und den Stirnwänden 14 der Matrix wird es ausserdem keiner Erwärmung ausgesetzt, wodurch seine eventuelle Verformung beseitigt wird.
  • Ist das ATR-Spektrum des zu untersuchenden Probestücks bei einer erhohten Temperatur (unter Anwendung des Chalkogenidglases mit der Zusammensetzung Nr. 2 bzw. Nr. 3) bzw.
  • bei einer erniedrigten Temperatur (unter Anwendung der Zusammensetzung Nr. 4 bzw. Nr. 5) zu registrieren, ist das Spektralgerät mit einerentsprechenden Heiz- bzw. Kryoeinrichtung zu versehen.
  • Bei Untersuchung von Dichroismus, wenn ATR-Spektren des Probestücks in der zweiten Lage, welche bezüglich der ersten um 900 aufgefächert ist, zusätzlich zu registrieren sind, kann man die Seitenwände 6,7 des optischen Elements ebenfalls als Arbeitswände ausführen. Wenn die Neigungswinkel der Wände 6, 7 und der Abstand zwischen ihnen unter- schiedlich von den Neigungswinkeln der Wände 5 und vom Abstand dazwischen ausgeführt werden, lässt sich ein und dasselbe optische Element zur Registrierung der ATR--Spektren mit unterschiedlicher Reflexionszahl verwenden.
  • - L e e r s e i t e -

Claims (5)

  1. P a t e n t a n 5 p rüc h e 1. Verfahren zur spektralanalytischen Untersuchung von Festkörpern, wobei mittels eines lichtdurchlässigen optischen Attenuations-Totalreflexions-Elementes (ATR-Element) ein optischer Kontakt zum zu untersuchenden Festkörper erzeugt wird, auf den zu untersuchenden Festkörper mit einem Strahlungsfluß eingewirkt wird, welcher durch das optische Element durchgeht und auf die Zone des optischen Kontaktes unter einem Winkel einfällt, welcher den Grenzwinkel der Totalreflexion übertrifft, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß das ATR-Element aus thermoplastischem Chalkogenid-Glas hergestellt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß das aus thermeoplastischem Chalkogenid-Glas hergestellte optische Attenuations-Totalreflexions-Element die folgende Zusammensetzung (Mass. %) aufweist: Arsen 7-27, Antimon 1-6, Jod 14-29, Selen 47-62, Tellur 1-6.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadruch g e -k e n n z e i c h n e t , daß zur Erzeugung des optischen Kontaktes zwischen dem optischen Attenuations-Totalreflexions-Element und dem Festkörper vor bzw.
    nach der Deckung dieses optischen Elementes mit dem Festkörper die Oberfläche des optischen Elementes in der Zone seines Kontaktes mit dem Festkörper auf eine Temperatur über seinem Erweichungspunkt erwärmt und nach der Erzeugung des optischen Kontaktes das optische Element auf eine Temperatur unter seinem Erweichungspunkt gekühlt wird.
  4. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bs 3, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Bildung des optischen ATR-Elements mit der Erzeugung des optischen Kontakts zwischen dem Festkörper und dem optischen ATR-Element vereinigt wird, wozu der Hohlraum einer Matrix, der der Form des optischen ATR-Elements entspricht, mit thermoplastischem Chalkogenid-Glas gefüllt wird und die Matrix mit Glas auf eine Temperatur erwärmt wird, welche den Erweichungspunkt des Glases übertrifft, danach ein optischer Kontakt zwischen dem Festkörper und der Oberfläche des erweichten Glases erzeugt wird, wonach die Matrix mit Glas auf eine Temperatur unter seinem Erweichungspunkt gekühlt wird und vom optischen ATR-Element die Baugruppen der Matrix getrennt werden, welche mit seiner Eingangs- und Ausgangsoberfläche in Berührung stehen.
  5. 5. Matrix zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, welche Seiten (10, 11) und Stirnwände (14) enthält, die auf einer Grundplatte (8) befestigt sind und einen Hohlraum zur Bildung des optischen ATR-Elementes bilden, dadurch g e k e n n -z e i c h n e t , daß die Stirnwände (14) verschiebbar auf Führungsschienen (13), die auf der Grundplatte (8) befestigt sind, aufgestellt sind und Halterungen (18) aufweisen, welche die Länge des optischen ATR-Elementes (4) vorgeben, die Seitenwände (7, 11) aber durch Stege (20) verbunden sind und Einstellelemente (21) aufweisen.
DE19833337453 1983-10-14 1983-10-14 Optisches attenuations-totalreflexionselement spektralanalyseverfahren und mat rix zur herstellung dieses elements Granted DE3337453A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833337453 DE3337453A1 (de) 1983-10-14 1983-10-14 Optisches attenuations-totalreflexionselement spektralanalyseverfahren und mat rix zur herstellung dieses elements

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19833337453 DE3337453A1 (de) 1983-10-14 1983-10-14 Optisches attenuations-totalreflexionselement spektralanalyseverfahren und mat rix zur herstellung dieses elements

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3337453A1 true DE3337453A1 (de) 1985-05-02
DE3337453C2 DE3337453C2 (de) 1988-05-26

Family

ID=6211872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19833337453 Granted DE3337453A1 (de) 1983-10-14 1983-10-14 Optisches attenuations-totalreflexionselement spektralanalyseverfahren und mat rix zur herstellung dieses elements

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3337453A1 (de)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4030836A1 (de) * 1990-09-28 1992-04-02 Kim Yoon Ok Vorrichtung zur qualitativen und/oder quantitativen bestimmung der zusammensetzung einer zu analysierenden probe
DE4418180A1 (de) * 1994-06-27 1996-01-25 Emmrich Roland Anordnung zur Messung der spektralen Absorption in Flüssigkeiten, Gasen und Feststoffen

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013114244B3 (de) * 2013-12-17 2015-01-22 Pyreos Ltd. ATR-Infrarotspektrometer

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
US-Z.: Applied Optics 14, 1975, S. 3073 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4030836A1 (de) * 1990-09-28 1992-04-02 Kim Yoon Ok Vorrichtung zur qualitativen und/oder quantitativen bestimmung der zusammensetzung einer zu analysierenden probe
DE4418180A1 (de) * 1994-06-27 1996-01-25 Emmrich Roland Anordnung zur Messung der spektralen Absorption in Flüssigkeiten, Gasen und Feststoffen

Also Published As

Publication number Publication date
DE3337453C2 (de) 1988-05-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2344822A1 (de) Interferometrische vorrichtung zur messung der laengenaenderungen eines prueflings unter der einwirkung der temperatur
DE69315877T2 (de) Methode und Vorrichtung zum Messen der Photoluminiszenz in einem Kristall
DE68917383T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum schnellen Bestimmung des Schlamminhalts.
EP0201861B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Spannungsmessung
DE1598863A1 (de) Vorrichtung zur AEnderung des Einfallwinkels eines Strahlungsbuendels auf eine Zelle mit Benutzung innerer Reflexion bei Ultraspektroskopie
EP0618441A2 (de) Vorrichtung zur lateral aufgelösten Untersuchung einer lateral heterogenen ultradünnen Objektschicht
DE69226514T2 (de) Gleichzeitiges vielfach-winkel/vielfach-wellenlängen ellipsometer und methode
DE4104316C2 (de) Verfahren zur Spektralphotometrie
DE10329360A1 (de) Doppelbrechungsmessgerät, Spannungsentfernungseinrichtung, Polarimeter und Belichtungsgerät
EP0031870A2 (de) Anordnung zur messtechnischen Erfassung kleinster Temperaturdifferenzen im Mikrobereich
DE19803106A1 (de) Konfokales Mikrospektrometer-System
DE102016201572A1 (de) Miniaturspektrometer und Verfahren zum Schalten eines Miniaturspektrometers zwischen Abbildungsmodus und Spektrometermodus
DE4244086C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Nachweis von Oberflächenplasmonen
WO2008131731A2 (de) Vorrichtung zur bestimmung einer mechanischen eigenschaft einer probe mit einem indenter und mittel zur dessen heizung
DE102008048266A1 (de) Verfahren zur schnellen Bestimmung der separaten Anteile von Volumen- und Oberflächenabsorption von optischen Materialien, eine Vorrichtung hierzu sowie deren Verwendung
DE3337453C2 (de)
DE4414552C2 (de) Verfahren zur Herstellung von mikrooptischen Elementen oder eines Faserendes in Form eines mikrooptischen Elements
DE10146826B4 (de) Verfahren zur Analyse von Silizium-Germanium-Legierungen und Vorrichtung zur Herstellung von Halbleiterschichtstrukturen mit Silizium-Germanium-Legierungsschichten
DE10239330A1 (de) Verfahren zur Herstellung von optischen Fluorid-Kristall-Lithographie/Laser-Elementen für Wellen-Längen <200 NM
DE3738041C2 (de)
DE1648748C3 (de) Verfahren zum Prüfen eines Stuckes aus gleichmäßig vorgespanntem Glas
DE102006036808A1 (de) Strukturierter ATR-Kristall aus Diamant
DE2548846A1 (de) Einrichtung zur brechungsindexanpassung bei farbstoffzellen
DE19804279C2 (de) Verfahren zur zeitaufgelösten Messung von Energiespektren molekularer Zustände und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102011113572B3 (de) Verfahren zur schnellen Bestimmung der separaten Anteile von Volumen- und Oberflächenabsorption von optischen Medien, eine Vorrichtung hierzu sowie deren Verwendung

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
8125 Change of the main classification

Ipc: G01N 21/55

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee