DE3323796C2 - - Google Patents
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Description
Die Erfindung geht aus von einem Oberflächenwellen-Bau
element nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Derartige Oberflächenwellen-Bauelemente werden beispiels
weise als elektronische Filter herangezogen und weisen
ein piezoelektrisches Substrat auf, etwa aus einem ein
kristallinen piezoelektrischen Material, z. B. Lithiumnio
bat (LiNbO3) oder aus einem piezoelektrischen keramischen
Material oder aus einer Kombination aus einer nicht
piezoelektrischen Trägersubstanz und einer darauf aufge
brachten piezoelektrischen Schicht, wobei zur Erzeugung
einer sich längs der Oberfläche des Substrates fortpflan
zenden akustischen Oberflächenwelle ein Wandler auf dem
piezoelektrischen Substrat vorgesehen ist, der ein elek
trisches Signal in eine akustische Oberflächenwelle
umsetzt.
Aus der US-PS 39 74 464 ist ein Oberflächenwellen-Bauele
ment mit einem elastischen Substrat und einem piezoelek
trischen Film bekannt, der auf dem elastischen Substrat
ausgebildet ist. Das bekannte Oberflächenwellen-Bauele
ment weist eine untere Elektrode zwischen dem elastischen
Substrat und dem piezoelektrischen Film sowie eine obere,
als Wandler dienende kammförmige Elektrode auf dem piezo
elektrischen Film auf.
Aus dem Aufsatz "Coldren, L. A.: Effect of bias field in a
zinc-oxide-on-silocon acoustic convolver, Applied Physics
Letters, Vol. 25, Nr. 9, 1974, Seiten 473 bis 475" ist
ein akustischer Oberflächenwellenconvolver mit einer
Trägersubstanz und einer darauf angeordneten piezoelek
trischen Schicht bekannt, wobei auf der piezoelektrischen
Schicht kammförmige Wandlerelektroden in Abstand vonein
ander längs der Ausbreitungsrichtung der akustischen
Oberflächenwellen und zwischen den kammförmigen Elektro
den eine Flächenelektrode als Ausgangselektrode vorgese
hen sind. Die kammförmigen Elektroden erzeugen akustische
Oberflächenwellen in zwei Ausbreitungsrichtungen.
Anhand der Fig. 1 wird nachstehend ein weiteres konven
tionelles akustisches Oberflächenwellen-Bauelement ganz
allgemein erläutert. Dabei handelt es sich um ein Filter
mit einem piezoelektrischen Substrat 1. Auf dem piezo
elektrischen Substrat 1 ist ein Eingangswandler 2 ange
ordnet, der aus zwei ineinandergreifenden, kammförmigen
Elektroden 2A und 2B besteht. Ferner ist auf dem piezo
elektrischen Substrat 1 ein Ausgangswandler 3 vorgesehen,
der aus zwei ineinandergreifenden, kammförmigen Elektro
den 3A und 3B besteht. Ein dem Eingangswandler 2 zuge
führtes elektrisches Signal wird in eine akustische
Oberflächenwelle umgewandelt, die sich längs der Oberflä
che des piezoelektrischen Substrates 1 fortpflanzt. Die
akustische Oberflächenwelle erreicht den Ausgangswandler 3
und wird durch den Ausgangswandler 3 in ein elektri
sches Signal zurückgewandelt. 5 bezeichnet eine an dem
Ausgangswandler 3 angeschlossene elektrische Last. Die
kammförmigen Elektroden 2A, 2B des Eingangswandlers sowie
3A, 3B des Ausgangswandlers sind sogenannte normierte
Elektroden, bei denen jede Elektrodenfingerbreite W und
jeder Zwischenraum L zwischen jeweils benachbarten,
ineinandergreifenden Elektrodenfingern λ0/4 beträgt,
wobei λ0 die Mittenfrequenz-Wellenlänge f0 der betrach
teten akustischen Oberflächenwelle bezeichnet.
Ein derartiges Filter mit einem Eingangs- und einem
Ausgangswandler gemäß Fig. 1 ist mit elektromechanischen
Umwandlungsverlusten behaftet und zeigt daher große
Filterverluste, da jeder der Wandler 2 und 3 als soge
nannter Zweirichtungswandler arbeitet und somit akusti
sche Oberflächenwellen erzeugt, die sich - bezogen auf
die Betrachtungsrichtung auf Fig. 1 - in Richtung nach
links einerseits und in Richtung nach rechts andererseits
ausbreiten.
Zur Vermeidung derartiger Verluste ist ein Ein-Richtungs-
Wandler vorgeschlagen worden, der eine akustische Ober
flächenwelle nur zu einer Seite hin bzw. in eine Richtung
längs der Oberfläche des piezoelektrischen Substrates
entstehen läßt. Ein derartiger konventioneller Wandler
wird nachstehend ganz allgemein anhand der Fig. 2 erläu
tert. Der in Fig. 2 dargestellte Wandler weist kammförmi
ge Elektroden 6A, 6B und 6C auf, die über einen 120°
Phasenschieber 7 mit einer Signalquelle 4 verbunden sind,
um die jeweiligen Elektroden 6A, 6B und 6C mit einem
Signal und einem Phasenunterschied von jeweils 120° zu
versorgen, so daß sich akustische Oberflächenwellen nur
in einer Richtung fortpflanzen. Dieser Ein-Richtungs-
Wandler muß jedoch mit Leitungskreuzungen 8 in zwei Höhen
ausgebildet sein, indem beispielsweise Zwischenräume oder
Isolierfilme zwischen wenigstens zwei phasenverschiedenen
Elektroden 6B und 6C vorgesehen werden. Dies bedingt
jedoch ein kompliziertes Herstellungsverfahren, eine
vergleichsweise schlechte Produktivität und vergleichs
weise hohe Herstellungskosten.
Ein akustisches Oberflächenwellen-Bauelement der zuletzt
genannten Art ist beispielsweise aus der US-PS 40 87 714
bekannt, wobei die Mittenabstände der in Ausbreitungs
richtung nebeneinanderliegenden Elektrodenfinger der um
jeweils 120° phasenverschieden angesteuerten Elektroden
ein Drittel der Wellenlänge der akustischen Oberflächen
welle betragen.
Fig. 3 zeigt einen weiteren konventionellen Wandler.
Dieser umfaßt einen Energieversorgungsteil und einen
reflektierenden Teil einschließlich normierter kammförmi
ger Elektroden 9A und 9B und eine beiden Teilen gemeinsa
me Elektrode 10. Der Energieversorgungsteil mit der
Elektrode 9A ist über eine Anpassungsschaltung 11 mit der
Signalquelle 4 verbunden, während der reflektierende Teil
mit der Elektrode 9B mit einer Reaktanzschaltung 12
verbunden ist, so daß der reflektierende Teil 9B nach
links wandernde Anteile der akustischen Oberflächenwellen
reflektiert, die sich vom Energieversorgungsteil mit der
Elektrode 9A sowohl in Richtung nach rechts als auch in
Richtung nach links fortpflanzen. Dadurch ist es möglich,
daß die akustischen Oberflächenwellen nur in die Richtung
nach rechts laufen.
Dieser Ein-Richtungs-Wandler umfaßt jedoch normierte
Elektroden 9A und 9B, deren Elektrodenfingerbreite W und
deren Zwischenraum L zwischen benachbarten Elektrodenfin
gern jeweils λ0/4 betragen. Die akustischen Oberflächen
wellen, die durch die jeweiligen Elektrodenfingerspitzen
der Elektroden 9A und 9B reflektiert werden, stimmen
somit in ihren Phasen überein, wodurch die Zwischenelek
trodenreflexionen verstärkt werden und somit die Beschaf
fenheit des Bauelementes beeinträchtigt wird. Zur Vermei
dung dieses Nachteils ist ein Doppelelektrodenwandler
vorgeschlagen worden, der in Fig. 4 dargestellt ist. Bei
diesem Wandler ist jeder Elektrodenfinger der ineinander
greifenden kammförmigen Elektroden 2A und 2B in zwei
Teile unterteilt, so daß jede Elektrodenfingerbreite W
und jeder Zwischenraum L zwischen den Elektroden λ0/8
beträgt.
Hierdurch werden die Einflüsse durch reflektierende
Wellen vermindert, da die reflektierenden Wellen an den
jeweiligen Elektrodenfingerspitzen in ihren Phasen um
180° verschieden sind, d. h. entgegengesetzte Phasen
haben, und einander entgegenwirken. Die Herstellung
derartiger Doppelelektrodenwandler erfordert jedoch eine
extrem hohe Arbeitsgenauigkeit bei der Ausbildung der
Elektroden, da mit höherer Frequenz die Wellenlänge λ
kleiner wird. Falls die Mittenfrequenz 1 GHz beträgt und
das piezoelektrische Substrat, wie häufig, aus Lithium
niobat besteht, betragen λ0/4 annähernd 0,87 µm und
λ0/8 annähernd 0,44 µm. Selbst unter Anwendung neuester
Präzisionstechniken ist es schwierig, exemplarstreuungs
freie Bauelemente mit derart extrem kleinen Elektroden
maßen herzustellen.
Der Erfindung liegt das technische Problem zugrunde, ein
Oberflächenwellen-Bauelement der im Oberbegriff des
Anspruchs 1 genannten Art dahingehend zu verbessern, daß
es verlustarm funktioniert und dennoch herstellungstech
nisch einfach aufgebaut ist.
Zur Lösung dieses Problems wird erfindungsgemäß vorge
schlagen, ein Oberflächenwellen-Bauelement der im Oberbe
griff des Anspruchs 1 genannten Art gemäß den kennzeich
nenden Merkmalen des Anspruchs 1 auszubilden.
Bevorzugte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Oberflä
chenwellen-Bauelementes sind in den Unteransprüchen
angegeben.
Im folgenden werden anhand der zugehörigen Zeichnung
besonders bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung
näher erläutert:
Fig. 1, 3 und 4 zeigen Draufsichten auf herkömmliche Bau
elemente.
Fig. 2 zeigt in einer perspektivischen Ansicht
ein herkömmliches Bauelement.
Fig. 5a und 5b zeigen eine Draufsicht und eine Schnittan
sicht eines Ausführungsbeispiels der Erfindung.
Fig. 6 zeigt einen vergrößerten Teil der Elektrode
desselben Ausführungsbeispiels.
Fig. 7 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der
Erfindung.
Die Fig. 5a und 5b zeigen eine Draufsicht und eine Schnittansicht
eines Teiles eines akustischen Oberflächenwellenbauelementes
nach der Erfindung, das einen Eingangswandler aufweist.
Das piezoelektrische Substrat 1 umfaßt eine elastische
Platte 12 und einen piezoelektrischen Film 13, der auf
die elastische Platte 12 aufgebracht ist. Eine rechtwinklige
untere Elektrode 14 ist auf der elastischen Platte 12
ausgebildet, während eine obere Elektrode 15, die aus einer
Vielzahl von kammförmigen Elektroden 15A, 15B und 15C
besteht, auf dem piezoelektrischen Film 13 vorgesehen ist
und der unteren Elektrode 14 gegenüberliegt. In dieser Weise
ist ein sog. Einphasenwandler aufgebaut. Die kammförmigen
Elektroden 15A, 15B und 15C sind in Fortpflanzungsrichtung X
der mittels des Wandlers anzuregenden akustischen Oberflächenwellen in
einer Linie ausgerichtet und haben einen Abstand l₁ oder
l₂ voneinander. Die beiden Abstände l₁ und l₂ entsprechen jeweils ganz
zahligen Vielfachen von λ0/3. Beispielsweise ist
l1 gleich λ0/3·n1, während l2 gleich λ0/3·n2 ist. Die
Anzahl der kammförmigen Elektroden ist gleich
drei. Die Breite W jedes Elektrodenfingers der kamm
förmigen Elektroden 15A, 15B und 15C und der Abstand L
zwischen jeweils benachbarten Elektrodenfingern betragen
λ0/2 jeweils.
Der in der Figur nicht dargestellte Ausgangswandler ist
identisch aufgebaut.
Wenn bei einer derartigen Anordnung elektrische Signale an
den kammförmigen Elektroden 15A, 15B und 15C mit einem
Phasenunterschied von 120° von einer Signalquelle 16 an
liegen, die zwischen die obere Elektrode 15 und die untere
Elektrode 14 geschaltet ist, werden zwischen der unteren
Elektrode 14 und den jeweiligen kammförmigen Elektroden
15A, 15B und 15C der oberen Elektrode 15 elektrische
Felder erzeugt, so daß akustische Oberflächenwellen von
den jeweiligen kammförmigen Elektroden 15A, 15B und 15C
angeregt werden.
Die akustischen Oberflächenwellen von den kammförmigen
Elektroden laufen sowohl in die Richtung nach rechts als
auch nach links. Da in diesem Fall die Abstände zwischen
den jeweiligen Elektroden und die Phasen der Signale, die
an den jeweiligen Elektroden liegen, so gewählt sind,
daß eine bestimmte Bedingung erfüllt ist, unterscheiden
sich die akustischen Oberflächenwellen, die in die -X-
Richtung laufen voneinander in ihren Phasen um 120°, während
die Wellen, die in die +X-Richtung gemäß dem Pfeil X laufen, alle in ihren
Phasen übereinstimmen.
Da die akustischen Oberflächenwellen, die in die -X-Rich
tung laufen, einander entgegenwirken, während die Wellen,
die in die X-Richtung laufen, einander verstärken, erlaubt
daher der Wandler eine Fortpflanzung von akustischen
Oberflächenwellen nur in die X-Richtung.
Der Wert λ0/2 der Elektrodenfingerbreite W und des
Elektrodenfingerabstandes L der jeweiligen kammförmigen
Elektroden 15A , 15B und 15C beträgt das zweifache oder
das vierfache des Wertes der herkömmlichen normierten
Elektrode oder Doppelelektrode. Bei der Herstellung der
Elektroden ist daher eine zu grosse Genauigkeit nicht
erforderlich. Das führt zu einer höheren Produktivität
und zu einer Verringerung der Herstellungskosten des
Bauelementes. Insbesondere können Wandler zur Verwendung
im Hochfrequenzband leicht hergestellt werden.
Aufgrund des Wertes λ0/2 des Elektrodenfingerabstandes
L unterscheiden sich die reflektierenden Wellen F1 und
F2 die an den jeweiligen Elektrodenfingerspitzen E1 und
E2 erzeugt werden, in ihren Phasen um 180°, so daß sie
einander entgegenwirken. Einflüsse durch die Zwischen
elektrodenreflexion werden daher in einem derartigen
Ausmaß vermindert, daß sichergestellt ist, daß der
Wandler die Eigenschaft der Ausrichtung in eine Richtung
hat.
Fig. 7 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Er
findung, bei dem ein halbleitendes Substrat 12′ verwandt
ist. In diesem Fall ist ein Bereich 17 mit niedrigem
Widerstand dadurch gebildet, dass Störstellen in einen
gegebenen Bereich des halbleitenden Substrates 12′ dotiert
sind, so daß dieser Bereich als untere Elektrode dienen
kann. Ein leitender Film, der als untere Elektrode wirkt,
erübrigt sich dann. Die Verwendung des halbleitenden
Substrates erlaubt es weiterhin, andere funktionelle integrierte
Schaltungen des Oberflächenwellenbauelementes in das Substrat einzubauen,
was die Verwendbarkeit des Bauelementes
vergrößert.
Der piezoelektrische Film 13 kann aus Zinkoxid (ZnO),
Aluminiumnitrid (AlN) usw. durch Aufdampfen, chemisches
Bedampfen oder ein anderes ähnliches Verfahren ausgebildet
werden.
Vorausgesetzt, daß die jeweiligen Elektrodenfinger
um ein ganzzahliges Vielfaches von λ0/3 beabstandet
sind, können ggf. auch mehr als die drei kammförmigen Elektroden,
die bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel verwandt
wurden, die obere Elektrode bilden.
Claims (6)
1. Oberflächenwellen-Bauelement mit einem elastischen
Substrat (12) und einem piezoelektrischen Film (13),
der auf dem elastischen Substrat (12) ausgebildet ist,
und mit einer unteren Elektrode (14, 17), die zwischen
dem elastischen Substrat (12, 12′) und dem piezoelek
trischen Film (13) ausgebildet ist,
gekennzeichnet durch
drei kammförmige obere Elektroden (15A, 15B, 15C), die auf
dem piezoelektrischen Film (13) gegenüber der unteren
Elektrode (14, 17) längs der Fortpflanzungsrichtung
der akustischen Oberflächenwellen ausgebildet sind, wobei jede obere
Elektrode (15A, 15B, 15C) und die untere Elektrode
(14, 17) gemeinsam einen Ein-Richtungs-Wandler
bilden, der elektroakustische Oberflächenwellen in
einer einzigen Ausbreitungsrichtung erzeugt.
2. Oberflächenwellen-Bauelement nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die kammförmigen Elektroden (15A,
15B, 15C) in einem Abstand voneinander gleich einem
ganzzahligen Vielfachen eines Drittels der Wellenlänge
bei der Mittenfrequenz einer akustischen Oberflächen
welle angeordnet sind.
3. Oberflächenwellen-Bauelement nach Anspruch 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die kammförmigen Elektroden (15A,
15B, 15C) derart ausgebildet sind, daß die Breite
jedes Elektrodenfingers und der Abstand zwischen den
jeweiligen Elektrodenfingern jeweils gleich der Hälfte
der Wellenlänge sind.
4. Oberflächenwellen-Bauelement nach Anspruch 3, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Einrichtung (16) vorgesehen
ist, die die drei kammförmigen Elektroden (15A, 15B,
15C) mit elektrischen Signalen versorgt, deren Phasen
sich um jeweils 120° unterscheiden.
5. Oberflächenwellen-Bauelement nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das elastische Substrat (12′) aus
einem halbleitenden Material besteht.
6. Oberflächenwellen-Bauelement nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß das elastische Substrat (12′)
einen Bereich (17) mit kleinem Widerstand einschließt,
der als untere Elektrode wirkt.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
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