DE3232520A1 - Verfahren zur herstellung eines magnetischen aufzeichnungstraegers - Google Patents
Verfahren zur herstellung eines magnetischen aufzeichnungstraegersInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers, bei
dem man auf einem sich bewegenden biegsamen Schichtträger
aus einem hochmolekularen Material oder dgl. durch Vakuumaufdampfen
einen dünnen magnetischen Film erzeugt.
Magnetische Aufzeichnungsträger vom Beschichtungstyp
werden im großen Maßstab verwendet. Bei diesen magnetischen Aufzeichnungsträgern werden pulverisierte magnetische
Materialien wie magnetische Oxidteilchen und ferromagnetische Teilchen wie z.B. y-Fe„O.,, Co-dotiertes
^-Fe3O3, Fe3O4, Co-dotiertes Fe3O4, Berthollide-Verbindungen
von Y~Fe2°3 und Fe3°4' Cr02 oder ^S1 · verwendet.
Diese pulverförmigen magnetischen Materialien werden in organischen Bindemitteln wie Vinylchlorld-Vinylacetat-Copolymeren,
Styrol-Butadien-Copolymeren, Epoxyharzen
und Polyurethanharzen dispergieri;. Die so erhaltenen Dispersionen werden dann als Beschichtungsflüssigkeiten
auf nicht-magnetische Schichtträger aufgebracht und getrocknet, wodurch der magnetische Aufzeichnungsträger
erhalten wird. In jüngerer Zeit haben sogenannte magnetische Aufzeichnungsträger vom bindemittelfreien Typ
Aufmerksamkeit erregt, bei denen keine Bindemittel verwendet werden, da sie das starke Bedürfnis nach einer
Aufzeichnung mit hoher Aufzeichnungsdichte befriedigen
können. Die magnetischen Aufzeichnungsträger des eben
genannten Typs weisen magnetische Aufzeichnungsschichten
auf, die aus dünnen ferromagnetisehen Metallschichten bestehen,
die durch ein Aufdampfverfahren wie Vakuumbedampfen,
Sputtering oder IonenplatÜeren oder durch ein elektrochemisches Verfahren wie galvanisches Abscheiden
oder stromlose Abscheidung gebildet werden. Es wurden somit zahlreiche Anstrengungen unternommen, magnetische
Aufzeichnungsträger vom bindemittelfreien Typ zu entwickeln,
die für die praktische Verwendung geeignet sind.
JZOZOZU
Bei den üblichen magnetischen Aufzeichnungsträgern vom
Beschichtungstyp werden als magnetische Materialien bevorzugt Metalloxide verwendet, die eine Sättigungsmagnetisierung
aufweisen, die niedriger ist als die ferromagnetischer Metalle. Wenn die Dicke der Schicht aus dem
magnetischen Material auf dem Schichtträger vermindert wird, vermindert sich infolge der niedrigen Sättigungsmagnetisierung auch die Signal-Ausgangsleistung. Es
ist daher unmöglich, die Dicke der Schicht aus dem magne-,Q
tischen Material soweit zu vermindern, wie für die Aufzeichnung mit hoher Aufzeichnungsdichte erforderlich ist.
Außerdem sind die magnetischen Aufzeichnungsträger vom
Beschichtungstyp auch insofern nachteilig, als sie bei ihrer Herstellung komplizierte Herstellungsverfahren
,c und platzaufwendige Ausrüstungen für die Wiedergewinnung
der Lösungsmittel und für den Schutz der Umwelt erfordern. Andererseits können Aufzeichnungsträger vom bindemittelfreien
Typ mit extrem dünnen magnetischen Schichten versehen werden, die für eine Aufzeichnung mit hoher Aufzeichnungsdichte
geeignet sind. Bei diesem Typ eines magnetischen Aufzeichnungsträgers können ferromagnetische
Metalle, die eine höhere Sättigungsmagnetisierung aufweisen als magnetische Materialien auf Metalloxidbasis
auf den Schichtträgern in Form extrem dünner Schichten erzeugt werden, da keinerlei nicht-magnetische Materialien
wie Bindemittel verwendet werden und außerdem die Verfahren zur Herstellung derartiger Aufzeichnungsträger
einfach sind.
Aus theoretischen Gründen und aufgrund experimenteller:
Befunde wurde geschlossen, daß magnetische Aufzeichnungsträger
zum Zwecke einer Aufzeichnung mit hoher Aufzeichnungsdichte eine hohe Koerzitivkraft und eine geringere
Dicke aufweisen sollten. Aus diesen Gründen ruhen viele Hoffnungen auf magnetischen Aufzeichnungsträgern
vom bindemittelfreien Typ, die mit einer sehr viel gerin-
geren Dicke hergestellt werden können und die eine höhere Sättigung der Magnetflußdichte aufweisen als magnetische
Aufzeichnungsträger vom Beschichtungstyp.
Insbesondere erscheint ein Verfahren zur Vakuumbeschichtung außerordentlich vorteilhaft, da ein solches Verfahren im
Gegensatz zu den galvanischen Verfahren keine Abwasserbehandlung erfordert, eine einfache Verfahrensführung gestattet
und die erhaltene Abscheidungsgeschwindigkeit der
^O erzeugten Schicht hoch ist. Um durch Vakuumabscheidung
einen magnetischen Film zu erzeugen, der eine Koerzitivkraft und ein Rechtecksverhältnis aufweist, die für magnetische
Aufzeichnungsträger geeignet sind, wurde in den
US-PSen 33 42 632 und 33 42 633 vorgeschlagen, einen Dampfstrom unter einem schrägen Winkel bezogen auf die
Oberfläche des Schichtträgers abzuscheiden. Bei diesem Verfahren ist es so, daß je größer der Einfallswinkel des
DampfStroms ist, der auf die Schichtträgeroberfläche auftrifft,
desto höher ist auch die Koerzitivkraft des erhaltenen
Trägers. Eine Steigerung des Einfallswinkels
des Dampfstroms führt jedoch zu einer niedrigeren Abscheidungsleistung und erweist sich als Problem im Bereich
der Produktivität.
Zur Erzeugung einer dünnen magnetischen Schicht mit einer hohen Koerzitivkraft durch Abscheiden dieser Schicht
unter einem relativ kleinen Einfallswinkel bezüglich der Oberfläche des Schichtträgers wurde vorgeschlagen, während
des Abscheidung mit schrägem Einfallswinkel Sauerstoff in
den Vakuumtank einzuführen. Dieses vorgeschlagene übliche Verfahren führt jedoch zu magnetischen Aufzeichnungsträgern,
die eine unzureichende Wiedergabe-Ausgangsleistung, ein hohes Rauschen sowie eine geringe Haftung zwischen der
magnetischen Schicht und dem Schichtträger aufweisen.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein verbessertes Verfahren zur Herstellung eines magnetischen
Aufzeichnungsträgers anzugeben, bei dem auf einem Schichtträger
durch Vakuumabscheidung ein dünner magnetischer Film erzeugt wird.
Dieses Verfahren soll es gestatten, einen magnetischen Aufzeichnungsträger herzustellen, der gute Kennwerte
für die Wiedergabe-Ausgangsleistung aufweist sowie eine gute Haftung zwischen der magnetischen Schicht und dem
Schichtträger, indem mit einer hohen Reproduzierbarkeit unter einem schrägen Einfallswinkel abgeschieden wird.
Es ist somit die ganz spezielle Aufgabe der vorliegenden j5 Erfindung ein Verfahren anzugeben, bei dem nach dem Verfahren
des Aufdampfens mit schräger Einfallsrichtung mit
einer hohen Reproduzierbarkeit ein magnetischer Aufzeichnungsträger hergestellt werden kann, der gute
magnetische Eigenschaften bei niedrigen Rauschwerten zeigt.
Diese Aufgaben werden gemäß der vorliegenden Erfindung bei einem Verfahren zur Herstellung eines magnetischen
Aufzeichnungsträgers, bei dem man einen durch Verdampfen eines
magnetischen Metalles als schichtbildendes Material erhaltenen Dampfstrom unter einem schiefen Winkel auf
einen sich bewegenden Schichtträger auftreffen läßt und sich abscheiden läßt, erfindungsgemäß dadurch gelöst,
daß man den Schichtträger so bewegt, daß der Einfallswinkel (Θ·) des Dampfstroms bezüglich des Schichtträgers
sich vom maximalen Einfallswinkel (ömax) zum minimalen Einfallswinkel (0min) ändert, und daß man in der Nähe
des Schichtträgers sowie zusätzlich auch in der Nähe des Dampfstroms wiihroncl der Ausbildung einer dünnen ferromagnetischen
Schicht auf dem Schichtträger ein oxidierendes Gas zuführt. Gemäß der vorliegenden Erfindung wird
-ι-
das oxidierende Gas in der Nähe des Schichtträgers sowie außerdem in der Nähe eines der Bereiche zugeführt,
in denen der Dampfstrom aus dem magnetischen Metall als schichtbildendem Material entweder mit dem maximalen
Einfallswinkel (ömax) oder dem minimalen Einfallswinkel
auf den Schichtträger auftrifft.
Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren sowie anhand von Ausführungsbeispielen
IQ noch näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1A und 1B schematische bzw. perspektivische
Ansichten einer Vorrichtung zur Durch
führung einer Ausführungsform des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2A und 2B schematische bzw. perspektivische
Ansichten einer Vorrichtung zur Durchführung einer anderen Ausführungsform
des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung;
und
Fig. 3 eine schematische Ansicht einer Vorrichtung für die Durchführung des üblichen
Verfahrens zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers.
Bezugnehmend auf die Fig. 1A und 1B zeigen diese eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens
zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers. In den Fig. 1A und 1B wird ein bandartiger Schichtträger
2 in der Richtung des Pfeils 3 über eine zylindrische
-δι Kühltrommel 1 geführt, die in einem Vakuumbehälter S1
angeordnet ist, der nur teilweise gezeigt wird. Unterhalb der zylindrischen Kühltrommel 1 ist eine Verdampfungsquelle
4 angeordnet, die ein magnetisches schichtbildendes Material enthält. Das magnetische schichtbildende
Material wird aus der Verdampfungsquelle 4 verdampft, und man läßt den Dampfstrom des schichtbildenden
Materials auf dem Schichtträger 2, der über die Kühltrommel 1 geführt wird, unter einem schiefen Winkel bezüglich
des Schichtträgers 2 mit Hilfe einer Maske 5 auftreffen und sich abscheiden. Wenn der bandartige
Schichtträger 3 bewegt wird, trifft zuerst der Teil des DampfStroms, der unter dem maximalen Einfallswinkel
(ömax) auftrifft, mit einem schrägen Winkel auf dem band-
,p- artigen Schichtträger 2 auf und scheidet sich ab. Wenn
sich der Schichtträger 2 weiter bewegt, wird der Einfallswinkel (-Θ-) des Dampfstroms bezogen auf den genannten
Abschnitt des bandartigen Schichtträgers 2 kontinuierlich immer kleiner, bis der minimale Einfallswinkel
(ömin), der durch die Maske 5 vorgegeben ist, erreicht wird und die Abscheidung der dünnen magnetischen
Schicht auf diesem Abschnitt des Schichtträgers 2 unterbrochen wird. In den Fig. 1A und 1B ist eine Zuführrohrleitung
6 für ein oxidierendes Gas in der Nähe des Teils des DampfStroms angeordnet, der unter einem maximalen
Einfallswinkel (Omax) auftrifft sowie in der Nähe des
Schichtträgers 2. Die Zuführrohrleitung 6 für das oxidierende Gas ist mit einer Gaszuführleitung 7 verbunden,
mittels derer ein oxidierendes Gas von außerhalb des Vakuumbehälters während des Abscheidens einer dünnen
magnetischen Schicht zugeführt wird. In den Fig. 1A und 1B wird das oxidierende Gas aus kleinen Löchern 8 der
Rohrleitung 6 in Richtung des Dampfstromes aus dem magnetischen
schichtbildenden Material zugeführt. Die kleinen Löcher 8 sollten vorzugsweise so gestaltet sein, daß der
Dampfstrom in ihnen nicht abgeschieden wird und die
-9-kleinen Löcher 8 verstopfen kann.
Die Fig. 2A und 2B zeigen schematisch eine Vorrichtung zur Durchführung einer anderen Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens. Die in den Fig. 2A und 2B gezeigte Vorrichtung ist dabei von einem Aufbau, der
dem der Vorrichtung in den Fig. 1A und 1B ähnlich ist, wobei der Unterschied darin besteht, daß die Rohrleitung
zur Zuführung des oxidierenden Gases in der Nähe des Teils des Dampfstroms angeordnet ist, der unter dem
minimalen Einfallswinkel (9min) auftrifft, sowie in der Nähe des Schichtträgers 2. In den Fig. 2A und 2B ist
die Rohrleitung 6 zur Zuführung des Gases am Endteil dor Maske 5 montiert, und das oxidierende Gas wird aus den
kleinen Löchern 8 der Rohrleitung 6 in Richtung des Dampf· stromes aus dem magnetischen schichtbildenden Material
abgegeben.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren liegt der Einfallswinkel
des Dampfstroms bezüglich des Schichtträgers im allgemeinen im Bereich zwischen /SO0 und 90°. Der maximale
Einfallswinkel (Gmax) liegt vorzugsweise zwischen
60° und 90°, und der minimale Einfallswinkel (9min)
liegt vorzugsweise zwischen 30° und 75°.
Das als schichtbildendes Material verwendete magnetische Metall kann gemäß der vorliegenden Erfindung ein Metall
wie Fe, Co oder Ni, oder eine ferromagnetische Legierung sein wie Fe-Co, Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Rh, Fe-Cu,
Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Si, Co-Pt, Ni-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-Al, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr,
Fe-Co-Cr, Ni-Co-Cr, Fe-Co, Ni-Cr oder Fe-Si. Vorzugsweise ist das schichtbildende Material Co oder eine Legierung,
die Co in einem Verhältnis von 70 Gew.-% oder mehr enthält. Um einen magnetischen Aufzeichnungsträger
zu erhalten, der eine ausreichende Ausgangsleistung
-ιοί aufweist und für die Aufzeichnung mit hoher Aufzeichnungsdichte
geeignet ist, sollte die Dicke der dünnen magnetischen Schicht auf dem Schichtträger im allgemeinen
zwischen etwa 0,0 2 μτη und etwa 5,0 μΐη liegen, vorzugsweise
zwischen 0,05 μΐη und 2,0 um.
Das gemäß der vorliegenden Erfindung durchgeführte Abscheidungsverfahren
umfaßt nicht nur das gewöhnliche Vakuumabscheidungsverfahren, wie es in der US-PS 3 342
beschrieben ist, sondern auch die Verfahren zur Erzeugung einer dünnen Schicht auf einem Schichtträger unter
Bedingungen, bei denen die mittlere freie Weglänge der verdampften Moleküle groß ist, und zwar durch Ionisieren
oder Beschleunigen des Dampfstroms unter Verwendung eines elektrischen Feldes, eines magnetischen Feldes oder eines
Elektronenstrahls, z.B. das Abscheidungsverfahren im elektrischen Feld, wie es in der offengelegten japanischen
Patentanmeldung No. 51(1976)-149008 beschrieben ist
oder das Ionisierungs-Abscheidungsverfahren, wie es in
den japanischen Patentschriften 43 (1968)-11525, 46(1971)-20484,
47(1972)-26579 und 49(1974)-45439 sowie in den
offengelegten japanischen Patentanmeldungen 49(1974)-33890,
49(1974)-34483 und 49 (1974)-54235 beschrieben ist.
Der bandartige Schichtträger, der gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet wird, kann ein Schichtträger auf
Kunststoffbasis sein, wie ein Schichtträger aus Polyethylenterephthalat,
PoDyimid, Polyamid, Polyvinylchlorid, Cellulosetriacetat, Polycarbonat oder Polyethylennaphtha-Int,
oder ein Metallstreifen aus einem Metall wie Aluminium,
einer Aluminiumlegierung, Titan, eine Titanlegierung
oder aus nichtrostendem Stahl.
Das oxidierende Gas kann reiner Sauerstoff sein, oder Sauerstoff in Kombination mit einem anderen Gas. Die
Einspeisungsgeschwindigkeit bzw. die eingespeiste Menge
des oxidierenden Gases ist in Abhängigkeit vom Volumen
des Vakuumbehälters, dem Grad der Evakuierung, der Aufteilung in dem Vakuumbehälter, der Verdampfungsgeschwindigkeit
des magnetischen schichtbildenden Materials, der Bewegungsgeschwindigkeit des bandartigen Schichtträgers,
der Breite des Schichtträgers, der Art des magnetischen schichtbildenden Materials und dergleichen verschieden.
Allgemein gesprochen ist es bevorzugt, das oxidierende Gas in einer solchen Menge zuzuführen, daß in dem gebildeten
dünnen magnetischen Film der Sauerstoff in einem Verhältnis zwischen 5 und 33 Atom-% enthalten ist.
Nachfolgend wird die vorliegende Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen noch weiter erläutert.
Es wurden Magnetbänder hergestellt, indem man Cobalt mit schräger Einfallsrichtung auf eine 23 μπι-αϊ^ε
Polyethylenterephthalatfolie aufdampfte, wobei eine Aufdämpfvorrichtung vom Aufwickeltyp verwendet wurde,
wie sie in den Fig. 1A und 1B gezeigt ist. Cobalt wurde
aus einer elektronenstrahl-beheizten Verdampfungsquelle bei verschiedenen Vakuumstärken verdampft, wobei ein
Sauerstoffgas aus der Rohrleitung 6 zur Gaszuführung einem Abschnitt in der Nähe der Polyethylenterephthalatfolie,
die sich über die Kühltrommel 1 bewegte, sowie zusätzlich auch in der Nähe des Teils des DampfStroms,
der unter dem maximalen Einfallswinkel auf das Substrat auf traf, zugeführt wurde. Die Abscheidung wurde so durchgeführt, dall
eine abgeschiedene magnetische Schicht mit einer Dicke von 1500 A erhalten wurde, und der Einfallswinkel des
Dampfstroms wurde bezüglich des Schichtträgers so gewählt, daß Grnax 90° und 9min 42° betrugen.
35
Zu Vergleichszwecken wurden Magnetbänder unter Verwendung
einer üblichen Aufdampfvorrichtung vom Aufwickeltyp,wie
sie in Fig. 3 dargestellt ist, hergestellt. Bezugnehmend auf Fig. 3 wird ein bandartiger Schichtträger 12 in
Richtung des Pfeiles 13 über eine zylindrische Kühltrommel 11 bewegt, die in einem Vakuumbehälter S2 angeordnet ist,
wobei der Vakuumbehälter S2 nur teilweise dargestellt ist. Eine Verdampfungsquelle 14 war unterhalb der zylindrischen
Kühltrommel 11 angeordnet, und ein Dampfstrom aus dem
schichtbildenden Material, das in der Verdampfungsquelle ]0 14 enthalten war, wurde unter Verwendung einer Maske 15
schräg auf den Schichtträger 12 aufgedampft.
Das oxidierende Gas wurde durch eine Gaseinlaßöffnung 16
in der Wand des Vakuumbehälters S2 zugeführt. Alle Bedingungen außer dem Verfahren der Zuführung des Sauerstoffgases,
d.h. die Art des Schichtträgers (23 μΐη-dicke Polyethylenterephthalatfolie), die Art des aufgedampften
schichtbildenden Materials (Cobaltmaterial), die Art der Verdampfungsquelle, die Dicke des abgeschiedenen Magnetfilms
und die Einregelung des Einfallswinkels waren die gleichen wie bei dem weiter oben beschriebenen Beispiel
unter Verwendung der Vorrichtung gemäß den Fig. 1A und
1B.
Die elektromagnetischen Umwandlungseigenschaften der
Magnetbänder, die wie oben beschrieben unter Veränderung des Druckes des zugeführten Sauerstoffgases erhalten
wurden, wurden unter Verwendung eines VHS-System-Videoband-Geräts
bestimmt. Die Haftung zwischen der magnetischen Schicht und dem Schichtträger, die mit dem Cellophan-Klebebandtest
bestimmt wurde, sowie die Wiedergabeausgangsleistung bei der Aufnahme von 4 MHz-Signalen wiesen
dabei die in Tabelle 1 wiedergegebenen Werte auf.
Verfahren der Sauerstoffzuführung Wiedergabe- Haftung
und dessen Druck Ausgangs
leistung (dB)
Erfindungsgemäß 1,0 χ 10 Torr 20 ο
Gemäß | dem üb- | 1,5 | X | ίο"4 | 18 | |
liehen | Ver- | 2,0 | X | ίο"4 | 17 | |
15 | fahren | |||||
1,0 | X | 10~ Torr | 12 | |||
ο : | hoch | |||||
Δ : | 1,5 | X | ίο"4 | 10 | ||
20 | X : | 2,0 | X | ίο"4 | 10 | |
etwas schwach | ||||||
25 | niedrig | |||||
Tabelle 1 zeigt ganz klar, daß die erfindungsgemäß durch
Aufdampfen von Cobalt auf einen Schichtträger bei gleichzeitiger Zufuhr des oxidierenden Gases in der Nähe des
Schichtträgers sowie außerdem auch in der Nähe des Teils des DampfStroms, der mit dem maximalen Einfallswinkel
auf den Schichtträger auftrifft, erhaltenen Magnetbänder eine
bessere Haftung zwischen der magnetischen Schicht und dem Schichtträger sowie eine höhere Wiedergabe-Ausgangsleistung
aufweisen als die Magnetbänder, die unter Auf-
dampfen mit der Sauerstoffzuführung auf die übliche
Weise erhalten wurden.
Auf die gleiche Weise wie in Beispiel 1 beschrieben wurden Magnetbänder durch Schrägaufdampfen einer Co-Ni-Legierung
(Ni:25 Gew.-%) auf eine 14 μΐη-dicke Polyethylenterephthalatfolie
hergestellt, wobei eine Aufdämpfvorrichtung
vom Aufwickeltyp gemäß den Fig. 1A und 1B verwendet wurde, wobei Sauerstoffgas zugeführt wurde.
Das Aufdampfen wurde so durchgeführt, daß eine abgeschiedene Magnetschicht mit einer Dicke von 2000 A erhalten
wurde und der Einfallswinkel des DampfStroms wurde bezüglich
des Schichtträgers so eingeregelt, daß Ginax und Grnin 55° betrugen.
Auf die gleiche Weise wie in Beispiel 1 wurden auch in diesem Falle Vergleichsproben hergestellt, indem Sauerstoffgas
nach dem üblichen Verfahren in einer Aufdampfvorrichtung vom Aufwickeltyp gemäß Fig. 3 zugeführt
wurde.
Die Haftung und die Wiedergabeausgangsleistung für 5 MHz-Signale wurden für die verschiedenen Magnetbänder,
die unter Veränderung des Druckes des zugeführten Sauerstoffgases erhalten worden waren, wie in Tabelle 2 gezeigt,
bestimmt.
Verfahren der Sauerstoffzuführung Wiedergabe- Haftung
und dessen Druck Ausgangs
leistung (dB)
-4 Erfindungsgemäß 1,2 χ 10 Torr 19
10 _4
1,8 χ 10 18
2,5 χ 10~4 16
liehen Ver-
-4 Gemäß dem üb- 1,2 χ 10 Torr 11
fahren 1,8 χ 10~4 11
2,5 χ 10~4 10
Die Symbole in der Spalte "Haftung" sind dabei genau 2e wie in Tabelle 1 definiert.
Tabelle 2 zeigt ganz klar, daß die erfindungsgemäß hergestellten
Magnetbänder eine bessere Haftung und eine höhere Wiedergabe-Ausgangsleistung zeigen als die Magnet-OQ
bänder, die nach dem üblichen Verfahren hergestellt wurden.
Es wurden gemäß der vorliegenden Erfindung auf die gleiche Welse,wie in Beispiel 1 beschrieben, Maynetbündor
hergestellt, wobei jedoch diesmal eine Aufdampfvorrichtung gemäß den Fig. 2A und 2B verwendet wurde, und
wobei das Sauerstoffgas in der Nähe der Polyethylenterephthalatfolie
sowie zusätzlich auch in der Nähe des Teils des Dampfstroms, der unter dem minimalen Einfallswinkel
auf den Schichtträger auftrifft, zugeführt wurde.
Zu Vergleichszwecken wurden auf die gleiche Weise wie in Beispiel 1 Vergleichsproben unter Verwendung der
in Fig. 3 gezeigten Aufdampfvorrichtung hergestellt.
Die elektromagnetischen Übertragungs-Eigenschaften der
wie oben beschrieben unter Veränderung des Drucks des zugeführten Sauerstoffgases erhaltenen Magnetbänder
wurden unter Verwendung eines VHS-System-Videobandgeräts bestimmt. Die magnetischen Eigenschaften und das
Modulationsrauschen bei 3 MHz für aufgenommene 4 MHz-Signale wiesen die in Tabelle 3 wiedergegebenen Werte
auf.
Verfahren der Sauerstoffzuführung und dessen Druck
Magnetische
Eigenschaften
Koerzitiv- Recht- Rauschen
kraft ecks- dB A/m (Oe) verhältnis
Erfin | 1,0 | X | 1 | 0 4Torr | 63664 | (800) | 0,75 | 2 |
dung s- | 1,5 | X | 1 | o"4 | 61.6 54 | (825) | 0,74 | 1 |
gemäß | 2,0 | X | 1 | o"4 | 68041 | (855) | 0,70 | 2 |
Gemäß | 1,0 | X | 1 | -4 0 Torr |
'59685 | (750) | 0,73 | 5 |
dem üb | 1,5 | X | 1 | o"4 | 62072 | (780) | 0,71 | 7 |
lichen | 2,0 | X | 1 | o"4 | 63664 | (800) | 0,68 | 6 |
Verfah | ||||||||
ren |
Tabelle 3 zeigt, daß die gemäß der vorliegenden Erfindung durch Aufdampfen von Cobalt auf einen Schichtträger unter
Zuführung des oxidierenden Gases in der Nachbarschaft des Schichtträgers sowie zusätzlich auch in der
Nähe des Teils des Dampfstromes, der unter dem minimalen
Einfallswinkel auf den Schichtträger auftrifft, erhaltenen
Magnetbänder bessere magnetische Eigenschaften und ein niedrigeres Rauschen aufweisen als die Magnetbänder, die
unter Zuführung des oxidierenden Gases nach dem üblichen Zuführverfahren erhalten wurden.
-18-Beispiel 4
Gemäß der vorliegenden Erfindung wurden auf die gleiche
Weise, wie in Beispiel 2 beschrieben, Magnetbänder hergestellt, wobei jedoch diesmal eine Vorrichtung gemäß
den Fig. 2A und 2B verwendet wurde, und das Sauerstoffgas in der Nähe der Polyethylenterephthalatfolie sowie
zusätzlich auch in der Nähe des Teils des DampfStroms,
der unter den minimalen Einfallswinkel auf den Schichtträger auftrifft, zugeführt wurde.
Zu Vergleichszwecken wurden unter Verwendung der in Fig. 3 gezeigten Vorrichtung Vergleichsproben auf die
gleiche Weise wie in Beispiel 2 hergestellt.
Die magnetischen Eigenschaften und das Modulations-Rauschen
bei 4 MHz von aufgenommenen 5 MHz-Signalen wurden für Magnetbänder, die bei verschiedenen Drucken
des zugeführten Sauerstoffgases erhalten wurden, wie in Tabelle 4 gezeigt, bestimmt. Der in Tabelle 4 angegebene
Wert für das Modulations-Rauschen war in jedem Falle der Mittelwert von 5 Proben, und die Streuung der Räuschwerte
bei den fünf Messungen ist in Tabelle 4 zusätzlich angegeben.
Verfahren der Sauerstoff- Magnetische zuführung und dessen Eigenschaften
Druck
Rauschen dB
Koerzitiv- Recht- Mit- Streukraft ecks- tel- ung
A/m (Oc) verhält-wort ηϊκ
Erfin- 1,2 χ 10~4Torr 67643 (850) 0,77
dungs- 1,8 χ 10~4 69235 (870) 0,76 gemäß 2,5 x 10~4 70826 (890) 0,74
1 | 0 | ,5 |
2 | 1 | ,0 |
2 | 0 | ,5 |
-4 1,2 χ 10 Torr
-4
Gemäß
dem üb- 1,8 χ 10 liehen 2,5 χ 10
Verfahren
-4
58093 | (730) | 0, | 75 | 8 | 3 | ,0 |
62072 | (780) | 0, | 72 | 7 | 4 | ,5 |
66051 | (830) | 0, | 71 | 7 | 3 | ,5 |
Tabelle 4 zeigt, daß die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren
hergestellten Magnetbänder bessere magnetische Eigenschaften und ein niedrigeres Rauschen aufweisen als
die Magnetbänder, die nach den üblichen Verfahren hergestelllt wurden, und daß außerdem die nach dem erfindungsgemäßen
Verfahren hergestellten Magnetbänder mit einer guten Reproduzierbarkeit hergestellt werden können.
In den oben beschriebenen Beispielen wurde nur eine dünne magnetische Schicht auf dem Schichtträger abgeschieden.
Gemäß der vorliegenden Erfindung können jedoch auch mehrere
dünne magnetische Schichten auf dem Schichtträger übereinander angeordnet werden, und es können nicht-magnetische
Schichten zwischen diesen übereinander angeordneten dünnen magnetischen Schichten angeordnet werden.
Die nicht-magnetischen Schichten können aus Cr, Si, Al, Mn,
Bi, Ti, Sn, Pb, In, Zn, Cu oder aus Oxiden, Nitriden und dgl. der genannten Materialien hergestellt sein. Zwischen
der dünnen magnetischen Schicht und dem Schichtträger kann außerdem eine Grundierungsschicht ausgebildet sein,
oder auf der dünnen magnetischen Schicht kann eine Schutzschicht aus einem organischen oder anorganischen Material
ausgebildet werden. Wenn es geeignet erscheint, ist es auch möglich, auf der Oberfläche des Schichtträgers,
die nicht von der dünnen magnetischen Schicht bedeckt ist, d.h. dieser gegenüberliegt, eine andere Schicht anzuordnen.
Außerdem kann das oxidierende Gas auch durch einen Schlitz oder dgl. zugeführt werden, statt wie angegeben
durch die kleinen Löcher.
, -Si-.
Leerseite
Claims (6)
- I Γ :-^PATENTANWÄLTE DR. KAI)OHsI)R. KLUNKEHK 14 659Verfahren zur Herstellung eines magnetischen AufzeichnungsträgersPatentansprücheMj Verfahren zur Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsträgers, bei dem man einen durch Verdampfen eines magnetischen Metalles als Beschichtungsmaterial erhaltenen Dampfstrom unter einem schiefen Winkel auf einen sich bewegenden Schichtträger auftreffen läßt und auf dem sich bewegenden Schichtträger abscheiden läßt, dadurch gekennzeichnet , daß der Schichtträger so bewegt wird, daß der Einfallswinkel (Θ) des DampfStroms bezüglich des Schichtträgers sich kontinuierlich von einem maximalen Einfallswinkel (Θπηχ) zu einem minimalen Einfallswinkel (8min) ändert, und daß man in der Nähe des Schichtträgers sowie zusätzlich auch in der Nähe des DampfStromswährend der Ausbildung einer dünnen ferroraagnetischen Schicht auf dem Schichtträger ein oxdierendes Gas zuführt.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das oxiderende Gas in der Nähe des Schichtträgers sowie zusätzlich auch in der Nähe des Teils des Dampfstroms, der unter dem maximalen Einfallswinkel (Qxnax) auf den Schichtträger auftrifft/ zugeführt wird.
- 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet daß das oxidierende Gas in der Nähe des Schichtträgers sowie zusätzlich auch in der Nähe des Teils des Dampfstroms, der unter dem minimalen Einfallswinkel (Ginin) auf den Schichtträger auftrifft, zugeführt wird.
- 4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der maximale Einfallswinkel (emax)im Bereich zwischen 60° und 90° liegt, und daß der minimale Einfallswinkel (6min) im Bereich zwischen 30° und 75° liegt.
- 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das oxidierende Gas Sauerstoff ist.
- 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß man das oxidierende Gas in einer solchen Menge zuführt, daß in der gebildeten dünnen ferromagnetischen Schicht Sauerstoff in einem Verhältnis von 5 bis 33 Atom-% enthalten ist.
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