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- Priorität:
22. Sept. 1994 Japan P06-227844
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Die
Erfindung betrifft ein magnetisches Aufzeichnungsmedium und insbesondere
ein magnetisches Aufzeichnungsmedium vom Verdampfungstyp.
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Auf
dem Gebiet beispielsweise der Videobandrecorder hat es in jüngster Zeit
eine starke Nachfrage nach einer hochdichten Aufzeichnung zur Erzielung
von Bildern hoher Qualität
gegeben. Um dem gerecht zu werden, wird ein magnetisches Aufzeichnungsmedium
vom Typ des magnetischen Metalldünnfilms
vorgeschlagen, bei dem ein magnetisches Metallmaterial oder ein
magnetisches Legierungsmaterial, wie CoNi, direkt auf einem nichtmagnetischen
Substrat durch Elektrobeschichtung oder eine Vakuum-Dünnfilmbildungstechnik,
wie Vakuumabscheidung, Sputtern oder Ionenplattierung abgeschieden
wird.
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Das
magnetische Aufzeichnungsmedium vom magnetischen Metalldünnfilm-Typ
besitzt eine Anzahl von Vorteilen, etwa dahingehend, daß es hinsichtlich
Koerzitivkraft, Rechteckigkeitsverhältnis und elektromagnetischen
Umwandlungseigenschaften in einem kurzen Wellenlängenbereich überlegen
ist und selbst zu einer Verringerung der Dicke der magnetischen
Schicht sowie zu einer erhöhten
Packungsdichte des magnetischen Materials führt, da keine Notwendigkeit
besteht, ein nichtmagnetisches Material, wie etwa ein Bindemittel,
in eine magnetische Schicht einzumischen, wie es bei einem beschichteten
magnetischen Aufzeichnungsmedium der Fall ist.
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Insbesondere
das Magnetband vom Verdampfungstyp oder das Verdampfungsband, bei
dem die magnetische Schicht durch ein Vakuumabscheidungsverfahren
gebildet worden ist, wird im Handel als frequenzhohes (high-band)
8-mm-Band oder digitales Mikroband, wie etwa als nicht gleichlaufendes
(non-tracking) (NT) Band vertrieben, da es eine hohe Produktionseffizienz
sowie stabile Eigenschaften aufweist.
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Bei
dem oben beschriebenen Verdampfungsband wird die magnetische Schicht
durch Vakuumabscheidung gebildet. die in der Weise durch geführt wird,
daß ein
magnetisches Material als Verdampfungsquelle unter Vakuum mit Elektronenstrahlen
bestrahlt wird, um es in einen Metalldampf umzuwandeln, welcher dann
auf dem nichtmagnetischen Substrat abgeschieden wird. Hierbei besteht
die allgemeine Praxis darin, ein Sauerstoffgas in die Atmosphäre der Dampfabscheidung
zur Oxidation eines Teils des Metalldampfes einzuführen, um
die magnetischen Eigenschaften, wie etwa Koerzitivkraft und Sättigungs-Magnetflußdichte
der magnetischen Schicht zu regulieren.
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1 zeigt
den Aufbau einer Dampfabscheidungsvorrichtung, in welcher eine Dampfabscheidung durchgeführt wird,
während
Sauerstoff in die Dampfabscheidungsatmosphäre eingeführt wird.
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Die
Dampfabscheidungsvorrichtung umfaßt eine Vakuumkammer 30,
welche unter hohem Vakuum gehalten wird und welche eine Zuführrolle 31 sowie
eine Aufnahmerolle 32 darin aufnimmt. Ein bandförmiges, nichtmagnetisches
Substrat 33 ist so angepaßt, daß es von der Zuführrolle 31 zu
der Aufnahmerolle 32 wandert.
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In
einem Mittelbereich des Laufweges des nichtmagnetisches Substrats 33 von
der Zuführrolle
zur Aufnahmerolle 32 ist eine Kühlwalze 34 mit einem
größeren Durchmesser
als die Rollen 31, 32, montiert. Die Kühlwalze 34 ist
so positioniert, daß sie
das nichtmagnetische Substrat 33 in 1 nach unten
zieht.
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Somit
wird das nichtmagnetische Substrat 33 allmählich von
der Zuführrolle 31 abgewickelt,
um so um die Außenoberfläche der
Kühlwalze 34 geführt zu werden,
bevor es auf der Aufnahmerolle 32 aufgenommen wird.
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Innerhalb
der Vakuumkammer 30 ist ein mit einem magnetischen Metallmaterial 38 gefüllter Tiegel 35 als
Verdampfungsquelle unterhalb der Kühlwalze 34 befestigt.
Auf der Innenseitenwand der Vakuumkammer 30 ist eine Elektronenpistole 16 zum
Erhitzen und Verdampfen des in dem Tiegel eingefüllten magnetischen Metallmaterials 38 befestigt.
Die Elektronenpistole ist so ausgerichtet, daß sie Elektronenstrahlen auf
das in dem Tiegel 35 enthaltene magnetische Metallmaterial 38 abstrahlt.
Das durch die Elekronenpistole verdampfte magnetische Metallmaterial 38 wird
als magnetische Schicht auf dem nichtmagnetischen Substrat 33,
das in einer konstanten Geschwindigkeit um die Außenoberfläche der
Kühlwalze 34 läuft, abgeschieden.
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Zwischen
der Kühlwalze 34 und
dem Tiegel 35 ist in der Nähe der Kühlwalze 34 ein Verschluß bzw. eine
Verschlußblende 36 angeordnet.
Der Verschluß 36 ist
zur Abdeckung eines voreingestellten Bereichs des nichtmagnetischen
Substrats 33 ausgebildet, das zur Wanderung auf der Außenoberfläche der
Kühlwalze 34 angepaßt ist.
Das durch den Verschluß 36 verdampfte,
magnetische Metallmaterial 38 wird schrägwinkelig innerhalb eines vorgewählten Winkelbereichs
auf dem nichtmagnetischen Substrat 33 abgeschieden.
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Bei
der vorliegenen Vakuum-Abscheidungsvorrichtung ist ein Sauerstoffgaseinlaß 37 durch
den Seitenwandabschnitt der Vakuumkammer 30 vorgesehen.
Der Sauerstoffgaseinlaß 37 ist
ganz in der Nähe
der Kühlwalze 34 zwischen
dem Verschluß 36 und
der Kühlwalze 34 vorgesehen,
d. h. an einer von dem magnetischen Metallmaterial 38,
das als Verdampfungsquelle dient, räumlich getrennten Position.
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Ein
Teil des Metalldampfes von der Verdampfungsquelle, welcher an dem
Verschluß vorbeiwandert, wird
durch das über
den Sauerstoffgaseinlaß 37 zugeführte Sauerstoffgas
oxidiert, um so auf der Oberfläche des
nichtmagnetischen Substrats 33 abgeschieden zu werden.
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Der
durch das oben beschriebene Oxidationsverfahren gebildete magnetische
Metalldünnfilm
neigt dazu, eine höhere
Koerzitivkraft und eine geringere Sättigungsmagnetisierung aufzuweisen,
als ein magnetischer Metalldünnfilm,
welcher nicht durch das Oxidationsverfahren geführt worden ist. Somit können die
magnetischen Eigenschaften durch Regulieren der über den Sauerstoffgaseinlaß zugeführten Sauerstoffmenge ein gestellt
werden.
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Der
Sauerstoffeinlaß ist
zwischen dem Verschluß und
der Kühlwalze
vorgesehen, um zu vermeiden, daß der
Sauerstoffgaseinlaß direkt
dem Metalldampf aus der Verdampfungsquelle durch den Verschluß ausgesetzt
ist. Wenn der Sauerstoffgaseinlaß direkt dem Metalldampf ausgesetzt
ist, neigt der letztere dazu, am Sauerstoffgaseinlaß anzuhaften,
so daß eine
normale Zuführung
des Sauerstoffgases blockiert wird.
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Im
Hinblick auf eine gleichmäßige Verteilung
der Menge des zugeführten
Sauerstoffgases in einer Richtung entlang der Breite des nichtmagnetischen
Substrats, wird eine Anzahl von Einlaßrohren mit kleinen Durchmessern
parallel entlang der Breite des nichtmagnetischen Substrats angeordnet,
oder es wird ein Einlaßrohr
mit einer einheitlichen Querschnittsform entlang der Breite des
nichtmagnetischen Substrats verwendet.
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Wenn
der mittels der oben beschriebenen Vakuum-Abscheidungsvorrichtung
hergestellte, magnetische Dünnfilm
hinsichtlich seiner Sauerstoffkonzentration analysiert wird, beispielsweise
nach dem Auger-Elektronenspektroskopieverfahren,
zeigt sich, daß der
Oxidationsgrad in dem Dünnfilm
nicht gleichmäßig ist,
sondern signifikant in Richtung seiner Oberflächenschicht zunimmt. Im Falle
eines magnetischen Metalldünnfilms
mit einer Dicke von 200 nm, stellt dessen Oberflächenschicht innerhalb einer
Dicke von 16 bis 28 nm eine Oberflächenoxidschicht dar, die einen
extrem hohen Oxdationsgrad zeigt. Bislang dachte man, daß das Vorliegen
der Oberflächenoxidschicht
die magnetischen Eigenschaften, wie etwa Koerzitivkraft der magnetischen
Schicht steigert und dessen Witterungsbeständigkeit verbessert.
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Die
Ergebnisse unserer Untersuchungen haben jedoch ergeben, daß die Oberflächenoxidschicht
nicht notwendigerweise zur Verbesserung der magnetischen Eigenschaften,
wie der Koerzitivkraft beiträgt,
sondern die elektromagnetischen Umwandlungseigenschaften beeinträchtigen
kann da die magnetischen Eigenschaften in einer solchen Oberflächenschicht
zerstört
worden sind.
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Die
DE 34 15 794 C2 offenbart
einen magnetischen Aufzeichnungsträger, welcher aus einem nicht-magnetischen
Substrat und einer magnetischen Schicht in Form eines durchgehenden,
dünnen
sauerstoffhaltigen Metallfilms auf dem Substrat besteht. Auf der
Oberflächenschicht
des Metallfilms befindet sich eine Schicht mit erhöhtem Sauerstoffgehalt.
Die Höhe
des Sauerstoffgehalts dieser Schicht sollte gemäß jener Druckschrift wenigstens
etwa 50% höher
sein als derjenige des dazwischen liegenden Bereichs.
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Auch
die Druckschriften
EP
1 514 445 B1 sowie
US
4,766,034 A offenbaren magnetische Aufzeichnungsmedien,
die eine Metallschicht aufweisen, deren Oberflächenschichten jeweils einen
erhöhten
Sauerstoffgehalt aufweisen.
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Es
ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein magnetisches Aufzeichnungsmedium
mit überlegenen magnetischen
Eigenschaften, wie Koerzitivkraft, vorzusehen, das weiterhin in
der Lage ist, gute elektromagnetische Umwandlungseigenschaften zu
zeigen.
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Dieses
Ziel wird gemäß der Erfindung
mit einem magnetischen Aufzeichnungsmaterial gemäß Anspruch 1 erreicht. Vorteilhafte
Ausgestaltungen des Erfindungsgegenstandes sind in den Unteransprüchen angegeben.
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Gemäß der Erfindung
wird daher ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit einem auf einem
nichtmagnetischen Substrat durch Dampfabscheidung unter einer Atmosphäre von zugeführtem Sauerstoffgas
abgeschiedenen magnetischen Metalldünnfilm vorgesehen, das dadurch
gekennzeichnet ist, daß der
magnetische Metalldünnfilm
eine Oberflächenoxidschicht
mit einem Oxidationsgrad von 50% oder mehr besitzt, wobei die Oberflächenoxidschicht
eine Dicke aufweist, die nicht mehr als 5% der Gesamtdicke des magnetischen Metalldünnfilms
ausmacht.
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Wenn
die magnetische Schicht aus einer Vielzahl magnetischer Metalldünnfilme
zusammengesetzt ist, besitzt jede Oberflächenoxidschicht auf jedem magnetischen
Metalldünnfilm
einen Oxidationsgrad von 50% oder mehr und weist eine Dicke auf,
welche 5% oder weniger der Gesamtdicke des magnetischen Metalldünnfilms
ausmacht.
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Eine
aus einer anorganischen Substanz zusammengesetzte Schutzschicht
kann auf der magnetischen Schicht ausgebildet sein.
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Die
Koerzitivkraft beträgt
79577 A/m (1000 Oe) oder mehr, während
das Rechteckigkeitsverhältnis 60%
oder höher
sein kann.
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Das
erfindungsgemäße magnetische
Aufzeichnungsmedium ist ein bedampftes oder durch Dampf abgeschiedenes
Magnetband, d. h. ein Magnetband, bei dem ein magnetischer Metalldünnfilm als
magnetische Schicht durch ein Dampfabscheidungverfahren abgeschieden
worden ist.
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Bei
dem dampfbeschichteten magnetischen Aufzeichnungsmedium wird die
Dampfabscheidung zur Bildung des magnetischen Metalldünnfilms
in der Weise durchgeführt,
daß ein
Sauerstoffgaseinlaß zwischen einem
magnetischen Material als einer Verdampfungsquelle und einem nicht-magnetischen Substrat,
auf welchem das magnetische Material abzuscheiden ist, angeordnet
ist. Ein Teil des magnetischen Materials, welches in einen Metalldampf überführt worden
ist, wird durch einen Sauerstoffgasstrom aus dem Sau erstoffgaseinlaß oxidiert.
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Obwohl
der so gebildete magnetische Metalldünnfilm das Sauerstoffgas enthält, ist
dessen Sauerstoffgasverteilung nicht gleichmäßig, so daß der Oxidationsgrad im Oberflächenschichtbereich
hoch ist und 50% oder mehr beträgt,
gegenüber
einem Oxidationsgrad von 30% oder weniger in einem inneren Bereich
des Films. Bei dem magnetischen Metalldünnfilm ist ein Oxidationsgrad
im Größenbereich
von 30% günstig
zur Verbesserung der magnetischen Eigenschaften, wie der Koerzitivkraft.
Ein Oxidationsgrad von 50% oder mehr zerstört jedoch die magnetischen
Eigenschaften und beeinträchtigt
die elektromagnetischen Umwandlungseigenschaften des Aufzeichnungsmediums.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung wird die Dicke der Oberflächenoxidschicht mit einem Oxidationsgrad
von 50% oder mehr in der Weise reguliert, daß sie 5% oder weniger der Gesamtdicke
des magnetischen Metalldünnfilms
ausmacht. Wenn der Oberflächenoxidschichtbereich
mit zerstörter
magnetischer Leistungsfähigkeit
auf diesen Bereich begrenzt wird, ist es möglich, den sonst durch die
Oberflächenoxidschicht
verursachten Raumverlust zu unterdrücken und die elektromagnetischen
Umwandlungseigenschaften signifikant zu verbessern.
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Bei
dem erfindungsgemäßen Aufzeichnungsmedium,
bei dem ein magnetischer Metalldünnfilm
durch Dampfabscheidung unter einer Atmosphäre von zugeführtem Sauerstoffgas
abgeschieden wird, wird die Dicke der Oberflächenoxidschicht mit einem Oxidationsgrad
von 50% oder mehr auf 5% oder weniger der Gesamtdicke des magnetischen
Metalldünnfilms
gehalten, wodurch das magnetische Aufzeichnungsmedium durch die
Oberflächenoxidschicht
in geringerem Ausmaß beeintrachtigt
wird, so daß die
magnetische Aufzeichnungsschicht hinsichtlich den magnetischen Eigenschaften,
wie Koerzitivkraft und hinsichtlich den elektromagnetischen Umwandlungseigenschaften
ausgezeichnet ist.
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Die
Erfindung wird anhand der Zeichnungen naher erläutert. Hierbei zeigen
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1 eine
schematische Ansicht einer Dampfabscheidungsvorrichtung, wie sie
bei der Herstellung eines konventionellen Aufzeichnungsmediums verwendet
wird;
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2 eine
schematische Ansicht einer beispielhaften Dampfabscheidungsvorrichtung,
wie sie bei der Herstellung eines magnetischen Aufzeichnungsmediums
gemäß der vorliegenden
Erfindung eingesetzt wird;
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3 ein
Diagramm, das die Verteilung des Oxidationsgrades entlang der Tiefe
des magnetischen Metalldünnfilms
veranschaulicht;
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4 ein
Diagramm, das die Beziehung zwischen dem Verhältnis der Oberflächenoxidschicht
und dem Playback-Output veranschaulicht;
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5 ein
Diagramm, welches die Beziehung zwischen dem Playback-Output und
dem Verhältnis
der Oberflächenoxidschicht
in den Magnetbändern
mit unter schiedlicher Koerzitivkraft veranschaulicht;
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6 ein
Diagramm, welches die Beziehung zwischen dem Rechteckigkeitsverhältnis und
dem Playback-Output veranschaulicht; und
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7 eine
schematische Ansicht einer Sputter-Vorrichtung zur Bildung eines
Schutzfilms.
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Unter
Bezugnahme auf die Zeichnungen werden bevorzugte Ausführungsformen
der vorliegenden Erfindung näher
erläutert.
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In 2 ist
eine Dampfabscheidungsvorrichtung mit kontinuierlicher Aufnahme
zur Bildung eines magnetischen Metalldünnfilms gezeigt. Gemäß der vorliegenden
Erfindung kann die Dicke der Oberflächenoxidschicht des magnetischen
Metalldünnfilms
durch die Position des Sauerstoffgaseinlasses zur Zeit der Dampfabscheidung
reguliert werden.
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Die
Dampfabscheidungsvorrichtung umfaßt eine unter Hochvakuum gehaltene
Vakuumkammer 1, welche darin eine im Gegenuhrzeigersinn
mit konstanter Geschwindigkeit rotierende Zuführrolle 3 und eine
in Uhrzeigersinn mit konstanter Geschwindigkeit rotierende Aufnahmerolle 4 aufweist.
Ein bandförmiges
nichtmagnetisches Substrat 5 ist so angepaßt, daß es von
der Zuführrolle 3 zu
der Aufnahmerolle 3 wandert.
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An
einem Mittelbereich des Weges des nichtmagnetischen Substrats 5 von
der Zuführrolle
zu der Aufnahmerolle 4 ist eine Kühlwalze 6 mit einem
größeren Durchmesser
als die Rollen 3, 4 montiert. Die Kühlwalze 6 ist
zum Abziehen des nichtmagnetischen Substrats 5 nach unten
angeordnet und zur Rotation im Uhrzeigersinn mit konstanter Geschwindigkeit
angepaßt.
Die Zuführrolle 3,
Aufnahmerolle 4 und die Kühlwalze 6 besitzen
jeweils die Form eines Zylinders mit im wesentlichen zu dem nichtmagnetischen
Substrat 5 gleicher Breite und Länge. Innerhalb der Kühlwalze 6 ist
eine Kühlvorrichtung
(nicht gezeigt), angeordnet, um eine Deformation des nichtmagnetischen
Substrats 5 zu unterdrücken,
welche sonst durch eine Temperaturerhöhung verursacht würde.
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Somit
wird das nichtmagnetische Substrat 5 allmählich von
der Zuführrolle 3 abgezogen,
um so auf der Außenoberfläche der
Kühlwalze 6 zu
wandern, und um von der Aufnahmerolle 4 aufgenommen zu
werden. Innerhalb der Vakuumkammer 1 ist unterhalb der
Kühlwalze 6 ein
Tiegel 7 angeordnet. Der Tiegel 7, in den ein magnetisches
Metallmaterial 8 eingefüllt
ist, besitzt im wesentlichen die gleiche Längsausdehnung wie die Kühlwalze 6.
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Auf
der Seitenoberfläche
der Vakuumkammer 1 ist eine Elektronenpistole (nicht gezeigt)
zur Erhitzung und Verdampfung des magnetischen Metallmaterials,
das in dem Tiegel 7 eingefüllt ist, montiert. Die Elektronenpistole
dient zur Abstrahlung eines Elektronenstrahls auf das magnetische
Metallmaterial 8 innerhalb des Tiegels 7. Das
durch die Elektronenpistole verdampfte magnetische Metallmaterial 8 wird
als magnetische Schicht auf dem nichtmagnetischen Substrat 5,
das mit konstanter Geschwindigkeit auf der Außenoberfläche der Kühlwalze 6 wandert,
abgeschieden.
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Zwischen
der Kühlwalze 6 und
dem Tiegel 7 ist ein Verschluß bzw. eine Verschlußblende 9 in
der Nähe des
Tiegels 7 angeordnet. Der Verschluß 9 ist so ausgebildet,
daß er
einen vorbestimmten Bereich des nichtmagnetischen Substrats 5,
das zur Wanderung auf der Außenoberfläche der
Kühlwalze 6 angepaßt ist,
abdeckt. Das durch den Verschluß 9 verdampfte
magnetische Metallmaterial 8 wird schrägwinkelig innerhalb eines vorbestimmten
Winkelausmaßes
auf dem magnetischen Substrat abgeschieden.
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Bei
der vorliegenden Vakuumabscheidungsvorrichtung ist durch den Seitenwandabschnitt
der Vakuumkammer 1 hindurch ein Sauerstoffgaseinlaß 10 vorgesehen.
Der Sauerstoffgaseinlaß 10 ist
in unmittelbarer Nahe zur Kühlwalze 6 zwischen
dem Verschluß 9 und
der Kühlwalze 6 vorgesehen,
d. h. an einer Position nahe des magnetischen Metallmaterials 8,
das als Verdampfungsquelle dient. Ein Teil des von der Verdampfungsquelle
verdampften, magnetischen Metallmaterials wird durch das über den
Sauerstoffgaseinlaß 10 zugeführte Sauerstoffgas
oxidiert, um so auf der Oberfläche
des nichtmagnetischen Substrats 5 abgeschieden zu werden.
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Wenn
der Sauerstoffgaseinlaß 10 an
einer von der Verdampfungsquelle räumlich getrennten Position montiert
ist, wie bei der herkömmlichen
Dampfabscheidungsvorrichtung und ausreichend Sauerstoff, um die Koerzitivkraft
des magnetischen Metalldünnfilms
auf über
795770 A/m (10000 Oe) ansteigen zu lassen, eingeführt wird,
wird eine Oberflächenoxidschicht
mit einem Oxidationsgrad, der um mindestens 50 höher ist als in der Innenseite
des Dünnfilms,
bis zu einer Dicke von mehr als 5% des magnetischen Metalldünnfilms
erzeugt.
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Mittels
der Dampfabscheldungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform,
bei welcher der Sauerstoffgaseinlaß 10 in der Nähe der Verdampfungsquelle
befestigt ist, wird es möglich,
Sauerstoff in der Innenseite des Dünnfilms in einer ausreichenden
Menge vorliegen zu haben, um die Koerzitivkraft zu erhöhen, während die
Dicke der Oberflächenoxidschicht
auf einen geringeren Wert gedrückt
wird, so daß es möglich wird,
einen magnetischen Metalldünnfilm
vorzusehen, der überlegene
elektromagnetische Umwandlungseigenschaften zeigt, und der in einem
geringeren Ausmaß durch
die Oberflächenoxidschicht
beeinträchtigt
ist.
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Die
Dicke der Oberflächenoxidschicht,
welche in der Oberflache des magnetischen Metalldünnfilms erzeugt
wird, kann auf einen geringeren Wert gedrückt werden, indem der Sauerstoffgaseinlaß 10 an
einer Position vorgesehen wird, die näher an der Verdampfungsquelle
liegt. Die Position des Sauerstoffgaseinlasses 10, bei
der die Dicke der Oberflachenoxidschicht auf weniger als 5% gedrückt werden
kann, differiert ebenso mit der Menge an über den Sauerstoffgaseinlaß 10 eingeführtem Sauerstoff, so
daß die
Position in geeigneter Weise durch Optimierungsversuche gewählt wird.
Bei der Wahl der Position des Sauerstoffgaseinlasses 10 und
der Menge an über
den Sauerstoffgaseinlaß 10 eingeführtem Sauerstoff
ist es jedoch notwendig, das inhärente
Ziel des Einführens
von Sauerstoff in die Atmosphäre
der Dampfabscheidung, wodurch die magnetischen Eigenschaften des
magnetischen Metalldünnfilms
reguliert werden, zu berücksichtigen.
Obwohl die Oberflächenoxidschicht
selbst eine verringerte Dicke aufweist, kann eine ausreichende Koerzitivkraft
nicht erreicht werden, wenn die Konzentration des in dem Dünnfilm enthaltenen
Sauerstoffs zu gering ist. Bei einer Koerzitivkraft von 795.770
A/m (10000 Oe) im Minimum und bei einem Rechteckigkeitsverhältnis von
vorzugsweise mehr als 60% wird ein hoher Playback-Output erzeugt.
Es ist daher bevorzugt, die Position des Sauerstoffgaseinlasses 10 und
die Menge des über
den Sauerstoffgaseinlaß 10 eingeführten Sauerstoffs
so einzustellen, damit diese magnetischen Eigenschaften erzielt
werden.
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Um
zu verhindern, daß der
Sauerstoffgaseinlaß 10 direkt
dem Metalldampf aus der Verdampfungsquelle ausgesetzt ist, wird
der Sauerstoffgaseinlaß 10 vorzugsweise
zwischen der Kühlwalze 6 und
dem Verschluß 9 angeordnet,
so daß der
Verschluß 9 sich
zwischen dem Sauerstoffgaseinlaß 10 und
der Verdampfungsquelle befindet.
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Als
der oben genannte, durch Dampfabscheidung gebildete magnetische
Metalldünnfilm
kann irgendeiner der routinemäßig bei
einem magnetischen Aufzeichnungsmedium vom Dampfabscheidungstyp
eingesetzten verwendet werden. Beispielsweise können magnetische Metalldünnfilme
des Typs der magnetischen Aufzeichnung in der Ebene, wie Dünnfilme
aus Metallen, wie Co, Fe oder Ni oder Dünnfilme aus Legierungen, wie
Legierungen auf Co-Ni-Basis, Legierungen auf Co-Ni-Pt-Basis, Legierungen
auf Fe-Co-Ni-Basis, Legierungen auf Fe-Ni-B-Basis, Legierungen auf
Fe-Co-B-Basis oder Legierungen auf Fe-Co-Ni-B-Basis verwendet werden.
Weiterhin können
ebenso magnetische Metalldünnfilme
vom Typ der senkrechten magnetischen Aufzeichnung, wie etwa Dünnfilme
auf Basis von Co-Cr-Legierungen oder Dünnfilme auf Co-O-Basis, eingesetzt werden.
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Die
magnetische Schicht kann eine Einzelschichtstruktur mit einem einzigen
magnetischen Metalldünnfilm
oder eine Mehrschichtstruktur mit einer Vielzahl von Schichten magnetischer
Metallfilme aufweisen.
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Auf
der magnetischen Schicht, die aus dem oder den magnetischen Metallfilmen
zusammengesetzt ist, kann eine Schutzschicht zur Verbesserung der
Laufbeständigkeit
ausgebildet werden. Die Schutzschicht kann aus Kohlenstoff oder
einem Dünnfilm
aus einem anorganischen Material, wie Al2O3, Ti-N, Mo-C, Cr-C, SiO oder SiO2 bestehen und wird durch eine Vakuum-Dünnfilmbildungstechnik,
wie Sputtern, gebildet. Die Schutzschicht besitzt eine Dicke von
vorzugsweise 20 nm oder weniger und weiter vorzugsweise 10 nm oder weniger,
um ausreichende Schutzwirkungen zu erzielen und um eine Verringerung
des Playback-Outputs aufgrund des Abstandsverlustes, der sonst durch
die Schutzschicht verursacht wird, zu verhindern.
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Das
nichtmagnetische Substrat, auf welchem der magnetische Metalldünnfilm ausgebildet
wird, kann aus einem üblicherweise
eingesetzten Material bestehen. Beispiele dieser Materialien umfassen
Polyester, wie etwa Polyethylenterephthalat, Polyolefine, wie etwa
Polyethylen oder Polypropylen, Cellulosederivate, wie etwa Cellulosetriacetat,
Cellulosediacetat oder Cellulosebutyrat, Vinalharze, wie etwa Polyvinylchlorid
oder Polyvinylidenchlorid und Kunststoffe, wie etwa Polycarbonat,
Polyimid oder Polyamidimid.
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung besitzt der Oberflächenbereich
eines magnetischen Metalldünnfilms
in dem magnetischen Aufzeichnungsmedium, welcher magnetische Metalldünnfilm durch
Dampfabscheidung in einer Atmosphäre von zugeführtem Sauerstoffgas
als magnetische Schicht ausgebildet worden ist, eine Oberflächenoxidschicht
mit einem Oxidationsgrad von nicht weniger als 50%, wobei die Dicke
der Oberflächenoxidschicht
5% oder weniger der Gesamtdicke des magnetischen Metalldünnfilms
beträgt.
Die Oxidation in der Großenordnung
von 30% in dem magnetischen Metalldünnfilm ist günstig bei
der Regulierung der magnetischen Eigenschaften, wie Koerzitivkraft.
Eine Oxidation von 50% oder mehr zerstört jedoch die magnetischen
Eigenschaften. Wenn die Dicke der Oberflächenoxidschicht mit einem Oxidationsgrad
von 50% oder mehr auf 5% oder weniger unterdrückt wird, kann ein magnetisches
Aufzeichnungsmedium realisiert werden, das überlegene elektromagnetische
Umwandlungseigenschaften aufweist und das durch eine solche Zerstörung der
magnetischen Eigenschaften nicht beeinträchtigt ist.
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Die
Erfindung wird anhand der Ergebnisse der nachfolgenden Beispiele
näher erläutert.
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Beispiel 1
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Beim
vorliegenden Beispiel wurden Analysen hinsichtlich der Dicke der
Oberflächenoxidschicht
des magnetischen Metalldünnfilms
durchgeführt.
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Ein
magnetischer Metalldünnfilm
aus Kobalt mit einer Filmdicke von 200 nm wurde mittels einer Dampfabscheidungsvorrichtung
vom kontinuierlichen Aufnahmetyp, wie in 2 gezeigt,
auf einer Polyethylenterephthalat (PET)-Basisfolie ausgebildet.
Der Abstand d zwischen der Kühlwalze 6 und
dem Sauerstoffgaseinlaß 10 sowie
die Menge des über
den Sauerstoffgaseinlaß 10 eingeführten Sauerstoffgases
wurden, wie in Tabelle 1 gezeigt, geändert. Die Menge an eingeführtem Sauerstoffgas
wurde durch ein vorausgehendes Experiment ermittelt und ist die
Menge des zugeführten
Sauerstoffgases entsprechend dem maximalen Playback-Output, wobei der
Sauerstoffgaseinlaß 10 an
der gleichen Position befestigt bleibt. Die Bedingungen zur Einführung des
Sauerstoffgases für
ein Probeband 1-1 entsprechen den zur Zeit angewandten Bedingungen. Die
weiteren Bedingungen der Dampfabscheidung umfassen einen Durchmesser
der Kühlwalze
von 600 mm, einen Vakuumgrad in der Vakuum kammer von 1,01 × 10–4 Pa
(10–9 atm),
einen Kobaltblock als Verdampfungsquelle, einen Abstand D zwischen
der Verdampfungsquelle und der Kühlwalze
von 300 mm, einen Dampfabscheidungs-Einfallswinkel von 90–45° bezüglich der
gegenüber
dem nichtmagnetischen Substrat gezogenen Normallinie, eine Zuführrate der
Basisfolie von 25 m/min sowie einen Elektronenstrahl als Mittel
zur Dampfabscheidung.
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Die
Filmdicke des magnetischen Metalldünnfilms wurde durch Einstellen
der Stromintensität
des Elektronenstrahls reguliert.
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Ein
hauptsachlich aus Kohlenstoff zusammengesetzter Rückseitenbeschichtungsanstrich
wurde auf die Oberflache der der Basisfolie gegenüberliegenden
Oberflache mit dem magnetischen Metalldünnfilm aufbeschichtet, zur
Bildung einer Rückseitenüberzugsschicht.
Die resultierende Struktur wurde dann wärmebehandelt.
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Auf
den magnetischen Metalldünnfilm
wurde 2.3-Naphthalindiol als Antiseptikum und Dimethylstearylamin
als Gleitmittel aufbeschichtet und die resultierende Struktur auf
vorbestimmte Breiten geschnitten, um magnetische Bänder (Probebander
1-1 bis 1-4) herzustellen, die dann in Kassetten aufgenommen wurden.
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Von
den so hergestellten magnetischen Bändern wurden die Dicke der
Oberflächenoxidschichten
der magnetischen Metalldünnfilme,
d. h. die Anteile der Oberflächenschichten
der magnetischen Metalldünnfilme mit
einem Oxidationsgrad von 50% oder mehr, der mittlere Oxidationsgrad
in dem Dünnfilm
und der Playback-Output, gemessen.
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Der
mittlere Oxidationsgrad des magnetischen Metalldünnfilms bedeutet hierin das
Konzentrationsverhältnis
des magnetischen Metalls, hier Kobalt zu Sauerstoff, wie durch ein
Auger-Elektronenspektrometer ermittelt. Der Playback-Output wurde
unter Verwendung eines neugestalteten frequenzhohen 8 mm Videodecks,
hergestellt von SONY CORPORATION unter der Handelsbezeichnung EV-S900,
gemessen. Die Meßbedingungen für den Playback-Output
wurden so eingestellt, daß die
relative Geschwindigkeit zwischen dem Magnetband und dem Magnetkopf
3,8 m/sec betrug, die Aufzeichnungsfrequenz 7 MHz betrug und der
Aufzeichnungsstrom ein solcher Strom war, bei dem der maximale Playback-Output
für die
entsprechenden Magnetbänder
erhalten werden konnte.
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Die
Verteilung des Oxidationsgrades in einer Richtung entlang der Tiefe
der entsprechenden magnetischen Dünnfilme ist in
3 gezeigt,
wohingegen die Ergebnisse der Messung des mittleren Oxidationsgrades
innerhalb der Dünnfilme
und der Playback-Output in Tabelle 2 gezeigt sind. Die Beziehung
zwischen dem Prozentsatz der Dicke der Oberflächenoxidschicht zu der Gesamtdicke
des magnetischen Dünnfilms
und des Playback-Outputs sind in
4 gezeigt.
Tabelle
1 |
| Bedingungen
der Sauerstoffgas-Zuführung | |
| Position
d des Einlasses (mm) | Menge
des zugeführten Sauerstoffgases (cm3/min) | Mittlerer
Oxidationsgrad im Film (%) |
Probeband
1-1 | 10 | 500 | 27 |
Probeband
1-2 | 50 | 400 | 28 |
Probeband
1-3 | 100 | 300 | 29 |
Probeband
1-4 | 200 | 150 | 28 |
Tabelle
2 |
| Oberflächenoxidschicht | |
| Dicke
(nm) | Anteil
zur Gesamtdicke (%) | Playback-Output
(dB) |
Probeband
1-1 | 18 | 9 | 0 |
Probeband
1-2 | 10 | 5 | +1,5 |
Probeband
1-3 | 4 | 2 | +2,6 |
Probeband
1-4 | 0 | 0 | +3,0 |
-
Die
Menge des zugeführten
Sauerstoffgases in Tabelle 1 ist die Menge des zugeführten Sauerstoffgases
entsprechend dem maximalen Playback-Output des Magnetbandes. Diese Menge
des zugeführten
Sauerstoffgases wird umso geringer, je größer der Abstand d zwischen
dem Sauerstoffgaseinlaß und
der Kühlwalze
ist, d. h. je näher
die Position des Sauerstoffgaseinlasses zu der Verdampfungsquelle
ist.
-
Unter
Bezugnahme auf 3, welche die Verteilung des
Oxidationsgrades entlang der Tiefe des magnetischen Metalldünnfilms,
der unter Zuführung
des Sauerstoffgases in der in Tabelle 1 gezeigten Menge gebildet
worden ist, ist zu sehen, daß,
obwohl der mittlere Oxidationsgrad im Inneren des Dünnfilms
in der gleichen Größenordnung
für die
jeweiligen Bänder
liegt, die Dicke der Oberflächenoxidschicht
mit der Position des Sauerstoffgaseinlasses differiert. Die Dicke
der Oberflächenoxidschicht
mit einem Oxidationsgrad von 50% oder mehr, wird umso geringer,
je näher
die Position des Sauerstoffgaseinlasses zu der Verdampfungsquelle ist.
-
Aus 4 ist
ebenfalls zu ersehen, daß die
Dicke der Oberflächenoxidschicht
mit dem Playback-Output des Magnetbandes korreliert, so daß der Playback-Output
des Magnetbandes umso größer wird,
je geringer die Dicke der Oberflächenoxidschicht
ist. Insbesondere, wenn die Dicke der Oberflächenoxidschicht 5% oder weniger
der Geamtdicke des magnetischen Metalldünnfilms beträgt, wird
ein größerer Playback-Output erhalten,
der um 1,5 dB höher
ist, als derjenige des Probebandes 1-1 mit einer Dicke der Oberflächenoxidschicht
von 18 mm, was 9% der Gesamtdicke des magnetischen Metalldünnfilms
ausmacht.
-
Daraus
ist zu sehen, daß die
Dicke der Oberflächenoxidschicht
des magnetischen Metalldünnfilms
von 5% oder weniger wirksam ist zur Verbesserung des Playback-Outputs
in einem magnetischen Aufzeichnungsmedium vom Dampfabscheidungstyp.
-
Es
ist ebenfalls zu sehen, daß die
Dicke der Oberflächenoxidschicht
des magnetischen Metalldünnfilms
durch Regulieren der Position des Sauerstoffgaseinlasses, der zur
Zuführung
des Sauerstoffgases in die Dampfabscheidungsatmosphäre vorgesehen
ist, eingestellt werden kann, so daß die Dicke des Oberflächenoxidfilms
durch Anordnen des Sauerstoffgaseinlasses nahe der Verdampfungsquelle
reduziert werden kann.
-
Beispiel 2
-
Bei
dem vorliegenden Beispiel wurden Analysen hinsichtlich der Koerzitivkraft
und des Rechteckigkeitsverhältnisses
des magnetischen Metalldünnfilms
und des Playback-Outputs durchgeführt.
-
Eine
Anzahl von Magnetbändern
(Probebänder
2-1 bis 2-18) wurden in gleicher Weise wie in Beispiel 1 hergestellt,
mit der Ausnahme, daß der
Abstand d zwischen der Kühlwalze
und dem Sauerstoffgaseinlaß und die
Menge des zugeführten
Sauerstoffgases zur Zeit der Abscheidung des magnetischen Metalldünnflms,
wie in Tabelle 3 gezeigt, geändert
wurden. Die Menge des zugeführten
Sauerstoffgases ist die Menge entsprechend dem maximalen Playback-Output
für die
gleiche Anordnung des Sauerstoffgaseinlasses.
-
Von
den so hergestellten Magnetbandproben wurden die Dicke der Oberflächenoxidschicht
des magnetischen Metalldünnfilms,
der mittlere Oxidationsgrad im Inneren des Dünnfilms, das Rechteckigkeitsverhältnis und
der Playback-Output gemessen.
-
Die
Koerzitivkraft und das Rechteckigkeitsverhältnis wurden unter Verwendung
eines Vibrations-Probenmagnetometers (VSM) gemessen. Die Meßbedingungen
für den
mittleren Oxidationsgrad des magnetischen Metalldünnfilms
und des Playback-Outputs waren die gleichen wie in Beispiel 1.
-
Die
Meßergebnisse
sind in Tabelle 4 gezeigt. Die Beziehung zwischen der Dicke der
Oberflächenoxidschicht
und dem Playback-Output und die Beziehung zwischen dem Rechteckigkeitsverhältnis und
dem Playback-Output
sind in
5 und
6 gezeigt.
Tabelle
3 |
| Bedingungen
der Sauerstoffgas-Zuführung |
Position
d des Einlasses (mm) | Menge
des zugeführten
Sauerstoffgases (cm3/min) |
Probeband
2-1 | 10 | 390 |
Probeband
2-2 | 10 | 450 |
Probeband
2-3 | 10 | 500 |
Probeband
2-5 | 50 | 290 |
Probeband
2-6 | 50 | 360 |
Probeband
2-7 | 50 | 400 |
Probeband
2-8 | 100 | 200 |
Probeband
2-9 | 100 | 270 |
Probeband
2-10 | 100 | 300 |
Probeband
2-11 | 200 | 60 |
Probeband
2-12 | 200 | 110 |
Probeband
2-13 | 200 | 150 |
Probeband
2-13 | 230 | 50 |
Probeband
2-14 | 230 | 100 |
Probeband
2-15 | 230 | 140 |
Probeband
2-16 | 270 | 50 |
Probeband
2-17 | 270 | 90 |
Probeband
2-18 | 270 | 130 |
Tabelle
4 |
| Verhältnis der OberflächenOxidschicht
zur Gesamtdicke (%) | Koerzitiv-kraft (Oe) | Recht-eckigkeits-verhältnis (%) | Playback-Output (dB) |
Probeband
2-1 | 1 | 800 | 66 | –2,4 |
Probeband
2-2 | 5 | 890 | 70 | –2,3 |
Probeband
2-3 | 9 | 1040 | 69 | 0 |
Probeband
2-4 | 1 | 790 | 64 | –2,0 |
Probeband
2-5 | 3 | 900 | 66 | –1,0 |
Probeband
2-6 | 5 | 1050 | 66 | +1,5 |
Probeband
2-7 | 0 | 800 | 59 | –1,6 |
Probeband
2-8 | 1 | 910 | 64 | –0,1 |
Probeband
2-9 | 2 | 1040 | 65 | +2,6 |
Probeband
2-10 | 0 | 810 | 54 | –1,0 |
Probeband
2-11 | 0 | 910 | 58 | +0,2 |
Probeband
2-12 | 0 | 1000 | 60 | +3,0 |
Probeband
2-13 | 0 | 800 | 52 | –1,0 |
Probeband
2-14 | 0 | 900 | 54 | 0 |
Probeband
2-15 | 0 | 990 | 55 | +1,3 |
Probeband
2-16 | 0 | 810 | 50 | –1,4 |
Probeband
2-17 | 0 | 920 | 52 | –0,3 |
Probeband
2-18 | 0 | 990 | 53 | +0,9 |
-
Aus 5 ist
zu sehen, daß für beliebige
Werte der Koerzitivkraft, die Dicke der Oberflächenoxidschicht mit dem Playback-Output
des Magnetbandes korreliert ist, so daß mit Ausnahme des Falles,
bei dem die Menge des zugeführten
Sauerstoffs zur Zeit der Bildung des magnetischen Metalldünnfilms
extrem gering ist und im Größenbereich
von 100 cm3/min liegt, der Playback-Output
größer wird,
desto geringer die Dicke der Oberflächenoxidschicht ist. Wenn jedoch
die Koerzitivkraft 1000 Oe oder weniger betragt, wird nur ein geringer Playback-Output
von nicht mehr als 0 dB produziert, selbst wenn die Dicke der Oberflächenoxidschicht
geändert
wird.
-
Aus 6 ist
ebenfalls zu sehen, daß der
Playback-Output ebenso mit dem Rechteckigkeitsverhältnis geändert wird,
so daß,
wenn das Rechteckigkeitsverhältnis
gering ist und weniger als 60% beträgt ein ausreichender Playback-Output
nicht erzeugt wird, und daß ein
größerer Wert
des Playback-Outputs für
ein Rechteckigkeitsverhältnis
von 60% oder darüber
erzielt wird. Der verringerte Playback-Output für ein Rechteckigkeitsverhältnis von
65% oder höher
in 6 ist der dicken Oberflächenoxidschicht zuzuschreiben.
Das heißt, wenn
die Wirkung der Oberflächenoxidschicht
abgezogen wird, wird der Playback-Output desto größer, desto höher das
Rechteckigkeitsverhältnis
ist.
-
Daraus
ist zu ersehen, daß es
zur Verbesserung des Playback-Outputs erwünscht ist, die Dicke der Oberflächenoxidschicht
auf nicht mehr als 5% der Gesamtdicke des magnetischen Metallfilms
zu reduzieren, sowie die Koerzitivkraft und das Rechteckigkeitsverhältnis auf
nicht weniger als 1000 Oe bzw. nicht weniger als 60% beizubehalten.
-
Beispiel 3
-
Bei
dem vorliegenden Beispiel werden Analysen hinsichtlich der Wirkung
des Ausbildens einer Schutzschicht auf einer Magnetschicht durchgeführt.
-
Eine
Anzahl von Magnetbändern
(Probebänder
3-1 bis 3-3) wurden in gleicher Weise wie in Beispiel 1 hergestellt,
mit der Ausnahme, daß ein
Kohlenstoff-Schutzfilm auf einer Magnetschicht bis zu einer Filmdicke von
2 nm ausgebildet wurde.
-
Der
Kohlenstoff-Schutzfilm wurde unter Verwendung einer Sputtervorrichtung,
wie in 7 gezeigt, ausgebildet.
-
Die
Dampfabscheidungsvorrichtung umfaßt eine Vakuumkammer 21,
die unter Hochvakuum gehalten wird und darin eine im Gegenuhrzeigersinn
bei konstanter Geschwindigkeit rotierende Zuführrolle 22 und eine im
Uhrzeigersinn bei konstanter Geschwindigkeit rotierende Aufnahmerolle 23 aufnimmt.
Ein bandförmiges nichtmagnetisches
Substrat 24 ist zur Wanderung von der Zuführrolle 22 zu
der Aufnahmerolle 23 angepaßt.
-
An
einem Mittelbereich des Weges des nichtmagnetischen Substrats 24 von
der Zuführrolle 22 zur Aufnahmerolle 23 ist
eine Sputteranodenwalze 25 mit einem größeren Durchmesser als die Rollen 22 und 23, befestigt.
Die Sputteranodenwalze 25, welche als Anode zur Erzeugung
einer Glimmentladung dient, ist so befestigt, daß sie das nichtmagnetische
Substrat 24 nach unten abzieht und im Uhrzeigersinn beim
Ziehen mit konstanter Geschwindigkeit rotiert.
-
Die
Zuführrolle 22,
Aufnahmerolle 23 und Sputteranodenwalze 25 besitzen
jeweils die Form eines Zylinders mit im wesentlichen gleicher Breite
und Länge
bezüglich
des nichtmagnetischen Substrats 24. Innerhalb der Walze 6 ist
eine Kühlvorrichtung
(nicht gezeigt) angeordnet, um eine Deformation des nichtmagnetischen
Substrats zu vermeiden, welche sonst durch eine Temperaturerhöhung verursacht
würde.
-
Innerhalb
der Vakuumkammer 21 ist ein plattenförmiger Sputterkathodenabschnitt 26 befestigt,
der mit einer Gleichstromquelle verbunden ist. Der Sputterkathodenabschnitt 26 ist
unterhalb der Sputteranodenwalze 25 montiert und liegt
dieser gegenüber.
Auf der äußeren Oberflache
des Sputterkathodenabschnitts 26 ist ein Target 27 befestigt.
Ein Sputtergaseinlaß 28 ist
durch die Seitenwand in der Weise vorgesehen, daß er in die Vakuumkammer 21 hineinragt.
-
In
die Vakuumkammer 21 der Sputtervorrichtung wird ein Sputtergas über den
Sputtergaseinlaß in
die Vakuumkammer 21 zur gleichen Zeit eingeführt, wie
eine elektrische Spannung über
den Sputterkathodenabschnitt 26 und die Sputterkathodenwalze 25 angelegt
wird, um eine Glimmentladung zu erzeugen. Diese ionisiert das in
die Vakuumkammer 21 eingeführte Sputtergas, um so auf
die Oberfläche
des an dem Sputterkathodenabschnitt 26 befestigten Targets 27 aufzutreffen,
um Sputterteilchen herauszuschlagen. Die so herausgeschlagenen Sputterteilchen
werden auf der magnetischen Metalldünnfilmoberfläche abgeschieden,
um einen Sputterfilm zu erzeugen. Die beim vorliegenden Beispiel
angewandten Sputterbedingungen waren: das Sputtersystem, Gleichstrom-Magnetronsputtern,
Vor-Sputtern-Vakuumgrad 10–4 Pa; Vakuumgrad während des
Sputterns 0,8 Pa; Sputtergas: Ar-Gas; Kühlwalzentemperatur: –20°C; Sputterspannung:
600 V; Sputterstrom 10A; Bandzuführgeschwindigkeit
6 m/min.
-
Eine
Anzahl von so hergestellten Magnetbändern mit Schutzfilmen (Probebänder 3-1
bis 3-3) und Magnetbänder
ohne Schutzfilme, die in gleicher Weise wie in Beispiel 1 hergestellt
wurden (Probebänder
1-1 bis 1-4) wurden hinsichtlich der Dauerhaftigkeit bei der Standbild-Reproduktion (Standbild-Dauerhaftigkeit) überprüft.
-
Die
Standbild-Dauerhaftigkeit wurde bewertet durch Standbild-Reproduktion
der Probebänder
unter Verwendung eines neu gestalteten hochfrequenten 8-mm Videodecks,
hergestellt von SONY CORPORATION unter der Handelsbezeichnung EV-S900,
und Messen der Zeit, bei welcher der Playback-Output um 3 dB des Anfangswerts
(Standbild-Dauerhaftigkeitszeit) verringert wurde. Die Meßbedingungen
wurden so eingestellt, daß die
relative Geschwindigkeit 3,8 m/s und die Aufzeichnungsfrequenz 7
MHz betrugen. Die Messung wurde in 120 Minuten beendet. Die Ergebnisse sind
in Tabelle 5 gezeigt.
Tabelle
5 |
| Verhältnis der
Oberflächen-Oxidschicht zur Gesamtdicke
(%) | Vorliegen
oder Nichtvorliegen einer KohlenstoffSchutzschicht | Standbild-Dauer-haftigkeitszeit (min) |
Probeband
1-1 | 9 | Nichtvorliegen | 110 |
Probeband
1-2 | 5 | Nichtvorliegen | 64 |
Probeband
1-3 | 2 | Nichtvorliegen | 16 |
Probeband
1-4 | 0 | Nichtvorliegen | 7 |
Probeband
3-1 | 5 | Vorliegen | > 120 |
Probeband
3-2 | 2 | Vorliegen | > 120 |
Probeband
3-3 | 0 | Vorliegen | > 120 |
-
Wenn
die Magnetbänder
ohne Kohlenstoff-Schutzfilm (Probebänder 1-1 bis 1-4) in Tabelle
5 miteinander verglichen werden, ist zu sehen, daß die Standbild-Dauerhaftigkeit
umso kürzer
wird, je dünner
die Dicke der Oberflächenoxidschicht
ist. Es ist somit zu sehen, daß die
Oberflächenoxidschicht
die Funktion eines Schutzfilms ausübt. Andererseits zeigt ein
Vergleich unterhalb den Magnetbändern
mit Kohlenstoff-Schutzfilmen, daß die Standbild-Dauerhaftigkeitszeit
lang ist und 120 Minuten oder länger
ist, unabhängig
von der Dicke der Oberflächenoxidschicht.
-
Es
ist somit zu sehen, daß der
Kohlenstoff-Schutzfilm in ausreichender Weise den Verlust der Standbild-Dauerhaftigkeit,
welcher bei der Reduzierung der Dicke der Oberflächenoxidschicht verursacht
wird, kompensiert.
-
Obwohl
die Beschreibung der vorliegenden Erfindung hinsichtlich eines Beispiels
eines einschichtigen magnetischen Aufzeichnungsmedium mit einer
Monoschicht eines magnetischen Metalldünnfilms erfolgte, können ähnliche
Effekte erzielt werden, wenn die vorliegende Erfindung bei einem
magnetischen Aufzeichnungsmedium mit einer Magnetschicht mit Mehrschichtstruktur
angewandt wird.