DE3226639A1

DE3226639A1 - Magnetisches aufzeichnungsmedium

Info

Publication number: DE3226639A1
Application number: DE19823226639
Authority: DE
Inventors: Tatsuji Odawara Kanagawa Kitamoto; Ryuji Shirahata; Akio Yanai
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 1981-07-17
Filing date: 1982-07-16
Publication date: 1983-02-03
Also published as: JPS5814324A

Description

Magnetisches Auf zeichnunqsmedium.
Beschreibung Die Erfindung betrifft allgemein ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit eine magnetischen Aufzeichnungsschicht aus dünnen Filmen aus einem ferromagnetischen Metall; dieser dünne Film ist durch Schrägaufdampfen ausgebildet worden. Insbesondere bezieht die vorliegende Erfindung sich auf ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, das ausgezeichnete elektromagnetische Eigenschaften, eine hohe Verschleißfestigkeit und eine exzellente Wetterbeständigkeit hat. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung ein magnetisches Aufzeichnungsmedium gemäß den obigen Ausführungen, das zusätzlich eine geringe Richtungs-Anisotropie hat.
-In der Vergangenheit sind überwiegend magnetische Aufzeichnungsmedien verwendet worden, die durch Beschichtung hergestellt wurden. Die Fertigung solcher Aufzeichnungsmedien erfolgt im allgemeinen auf folgende Weise: Auf einen nicht-magnetischen Träger wird eine magnetische Beschichtüngsmasse aufgebracht, die wie folgt präpariert wird: Ein pulverförmiges magnetisches Material, wie beispielsweise ein magnetisches Pulver aus einem Oxid, wie beispielsweise y-Fe203, Co-dotiertes y-Fe203, Fe304, Co-dotiertes Fe304, eine Berthollid-Verbindung mit y-Fe203 und Fe304, Cr02 usw., einem ferromagnetischen Legierungspulver, oder ein ähnliches Material, wird in einem organischen Bindemittel dispergiert. Zu den herkömmlichen Bindemitteln gehören Vinylchlorid/Vinylazetat-Copolymere, Styrol-Butadien-Copolymere, Epoxid-Harze und Polyurethan-Harze. Die durch Beschichtung aufgebrachte Masse wird dann getrocknet, so daß sich eine magnetische Schicht ergibt.
In den letzten Jahren wurde es jedoch erforderlich, eine große Informationsmenge auf eine kleine Fläche des Aufzeichnungsrnaterials aufzuzeichnen; dies wird überlicherweise als Aufzeichnung mit hoher Dichte" bezeichnet.
Mit dem zunehmenden Bedarf von Aufzeichnungen mit hoher Dichte besteht gleichzeitig auch ein erhöhter Bedarf an magnetischen Aufzeichnungsmedien, die ohne Bindemittel hergestellt werden. Diese Aufzeichnungsmedien enthalten in ihren magnetischen Aufzeichnungsschichten keine organischen Bindemittel; dabei werden als magnetische Aufzeichnungschichten dünne Filme aus ferromagnetischen Metallen durch Bedampfungstechniken aufgebracht, wie beispielsweise Aufdampfen im Vakuum, Zerstäuben, Ionenplattieren oder ähnliche Techniken; als Alternative hierzu können auch Metallplattierverfahren angewandt werden, wie beispielsweise galvanische Metallabscheidung, stromlose Metallabscheidung oder ähnliche Techniken. Solche Aufzeichnungsträger haben in jüngster Zeit zunehmende Aufmerksamkeit erregt, wobei verschiedene Anstrengungen unternommen wurden, um sie in die Praxis umzusetzen.
Herkömmliche magnetische Aufzeichnungsmedien, die durch das Beschichtungsverfahren gefertigt werden, benutzen im wesentlichen Metalloxide als magnetische Materialien.
Diese Metalloxide haben jedoch eine Sättigungsmagnetisierung, die kleiner als die Sättigungsmagnetisierung von ferromagnetischen Metallen ist. Außerdem wurden Grenzwerte in Bezug auf die Möglichkeit erreicht, die Dicke solcher Aufzeichnungsmedien zu verringern, damit ihre Aufzeichnungsdichten erhöht werden können. Dies ist darauf zurückzuführen, daß die Verringerung der Dicke von einer Verringerung des Ausgangssignals begleitet ist. Außerdem müssen diese Aufzeichnungsmedien in komplizierten Verfah- ren unter Verwendung von großen Ablagerungseinrichtungen aufgebracht werden, um die-bei dem Herstellungsprozeß verwendeten Lösungsmittel wieder zu gewinnen. Entsprechend aufwendige Anlagen und Verfahren sind auch erforderlich, um Umweltverschmutzungen zu vermeiden. Andererseits enthalten magnetische Aufzeichnungsmedien ohne Bindemittel ferromagnetische Metalle, die eine Sättigungsmagnetisierung haben, die größer als die Sättigungsmagnetisierung der oben erwähnten Metalloxide ist. Solche Medien liegen in Form von dünnen Filmen vor, die keine nicht-magnetischen Substanzen, wie beispielsweise Bindemittel, enthalten. Deshalb können solche Aufzeichnungsmedien sehr dünne magnetische Filme aufweisen, wodurch Aufzeichnungen hoher Dichte möglich werden. Außerdem ist das Herstellungsverfahren einfach.
Mangetische Aufzeichnungsmedien, wie sie für die Aufzeichnung mit hoher Dichte eingesetzt werden, müssen magnetische Substanzen mit hoher Koerzitivkraft und mit verringerter Dichte verwenden. Berücksichtigt man dies, erscheinen magnetische Aufzeichnungsmedien ohne Bindemittel vielversprechend, weil es keine Probleme bereitet, ihre Dicke um eine Größenordnung unter die Dicke von magnetischen Aufzeichnungsmedien zu verringern, die mit den üblichen Beschichtungsverfahren hergestellt wurden. Außerdem besitzen solche Aufzeichnungsmedien hohe magnetische Flußdichten.
Insbesondere der Einsatz von Vakuum-Aufdampftechniken für die Bildung der magnetischen Aufzeichnungsschichten ist vorteilhaft, weil als Abfall keine Lösungen anfallen, deren Beseitigung Probleme bereiten würde. Deshalb ist das Herstellungsverfahren einfach, und die Ablagerungsgeschwindigkeit des Films aus dem magnetischen Metall kann stark erhöht werden. Es sind Verfahren für die Her-Stellung von magnetischen Filmen bekannt, die dem magnetischen Aufzeichnungsmedium die gewünschte Koerzitivkraft geben; außerdem hat die Magnetisierungskurve des magnetischen Aufzeichnungsmediums die gewünschte Rechteckigkeit, wenn die Vorteile des Vakuumaufbringverfahrens benutzt werden. Ein Beispiel eines solchen Verfahrens ist die Schrägaufdampfung, wie sie in der US-PS 3 342 632 bzw. der US-PS 3 342 633 beschrieben wird. Bei diesem Verfahren erzeugt der größere Einfallswinkel der magnetischen Dampfströmung in Bezug auf die Senkrechte auf der Oberfläche des Substrates ein Aufzeichnungsmedium mit höherer Koerzitivkraft. Gleichzeitig tritt jedoch bei der Verwendung großer Einfallswinkel eine Verringerung des Aufdampfwirkungsgrades auf. Deshalb hat dieses Verfahren Nachteile in Bezug auf die Produktivität.
Magnetische Aufzeichnungsmedien, die mit dünnen Filmen aus einem ferromagnetischen Metall versehen werden, müssen eine hohe Korrosionsfestigkeit, Abriebfestigkeit und Laufstabilität haben. Denn das magnetische Aufzeichnungsmedium und der für die Aufzeichnung bzw. Wiedergabe vorgesehene Magnetkopf führen eine Relativbewegung mit hoher Geschwindigkeit durch, wenn sie während der Aufzeichnung, der Wiedergabe oder während des Löschens von magnetischen Signalen in Kontakt miteinander kommen. Dabei muß der glatte und stabile Lauf des magnetischen Aufzeichnungsmediums gewährleistet werden. Weiterhin muß ein Verschleiß oder ein Bruch bzw. Riß vermieden werden, wie er durch den kontinuierlichen Kontakt mit dem Magnetkopf verursacht werden könnte. Weiterhin wird angestrebt, daß im Laufe der Zeit nur eine kaum merkliche oder im optimalen Fall keine Verringerung oder Löschung der auf den magnetischen Aufzeichnungsträger aufgezeichneten Signale auftritt; die- se Xnderung der Signale kann beispielsweise durch Korrosion beim Lagern verursacht werden. Um die Lebensdauer und die Wetterbeständigkeit zu verbessern, sind verschiedene Arten von Shcutzschichten untersucht worden; hierzu darf auf die folgenden US-Patentschriften verwiesen werden:US-PS 2 671 034, US-PS 3 466 156, US-PS 4 069 360, US-PS 4 245 008 und US-PS 4 152 469. Solche Schutzschichten haben jedoch nur eine begrente Dicke, da durch die Zwischenlage der Schicht zwischen dem magnetischen Aufzeichnungsmedium und den Magnetköpfen Raum verloren geht.
Es ist deshalbnotwendig, der magnetischen Aufzeichnungsschicht selbst eine lange Lebensdauer und eine hohe Wetterbeständigkeit zu geben.
Um ein magnetisches Aufzeichnungsmedium, das mit einem dünnen Film aus einem ferromagnetischen Metall versehen ist, als Material mit hoher Aufzeichnungsdichte voll auszunutzen, muß der Träger eine glatte Oberfläche auf der Seite haben, auf der der dünne Film aus dem ferromagnetischen Metall vorgesehen werden soll. Wenn jedoch die Oberfläche des Trägers glatt ist, wird es schwierig, dem magnetischen Aufzeichnungsmedium eine ausreichende Lebensdauer und Wetterbeständigkeit zu geben.
Außerdem hat ein magnetisches Aufzeichnungsmedium mit nur einer einzigen Schicht aus einem dünnen, ferromagnetischen Film, der durch das übliche Schrägaufdampfen hergestellt worden ist, noch den Nachteil, daß seine elektromagnetischen Eigenschaften und Laufeigenschaften beim Vorwärts- und Rückwärtslaufen relativ zu dem Magnetkopf sich stark unterscheiden. Das Auftreten dieser Richtungs-Anisotropie, die nichts mit der axialen Anisotropie zu tun hat, verursacht dann Schwierigkeiten, wenn ein solches magnetisches Aufzeichnungsmedium in der Praxis eingesetzt wird.
Es ist deshalb ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein magnetisches Aufzeichnungsmedium zu schaffen, welches nicht nur die oben beschriebenen Mängel vermeidet, sondern auch exzellente elektromagnetische Eigenschaften hat, wozu die herkömmlichen magnetischen Aufzeichnungsmedien ohne Bindemittel verbessert werden. Es soll deshalb ein magnetisches Aufzeichnungsmedium ohne Bindemittel mit exzellenten magnetischen Eigenschaften, gutem Verschleißwiderstand und hoher Wetterbeständigkeit vorgeschlagen werden, das gleichzeitig auch stark verbesserteelektromagnetische Eigenschaften zeigt.
Dies wird erfindungsgemäß durch ein magnetisches Auf zeichnungsmedium erreicht, das in einer Atmosphäre aus einem oxydierenden Gas durch Verdampfung eines magnetischen Metallmaterials von einer Verdampfungsquelle hergestellt wird, die eine entsprechende Dampfströmung liefert. Diese Dampfströmung trifft in einem bestimmten Winkel auf ein bewegliches Basismaterial auf, so daß es auf diesem Basismaterial in Schichten abgelagert wird; dadurch wird eine aufgedampfte Schicht erzeugt, indem mindestens zwei auf -gedampfte Filme übereinander abgelagert werden. Jeder Film hat eine gebogene bzw. gekrümmte und geneigte Säulenstruktur, die ausgebildet wird, indem kontinuierlich der Einfallswinkel der Dampfströmung auf das sich bewegende Basismaterial von einem hohen Wert auf einen niedrigen Wert geändert wird.
Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die beiliegenden, schematischen Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen Fig. 1 und 2 Schnitte durch den Schichtaufbau von magnetischen Aufzeichnungsmedien nach der vorliegenden Erfindung, und Fig. 3 eine schematische Darstellung einer Vorrichtung, wie sie für die Beispiele der Beschreibung verwendet wird.
Der Begriff Schrägaufdampfung, wie er hier verwendet wird, umfaßt ein Verfahren, bei dem eine Gasströmung aus einem verdampften, ferromagnetischen Metall auf die Oberfläche eines Basismaterials in einem Winkel o zur Senkrechten der Oberfläche des Basismaterials auftrifft und auf dem Basismaterial abgelagert wird, wodurch ein dünner magnetischer Film entsteht. Bei der Ablagerung eines dünnen magnetischen Films durch die Schrägaufdampfung benutzt die vorliegende Erfindung eine bestimmte Maßnahme, wenn die Ablagerung des dünnen magnetischen Films beginnt.
Die Schrägaufdampfung wird mit einem Einfallswinkel Gmax gestartet und der'Einfallswinkel kontinuierlich geändert, so daß er sich kontinuierlich verringert, während sich das Basismaterial bewegt. Die Schrägaufdampfung wird bei einem minimalen Einfallswinkel #min beendet. Darüberhinaus werden zwei oder mehr dünne magnetische Filme übereinander laminiert, also übereinander aufgebracht.
Im allgemeinen sollen die bei dem Aufzeichnungsmedium nach der vorliegenden Erfindung verwendeten Einfallswinkel im Bereich von 30 ° bis 900 liegen; insbesondere sollte der maximale Einfallswinkel 8marx im Bereich von 60 bis 900 und der minimale Einfallswinkel Gmin im Bereich von 30 bis 750 liegen.
Spezifische Beispiele für magnetische Metalle, die bei dem Aufzeichnungsmedium nach der vorliegenden Erfindung verwendet werden können, sind Metalle wie Fe, Co, Ni usw., sowie ferromagnetische Leqierunqen wie beissielsweise Fe-Co, Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-Rh, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, Ni-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Wh-A1, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr, Ni-Co-Cr> Be-co-Ni-crl I usw. Besonders bevorzugte magnetische Metalle sind Co sowie Legierungen mit einem Kobalt-Gehalt von 75 Gew.-%. Die Gesamtdicke der laminierten magnetischen dünnen Filme muß einerseits groß genug sein, um dem magnetischen Aufzeichnungsmedium ein ausreichend hohes Ausgangssignal zu geben, und andererseits klein genug sein, um die Aufzeichnung mit hoher Dichte zu ermöglichen. Deshalb liegt sie im allgemeinen im Bereich von 0,02 am bis 5.0 ßm, insbesondere im Bereich von 0,05 am bis 2,0 µm. Die Dicke der dünnen magnetischen Filme kann so ausgelegt werden, daß die Dicken der verschiedenen Filme einander gleich sind. Als Alternative hierzu können die Dicken e 50 % der Dicke des dünnen,magnetischen Films betragen, der sich am nächsten bei dem Träger befindet.
Zu den Verdampfungsverfahren, die zur Herstellung des Aufzeichnungsmediums nach der vorliegenden Erfindung eingesetzt werden können, gehören nicht nur die üblichen Vakuum-Ablagerungsprozesse, wie sie in der oben erwähnten US-PS 3 342 632 beschrieben werden, sondern andere Verfahren zur Ausbildung von dünnen Filmen auf einem Träger in einer Atmosphäre aus verdampften Molekülen mit einer mittleren freien Weglänge, die durch Ionisieren oder Beschleunigen der Dampfströmung durch Anlegen eines elektrischen Feldes oder eines magnetischen Feldes verlängert worden ist, oder durch Bestrahlung mit Elektronenstrahlen.
Zu den zuletzt erwähnten Verfahren gehören insbesondere die Aufdampfung im elektrischen Feld, wie es beispielswei- se in der japanischen Patentanmeldung (OPI) 149008/76 der Anmelderin beschrieben ist, sowie das Ionisierungs-Aufdampfverfahren, wie es in den japanischen Patentveröffentlichungen 11525/68, 20484/71, 26579/72 und 45439/74 sowie den japanischen Patentanmeldungen (OPI) 33890/74 34483/74 und 54235/74 erläutert ist, Basismaterialien, die für die Aufzeichnungsmedien nach der vorliegenden Erfindung bevorzugt eingesetzt werden, sind insbesondere Kunststoff-Basismaterialien, wie beispielsweise Polyethylen-Terephthalat, Polyimide, Polyamide, Polivinylchlorid, Zellulosetriazetat, Polykarbonate, Polyethylen, Polyethylenaphthalat und ähnliche Materialien.
Besonders geeignet ist ein Basismaterial aus den oben beschriebenen, flexiblen Kunststoffen mit einer Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 ßm oder weniger Der Begriff "Oberflächenrauhigkeit (ra) bezieht sich auf die mittlere Zentrumslinien-Rauhigkeit, wie sie in der japanischen Industrienorm JIS-B0601, Paragraph 5 beschrieben ist, wobei die Grenze als 0,25 mm genommen wird. Außerdem können als Basismaterial Materialien verwendet werden, die auf folgende Weise hergestellt werden; auf den oben beschriebenen Kunststoffbasen werden Neben- bzw. Unterschichten aufgebracht; die Oberflächenrauhigkeit dieser Nebenschich ten wird dann so eingestellt, daß sie 0,012 ßm oder weniger beträgt.
Es ist zweckmäßig, als oxydierendes Gas Sauerstoff zu verwenden. Dabei kann Sauerstoff allein oder im Gemisch mit anderen Gasen eingesetzt werden. Der Druck der Aufdampfatmosphäre, der das oxydierende Gas enthält, sollte im Bereich von 1 x 10 3 bis 1 x 10 6 Torr liegen.
Zusätzlich kann zwischen dem dünnen magnetischen Film und einem weiteren, darauf laminierten magnetischen Film eine Schicht aus einem nicht magnetisierbaren Material angeordnet werden. Bevorzugte Materialien für die Bildung dieser nicht-magnetischen Zwischenschicht sind beispielsweise Cr, Si, Al, Mn, Bi, Ti, Sn, Pb, In, Zn, Cu, Oxide dieser Metalle sowie Nitride dieser Metalle.
Die Figuren 1 und 2 zeigen schematisch Beispiele für den Schichtaufbau von magnetischen Aufzeichnungsmedien, die gemäß Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung präpariert worden sind.
Bei dem magnetischen Aufzeichnungsmedium nach Fig. 1 sind zwei aufgedampfte Filme dargestellt. Jeder dieser Filme hat eine gebogene bzw. gekrümmte und geneigte Säulenstruktur, die durch Ablagerung einer Dampf strömung erhalten wird. Die Dampfströmung wird hergestellt, indem ein magnetisches Metall von einer Verdampfungsquelle verdampft wird. Die Strömung trifft dann auf ein bewegliches Basis material in einen Atmosphäre aus einem oxydierenden Gas in einem Winkel auf, der sich kontinuierlich von einem hohen Wert zu einem niedrigen Wert ändert. Die Filme werden laminiert, also übereinander abgelagert, so daß ihre individuellen, geneigten Säulenstrukturen in der gleichen Richtung orientiert sind. D.h. also, daß aufgedampfte magnetische Filme, nämlich eine erste Schicht 1 und eine zweite Schicht 2, auf dem Träger B 1 ausgebildet werden. Die magnetischen Filme 1 und 2, welche die jeweiligen Schichten bilden, weisen jeweils gekrümmte und geneigte Säulenstrukturen i1 bzw 12 auf. Die Säulenstruktur 11 in der ersten Schicht 1 und die Säulenstruktur 12 in der zweiten Schicht 2 sind in der gleichen Richtung geneigt. In jeder der geneigten Säulenstrukturen 11 und 12 ist der untere Teil der Säule, der sich näher bei dem Träger B1 befindet, in einem Winkel mit höherem Wert zu der Senkrechten auf der Oberfläche des Trägers B1 geneigt. Wenn sich in der Säule der Abstand von dem Träger B1 vergrößert, wird der Neigungswinkel zu der oben beschriebenen Senkrechten allmählich kleiner und kleiner. Obwohl die'magnetische Aufzeichnungsschicht bei der Ausführungsform nach Fig. 1 die Struktur einer Doppelschicht hat, kann als Alternative auch eine Mehrschichten-Struktur verwendetwerden, die aus mehr als zwei Filmen besteht. Eine bevorzugte Struktur enthält von zwei bis sechs Schichten.
Das magnetische Aufzeichnungsmedium mit dem Schichtaufbau nach Fig. 1 hat nicht nur exzellente elektromagnetische Eigenschaften, sondern auch einen hohen Verschleißwiderstand und eine gute Wetterfestigkeit.
Bei dem Schichtaufbau nach Fig. 2 hat das magnetische Aufzeichnungsmedium zusätzlich zu den oben beschriebenen, exzellenten Eigenschaften noch eine geringe Richtungsanisotropie Ein herkömmliches Aufzeichnungsmedium mit nur einedeinzigen Schicht aus einem dünnen, ferromagnetischen Film, der durch die übliche Schrägaufdampfung ausgebildet worden ist, hat nämlich den Nachteil, daß sich sowohl die elektromagnetischen Eigenschaften als auch die Laufeigenschaften bei der Vorwärts- und Rückwärtsbewegung relativ zu dem Magnetkopf stark unterscheiden. Diese Differenzen werden aus den folgenden Beispielen 3, 4 und 5 ersichtlich. Die oben beschriebene Richtungsanisotropie macht sich dann bemerkbar, wenn ein solches magnetisches Aufzeichnungsmedium in der Praxis eingesetzt wird.
Wenn jedoch das magnetische Aufzeichnungsmedium so hergestellt wird, daß es den Schichtaufbau nach Fig. 2 hat, so läßt sich das Problem der Richtungsansiotropie lösen.
Aufgedampfte magnetische Schichten werden mit der ersten Schicht 3 und der zweiten Schicht 4 ausgebildet. Die Schichten 3 und 4 werden auf einem Träger B2 hergestellt.
Die magnetische Filme 3 und 4, welche die jeweiligen Schichten bilden, haben jeweils gekrümmte und geneigte Säulenstrukturen 13 bzw. 14. Die Neigungsrichtung der Säulenstruktur 13 in der ersten Schicht und die der Säulenstruktur 14 in der zweiten Schicht 4 kreuzen einander.
In jeder der geneigten Säulenstrukturen 13 und 14 ist der Neigungswinkel in der Säule an dem Punkt , der sich am nächsten zu dem Träger B2 befindet, höher, während der Neigungswinkel geringer und geringer wird, wenn sich der Abstand in der Säule von dem Träger B2 vergrößert. Obwohl die magnetische Aufzeichnungsschicht nach Fig. 2 eine Doppelschichtstruktur hat, kann als Alternative hierzu auch eine Mehrschichtstruktur verwendet werden, die aus zwei bis sechs aufgedampften Filmen besteht.
Die vorliegende Erfindung soll nun im Detail unter Bezugnahme auf die folgenden Beispiele erörtert werden. Diese Beispiele stellen jedoch keine Einschränkung des Grundprinzips der Erfindung dar.
BEISPIEL 1 Der Grundaufbau einer Verdampfungsvorrichtung 20 ist in Fig. 3 schematisch dargestellt. Diese Vorrichtung 20 wurde dazu verwendet, dieses Beispiel durchzuführen; dabei wurden dünne, maghetische Kobaltfilme mit dem Schrägbedampfungsverfahren auf einen 23 ßm dicken Polyethylenterephthalat-Film B aufgedampft Die Aufdampfung wurde durchgeführt, während der Film B längs der äußeren Umfangsfläche eines Kühlzylinders 23 transportiert wurde, wodurch ein Magnetband hergestellt wurde. Als Verdampfungsquelle 21 wurde ein Elektronenstrahl-Heizsystem einer Verdampfungsquelle verwendet. Die Verdampfung wurde bei einem Druck von 1 x 10 Torr im Innern der Vakuumkammer durchgeführt, wobei Sauerstoffgas über einen Einlaß zugesetzt wurde.
Das Bezugszeichen 24 in Fig. 3 bezeichnet eine die Verdampfung verhindernde Platte. Die Gesamtdicke der magnetischen Filme wurde gesteuert6 um eine Dicke von 2000 2 zu erhalten. Bei der Verdampfung wurden für die Einfallswinkel ein Winkel omax von 900 und ein Winkel gmin von 40 verwendet. Der Basisfilm wurde kontinuierlich in einer solchen Richtung bewegt, daß sich der Einfallswinkel für die Verdampfung kontinuierlich von 900 auf 400 änderte und gleichzeitig der magnetische Film aufgedampft wurde.
Der aufgedampfte magnetische Film wurde aufgewickelt.
Die aufgewickelte Filmrolle wurde dann zurückgespult und auf die oben beschriebene Weise nochmals der Schrägaufdampfung-unterworfen. Damit wurde ein Magnetband mit dem Schichtaufbau nach Fig. 1 erhalten.
Die elektromagnetischen Eigenschaften und- die Lebensdauer bei Stillstand des so erhaltenen Magnetbandes wurden unter Verwendung eines VHS Systems eines Videobandaufzeichnungsgerätes (VTR) bestimmt. Außerdem wurden weitere Magnetbänder hergestellt, die einen anderen Schichtaufbau der magnetischen Aufzeichnungsschicht und eine andere Oberflächenrauhigkeit des als Basisfilm verwendeten Polyethylenterephthalat-Films hatten. Dabei wurden die Koerzitivkräfte dieser Magnetbänder, ihre Entmagnetisierungsgrade, ihre Lebensdauer bei Stillstand, ihre Video-Ausgangssignale bei 4 MHz und ihr Modulationsrauschen überprüft; dieses Modulationsrauschen wurde anhand von 4 MHz-Signalen beobachtet, die unter Verwendung einer Modulationsfrequenz von 3 MHz aufgezeichnet wurden. Die erhaltene Werte sind in Tabelle 1 dargestellt. Die Entmagnetisierung wurde überprüft, um die Wetterbeständigkeit des Magnetbandes festzustellen; zu diesem Zweck wurde die Verringerung der magnetischen Sättigungsflußdichte (Bm) gemessen, nachdem das Magnetband sieben Tage lang bei einer Temperatur von 600C unter einer relativen Feuchtigkeit von 90 % gehalten wurde. Die Entmagnetisierung ist in Tabelle 1 durch einen Zahlenwert dargestellt, der erhalten wurde, indem das Verhältnis der magnetischen Sättigungsflußdichte nach der 7-tägigen Lagerung unter den oben beschriebenen Umständen (Bm7) zu der anfänglichen magnetischen Flußdichte (BmO) von 1 subtrahiert wurde, d.h., es wurde der Wert 1 - Bm7/BmO berechnet.
Tabelle 1 Elektromagnetische Eigenschaften Schichtaufbau Oberflächen- Koerzitiv- Entmag- Lebensdauer Ausgangs- Rauschen der magnetischen rauhigkeit kraft (Oe) netisierung im Stillstand signal (dB) Schicht der Basis (%) (min) (dB) (µm) 0.016 630 18 7 0 5 Dicke einer 2000 Å 0.012 610 20 7 3 7 einzigen 0.008 630 19 6 9 6 Schicht Dicke der oberen Schicht 1000 Å 0.016 800 10 15 13 3 Dicke der un- 0.012 820 8 35 19 2 teren Schicht 1000 Å 0.008 820 7 42 25 2 Dicke der oberen Schicht 800 Å 0.016 810 16 13 12 1.0 Dicke der unte- 0.012 820 9 30 17 1.0 ren Schicht 1200 Å 0.008 820 6 35 20 2.0 Dicke der oberen Schicht 600 Å 0.016 850 9 18 10 0.5 Dicken der Zwi- 0.012 910 8 38 20 1.0 schenschicht 700 Å 0.008 930 6 45 22 0.5 Dicke der unteren Schicht 700 Å Wie man aus Tabelle 1 erkennen kann, sind auf jedes Magnetband dünne magnetische Filme laminiert, die auf eine Basis aufgedampft werden, wobei die Einfallswinkel der Co-Dampfströmungen kontinuierlich von einem hohen Wert zu einem niedrigen Wert geändert werden; dadurch können ihre individuellen, geneigten Säulenstrukturen in der gleichen Richtung orientiert werden; diese Magnetbänder haben nicht nur gute magnetische Eigenschaften, sondern auch exzellente Wetterbeständigkeit, Lebensdauer, ein gutes Ausgangssignal und eine hohes Verhältnis Signal/Rauschen, und zwar im Vergleich mit einem Magnetband mit einem einzigen, dünnen magnetischen Film. Insbesondere Magnetbänder mitMagnetfiirn, die : auf Kunststoffbasen mit Oberflächenrauhigkeiten (ra) von 0,012 wm oder weniger aufgedampft worden sind, haben verbesserte Wetterbeständigkeit, eine längere Lebensdauer und verbesserte Wiedergabe-Ausgangssignale.
BEISPIEL 2 Auf ähnliche Weise wie im Beispiel 1 wurden dünne magnetische Filme aus einer Co/Ni-Legierung (Ni: 15 Gew.-%) auf einen 14 Am dicken Polyethylentephthalat-Film unter Verwendung des Mechanismus der Aufdampfvorrichtung 20 durch Schrägaufdampfen aufgebracht, um ein Magnetband herzustellen. Der Druck im Innern der Verdampfungskammer wurde bei Einführung von Sauerstoff auf 1,4 x 10 4 Torr eingestellt; der maximale Einfallswinkel 0marx betrug 850 und der minimale Einfallswinkel 0min betrug 600. Die Gesamtdicke der magnetischm Filme wurde auf 1500 A eingesti1t. -Die Eigenschaften der Magnetbänder, die sich im Schichtenaufbau und in der Oberflächenrauhigkeit des Basismaterials unterschieden, sind in Fig 2 zusammengestellt. Aus Vergleichszwecken wurden Eigenschaften von Magnetbändern, die ohne Einführung von Sauerstoffgas hergestellt wurden, ebenfalls in Tabelle 2 angegeben. Tabelle 2 Elektromagnetische Schichtaufbau Sauerstoff- Oberflächen- Koerzitiv- Entmagne- Lebensdauer Eigenschaften der magnetischen Atmosphäre Rauhigkeit Kraft tisierung im Stillstand Ausgangs- Rauschen Schicht beim Auf- der Basis (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) dampfen (µm) 0.017 870 25 5 10 7 Dicke einer vorhanden 0.012 900 24 8 8 5 einzigen Schicht 1500 Å 0.007 890 22 7 9 7 Dicke der oberen Schicht 750 Å 0.017 970 14 15 12 2.0 Dicke der nicht vorhanden 0.012 1020 6 40 24 0.5 magnetischen Al 200 Å Zwischenschicht 0.007 1040 4 45 25 0.5 Dicke der unteren Schicht 750 Å Dicke der oberen Schicht 750 Å 0.017 960 12 12 13 1.5 Dicke der unte- vorhanden 0.012 1000 5 43 21 0.5 ren Schicht 750 Å 0.007 1040 4 47 25 0.5 Dicke der obe- 0.017 850 18 12 14 3 ren Schicht 750 Å 0.012 840 8 36 22 4 nicht vorhanden Dicke der unteren Schicht 750 Å 0.007 870 7 38 23 4 Tabelle 2 zeigt eindeutig, daß die Magnetbänder, bei denen Magnetfilme unter kontinuierlicher Änderung der Einfallswinkel der Co /Ni-Dampf strömungen von einem hohen auf einen niedrigen Wert aufgedampft und dadurch so laXiniert sind, daß ihre individuellen, geneigten Säulenstrukturen in der gleichen Richtung geneigt werden können, nicht nur gute magnetische Eigenschaften haben, sondern im Vergleich mit einem Magnetband mit einem einzigen, dünnen Magnetfilm eine exzellente Wetterbeständigkeit, Lebensdauer, optimales Ausgangssignal und gutes Verhältnis Signal/Rauschen zeigen. Insbesondere Magnetbänder mit einem Magnetfilm, der auf einer Kunststoffbasis mit einer Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 ßm oder weniger abgedampft worden ist, haben eine weiter verbesserte Wetterbeständigkeit, Lebensdauer und Wiedergabe-Ausgangs-Signale.
BEISPIEL 3 Hierfür wurde ebenfalls der Mechanismus der Aufdampfvorrichtung 20 nach Fig. 3 verwendet. Magnetische, dünne Kobaltfilme wurden auf einen 20 m dicken Polyethylen-Terephthalat-Film B mit dem Schrägdampfverfahren aufgedampft, wobei der Film B längs der äußeren Umfangsfläche eines Kühlzylinders 23 transportiert wurde, wodurch ein Magnetband gebildet wurde. Die Verdampfung wurde ausgeführt, während der Druck im Innern der Vakuumkammer auf 1,5 x 10 -4 Torr gehalten wurde; gleichzeitig wurde ein Gasgemisch aus Sauerstoff und Stickstoff (Strömungsgeschwindigkeit = 2/1) durch eine entsprechende Öffnung für die Einführung von Gas zugesetzt. Die Einfallswinkel wurden bei der Aufdampfung auf 8marx = 900 und emin = 400 eingestellt. Die Gesamtdicke der aufgedampften, magnetischen Filme wurde bei 2000 Å gehalten. Ein magnetischer Film wurde durch geneigtes bzw. schräges Aufdampfen von einer Verdampfungsquelle 21 gebildet. Der Basisfilm wurde in einer solchen Richtung bewegt, daß sich der Einfallswinkel bei der Verdampfung kontinuierlich von 900 auf 400 änderte. Nach dem Aufwickeln des Films wurde ein zusätzlicher Schrägaufdampfvorgang von einer anderen Verdampfungsquelle 22 durchgeführt, wobei die aufgewickelte Rolle in der entgegengesetzten Richtung im Vergleich mit dem vorherigen Transport des Basisfilms transportiert wurde. Dies führte zu der Bildung eines weiteren magnetischen Films. Damit wurde ein Magnetband mit dem Schichtaufbau nach Fig. 2 erhalten. Die elektromagnetischen Eigenschaften und die Lebensdauer im Stillstand des so erhaltenen Magnetbandes wurden unter Verwendung eines VRS-Systems eines Videobandaufzeichnungsgerätes bestimmt. Weiterhin wurden noch andere Magnetbänder auf die gleiche Weise wie oben beschrieben, präpariert, nur mit dem Unterschied, daß der Schichtaufbau ihrer einzelnen magnetischen Schichten und die Oberflächenrauhigkeiten der Basisfilme anders waren. Die Koerzitivkräfte dieser Magnetbänder, ihre Entmagnetisierungsgrade, ihre Lebensdauer beim Stillstand, ihr Video-Ausgangssignal bei 4 MHz, ihr Modulationsrauschen, das bei unter Verwendung einer Modulationsfreguenz von 3 MHz aufgezeichneten 4 MHz Signalen beobachtet wurde, und die Unterschiede zwischen den bei 4 MHz wiedergegebenen Videoausgangssignalen, wenn die Laufrichtungen der einzelnen Bänder in Bezug auf den Magnetkopf unterschiedlich waren, sind in Tabelle 3 zusammengestellt.
Tabelle 3 Elektromagnetische Schichtaufbau Oberflächen- Koerzitiv- Entmagne- Lebensdauer Eigenschaften Ausgangsder magnetischen Rauhigkeit Kraft tisierung im Stillstand Ausgangs- Rauschen differenz Schicht der Basis (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) (db) auf-(µm) grund der Lauf-0.017 620 14 12 0 3 richtung 2.0 Dicke der einzelnen 0.012 600 15 11 3 2 2.0 Schicht 2000 Å 0.008 620 14 13 7 3 2.5 Dicke der oberen 0.017 820 8 21 13 1 1.0 Schicht 800 Å 0.012 800 7 30 16 0 0.5 Dicke der unteren 0.008 850 5 38 20 - 2 0.2 Schicht 1200 Å Dicke der oberen 0.017 800 7 23 12 1.5 1.2 Schicht 1000 Å 0.012 830 6 35 18 0.5 0.3 Dicke der unteren 0.008 850 6 41 21 - 2.5 0.2 Schicht 1000 Å Dicke der oberen 0.017 950 9 24 13 1.3 0.7 Schicht 600 Å Dicken der Zwischen- 700 Å 0.012 920 8 40 17 0 0.4 schicht Dicke der unteren 700 Å 0.008 950 6 45 21 - 3.0 0.2 Schicht Wie man aus Tabelle 3 erkennen kann, sind die Magnetbänder, bei denen dünne, magnetische Filme bei kontinuierlicher Anderung der Einfallswinkel der Co-Dampfströmungen von einem hohen Wert auf einen niedrigen Wert auf den Basisfilm aufgedampft wurden, so laminiert, daß die Neigungsrichtung der Säulenstruktur in dem ersten aufgedampften Film und in dem zweiten aufgedampften Film einander kreuzen; diese Magnetbänder zeigen nicht nur bessere magnetische Eigenschaften, sondern auch exzellente Wetterbeständigkeit, Lebensdauer, ein gutes Ausgangssignal und ein hohes Verhältnis Signal/ Rauschen. Außerdem ergibt sich eine Verbesserung des Unterschiedes im Ausgangssignal, die dann auftritt, wenn die Laufrichtung umgekehrt wird; dies muß im Vergleich mit einem Magnetband mit einem einzigen, dünnen, aufgedampften magnetischen Film gesehen werden.
Insbesondere Magnetbänder, bei denen Magnetfilme auf Kunststoffbasen mit einer Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 m oder weniger aufgedampft worden sind, haben eine verbesserte Wetterbeständigkeit, eine längere Lebensdauer und ein besseres Wiedergabeausgangssignal.
BEISPIEL 4 Auf ähnliche Weise wie im Beispiel 3 wurden dünne, magnetische Filme aus einer Co/Cr-Legierung (Cr: 5 Gew.-%) auf einen 14 m dicken Polyethylenterephthalat - Film unter Verwendung des Mechanismus der Aufdampfvorrichtung 20 durch Schrägbedampfen aufgebracht, um ein Magband herzustellen. Der Druck im Innern der Aufdampfkammer bei der Einführung von Sauerstoff wurde auf -4 1 x 10 4 Torr eingestellt; die Einfallswinkel ob x max und Bmin wurden bei 900 bzw. 400 gehalten. Die Gesamt-Dicke der magnetischen Filme wurde auf 1500 A einge- stellt. Die Eigenschaften von Magnetbändern, die sich im Schichtenaufbau und in der Oberflächenrauhigkeit das Basismaterials unterschieden, sind in Tabelle 4 zusammengestellt.
Tabelle 4 Elektromagnetische Schichtaufbau Oberflächen- Koerzitiv- Entmagne- Lebensdauer Eigenschaften Ausgangsder magnetischen Rauhigkeit Kraft tisierung im Stillstand Ausgangs- Rauschen differenz Schicht der Basis (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) (db) aufgrund der Laufrichtung 0.015 830 15 14 1 3 1.8 Dicke der 1500 Å 0.011 810 13 10 3 4 2.5 einzigen 0.008 830 16 15 5 2 1.5 Schicht Dicke der obe- 0.015 1120 7 23 14 - 1 0.5 ren Schicht 750 Å 0.011 1100 6 27 20 - 0.5 0.7 Dicke der unte- 0.008 1150 6 39 22 - 2 0.2 ren Schicht 750 Å Dicke der obe- 0.015 1150 6 28 12 0 0.5 ren Schicht 550 Å 0.011 1120 5 25 19 - 0.5 0.2 Dicke der unte- 0.008 1140 6 40 22 - 3 0 ren Schicht 950 Å Dicke der obe- 0.015 1110 6 27 10 0 0.3 ren Schicht 950 Å 0.011 1130 6 39 19 - 1.5 0 Dicke der unte- 0.008 1140 4 48 23 - 2.8 0.2 ren Schicht Tabelle 4 zeigt eindeutig, daß bei einem Magnetband, bei dem dünne, magnetische Filme unter kontinuierlicher Anderung der Einfallswinkel der Co/Cr Gasströmungen von einem hohen Wert auf einen niedrigen Wert auf den Basisfilm aufgedampft worden sind, so laminiert -sind, daß sich die Neigungsrichtung der Säulenstruktur in dem ersten aufgedampf ten Film und die in dem zweiten aufgedampften Film kreuzen; diese Magnetbänder zeigen nicht nur bessere magnetische Eigenschaften, sondern auch eine exzellente Wetterbeständigkeit, Lebensdauer, ein gutes Ausgangssignal und ein optimales Verhältnis Signal/Rauschen. Darüberhinaus haben diese Bänder einen verbesserten Unterschied der Ausgangssignale, wie er dann auftritt, wenn die Laufrichtung umgekehrt wird, und zwar im Vergleich mit einem Magnetband mit einem einzigen, dünnen, aufgedampften magnetischen Film. InsbesondereMagnetbänder mit magnetischen Filmen, die auf Kunststoffbasen mit Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 Fm oder weniger aufgedampft worden sind, haben verbesserte Wetterbeständigkeit, Lebensdauer und Wergabe-Ausgangssignale.
BEISPIEL 5 Auf ähnliche Weise wie im Beispiel 4 wurden dünne, magnetische Filme aus einer Co/Ni Legierung (Ni : 20 Gew.-%) auf einen 14 Fm dicken Polyamidfilm unter Verwendung des Mechanismus der Aufdampfvorrichtung 20 durch Schrägbedampfen aufgebracht, um ein Magnetband herzustellen. Der Druck im Innern der Auf dampfkammer bei der Einführung des Sauerstoffs wurde auf 9 x 10 Torr gehalten; die Einfallswinkel Gmax und imin betrugen 900 bzw. 500. Die Gesamtdicke der Magnetfilme wurde auf 1800 A eingestellt.
Die Eigenschaften der Magnetbänder, die sich im Schichtenaufbau und in der Oberflächenrauhigkeit des Basismaterials unterschieden, sind in Tabelle 5 zusammengestellt.
Diese Eigenschaften wurden auf die gleiche Weise wie bei Beispiel 3 bestimmt.
Zu Vergleichszwecken sind in Tabelle 5 auch die Eigenschaften von Magnetbändern angegeben, die ohne Einführung von Sauerstoffgas bei der Verdampfung hergestellt wurden.
Tabelle 5 Elektromagnetische Schichtaufbau Sauerstoff- Oberflächen- Koerzitiv- Entmagne- Lebensdauer Eigenschaften Ausgangsder magnetischen Atmosphäre beim Rauhigkeit Kraft tisierung im Stillstand Ausgangs- Rauschen differenz Schicht Aufdampfen der Basis (Oe) (%) (min) signal (dB) (dB) (db) auf-(µm) grund der Laufrichtung 0.017 890 14 10 2 4 2.0 Dicke der einzigen Schicht 1800 Å vorhanden 0.011 870 12 9 3 3 2.5 0.007 900 11 10 3 4 1.5 Dicke der obe- 0.017 1100 5 21 10 0 0.5 ren Schicht 900 Å Dicke der un- vorhanden 0.011 1120 4 25 17 - 0.5 1.0 teren Schicht 900 Å 0.007 1150 4 35 23 - 1.5 0.5 Dicke der oberen Schicht 800 Å 0.017 1020 4 23 12 - 0.5 0.5 vorhanden 0.011 1080 5 28 19 - 1.5 0.5 Dicke der un -teren Schicht 1000 Å 0.007 1100 4 42 23 - 2.5 0.3 Dicke der oberen Schicht 900 Å 0.017 1150 4 28 9 - 1.8 1.0 Dicke der Cr Zwischen- 200 Å vorhanden 0.011 1160 3 38 21 - 2.0 0.5 schicht Dicke der un- 900 Å 0.007 1170 2 50 24 - 3.0 0 ren Schicht Dicke der obe- 0.017 630 19 11 7 5 1.0 ren Schicht 900 Å nicht vorhanden 0.011 660 10 35 16 7 0.6 Dicke der un- 0.007 660 8 40 18 6 0.5 teren Schicht 900 Å Wie man aus Ta belle 5 erkennen kann, ist jedes der Magnetbänder , bei dem dünne, magnetische Filme unter kontinuierlicher Änderung der Einfallswinkel der Co/Ni-Dampf ströme von einem hohen Wert auf einen niedrigen Wert auf den Basisfilm aufgedampft wurden, so laminiert, daß die Neigungsrichtung der Säulenstruktur in dem ersten. aufgedampften Film und in dem zweiten aufgedampften Film einander kreuzen; diese Magnetbänder zeigen nicht nur bessere magnetische Eigenschaften, sondern auch eine exzellente Wetterbeständigkeit, eine lange Lebensdauer, ein gutes Ausgangssignal und ein optimales Verhältnis Signal/Rauschen. Darüberhinaus haben diese Bänder einen verbesserten Unterschied im Ausgangssignal, wie er dann auftritt, wenn die Laufrichtung umgekehrt wird, und zwar im Vergleich mit einem Magnetband mit einem einzigen, dünnen, aufgedampften magnetischen Film. Insbesondere Magnetbänder mit Magnetfilmen, die auf Kunststoffbasen mit einer Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 rm oder weniger aufgedampft worden sind, haben eine verbesserte Wetterbeständigkeit, eine längere Lebensdauer und gute Wiedergabe-Ausgangssignale.
Aus dem obigen ergeben sich also die exzellenten magnetischen Eigenschaften, die hohe Wetterbeständigkeit und die lange Lebensdauer eines magnetischen Aufzeichnungsmediums, das mit wenigstens zwei dünnen, aufgedampften magnetischen Filmen versehen worden ist; diese Filme werden ausgebildet, indem der Einfallswinkel einer Dampfströmung auf ein bewegliches Basismaterial kontinuierlich von einem hohen Wert zu einem niedrigen Wert geändert wird. Weiterhin kann ein solches Magnetband ein hohes Wiedergabe-Ausgangssignal und ein niedriges Modulationsrauschen liefern.
Eine besonders gute Wetterbeständigkeit und Lebensdauer hat ein Magnetband, bei dem die oben beschriebenen, laminierten magnetischen, dünnen Filme auf eine Kunststoff-Basis mit einer Oberflächenrauhigkeit (ra) von 0,012 rm oder weniger aufgebracht worden sind. Dieses Magnetband liefert ein noch höheres Wiedergabe- Ausgangssignal und ein noch geringeres. Modulationsrauschen. Dementsprechend sind die Magnetbänder, die entsprechend den Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung präpariert worden sind, sehr geeignet unter dem Gesichtspunkt, die durch ein Aufdampfverfahren hergestellten Magnetbänder in der Praxis einzusetzen.
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Claims

Magnetisches Auf-zeichnungsmedium Patentansprüche Magnetisches Aufzeichnungsmedium, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t , daß es in einer Atmosphäre aus einem oxydierenden Gas durch Verdampfung eines magnetischen Metallmaterials von einer Verdampfungsquelle, die die Dampfströmung liefert, hergestellt wird, wobei die Dampfströmung auf ein bewegliches Basismaterial in einem bestimmten Winkel auftrifft und darauf in Schichten abgelagert wird, daß weiterhin eine aufgedampfte Schicht ausgebildet wird, indem mindestens zwei aufgedampfte Filmschichten übereinander gelegt werden, und daß jede aufgedampfte Filmschicht eine gebogene bzw. gekrümmte und geneigte Säulenstruktur hat, die ausgebildet wird, indem der Einfallswinkel der Dampfströmung auf das bewegliche Basismaterial kontinuierlich von einem hohen Wert auf einen niedrigen Wert verändert wird.
2. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die aufgedampften Filmschichten so übereinander gelegt werden, daß ihre jeweiligen geneigten Säulenstrukturen die gleiche Richtung in Bezug auf die Neigung haben.
3. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die aufgedampftenFilmschichten so übereinander gelegt werden, daß die einzelnen Neigungsrichtungen in ihren geneigten Säulenstrukturen sich schneiden können.
4. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Basismaterial auf der Seite, auf der der dünne, magnetische Film ausgebildet werden soll, eine Oberflächenrauhigkeit(ra) von 0,012 ßm oder weniger hat.
5. Magnetisches Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den dünnen, aufgedampften magnetischen Filmschichten eine nicht-magnetische Schicht vorgesehen ist.