DE3225215C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine federnde Aufhängung für einen Kraftumformer, z. B. Beschleunigungsmesser, der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Gattung.

Bei einem bekannten Beschleunigungsmesser (vgl. z. B. die US-PS 37 02 073) ist ein Fühler an einem Befestigungsorgan bzw. einem Haltering mittels einer federnden Aufhängung gesichert, die eine Verschiebung des Fühlers aufgrund der Einwirkung kleiner Kräfte relativ zu dem Haltering ermög­ licht. Bei einem solchen Beschleunigungsmesser kann die federnde Aufhängung bifilar aufgebaut sein, wobei sie aus zwei dünnen ebenen Elementen besteht.

Zum Vorsehen elektrischer Anschlüsse an Schaltungselemente, die auf dem Fühler angeordnet sind, können entweder biegsame Zuleitungen zwischen dem Haltering und dem Fühler verwendet werden, oder ein elektrisch leitfähiger Dünnfilm kann direkt auf die Aufhängung oder auf eine nichtleitende Beschichtung auf der Aufhängung, falls diese selbst elektrisch leitfähig ist, abgeschieden werden. Wenn solche Werkstoffe auf die Aufhängung niedergeschlagen werden, werden in der Aufhängung Spannungen aufgrund der verschiedenen Temperaturkoeffizien­ ten der Aufhängung und der leitfähigen Werkstoffe oder durch das Niederschlagsverfahren selbst erzeugt. Diese Spannungen haben wiederum Kräfte zur Folge, die danach trachten, den Fühler aus seiner Neutrallage zu verschieben. Bei Kraftum­ formern mit Servosystem, bei denen eine Rückstellkraft einwirkt, um den Fühler in der Neutrallage zu halten, wird infolge dieser Spannungen ein Auslenkungsfehler erzeugt. Bei Kraftumformern mit offenem Steuerkreis, bei denen der Auslenkungsbetrag des Fühlers erfaßt wird, wird ebenfalls ein Auslenkungsfehler erzeugt.

Aus der US-PS 33 39 419 ist ein Beschleunigungsmesser mit einem Fühler bekannt, dessen scheibenförmige träge Masse über einen federnden Verbindungssteg mit einem äußeren Haltering verbunden ist. Leitfähige Schichten auf der Ober- und Unterseite des scheibenförmigen Füh­ rungsbauteils bilden einen Teil eines Kondensators, dessen Kapazität sich entsprechend einer Auslenkung des Fühlers ändert. Die elektrische Verbindung zwischen den Leiter­ schichten des scheibenförmigen Fühlerbauteils und dem am Gehäuse befestigten Haltering erfolgt über Leiterstreifen, die auf der Oberfläche des Verbindungssteges aufgebracht sind. Da der Verbindungssteg aufgrund der Steifigkeitsan­ forderungen eine vorgegegeben Dicke hat, weisen die Leiter­ streifen einen relativ großen Abstand von der neutralen Biegelinie des federnden Verbindungssteges auf. Mechani­ sche Spannungen im Übergangsbereich von Leiterstreifen und Verbindungssteg bewirken somit Auslenkungen, welche die Genauigkeit des Beschleunigungsmessers beeinflussen können.

Ein aus der DE-AS 16 73 402 bekannter Beschleunigungsmes­ ser enthält eine als ringförmige Platte ausgebildete träge Masse, die über paarweise angeordnete flexible Gelenke mit einem innerhalb der ringförmigen Platte angeordneten Hal­ tebauteil verbunden ist. Die flexiblen Gelenke sind Me­ tallstreifen, die an gegenüberliegenden Seiten der trägen Masse angeordnet sind und eine Drehachse für die ringför­ mige Platte bilden. Durch Zusatzgewichte kann der Massen­ mittelpunkt der ringförmigen Platte in bezug auf deren Drehachse eingestellt werden, so daß bei einer entspre­ chenden Beschleunigung eine Drehbewegung der Platte um die Drehachse erfolgt. Ein elektromagnetisches Servosystem hält die ringförmige Platte in der Neutrallage, wobei die hierfür erforderliche Spannung als Meßwert für die Be­ schleunigung dient.

Bei solchen Kraftumformern, die leitfähige Beschichtungen verwenden, wird versucht, die Schichtspannungen dadurch auszugleichen, daß die Dünnschichten gleichmäßig auf der oberen und der unteren Fläche der Aufhängungsabschnitte vorgesehen werden. Bei diesen Ausführungen werden zwar Fehler in gewissem Umfang reduziert, es ist jedoch während des Niederschlagungsverfahrens ein genauer Abgleich erfor­ derlich, so daß die Filmdicke auf beiden Seiten des Aufhän­ gungsabschnitts gleich ist. Ferner hängt dieser Abgleich von der Stabilität der Filmspannung in bezug auf die Zeit sowie auch von weiteren Faktoren, z. B. der Umgebungstemperatur, der Werkstoffreinheit und der Oberflächenverschmutzung, ab.

Normalerweise ist es bei bekannten Kraftumformern erwünscht, die dünnschichtige Aufhängung zu verwenden, die noch mit den Festigkeits- und Elastizitäts-Anforderungen an einen ord­ nungsgemäßen Betrieb vereinbar ist, so daß die Spannungsaus­ wirkungen, die zu Auslenkungsfehlern führen, minimiert werden. Es wurde jedoch gefunden, daß die winkelmäßige oder auch lineare Federkonstante, die durch eine Aufhängung erhalten wird, der dritten Potenz ihrer Dicke t proportional ist, wogegen das Biegemoment der Aufhängung infolge von Spannungen, die durch das Aufbringen von leitfähigen Strei­ fen bewirkt wird, nur proportional der Dicke t ist. Wenn z. B. die Dicke der Aufhängung um 30% vermindert wird, so daß die dadurch gegebene Winkel-Federkonstante von 20 ^g /rad auf 7 ^g /rad geändert wird, wird das Fehlermoment, das durch Spannungsauswirkungen in der leitfähigen Beschichtung sich ergibt, nur um einen Faktor 1,42 verringert. Es ist somit ersichtlich, daß die Untergrenze des Bereichs annehmbarer Federkonstanten, die durch eine konventionelle Aufhängung erhalten werden, erreicht wird, lange bevor das Fehlermoment auf einen unerheblichen Wert verringert wird. Infolgedessen müssen bei diesen Aufhängungen Kompromisse zwischen der Erzielung der erwünschten Federkonstanten und Aufhängungs- Festigkeit und der Minimierung von Spannungsauswirkung, die zu Fehlern führen, geschlossen werden.

Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer federnden Aufhängung zum Verbinden des Fühlers eines Kraftumformers mit einem Befestigungsorgan, bei der die vorgenannten Nachteile minimiert werden.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst.

Dabei umfaßt die federnde Aufhängung einen zwischen dem Fühler und dem Befestigungsorgan verlaufenden Mittenabschnitt mit einer Fläche zur Aufnahme einer elektrisch leitfähigen Beschichtung sowie einer Rippe deren Dicke größer als diejenige des Mittenabschnitts ist und der sich zwischen dem Fühler und dem Befestigungsorgan erstreckt.

Gemäß der Erfindung kann eine federnde Aufhängung, die z. B. zum schwenkbarn Sichern eines Fühlers an einem Befesti­ gungsorgan eines Kraftumformers dient, bifilar ausgebildet sein, wobei jeder von zwei Aufhängungsabschnitten einen dünnen Mittenabschnitt und zwei relativ dicke Rippen auf jeder Seite des Mittenabschnitts zwischen dem Fühler und dem Haltering aufweist. Eine elektrisch leitfähige Beschichtung ist auf der oberen und der unteren Fläche jedes Abschnitts innerhalb des Mittenabschnitts und zwischen den Rippen angeordnet. Ferner ist vorteilhafterweise das leitfähige Material auf jeder Fläche derart vorgesehen, daß es von der neutralen Biegeachse der Aufhängung gleichbeabstandet ist.

Durch Vorsehen des leitfähigen Materials auf einem relativ dünnen Mittenabschnitt werden die durch Spannungen in dem leitfähigen Film bewirkten Biegemomente minimiert, wodurch wiederum Auslenkungsfehler erheblich verringert werden. Gleichzeitig ergibt sich durch die relativ dicken Rippen eine ausreichende Festigkeit und eine geeignete Federkon­ stante für die ordnungsgemäße Funktionsweise des Kraftum­ formers.

Anhand der Zeichnung wird die Erfindung beispielsweise näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 eine teilweise geschnittene perspektivische Explosionsansicht eines Beschleunigungsmessers, der die federnde Aufhängung nach der Erfindung aufweist;

Fig. 2 eine größere Draufsicht auf einen Teil des Feder-Masse-Systems von Fig. 1;

Fig. 3 eine Schnittansicht 3-3 nach Fig. 2;

Fig. 4 eine teilweise geschnittene (Schnittlinie 4-4 von Fig. 2) Vorderansicht; und

Fig. 5 eine perspektivische Schnittansicht eines anderen Ausführungsbeispiels der federnden Aufhängung.

Fig. 1 zeigt einen Kraftumformer in Form eines Beschleuni­ gungsmessers 10 mit Servosystem, der ine federnde Aufhän­ gung 12 aufweist. Der Beschleunigungsmesser 10 ist von der in der US-PS 37 02 073 angegebenen Art, die Erfindung kann aber auch in anderen Kraftumformern eingesetzt werden, die eine winkelmäßige oder geradlinige Bewegung eines Fühlers nutzen.

Der Beschleunigungsmesser 10 besteht aus zwei zylindrischen Gehäuseteilen 14 a, 14 b und einem zwischen diesen gesicherten Feder-Masse-System 16.

Die Gehäusehälften 14 a, 14 b sind im wesentlichen identisch ausgebildet, so daß nur die Gehäusehälfte 14 a erläutert wird. Diese umfaßt eine zylindrische Gehäusewand 17 mit einer nach innen verlaufenden Rippe 18, die ein magnetisches Polstück bildet und eine Bodenplatte 19 aufweist. Das Polstück 18 hat eine zylindrische Innenwandung 20, die eine Aussparung 22 bildet. Auf der Bodenplatte 19 ist innerhalb der Aussparung 22 ein zylindrischer Dauermagnet 24 gesi­ chert, dessen Außenumfangsfläche von der zylindrischen Innenwandung 20 beabstandet ist, so daß zwischen beiden ein Ringspalt 26 definiert ist.

Das Feder-Masse-System 16 weist einen auf eine Krafteinwir­ kung ansprechenden Fühler bzw. Flügel 30 auf, der schwenkbar mittels der federnden Aufhängung 12 an einem Haltering 32 befestigt ist.

Bei dem gezeigten Beschleunigungsmesser kann der Fühler 30 aufgrund der federnden Aufhängung 12 sich relativ zum Haltering 32 auf einer bogenförmigen Bahn bewegen. Selbst­ verständlich kann aber die federnde Aufhängung 12 auch in einem Meßumformer eingesetzt werden, bei dem eine geradlini­ ge Bewegung des Fühlers längs der Achse des Meßumformers 10 genutzt wird.

Auf der Ober- und der Unterseite 40, 41 des Fühlers ist jeweils eine Rückstell- oder Drehmomentspule 42 bzw. 43 befestigt. Die Rückstellspulen 42, 43 sind auf Spulenkörper gewickelt, die in den in jeder Gehäusehälfte 14 a, 14 b gebildeten Ringspalt 26 einsetzbar sind, wenn die verschie­ denen Teile des Beschleunigungsmessers 10 zusammengesetzt werden.

Auf der Oberseite 40 des Fühlers 30 ist eine Schicht aus elektrisch leitfähigem Werkstoff 45 niedergeschlagen. Eine ähnliche Schicht aus elektrisch leitfähigem Werkstoff ist auf der Unterseite 41 des Fühlers 30 niedergeschlagen. Diese elektrisch leitfähigen Schichten bilden zwei Kondensator­ platten, die mit einer Fläche 32 des Polstücks 18 und einer entsprechenden Fläche des Polstücks der Gehäusehälfte 14 b in Wechselwirkung treten, wie noch erläutert wird.

Drei Befestigungs-Druckunterlagen 34 (von dene eine nicht gezeigt ist) sind auf einer Oberfläche 36 des Halterings 32 angeordnet. Drei weitere Befestigungs-Druckunterlagen sind den Druckunterlagen 34 axial entgegengesetzt auf einer Unterseite 38 des Halterings 32 angeordnet.

Der Haltering 32 ist zwischen den Gehäusehälften 14 a, 14 b so gesichert, daß eine Lippe 23 der zylindrischen Gehäusewan­ dung 17 und eine entsprechende Lippe der Gehäusehälfte 14 b gegen die Befestigungs-Druckunterlagen wirken, und die Rückstellspulen 42, 43 sind in dem Ringspalt 26 bzw. in einem entsprechenden Ringspalt in der Gehäusehälfte 14 b aufgenommen.

Ein Paar veränderliche Kondensatoren 48, 49 sind in dem Beschleu­ nigungsmesser ausgebildet, wobei der eine aus der Fläche 21 und der Beschichtung auf der Unterseite 38 und der andere aus einer der Fläche 21 entsprechenden Fläche des Polstücks der Gehäusehälfte 14 b und der Beschichtung 45 auf der Oberseite 36 des Fühlers 30 besteht.

Die leitfähigen Schichten auf der Oberseite 40 und der Unterseite 41 sowie die Rückstellspulen 42, 43 sind an äußere Schaltkreise über vier elektrisch leitfähige Streifen 47 a-d angeschlossen, die über die federnde Aufhängung 12 zum Haltering 32 verlaufen. Die elektrischen Anschlüsse an externe Schaltkreise verlaufen vom Haltering 32 über vier Anschlußstifte (nicht gezeigt), die in den Wandungen der Gehäusehälften 14 a, 14 b positioniert sind.

Wenn der Beschleunigungsmesser 10 mit einer Beschleunigung längs seiner Achse beaufschlagt wird, bewegt sich der Fühler 30 relativ zum Haltering 32 und zu den Gehäusehälften 14 a, 14 b, was wiederum eine Änderung der Kapazität der Kondensa­ toren 48, 49 zur Folge hat. Die Kapazitätsänderung wird von einem Servosystem (nicht gezeigt) erfaßt, das seinerseits an die Rückstellspulen 42, 43 ein Signal anlegt, das der Kapazitätsänderung proportional ist. Das resultierende, von den Rückstellspulen 42, 43 erzeugte Magnetfeld tritt mit dem durch die Dauermagnete in den Gehäusehälften 14 a, 14 b erzeugten Magnetfeld in Wechselwirkung und wirkt der Ver­ schiebung des Fühlers 30 entgegen. Der von den Rückstellspu­ len 42, 43 benötigte Strom für das Halten des Fühlers 30 in einer Neutrallage repräsentiert die Beschleunigungskraft, die auf den Beschleunigungsmesser einwirkt.

Der Beschleunigungsmesser 10 ist im übrigen in der genannten US-PS 37 02 073 näher erläutert.

Die Fig. 2-4 zeigen im einzelnen die federnde Aufhängung 12. Konfiguration und Aufbau der federnden Aufhängung sind so bemessen, daß Spannungseffekte, die in der Grenzfläche zwischen den leitfähigen Streifen 47 und der federnden Aufhängung 12 auftreten und die wiederum einen Fehler am Ausgang der Anzeigeschaltung zur Folge haben, minimiert werden.

Wie insbesondere aus Fig. 2 ersichtlich ist, besteht bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel die federnde Aufhängung aus einem Rippen aufweisenden bifilaren Aufbau mit einem Paar Abschnitten 50, 52, die durch eine Öffnung 54 voneinander getrennt sind. Der Fühler 30, die Halterung 32 und die federnde Aufhängung 12 können aus einem einzigen Stück Quarzglas einstückig ausgebildet sein, wobei dieses durch Ätzen oder anderweitiges Bearbeiten die erwünschten Abmes­ sungen und die erwünschte Konfiguration erhält.

Alternativ kann die federnde Aufhängung 12 aus elektrisch leitfähigem Werkstoff bestehen, und in diesem Fall wird auf die federnde Aufhängung 12 vor dem Aufbringen der leitfähi­ gen Streifen 47 eine elektrisch nichtleitende Beschichtung aufgebracht.

Wie insbesondere aus Fig. 3 ersichtlich ist, die das bevor­ zugte Ausführungsbeispiel zeigt, hat jeder Abschnitt 50, 52 zwei Kanäle, die zwischen dem Haltering 32 und dem Fühler 30 verlaufen unter Bildung eines dünnen Mittenabschnitts 56 und eines Paars relativ dicker Rippen 58, 60, die zu beiden Seiten des Mittenabschnitts 56 positioniert sind. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel haben die Kanäle gleiche Tiefe, so daß die Dicke des Mittenabschnitts 56 weniger als ¹/₃ der Dicke der Rippen 58, 60 beträgt.

Nachstehend wird zusätzlich auf Fig. 4 Bezug genommen. Die leitfähigen Streifen 47 a, 47 b sind auf der Ober- und der Unterseite 62, 64 des Mittenabschnitts 56 vorgesehen. Die Dicke jedes leitfähigen Streifens 47 a-d beträgt ungefähr ¹/₁₀₀ der Dicke des Mittenabschnitts. Die leitfähigen Streifen 47 können aus einem geeigneten leitfähigen Werk­ stoff, z. B. Gold, bestehen. Es ist zu beachten, daß in den Fig. 3 und 4 zur besseren Verdeutlichung die Dicke der leitfähigen Streifen 47 a, 47 b übertrieben dargestellt ist.

Die Rippe 58 weist zwei Flächen 58 a, 58 b auf, die von den Flächen 62, 64 des Mittenabschnitts 56 im wesentlichen gleichbeabstandet sind. Ebenso weist die Rippe 60 zwei Flächen 60 a, 60 b auf, die ebenfalls von den Flächen 62, 64 im wesentlichen gleichbeabstandet sind.

Die Dicke der Rippen 58, 60 beträgt weniger als ¹/₁₀ der Dicke des Halterings 32 und des Fühlers 30. Die Dicke der Rippen 58, 60 bestimmt hauptsächlich die Federkonstante der federnden Aufhängung 12 und sorgt vor allem für die Festig­ keit der einseitig befestigten Haltekonstruktion.

Jeder Abschnitt 50, 52 ist ungefähr so breit wie lang, und seine Breite oder Länge ist ungefähr 50mal größer als die Dicke der Rippen 58, 60. Eine Aufstellung der verschiedenen Maße für das bevorzugte Ausführungsbeispiel ist nachstehend zusammen mit den in den Fig. 3 und 4 verwendeten Bezugsbuch­ staben gegeben:

Die Rippen 58, 60 sind zwar mit ebenen Seitenwandungen, die senkrecht zu den Flächen des Mittenabschnitts 56 verlaufen, z. B. mit den Wandungen 58 c und 58 d, dargestellt; diese Flächen können aber auch abgeschrägt oder gekrümmt mit kleinem Radius ausgebildet sein. Ferner können die Abschnit­ te der federnden Aufhängung im Bereich ihrer Verbindungs­ stelle mit dem Fühler 30 und dem Haltering 32 abgeschrägt oder gekrümmt ausgebildet sein, so daß sich ein gleichmäßi­ ger Übergang zwischen den Teilen im Gegensatz zu dem abrupten Übergang entsprechend den Figuren ergibt.

Durch Vorsehen eines dünnen Mittenabschnitts 56 und eines Paars relativ dicker Rippen 58, 60 werden auf die leitfähi­ gen Streifen 47 zurückgehende Spannungsauswirkungen mini­ miert, und gleichzeitig ist einer erwünschte Federkonstante für die federnde Aufhängung 12 im wesentlichen durch die Rippen 58, 60 bestimmt. Infolgedessen müssen bei der er­ wünschten Biegefestigkeit weniger Abstriche zur Verminderung von auf Spannungsauswirkungen zurückgehenden Fehlern gemacht werden, und dadurch bleibt die zu fordernde Robustheit des Meßinstruments aufrechterhalten, während gleichzeitig Auslenkungsfehler, die auf die leitfähige Beschichtung zurückgehen, erheblich reduziert werden. Ferner ist es erwünscht, die leitfähigen Streifen 47 so zu positionieren, daß sie von jeder Seite der neutralen Biegeachse oder Ebene der federnden Aufhängung gleichbeabstandet sind. Die neutrale Biegeebene ist als diejenige Ebene definiert, die keinem Zug oder keiner Kompression unterliegt, wenn die federnde Aufhän­ gung sich wölbt.

Das Ausführungsbeispiel nach den Fig. 2-4 kann dadurch modifiziert werden, daß die Öffnung 54 entfällt, so daß eine einzige Rippe die Mittenabschnitte der Abschnitte 50 und 52 trennt.

Ein weiteres Ausführungsbeispiel ist in Fig. 5 gezeigt, wobei eine federnde Aufhängung 62 einen Ringspalt 64 und ein dünnes ebenes Element 66 aufweist, auf dem der leitfähi­ ge Werkstoff oder Streifen 47 vorgesehen sind. Federnde Aufhängungen 62 der in Fig. 5 gezeigten Art können zur Bildung eines bifilaren federnden Aufhängungs-Aufbaus nach Fig. 1 kombiniert werden, wobei eine zweite federnde Aufhän­ gung 68 mit einem Rippenteil 70 und einem dünnen ebenen Organ 72 mit der federnden Aufhängung 62 zusammengefügt wird.

Eine solche kombinierte federnde Aufhängung kann unter gewissen Umständen erwünscht sein, um das Ansprechverhalten auf Lasten zu modifizieren, bei denen die Gefahr eines Knickens der federnden Aufhängung besteht. Alternativ kann die federnde Aufhängung 12 aus einer Serie von dünnen Mittenabschnitten bestehen, deren jeder von angrenzenden Mittenabschnitten durch eine relativ dicke Rippe getrennt ist. Bei dieser Vielrippenstruktur wird die Knickgefahr nahe der Mitte der federnden Aufhängung verringert. Ferner brauchen federnde Aufhängungen dieses Typs keine parallelen Flächen aufzuweisen, sondern können z. B. zum Fühler hin verjüngt ausgebildet sein, so daß eine federnde Aufhängung mit konstanter Festigkeit gebildet wird.

Ferner ist zu beachten, daß die vorstehend angegebene Möglichkeit zur Verminderung der Auswirkung von Spannungen einer Beschichtung auf einer federnden Aufhängung mit einem federnden Aufhängungs-Aufbau verwendet werden kann, der nicht notwendigerweise die Hauptstütze des Fühlers sein muß. Ein solcher Aufbau, bei dem ein Fühler mit einer Haltebasis verbunden ist, würde immer noch eine gewisse strukturelle Integrität erforden, während er gleichzeitig minimale Auslenkungskräfte oder Momente erzeugt. Ferner ist zu beachten, daß zwar bei der federnden Aufhängung nach den Fig. 1-4 der dünne Abschnitt 56 einstückig mit den dickeren Rippen 58 und 60 ausgebildet ist; es ist jedoch in manchen Anwendungsfällen nicht notwendig, daß der die leitfähigen Streifen 47 aufweisende dünne Abschnitt 56 körperlich mit den Stützrippen 58 oder 60 verbunden ist.

Claims (19)

1. Federnde Aufhängung für einen Kraftumformer, der einen Fühler mit einem elektrischen Bauelement aufweist, der mittels einer Aufhängung mit einem Befestigungsorgan ver­ bunden und gesichert ist, wobei die federnde Aufhängung aus mindestens einem Teil besteht und auf ihren Flächen mit einer elektrisch leitfähigen Beschichtung versehen ist, gekennzeichnet durch

• - einen Mittenabschnitt (56), der sich zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) erstreckt und zwei Flächen (62, 44) aufweist;
• - mindestens eine Rippe (58, 60) angrenzend an den Mitten­ abschnitt (56), wobei die Rippe (58, 60) eine größere Dicke als der Mittenabschnitt (56) aufweist; und
• - eine elektrisch leitfähige Beschichtung (47), die auf mindestens einer der Flächen (62, 64) vorgesehen ist und zwischen dem Fühler (30) und dem Befestigungsorgan (32) verläuft.

2. Aufhängung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Mittenabschnitt ein dünnes ebenes Element (56) mit zwei Flächen (62, 64) ist, wobei auf mindestens eine Flä­ che ein elektrisch leitfähiger Werkstoff (47) aufgebracht ist.

3. Aufhängung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Rippenpaar (58, 60) vorgesehen ist, das auf gegen­ überliegenden Seiten des Mittenabschnitts (56) posi­ tioniert ist.

4. Aufhängung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Rippen (58, 60) jeweils erste und zweite Flächen (58 a, 60 a, 58 b, 60 b) aufweisen, die parallel zu den Flä­ chen (62, 64) des Mittenabschnitts (56) verlaufen, daß die Dicke des Mittenabschnitts (56) geringer als ¹/₃ der Dicke der Rippen (58, 60) ist, und daß der Mittenabschnitt (56) von den ersten und den zweiten Rippenflächen (58 a, 60 a, 58 b, 60 b) gleichbeabstandet ist.

5. Aufhängung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Rippen (58, 60) eine Dicke von ca. 0,05 mm und der Mittenabschnitt (56) eine Dicke von ca. 0,012 mm aufwei­ sen.

6. Aufhängung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Mittenabschnitt (56) mit den Rippen (58, 60) ver­ bunden ist.

7. Aufhängung nach einem der Ansprüche 1, 2, 3 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Rippen (58, 60) mindestens dreimal so dick wie der Mittenabschnitt (56) sind.

8. Aufhängung nach einem der Ansprüche 1, 2, 3 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Mittenabschnitt (56) und die Rippen (58, 60) aus einem einzigen Stück ausgebildet sind.

9. Aufhängung nach einem der Ansprüche 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß das elektrisch leitfähige Material (47) auf jeder der Flächen (62, 64) so angeordnet ist, daß es von der neutra­ len Biegeachse der Aufhängung (12) gleichbeabstandet ist.

10. Aufhängung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jede Rippe (58, 60) eine erste und eine zweite Fläche (58 a, 60 a, 58 b, 60 b) aufweist, die parallel zu den Flä­ chen (62, 64) des Mittenabschnitts (56) verlaufen, daß die Dicke des Mittenabschnitts (56) weniger als ¹/₃ der Dicke der Rippen (58, 60) beträgt und daß der Mittenabschnitt (56) von den ersten und den zweiten Rippenflächen (58 a, 60 a, 58 b, 60 b) gleichbeabstandet ist.

11. Aufhängung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite des Mittenabschnitts (56) etwa seiner hal­ ben Länge entspricht.

12. Aufhängung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Rippen (58, 60) etwa der halben Breite des Mittenabschnitts (56) entspricht.

13. Aufhängung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der elektrisch leitfähigen Beschichtung (47) ca. ¹/₁₀₀ der Dicke des Mittenabschnitts (56) ist.

14. Aufhängung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Mittenabschnitt (56) eine Dicke von ca. 0,012 mm hat und die elektrisch leitfähige Beschichtung (47) um mindestens eine Größenordnung dünner ist.

15. Aufhängung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Rippen (58, 60) eine Dicke von ca. 0,05 mm und der Mittenabschnitt (56) eine Dicke von ca. 0,012 mm aufwei­ sen.

16. Aufhängung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen zweiten Mittenabschnitt, der an der Seite der Rippe gegenüber dem ersten Mittenabschnitt angeordnet ist.

17. Aufhängung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrisch leitfähige Beschichtung auf jeder der Flächen (62, 64) so vorgesehen ist, daß die Beschichtung (47) auf jeder Fläche von der neutralen Biegeachse der Aufhängung (12) gleichbeabstandet ist.

18. Aufhängung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Fühler (30), das Befestigungsorgan (32) und die Aufhängung (12) aus einem einzigen Stück Quarzglas besteh­ hen.

19. Aufhängung nach einem oder mehreren der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die leitfähige Beschichtung (47) eine Dicke von ca. 1400 Å aufweist.