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Kraftmesser
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Die Erfindung betrifft einen Kraftmesser mit einem unter Last federnd
nachgiebigen Messglied und mit einer Anordnung zur kapazitiven Erfassung der lastbedingten
Einfederung des Messgliedes, umfassend eine ortsfeste und eine dem Messglied zugeordnete
Elektrode.
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Derartige Kraftmesser sind beispielsweise aus der deutschen Offenlegungsschrift
29 41 378 und der europäischen Patentanmeldung 0 017 581 bekannt. Die bekannten
Kraftmesser zeichnen sich unter anderem durch einen relativ grossen Platzbedarf
insbesondere in vertikaler Richtung (Richtung der Krafteinleitung) aus, in erster
Linie bedingt durch die Bauhöhe der das Messglied und die Abtastung umfassenden
Messzelle.
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Die vorliegende Erfindung entstand aus der Aufgabe, einen Kraftmesser
mit auch in vertikaler Richtung kompaktem Aufbau zu schaffen, der gute Messeigenschaften
hat und sich für wirtschaftliche Serienherstellung in reproduzierbar guter Qualität
eignet. Diese Aufgabe ist im wesentlichen
dann gelöst, wenn die
Messzelle den genannten Bedingungen entspricht. Dementsprechend schlägt die Erfindung
vor, dass bei einem Kraftmesser der eingangs genannten Art das Messglied aus Silizium
besteht und mit einer Dünnschichtelektrode versehen ist, dass die ortsfeste Elektrode,
ebenfalls als Dünnschichtelektrode, auf einem Substrat angeordnet ist, und dass
das Messglied mit dem Substrat über Abstandshalter unlösbar zu einer Baugruppe verbunden
ist. Wie später anhand von Beispielen deutlich werden wird, lassen sich unter Verwendung
moderner Techniken und Materialien nach diesem Konzept sehr kompakte und einfach
zu handhabende Messzellen herstellen.
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Als Material für das Messglied kommt in erster Linie Reinsilizium
in Form von Einkristallen infrage. Dabei haben sich Einkristalle in (111)- oder
(100)-Orientierung als besonders vorteilhaft erwiesen, im Hinblick sowohl auf das
Aetzverhalten wie auch auf das mechanische Verhalten.
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In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung besteht das Substrat
aus einem Borsilikatglas, dessen Wärmedehnung derjenigen des Messgliedes weitgehend
entspricht. Eine andere vorteilhafte Ausbildung ist dadurch gekennzeichnet, dass
das Substrat ebenfalls aus Silizium besteht.
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Die Abstandshalter sind vorzugsweise durch Aetzung des Substrates
oder des Messgliedes gebildet. Eine andere vorteilhafte Möglichkeit besteht darin,
die Abstandshalter durch aufgetragene Schichten zu bilden. Die Abstandshalter weisen
zweckmässigerweise die Form von Kreisringabschnitten auf oder aber sind rechteckig.
Im letzteren Fall bietet sich beispielsweise die Methode des anisotropen Aetzens
(bei Silizium der Orientierung 100) an.
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In einer bevorzugten Ausgestaltung bilden die Elektroden Kreisflächen,
welche von je einer Ringelektrode zur Homogenisierung des elektrischen Feldes (und
damit zur Unterdrückung
von Streukapazitäten) umgeben sind.
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In einer anderen zweckmässigen Ausgestaltung sind die Elektroden rechteckig,
was in manchen Fällen eine bessere Flächenausnützung erlaubt.
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In einer vorteilhaften Ausbildung ist das Messglied rechteckig, wobei
ein zentrales Kraftaufnahmeelement über Biegelager bildende Dünnstellen mit einem
steifen Rahmen verbunden ist.
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Um beispielsweise Feuchtigkeitseinflüsse zu vermeiden, kann die Baugruppe
hermetisch verschlossen sein.
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In manchen Fällen ist es zweckmässig, wenn die Baugruppe als Dielektrikum
ein nichtleitendes Fluid enthält. Dabei kann es sich z. B. um Oel handeln, wodurch
ebenfalls das Eindringen von Luftfeuchtigkeit vermieden wird.
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Eine vorteilhafte Variante wird darin gesehen, dass die Anschlussbahnen
für die Elektroden in das Messglied bzw. das Substrat eindiffundiert sind. Damit
kann die bei Verwendung der Dünnfilmtechnik unter Umständen störende Erhöhung reduziert
werden.
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Zur Eliminierung gewisser Störeinflüsse und zur Erhöhung des Messsignals
sieht eine weitere vorteilhafte Ausbildung vor, dass das Messglied zwischen zwei
Substraten mit je einer ortsfesten Elektrode angeordnet ist.
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Um von Temperaturschwankungen und anderen Störgrössen unabhängig zu
sein, ist es zweckmässig, Referenzglieder vorzusehen. Dementsprechend wird in einer
weiteren Ausbildung der Erfindung vorgeschlagen, dass auf einem gemeinsamen Substrat
ein Messglied und ein Referenzglied angeordnet sind. Eine bevorzugte Ausführungsform
dieser Variante ist dabei dadurch gekennzeichnet, dass das Messglied und das Referenzglied
ein
gemeinsames Bauteil bilden, wobei zusätzliche Abstandshalter den Elektrodenabstand
des Referenzteils lastunabhängig konstant halten. Alternativ könnten zwei gleichartige
Sensoren zueinander benachbart angeordnet sein, wobei ein Sensor mit der Messkraft
beaufschlagt wird und der zweite nicht.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden anhand der
nicht massstäblichen Zeichnungen erläutert.
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In den Zeichnungen ist Figur 1 ein Schnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel,
entlang der Linie 1 - 1 in Figur 2, Figur 2 eine Draufsicht, Figur 3 ein Querschnitt
entlang 3 - 3 in Figur 4, Figur 4 ein Diagonal schnitt entlang 4 - 4 in Figur 3,
einschliesslich Oberteil, Figur 5 ein Blockschema von Schaltung und Auswertung,
Figur 6 ein Schnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel, Figur 7 ein Schnitt durch
ein drittes Ausführungsbeispiel, Figur 8 ein Schnitt (entlang 8 - 8 in Figur 9)
durch ein viertes Ausführungsbeispiel, und Figur 9 eine Draufsicht auf das vierte
Ausführungsbeispiel.
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Beispiel I (Figuren 1 bis 5) Eine Messzelle 10 umfasst ein Messglied
12 in Form eines quadratischen Silizium-Einkristalls und ein Substrat 14 aus Glas,
etwa doppelt so dick wie das Messglied und ebenfalls quadratisch. Das Substrat 14
ist in einer stabilen Konsole 16 aus Metall eingeklebt. Die Messkraft F wird mittig
auf das Messglied 12 aufgebracht.
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Die mechanischen Elemente, die den Kraftmesser vervollständigen, tragen
nichts zum Verständnis der Erfindung bei und wurden daher weggelassen (z. B. Führung
und Ausbildung des Kraftaufnehmers, Gehäuse etc.). Sie können beispielsweise nach
Art der in der US-Patentschrift 4,291,776 beschriebenen Anordnung ausgestaltet sein.
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Die Ausbildung von Messglied 12 und Substrat 14 wird besonders deutlich
aus den Figuren 3 und 4. Das Substrat 14 weist vier Kreisringabschnitte 24 auf,
die die Funktion von Abstandshaltern haben. Die Zwischenräume 26 dienen zum einen
der Ventilation (Druck- und Temperaturausgleich), zum anderen dem Durchführen elektrischer
Anschlüsse. Die von den Kreisringabschnitten 24 begrenzte Innenfläche zeigt eine
dünne Elektrode in Form eines Ringes 28 mit zugehöriger Anschlussstelle 30 und Anschlussdraht
32 sowie eine Kreiselektrode 34 mit Anschlussstelle 36 und Anschlussdraht 38.
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Das Messglied 12 (in Figur 3 nicht sichtbar) weist auf seiner dem
Substrat 14 zugekehrten Fläche die gleiche Anordnung auf, bestehend aus Kreiselektrode
34' mit Anschlussstelle 36' und -draht 38' sowie Ringelektrode 28' mit Anschlussstelle
30' und -draht 32'. Die je zwei Kreis- und Ringelektroden 34, 34' bzw. 28, 28' liegen
einander genau gegenüber, während die Anschlussstellen (30, 32, 30', 32' und 36,
38, 36', 38') diagonal versetzt sind: Die jeweils gegenüberliegende Ecke des Gegenstücks
(Messglied 12 bzw. Substrat 14) ist aus Raumgründen (Zugänglichkeit der elektrischen
Anschlüsse) entfernt.
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Es ist hervorzuheben, dass die Zeichnungen zwar nicht massstäblich,
jedoch stark vergrössert sind. Sowohl das Messglied 12 als auch das Substrat 14
des Beispiels weisen eine Fläche von nur etwa einem Quadratzentimeter auf, und ihre
Dicke beträgt jeweils nur wenige Millimeter. Der Abstand der Elektroden 34, 34'
voneinander liegt in der Grössenordnung von einigen Mikrometern.
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Das Blockschema der Figur 5 lässt die wesentlichen Elemente der elektrischen
Schaltung erkennen. Der aus den Kreiselektroden 34, 34' bestehende Messkondensator
ist über Signalleitungen 67, 67' an die beiden Eingänge eines Oszillators 66 (z.
B. vom Typ 74 LS 624 von Texas Instruments) angeschlossen. Er liegt an einer Betriebsspannung
von z. B.
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5 Volt. Die beiden Ringelektroden 28, 28 (fachsprachlich oft als 'guard
rings' bezeichnet) sind über je einen Trennverstärker(1:1) 68, 68 an die Signalleitungen
67, 67' geführt.
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Die beiden Trennverstärker 68, 68' haben einen hochohmigen Eingang
und einen niederohmigen Ausgang. Dadurch ergibt sich eine weitgehende Entstörung
des Messsignals bezüglich variabler Streukapaz itäten.
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Alternativ könnte auch ein anders aufgebauter Oszillator (66) verwendet
werden, z. B. vom Typ LM 331 von National Semiconductor. In diesem Fall-wäre eine
Messelektrode und eine Ringelektrode an Erde zu legen, und es könnte so einer der
beiden Trennverstärker eingespart werden, da Streukapazitäten gegen Erde sich praktisch
nicht auf das Messsignal auswirken.
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Beim Vorliegen von stromgesteuerten Oszillatoren mit Eigangswiderständen
von virtuell null könnte sogar auf die Ringelektroden 28, 28' verzichtet werden.
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Die vom Oszillator 66 erzeugten Impulse werden während vorgegebener
Perioden von einem Zähler 70 gezählt, die Summen in einen Speicher 72 übernommen
und dann in einem Mikrocomputer 74 zum fertigen Messresultat verrechnet. Ueber einen
vom Mikrocomputer 74 gesteuerten Decoder/Treiber 76 gelangt das Resultat dann zur
Digitalanzeige 78. Ein Taktgeber (Quarzoszillator) 80 liefert die Grundfrequenz
auch für den Mikrocomputer 74 sowie, über einen als Teiler wirkenden Zähler 82,
die Steuersignale für den Beginn der Zählung, das Rücksetzen des Zählers 70 und
die Uebernahme der Impuls summen in den Speicher 72 und von dort in den Mikrocomputer
74.
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Das Messprinzip ist bekannt und bedarf daher nur einer kurzen Erwähnung:
Unter Last federt das Messglied 12 ein, die Kapazität des Messkondensators (Elektroden
34, 34') verändert sich. Aus der entsprechend veränderten Frequenz am Ausgang des
Oszillators 66 lässt sich die wirkende Kraft (im Falle einer Waage: das Gewicht)
ermitteln.
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Herstellung der Baugruppe a) Messglied 12 Mittels Dünnfilmtechnik
(z. B. Bedampfung) werden metallische Schichten aus einem Titan-Wolfram-Gemisch
sowie aus Gold auf einen Silizium-Einkristall aufgebracht. Mittels Photolithographie
werden aus der Metallschicht (Dicke in der Grössenordnung von einem Mikrometer)
die Ring- und die Kreiselektrode 28' bzw. 34' und die zugehörigen Anschlussstellen
30' bzw.
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36' geformt. Die Anschlussdrähte 32', 38' aus Gold werden nach der
als 'thermocompression bonding' bekannten Methode angebracht.
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b) Substrat 14 Es wird ein alkalihaltiges Borsilikatglas geringer
Wärmedehnung verwendet (z. B. Schott 8330 oder Corning 7740). Das Glas wird mit
z. B. durch Kathodenzerstäubung (Sputtern) aufgebrachten dünnen Metallschichten
aus einem Titan-Wolfram-Gemisch und Gold versehen und mit einem anschliessenden
photolithographischen Prozess maskiert. Danach wird mit Flusssäure die Oberfläche
geätzt, es entstehen die Abstandhalter in Form der Kreisringabschnitte 24. Dann
wird die auf letzteren verbliebene Maskenschicht entfernt.
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Darauf folgt die Beschichtung mit den Elektroden und Anschlussstellen
sowie das Aufbonden der Anschlussdrähte, wie oben unter a) beschrieben.
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Sowohl das Messglied 12 als auch das Substrat 14 werden zweckmässigerweise
nicht in Einzelstücken erzeugt, sondern nach bekannter Vielfachkopiermethode hergestellt,
beispielsweise ausgehend von einem Standardformat von 4 x 4 Zoll, welches dann zertrennt
wird.
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c) Herstellen der Baugruppe Jeweils ein Messglied 12 und ein Substrat
14 werden aufeinander gelegt und so positioniert, dass die Elektroden einander gegenüberliegen.
Dann werden die beiden Elemente durch anodisches Bonden (bei einer Temperatur. von
etwa 400 Grad Celsius und einer Spannung von etwa 800 Volt während ca. 10 Minuten)
miteinander verbunden.
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Alternativ zur Paarung Glas/Silizium könnten auch beide Elemente aus
Silizium bestehen. Diese Variante hätte den Vorteil, dass man wegen des gleichen
Materials nicht auf Unterschiede in den mechanischen Eigenschaften wie auch im Wärmeverhalten
Rücksicht nehmen müsste. Andererseits muss dann eines der Elemente mit einer (beispielsweise
aufgesputterten) Glasschicht versehen werden, um das abschliessende anodische Bonden
zu ermöglichen.
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Alternativ könnten Messglied 12 und Substrat 14 auch durch die Wärmedruckmethode
(thermocompression bonding') verbunden werden, nachdem die Verbindungsstellen durch
Beschichtung mit Gold oder einem anderen geeigneten Metall entsprechend vorbereitet
wurden. Sind die beiden Elemente 12 und 14 aus Silizium, so können sie auch mittels
eutektischer Gemische von Silizium mit z.B. Gold oder Aluminium verbunden werden.
Je nach den Gegebenheiten oder Anforderungen können in an sich bekannter Weise weitere
Schichten zweckmässig sein, so z.B. als elektrisch isolierende Schicht zwischen
Messglied bzw. Substrat und Elektrode und/oder als Schutzschicht gegen Feuchtigkeit
über den Elektroden und zugehörigen Leiterbahnen.
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Als Materialien hierfür kämen beispielsweise Aluminiumoxid oder Siliziumdioxid
oder Siliziumnitrid in Betracht.
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Beispiel II (Figur 6) Das zweite Beispiel zeigt einen differentiell
wirkenden Kraftmesser, der rotationssymmetrisch aufgebaut ist.
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Au5 einer Konsole 40 ist ein zylindrisches Substrat 42 aus Glas (oder
Silizium) befestigt. Es weist einen dünnen, umlaufenden Kragen 44 auf. Das runde
Messglied 46 aus Silizium verfügt über einen geschlossenen äusseren Kranz 48 sowie
über mehrere vertikale Oeffnungen 50. Den oberen Abschluss der Baugruppe bildet
ein als Verteilplatte5irkendes zweites Substrat w aus Glas oder Silizium in Form
eines Zylinderabschnittes. Elektroden 54 - 60 in Form von konzentrischen Kreisflächen
sind angebracht auf der Oberseite des Substrates 42 (54), auf beiden Seiten des
Messgliedes 46 (56, 58) und auf der Unterseite der Verteilplatte 52 (60). Die drei
Elemente 42, 46 und 52 sind wiederum zu einer Baugruppe fest verbunden, und zwar
umlaufend über die Berührflächen 61.
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Es resultiert eine hermetisch geschlossene und damit z. B.
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gegen Feuchtigkeit dichte Baugruppe. Den Druckausgleich zwischen oberem
und unterem Raum erlauben die Durchlässe 50.
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Wird über einen Kraftverteiler 62 mit äusserem Ringfuss 64 eine Kraft/eFingeleitet,
so führt diese Kraft zu einer konzentrischen Verwölbung: Der Kranz 48 wird nach
unten ausgelenkt, der Mittelteil des Messgliedes 46 wandert nach oben.
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Dementsprechend ändern sich in gegenläufigem Sinn die Kapazitäten
zwischen den Elektroden 54 und 56 bzw. 58 und 60.
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Werden die beiden entsprechend erhöhten bzw. erniedrigten Ausgangssignale
beispielsweise mittels einer Quotientenbildung (C1/C2 oder besser C1-C2/Cl+C2) ausgewertet,
so resultiert daraus eine Eliminierung einiger Störgrössen wie z. B.
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Schwankungen der Temperatur.
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Die elektrische Schaltung kann derjenigen gemäss Figur 5 entsprechen.
Es sind lediglich die Komponenten für die zusätzlichen Kondensatorelektroden 58,
60 zu ergänzen (Oszillator 66',
Zähler 70', Speicher 72'). Ferner
wäre das Arbeitsprogramm des Mikrocomputers 74 entsprechend anzupassen. Wie der
die Trennverstärker 68, 68' betreffende Teil der Schaltung auszugestalten ist, hängt
im Sinne der Ausführungen zu Beispiel I davon ab, welcher Oszillator (66, 66') verwendet
wird und ob entsprechende Ringelektroden (28, 28') vorgesehen sind (in Figur 6 nicht
gezeichnet). Alle hier genannten Modifikationen sind für sich gesehen dem Fachmann
geläufig und bedürfen daher keiner näheren Darstellung.
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Beispiel III (Figur 7) Ein rundes Substrat 84 aus Silizium verfügt
über eine Kreiselektrode 86 und eine Ringelektrode 88. Ein rundes Messglied 90,
dünner als das Substrat 84 und von etwas kleinerem Durchmesser, weist die entsprechenden
Gegenelektroden 86' und 88' auf. Zwei Abstandshalter 91, 92 in Form von durch Unterbrechungen
getrennten Kreisringabschnitten sind vorgesehen. Sie trennen den Bereich der Ringelektroden
88, 88' von demjenigen der Kreiselektroden 86, 86'. Bei mittiger Belastung durch
die Messkraft F wird nur der Zentralbereich innerhalb der Abstandshalter 92 einfedern,
der Abstand zwischen den Ringelektroden 88, 88' dagegen bleibt konstant. Auf diese
Weise sind ein Messsensor und ein Referenzsensor in einer integralen Baugruppe vereinigt.
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Die Anordnung der Zuleitungen zu den Elektroden entspricht im wesentlichen
derjenigen gemäss Beispiel I (vgl. Figuren 1 - 4), ebenso die Herstellung der Baugruppe.
Lediglich die Abstandshalter 91, 92 sind in diesem Fall anders erzeugt, nämlich
durch Aufbringen (Aufsputtern) einer Glasschicht der gewünschten Höhe (einige Mikrometer)
durch eine Maske.
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Beispiel IV (Figuren 8 und 9) Das letzte Ausführungsbeispiel zeigt
eine Messzelle in rechteckiger Gestalt. Ein Substrat 94 verfügt über eine quadrati-
sche
Elektrode 96 (sie könnte auch rund sein) und eine diese umgebende rechteckige (hier:
quadratische) Rahmenelektrode 98.
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Ein Messglied 100 mit quadratischer Grundfläche weist am Boden eine
ebenfalls quadratische, durch Aetzen erzeugte Ausnehmung 102 auf, in welcher die
Elektrode 96' und die Rahmenelektrode 98' angeordnet sind. Das Zentrum 104 des Messgliedes
100 hat etwa die Form eines Pyramidenstumpfs und dient zur Aufnahme der Messkraft,
die punktförmig oder als Flächenkraft eingeleitet werden kann. Für den ersten Fall
ist eine Vertiefung 105 in der Mitte des Zentrums 104 vorgesehen; im zweiten Fall
mag eine Kappe 107 verwendet werden (vgl.Figur 8) Es ist über vier rechteckige,
als Biegelager wirkende dünne Streifen 106 mit dem äusseren steifen Rahmen 108 verbunden.
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In den vier Ecken sorgen Durchbrechungen 110 für gegenseitige Trennung
der Biegelager. Der die Ausnehmung 102 begrenzende umlaufende Fuss 109 des Rahmens
108 hat die Funktion des Abstandhalters.
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In Figur 9 sind rechts zwei Lötstellen 112, 114 erkennbar mit Anschlussdrähten
116, 118. Links im Bild sind zwei weitere Lötstellen 120, 122 zu sehen mit Drähten
124, 126. Lötstelle 114 gehört zur (unteren) Elektrode 96, Lötstelle 122 zur (oberen)
Elektrode 96'. Entsprechend gehören die Lötstelle 112 zur (unteren) Rahmenelektrode
98 und die Lötstelle 120 zur (oberen) Rahmenelektrode 98'. Die elektrische Verbindung
zwischen den oberen Elektroden und den Lötstellen auf dem Substrat 94 geschieht
dadurch, dass die entsprechendenLeiterbahnenabschnitte 128, 130 auf dem Messglied
100 und auf dem Substrat 94 vorgesehen sind. Beim Zusammenfügen der Baugruppen durch
anodisches Bonden (gemäss c) in Beispiel I) nach gehörigem Positionieren werden
die jeweils zusammengehörenden Leiterbahnabschnitte 128 bzw. 130 durch 'thermocompression
bonding' leitend verbunden. Anschliessend können dann die Drähte (116, 118, 124,
126) angefügt werden.
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Bei Belastung des Messgliedes 100 federt nur der Innenteil ein, während
der starre Rahmen 108 seine Lage nicht ändert.
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Dementsprechend wirken die Elektroden 96, 96' wiederum als Messteil
und die Elektroden 98, 98' als Referenzteil.
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Ein Vorteil der Ausgestaltung mit starrem Zentrum 104 ist darin zu
sehen, dass der Elektrodenabstand bei der Einfederung sich über die ganze Fläche
praktisch gleich verändert (Parallelführung des Zentrums 104 durch die Biegelager
106); daraus resultiert ein höheres Messsignal als im Falle einer Verwölbung (wie
bei den Beispielen I bis III). -Für gesteigerte Ansprüche an die Messqualität ist
es möglich, gesonderte Fühler für einzelne Störgrössen (z. B. Temperatur, Luftdruck,
Feuchtigkeit) vorzusehen, mit deren Ausgangsgrössen dann jeweils einen weiteren
Oszillator zu beaufschlagen und die resultierenden Frequenzen auszuzählen und nach
entsprechenden Korrekturformeln im Mikrocomputer zum korrigierten Messwert zu verrechnen.
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Es versteht sich, dass die oben beschriebene Signalwandlung nur ein
Beispiel ist. Andere Methoden sind gleichermassen anwendbar, so z. B. im Falle der
Beispiele II und III die bekannte Brückenschaltung nach Wheatstone.
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In weiterer Ausgestaltung des erfindungsgemässen Kraftmessers könnten
in die aus Messglied und Substrat bestehende Baugruppe noch weitere Elemente integriert
werden, so z. B.
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elektronische Bestandteile der Auswerteschaltung in Form von integrierten
Schaltungen auf dem Substrat (wofür das Substrat entsprechend zu verbreitern wäre),
was den Herstellungsprozess des Kraftmessers weiter rationalisieren würde.
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Abschliessend sei nochmals auf einige wesentliche Aspekte der beschriebenen
Kraftmesser hingewiesen: Zur Erzielung möglichst grosser lastbedingter Kapazitätsänderungen
(und damit grosser Messsignale) sind genau erfassbare kleine Abstände zwischen den
Elektroden erwünscht bzw. notwendig.
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Diese kleinen Abstände werden ermöglicht durch die Verwendung von
Glas und/oder Silizium, die heute in guter Ober flächenqualität zur Verfügung stehen.
Unter Anwendung von Dünnfilm- und Aetztechniken wird damit die Erfüllung
obiger
Bedingung ermöglicht, ohne dass es präziser (und damit teurer) mechanischer Teile
bedarf. Eine kostengünstige Serienherstellung ist so realisierbar. Die guten mechanischen
Eigenschaften insbesondere des Reinsiliziums (z. B. hinsichtlich geringer Kriechneigung
und der im interessierenden Bereich praktisch idealen Federkennlinie) gewährleisten
dabei gute Messqualität.
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In den beschriebenen Beispielen wurden die Elektroden durch Aufbautechniken
wie Sputtern.oder Aufdampfen erzeugt. Im Rahmen der Erfindung könnten auch andere
bekannte Techniken angewendet werden, wie z.B. hohes Dotieren von Silizium-Substraten.
Alle diese Varianten sollen durch den Begriff "Dünnschichtelektroden" umfasst sein.
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