DE3211956A1

DE3211956A1 - Strahlungsdetektor

Info

Publication number: DE3211956A1
Application number: DE19823211956
Authority: DE
Inventors: Masatoshi Otawara Tochigi Hanakawa
Original assignee: Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1981-03-31
Filing date: 1982-03-31
Publication date: 1982-11-11
Also published as: DE3211956C2; NL191032B; FR2503381A1; JPH0130116B2; JPS57161677A; NL191032C; US4476390A; FR2503381B1; NL8201262A

Description

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Henkel, Kern, Feiler & Kanzel Patentanwälte

Registered Representatives before the - 4 - European Patent Office

Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Möhlstraße 37

. . . ^ D-8000 München 80

Kawasaki / Japan *

Tel.: 089/982085-87

Telex: 0529802 hnkl d

Telegramme: ellipsoid

CMY-56P1447-2

Strahlungsdetektor

Die Erfindung betrifft einen Strahlungsdetektor für ein rechnergestütztes Tomographiegerät. ν

Es ist ein Rechnertomograph bekannt, mit dem ein Bild eines Querschnitts eines Untersuchungsobjekts, z.B. des menschlichen Körpers, mittels Strahlung, z.B. Röntgenstrahlung, wiedergegeben werden kann.

Die in den Fig. 1 und 2 dargestellte bisherige Vorrichtung besteht aus einem Röntgenstrahier 1 zur Ausstrahlung eines fächerförmigen Röntgenstrahlenbündels FX und einem Röntgendetektor 2 mit einer dem Röntgenstrahier 1 gegenüberstehend angeordneten Anordnung bzw. Reihe von Röntgenstrahlungs-Meßzellen. Ein zu untersuchendes Objekt P wird zwischen den beiden Einheiten 1 und 2. angeordnet. Fig. 2 veranschaulicht den Fall, in welchem ein Spreizwinkel Θ2 zwischen den Randröntgenstrahlen kleiner ist als der Winkel Θ1 gemäß Fig. 1. Strahler 1 und Detektor 2 rotieren um das Objekt P längs derselben ümfangsbahn in gleicher Richtung und mit derselben Winkelgeschwindigkeit, um dabei die

Röntgen-Projektionsdaten des Objekt-Querschnitts von jeder Winkelstellung des Objekts her zu gewinnen. Die gewonnenen Daten werden in ein elektrisches Signal umgesetzt, das seinerseits durch einen elektronischen Rechner ausgewertet wird, um die Absorptionsindizes der Röntgenstrahlung an jeder Stelle des Objekt-Querschnitts zu berechnen. Ein Bild des Objekt-Querschnitts wird durch Lieferung von Tonwerten entsprechend der Absorptionskonstante zum Anzeige- oder Wiedergabeabschnitt rekonstruiert. Die Vorrichtung mit dem beschriebenen Aufbau vermag ein klares bzw. scharfes Tomogramm für weiche bis harte Organismen zu liefern.

Der Röntgendetektor 2 umfaßt eine Anzahl von Meßzellen aus jeweils zwei Vorspannelektrodenplatten und einer Signalelektrodenplatte, die einander abwechselnd angeordnet und miteinem ionisierbaren Gas, z.B. Xenon, unter hohem Druck gefüllt sind. Die durch das Objekt P übertragene Röntgenstrahlung tritt in jede eine Ionenkammer bildende Meßzelle ein, in welcher diese Strahlung als Ionisationsstrom erfaßt wird. Der Ionisationsstrom jedes Röntgenstrahlengangs (einer den Strahler 1 mit der Meßzelle verbindenden Strecke) wird in bezug auf die Zeit integriert. Die integrierte Größe des Stroms wird durch eine Ausgabeschaltung mit einer vorgegebenen Zeitkonstante ausgegeben. Diese Ausgabezeit wird dabei für die Röntgentomographiedaten in jedem Röntgenstrahlengang benutzt. Wenn hierbei die Datengewinnung auf einem Punkt der Umfangsbahn abgeschlos-

sen ist, bewegen sich die genannten Einheiten zur Durchführung einer ähnlichen Datengewinnung zum nächsten Punkt.

Ein Beispiel für einen Strahlungsdetektor des Mehrkanaltyps ist in den Fig. 3 bis 6 dargestellt. Ein Körper 3 ^OJ des Detektors weist eine Ausnehmung 4 zur Aufnahme einer Anzahl von Elektroden und ein für Röntgenstrahlung durch-

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lässiges Fenster 5 auf, wobei die Seitenwand an der Strahlungs-Einfallsseite gegenüber der restlichen Wand entsprechend einem Spreizwinkel θ des fächerförmigen Röntgen-Strahlenbündels teilweise dünner ausgebildet ist, so daß die Röntgenstrahlungsenercfie die eingebauten Meßzellen in ausreichender Größe erreichen kann. Die die Meßzellen enthaltende Ausnehmung 4 ist mit einer Abdeckung 6 versehen und mit einem ionisierbaren Gas, wie Xenon, unter hohem

TO Druck gefüllt. Weiterhin sind in der Ausnehmung 4 gemäß Fig. 5 Signalelektrodenplatten 10 für Signalabgriff und Vorspannelektrodenplatten 11 zur Anlegung einer Hochspannung einander abwechselnd angeordnet. Die Elektrodenplatten 10 und 11 sind an oberen und unteren Enden mit festem Sitz in komplementäre Nuten von Tragelementen 12 eingesetzt, so daß sie in gleichen vorgegebenen Abständen gehaltert sind. Eine Signalelektrodenplatte 10 und zwei zu beiden Seiten derselben angeordnete Vorspannelektrodenplatten 11 bilden eine Meßzelle. Gemäß Fig. 6 sind zahlreiche Meßzellen in der Ausnehmung 4 des Körpers 3 untergebracht. Die Vorspannelektrodenplatten 11 sind an eine einzige (gemeinsame ) Leitung 14 für die Hochspannungsanlegung angeschlossen. Die Signalelektrodenplatten 10 sind jeweils mit einer Leitung 13 zum Herausführen von Signalen aus den Meßzellen verbunden.

Bei einem Rechnertomographen müssen die Strahlungsquelle und der Strahlungsdetektor mit großer Genauigkeit in einer vorgegebenen Lage oder Ausrichtung angeordnet sein, wenn ein genaues Bild des Objekt-Querschnitts erhalten werden soll. Insbesondere müssen die Meßzellen des Strahlungsdetektors so angeordnet sein, daß sie den Spreizwinkel θ der fächerförmigen Strahlung vom Strahler einwandfrei überdecken. Weiterhin müssen die Meßzellen parallel zu vom Strahler ausgehenden Radiallinien angeordnet sein, um die Strahlung wirksam erfassen bzw. messen zu können. Im all-

gemeinen sind die Meßzellen so ausgelegt und vorgefertigt, daß ihre Öffnungen auf die Strahlungsquelle gerichtet sind. Daher ist es zulässig, den Brennpunkt der Strahlungsquelle einfach mit dem Kreuzungs- oder Schnittpunkt jeder Meßzelle in deren Öffnungsrichtung koinzidieren zu lassen. Wenn ein Ausrichtfehler der Strahlungsquelle vorliegt, weicht die Öffnungsrichtung der Meßzelle von der Einfallsrichtung der Strahlung ab. In diesem Fall erfaßt die Vorrichtung die Energie der einfallenden Strahlung ungenau oder fehlerhaft, so daß ein Gegenstand (artifact) als virtuelles Bild im erzeugten Bild erscheint. Aus diesem Grund ist es erforderlich, eine genaue Ausrichtung oder Ausfluchtung in dem den Strahler und den Detektor enthaltenden System sicherzustellen. Dennoch gibt es bisher keine Möglichkeit zur Messung der Größe der Lagenabweichung der Strahlungsquelle von ihrer richtigen Position. Die Ausrichtung der Strahlungsquelle ist ausschließlich vom Können und von der Erfahrung der Bedienungsperson (des Monteurs) abhängig. Die Ausrichtarbeit ist daher schwierig und zeitaufwendig.

Die Erfindung bezweckt daher speziell die quantitative Messung einer Größe einer Ausrichtabweichung in einem optischen System eines Rechnertomographen.

Aufgabe der Erfindung ist damit insbesondere die Schaffung eines Strahlungsdetektors mit einer Einrichtung zur qualitativen Messung einer Lagenabweichungsgröße· der Strahlungsquelle.

Diese Aufgabe wird durch die in den beigefügten Patentansprüchen gekennzeichneten Merkmale gelöst.

Mit der Erfindung wird, genauer gesagt, ein Strahlungsdetektor des Mehrkanaltyps geschaffen, der an beiden Enden

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Positions-Meßeinheiten mit mindestens einer Abweichungs-Meßzelle aufweist, die aus drei bis fünf Elektrodenplatten in Form von einander abwechselnden Vorspann- und Signalelektrodenplatten besteht. Die mittlere Elektrodenplatte dieser Anordnung ist die Vorspannelektrodenplatte, die auf beiden Flächen Deckschichten aufweist. Bei den restlichen Elektrodenplatten trägt jeweils nur eine oder keine Seite eine Deckschicht. Beim Zusammensetzen dieser Elektrodenplatten werden die mit einer Deckschicht versehene Seite und die Seite ohne Deckschicht jeweils einander abwechselnd angeordnet. Die Deckschicht besteht aus einem Metall mit einer kleineren Sekundärelektronen-E^jrnissionsleistung für die einfallende Strahlung als derjenigen des Werkstoffs der betreffenden Elektrodenplatte(η),

Bei diesem Strahlungsdetektor können die Einfallswinkel der auf zwei Abweichungs-Meßzellen fallenden Strahlung auf der Grundlage des Unterschieds in den Sekundärelektroden-EmissionsleJstongen der beiden Seiten der Elektrodenplatten in der Meßzelle abgeleitet werden.

Unter Heranziehung des Einfallwinkels kann somit die Größe der Lagenabweichung (Mißausrichtung) der Strahlungsquelle einfach bestimmt werden.

Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung im Vergleich zum Stand der Technik anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Es zeigen: 30

Fig. 1 und 2 schematische Darstellungen eines Beispiels

für eine bisherige Rechnertomographievorrichtung,

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung eines üblichen 3$ Strahlungsdetektors,

Fig. 4 einen Schnitt längs der Linie IV-IV in Fig. 3 unter Weglassung der eingebauten Elektroden,

Fig. 5 eine perspektivische Teildarstellung einer Gruppe von Elektroden eines bisherigen Strahlungsdetektors,

Fig. 6 einen Schnitt längs der Linie VI-VI in Fig. 3, 10

Fig. 7 eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen der Strahlungsenergie und der Sekundärelektronen-Emissionsleistung der Werkstoffe von Elektrodenplatten und Deckschicht, 15

Fig. 8 eine in vergrößertem Maßstab gehaltene Teilvorderansicht einer Elektrodengruppe, die eine Meßzelle gemäß der Erfindung bildet,

Fig. 9 eine schematische Darstellung der Beziehung

zwischen den Elektrodenplatten der Abweichungs-Meßzelle gemäß der Erfindung und der einfallenden Strahlung,

Fig. 10 eine graphische Darstellung der Beziehung zwischen einem Strahlungseinfallswinkel und einem Signalstrom,

Fig. 11 eine graphische Darstellung der Beziehung zwi-3" sehen dem Einfallswinkel und dem Verhältnis der

von zwei Signalelektrodenplatten erhaltenen Signalströme,

Fig. 12 eine schematische Darstellung einer Strahlungs-

detektoreinheit, die an beiden Enden erfindungsgemäße Abweichungs-Meßzellen aufweist,

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Fig. 13 eine perspektivische Darstellung eines Strahlungsdetektors gemäß einer anderen Ausführungsform der Erfindung und

Fig. 14 einen Schnitt längs der Linie XIV-XIV in Fig.

Die Fig. 1 bis 6 sind eingangs bereits erläutert worden.

Wenn Strahlung, z.B. Röntgenstrahlung, auf Metall trifft, emittiert dieses Sekundär elektronen. Die Sekundärelektronen-Emissionsleistungen für einige Metalle sind in Fig. dargestellt. Normalerweise erreicht die bei einem Rechnertomographen angewandte Strahlung einen Detektor mit einer Energie von etwa 70 bis 80 keV. In diesem Energiebereich ist daher gemäß Fig. 7 die Emissionsleisting um so größer, je höher die Atomzahl des jeweiligen Werkstoffs ist. Erfindungsgemäß wird eine Abweichungsgröße in der Ausrichtung bzw. Ausfluchtung eines optischen Systems auf der Grundlage eines Unterschieds in der Sekundärelektronen-Emissionsleistung zwischen derartigen Werkstoffen gemessen, so daß auf diese Weise/Abweichung erfolgreich behoben werden kann.

Die für die Abweichungs-Meßzelle verwendeten Elektrodenplatten bestehen aus einem Werkstoff mit großer Sekundärelektronen-Emissionsleistung, z.B. aus Molybdän, Wolfram, bzw. Tantal, so daß ein "Übersprechen" auf ein Mindestmaß herabgesetzt werden kann. Eine auf einer vorgegebenen Fläche bzw. Seite der betreffenden Elektrodenplatte angeordnete Überzugs- bzw. Deckschicht besteht aus einem Metall mit kleinerer Sekundärelektronen-Emissionsleistung als derjenigen des Werkstoffs der Elektrodenplatte, d.h. z.B. aus Aluminium, Nickel oder Kupfer. Die Deckschicht kann auf die betreffende Fläche (der Elektrodenplatte) aufgedampft oder aufgalvanisiert oder durch Anbringung

mm Λ Λ Η.

einer Metallfolie an der betreffenden Fläche der Elektrodenplatte mit Hilfe eines geeigneten Klebmittels ausgebildet sein. Die bevorzugte Dicke der Deckschicht liegt im Bereich von 10 bis 50 um. Eine praktische Anordnung einer Positionsmeßeinheit »zur Bestimmung einer Position bzw. Ausrichtung der Strahlungsquelle ist in Fig. 8 veranschaulicht. Dabei sind Vorspannelektroden B2 und B2 an beiden Seiten mit Deckschichten C versehen, während die restlichen Vorspannelektrodenplatten B1 und B1 sowie B1, jeweils an keiner Seite eine Deckschicht aufweisen. Diese Vorspannelektrodenplatten sind mit einer einzigen bzw. gemeinsamen Leitung 15 für Hochspannungsanlegung verbunden. Signalelektrodenplatten S1 , S2 , S1,

a a ώ

und S2, weisen jeweils nur an einer Seite eine Deckschicht C auf. Die Elektrodenplatten sind dabei so angeordnet, daß die Deckschichten in keinem Fall einander gegenüberstehen, d.h. daß die Deckschicht C einä^Elektrodenplatte der freien, keine Deckschicht aufweisenden Fläche E der jeweils benachbarten Elektrodenplatte zugewandt ist. Die fünf Elektroden-

plattaiBI , SI , B2 , S2 und B1 . bilden eine Abweichungsa a a a 3D

Meßzelle. Die restlichen fünf Elektrodenplatten B1 . , S1, , B2, , S2, und B1, bilden eine weitere Abweichungs-Meßzelle. Die in den betreffenden Stellungen der beiden Abweichungs-Meßzellen angeordneten Elektrodenplatten S1 und S1, sind gemeinsam an eine einzige Leitung 16 zur Herausführung eines Signals angeschlossen. Die Signalelektrodenplatten S2 und S2, sind zu demselben Zweck gemeinsam mit einer anderen Leitung 17 verbunden. In bevorzugter Ausführungs-

^QU form bestehen die Elektrodenplatten aus Molybdän mit einer Kupferbeschichtung. Die Elektrodenplatten sind in festen gegenseitigen Abständen an Tragplatten 18 befestigt. Anstelle der beiden Abweichungs-Meßzellen bei der dargestellten Ausführungsform kann selbstverständlich auch eine

einzige Meßzelle vorgesehen sein.

•··» β» ν*

- 12 -

Im folgenden ist anhand von Fig. 9 eine Anordnung beschrieben, bei der mittels einer einzigen Abweichungs-Meßzelle mit fünf Elektrodenplatten die Größe einer Lagenabweichung (Mißausrichtung) der Strahlungsquelle bestimmt werden kann. Die Meßzelle besitzt den in Fig. 8 dargestellten Aufbau. Fig. 9 veranschaulicht einen Fall, in welchem die Röntgenstrahlungsquelle gegenüber ihrer vorbestimmten Position verschoben ist und deshalb der Röntgenstrahl XR schräg unter einem Einfallswinkel oi/ (der zwischen jeder Elektrodenplatte und dem einfallenden Röntgenstrahl festgelegt wird) in die Meßzelle eintritt. Bei Beaufschlagung mit dem Röntgenstrahl emittiert jede Elektrodenplatte selbst oder ihre Deckschicht Sekundärelektronen entsprechend ihrer jeweiligen Emissionsleistung. Der durch die Sekundärelektronen erzeugte Strom I¹ (cL) zusammen mit dem Ionisationsstrom 1° (oM infolge der Ionisierung der Gasfüllung wird durch die Elektrodenplatte erfaßt bzw. abgegriffen. Genauer gesagt: der an der Signalelektrodenplatte S1 gemessene Ausgangsstrom

I₁ enthält den Ionisationsstrom I . ((X·) infolge der Ionisation der Gasfüllung im Raum zwischen den Vorspannelektroden B1 und B1_b sowie den Strom I¹ (CC) der Sekundärelektronen, die beim Auf treffen des Röntgenstrahl auf die Vorspannelektrodenplatte B1 und die Signalelek-

el

trodenplatte S1 erzeugt werden. Der von der Signalelektrodenplatte S2 gemessene Ausgangsstrom I₀ umfaßt den Ionisationsstrom I₂ (ÖL·) infolge der Ionisation der Gasfüllung im Raum zwischen den Vorspannelektroden B2 und B1 , sowie den Strom I' (oC) aufgrund der Sekundärelektronen, die bei Beaufschlagung der Deckschicht C sowohl der Vorspannelektrodenplatte B2 als auch der Signalelektrodenplatte S2 mit der Röntgenstrahlung erzeugt werden, a

Die Ströme I₁ (Ο/) und I „ (ob) hängen jeweils vom effektiven Volumen zwischen den Elektrodenplatten ab. Die effektiven Volumina sind dabei im wesentlichen gleich groß. Da das Gasvolumen, das proportional zur Vergrößerung des Einfallswinkels eL· der Röntgenstrahlung ionisiert wird, abnimmt, verringern sich auch die Ströme 1° (CO) und I ₉ (ÖL·)/ wobei ihre Abnahmegrößen gleich groß sind. Infolgedessen gilt die folgende Beziehung: 10

Die Ström.e I' (eis) und I¹ (OC/) stehen in der Beziehung I¹- (OL) > I' ~ (°C/) zueinander, weil ein Unterschied zwischen den Emissionsleistungen der Elektrodenplatte und der Deckschicht besteht. Weiterhin ist die Größe bzw. Menge der Sekundärelektronen der Größe oder Menge der Röntgenstrahlung proportional, welche die unbedeckte Fläche der Elektrodenplatte bzw. die Deckschicht beaufschlagt. Die Ströme I' (*-) und I¹ (äc) werden somit mit größer werdendem Einfallswinkel Ot größer; dies läßt sich mathematisch wie folgt ausdrücken:

I^ (OL) cc Ch, I¹ ₂ (OU) oc CC.

Wenn co-= Ο, werden keine Sekundärelektronen emittiert, so daß folgende Beziehung gilt: I¹ (O) = I¹ (0) = Infolgedessen gilt I=I= 1°₁ (O) = 1° (0). Die Beziehung zwischen den Strömen I₁ und I„ einerseits und dem Einfallswinkel o^ der Röntgenstrahlung andererseits ist in Fig. 10 dargestellt.

Ein aus der graphischen Darstellung von Fig. 10 abgeleitetes Verhältnis R = I /I zwischen den Ausgangsströmen

gegen den Einfallswinkel d I- und I_ ist in Fig. 11/zur Bildung einer Bezugskurve

zwischen beiden Strömen aufgetragen. Wenn somit

die Bezugskurve einer bestimmten Positions-Meßeinheit gemäß Fig. 11 dargestellt wird, kann der Einfallswinkel Oc der Röntgenstrahlung durch Messung des Verhältnisses R zwischen den Ausgangsströmen abgeleitet werden, wenn die Positions-Meßeinheit bei der Fertigung oder vor der Inbetriebnahme des Röntgenstrahlungsdetektors in diesen eingebaut wird. Insbesondere werden die die PositiQns-Meßeinheiten M und M_ bildenden Elektrodengruppen gemäß Fig. 12 an beiden Enden des Röntgenstrahlungsdetektors 20 angeordnet. Die zwischen den Einheiten M₁ und M befindliche Elektrodengruppe dient zur Gewinnung von Daten bezüglich der vom Untersuchungsobjekt absorbierten Röntgenstrahlung. Es ist dabei möglich, eine Größe der Abweichung (als Koordinatengröße) von einer vorgesehenen Stellung der Röntgenstrahlungsquelle 21 unter Heranziehung des durch die Positions-Meßeinheit M₁ an der linken Seite und des durch die Meßeinheit M_ an der rechten Seite bestimmten Einfallswinkels CL/ zu ermitteln. Die Lagenabweichung der Röntgenstrahlungsquelle 21 läßt sich sodann auf der Grundlage dieser Abweichungsgröße ohne weiteres korrigieren.

Bei der beschriebenen Ausführungsform besteht die Meßzelle gemäß Fig. 9 aus fünf Elektrodenplatten. Wie aus der vorstehenden Beschreibung hervorgeht, kann die Abweichungsgröße bzw. der Einfallswinkel der Röntgenstrahlung ermittelt (obtained) werden, wenn der Strom, der durch die von der Elektrodenplatte selbst oder von der Deckschicht emittierten Sekundärelektronen hervorgerufen bzw. erzeugt wird, durch getrennte Signalelektroden gemessen werden

kann. Die Meßzelle kann daher aus mindestens drei Elektrodenplatten gebildet werden, nämlich der Vorspannelektrodenplatte B2 mit an beiden Seiten vorgesehenen Deckschichten a

sowie zwei zu ihren beiden Seiten angeordneten Signalelektrodenplatten S1 und S2 , die jeweils nur an einer Fläche

a a

bzw. Seite eine Deckschicht aufweisen. In diesem Fall ent-

spricht die Größe des Ausgangsstroms von der Meßzelle der Hälfte des Stroms bei der Zelle gemäß Fig. 9. Wahlweise kann die Meßzelle in der Weise gebildet sein, daß eine Vorspannelektrodenplatte, z.B. die Elektrodenplatte B1 ,

an der Außenseite einer der Signalelektrodenplatten, z.B. der Elektrodenplatte S1 , zusätzlich zu drei Elektroden-

ei

platten B2 , S1 und S2 verwendet wird. Bei dieser Aba a a

Wandlung entspricht der Ausgangsstrom von der Signalelektrodenplatte S2 der Hälfte des Ausgangsstroms von

der Signalelektrodenplatte S1 . Der Ausgangsstrom der

ersteren Elektrodenplatte muß daher auf die doppelte Größe korrigiert werden.

Bei der in den Fig. 13 und 14 dargestellten Ausführungsform sind die Positions-Meßeinheiten M' und M' getrennt ausgebildet und an beiden Enden der Einfallsfläche des Röntgenstrahlungsdetektors angebracht. Der Detektor weist die übliche Elektrodengruppe 25 zum Sammeln bzw. Gewinnen der Strahlungsabsorptionsdaten des Untersuchungsobjekts in der Ausnehmung 24 des Detektorkörpers 23 auf, wobei die Ausnehmung mit einem Hochdruckgas gefüllt und durch eine Abdeckung 26 verschlossen ist. Bei dieser Ausführungsform können die Positions-Meßeinheiten erforderlichenfalls vom Detektor getrennt werden.

Wie vorstehend beschrieben, kann eine Lagenabweichung oder Mißausrichtung der Strahlungsquelle des Rechnertomographen mittels des erfindungsgemäßen Strahlungsdetektors qualitativ bestimmt werden. Dieses Merkmal gewährleistet eine einwandfreie Ausrichtung der Strahlungsquelle sowie die Lieferung eines ausgezeichneten Bildes eines Querschnitts des Untersuchungsobjekts.

Leerseite

Claims

Strahlungsdetektor

Strahlungsdetektor des Mehrkanaltyps, dadurch gekennzeichnet, daß er an beiden Enden mit Lagen- oder Pbsitions-Meßeinheiten (M1, M2) für die Lage einer Strahlungsquelle versehen ist, daß jede Meßeinheit mindestens eine Lagenabweichungs-Meßzelle mit drei bis fünf einander abwechselnd angeordneten Vorspann- und Signalelektrodenplatten (B2a; S1a, S2a usw.) aufweist, daß die mittlere dieser Elektrodenplatten eine Vorspannelektrodenplatte mit Deckschichten (C) auf beiden Seiten bzw. Flächen ist, während die restlichen Elektrodenplatten jeweils nur auf einer oder auf keiner Seite eine Deckschicht (C) aufweisen, daß die Deckschicht(en) aus einem Werkstoff mit einer kleineren Sekundärelektroden-Emissionsleistung für die einfallende Strahlung als derjenigen des Werkstoffs der Elektrodenplatten hergestellt ist (sind) und daß die Elektrodenplatten so angeordnet sind, daß jede Deckschicht (C) einer unbedeckten Fläche der benachbarten Elektrodenplatte zugewandt ist.
2. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abweichungs-Meßzelle drei Elektrodenplatten aufweist, von denen die mittlere eine Vorspannelektrodenplatte mit auf ihren beiden Seiten vorgesehenen Deckschichten ist und die beiden benachbarten Signalelektrodenplatten eine Deckschicht nur auf ihrer von der mittleren Elektrodenplatte abgewandten Seite aufweisen.
3. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abweichungs-Meßzelle vier Elektrodenplatten aufweist, von denen eine mittig angeordnete Vorspannelektrodenplatte auf beiden Seiten mit Deckschichten versehen ist, zwei zu beiden Seiten der Vorspannelektrodenplatte angeordnete Signalelektrodenplatten jeweils nur auf der einen, von der Vorspannelektrode abgewandten Seiten eine Deckschicht tragen und eine weitere, keine Deckschicht aufweisende Elektrodenplatte außerhalb einer der beiden Signalelektrodenplatten angeordnet ist.
4. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abweichungs-Meßzelle fünf Elektrodenplatten aufweist, von denen eine mittig angeordnete Vorspannelektrodenplatte auf beiden Seiten Deckschichten trägt, zwei zu beiden Seiten der Vorspannelektrodenplatte angeordnete Signalelektrodenplatten jeweils nur an der von ersterer abgewandten Seite mit einer Deckschicht versehen sind und zwei weitere, auswärts von den Signalelektrodenplatten angeordnete Vorspannelektrodenplatten keine Deckschicht aufweisen.
5. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Abweichungs-Meßzellen in einer Zahl von zwei oder mehr in einer Kette oder Reihe zu-

sammengeschaltet sind, in welcher benachbarte Meßzellen jeweils eine gemeinsame Vorspannelektrodenplatte ohne Deckschichten aufweisen.
6. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenplatten aus Molybdän, Wolfram oder Tantal hergestellt sind.
7. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckschicht aus Aluminium, Nickel oder Kupfer hergestellt ist.
8. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckschicht eine Dicke im Bereich von 10-50 pm besitzt.
9. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die oder jede Positions-Meßeinheit in einen Körper des Strahlungsdetktors eingebaut ist.
10. Strahlungsdetektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Positions-Meßeinheit an der Strahlungseinfallseite eines Körpers des Strahlungsdetektors angebracht ist.