DE3134342C2 - - Google Patents
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- G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen kapazitiven Meßkopf für Dis
tanzmessungen. Für den Aufbau eines kapazitiven Meßkopfes eignet
sich eine Brückenschaltung, in der eine der Brückenelemente die
veränderliche Kapazität darstellt. Als Sensor wird beispiels
weise eine Elektrodenanordnung mit zwei in einer Ebene liegenden
Elektroden verwendet, die an den Gegenstand, zu dem die Distanz
gemessen werden soll, herangeführt wird. Die Kapazität der Elek
trodenanordnung ist abhängig von dem Medium, das sich in der Nähe
der Elektrodenanordnung befindet. Wenn die Elektrodenanordnung
sich nicht in der Nähe eines Gegenstandes befindet, so ist die
Luft mit ihrer relativ geringen Dielektrizitätskonstanten maßge
bend für die Kapazität der Elektrodenanordnung. Wird dagegen
ein Gegenstand, bzw. eine Fläche mit höherer Dielektrizitäts
konstante in die Nähe der Elektrodenanordnung gebracht, so steigt
die Kapazität und die Brückenanordnung wird verstimmt. Von dieser
Verstimmung kann ein Meßsignal abgeleitet werden.
Durch die DE-AS 21 37 545 ist ein solcher kapazitiver Meßkopf mit
einer Brückenschaltung bekannt. In der Brückenschaltung sind zwei
Elektrodenanordnungen vorgesehen. Die eine Elektrodenanordnung
stellt das bezüglich seiner Kapazität veränderliche Element des
Meßkopfes dar und ist außen am Gehäuse des Meßkopfes angeordnet.
Die zweite Elektrodenanordnung dient zur Kompensation von Tempe
raturschwankungen und befindet sich im Inneren des Gehäuses des
Meßkopfes. Durch die genannte Veröffentlichung ist es auch be
kannt, die Elektrodenanordnungen jeweils aus einer metallbe
schichteten Isolierstoffplatte herzustellen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Abhängigkeit von
Umwelteinflüssen auf den Sensor weiter zu verringern, insbeson
dere den Einfluß von Temperaturschwankungen.
Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 angegebene Erfin
dung gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen sind in den Unter
ansprüchen angegeben.
Bei dem erfindungsgemäßen Meßkopf wird für die Elektrodenanord
nungen eine einzige beidseitig metallbeschichtete Isolierstoff
platte verwendet. Dadurch ist eine enge thermische Kopplung der
Elektrodenanordnung hergestellt. Temperaturschwankungen wirken
somit auf beide Elektrodenanordnungen gleich und ihre Einflüsse
werden durch die Brückenschaltung eliminiert. Die Verwendung
einer einzigen Isolierstoffplatte ist möglich, weil gemäß einem
weiteren Merkmal der Erfindung die Elektrodenanordnungen ver
setzt gegeneinander auf der Isolierstoffplatte angeordnet sind.
Dadurch wird erreicht, daß sie sich elektrisch nicht beein
flussen können.
Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbei
spiels, das in der Zeichnung dargestellt ist, erläutert.
Im dem Beispiel wird die Meßelektrodenanordnung "äußere
Elektrode" und die zur Kompensation dienende Elektrodenanordnung
"innere Elektrode" genannt.
Es zeigt
Fig. 1 das Schaltbild eines kapazitiven Meßkopfes mit einer
Brückenschaltung,
Fig. 2 eine mögliche Elektrodenanordnung und
Fig. 3 eine Elektrodenanordnung mit den erfindungsgemäßen Merk
malen.
In der Schaltung in Fig. 1 ist der Ausgang eines Wechsel
spannungsgenerators 1 über einen Koppelkondensator 2 an eine
Brückenschaltung aus den Brückenzweigen 3 bis 7 angekoppelt. Die
Wechselspannung wird am oberen Ende der Brückenschaltung
eingespeist. Der untere Punkt der Brückenschaltung ist auf
Massepotential der Schaltung gelegt.
Die beiden Zweige im oberen Teil der Brückenschaltung sind durch
Kondensatoren 3 und 4 mit fester Kapazität gebildet.
Im linken Zweig des unteren Teils der Brückenschaltung liegt die
veränderliche Kapazität 5 der Anordnung und parallel dazu eine
Kapazität 6. Im benachbarten Zweig des unteren Teils liegt eine
Kapazität 7, die zum Abgleich der Brücke einstellbar ist.
Am sogenannten Nullzweig der Brückenschaltung sind die zueinander
invertierten Eingänge eines Differenzverstärkers 8 angeschlossen.
Im Verstärker 8 wird die am Nullzweig anliegende Spannung
verstärkt. Das verstärkte Signal wird einer Gleichrichter
schaltung 9 zugeführt, in der aus dem Wechselspannungssignal ein
Gleichspannungssignal mit zu der Verstimmung der Brücke stetig
sich ändernder Größe gewonnen wird. Dieses Signal steht am
Ausgang 10 zur Verfügung.
Die Kapazitäten 5 und 6 in Fig. 1 können durch eine Elektroden
anordnung realisiert werden, die in Fig. 2 dargestellt ist.
Eine metallbeschichtete Isolierstoffplatte 11, z. B. eine
kupferkaschierte Epoxydharzplatte, wird so geätzt, daß sich die
in Fig. 2 dargestellte Anordnung mit einer großflächigen Masse
elektrode 12 und einer Sensorelektrode 13 ergibt, die gegen
einander isoliert sind. Die Masseelektrode 12 umgibt die Sensor
elektrode 13 allseitig.
Die Anschlüsse der Elektroden 12 und 13 sind nach hinten an
Punkten 14 durch die Isolierstoffplatte 11 hindurch in das
Gehäuseinnere des Meßkopfes geführt. Bei dieser Anordnung ist der
Meßkopf nur im Bereich der Fläche der Sensorelektrode em
pfindlich, und zwar aus folgendem Grund:
Die Masseelektrode ist relativ zur Sensorelektrode sehr groß
flächig. Daher ist die Kapazität der Masseelektrode zu einem
Meßobjekt groß, die der Sensorelektrode dagegen klein. Man muß
sich die resultierende Kapazität als eine Reihenschaltung der
genannten Kapazitäten vorstellen. Unter den genannten Bedingungen
ist der Wert der Kapazität der Sensorelektrode zum Meßobjekt
ausschlaggebend für den resultierenden Wert.
Die veränderliche Kapazität 5 in Fig. 1 wird in Fig. 2 durch die
Kapazität zwischen den Elektroden 12 und 13 gebildet, die sich im
angrenzendem Luftraum ausbildet. Dagegen liegt die Kapazität 6 in
der Isolierstoffplatte unterhalb der Elektroden 12 und 13.
Die Isolierstoffplatte 11 mit den Elektroden 12 und 13 gemäß Fig.
2 bildet eine Wand des kapazitiven Meßkopfes, so daß bei einer
Annäherung eines Gegenstandes an die Elektrodenanordnung die
Kapazität 5 verändert wird.
Die Kapazität 6 in der Isolierstoffplatte unterliegt Tempe
raturschwankungen. Um diese zu kompensieren, ist in Fig. 3 an
der dem Gehäuseinneren des Meßkopfes zugewandten Seite der Iso
lierstoffplatte 11 die gleich aufgebaute innere Elektrode vor
gesehen. Die äußere Elektrode und die innere Elektrode sind ge
geneinander versetzt angeordnet, derart, daß sie sich nicht gegen
überstehen, sondern jeweils der Masseelektrode der anderen Elek
trodenanordnung. Da die innere Elektrode somit nach außen abge
schirmt ist, ist der äußere Anteil ihrer Kapazität nicht vari
abel.
Am besten wird die Isolierstoffplatte mit den Elektroden
punktsymmetrisch ausgelegt. Es kann dann für die Elektroden
dieselbe Vorlage (Druckvorlage für die Ätzung) verwendet werden.
Die in der Isolierstoffplatte liegende Kapazität der inneren
Elektrode ändert sich in dem gleichen Maße mit der Temperatur
wie die in der Isolierstoffplatte liegende Kapazität der äußeren
Elektrode. Durch den Aufbau der inneren und äußeren Elektrode mit
einer einzigen Isolierstoffplatte ist sicher gewährleistet, daß
beide Elektrodenanordnungen die gleiche Temperatur besitzen. Die
innere Elektrode wird an die Stelle des Kondensators 7 in Fig. 1
in die Brückenschaltung aufgenommen. Erforderlichenfalls kann
noch eine kleine variable Kapazität zum Abgleich der Brücke an
geeigneter Stelle vorgesehen werden.
Mit Vorteil wird der beschriebene Versatz der Sensorelektroden so
groß gewählt, daß die Anordnung nur auf der einen Hälfte der
Isolierstoffplatte empfindlich ist. Es können dann zwei gleiche
Meßköpfe zueinander um 180 Grad gedreht nebeneinander angeordnet
werden. Es ist dann eine Abtastung auf der gesamten Breite der
Isolierstoffplatte möglich. Eine solche Anordnung mit zwei
Meßköpfen ist z. B. für eine Abtastung einer an den Meßköpfen
entlang bewegten Bahn anwendbar, wenn die Bahn die Breite einer
ganzen Isolierstoffplatte hat. Vom Anmelder wird so eine
Anordnung in einem Gerät eingesetzt, mit dem die Seitenflanken
eines Autoreifens in der Endkontrolle vermessen werden.
Claims (6)
1. Elektronischer, kapazitiver Meßkopf für Distanzmessungen mit
einer Brückenschaltung (3-7), in der eine aus einer
Sensorelektrode (13) und einer die Sensorelektrode umgebende
Bezugselektrode (12) bestehende erste Elektrodenanordnung
vorgesehen ist, welche außen am Gehäuse des Meßkopfes ange
ordnet ist und das bezüglich seiner Kapazität veränderliche
Element des Meßkopfes darstellt, und in der zur Kompensation
von Temperaturschwankungen eine zweite, gleichartig aufge
baute Elektrodenanordnung (15, 16) vorgesehen ist, die sich
im Inneren des Gehäuses des Meßkopfes befindet, wobei die
Elektrodenanordnungen jeweils durch die Metallschicht einer
metallbeschichteten Isolierstoffplatte (11) gebildet werden,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Elektrodenanordnungen durch die Metallschichten einer einzigen, beidseitig metallbeschichteten Isolierstoffplatte (11) gebildet werden, wobei sich die erste Elektrodenanord nung (12, 13) auf der Außenseite der Isolierstoffplatte (11) und die zweite Elektrodenanordnung (15, 16) auf der Innensei te der Isolierstoffplatte (11) befindet, und
daß die Sensorelektrode (13) der äußeren Elektrodenanordnung (12, 13) und die Sensorelektrode (16) der inneren Elektro denanordnung (15, 16) gegeneinander so versetzt angeordnet sind, daß jeweils der Sensorelektrode der einen Seite die Be zugselektrode der anderen Seite gegenüberliegt.
daß die Elektrodenanordnungen durch die Metallschichten einer einzigen, beidseitig metallbeschichteten Isolierstoffplatte (11) gebildet werden, wobei sich die erste Elektrodenanord nung (12, 13) auf der Außenseite der Isolierstoffplatte (11) und die zweite Elektrodenanordnung (15, 16) auf der Innensei te der Isolierstoffplatte (11) befindet, und
daß die Sensorelektrode (13) der äußeren Elektrodenanordnung (12, 13) und die Sensorelektrode (16) der inneren Elektro denanordnung (15, 16) gegeneinander so versetzt angeordnet sind, daß jeweils der Sensorelektrode der einen Seite die Be zugselektrode der anderen Seite gegenüberliegt.
2. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Be
zugselektroden (12, 15) mit dem Massepotential der Schaltung
des Meßkopfes verbunden sind.
3. Meßkopf nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die erste und die zweite Elektrodenanordnung (12, 13; 15, 16)
in zwei benachbarten Zweigen (5, 6; 7) der Brückenschaltung
(3-7) angeordnet sind.
4. Meßkopf nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekenn
zeichnet, daß die elektrischen Anschlüsse der ersten Elek
trodenanordnung (12, 13) durch die Isolierstoffplatte (11)
zum Inneren des Meßkopfes geführt sind.
5. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Isolierstoffplatte (11) mit der ersten und der zweiten
Elektrodenanordnung (12, 13; 15, 16) symmetrisch ausgelegt
ist, derart, daß für beide Elektrodenanordnungen die gleiche
Vorlage oder zueinander spiegelbildliche Vorlagen verwendet
werden können.
6. Meßkopf nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ver
satz und die Fläche der Sensorelektrode (13) so groß gewählt
sind, daß der Meßkopf nur auf einer Hälfte der Isolierstoff
platte (11) empfindlich ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19813134342 DE3134342A1 (de) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | Elektronischer kapazitiver messkopf fuer distanzmessungen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19813134342 DE3134342A1 (de) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | Elektronischer kapazitiver messkopf fuer distanzmessungen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE3134342A1 DE3134342A1 (de) | 1983-03-10 |
DE3134342C2 true DE3134342C2 (de) | 1989-12-07 |
Family
ID=6140496
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19813134342 Granted DE3134342A1 (de) | 1981-08-31 | 1981-08-31 | Elektronischer kapazitiver messkopf fuer distanzmessungen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3134342A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3333148A1 (de) * | 1983-09-14 | 1985-03-28 | Ingenieure Block + Seichter Inh.Klaus Seichter, 3000 Hannover | Einrichung zur positionierung eines optischen sensors |
DE4231616A1 (de) * | 1992-09-22 | 1994-03-24 | Seichter Gmbh | Kapazitiver Sensor |
DE19634782A1 (de) * | 1996-08-28 | 1998-03-05 | Anton Koukal | Regelungseinrichtung zur selbsttätigen Konstanthaltung des Abstandes eines Werkzeugs von einem Werkstück |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10050193A1 (de) | 2000-10-09 | 2002-04-18 | Micro Epsilon Messtechnik | Sensoranordnung |
Family Cites Families (3)
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---|---|---|---|---|
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US3775679A (en) * | 1971-12-09 | 1973-11-27 | Ade Corp | Apparatus and method for direct readout of capacitively gauged dimensions |
GB1577134A (en) * | 1976-03-19 | 1980-10-22 | Rca Corp | Capacitance distance control apparatus |
-
1981
- 1981-08-31 DE DE19813134342 patent/DE3134342A1/de active Granted
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3134342A1 (de) | 1983-03-10 |
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