DE3132383C2

DE3132383C2 - Längennormal zur Überprüfung der Meßgenauigkeit von Koordinaten-Meßgeräten

Info

Publication number: DE3132383C2
Application number: DE19813132383
Authority: DE
Inventors: Hans-H. Dipl.-Ing.Dr. 7054 Korb Schüßler; Geza 7000 Stuttgart Vöneky
Original assignee: Daimler Benz AG
Current assignee: Daimler Benz AG
Priority date: 1981-08-17
Filing date: 1981-08-17
Publication date: 1983-05-19
Also published as: DE3132383A1

Description

a) die beiden Kugeln (5,6,6', 6") sind so auf einem gemeinsamen Träger (8, 8') gehaltert, daß der Abstand zwischen beiden Kugeln (5, 6, 6', 6") veränderbar ist;

b) auf dem Träger (8,8') ist eine Interferometeranordnung zur Messung der Änderung des Abstandes zwischen den beiden Kugeln (5,6,6', 6") angebracht;

c) die beiöea Kugeln (5,6,6', 6") sind entlang des Verlaufes des MeBstrahles (20) mit Bohrungen (21) versehen;

d) die Verbindungslinie der beiden Kugeln (5,6,6', 6") fällt mit der Meßachse (19) zusammen;

e) in der einen der beiden Kugeln (5,6,6', 6") ist ein Tripelreflektor (18) derart angeordnet, daß dessen zentralsymmetrischer Punkt im Kugelmittelpunkt liegt, während in der anderen der beiden Kugeln (5, 6, 6', 6") entweder ein weiterer Tripelreflektor (18) derart angeordnet ist, daß dessen zentralsymmetrischer Punkt im Kugelmittelpunkt liegt, "der ein Interferometerteiler (13) konzentrisch zur Kugel derart angeordnet ist, daß dessen aktive Schicht (14) durch den Kugelmittelpunkt verläuft

2. Längennormal zur Überprüfung der Meßgenauigkeit von Koordinaten-Meßgeräten, das zwei in bekanntem Abstand zueinander gehalterte, antastbare Kugeln mit genau bearbeiteter Oberfläche -to aufweist, die an den Enden eines in seiner Relativlage zur Unterlage einstellbaren Träger«; gehaltert sind, dadurch gekennzeichnet, daß

a) der Träger (8') symmetrisch bezüglich seiner Längserstreckung aufgebaut und aufgehängt ist mit beidseitig längenveränderbaren Trägerteilen (10),

b) im Endbereich beider Trägerteile (10) jeweils eine Kugel (6', 6") angeordnet ist,

c) auf dem Träger (8') eine Interferometeranordnung zur Messung der Änderung des Abstandes zwischen den beiden Kugeln (6', 6") angebracht ist,

d) die beiden Kugeln (6', 6") entlang des Verlaufes des Meßstrahles (20) mit Bohrungen (21) vergehen sind,

e) die Verbindungslinie der beiden Kugeln (6', 6") mit der Meßachse (19) zusammenfällt,

in jeder der beiden Kugeln (6', 6") ein Tripelreflektor (18) derart angeordnet ist, daß dessen zentralsymmetrischer Punkt im Kugelmittelpunkt liegt und

g) ein lnterferometerteiler (13) etwa in der Trägermitte angeordnet und so ausgebildet ist, daß eine interferometrische Abstandsermittlung der beiden gegenüberliegenden Kugeln (6', 6") mit ihm möglich ist, wobei der lnterferometerteiler (13) derart ausgebildet und angeordnet ist, daß er an zwei gegenüberliegenden quer zur Lichteinfallrichtung liegenden Seiten Meßstrahlen (20) austreten läßt und an diesen Seiten mit Polarisationsplatten (15) versehen ist

3. Längennormal nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens eine Kugel (6, 6', 6") am Ende des Trägers (8,8') befestigt ist und daß dieser aufgrund von teleskopartig ineinandergesteckten und gegenseitig längsgeführten Trägerabschnitten (9) in sich längenveränderbar ist

4. Längennormal nach einem der Ansprüche 1 bis

3, dadurch gekennzeichnet, daß ein einen Empfänger einschließender Laserkopf (12) für die Interferometeranordnung fest am Träger (8, 8') angeordnet ist

5. Längennormal nach einem der Ansprüche 1 bis

4, dadurch gekennzeichnet, daß der Meßstrahl (20) der Interferometeranordnung und die Kugeln (5, 6, 6', 6") neben dem Träger (8, 8') verlaufen bzw. angeordnet sind.

6. Längennormal nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet daß der Meßstrahl der Interferometeranordnung im Inneren des Trägers verläuft und die Kugeln gleichachsig zum Träger angeordnet sind.

7. Längennormal nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet daß der Träger (8, 8') kardanisch aufgehängt (22) ist mit horizontaler (23) und vertikaler Schwenkachse (24), wobei er in jeder beliebigen Schwenklage arretierbar ist

8. Längennormal nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der lnterferometerteiler (13) derart relativ zur kardanischen Aufhängung (22) angeordnet ist daß der Schwenkachsenschnittpunkt auf der aktiven Schicht (14) des Interferometerteilers (13) zu liegen kommt.

9. Längennormal nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die kardanische Aufhängung (22) mit einer Vertikalführuug für eine Höheneinstellung versehen ist

10. Längennormal nach einem der Ansprüche 7 bis

9, dadurch gekennzeichnet, daß zur Messung der Einzelbewegungen der kardanischen Aufhängung (22) jeweils ein Weg- oder Winkelmeßsystem vorgesehen ist.

11. Längennormal nach einem der Ansprüche 1 bis

10, dadurch gekennzeichnet, daß für die Azimut-, die Elevations-, die Vertikal- und/oder die Ausfahrbewegung des Trägers (8,8') ein Servoantrieb (11, 25) vorgesehen ist.

Die Erfindung betrifft ein Längennormal zur Überprüfung der Meßgenauigkeit von Koordinaten-Meßgeräten nach dem Oberbegriff von Anspruch 1 und ein Längennormal zur Überprüfung der Meßgenauigkeit von Koordinaten-Meßgeräten nach dem Oberbegriff von Anspruch 2, wie sie beispielsweise aus der DE-OS 03 376 als bekannt hervorgehen.

In dieser Druckschrift wird ein hanteiförmiges Kugel-Endmaß vorgeschlagen, bei dem die eine Kugel in einer Pfanne auf dem Meßtisch aufliegt und die andere Kugel von einer höheneinstellbaren, ebenfalls

mit einer Pfanne versehenen Stütze getragen wird.

Außer der Verwendung derartiger hanteiförmiger Kugel-Endmaße können Mehrkoordinaten-Meßgeräte auch noch durch Parallel-Endmaße und durch zinnenförmige Stufen-Endmaße hinsichtlich ihrer Genauigkeit überprüft werden; es sei in diesem Zusammenhang beispielsweise auf eine Veröffentlichung in der VDI-Zeitschrift 1980, Seiten 535 bis 548 verwiesen.

In der DE-AS 21 43 655 ist ein Verschiebungs-Komperator mit Laser-lnterferometer dargestellt, mit dem entlang einer einzigen Meßachse Maße von Körpern genau ermittelt werden können. Beim Verschieben des beweglichen Teils des Komperators werden die Hell-Dunkel-Übergänge des interferierenden Laserlichtes abgezählt, wobei die Anzahl der Hell-Dunkel-Obergänge als Größe für das zu ermittelnde Maß dient Es ist bekannt, Verschiebewege auch bei anderen Anwendungsfällen auf interferometrische Weise genau zu bestimmen.

Der Einsatz von Endmaßen und Stufen-Endmaßen hat jedoch verschiedene Nachteile, die sich vor allem bei der Überprüfung von Koordinaten-Meßgeräten auswirken: die Temperatur, evtl. auch die Temperaturverteilung innerhalb des Endmaßes bzw. im Stufen-Endmaß-Grundkorper wäre im Kalibrierzustand als auch beim Einsatz auf dem Koordinatenmeßgerät zu jedem Meßzeitpunkt zu erfassen, um mit dem Längenausdehnungskoeffizienten die erforderliche Ausdehnungskorrektur zu errechnen. Alle im späteren Einsatz auf einem Koordinaten-Meßgerät zu verwendenden Abstände müssen gemäß einer meßtechnischen Grundregel etwa fünfmal so sicher bekannt sein, wie die erwartete Meßunsicherheit des Koordinaten-Meßgerätes. Dies erfordert eine aufwendige vorherige Kalibriermessung für die bei der Überprüfung verwendeten Endmaße. Die unvermeidbaren maßlichen Veränderungen durch Verbiegung in verschiedenen räumlichen Anordnungen bzw. Aufspannungen in geneigtem Zustand im Vergleich zu der Lage bei der Kalibriermessung können erhebliche Werte erreichen. Die Präzisionsfertigung eines Endmaß-Satzes bzw. eines Stufen-Endmaßes mit vielen geläppten Meßflächen und deren periodische Kalibrierung zur Feststellung einer evtl. alterungsbedingten Längenänderung stellt einen hohen Kostenfaktor für den Anwender dar. Endmaße und Stufen-Endmaße werden zur Zeit nur bis 1 m Länge hergestellt, während zur Genauigkeitsprüfung von Koordinaten-Meßgeräten mit mittleren Maßbereichen in der raumdiagonalen Richtung schon Längennormale von ca. 2,5 m benötigt werden. Die Handhabung und Aufspannung solch langer körperlicher Präzisions-Längennormale am Koordinaten-Meßgerät wäre sehr problematisch. Es können mit Parallel-Endmaßen bzw. Stufen-Endmaßen und auch mit den bekannten Kugel-Endmaßen notwendigerweise nur Abstände zwischen den tatsächlich vorhandenen antastbaren Flächen bestimmt werden, feinere Abstufungen bzw. Abstände sind nicht darstellbar. Die Oberfläche jeder Meßfläche muß sehr gut ausgebildet sein. Vorhandene Welligkeiten oder Schieflagen bewirken einen unerwünschten Fehlereinfluß, wenn nicht exakt in der Meßlinie angetastet wird.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein weitgehend temperaturunabhängiges, gut handhabbares Längennormal zu schaffen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale von Anspruch 1 oder durch die kennzeichnenden Merkmale von Anspruch 2 gelöst. Es ist dadurch ein Kugel-Endmaß geschaffen, bei dem der Abstand der Kugeln direkt an die Wellenlängendefinition des Meters angeschlossen ist. Durch die Anordnung der optischen Bauteile in den Kugelmittelpunkten ist der Einfluß von Kippbewegungen der Kugeln — sei es aufgrund einer Durchbiegung des Trägers durch sein Eigengewicht, sei es aufgrund einer Verbiegung der Kugelhalterung beim Antasten — eliminiert Auch temperaturbedingte Längenänderungen des Trägers und Abstandsänderungen der Kugeln, die auf eine Verbiegung oder Verformun-S des Trägers zurückzuführen sind, haben keine Fehlerauswirkungen, da durch die Interferometeranordnung nur der Abstand der Kugeimittelpunkte erfaßt wird. Dem Koordinaten-Meßgerät wird nun die fundamentale Meßaufgabe is gestellt, den räumlichen Abstand zweier Kugeln koordinatenmäßig durch Vielpunkt-Antastung zu ermitteln. Dieser Vorgang kann vorteilhafterweise in verschiedenen Stellungen des Trägeis innerhalb des Meßvolumens des Koordinaten-Meßgerätes wiederholt werden, so daß sich ein geschlossenes Bild über die Genauigkeit des gesamten Koordinaten-Meßgerätes ergibt

Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung können den Unteransprüchen entnommen werden. Die Erfindung wird durch die nachfolgende Beschreibung zwehr in den Zeichnungen dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert; dabei zeigt

F i g. 1 die perspektivische Darstellung eines Ausführungsbeispieles eines Längennormales nach der Erfindung,

F i g. 2 und 3 Seitenansicht (F i g. 2) und Querschnitt entlang der Schnittlinie EII-III (Fig.3) des Längennormales nach F i g. 1 und

Fig.4 die Seitenansicht eines weiteren Ausführungsbeispieles mit beiderseits längenveränderbaren Trägerteilen für die Meßkugeln.

In den Zeichnungen ist das durch das Längennormal zu überprüfende Koordinaten-Meßgerät lediglich durch den Meßtisch 1 sowie durch den Tastkopf 2 mit Taster 3 und Tastkugel 4 angedeutet

Das in den Fig. 1 bis 3 dargestellte Längennormal weist eine erste (5) und eine zweite Meßkugel 6 auf, die über Füßchen 7 auf einem Träger 8 abstandsveränderbar gehaltert sind. Bei den Meßkugeln 5, S handelt es sich um sehr genau und mit hoher Oberflächengüte gefertigte Präzisionskugeln, deren räumliche Lage von dem Koordinaten-Meßgerät durch eine Vielpunkt-Antastung ermittelt werden kann. Der Träger 8 besteht aus mehreren Trägerabschnitten 9, die teleskopartig so ineinanderschiebbar und genau zueinander geführt sind, so daß der Träger 8 selber als Ganzes längenveränderbar ist. Dies hat den Vorteil, daß die Länge des Trägers 8 an die Größe des MeCvoIumens des zu überprüfenden Koorcinaten-Meßgerätes angepaßt und auf unlerschiedliche Zwischenlängen eingestellt werden kann und überstehende Trägerteile vermieden werden. Zumindest die zweite Meßkugel 6 befindet sich ungeachtet des Kugelabstandes stets am Außenende des Trägers 8.

Auf dem Träger 8 ist eine Interferometeranordnung zur laufenden interferometrisehen Ermittlung des Kugelabstandes angebracht Hierzu ist Zunächst ein Laserkopf 12 an dem Träger 8 befestigt, so daß dieser alle Schwenk- und Verstellbewegungen, über die noch weiter unten zu sp-echen sein wird, ohne Änderung der Relativlage zum Träger 8 mitmacht An sich wäre es auch denkbar, den Meßstrahl 20 der Interferometeranordnung im Inneren des hohl ausgebildeten Trägers 8

' verlaufen zu lassen und die Kugeln 5,6 gleichachsig zum Träger 8 anzuordnen. Bei den dargestellten Ausführungsbeispielen ist jedoch der Meßstrahl 20 parallel neben dem Träger 8 angeordnet und die Kugeln 5,6 sind im Abstand zu ihm über kleine Füßchen 7 gehalten. Der Innenraum des hohl ausgebildeten Trägers 8 wird für andere Zwecke benötigt, wie weiter unten noch beschrieben.

Die dem Laserkopf 12 zunächst liegende erste Meßkugel 5 ist zum Durchlaß des Meßstrahles 20 und des Referenzstrahles 20' völlig durchbohrt (Bohrung 21). Im Inneren dieser Meßkugel 5 ist ein kleiner Interferometerteiler 13 mit einem oben darauf angebrachten Tripelreflektor 17 angebracht. Die vom Laserkopf 12 ausgesandten Lichtstrahl liegen genau konzentrisch zu der Meßachse 19, die durch die Verbindungslinie der beiden Kugelmittelpunkte bestimmtist.

Der !f!t£rferorr.etertei!?r 1? he«teht im wesentlichen aus zwei aufainandergesetzten Dreikantprismen, die zwischen sich eine aktive Schicht 14 einschließen. Diese hat die Eigenschaft, lediglich Lichtstrahlen linear polarisierten Lichtes einer einzigen ganz bestimmten Polarisationsebene, beispielweise horizontal durchzulassen. Die Lichtstrahlen einer anderen Polarisationsrichtung werden von der aktiven Schicht 14 reflektiert. Bei der Anordnung nach den Fig. 1 bis 3 ist der Meßstrahl 20 in Durchlaßrichtung der aktiven Schicht 14 polarisiert, wogegen der Referenzstrahl 20' quer zur Durchlaßrichtung polarisiert ist und zum oberen Tripelreflektor 17 umgelenkt wird, von dem er — wieder an der aktiven Schicht 14 gespiegelt — in den Empfängerteil des Laserkopfes 12 zurückgeworfen wird.

Der Meßstrahl 20 durchmißt die erste Kugel 5 sowie die Meßstrecke und trifft auf die zwei'e Meßkugel 6, in deren Innerem ein Tripelreflektor 18 angeordnet ist, dessen zentralsymmetrischer Punkt mit dem Kugelmittelpunkt zusammenfällt. Dieser Tripelreflektor 18 wirft den Meßstrahl 20 durch die Meßstrecke und die erste Meßkugel 5 hindurch in den Empfängerteil des Laserkopfes 12 zurück. Es kommt mit dem Referenzstrahl 20' zu einer Interferenzbildung.

Zur Ermittlung des genauen Kugelabstandes muß ein Ausgangsabstand seinem absoluten Maß nach genau bekannt sein. Dieser Ausgangsabstand kann beispielsweise die gegenseitige Berührung der beiden Meßkugeln 5, 6 sein. Der Ausgangsabstand muß stets sehr genau und reproduzierbar eingefahren werden können. Durch Abzählen der beim Vergrößern des Kugelabstandes auftretenden Jnterferenzsignale kann laufend der tatsächliche Kugelabstand ermittelt werden. Da die aktive Schicht 14 des Interferometerteiiers 13 so innerhalb der ersten Kugel 5 angeordnet ist, daß sie durch den Kugelmittelpunkt verläuft und da auch der zentralsymmetrische Punkt des Tripelreflektors 18 mit dem Kugelmittelpunkt der zweiten Meßkugel 6 übereinstimmt, bleiben Verschwenkungen der Kugeln 5, 6 z. B. aufgrund von Deformationen des Trägers 8 oder der Füßchen 7 bei der Abstandsermittlung wirkungslos. Die interferometrische Messung erfaßt ungeachtet der Schwenklage der Kugeln 5,6 stets deren Mittelabstand. Um in rascher Folge die zweite Meßkugel 6 an unterschiedliche Positionen innerhalb des Meßvolumens des Koordinaten-Meßgerätes positionieren zu können, um so Prüfmessungen an allen möglichen Stellen innerhalb des Meßvolumens vornehmen zu können, ist der Träger 8 beweglich gelagert. Und zwar ist eine kardanische Aufhängung 22 mit einer horizontalen (23) und einer vertikalen Achse 24 vorgesehen, die sich in einem bestimmten Punkt schneiden. Dieser Achsenschnittpunkt ist so gewählt, daß er ebenfalls auf der aktiven Schicht 14 des Interferometerteiiers 13 und auf der Meßachse 19 liegt, er fällt demgemäß bei dem in den F i g. 1 bis 3 dargestellten Ausführungsbeispiel mit dem Mittelpunkt der ersten Meßkugel 5 zusammen. Der Träger 8 ist in jeder beliebigen Schwenklage arretierbar, so daß der Träger 8 eine starre Position einnehmen kann.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist die kardanische Aufhängung durch einen die vertikale Achse realisierenden Drehtisch 26 und durch eine die horizontale Schwenkachse realisierende Schaukel 28 geschaffen, die in zwei gegenüberliegenden auf dem Drehtisch 26 befestigten Wangen 27 schwenkbar gelagert ist und den Träger 8 hält. Der Drehtisch 26 kann seinerseits noch mit einer Vertikalführung für eine Höheneinsteilung versehen sein, was jedoch bei dem gezeigten Ausführungsbeispiel nicht mit dargestellt ist. Dadurch kann auch die erste Meßkugel 5 wenigstens in einer Koordinaten-Richtung in ihrer Lage verändert werden.

Für den Drehtisch 26, also die Azimutbewegung, für die Schaukel 28, also die Elevationsbewegung und für die Ausfahrbewegung des Trägers 8 ist jeweils ein Servoan'neb vorgesehen. Und zwcr ist der zeichnerisch dargestellte Servoantrieb 11 für die Ausfahr- und Rückzugbewegung des Trägers 8 an dessen hinterem Ende angeordnet. Das Ausfahren der Trägerabschnitte 9 kann beispielsweise durch eine im Inneren angeordnete Druckfeder und das Zurückziehen des Trägers 8 durch ein im Inneren des Trägers 8 verlaufendes aufwickelbares Stahlband erfolgen. Auf einer skalierten Drehscheibe außen an dem Servoantrieb 11 kann die Ausfahrlänge des Trägers abgelesen werden. Der Schwenkantrieb 25 für die Elevationsbewegung ist seitlich an einer der beiden Wangen 27 angeordnet.

Auch hier ist ebenso wie am Drehtisch 26 jeweils eine Skalierung zur Einstellung und Kontrolle einer bestimmten Schwenklage angebracht. Zweckmäßigerweise sind die jeweiligen Servoantriebe jeweils auch mit einem sehr genau arbeitenden Weg- bzw. Winkelmeßsystem verbunden. Dadurch können aufgrund einer entsprechenden Programmsteuerung der Servoantriebe bestimmte Positionen des Trägers 2 bzw. der Meßkugel 6 selbsttätig eingefahren werden. Dadurch läßt sirh ein Meßprogramm mit größerer Geschwindigkeit absolvieren.

Das Ausführungsbeispiel nach Fig.4 unterscheidet sich von dem nach den F i g. 1 bis 3 im wesentlichen dadurch, daß hier die beiden Meßkugeln 6' und 6" bei einer Verschwenkung des Trägers 8' in ihrer Lage verändert werden, daß also im Bereich des ortsfest verbleibenden Interferometerteiiers 13 keine Meßkugel angeordnet ist Da sich hier die Meßstrecke zwischen den beiden Meßkugeln 6', 6" über die Trägermitte hinaus erstreckt muß der Laserkopf 12 aus der Meßachse 19 herausgerückt werden, wozu ein Umlenkprisma 16 unterhalb des Interferometerteiiers 13 angeordnet ist Bei dieser Anordnung ist der Referenzstrahl 20" gleichgerichtet mit der Durchlaßrichtung der aktiven Schicht 14 linear polarisiert, wogegen der Meßstrahl 20 quer dazu linear polarisiert ist Der Referenzstrahl 2O⁵ durchtritt also die aktive Schicht 14 und trifft in den Tripelreflektor 17, von dem er über das Umlenkprisma 16 gleich wieder in den Empfängerteil

des Laserkopfes 12 zurückgeworfen wird.

Der Interferometerteiler 13 ist auf den beiden quer zur Lichteinfallrichtung liegenden Seiten jeweils mit einer Polarisationsplatte 15 versehen, die die Eigenschaft haben, die Polarisationsebene eines linear polarisierten Lichtstrahles nach einem zweimaligen Durchtritt durch die Polarisationsplatte 15 um 90° verr\rtwenkt erscheinen zu lassen. Der zunächst quer zur Durchlaßrichtung der aktiven Schicht 14 polarisierte Meßstrahl 20 wird also von ihr nach rechts reflektiert, gelangt zu dem Tripelreflektor 18 ir. der rechten Meßkugel 6', wird zum Interferometerteiler 13 zurückgeworfen und ist nun — nach dem zweiten Durchtritt durch die rechte Polarisationsplatte 15 — in Durchlaßrichtung der aktiven Schicht 14 polarisiert, so daß er zur linken Meßkugel 6" durchlaufen kann. Von dort wird er zum Interferometerteiler 13 zurückgeworfen. Nach dem zweiten Durchtritt durch die linke Polarisationsplatte 15 ist der Meßstrah! 20 wieden."»» mier zur Durchlaßrichtung der aktiven Schicht 14 polarisiert, so daß er nach oben in den Tripelreflektor 17 umgelenkt wird. Dieser wirft ihn auf die aktive Schicht 14 zurück, die ihn wiederum nach links umlenkt, so daß sich das eben geschilderte Spiel noch einmal wiederholt. Der Meßstrahl 20 durchläuft die Meßstrecke insgesamt zweimal und wird dann schließlich über die aktive Schicht 14 und das Umlenkprisma 16 in den Empfängerteil des Laserkopfes 12 zurückgeworfen, Dank einer solchen Anordnung ist auch der Abstand zweier beweglicher Meßkugeln interferometrisch erfaßbar. An sich könnte eine der beiden Meßkugeln auf einem in seiner Länge unveränderlichen Trägerteil angeordnet sein; eine Lageveränderung der Kugel wäre dann lediglich bei Azimut- und Elevationsbewegungen des Trägers möglich. Das dargestellte Ausführungsbeispiel zeigt jedoch, daß der Träger 8' durch zwei Trägorteile 10 gebildet ist, die jeweils für sich n?ch Art des Trägers 8 nach den F i g. I bis 3 längenveränderbar sind. Dadurch können auch größere Elevationswinkel eingefahren werden, indem der untere Trägerteil 10 entsprechend eingezogen wird.

is Das Längennormal nach F i g. 4 bietet gegenüber dem nach den Fig. 1 bis 3 den Vorteil, daß damit bei etwa gleichbleibendem gegenseitigem Abstand der Meßkugeln und bei unveränderter Lage zumindest der kardanischen Aufhängung des Trägers die Meßstrecke innerhalb des Meßvolumens des Koordinaten-Meßgerätes verschoben werden kann.

Die Bewegungen des Trägers können über die Servoantriebe von einem Steuer-Rechner kontrolliert werden, der zugleich auch die laserinterferometrisch ermittelten Kugelabstandswerte und die Meßwerte des Koordinaten-Meßgerätes bei der Kugelantastung erfaßt und vergleicht.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche;

1. Längennormal zur Überprüfung der Meßgenauigkeit von Koordinaten-Meßgeräten, das zwei in bekanntem Abstand zueinander gehalterte, antastbare Kugeln mit genau bearbeiteter Oberfläche aufweist, von denen eine in fester relativer Lage zur Unterlage und die andere in einem einstellbaren Träger gehaltert ist, gekennzeichnet durch die Kombination folgender Merkmale: to