DE3048882A1 - Bildwiedergabegeraet und verfahren zu seiner modulation - Google Patents
Bildwiedergabegeraet und verfahren zu seiner modulationInfo
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Description
RCA 72 160 A
U.S. Serial ITo: 108,125
Filed: December 28, 1979
RCA Corporation New York, N.Y., V.St.v.A.
und Verfahren zu seiner !''odulation
Die Erfindung bezieht sich allgemein auf Bildwiedergabegeräte in Flachbauweise, worin eine Vielzahl von Elektronenstrahl-Erzeugungssystemen
vorgesehen ist, um Elektronenstrahlen in dafür vorgesehene Führungen zu schießen. Die Erfindung betrifft
im besonderen Modulatorstrukturen für ein solches Bildwiedergab
eperät.
In der US-Patentschrift 4 128 784 ist eine Strahlführung beschrieben,
die in einem kathodolumineszenten Bildwiedergabegerät in Flachbauweise verwendet werden kann. Das betreffende
Bildwiedergabegerät umfaßt einen evakuierten Kolben, der eine Vielzahl innerer Stützwände enthält, die den Kolben in eine
Vielzahl paralleler Kanäle unterteilen. Jeder Kanal enthält eine Strahlführung, die sich entlang einer Wand des Kolbens
erstreckt. Eine Anordnung von Elektronenstrahlerzeugern sendet
Elektronen aus, die als Bündel oder Strahlen in die Strahlführungen
geschossen werden. Die Strahlführungen enthalten zwei
beabstandete parallele Gitter, die sich entlang der Rückwand des Kolbens und im Abstand davon erstrecken. Die Gitter enthalten
eine Vielzahl miteinander ausgerichteter öffnungen, die
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in Spalten, längs der Wege der Elektronenstrahl en angeordnet
sind. Jede solche Längsspalte von Öffnungen bildet eine resonderte
Strahlführung. Die Öffnungen bilden außerdem quer zu den
Führungen verlaufende Keinen. Eine einzelne Zeile des wiederzugebenden Bildes wird dadurch erzeugt, daß die Elektronenstrahlen
durch die Öffnungen einer einzelnen Querreihe aus der Führung hinausgestoßen werden.
Ein anderes bekanntes Bildwiedergabegerät in Flachbauweise enthält
ebenfalls mehrere Strahlkanäle, in denen sich jeweils Führungsgitter befinden, die sich entlang der Länge der Kanäle erstrecken.
Jeder der Kanäle enthält Hodulations elektroden und
eine Kathodenanordnung,mittels derer modulierte Elektronenstrahlen
zu den Führungsgittern gesendet werden. Die Führungsgitter
reichen zwischen die Hodulationselektroden, und die Elektronenstrahlen wandern entlang den Kanälen it.. Zwischenraum
zwischen den Gittern. E?. ist ferner eine Vielzahl von Pa ar on
sogenannter Anfangselektroden vorgesehen, welche die Strahlführungsgitter
überspannen und für bestimmte Abschußbedingungen der Elektronenstrahlen sorgen. Die Bedingungen, unter denen die
Elektronen in den Zwischenraum zwischen den Führungsgittern geschossen
werden, können durch Anlegen verschiedener Vorspannungspotentiale an die Abschusselektrodenpaare gewählt werden.
Somit lassen sich die Bedingungen, unter denen die Elektronen in den zu durchwandernden Laufraum geschickt werden, praktisch
unabhängig von den für den Betrieb der Kathoden- und Modulationselektroden zu erfüllenden Bedingungen wählen.
Die wesentlichen Merkmale eines erfindungsgemäßen Bildwiedergabegeräts
sind im Patentanspruch 1 aufgeführt. Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Geräts sind in den Unteransprüchen
2 bis 5 gekennzeichnet. Gegenstand der Erfindung ist ferner ein Verfahren zur Modulation eines Bildwiedergabegeräts,
wie es prinzipiell im Patentanspruch 6 oder 8 und in vorteilhafter Ausgestaltung im Patentanspruch 7 bzw. 9 "beschrieben
ist.
130038/0935
Das erfindungsgemäße Bildwiedergabegerät in Flachbauweise hat einen evakuierten Kolben, der Strahlführungen und eine Kathodenanordnung
enthält, um Elektronenstrahlen in die Strahlführungen au senden. Zwischen der Kathodenanordnung und den Strahlführungen
ist eine Vielzahl von Elektrodenpaaren angeordnet. Das Anlegen
verschiedener Kombinationen von Vorspannungspotentialen an die Elektrodenpaare erlaubt eine Fokussierung der Elektronenstrahlen
vor deren Eintreten in den Baut:) zwischen den Strahlführungen
und gestattet die Verwendung höherer Potentiale zum Abziehen der Elektronen von der Kathodenanordnung.
Die Erfindung wird nachstehend an einem Ausführungsbeispiel anhand von Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 int eine perspektivische, teilweise aufgebrochene Darstellung
einer bevorzugten Aupführongsform des erfinclunnsgemä'l.en
Bildwiederrrabe^eräts;
Fig. £ ist eine perspektivische Ansicht eines Teils der bevorzugten
Aus führung f. for Γι der Erfindung;
Fig. 5 ist eine Querschnittsansicht der Ausführungsforin nach
Fig. 2;
Fig. 4 zeigt Äquipotentiallinien, die sich bei Anlegen verschiedener
Vorspannungspotentiale an die Elektrodenpaare ergeben.
Das in Fig. 1 dargestellte Bildwiedergabegerät in Flachbauweise ist gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ausgebildet.
Das Gerät ist insgesamt mit 10 bezeichnet und umfaßt einen evakuierten Kolben 11, der sich aus einem Bilderzeugungsabschnitt
13 und einem Strahlerzeugungsabschnitt 14 zusammensetzt.
Der Kolben 11 hat eine rechteckige Vorderwand 16 und eine rechteckige Eückwand 17, die im Abstand parallel zur Vorderwand
16 liegt. Vorder- und Rückwand 16 und 17 sind durch
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vier Seitenwände 18 miteinander νerfunden. An der Vorderwand 16
"befindet sich ein Bildschirm 52, der beim Auf treffen von Elektronen
mit einer Sichtanzeige reagiert.
Zwischen der Vorderwand 16 "und der Rückwand 17 sind mehrere
parallele Stützwände 19 "befestigt, die sich vom Strahlerzeugungsabschnitt
14 zur gegenüberliegenden Seitenwand 18 erstrecken.
Die Stützwände 19 sorgen für den gewünschten inneren Halt gegenüber dem äußeren Atmosphärendruck und unterteilen den Kolben 11
in eine Vielzahl von Kanälen 21. In jedem der Kanäle 21 befindet sich eine Strahlführungsanordnung des in der US-Patentschrift
4 128 784 beschriebenen Typs. Die Strahlführungsanordnungen enthalten
jeweils zwei beabstandete parallele Strahlführungsgitter 22 und 25? die quer durch die Kanäle reichen, und sich in Längsrichtung
der Kanäle vom Strahlerζeugungsabschnitt 14 zur gegenüberliegenden
Seitenwand 18 erstrecken. Zwischen dem Führungsgitter 22 und dem Bildschirm 32 befindet sich ein Fokussierungsgitter
50. Der Schirm 32 luminesziert, wenn er von Elektronen
getroffen wird.
Die Fig. 2 zeigt den Strahlerzeugungsabschnitt 14 in näheren
Einzelheiten. Die Führungsgitter 22 und 25 liegen parallel zur Rückwand 17 "und sind durch einen Zwischenraum 24 voneinander
getrennt, in welchem die von der Kathode 26 ausgesandten Elektronen zwischen den beiden ITubrir^j^i ;tern weit erwandern. Beide
Führungsgitter sind mit einer Vielzahl von Öffnungen 27 versehen,
die in Längsrichtung verlaufende Spalten und in Querrichtung verlaufende Reihen bilden. An der Rückwand 17 befindet
sich eine Vielzahl von Extraktionselektroden 28, die parallel
zu den Querreihen der Öffnungen 27 verlaufen. Die von der Kathode 26 ausgesandten Elektronen werden in den Zwischenraum 24
zwischen den Führungsgittern 22 geschossen und wandern längs
den Spalten der Öffnungen 27, wobei jede dieser Spalten jeweils eine Strahlführung darstellt. Die Extraktionselektroden 28 erfüllen
einen doppelten Zweck. Indem man sie positiv z.B. auf +350 Volt vorspannt, wirken die positiven Vorspannungspotentiale
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mit einem an das Fokussierungsgitter 30 gelegten Vorspannungspotential
zusammen, um elektrostatische Felder zu "bilden, die
durch die Öffnungen 27 hindurchgreifen, um die Elektronenstrahlen
in der Nähe der Mitte des Zwischenraums 24 zwischen den Führungsgittern 22 und 23 zu fokussieren. Die Extraktionselektroden
28 dienen außerdem dazu, die Elektronenstrahlen aus dem EauM zwischen den Führungsgittern hinauszutreiben. Wenn die
Elektronenstrahlen aus dem Raum zwischen den Führungsgittern
heraustreten und in Richtung auf den Bildschirm 23 gelenkt werden sollen, dann wird eine negative Spannung von z.B. -100 Volt
an eine der Extraktionselektroden 28 gelegt. Diese negative Spannung stößt die Elektronenstrahlen ab und drängt sie durch
die Öffnungen 27 des Führungsgitters 22. Die Elektronenstrahlen treten dann durch die Öffnungen 31 der Fokussierungselektrode
30 und wandern zum Bildschirm 32, um eine Zeile des wiederzugebenden Bildes darzustellen.
Die Kathode 26 ist zwischen zwei Elektroden 29a und 29b angeordnet,
die hier als Elektrodenpaar GO bezeichnet werden. Zwischen dem Elektrodenpaar GO und den Führungsgittern 22 und 23
befinden sich noch mehrere weitere Elektrodenpaare G1, G2, G3 und G4. Die Elektrodenpaare G0-G4 erstrecken sich quer zu den
Kanälen 21, und die beiden Elektroden jedes Paars haben einen Abstand voneinander, der gleich dem Abstand 24 zwischen den
Führungsgittern 22 und 23 ist. Die Elektrodenpaare G0-G4 sind
also koplanar (d.h. liegen in gleicher Ebene) mit den Führungsgittern 22 und 23 und parallel zum Bildschirm 32.
Wie am besten in Fig. 3 zu erkennen ist, befinden sich die Elektrodenpaare G1-G4 innerhalb des Strahlerzeugungsabschnitts
14 und somit außerhalb des Bilderzeugungsabschnitts 13 (Fig. 1). Daher ist diejenige Querreihe der Öffnungen 27, die dem Elektrodenpaar
G4 am nächsten liegt, die erste Reihe von Öffnungen, die zum Aufbau des Bildes im Bildwiedergabegerät beitragen kann.
Deswegen bleiben die Elektrodenpaare G1-G4 im wesentlichen unbeeinflußt
von dem Vorspannungspotential, welches dem Fokussier-
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gitter 30 angelegt wird, das sich zwischen dein Bildschirm 32
und den Führungsgittern im Bildwiedergabeabschnitt 13 befindet.
Die "Verwendung der Elektrodenpaare G1-G4 erlaubt eine hohe Flexibilität
hinsichtlich der Modulationsmethoden, die zum Einschießen
von Elektronen in den Zwischenraum 24 zwischen den Führungsgittern 22 und 23 angewandt werden, und führt außerdem
zu höheren Elektronengeschwindigkeiten beim Einschuß in die Strahlführung. Dies ist erwünscht, weil mögliche mechanische
Strukturänderungen dann für kürzere Dauer auf die Elektronen
einwirken, so daß die nachteiligen Folgen solcher Fehler miniaal bleiben. Eine Art der Modulation, die hier angewendet werden
kann, ist die sogenannte G-1 -Modul at ion. Bei dieser Modulationsmethode
wird das Elektrodenpaar GO auf ein festes negatives Potential vorgespannt, während das Elektrodenpaar G2 auf ein
festes positives Potential vorgespannt wird. Die Steuerung der von der Kathode 26 aus gesandt en Elektronen f-;3schieht dann durch
Änderung des Vorspannunpspotentials, das an das Modulationselektrodenpaar
G1 angelegt wird. Wenn man die festen Vorspannungspotentiale für die -^lektrodenpaare GO und G2 auf -100 Volt bzw.
+300 Volt einstellt, dann ändern sich die zwischen den Elektrodenpaaren
GO und G1 und zwischen den Elektrodenpaaren G1 und G2 gebildeten elektrostatischen Linsen, wenn das an das Modulationselektrodenpaar
G1 gelegte Vorspannungspotential zwischen 0 und -100 Volt geändert wird. Wie in Fig. 4 dargestellt, führt bei
einem Potential von 0 Volt am Elektrodenpaar G1 ein Potential von -100 Volt am Elektrodenpaar GO dazu, daß das resultierende
Feld verhältnismäßig tief in das Elektrodenpaar GO eindringt,
wie es die Äquipotentiallinie 32a veranschaulicht. Die elektrostatische Linse zwischen den Elektrodenpaaren G1 und G2 ist relativ
stark, und auch hier dringt das Feld zwischen diese beiden Paare, wie es die Äquipotentiallinie 33a in Fig. 4 veranschaulicht.
Wenn sich das Vorspannungspotential am Elektrodenpaar
G1 dem Wert -100 Volt nähert, dann ändern sich die Äquipotentiallinien zwischen den Elektrodenpaaren dramatisch. Die
Potentiale an den Elektrodenpaaren GO und G1 nähern sich unter diesen Bedingungen einander an, so daß in das Elektrodenpaar
- 10 130038/0935
- ίο -
GO π ehr wenig; Feld." tär ice eindringt, wie es die Äquipotentiallinie
32b in Fig. 4 veranschaulicht. Wenn das Vorspannungspotential
des Elektrodenpaars G1 den Wert -100 Volt erreicht, dann existiert zwischen den Elektrodenpaaren GO und G1 ein
feldfreier Raum. Wegen der erhöhten Spannungsdifferenz zwischen den Elektrodenpaaren G1 und G2 gibt es jedoch eine erhöhte
Feldeindringung zwischen diesen Elektrodenpaaren, wie es die Äquipotentiallinie ^Jb in Fig. 4 veranschaulicht. Wenn also
das Potential am Elektrodenpaar G1 von 0 auf -100 Volt geändert wird, dann ändern sich die Potentiallinien zwischen den in
Fig. 4 gezeigten Erscheinungsformen.
Änderungen des Potentials am Elektrodenpaar G1 führen dazu, daß sich die Bahnen der von der Kathode 2:6 ausgehenden Elektronen
ändern. Aus diesem Grund wird dar an das Elektrodenpaar Gp gelegte Vorrpannungspotential dazu herangezogen, die Elektronen
auf eine Stelle zu fokussieren, die in wesentlichen in der iiitte zwischen den Führungsprittern Z : und 25 liegt. Dies geschieht
durch Einstellen des Potentials V? am Elektrodenpaar
G5 auf einen Wert VJ> = Vv2'V4, wobei V2 und V4 die Vorfipannun~spotentiale
an den Elektrodenpaaren G2 und G4 sind. Das Potential V? ist gleich +500 Volt wie oben angegeben,, Das Potential am
Elektrodenpaar G4 wird entsprechend der Geometrie des Systems gewählt; bei einem Abstand in der Größenordnung von 1,5 mm
beträgt es typischerweise +550 Volt. Somit w±rd das Vorspannungs
potential V5 am Elektrodenpaar G5 durch die Potentiale an den
Elektrodenpaaren G2 und GM- bestimmt und fokussiert den Elektronenstrahl
im Bereich der Mitte des Zwischenraums 24 zwischen den Führungsgittern 22 und 25. Die Elektronenstrahlen treten
daher in fokussierter Form in diesen Zwischenraum 24 ein. Diese Fokussierung wird aufrecht erhalten durch die Wechselwirkung
der positiven Vorspannungspotentiale an den Führungsgittern
und 23, den Extraktionselektroden 28 und dem Fokussierungsgitter
50 auf der anderen Seite der Führungsgitter.
Mit der hier beschriebenen Modulatorstruktur ist auch eine an-
- 11 130038/0935
dere Modulationsmethode, die sogenannte G2-Modulation, möglich.
Bei dieser Modulationsmethode werden die Elektrodenpaare GO und G1 "beide auf einem Potential von im wesentlichen 0 Volt festgehalten.
Bei einem Zwischenraum zwischen den Führungsgittern 22
und 25 von "beispielsweise etwa 1,3 mm "bewirkt ein Vorspannungspotential
von +100 Volt am Elektrodenpaar G2, daß ein. für Betriebszwecke ausreichender Elektronenstrahlstrooi fließt. Der
Strahlstron; kann also gesteuert werden, indem das Vorspannungspotential
am Elektrodenpaar G2 zwischen 0 und +100 Volt verändert wird.
Diese Modulationsmethode ist deswegen zweckmäßig, weil das Potential
am Modulationselektrodenpaar G2 das einzige Potential im Kathodenbereich ist, so daß Änderungen der Spannung V2 nicht
zur Änderung der Bahnen der von der Kathode 26 ausgehenden Elektronen führen. Dementsprechend ändert sich auch die Fokussierung
des Elektronenstrahls nicht. Die Geschwindigkeiten der Elektronen werden jedoch höher, wenn das Potential V2 ansteigt,
und daher haben Änderungen in der mechanischen Struktur des Systems einen weniger nachteiligen Effekt bei höheren Stromstärken,
wo eine bessere Toleranz erwünscht ist, denn infolge der erhöhten Geschwindigkeit werden die Elektronen den Strukturänderungen
weniger lange ausgesetzt. Jedoch muß das das Modulationselektrodenpaar G3 vorspannende Potential V3 geändert werden,
wenn V2 geändert wird, um sicnerzastellen, daß die Elektronenstrahlen
im wesentlichen parallel bleiben. Dieses Potential fokussiert die Elektronenstrahlen in der Mitte zwischen den G3-Elektroden,
so daß die Elektronenstrahlen praktisch in. der Mitte des Zwischenraums 24 in die Führungsgitteranordnung 2^, 23 eintreten.
Die an die Führungsgitter 22 und 2"5, die Extraktionselektroden 28 und das Fokussierungsgitter 30 gelegten fokussierenden
Potentiale wirken zusammen, um diese Fokussierung weiter
beizubehalten, wenn die Strahlen entlang der Länge der Führungsgitter wandern.
Ob man nun die G1- oder die G2-Modulation anwendet, in jedem
Fall erzielt man einen wesentlichen Vorteil, weil die Maximal-
130038/0935 - Λα -
- "lc -
stärke der Elektronenemission an der Kathode 26 praktisch unabhangng
von der.; für die Führ ungs gitter 2... und 23 gewählten
Potential kontrolliert werden kann. Außerdem ist die anfängliche Fokussierung: zwischen den Hodulat ions elektroden unabhänf~ip
von den festen Potentialen, die an die Extraktionselektroden und die FokURPierungsgitter gelegt werden. Daher können die Potentiile,
welche die Elektronen in den Zwischenraum zwischen den Führungsgittern fokussieren, im wesentlichen unabhängig von
denjenigen Potentialen gewählt werden, die zur periodischen
Fokusπierung den Strahls entlang der Strahlführung oder zur
ZxtrahierunF des Strahls aus der Führung verwendet werden.
Au'ierde·. sind die Lagetoleranzen der Elektroden nahe der Kathode
sehr gering, v/eil diese Elektroden auf Oberflächen hoher
Qualität aufgebracht bzw. niedergeschlagen werden.
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Leerseite
Claims (9)
- PATENTANWÄLTE ~ . η O O ?DR. DIETER V. BEZOLD ^ U 4 0 O Q 4.DIPL. ING. PETER SCHÜTZ DIPL. ING. WOLFGANG HEUSLERMARIA-THERESIA-STRASSE 22 POSTFACH 86 06 68D-8OOO MUENCHEN 86ECA 72 160 A ' TELEFON 089,47 69 06TJ.S. Serial No: 108,125 ab sept. 1980= 4706006Piled: Deceraber 28, 1979 telex saaaaeTELEGRAMM SOMBEZRCA Corporation Hew York, Π.Ϊ., V.St.v.A.Bildwiederp;abe^er:Ät und Verfahren zu s e in er Lo dul at i onPatentansprücheBildwiedergabegerät mit einem evakuierten Kolben, der ^ einen Bilderzeugungsabschnitt und einen Strahlerzeugungsabschnitt umgibt, xrobei der Bilderzeugungsabschnitt eine Bildschirmfläche und eine Elektronenstrahl-Führungsanordnung enthält, um Elektronenstrahlen entlang der Bildschirmfläche zu führen, und wobei der Strahlerzeugungsabschnitt eine Kathodenanordnung enthält, um Elektronen zur Elektronenstrahl-Führungsanordnung zu liefern, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Kathodenanordnung (26) und der Elektronenstrahl-Führungsanordnung (22, 23) eine Vielzahl von Elektrodenpaaren (GO-G4) angeordnet ist, um die Elektronen zu einem Strahl zu bündeln, den Strahl zu modulieren und die Elektronen in die Führungsanordnung hineinzuschießen.130038/0935 " 2 ~ZUGELASSEN BEIM EUROPÄISCHEN PATENTAMT ■ PROFESSIONAL REPRESENTATIVES BEFORE THE EUROPEAN PATENT OFFICEPOSTSCHECK MÜNCHEN NR. 6 9143-800 · BANKKONTO HYPOBANK MÖNCHEN (BLZ 700 200 40) KTO. 60 60 25 73 78 SWIFT HYPO DE MM/NSPEGTED
- 2. Bildwiedergabegerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens drei solche Elektrodenpaare (G0-G2) vorhanden sind und daß die Kathodenanordnung (26) zwischen den Elektroden des ersten Elektrodenpaars (GO) angeordnet ist.
- 3. Bildwiedergabegerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein viertes Elektrodenpaar (G3) und ein fünftes Elektrodenpaar (G4) vorhanden ist, die zwischen dein dritten Elektrodenpaar (G2)und der Elektronenstrahl-Führungsanordnung (2Γ, 25) angeordnet sind.
- 4·. Bildwiedergabegerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektronenstrahl-Führungsanordnung (22, 23) zwei parallele beabstandete Führungsgitter (22 und 23) enthält und daß die Elektroden der Elektrodenpaare (GO-G4-) jeweils einen Abstand voneinander haben, der im wesentlichen gleich dem Abstand zwischen den Führungsgittern ist.
- 5- Bildwiedergabegerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Elektrodenpaare (GO-G4) in den gleichen Ebenen wie die Führungsgitter (22 und 23) liegen.
- 6. Verfahren zur Modulation eines Bildwiedergabegeräts, das einen Bilderzeugungsabschnitt und einen Strahlerzeugungsabschnitt aufweist,, wobei der Bilderzeugungsabschnitt zwei beabstandete parallele Führungsgitter zur Führung des Weges von Elektronen enthält und wobei der Strahlerζeugungsabschnitt eine Kathode zur Aussendung der besagten Elektronen enthält, dadurch gekennzeichnet, daß eine Vielzahl von Elektrodenpaaren (GO-G4) zwischen der Kathode (26) und den Führungsgittern (22 und 23) angeordnet werden, wobei die Kathode zwischen die Elektroden des ersten Elektrodenpaars (GO) zu liegen kommt, und daß an das erste Elektrodenpaar (GO) ein festes negatives Vorspannungspotential, an das dritte Elektrodenpaar (G2) ein positives Vorspannung spot ent ial und an das zweite Elektrodenpaar (G1) ein sich änderndes Potential gelegt wird. - 3 -130038/0935
- 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß an ein viertes Elektrodenpaar (G-5) ein Potential 73 =-/72*74 gelegt wird, wobei 72 das 7orSpannungspotential am dritten Elektrodenpaar (G2) und 74 das 7orSpannungspotential an einem fünften Elektrodenpaar (G4) ist.
- 8. 7erfahren zur Modulation eines Bildwiedergabegeräts, das einen BiIderζeugungsabschnitt und einen Strahlerzeugungsabschnitt aufweist, wobei der Bilderzeugungsabschnitt zwei beabstandete parallele Führungsgitter zur Führung des Weges von Elektronen enthält und wobei der Strahlerzeugungsabschnitt eine Kathode zur Aussendung dieser Elektronen enthält, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Kathode (26) und den Führungsgittern (22 und 23) eine 7ielzahl von Elektrodenpaaren (GO-G4) angeordnet wird, wobei die Kathode zwischen die Elektroden des ersten Elektrodenpaars (GO) zu liegen kommt, und daß an das erste Elektrodenpaar ein festes Potential, an das zweite Elektrodenpaar (G1) ein festes 7orspannungspotential und an das dritte Elektrodenpaar (G2) ein variables Potential gelegt wird.
- 9. 7erfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die festen 7orspannungspotentiale einander gleich gewählt werden._ 4 130038/0935
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- 1980-12-25 JP JP18950980A patent/JPS56102052A/ja active Pending
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