DE3035668A1 - Elektrisches netzwerk und herstellungsverfahren - Google Patents

Elektrisches netzwerk und herstellungsverfahren

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DE3035668A1 DE19803035668 DE3035668A DE3035668A1 DE 3035668 A1 DE3035668 A1 DE 3035668A1 DE 19803035668 DE19803035668 DE 19803035668 DE 3035668 A DE3035668 A DE 3035668A DE 3035668 A1 DE3035668 A1 DE 3035668A1
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    • H01C13/02Structural combinations of resistors

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Description

  • Elektrisches Netzwerk und Herstellungsverfahren.
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein elektrisches Netzwerk, in dem zumindest eine Widerstandsschicht mit einer ersten Kunststoffolie stoffschlüssig verbunden ist, in dem im Randbereich der Kunststoffolie äußere Anschlüsse mit der Widerstandsschicht stoffschlüssig verbunden sind.
  • Ein derartiges Netzwerk in Folientechnik ist beispielsweise aus der DE-PS 17 6551i bekannt. Auf einer derartigen Folienschaltung können jedoch wegen der erforderlichen geringen Abmessungen der Bauelemente nur relativ kleine Widerstandswerte untergebracht werden.
  • Die Aufgabe, die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegt, besteht bei einem Netzwerk der eingangs beschriebenen Art darin, daß auch hohe Widerstände bis in den Bereich von Megohm auf kleinen, an heute übliche Rastermaße gebundenen elektrischen Netzwerken untergebracht werden sollen.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß zumindest eine weitere, mit einer Widerstandsschicht versehene Kunststoffolie die erste Kunststoffolie überlappend angeordnet ist, daß auch die elektrisch leitfähige Schicht auf der weiteren Kunststoffolie eine Widerstande schicht ist, daß die Widerstandsschichten auf einer Seite der jeweiligen Folie einen Frei rand freilassen, daß die Freiränder auf benachbarten Kunststoffolien an einander gegenüber liegenden Seiten des Netzwerkes liegen, daß die Kunststoffolien so weit gegeneinander versetzt angeordnet sind, daß die Freiränder über die jeweils benachbarten Kunststoffolien vollständig hervorstehen, daß eine erste Kontaktschicht jeweils die Kante einer im Bereich der Versetzung zurückliegenden Kunststoffolie umfaßt und die Widerstandsschicht von je einer zurückliegenden mit der Widerstandsschicht auf einer hervorstehenden Kunststoffolie elektrisch leitend verbindet, daß die Kontaktschichten zumindest nicht jede vorstehende Kunststoffolie umfassen, daß auf den beiden freiliegenden Außenseiten der Kunststoffolien je eine Kontaktfolie angeordnet ist, welche jeweils auf einer Seite des Netzwerkes über die erste und die weitere Kunststoffolie vorsteht, daß außerhalb der beiden Kontaktfolien jeweils eine Trennschicht angeordnet ist, welche gegenüber dem vorstehenden Teil der Kontaktfolie zurückgesetzt endet, die zurückliegende Kante der Kontaktfolie aber überdeckt und isoliert, daß an diese Trennschichten angrenzend Decklagen angeordnet sind, daß die ersten Kontaktschichten durch eine Isolierstoffschicht vollständig bedeckt sind und daß je eine zweite Kontaktschicht auf diese Isolierstoffschichten aufgebracht ist und jeweils eine Kontaktfolie kontaktiert.
  • Das vom Schichtkondensator her bekannte Stapeln von metallisierten Kunststoffolien wurde stets mit einer Parallelschaltung von allen Belägen verbunden. Eine großtechnisch herstellbare Serienschaltung von Widerstandsschichten war bisher nicht möglich. Erst die Gesamtheit der Merkmale der vorliegenden Erfindung zeigt einen Weg für eine Hintereinanderschaltung von Widerstandsschichten auf engstem Raum in Serienfertigung. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können beispielsweise Netzwerke für das Rastermaß 5mm gebaut werden, welche Widerstände im Megohm-Bereich enthalten.
  • Vorteilhaft sind beim vorgeschlagenen Verfahren mehrere Kunststoffolien vorhanden und die Widerständsschichten so angeordnet, daß zwischen zwei Widerstandsschichten jeweils eine Kunststoffolie liegt. Dadurch ergibt sich ein einfa- cher Aufbau eines Widerstandsnetzwerkes.
  • In einer vorteilhaften Ausführungsform sind die Widerstandsschichten Metallschichten, die Randstreifen verstärkt, die erste und die zweite Kontaktschicht Spritzmetallschichten und die Kontaktfolie ist eine Metallfolie.
  • Die erste Spritzmetallschicht kann dabei mit dem Schoop'-schen Metallspritzverfahren aufgebracht sein.
  • Eine Parallelschaltung von Widerstandsschichten ergibt sich, wenn die Kunststoffolien um unterschiedliche Beträge gegeneinander seitlichs versetzt sind und wenn nur um einen genil--n D g gegeneinander versetzte Kunststoffolien keine Freiränder aufweisen und von der ersten Kontaktschicht an beiden Randern überbrit sind. Ein besonders stabiler Aufbau wird erreicht, indem die Trennschicht eine Kleberschicht ist und mit den angrenzenden Schichten verklebt ist.
  • Ein RC-Netzwerk wird erreicht, indem zumindest eine Kunststoffolie beidseitig Freiränder aufweist. In diesem Fall entsteht keine Serienschaltung von Widerständen, die beidseitig Frei ränder aufweisende Kunststoffolie dient als Kondensatordielektrikum. Sie kann beidseitig metallisiert sein, wenn ein homogenes Dielektrikum notwendig ist.
  • Durch entsprechende Muster auf den Kunststoffolien können gemäß der Erfindung einzelne Widerstände und ebenso vorteilhaft beliebige Kombinationen von Widerständen oder Widerständen und Kondensatoren gebildet werden, soweit nur zwei äußere Anschlüsse erforderlich sind.
  • Ein Grobabgleich der Widerstandswerte ist erfolgt, indem bei einer unterschiedlichen Versetzung der Kunststoffolien gegeneinander die erste Kontaktschicht ur so wet abgetragen ist, daß ein dem Abgleich entsprechender Anteil der WiderstandsschidSen nah aznander zuzueinander parallel geschaltet ist. Ein Feinabgleich der Werte ist durch ein Ausbrennen der Widerstandsschichten, beispielsweise mit einem Laser, möglich.
  • Ein vorteilhaftes Verfahren zur Herstellung eines Netzwerkes der vorgeschlagenen Art setzt sich aus folgenden Verfahrensschritten zusammen: 1. Bedampfung einer Kunststoffolie mit einer Widerstandsschicht und Herstellung von Widerstandsstrukturen und Randverstärkungen, 2. Tempern der beschichteten Folie, 3. Herstellung eines Stapels von metallisierten Kunststoffolien, wobei die Kunststoffolien gegeneinander unterschiedlich weit versetzt werden, 4. Aufbringen der ersten Kontaktschicht mittels des Schoop'schen Flammspritzverfahrens 5. Erzeugung eines Freirandes durch Ausbrennen oder spanabhebendes Abtragen bis zu einer vorher bestimmten Tiefe, wobei die Folienlagen mit geringer Versetzung gegenüber den Nachbarfolien nicht erfaßt werden, 6. Aufbringen der Decklagen, 7. Aufbringen der Isolierstoffschicht, 8. Erzeugung der zweiten Kontaktschicht mittels des Schoop' schen Flammspritzverfahrens, 9. Zersägen der beiden Spritzmetallschichten, nicht aber des Widerstandskörpers, 10. Prüfung der mechanisch noch miteinander verbundenen Netzwerke und Abgleich mittels Lasers durch die Decklagen hindurch, 11. Trennen in einzelne Netzwerke.
  • Dieses Verfahren kann durch Aufwickeln der Folien auf ein großes Rad und ein Zersägen der entstehenden Wickel weitergebildet werden. Es kann auch ein Strang von übereinanderliegenden Folien gebildet werden.
  • Die erfindungsgemäßen Netzwerke können vorteilhaft Chipwiderstände oder einfache Module in Chip-Bauweise sein, die keine Anschlußdrähte aufweisen und unmittelbar auf eine gedruckte Schaltung oder dergleichen aufgelötet werden können. Der erfindungsgemäße Aufbau vereint die Vorteile von Netzwerken in Folientechnik mit einer kompakten Bauweise, die den mechanischen Beanspruchungen bei einer modernen automatischen Fertigung wie Magazinieren, Gurten, automatisches Besticken, Aufkleben auf eine gedruckte Schaltung, Schwallen gewachsen ist. Die Widerstandswerte können beispielsweise ohne besondere Schwierigkeiten bei einem Chip-Widerstand für das Rastermaß 5mm den Bereich zwischen 5 Ohm und 2Megohm überstreichen.
  • Die Widerstandswerte werden durch Variation des Flächenwiderstandes, der Zahl der Lagen und der Strukturierung der Metallschicht eingestellt.
  • Bei der Bedampfung der Kunststoffolien wird vorteilhaft auf die Kunststoffolie ein gesonderter Widerstandsmeßstreifen aufgedampft, welcher bei den anschließenden Verfahrensschritten zur weitgehenden Einengung des mit Schwankungen des Flächenwiderstandes entstehenden Streubereichs der Widerstandswerte ausgewertet wird.
  • Der Randbereich der Widerstandsschicht, welcher später durch eine Kontaktfolie kontaktiert werden soll, wird vorteilhaft durch einen Kontaktstreifen verstärkt, welcher im Zuge der Bedampfung der Kunststoffolien mit aufgebracht wird.
  • zur Verfestigung des Schichtpaketes wird vorteilhaft nach dem Aufbringen der Widerstandsschicht und der Kontaktstreifen eine Kleberschicht im bead coat Verfahren auf lackiert.
  • Als Widerstandsschichten eignen sich insbesondere Chrom-Nickel-Schichten, als Verstärkungen insbesondere Kupfer- schichten oder Aluminiumschichten. Als Kunststoffolien eignen sich Polyäthylentherephthalatfolien von beispielsweise 3 Stärke, oderFbldfolien (Polyäthylentherephthalat ist zwar nicht beständig bei Löttemperaturen, aber durch die Isolierstoffschichten ausreichend gesS X t Das Stapeln der Kunststoffolien kann mit den für Schichtkondensatoren bekannten Methoden und Verfahrensschritten erfolgen.
  • Kunststoffolien mit beidseitigen Freirändern, welche zur Bildung von Kapazitäten dienen, weisen vorteilhaft eine größere Breite auf, als die übrigen Kunststoffolien, sind beidseitig metallbeschichtet und derart gefaltet, daß die Frei ränder an einander gegenüberliegenden Stirnseiten des Netzwerkes über die unmittelbar benachbarten Folien hervorragen. Die Breite dieser Kunststoffolie braucht nicht unbedingt ein Vielfaches der Breite der übrigen Kunststoffolien zu sein, insbesondere bei der Verwendung von Kleberschichten können auch eine oder mehrere Falten schmaler sein, als die übrigen Folien. Die Metallschichten auf dieser Kunststoffolie sind vorteilhaft aus einem Ventilmetall, insbesondere aus Aluminium, und regenerierfägig dünn.
  • Die zweite Kontaktschicht umklammert die Kunststoffschiiten und Decklagen und gewährleistet in vielen Fällen eine so hohe Festigkeit des Netzwerkes, daß auf eine Verklebung der einzelnen Folien miteinander verzichtet werden kann.
  • Vorteilhaf+ werden auf einem Kunststoffband von der mehrfachen Breite der im Netzwerk benötigten Kunststoffolien mehrere Widerstandsschichten und Kontaktstreifen gleichzeitig aufgedampft. Die Folie wird dann anschließend im Bereich der Kontaktstreifen in Folien von der gelfünschten Breite zertrennt.
  • Das Zers$n br SpntzmeCAlschichten kann mit einer Kreissäge oder auch mit einer Gattersäge erfolgen, wobei die Spritzmetallschichten zertrennt, die Kunststoffschichten aber nur eingesägt werden.
  • Die Kontaktfolie reicht vorteilhaft nur in die zweite Kontaktschicht hinein, ohne den äußeren Rand dieser zweiten Kontaktschicht zu erreichen. Dadurch ist sowohl die mechanische Verklammerung durch die zweite Kontaktschicht als auch der elektrische Kontakt zwischen der zweiten Kontaktschicht und der Kontaktfolie besonders vorteilhaft. Außerdem läßt sich bei diesem Aufbau eine glatte, maßhaltige Spritzmetallschicht erreichen.
  • Vorteilhaft ist zwischen je zwei Kunststoffolien eine isolierende Trennschicht angeordnet, welche auf beiden Seiten Randstreifen der Widerstandsschichten freiläßt.
  • Die Trennschicht kann eine Kleberschicht oder eine Lackschicht oder auch eine gesonderte Folie sein. Sie gewahrleistet, daß die erste Kontaktschicht am Übergang zwischen zwei benachbarten Folien keinen unzulässig hohen mechanischen Spannungen ausgesetzt ist. Sie vermindert daher die Gefahr von feinsten Rissen, die durch mechanische Kräfte hervorgerufen werden könnten, welche an den vorstehenden Kunststoffolien angreifen. Dies erfolgt durch die Verankerung der ersten Kontaktschicht in relativ schmalen Spalten im festen Teil des Stapels, wo keine Auflockerung des Stapels durch eine gegenseitige Versetzung der Folien mehr vorhanden ist.
  • Die Erfindung wird nun anhand von zwei Figuren näher erläutert. Sie ist nicht auf das in den Figuren gezeigte Beispiel beschränkt.
  • Fig. 1 zeigt ein erfindungsgemäßes Netzwerk in geschnittener Ansicht.
  • Fig. 2 zeigt ein metallisiertes Kunststoffband, welches zur Herstellung von Folien für ein erfindungsgemäßes Netzwerk geeignet ist. Die Metallisierungen sind hier schraffiert dargestellt.
  • Auf eine erste Kunststoffolie 1 und auf weitere Kunststoffolien 2sind Widerstandsschichten 3 aufgebracht. Auf die beschichtete Kunststoffolie 1 sind mehrere weitere Kunststoffolien 2, 20 unter Zwischenlage von Trennschichten 13 gegeneinander seitlich versetzt aufgestapelt. Die seitliche Versetzung ist nicht bei allen Folien gleich. Die weitere Kunststoffolie 20 ist gegenüber den benachbarten Folien um einen relativ geringen Betrag seitlich versetzt.
  • Erste Kontaktschichten 6 überbrücken die jeweils zurückgesetzten Kanten der Kunststoffolien 1, 2 kontaktieren die darauf befindlichen- Widerstandsschichten 3 und reichen an zumindest eine Widerstandsschicht 3 auf einer vazstehenden Folie heran und kontaktieren auch diese. Dadurch entsteht eine Hintereinanderschaltung von Widerstandsschichten 3.
  • An der nichtmetallisierten Oberfläche der ersten Kunststoffolie 1 und an der Trennschicht 13 über der metallisierten Oberfläche der letzten weiteren Kunststoffolie 2 ist je eine Kontaktfolie 7 angeordnet. Diese Kontaktfolien 7 reichen einseitig an einander gegenüber liegenden Seiten deutlichüberalle Kunststoffolien1,2 heraus. Die nicht über die Kunststoffolien1, 2 vorstehenden Ränder der Kontaktfolie 7 liegen so weit gegenüber den benachbarten Kunststssblienl, 2zurückversetzt, daß die ersten Kontaktschichten 6 die zurückliegenden Ränder der Rontaktfolien 7 mit Sicherheit nicht erreichen können. Die beiden Außenseiten der Kontaktfolien 7 sind mittels Trennschichten 17 von je einem Decklagenpaket 8 auf Abstand gehalten.
  • Erste Kontaktschichten 6 kontaktieren Widerstands schichten 3, die sich auf jeweils benachbarten Kunststoflien 1, 2, 18 befinden. Sie reichen um eine oder mehrere Kanten der Kunststolien 1,2,18 berum.flie Metallisierungen auf den Kunststcafolien 1,2,% urldieenten Kontaktschichten 6 sind durch Isolierstoffschichten 9 abgedeckt. Die Kontaktfolien 7 überragen die Isolierstoffschichten 9. Auf die Isolierstoffschichten 9 sind zweite Kontaktschichten 10 aufgebracht, vorzugsweise nach dem Schoop'schen Flammspritzverfahren aufgespritzt. Die zweiten Kontaktschichten 10 kontaktieren die Kontaktfolien 7 und umklammern den ganzen Stapel inklusive der Decklagen 8. Sie stellen die äußeren Kontakte des Netzwerkes dar und halten und verfestigen gleichzeitig das Netzwerk. Insbesondere in dem Zwischenraum zwischen den Decklagen 8undden Kontaktfolien 7, welcher sich an die Trennschichten 17 anschließt, entsteht eine sehr sichere Verbindung zwischen den Kontaktfolien 7 und den zweiten Kontaktschichten 10.
  • Äußere Abstandsfolien 11, welchedeEndbereiche 21 der zweiten Kontaktschichten 10 überragen, stellen gegenüber benachbarten Bauelementen für das eingebaute Netzwerk einen Berührungsschutz dar. Sie ermöglichen eine sehr dichte Packung von Netzwerken auf einer Schaltungsplatte.
  • Die Freiränder 4 sind durch Abbrennen der dort niedergeschlagenen Teile der ersten Kontaktschichten 6 erzeugt.Sie reichen demgemäß um die Kanten herum bis in die Nähe der Kanten der benachbarten Kunststoffolien. Die Freiränder15 sind dagegen durch eine spanabhebende Behandlung der Kanten der Kunststoffolien2, 18entstarienDie ersten Kontaktschichten 6 reichen daher bis an die Kanten der entsprechenden Kunststof*1ien 2 18 heran. Bei der Herstellung der Freiränder 4 und 15 wurde jeweils die weitere Kunststofffolie 20 nicht erreicht, da ihre Versetzung gegenüber den benachbarten Kunststoffolien 1,2 so geringt ist, daß sie auf keiner Seite ausreichend weit über die benachbarten Kunststoffdlen1, 2übr'steht. Dadurch ist die weitere Kunststoffolie 20 beidseitig von ersten Kontaktschichten 6 umfaßt und somit die darauf befindliche Widerstandsschicht 3 zur Widerstandsschicht 3 auf der ersten Kunststoffolie parallel geschaltet. Sollte das Netzwerk einen zu kleinen Widerstandswert zeigen, so kann durch ein weiteres Abschleifen der Freiränder 15 auch von der weiteren Kunststoffolie 20 die erste Kontaktschicht 6 entfernt werden.
  • Dadurch würde die Parallelschaltung zwischen den Widerstandsschichten 3 auf dieser und auf der ersten Kunststoffolie in eine Serienschaltung umgewandelt. Der Widerstand wäre somit vergrößert.
  • Zwischen die weiteren Kunststoffolien 2 ist eine breitere Kunststoffolie 18 eingeschoben. Diese ist beidseitig mit Metallbelägen 19, 22 beschichtet. Der Metallbelag 22 weist auf einer Seite einen Freirand 23 auf. Die breitere Kunststoffolie 18 weist außerdem beidseitig Freiränder 4 bzw.15 auf, da sie die übrigen Folien beidseitig überragt.
  • Dadurch ist ein Kondensator gebildet, dessen Dielektrikum die breitere Kunststoffolie 18 ist. Der Kondensator ist mit den WiderstandssiLd*en3 in wHS3nSsststoffolien in Serie geschaltet, wobei alle Widerstandsschichten wirksam sind.
  • Bei bedarf können die Widerstandsschichten 3 und die Metallbeläge 19, 22 mit Randverstärkungen 12 versehen werden, um eine sichere Verbindung mit den ersten Kontaktschichten 6 zu ermöglichen. In diesem Fall wird besonders vorteilhaft ein Muster aus Widerstandsschichten 3 und Randstreifen 12 auf einem breiten Kunststoffband 14 erzeugt. Meßstreifen 16, die gleichzeitig mit den Widerstandsschichten 3 aufgedampft werden, dienen zur Kontrolle und ggf. zum Abgleich der Widerstände vor der Weiterverarbeitung. Das Kunststoffband 14 wird im Bereich der Kontaktstreifen 12 in Kunststoffolien 1, 2, 20 der im Netzwerk benötigten Breite zertrennt. Anstelle der zeigten geraden Begrenzung der Widerstandsschichten/können die Widerstandsschichten 3 auch in Form von Mäandern oder anderen Widerstandskonfigurationen aufgebracht werden.(Fig. 2).
  • Bezugszeichenliste X Pat entansp rüche 2 Figuren

Claims (11)

  1. Patentansprüche Elektrisches Netzwerk, in dem zumindest eine Widerstandsschicht mit einer ersten Kunststoffolie stoffschlüssig verbunden ist, in dem im Randbereich der Kunststoffolie äußere Anschlüsse mit der Widerstandsschicht stoffschlüssig verbunden sind, d a durch gekennz e i c h n e t, daß zumindest eine weitere, mit einer Widerstandsschicht (3) versehene Kunststoffolie (2) die erste Kunststoffolie (1) überlappend angeordnet ist, daß die Widerstandsschichten (3) auf einer Seite der jeweiligen Kunststoffolie (1, 2) einen Freirand (4, 15) freilassen, daß die Freiränder (4, 15) auf benachbarten Kunststoffolien an einander gegenüberliegenden Seiten des Netzwerkes liegen, daß die Kunststoffolien (1, 2) so weit gegeneinander versetzt angeordnet sind, daß die Freiränder (4, 15) über die jeweils benachbarten Kunststoffolien (1, 2) vollständig hervorstehen, daß eine erste Kont.aktstiit (6) jeweils die Kante einer im Bereich der Versetzung zurückliegenden Kunststoffolie (1, 2) umfaßt und die Widerstandsschicht (3) auf je einer zurückliegenden, mit der Widerstandsschicht (3) auf einer hervorstehenden Kunststoffolie (1, 2) elektrisch leitend verbindet, daß die Kontaktschichten zumindest nicht jede Kante der vorstehenden Kunststoffolie (1, 2) umfassen, daß auf den beiden freiliegenden Außenseiten der Kunststoffolien (1, 2) je eine Kontaktfolie (7) angeordnet ist, welche jeweils auf einer Seite des Netzwerkes über die erste und die weitere Kunststoffolie (1, 2) vorsteht, daß außerhalb der beiden Kontaktfolien (7) jeweils eine Trennschicht (17) angeordnet ist, welche gegenüber dem vorstehenden Teil der Kontakffolie (7) zurückgesetzt endet, die zurückliegende Kante der Kontaktfolie (7) aber überdeckt und isoliert, daß an diese Trerinschichten (17) angrenzend Decklagen (8) angeordnet sind, daß die ersten Kontaktschichten (6) durch eine Isolierstoffschicht (9) vollständig bedeckt sind d daß je eine zweite Kontaktschicht (10) auf diese Iso- lierstoffschichten (9) aufgebracht ist und jeweils eine Kontaktfolie (7) kontaktiert.
  2. 2. Netzwerk nach Anspruch 1, d a d u r c h gekennz e i c h n e t, daß mehrere weitere Kunststoffolien (2) vorhanden sind und daß die Widerstandsschichten (3) so angeordnet sind, daß zwischen je zwei Widerstandsschichten (3) jeweils eine Kunststoffolie (2) liegt.
  3. 3. Netzwerk nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß die Widerstandsschichten (3) Metallschichten sind, daß die Randstreifen verstärkt sind, daß die erste und die zweite Kontaktschicht (6, 10) Spritzmetallschichten sind und daß die Kontaktfolien (7) Metallfolien sind.-
  4. 4. Netzwerk nach Anspruch 2, d a d u r c h gekennz e i c h n e t, daß die Kunststoffolien (1, 2) um unterschiedliche Beträge gegeneinander seitlich versetzt sind und daß relativ wenig gegeneinander versetzte Kunststoffolien (20) keinen Freirand aufweisen und von den ersten Kontaktschichten (6) an beiden Kanten überbrückt sind.
  5. 5. Netzwerk nach einem der Ansprüche 1 bis- 4, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß die Trennschichten (13, 17) Kleberschichten sind und mit den angrenzenden Schichten bzw. Folien verklebt sind.
  6. 6. Netzwerk nach Anspruch 2, d a d u r c h gekennz e i c h n e t, daß zumindest eine Kunststoffolie (18) beidseitig Freiränder (4, 23) aufweist.
  7. 7. Netzwerk nach Anspruch 4, d a d u r c h gekennz e i c h n e t, daß durch die Zahl der überbrückten.
    weiteren Kunststoffolien (20) und damit der parallel geschalteten Widerstandsschichten (3) ein Grobabgleich erfolgt ist.
  8. 8. Netzwerk nach Anspruch 6, d a d u r c h gekennz e i c h n e t, daß die Kunststoffolie (18) mit den beidseitigen Freirändern (4, 23) breiter ist als die übrigen Kunststofffolien (1, 2), daß sie beidseitig metallbeschichtet ist und daß sie derart gefaltet ist, daß die Freiränder an einander gegenüberliegenden Stirnseiten des Netzwerkes über die unmittelbar benachbarten weiteren Kunststoffolien (2) hervorragen.
  9. 9. Netzwerk nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daß zwischen je zwei Kunststoffolien (1, 2, 18, 20) eine isolierende Trennschicht (13) angeordnet ist, welche beidseitig seitliche Randstreifen (5) der Widerstandsschichten freiläßt.
  10. 10. Verfahren zur Herstellung eines Netzwerkes nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet d u r c h folgende Reihenfolge von Verfahrensschritten: 1. Bedampfung einer Kunststoffolie mit einer Widerstandsschicht und Herstellung von Widerstands strukturen und Randverstärkungen, 2. Tempern der beschichteten Folie, 3. Herstellung eines Stapels von metallisierten Kunststoffolien, wobei die Kunststoffolien gegeneinander unterschiedlich weit versetzt werden, 4. Aufbringen der ersten Kontaktschicht mittels des Schoop'schen Flammspritzverfahrens, 5 Erzeugung des Freirandes durch Ausbrennen oder spanabhebendes Abtragen bis zu einer vorher bestimmten Tiefe, wobei die Folienlaben mit geringer Versetzung gegenüber den Nachbarfolien nicht erfaßt werden, 6. Aufbringen der Decklagen, 7. Aufbringen der Isolierstoffschicht, 8. Erzeugung der zweiten Kontaktschicht mittels des Schoop'schen Flammspritzverfahrens, 9. Zersägen der beiden Spritzmetallschichten, nicht aber des Widerstandsnetzwerkes, 10.Prüfung der mechanisch noch miteinander verbundenen Netzwerke und Abgleich mittels Lasers durch die Decklagen hindurch,
  11. 11.Trennen in einzelne Netzwerke.
    14. Verfahren nach Anspruch-(O, d a d u r c h gekenz> z e i c h n e t, daß die Spritzmetallschichten durch eine Gattersäge gleichzeitig an mehreren Stellen durchsägt werden.
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