DE29806578U1 - Infrarot-Detektor unter Ausnutzung des thermoelektrischen Effektes - Google Patents

Infrarot-Detektor unter Ausnutzung des thermoelektrischen Effektes

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Description

Infrarot-Detektor unter Ausnutzung des thermoelektrischen Effektes
Die Erfindung betrifft einen Infrarot-Detektor nach dem Prinzip des thermoelektrischen Effektes, der in flacher, fester Bauweise ausgeführt ist.
Infrarot-Sensoren, die nach dem Thermopile-Prinzip unter Ausnutzung des thermoelektrischen Effektes arbeiten, sind bekannt. Diese Sensoren wandeln die auf sie treffende Wärmestrahlung in eine elektrische Spannung um. Die elektrische Spannung steht im Zusammenhang mit der zwischen der Sensoroberfläche und einer Wärmequelle ausgetauschten Wärmestrahlung, die wiederum von der Temperatur der Wärmequelle abhängt.
Es ist bekannt, daß Infrarot-Sensoren, die den thermoelektrischen Effekt ausnutzen, aus einer aktiven Thermoelementstruktur bestehen, wobei die Thermoelementstruktur häufig radial auf einer dünnen, schlecht wärmeleitenden, freitragenden Siliziumdioxid-Membran als dünne Schicht aufgebracht ist.
Um die mechanisch empfindliche, freitragende Membran zu schützen, besitzen solche Sensoren ein metallisches Gehäuse, das den Sensor-Chip aufnimmt und umschließt. Die Gehäusekapsel schützt dabei auch die empfindlichen Bonddrähte, die bei einem Sensor in Silizium-Chip-Ausführung zur elektrischen Kontaktierung erforderlich sind. Das Gehäuse besitzt ein Fenster, durch das die Infrarotstrahlung die Sensoroberfläche erreicht. In diesem Zusammenhang sei auf eine derzeitig aktuelle Produktinformation (1997) der Micro-Hybrid Electronic GmbH, Hermsdorf/Thüringen, bzw. auf ein Prospekt der EG & G Heimann Optoelectronics GmbH, Wiesbaden, verwiesen.
Es ist auch üblich, daß zur Verbesserung der Sensoreigenschaften das Gehäuse mit einem Inertgas gefüllt sein kann.
Es ist die Aufgabe der Erfindung, einen Infrarot-Detektor unter Ausnutzung des thermoelektrischen Effektes vorzuschlagen, welcher relativ einfach herstellbar und robust ausgeführt ist.
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe wie folgt gelöst, wobei hinsichtlich der grundlegenden Gedanken auf den Schutzanspruch 1 verwiesen wird. Die weitere Ausgestaltung der Erfindung ergibt sich aus den Schutzansprüchen 2 bis 4. . ,· -
Zur erfindungsgemäßen Lösung sind weitere Ausführungen erforderlich.
Die aktive Thermopile-Struktur ist als dünne Schicht auf einer Folie aufgebracht. Insbesondere zur mechanischen Stabilisierung und auch zur besseren Handhabung sitzt die Folie auf einem festen steifen Träger (auch als Trägerplatte bezeichnet). Der Träger, aus einem gut wärmeleitenden Material, kann z. B. aus Metall oder Keramik bestehen. Der feste Träger besitzt Kontaktstifte oder anders gesagt, der Träger besitzt Durchbrüche und durch diese Durchbrüche werden die Kontaktstifte geführt. Selbstverständlich sind die Kontaktstifte bei einem Träger aus Metall gegenüber dem Metall elektrisch isoliert.
Eine weitere zweckmäßige Lösung ist die Anordnung der Metallstifte derart, daß sie parallel zur Trägerplatte geführt werden.
Da die Thermopile-Struktur mit einer Lackschicht versehen ist, wird der Sensor gegen schädliche Umwelteinflüsse geschützt. Damit ist es nicht mehr erforderlich, daß der Detektor mit einem Metallgehäuse versehen wird. Das sonst notwendige Fenster bei einem Metallgehäuse kann entfallen. Demgegenüber wird vorgeschlagen, eine Lackschicht zu verwenden, die Infrarot-Filtereigenschaften besitzt.
Mit den erfindungsgemäßen Vorschlägen ist es möglich, ein flaches, robustes Bauelement zu schaffen.
Anhand von zwei Ausführungsbeispielen soll die Erfindung näher erläutert werden.
Die Figuren zeigen in Prinzipdarstellung:
Figur 1 - Prinzipieller Aufbau des Infrarot-Detektors gemäß erstem Ausführungsbeispiel
Figur 2 - Draufsicht gemäß Figur 1
Figur 3 - Prinzipieller Aufbau des Infrarot-Detektors gemäß zweitem Ausführungsbeispiel
Figur 4 - Ansicht in Richtung A gemäß Figur 3
ft*
Die verwendeten Bezugszeichen bedeuten:
- Thermopile-Struktur auf Folie
- Träger/Trägerplatte
- Anschlußstifte
- Kontakt mit Kontaktversiegelung
- Metallisierung
- Orientierungsmarke
1. Ausführungsbeispiel, es wird auf die Figuren 1 und 2 verwiesen.
Auf der Trägerplatte 2, die gemäß Ausführungsbeispiel aus Metall bestehen soll, ist die Folie mit der Thermopile-Struktur 1 angeordnet. Die Anschlußstifte 3 sind oberhalb der Trägerplatte 2 durch LeitklebstofiFmit den Kontaktstellen der Thermopile-Struktur 1 verbunden. Der entsprechende Kontakt mit Kontaktversiegelung ist mit dem Bezugszeichen 4 versehen.
Um bei der Montage Irrtümer auszuschließen, befindet sich an der Trägerplatte 2 die Orientierungsmarke 6.
Die Kontaktstifte sind so angeordnet, daß &zgr;. B. durch Löten der Infrarot-Detektor in eine elektrische Schaltung eingebaut werden kann.
2. Ausführungsbeispiel, es wird auf die Figur 3 und 4 verwiesen.
Auf einer im Beispiel verwendeten rechteckigen Trägerplatte 2 ist die Thermopile-Struktur mit Folie 1 plaziert. Über die Metallisierung 5 wird der Kontakt zu den Anschlußstiften 3 hergestellt. Der Kontakt mit Kontaktversiegelung ist wieder mit dem Bezugszeichen 4 versehen. Wie aus den Figuren 3 und 4 ersichtlich, sind die Anschlußstifte 3 parallel zur Trägerplatte 2 angeordnet.
Die in beiden Ausführungsbeispielen nicht dargestellte Lackschicht zum Abdecken der Thermopile-Struktur 1 hat eine Schutzfunktion.
Die Figuren 1 bis 4 lassen erkennen, daß mit den erfindungsgemäßen Vorschlägen in vorteilhafter Ausführung ein flacher und robuster Infrarot-Detektor unter Anwendung des thermoelektrischen Effektes geschaffen wurde.

Claims (4)

Schutzansprüche
1. Infrarot-Detektor unter Ausnutzung des thermoelektrischen Effektes, wobei die aktive Thermopile-Struktur als dünne Schicht auf einer Folie aufgebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Thermopile-Struktur zusammen mit der Folie (1) auf einem festen, steifen Träger (2) aus einem gut wärmeleitenden Material plaziert ist und die Thermopile-Struktur (1) mit einer Lackschicht versehen ist.
2. Infrarot-Detektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lackschicht Infrarot-Filtereigenschaften aufweist.
3. Infrarot-Detektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (2) Durchbrüche besitzt, durch die Anschlußstifte (3) derart geführt sind, daß die Anschlußstifte (3) mit den Kontaktstellen der Thermopile-Struktur (1) elektrisch verbunden sind.
4. Infrarot-Detektor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlußstifte (3) mit den Kontaktstellen der Thermopile-Struktur (1) elektrisch verbunden sind, wobei die Anschlußstifte (3) parallel zur Trägerplatte (2) angeordnet sind.
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Title
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