DE296002T1 - Verfahren und vorrichtung zur behandlung der oberflaeche eines gegenstandes. - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur behandlung der oberflaeche eines gegenstandes.

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DE296002T1
DE296002T1 DE1988401329 DE88401329T DE296002T1 DE 296002 T1 DE296002 T1 DE 296002T1 DE 1988401329 DE1988401329 DE 1988401329 DE 88401329 T DE88401329 T DE 88401329T DE 296002 T1 DE296002 T1 DE 296002T1
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DE
Germany
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container
nitrogen
discharge tube
plasma
gas
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Application number
DE1988401329
Other languages
English (en)
Inventor
Odile F-59800 Lille Dessaux
Brigitte F-59650 Villeneuve D'ascq Mutel
Stephan F-62360 Condette Szarzynski
Original Assignee
Rifa S.A., Boulogne-Sur-Mer
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Filing date
Publication date
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Publication of DE296002T1 publication Critical patent/DE296002T1/de
Pending legal-status Critical Current

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Claims (6)

Patentansprüche:
1.
2.
Verfahren zur Behandlung der Oberfläche von Gegenständen, um auf Ihnen eine Beschichtung haften zu lassen, bei dem die Gegenstände in einen Behälter (11, 16) eingebracht werden, in dem ein gasförmiges Plasma durch eine Mikrowellenentladung gebildet wird, und bei dem zur Bildung des Plasmas Gas in ein Entladungsrohr (3) eingeleitet wird, das einen mit einem Zentimeter- oder Dezimeterwellengenerator (1) verbundenen Koppler (4) kreuzt, wobei der genannte Behandlungsbehälter (11, 16) mit dem Entladungsrohr (3) verbunden und bezüglich der Gaszirkulation stromabwärts von ihm angeordnet ist und das Volumen des Behälters (11, 16) deutlich größer ist als das des Entladungsrohres (3), so daß sich das Gas in dem genannten Behälter (11, 16) entspannen kann, dadurch gekennzeichnet, daß das Gas Stickstoff ist und daß das in dem Behälter entspannte Plasma im wesentlichen Stickstoffatome und angeregte Stickstoffmoleküle enthält und im wesentlichen frei von freien Ionen und Elektronen ist.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß im wesentlichen reiner Stickstoff verwendet wird.
Theodor-Heuss-Straße 2 D-3300 Braunschweig
Bundesrepublik Deutschland
Telefon 0531-80079
Telex 0-9 52620 gramm d : Telefax 0531-81297 (CCITT 2 + 3)
2 0286002
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der verwendete Stickstoff mit einem Anteil von weniger oder gleich 4 Mol% von CF4 und/oder NF3 angereichert ist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Plasma unter einem Druck zwischen 0,0013 und 0,13 bar gebildet ist.
5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß sie ein Entladungsrohr (3) aufweist, das mit einem mit einem Zentimeter- oder Dezimeterwellengenerator (1) verbundenen Koppler (2) zusammenwirkt und das auf einer Seite mit einem Stickstoffvorrat (5) und auf der anderen Seite mit einem Behälter (11, 16) verbunden ist, der zur Aufnahme des zu behandelnden Objektes oder der zu behandelnden Objekte bestimmt ist und der mit einer Vakuumpumpe (15) verbunden ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das : Entladungsrohr (3) mit einem Stickstoffvorrat (6) verbunden ist, der einen geringen Anteil an CF4 und/oder NF3 aufweist.
Patentanwälte
Gramm + Lins
Li/kr
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ES2006422A4 (es) 1989-05-01
FR2616088A1 (fr) 1988-12-09
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EP0296002A2 (de) 1988-12-21

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