DE2949564C2 - Einrichtung zur Messung der Strahlungsleistung von leisuntgsmodulierten optischen Sendern, insbesondere von Lasern - Google Patents
Einrichtung zur Messung der Strahlungsleistung von leisuntgsmodulierten optischen Sendern, insbesondere von LasernInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
In der älteren Anmeldung P 29 08 157.0-52 ist eine Einrichtung zum Messen der Strahlungsleistung von
leistungsmodulierten Sendern, insbesondere von Lasern, beschrieben, die einen optoakustischen Wandler
aufweist, dessen im Strahlengang liegende Komponenten für die zu messende Strahlung praktisch völlig
durchlässig oder spiegelnd sind. Dabei ist der optoakustische Wandler so ausgebildet, daß er die verbleibende
geringe Strahlungsabsorption in diesen Komponenten in eine Gasdruckmodulation umsetzt. Die hierfür
erforderliche nach außen abgeschlossene gasdichte Zelle bedeutet einen nicht unerheblichen baulichen
Aufwand. Außerdem muß das zur Messung der Gasdruckmodulationen vorgesehene Mikrophon zur
Berücksichtigung seines Frequenzgangs einer Eichung unterzogen werden.
Bei der in der US-PS 40 19 381 beschriebenen Meßanordnung zur Leistungsmessung von Lasern ist
auf einer optischen Komponente des Lasers in unmittelbarer Nähe des sie durchsetzenden Strahles ein
Temperaturfühler, z. B. ein Thermoelement, angebracht, dessen lokales Meßsignal ein Maß für die Strahlungsleistung
ist Diese Anordnung ist sehr justierempfindlich, weil schon geringe seitliche Relativverschiebungen des
Laserstrahls bezüglich der Komponente eine Temperaturänderung des Fühlers auch bei unveränderter
Laserleistung bewirken.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, die Einrichtung nach der älteren Anmeldung
P 29 08 157.0-52 zu verbessern und zu vereinfachen. Dies geschieht erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden
Merkmale des Patentanspruchs 1. Diese beruhen auf der Erkenntnis, daß es zur meßtechnischen
Erfassung der durch die Strahlungsmodulation bedingten Temperaturmodulation der im Strahlengang liegenden
durchlässigen oder spiegelnden Körper nicht deren Ausbildung als Komponenten eines optiakustischen
Wandlers mit einer gasgefüllten Zelle bedarf, sondern daß als Meßgröße unmittelbar die temperaturmodulationsbedingten
Verformungs- oder Spannungsänderungen des durchlässigen oder spiegelnden Körpers dienen
können.
In den Unteransprüchen sind zweckmäßige Ausbildungen der Meßeinrichtung angegeben.
Im folgenden sind Ausführungsformen der Erfindung anhand der Zeichnungen beispielsweise beschrieben. Es
zeigt
F i g. 1 die Anordnung des Meßfühlers an einem im Strahlengang befindlichen Fenster,
F i g. 2 die Anordnung eines Meßfühlers an einem Spiegel,
F i g. 3 eine spannungsoptische Meßeinrichtung.
Gemäß der F i g. 1 ist ein vom Strahl S eines Lasers durchsetztes Fenster 1, z. B. ein Brewster-Fenster, in
seinem nicht bestrahlten Oberflächenbereich mit einem Meßelement, z. B. einem Dehnungsmeßstreifen oder
einem piezoelektrischen Fühler 2, fest verbunden. Die durch die Strahlungsmodulation bewirkten sehr geringen
periodischen Änderungen der Temperaturverteilung im Fenster reichen aus, um meßbare Wechselspannungssignale
in dem Meßelement zu bewirken.
Eine in ihrer Funktion vergleichbare Anordnung zeigt die F i g. 2 bei einem Spiegel 3, dessen Meßelement 2
ebenfalls als Dehnungsmeßstreifen oder piezoelektrischer Fühler ausgebildet sein kann.
Die in der F i g. 3 dargestellte spannungsoptische Meßeinrichtung besteht aus zwei gekreuzten Polarisatoren 4 und 5 und einer Photozelle 6. Der von einem Laserstrahl S durchsetzte Bereich des Fensters I liegt zwischen den Polarisatoren 4 und 5. Die periodischen Temperaturänderungen im Fenster 1, entsprechend der Strahlungsleistungsmodulation, bewirken periodische Spannungsänderungen in dem Fenster, die von der Photozelle 6 als Helligkeitsmodulation eines die Polarisatoren durchquerenden Meßstrahls M registriert werden.
Die in der F i g. 3 dargestellte spannungsoptische Meßeinrichtung besteht aus zwei gekreuzten Polarisatoren 4 und 5 und einer Photozelle 6. Der von einem Laserstrahl S durchsetzte Bereich des Fensters I liegt zwischen den Polarisatoren 4 und 5. Die periodischen Temperaturänderungen im Fenster 1, entsprechend der Strahlungsleistungsmodulation, bewirken periodische Spannungsänderungen in dem Fenster, die von der Photozelle 6 als Helligkeitsmodulation eines die Polarisatoren durchquerenden Meßstrahls M registriert werden.
Ebenso wie in der älteren Anmeldung zu der F i g. 3 beschrieben, kann auch die Einrichtung nach der
vorliegenden Erfindung zur Konstanthaltung der Strahlungsleistung einer Strahlungsquelle, insbesondere
eines Lasers, herangezogen werden.
Ein besonderer Vorteil der erfindungsgemäßen Einrichtung besteht darin, daß sie keine wesentlichen
Einbauten in den Sender erfordert, sondern dessen ohnehin vorhandene Komponenten unmittelbar als
Meßobjekte dienen können.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (5)
1. Einrichtung zur Messung der Strahlungsleistung von leistungsmodulierten optischen Sendern, insbesondere
von Lasern, mit
a) einem im Strahlengang angeordneten, für die zu messende Strahlung im wesentlichen völlig
durchlässigen oder spiegelnden optischen Element, sowie
b) einem Aufnehmer zur Erfassung von durch Strahlungsabsorption hervorgerufenen Zustandsänderungen
des optischen Elements,
dadurch gekennzeichnet, daß
c) der Aufnehmer aus einer auf Verformungen oder Verspannungen des optischen Elements (1)
direkt ansprechenden Meßeinrichtung besteht
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung ein fest mit der
Oberfläche des optischen Elements (1) verbundenes Dehnungselement (2), z.B. einen Dehnungsmeßstreifen,
aufweist.
3. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung einen fest mit dem
optischen Element (1) verbundenen piezoelektrischen Fühler (2) aufweist.
4. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßeinrichtung ein Interferometer
oder ein Polarimeter ist.
5. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das optische
Element (1) von einem Bestandteil des Senders, wie z. B. einem Fenster, einem Spiegel oder einer
Linse, gebildet wird.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19792949564 DE2949564C2 (de) | 1979-12-10 | 1979-12-10 | Einrichtung zur Messung der Strahlungsleistung von leisuntgsmodulierten optischen Sendern, insbesondere von Lasern |
US06/126,632 US4344172A (en) | 1979-03-02 | 1980-03-03 | System for measuring the radiation power of power-modulated transmitters, in particular of lasers |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE19792949564 DE2949564C2 (de) | 1979-12-10 | 1979-12-10 | Einrichtung zur Messung der Strahlungsleistung von leisuntgsmodulierten optischen Sendern, insbesondere von Lasern |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE2949564C2 true DE2949564C2 (de) | 1981-11-12 |
Family
ID=6088012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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DE19792949564 Expired DE2949564C2 (de) | 1979-03-02 | 1979-12-10 | Einrichtung zur Messung der Strahlungsleistung von leisuntgsmodulierten optischen Sendern, insbesondere von Lasern |
Country Status (1)
Country | Link |
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DE (1) | DE2949564C2 (de) |
Cited By (2)
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DE102004008500A1 (de) * | 2004-02-20 | 2005-09-08 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Ermitteln einer Strahlungsleistung und eine Belichtungsvorrichtung |
US7417736B2 (en) | 2005-03-31 | 2008-08-26 | Infineon Technologies Ag | Method for determining a radiation power and an exposure apparatus |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US4019381A (en) * | 1976-01-12 | 1977-04-26 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Transparent optical power meter |
DE2908157A1 (de) * | 1979-03-02 | 1980-09-04 | Gerhard Dr Busse | Einrichtung zum messen der strahlungsleistung von leistungsmodulierten sendern, insbesondere von lasern |
-
1979
- 1979-12-10 DE DE19792949564 patent/DE2949564C2/de not_active Expired
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DE102004008500A1 (de) * | 2004-02-20 | 2005-09-08 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zum Ermitteln einer Strahlungsleistung und eine Belichtungsvorrichtung |
DE102004008500B4 (de) * | 2004-02-20 | 2007-09-27 | Qimonda Ag | Verfahren zum Ermitteln einer Strahlungsleistung und eine Belichtungsvorrichtung |
US7417736B2 (en) | 2005-03-31 | 2008-08-26 | Infineon Technologies Ag | Method for determining a radiation power and an exposure apparatus |
Also Published As
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DE2949564B1 (de) | 1981-04-02 |
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