DE2833831C2 - Optoakustischer Analysator - Google Patents

Optoakustischer Analysator

Info

Publication number
DE2833831C2
DE2833831C2 DE2833831A DE2833831A DE2833831C2 DE 2833831 C2 DE2833831 C2 DE 2833831C2 DE 2833831 A DE2833831 A DE 2833831A DE 2833831 A DE2833831 A DE 2833831A DE 2833831 C2 DE2833831 C2 DE 2833831C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
chamber
laser
analyzer
optoacoustic
discharge tube
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2833831A
Other languages
English (en)
Other versions
DE2833831A1 (de
Inventor
Atsushi Kyoto Horiba
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Horiba Ltd
Original Assignee
Horiba Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Horiba Ltd filed Critical Horiba Ltd
Publication of DE2833831A1 publication Critical patent/DE2833831A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2833831C2 publication Critical patent/DE2833831C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • G01N2021/1704Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids in gases

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft einen optoakustischen Analysator in Form eines Gaslaserresonators mit einer Laserentladeröhre, der von zwei totalreflektierenden Spiegeln begrenzt wird, wobei im Resonator im Laserlichtweg zwischen beiden Spiegeln eine Meßkammer und eine Vergleichskammer angeordnet sind, die eine Differenzmeßzelle bilden, deren Ausgangssignal den Druckunterschied in beiden Kammern aufgrund der verschiedenen Laserlichtabsorption wiedergibt.
Ein derartiger optoakustischer Analysator ist aus der US-PS 40 19 056 bekannt.
Bisher wurde im typischen Fall ein erhitzter Nichromdraht als Lichtquelle für die Infrarotabsorptionsanalyse verwandt. In der letzten Zeit haben jedoch Laseroszillatoren als leistungsfähige Lichtquellen zum Messen von Stoffen mit extrem niedriger Konzentration Beachtung gefunden, da das Laserlicht stark monochromatisch ist, Laseroszillatoren eine hohe Ausgangsleistung haben und eine gute Richtwirkung zeigen.
Bei einer bekannten Analysevorrichtung, die mit Laserlicht arbeitet, geht das von einem Gaslaserresonator ausgesandte Laserlicht durch eine Meßkammer und eine Vergleichskammer eines als Differentialmeßzelle ausgebildeten lichtdurchlässigen optoakustischen Detektors. Dieser Detektor benötigt jedoch Laserlicht mit hoher Energie, da das vom Resonator ausgesandte Licht auf dem Wege zur Meß- und Vergleichskammer in seiner Energie gedämpft wird. Darüber hinaus bleibt die Genauigkeit der Messung hinter den Anforderungen zurück, da die Lichtabsorption durch die Fenster der Differentialmeßzelle zu Fehlern führt
Bei einer weiteren bekannten Analysevorrichtung dieser Art befindet sich eine Meßzelle in einem Gaslaserresonator, während der Detektor außerhalb des Resonators angeordnet ist Bei dieser Ausbildung kann der Fehler aufgrund der Absorption des Lichtes durch das Fenster der Meßzelle zwar vernachlässigt werden, diese Vorrichtung ist jedoch nicht in Form einer Differentialmeßzelle ausgebildet, so daß der nachteilige Einfluß von irgendwelchen Störstoffanteilen niedriger Konzentration im Meßgas, deren Lichtabsorptionsband das Lichtabsorptionsband des zu messenden Stoffes überlappt schwierig auszuschalten ist Dazu wäre ein kompliziertes Doppelstrahlsystem erforderlich. Verglichen mit der Lichtmenge im Resonator beträgt darüber hinaus das den Detektor über einen Spiegel erreichende Licht lediglich einige Prozent dieser Uchtmenge, was zu einer stark herabgesetzten Empfindlichkeit führt
Bei dem bekannten optoakustischen Analysator der eingangs genannten Art sind sowohl die MeSkammer als auch die Vergleichskammer im Resonator aufgenommen, so daß das Laserlicht im Gegensatz zu den anderen bekannten Vorrichtungen auf seinem Weg zu beiden Kammern in seiner Energie nicht gedämpft wird und somit dieser bekannte Analysator eine hohe Empfindlichkeit hat, ohne daß Laserlicht mit hoher Energie verwandt werden muß. Dadurch, daß die Kammern im Resonator vorgesehen sind, ergibt sich weiterhin eine höhere Meßgenauigkeit, da keine Fehler aufgrund der Energieabsorption durch die Fenster auftreten. Da der Detektor die Form einer Differentialmeßzelle hat, kann der nachteilige Einfluß von Störstoffanteilen niedriger Konzentration in der Probe wirksam ausgeschlossen werden. Wenn weiterhin ein bestimmter Anteil einer Gasprobe analysiert werden soll, indem die Gasprobe mit einem Basisgas verdünnt wird, und die Gasprobe in die Meßkammer dicht eingeschlossen wird, während in eir Vergleichskammer nur das Basisgas dicht eingeschlossen ist, ist die durch das Basisgas absorbierte Energiemenge in beiden Kammern gleich groß, so daß als Meßwert die Menge der Probesubstanz erhalten werden kann, die genau der absorbierten Energie entspricht. Meßfehler aufgrund von Störstoffanteilen können dadurch ausgeschlossen werden, daß in der Vergleichskammer dasjenige Gas eingeschlossen wird, das dadurch erhalten wird, daß aus der Probe mit Hilfe eines Absorptionsrohres, eines Verbrennungsrohres usw. der Anteil entfernt wird, auf den die Messung gerichtet ist.
Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe Gesteht demgegenüber darin, die Meßgenauigkeit und die Meßempfindlichkeit eines derartigen bekannten optoakustischen Analysators der eingangs genannten Art noch weiter zu verbessern.
Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die Laserentladeröhre zwischen der Meßkammer und der Vergleichskammer angeordnet ist und die Meßkammer und die Vergleichskammer jeweils auf einer Seite von einem der Spiegel und auf der anderen Seite von einem der Fenster der Laserentladeröhre begrenzt sind.
Bei dem erfindungsgemäßen Analysator ist im Gegensatz zu dem bekannten Analysator die Laserentladeröhre somit nicht auf einer Seite der Differenzmeßzelle, sondern zwischen der Meßkammer und der Vergleichskammer angeordnet und sind die Begrenzun-
gen der Meßkammer und der Vergleichskammer jeweils einer der Spiegel des Gaslaserresonators und andererseits eines der Fenster der Laserentladeröhre.
Aufgrund der symmetrischen Anordnung der beiden Kammern zur Laserentladeröhre wird bei dem erfindungsgemäßen Analysator auch eine symmetrische Laserlichtintensitätsverteilung in beiden Kammern erreicht, während bei dem bekannten Analysator das Laserlicht, das in die von der Entladeröhre entfernt liegende Kamm ir eintritt, immer bereits durch die der Entladeröhre näherliegende Kammer gegangen ist und dort einer gewissen Absorption unterliegt. Da die erfindungsgemäße Ausbildung derart ist daß der Spiegel des Resonators und die Fenster der Entiaderöhre als Begrenzungen der beiden Kammern ausgenutzt werden, ergibt sich weiterhin eine geringe Anzahl an Fenstern, was zu niedrigeren Absorptionsverlusten führt.
Der erfindungsgemäße Analysator bietet weiterhin den Vorteil, daß die Entladeröhre, die beiden Kammern und die Spiegel in einem Stück ausgebildet sind und im Hohlraumresonator kein Leerrauin vorhanden ist, wie es bei dem bekannten Analysator der Fai ist Aus diesem Grunde sind Einflüsse auf das Meßergebnis aufgrund der Umgebungsluft ausgeschlossen. Unter diesen Einflüssen sind das Vorhandensein von Störgasen, die Absorption des Laserstrahles H2O und beispielsweise die Streuung des Laserstrahles durch Staub oder Wasserdampf in der Umgebungsluft zu verstehen. Beim Betrieb des erfindungsgemäßen Analysators ist daher auch kein Schutzgas, wie beispielsweise N2 oder ein ähnliches Gas erforderlich.
Besonders bevorzugte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Analysators sind Gegenstand der Patentansprüche 2 bis 5.
Im folgenden wird anhand der Zeichnung ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert.
F i g. 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel des bekannten Analysators. *o
Fig.2 zei&E ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Analysators.
In F i g. 1 ist ein Ausführungsbeispiel des bekannten Analysators, d. h. ein optoakustischer Analysator zum Messen einer niedrigen Konzentration von Methan CH4 in einer Gasprobe, beispielsweise in der Umgebungsluft dargestellt. In einem Gaslaserresoi.ator 11 sind eine Laserentladungsröhre 12, die mit einem Heliumneongas gefüllt ist und zwei Resonanzspiegel 13 aufgenommen. Ein in Form einer Differentialmeßzelle ausgebildeter lichtdurchlässiger optoaiaistischer Detektor 14 weist eine Meßkammer 15, eine Vergleichskammer 16, Fenster 17,18 und 19 und ein Kondensatormikrofon 20 auf. Die Meßkammer 15 und die Vergleichskammer 16 befinden sich innerhalb des Laserresonators 11. Der Analysator ist weiterhin mit Elektroden 21 und 22 einer Hochspannungsquelle 23, einem Unterbrecher 24 im Laserresonator 11, einem Synchronsignaldetektor 25, Gaszuleitungen 26 und 27, Gasableitungen 28 und 29, Ventilen 30, 31, 32 und 33, einem Vorverstärker 34, einem Synchronverstärker 35 und einem Anzeigegerät 36 versehen.
Bei einem Analysator mit dem oben beschriebenen Aufbau wird das von der Laserentladungsröhre 12 ausgesandte Licht unter Einhaltung der Resonanzbedingung durch die Spiegel 13 reflektiert so daß sich Laserlicht mit einer Wellenlänge von 339 μπι ergibt Das Laserlicht geht durch die Meßkammer 15 und die Vergleichskammer 16, die sich im Resonator 11 befinden. Das Licht wird auch durch den Unterbrecher 24 mit einer gegebenen Frequenz unterbrochen und zur stabilisierten Verarbeitung der Signale in ein Wechselspannungssignal umgewandelt.
Die Meßkammer 15 des Detektois 14 wird über die Zuleitung 26 mit Außenluft beladen, die Methan CH4 in niedriger Konzentration enthält, während die Vergleichskammer 16 über die Zuleitunr.27 mit N2 Gas, das Laserücht nicht absorbiert oder mit AuQenluft beladen wird, aus der der CH4-AnIeH unter Verwendung eines oxidierenden Katalysators entfernt wurde. Jede Kammer wird dann durch das Schließen der Ventile 30 bis 33 dicht abgeschlossen. Das Laserlicht, das die Meßkammer 15 durchstrahlt, wird durch das CH4-GaS absorbiert, das eine Absorptionsbande bei 339 μπι, der Wellenlänge des Laserlichtes, aufweist Die Temperatur der Gasprobe nimmt anschließend proportional zur enthaltenen CH4-Konzentration zu, wodurch der Druck des Gases ansteigt In der Vergleichskammer 16, die kein CH4 enthält tritt jedoch keine Zunahme des Druckes auf. Das hat zur Folge, daß sich zwischen den beiden Kammern 15 und 16 ein Druckunterschied entwickelt der die Membran 37 des Kondensatormikrofons bewegt Diese Bewegung wird durch den Vorverstärker 34 verstärkt mit einem Signal vom Synchronsignaldetektor 36 synchronisiert und gleichgerichtet, vvn das Anzeigegerät 36 zu betätigen.
In F i g. 2 ist ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Analysators dargestellt, bei dem die Fenster 17, 18 und 19, die die Meßkammer 15 und die Vergleichskammer 16 bei dem bekannten Analysator begrenzen, fehlen und statt dessen die Stirnwände 38,39 der Laserentladeröhre 12 und die Spiegel 13 dazu dienen, die beiden Kammern zu begrenzen. Ein Entladungsunterbrecher 40 ersetzt den Unterbrecher 24, um die Lichtabgabe von der Laserentladungsröhre 12 zu unterbrechen und dem Synchronverstärker 35 ein Signal zum Synchronisieren und Gleichrichten zu liefern.
Der erfindungsgemäße Analysator kann neben der Gasanalyse auch zum Analysieren von Feststoff- und Flussigkeitsproben verwandt werden.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (5)

Patentansprüche:
1. Optoakustischer Analysator in Form eines Gaslaserresonators mit einer Laserentladeröhre, der von zwei totalreflektierenden Spiegeln begrenzt wird, wobei im Resonator im Laserlichtweg zwischen beiden Spiegeln eine Meßkammer und eine Vergleichskammer angeordnet sind, die eine Differenzmeßzelle bilden, deren Ausgangssignal den Druckunterschied in beiden Kammern aufgrund der ι ο verschiedenen Laserlichtabsorption wiedergibt, dadurch gekennzeichnet, daß die Laserentladeröhre (12) zwischen der Meßkammer (15) und der Vergleichskammer (16) angeordnet ist und die Meßkammer (15) und die Vergleichskammer (16) ι -„ jeweils auf einer Seite von einem der Spiegel (13) und auf der anderen Seite von einem der Fenster (38, 39) der Laserentladeröhre (12) begrenzt sind.
2. Optoakustischer Analysator nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Entladungsunterbrechereinrichtung (40), die die Lichtemission von der Laserentladeröhre (12) unterbricht
3. Optoakustischer Analysator nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßkammer (15) und die Vergleichskammer (16) jeweils mit einer Fluidzuleitung und einer Fluidableitung versehen sind.
4. Optoakustischer Analysator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in der Meßkammer (15) und/oder der Vergleichskammer (16) ein Gas dicht eingeschlossen ist
5. Optoa!"ustischer Analysator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß sich in der Meßkammer (15) eine Feststoffprobe oder eine Flüssigkeitsprobe befindet
DE2833831A 1977-08-26 1978-08-02 Optoakustischer Analysator Expired DE2833831C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10309177A JPS5436778A (en) 1977-08-26 1977-08-26 Photosound effect type analyzer

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2833831A1 DE2833831A1 (de) 1979-03-08
DE2833831C2 true DE2833831C2 (de) 1983-09-29

Family

ID=14344957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2833831A Expired DE2833831C2 (de) 1977-08-26 1978-08-02 Optoakustischer Analysator

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4253770A (de)
JP (1) JPS5436778A (de)
DE (1) DE2833831C2 (de)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5610230A (en) * 1979-07-04 1981-02-02 Hitachi Ltd Optical sound spectroscopic analyzer
JPS595939A (ja) * 1982-07-03 1984-01-12 Horiba Ltd パ−テイキユレ−ト連続測定装置
DK247786D0 (da) * 1986-05-27 1986-05-27 Brueel & Kjaer As Fotoakustisk gasanalysator
US4866681A (en) * 1988-03-09 1989-09-12 Mine Safety Appliances Company Photo-acoustic detector
US5061065A (en) * 1989-10-20 1991-10-29 Pacific Scientific Company Particle contamination detection in fluids through the external section of a laser
DK163537C (da) * 1990-03-05 1992-08-03 Fls Airloq As Fremgangsmaade og apparat til overfoersel af et akustisk signal i en fotoakustisk celle
DE4225395A1 (de) * 1992-07-29 1994-02-03 Johannisthaler Forschungstechn Anordnung zur photoakustischen Spektroskopie
DE10062126A1 (de) * 2000-12-13 2002-06-20 Inficon Gmbh Verfahren zur Feststellung eines Gases mit Hilfe eines Infrarot-Gasanlaysators sowie für die Durchführung dieser Verfahren geigneter Gasanalysator
US8358417B2 (en) * 2010-10-21 2013-01-22 Spectrasensors, Inc. Spectrometer with validation cell
US8848191B2 (en) 2012-03-14 2014-09-30 Honeywell International Inc. Photoacoustic sensor with mirror
CA2859411A1 (en) * 2013-08-29 2015-02-28 General Electric Company Method and system for detecting components in a fluid
US9513261B2 (en) 2013-10-14 2016-12-06 Infineon Technologies Ag Photoacoustic gas sensor device and a method for analyzing gas
JP6254638B2 (ja) 2016-04-18 2017-12-27 株式会社 資生堂 液体皮膚洗浄料および液体皮膚洗浄製品

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3893771A (en) * 1974-08-22 1975-07-08 Diax Corp Laser absorption spectroscopy
US3911276A (en) * 1974-10-18 1975-10-07 Diax Corp Laser spectroscopy
US4059356A (en) * 1975-02-24 1977-11-22 Environmental Research & Technology, Inc. Gas detector
US4058725A (en) * 1975-04-04 1977-11-15 Aine Harry E Infrared absorption spectrometer employing a dual optoacoustic detector
US4019056A (en) * 1975-04-28 1977-04-19 Diax Corporation Infrared laser detector employing a pressure controlled differential optoacoustic detector

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5436778A (en) 1979-03-17
DE2833831A1 (de) 1979-03-08
JPS577380B2 (de) 1982-02-10
US4253770A (en) 1981-03-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2833831C2 (de) Optoakustischer Analysator
DE602004000374T2 (de) Gasdetektionsverfahren und gasdetektoreinrichtung
EP0855592B1 (de) Optoakustischer Gassensor
DE19520488C1 (de) Meßvorrichtung zur Infrarotabsorption
DE60304027T2 (de) System und verfahren zur steuerung einer lichtquelle für cavity-ringdown-spektroskopie
EP1161675A1 (de) Infrarot-gasanalysator und verfahren zum betrieb dieses analysators
DE2637501A1 (de) Vorrichtung zum messen der konzentration einer substanz im blut
DE2808033A1 (de) Einrichtung zur unterdrueckung der wasserdampf-querempfindlichkeit bei einem nicht dispersiven infrarot-gasanalysator
EP0163847A2 (de) Interferenz-Refraktometer
EP0677733A1 (de) Gaslaser und Gasnachweis damit
DE3139917C2 (de)
DE2420060A1 (de) Spektralphotometrisches verfahren und mehrweg-spektralphotometer zur durchfuehrung desselben
DE2537237A1 (de) Laserabsorptionsspektrometer und verfahren der laserabsorptionsspektroskopie
DE3650094T2 (de) Absorptionsanalyseverfahren.
DE2320252A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur quantitativen bestimmung eines gasfoermigen bestandteils
WO2006002740A1 (de) Nichtdispersiver infrarot-gasanalysator
DE2616792A1 (de) Ueberwachungsgeraet zum nachweis von chemolumineszenz-reaktionen
DE2300213B2 (de) Gerät zur Messung der Strahlungsdosis von ultravioletter Strahlung
DE4446723C2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Konzentration eines Gases
DE2130331C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Konzentrationen der Komponenten eines aus zwei Gasen und Rauch bestehenden Gemisches
DE3707622A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen geringer gaskonzentrationen
DE19509822C2 (de) Ölkonzentrations-Meßgerät
EP0087077A2 (de) Messeinrichtung für die optische Gasanalyse
DE2849379A1 (de) Opto-akustischer gas-analysator
DE10308409A1 (de) Verfahren zur Messung der Konzentration oder des Konzentrationsverhältnisses von Gaskomponenten mit potentiellen Anwendungen in der Atemtest-Analyse

Legal Events

Date Code Title Description
OAP Request for examination filed
OD Request for examination
8126 Change of the secondary classification

Ipc: G01D 5/18

8125 Change of the main classification

Ipc: G01N 21/61

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8328 Change in the person/name/address of the agent

Free format text: POHLMANN, E., DIPL.-PHYS., PAT.-ANW., 8000 MUENCHEN

8339 Ceased/non-payment of the annual fee